KR20100027374A - Apparatus for transferring substrate for use in transfer chamber - Google Patents

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Abstract

PURPOSE: An apparatus for transferring a substrate which is applicable for a transfer chamber is provided to perform a horizontal-movement and a horizontal-rotation without the inclination of the substrate by installing an arm motor to a robot body in a transfer chamber. CONSTITUTION: A robot body(200) is transversely installed in a transfer chamber(10). A column pipe(110) is longitudinally combined to the external lower side of the transfer chamber to be connected to the transfer chamber. A cylinder(120) is longitudinally installed in the column pipe. A connection pipe(140) connects the cable pipe(H) of a rotary shaft and a motor box. A power line(131) is connected to the arm motor through the cable pipe and the connection pipe on the outside of the transfer chamber.

Description

반송챔버 내에서 사용하기에 적합한 기판반송장치 {Apparatus for transferring substrate for use in transfer chamber}Apparatus for transferring substrate for use in transfer chamber

본 발명은 기판반송장치에 관한 것으로서, 특히 진공환경의 반송챔버 내에서 대형 기판을 반송시키는데 적합한 기판반송장치에 관한 것이다. BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a substrate transfer apparatus, and more particularly, to a substrate transfer apparatus suitable for carrying a large substrate in a transfer chamber in a vacuum environment.

최근 평판 디스플레이(Flat Panel Display, FPD) 및 태양전지 등에 사용되는 유리 기판의 크기가 대형화됨에 따라 기판을 효율적으로 반송시키기 위한 기판반송로봇에 대한 개발이 많이 이루어지고 있다. Recently, as the size of glass substrates used in flat panel displays (FPDs) and solar cells increases in size, development of substrate transport robots for efficiently transporting substrates has been made.

이러한 기판은 통상적으로 반송챔버를 경유에서 이동되어지는데, 기판의 대형화로 인해서 기판을 기울어짐이 없이, 그리고 반송챔버라는 한정된 공간 내에서 최소한의 궤적으로 이동시키는 것이 중요하다. 특히, 반송챔버는 공정의 진행에 따라 상압과 진공상태를 넘나들기 때문에 여기에서 사용되는 기판반송로봇은 진공환경에서 사용하기에도 적합해야 한다. Such substrates are typically moved via a transfer chamber, but it is important to move the substrate with minimal trajectory without tilting the substrate and within a limited space called the transfer chamber due to the enlargement of the substrate. In particular, since the transfer chamber passes the normal pressure and the vacuum state as the process proceeds, the substrate transfer robot used here should be suitable for use in a vacuum environment.

따라서 본 발명이 해결하고자 하는 과제는, 진공환경의 반송챔버 내에서 대형 기판을 반송시키는데 적합한 기판반송장치를 제공하는 데 있다. Accordingly, an object of the present invention is to provide a substrate transport apparatus suitable for transporting a large substrate in a transport chamber in a vacuum environment.

상기 과제를 달성하기 위한 본 발명은, 반송챔버 내에 설치되어 기판을 반송하는 기판반송수단에 관한 것으로서, 특히 상기 반송챔버 내에 가로로 길게 설치되는 로봇본체; 상기 반송챔버와 연통되도록 상기 반송챔버의 외부에서 상기 반송챔버의 저면에 세로로 결합되는 기둥관; 상기 기둥관 내에 세로로 설치되는 실린더; 가운데에 케이블관이 형성되고 상기 케이블관이 상기 로봇본체의 내부와 연통되도록 윗단이 상기 로봇본체의 저면에 연결되게 상기 실린더 내에 삽입 설치되는 회전축; 상기 로봇본체의 내부에 설치되되 상기 반송챔버의 내부공간과는 분리되는 모터수납공간를 제공하여 아암모터가 수납되는 모터함; 상기 회전축의 케이블관과 상기 모터함을 연결시키는 연결관; 상기 반송챔버의 외부로부터 상기 케이블관 및 연결관을 통하여 상기 아암모터에 연결되는 전력선; 상기 아암모터의 회전축과 연결되어 상기 로봇본체의 양측으로 바퀴형태로 튀어나오도록 설치되는 구동풀리; 상기 로봇본체의 양측으로 바퀴형태로 튀어나오며 상기 구동풀리가 사이에 위치하도록 상기 로봇본체의 길이방향 양 끝에 각각 설치되는 피동풀리; 상기 구동풀리와 상기 피동풀리에 걸쳐지는 아암벨트; 및 상기 아암벨트에 고정 결합되는 아암 고정 브라 켓에 의해 지지되어 상기 로봇본체의 상부에 위치하도록 설치되며, 상기 기판을 지지하는 아암 블레이드를 가지는 로봇아암; 을 구비하는 것을 특징으로 한다. The present invention for achieving the above object is related to a substrate transport means for transporting the substrate is installed in the transport chamber, in particular, the robot body is installed horizontally in the transport chamber; A pillar tube vertically coupled to a bottom surface of the conveying chamber outside the conveying chamber so as to communicate with the conveying chamber; A cylinder installed vertically in the pillar tube; A rotating shaft having a cable tube formed in the center thereof and inserted into the cylinder such that the upper end thereof is connected to the bottom surface of the robot body so that the cable tube communicates with the inside of the robot body; A motor box installed in the robot body and providing an motor storage space separated from an inner space of the transfer chamber to accommodate an arm motor; A connecting pipe connecting the cable pipe of the rotary shaft and the motor box; A power line connected to the arm motor from the outside of the transfer chamber through the cable pipe and the connection pipe; A driving pulley which is connected to the rotating shaft of the arm motor and installed to protrude in a wheel form to both sides of the robot body; A driven pulley which protrudes in a wheel form on both sides of the robot body and is installed at both ends in the longitudinal direction of the robot body such that the driving pulley is positioned therebetween; An arm belt spanning the drive pulley and the driven pulley; And a robot arm supported by an arm fixing bracket fixedly coupled to the arm belt, the robot arm having an arm blade supporting the substrate, the robot arm being installed to be positioned above the robot body. It characterized by having a.

상기 로봇본체의 벽에는 경량화용 관통홀이 복수개 형성되는 것이 바람직하다. It is preferable that a plurality of lightweight through-holes are formed in the wall of the robot body.

상기 로봇본체는 4개의 판이 조립되어 직사각기둥 형태를 하는 것이 바람직하다. The robot body preferably has four plates assembled to form a rectangular pillar.

2개의 2판을 한꺼번에 이송시키기 위하여, 상기 모터함은 하부아암 모터를 수납하는 하부아암 모터함과, 상부아암 모터를 수납하는 상부아암 모터함으로 구분되어 설치되고; 상기 구동풀리는 상기 하부아암 모터에 연결되는 하부아암 구동풀리와, 상기 상부아암 모터에 연결되는 상부아암 구동풀리로 구분되어 설치되고; 상기 피동풀리는 하부아암 피동풀리와 상부아암 피동풀리로 구분되어 설치되되 상기 하부아암 피동풀리와 상부아암 피동풀리가 서로 독립적으로 회전하도록 하나의 축에 설치되며; 상기 하부아암 피동풀리의 전단에는 피동풀리부 하부아암 아이들러가 설치되고, 상부아암 피동풀리의 전단에는 피동풀리부 상부아암 아이들러가 설치되되, 상기 피동풀리부 하부아암 아이들러와 피동풀리부 상부아암 아이들러는 서로 독립적으로 회전하도록 하나의 축에 설치되며; 상기 아암벨트는 상기 하부아암 구동풀리와 하부아암 피동풀리에 걸쳐지는 하부아암벨트와, 상기 상부아암 구동풀리와 상부아암 피동풀리에 걸쳐지는 상부아암벨트로 구분되어 설치되며; 상기 로봇아암은 상기 하부아암벨트에 연결되는 하부아암과, 상기 하부아암 상부에 위치하는 상부아암으로 구분되어 설치될 수 있다. In order to transfer two two plates at once, the motor box is divided into a lower arm motor box for accommodating the lower arm motor and an upper arm motor box for accommodating the upper arm motor; The driving pulley is divided into a lower arm driving pulley connected to the lower arm motor and an upper arm driving pulley connected to the upper arm motor; The driven pulley is divided into a lower arm driven pulley and an upper arm driven pulley and is installed on one shaft such that the lower arm driven pulley and the upper arm driven pulley rotate independently of each other; The lower arm driven pulley is installed at the front end of the driven pulley lower arm idler, and the upper arm driven pulley is provided with the driven pulley upper arm idler, but the driven pulley lower arm idler and the driven pulley upper arm idler are Installed on one axis to rotate independently of each other; The arm belt is divided into a lower arm belt that spans the lower arm driving pulley and a lower arm driven pulley, and an upper arm belt that spans the upper arm driving pulley and the upper arm driven pulley; The robot arm may be divided into a lower arm connected to the lower arm belt and an upper arm positioned above the lower arm.

아암모터는 진공환경에서 설치하여 사용하기가 곤란하다. 그런데 반송챔버는 진공상태와 상압상태를 넘나들기 때문에 종래에는 아암모터를 반송챔버 내에 설치할 수가 없어서 아암모터를 반송챔버의 외부에 설치하여 반송챔버의 내부에 위치하는 기판반송로봇을 구동시켰다. 따라서 복잡한 동력전달구조가 요구되었다. 그러나 본 발명에 의하면 아암모터가 반송챔버 내에 있는 로봇본체내에 직접 설치되기 때문에 기판을 기울어짐없이 수평회전 및 수평직선운동시키기 위한 동력전달구조가 간단하게 된다. Arm motors are difficult to install and use in a vacuum environment. However, since the conveying chamber is in between a vacuum state and a normal pressure state, the arm motor cannot be installed in the conveying chamber conventionally, and the arm motor is installed outside the conveying chamber to drive the substrate conveying robot located inside the conveying chamber. Therefore, a complex power transmission structure was required. However, according to the present invention, since the arm motor is directly installed in the robot body in the transfer chamber, the power transmission structure for horizontal rotation and horizontal linear movement without tilting the substrate is simplified.

이하에서, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부한 도면들을 참조하여 상세히 설명한다. 아래의 실시예는 본 발명의 내용을 이해하기 위해 제시된 것일 뿐이며 당 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 기술적 사상 내에서 많은 변형이 가능할 것이다. 따라서 본 발명의 권리범위가 이러한 실시예에 한정되는 것으로 해석돼서는 안 된다. Hereinafter, with reference to the accompanying drawings, preferred embodiments of the present invention will be described in detail. The following examples are only presented to understand the content of the present invention, and those skilled in the art will be capable of many modifications within the technical spirit of the present invention. Therefore, the scope of the present invention should not be construed as limited to these embodiments.

도 1은 본 발명에 따른 기판반송수단을 설명하기 위한 단면도이고, 도 2는 도 1의 로봇본체(200)를 설명하기 위한 사시도이다. 도 2에서는 이해의 편의상 아암 블레이드(411, 412)의 도시를 생략하였다. 1 is a cross-sectional view for explaining a substrate transport means according to the present invention, Figure 2 is a perspective view for explaining the robot body 200 of FIG. In FIG. 2, illustration of the arm blades 411 and 412 is omitted for convenience of understanding.

도 1 및 도 2를 참조하면, 로봇본체(200)는 직육면체기둥 형태를 하며 넓은 면이 위로 향하도록 가로로 길게 눕혀지게 반송챔버(10) 내에 설치된다. 로봇본체(200)는 대형 기판용일 경우 그 무게가 거의 2톤에 달하기도 한다. 따라서 로봇본체(200)에는 무게를 줄이기 위하여 각 면에 경량화용 관통홀(700)이 복수개 형성된다. 제조의 편의성을 위하여 로봇본체(200)는 4개의 판을 조립하여 형성한다. 1 and 2, the robot main body 200 has a rectangular parallelepiped shape and is installed in the conveying chamber 10 so as to lie horizontally long so that a wide surface thereof faces upward. The robot main body 200 may weigh almost 2 tons in the case of a large substrate. Therefore, the robot main body 200 is provided with a plurality of through-holes for weight reduction in each surface in order to reduce the weight. The robot body 200 is formed by assembling four plates for the convenience of manufacturing.

반송챔버(10)의 저면에는 기둥관(110)이 반송챔버(10)에 연통되도록 수직하게 설치된다. 기둥관(110) 내에는 실린더(120)가 수직하게 설치되며 실린더(120)에는 회전축(130)이 삽입 설치된다. 회전축(130)은 상하운동도 가능하게 설치된다. 실린더(120)와 회전축(130)의 사이는 자성유체 씰(magnetic fluid seal)에 의해 밀봉된다. At the bottom of the conveyance chamber 10, the pillar tube 110 is vertically installed to communicate with the conveyance chamber 10. The cylinder 120 is vertically installed in the column tube 110, and the rotation shaft 130 is inserted into the cylinder 120. The rotating shaft 130 is also installed to be able to move up and down. Between the cylinder 120 and the rotating shaft 130 is sealed by a magnetic fluid seal (magnetic fluid seal).

회전축(130)의 가운데에는 케이블관(H)이 형성된다. 로봇본체(200)의 내부와 케이블관(H)이 연통되도록 회전축(130)의 윗단은 로봇본체(200)의 중앙부 저면에 연결된다. 로봇본체(200)의 중앙부를 기준으로 그 앞쪽과 뒤쪽에는 반송챔버(10)의 내부공간과는 분리되는 모터수납공간을 제공하는 모터함(211, 212)이 설치된다. 양쪽 모터함(211, 212)은 T형 벨로우즈와 같은 연결관(140)에 의해 케이블관(H)과 연통된다. 로봇본체(200)의 앞쪽이라 함은 아암 블레이드(411, 412)가 향하는 쪽을 말하며, 뒤쪽이라 함은 그 반대편을 말한다. Cable tube (H) is formed in the center of the rotating shaft (130). The upper end of the rotating shaft 130 is connected to the bottom of the central portion of the robot body 200 so that the inside of the robot body 200 and the cable tube (H) communicate. Motor boxes 211 and 212 are provided at the front and the rear of the robot body 200 to provide a motor storage space separated from the internal space of the transfer chamber 10. Both motor boxes 211 and 212 communicate with the cable tube H by a connecting tube 140 such as a T-shaped bellows. The front of the robot body 200 refers to the side facing the arm blades (411, 412), the rear refers to the opposite side.

모터함(211, 212)의 내부에는 하부아암 모터(511)와 상부아암 모터(512)가 각각 설치된다. 전력선(131)은 케이블관(H)을 통하여 반송챔버(10)의 외부에서 삽입되어 들어와 연결관(140)을 통하여 모터함(211, 212) 내의 아암 모터(511, 512)에 전력을 공급한다. 따라서 회전축(130)이 회전하여 로봇본체(200)가 회전축(130) 을 중심축으로 하여 회전하더라도 전력선(131)이 꼬이는 경우는 발생하지 않는다. The lower arm motor 511 and the upper arm motor 512 are respectively installed in the motor boxes 211 and 212. The power line 131 is inserted from the outside of the conveying chamber 10 through the cable tube H and supplies power to the arm motors 511 and 512 in the motor boxes 211 and 212 through the connecting tube 140. . Therefore, even if the rotating shaft 130 is rotated so that the robot main body 200 rotates around the rotating shaft 130, the power line 131 is not twisted.

하부아암모터(511)가 회전하면 하부아암벨트(611)가 가동되어 하부아암(311)이 벨트를 따라 수평이동하고, 상부아암모터(512)가 회전하면 상부아암벨트(612)가 가동되어 상부아암(312)이 벨트를 따라 수평이동한다. When the lower arm motor 511 rotates, the lower arm belt 611 moves to move the lower arm 311 horizontally along the belt. When the upper arm motor 512 rotates, the upper arm belt 612 moves to the upper side. Arm 312 moves horizontally along the belt.

도 3 및 도 4는 아암모터(511, 512)의 설치부를 설명하기 위한 도면이다. 하부아암모터(511)와 상부아암모터(512)가 동일한 형태로 설치되기 때문에 여기서는 하부아암모터(511)에 대해서만 설명한다. 3 and 4 are diagrams for explaining the installation of the arm motor (511, 512). Since the lower arm motor 511 and the upper arm motor 512 are provided in the same form, only the lower arm motor 511 will be described here.

도 3 및 도 4를 참조하면, 하부아암모터(511)의 회전축에는 회전방향을 전환하기 위한 워엄기어(530)가 연결 설치되며 하부아암 구동풀리(521)는 워엄기어(530)에 연결되어 로봇본체(200)의 양측으로 바퀴형태로 튀어나오도록 설치된다. 하부아암 구동풀리(521)를 로봇본체(200)의 양측에 설치하는 이유는 기판이 기울어지게 이송되는 것을 방지하기 위함이다. 모터함(211)은 덮개(550)에 의해 덮여진다. 따라서 모터함(211)의 내부는 연결관(131)과 연결되는 연결공(A)을 통하여 대기환경에 노출되며, 반송챔버(10)의 진공환경과는 분리된다.  3 and 4, the worm gear 530 for changing the rotation direction is connected to the rotation axis of the lower arm motor 511 and the lower arm drive pulley 521 is connected to the worm gear 530 to the robot It is installed to protrude in the form of a wheel to both sides of the main body 200. The reason why the lower arm driving pulleys 521 are installed on both sides of the robot body 200 is to prevent the substrate from being inclined. The motor box 211 is covered by a cover 550. Therefore, the inside of the motor box 211 is exposed to the atmospheric environment through the connection hole (A) connected to the connection pipe 131, and is separated from the vacuum environment of the conveying chamber (10).

반송챔버(10)는 진공상태와 상압상태를 넘나든다. 아암모터(511, 512)는 진공환경에서는 설치하여 사용하기가 곤란하므로 종래에는 아암모터(511, 512)를 반송챔버(10) 내에 설치할 수가 없었다. 따라서 반송챔버(10)의 외부에 아암모터(511, 512)를 설치하여 반송챔버(10)의 내부에 위치하는 기판반송수단을 구동시켰다. 그로인해 아암구동풀리(521, 522)를 로봇본체(200)의 양측에 배치시키고, 로봇본체(200)를 수평회전시키고, 또한 로봇아암(311, 312)을 수평직선운동시키기 위 해서 복잡한 동력전달구조가 요구되었다. The conveying chamber 10 passes over a vacuum state and an atmospheric pressure state. Since the arm motors 511 and 512 are difficult to install and use in a vacuum environment, the arm motors 511 and 512 cannot be installed in the conveyance chamber 10 conventionally. Therefore, arm motors 511 and 512 were installed outside the transfer chamber 10 to drive the substrate transfer means located inside the transfer chamber 10. As a result, the arm drive pulleys 521 and 522 are disposed on both sides of the robot body 200, the robot body 200 is rotated horizontally, and the complex power transmission is performed to move the robot arms 311 and 312 in a horizontal linear motion. Rescue was required.

따라서 본 발명에서와 같이 아암모터(511, 512)를 로봇본체(200)에 직접 설치할 실익이 있는 것이다. 아암모터(511, 512)를 로봇본체(200)에 직접 설치하기 위해서는 상술한 바와 같이 반송챔버(10)의 진공환경과는 격리되도록 모터함(211, 212)이 설계되는 것이 바람직하다. Therefore, as in the present invention, the arm motors 511 and 512 are advantageously installed directly on the robot body 200. In order to install the arm motors 511 and 512 directly to the robot main body 200, it is preferable that the motor boxes 211 and 212 be designed to be isolated from the vacuum environment of the transfer chamber 10 as described above.

도 5는 아암(311, 312)과 아암벨트(611, 612)의 연결관계를 설명하기 정면도이다. 도 5에 도시된 바와 같이, 하부아암(311)은 하부아암 고정 브라켓(311a)에 의해 수평 지지되며, 하부아암 고정 브라켓(311a)은 하부아암벨트(611)를 잡도록 하부아암벨트(611)에 고정 결합된다. 그리고 상부아암(312)은 상부아암 고정 브라켓(312a)에 의해 수평지지되며, 상부아암 고정 브라켓(312a)은 상부아암벨트(612)를 잡도록 상부아암벨트(612)에 고정 결합된다. 5 is a front view illustrating a connection relationship between the arms 311 and 312 and the arm belts 611 and 612. As shown in FIG. 5, the lower arm 311 is horizontally supported by the lower arm fixing bracket 311 a, and the lower arm fixing bracket 311 a is attached to the lower arm belt 611 to hold the lower arm belt 611. Fixedly coupled. The upper arm 312 is horizontally supported by the upper arm fixing bracket 312a, and the upper arm fixing bracket 312a is fixedly coupled to the upper arm belt 612 to hold the upper arm belt 612.

도 6 및 도 7은 하부아암벨트(611)와 상부아암벨트(612)를 설명하기 위한 도면이다. 도 6 및 도 7에서는 이해의 편의상 하부아암(311)과 상부아암(312)의 도시를 생략하였으며, 하부아암 고정 브라켓(311a)이 결합되는 벨트 부위를 참조부호 L로 표시하였고, 상부아암 고정 브라켓(312a)이 결합되는 벨트부위를 참조부호 H로 표시하였다. 6 and 7 are views for explaining the lower arm belt 611 and the upper arm belt 612. 6 and 7 omit the illustration of the lower arm 311 and the upper arm 312 for ease of understanding, and the belt portion to which the lower arm fixing bracket 311a is coupled is indicated by the reference numeral L, the upper arm fixing bracket The belt portion to which 312a is coupled is indicated by the reference numeral H.

하부아암모터(511)가 회전하면 하부아암 구동풀리(521)가 회전하고 그에 따라 하부아암벨트(611)가 가동되어 하부아암(311)이 로봇본체(200)를 따라 수평이동한다. 그리고 상부아암모터(512)가 회전하면 상부아암 구동풀리(522)가 회전하고 그에 따라 상부아암벨트(612)가 가동되어 상부아암(312)이 로봇본체(200)를 따라 수평이동한다. When the lower arm motor 511 rotates, the lower arm driving pulley 521 rotates and the lower arm belt 611 moves accordingly to move the lower arm 311 horizontally along the robot body 200. When the upper arm motor 512 rotates, the upper arm driving pulley 522 rotates and the upper arm belt 612 moves accordingly to move the upper arm 312 horizontally along the robot body 200.

하부아암 구동풀리(521)의 양쪽에는 벨트의 장력을 조절하기 위한 아이들러(521a, 521b)가 각각 설치되며, 상부아암 구동풀리(522)의 양쪽에도 마찬가지로 아이들러(522a, 522b)가 설치된다. 로봇본체(200)의 양단에는 피동풀리(710. 720, 810, 820)가 각각 설치되며, 피동풀리(710, 720, 810, 820)의 전단에도 벨트의 장력을 조절하기 위한 아이들러(710a, 720a, 810a, 820a)가 각각 설치된다. Idlers 521a and 521b for adjusting the tension of the belt are provided on both sides of the lower arm drive pulley 521, and idlers 522a and 522b are similarly provided on both sides of the upper arm drive pulley 522. Passive pulleys 710. 720, 810, and 820 are installed at both ends of the robot body 200, and idlers 710a and 720a for adjusting the tension of the belt even in front of the driven pulleys 710, 720, 810, and 820. , 810a and 820a are respectively installed.

도 8은 도 7의 피동풀리부(T)와 구동풀리부(S)를 설명하기 위한 도면이다. 도 8에 도시된 바와 같이, 하부아암 피동풀리(720)와 상부아암 피동풀리(820)는 하나의 축에 설치되며 또한 각각 독자적으로 회전하도록 설치된다. 그리고 그 전단에 있는 피동풀리부 하부아암 아이들러(720a) 및 피동풀리부 상부아암 아이들러(820a)도 하나의 축에 설치되며 또한 각각 독자적으로 회전하도록 설치된다. 따라서 벨트장력 조절시 피동풀리부 아이들러(720a, 820a)는 하나의 세트로서 동시에 수평이동하게 되고, 그로 인해 하부아암벨트(611)와 상부아암벨트(612)의 장력이 피동풀리부 아이들러(720a, 820a)의 움직임에 의해 동시에 한꺼번에 조절된다. FIG. 8 is a view for explaining the driven pulley part T and the driving pulley part S of FIG. 7. As shown in FIG. 8, the lower arm driven pulley 720 and the upper arm driven pulley 820 are installed on one shaft and are installed to rotate independently of each other. In addition, the driven pulley part lower arm idler 720a and the driven pulley part upper arm idler 820a are also installed on one shaft and are installed to rotate independently of each other. Accordingly, when the belt tension is adjusted, the driven pulley idlers 720a and 820a are horizontally moved simultaneously as one set, thereby causing the tension of the lower arm belt 611 and the upper arm belt 612 to be driven. 820a) can be adjusted at the same time.

도 9a는 하부아암(311)이 전진하는 경우를 설명하기 위한 개략도이고, 도 9b는 하부아암(311)이 후진하는 경우를 설명하기 위한 개략도이다.FIG. 9A is a schematic diagram for explaining the case where the lower arm 311 moves forward, and FIG. 9B is a schematic diagram for explaining the case where the lower arm 311 moves backward.

도 9a에 도시된 바와 같이, 하부아암 구동풀리(521)가 반시계 방향으로 회전하면 하부아암벨트(611)가 반시계 방향으로 이동되고, 그로 인해 하부아암 고정 브라켓(311a)에 의해 하부아암벨트(611)에 고정 설치되는 하부아암(311)이 전진한다. 벨트의 장력에 의해서 로봇본체(200)의 양측에 있는 하부아암 피동풀리(710, 720) 도 각각 반시계 방향으로 회전한다. 그리고 도 9b에 도시된 바와 같이, 하부아암 구동풀리(521)가 시계 방향으로 회전하면 하부아암벨트(611)가 시계 방향으로 이동되고, 그로 인해 하부아암(311)이 후진한다. As shown in FIG. 9A, when the lower arm driving pulley 521 rotates in the counterclockwise direction, the lower arm belt 611 is moved in the counterclockwise direction, whereby the lower arm belt is moved by the lower arm fixing bracket 311a. The lower arm 311 fixed to the 611 is advanced. The lower arm driven pulleys 710 and 720 on both sides of the robot body 200 also rotate counterclockwise by the tension of the belt. As shown in FIG. 9B, when the lower arm driving pulley 521 rotates in the clockwise direction, the lower arm belt 611 moves in the clockwise direction, and the lower arm 311 moves backward.

도 10a는 상부아암(312)이 전진하는 경우를 설명하기 위한 개략도이고, 도 9b는 상부아암(312)이 후진하는 경우를 설명하기 위한 개략도이다.FIG. 10A is a schematic diagram for explaining the case where the upper arm 312 moves forward, and FIG. 9B is a schematic diagram for explaining the case where the upper arm 312 moves backward.

도 10a에 도시된 바와 같이, 상부아암 구동풀리(522)가 반시계 방향으로 회전하면 상부아암벨트(612)가 반시계 방향으로 이동되고, 그로 인해 상부아암 고정 브라켓(312a)에 의해 상부아암벨트(612)에 고정 설치되는 상부아암(312)이 전진한다. 그리고 도 10b에 도시된 바와 같이, 상부아암 구동풀리(522)가 시계 방향으로 회전하면 상부아암벨트(612)가 시계 방향으로 이동되고, 그로 인해 상부아암(312)이 후진한다.  As shown in FIG. 10A, when the upper arm driving pulley 522 rotates counterclockwise, the upper arm belt 612 is moved counterclockwise, thereby causing the upper arm belt to be moved by the upper arm fixing bracket 312a. The upper arm 312 fixedly installed at 612 is advanced. As shown in FIG. 10B, when the upper arm driving pulley 522 rotates clockwise, the upper arm belt 612 moves clockwise, and the upper arm 312 moves backwards.

도 1은 본 발명에 따른 기판반송수단을 설명하기 위한 단면도;1 is a cross-sectional view for explaining a substrate transport means according to the present invention;

도 2는 도 1의 로봇본체(200)를 설명하기 위한 사시도;2 is a perspective view for explaining the robot body 200 of FIG.

도 3 및 도 4는 아암모터(511, 512)의 설치부를 설명하기 위한 도면들;3 and 4 are views for explaining the installation of the arm motor (511, 512);

도 5는 아암(311, 312)과 아암벨트(611, 612)의 연결관계를 설명하기 정면도;5 is a front view for explaining the connection between the arms 311 and 312 and the arm belts 611 and 612;

도 6 및 도 7은 하부아암벨트(611)와 상부아암벨트(612)를 설명하기 위한 도면들;6 and 7 are views for explaining the lower arm belt 611 and the upper arm belt 612;

도 8은 도 7의 피동풀리부(T)와 구동풀리부(S)를 설명하기 위한 도면;FIG. 8 is a view for explaining the driven pulley portion T and the driving pulley portion S of FIG. 7; FIG.

도 9a 및 도 9b는 하부아암(311)이 전후진하는 경우를 설명하기 위한 도면들;9A and 9B are views for explaining the case where the lower arm 311 moves forward and backward;

도 10a 및 도 10b는 상부아암(312)이 전후진하는 경우를 설명하기 위한 도면들이다. 10A and 10B are diagrams for describing a case in which the upper arm 312 advances and backwards.

<도면의 주요부분에 대한 참조번호의 설명><Description of reference numbers for the main parts of the drawings>

10: 반송챔버 110: 기둥관10: conveying chamber 110: pillar tube

120: 실린더 130: 회전축120: cylinder 130: axis of rotation

131: 전력선 140: 연결관131: power line 140: connector

200: 로봇본체 211, 212: 모터함200: robot body 211, 212: motor box

311, 312: 로봇아암 311a, 312a: 아암 고정 브라켓311, 312: Robot arm 311a, 312a: Arm fixing bracket

411, 412: 아암 블레이드 511, 512: 아암모터411, 412: arm blades 511, 512: arm motor

521a, 521b, 522a, 522b, 710a, 720a, 810a, 820a: 아이들러521a, 521b, 522a, 522b, 710a, 720a, 810a, 820a: idler

521, 522: 구동풀리 530: 워엄기어521, 522: drive pulley 530: worm gear

611, 612: 아암벨트 700: 경량화용 관통홀611, 612: arm belt 700: through hole for light weight

710, 720, 810, 820: 피동풀리 H: 케이블관710, 720, 810, 820: driven pulley H: cable pipe

Claims (4)

반송챔버 내에 설치되어 기판을 반송하는 기판반송수단에 있어서, A substrate conveying means provided in a conveying chamber to convey a substrate, 상기 반송챔버 내에 가로로 길게 설치되는 로봇본체;A robot body installed horizontally in the conveying chamber; 상기 반송챔버와 연통되도록 상기 반송챔버의 외부에서 상기 반송챔버의 저면에 세로로 결합되는 기둥관;A pillar tube vertically coupled to a bottom surface of the conveying chamber outside the conveying chamber so as to communicate with the conveying chamber; 상기 기둥관 내에 세로로 설치되는 실린더;A cylinder installed vertically in the pillar tube; 가운데에 케이블관이 형성되고 상기 케이블관이 상기 로봇본체의 내부와 연통되도록 윗단이 상기 로봇본체의 저면에 연결되게 상기 실린더 내에 삽입 설치되는 회전축;A rotating shaft having a cable tube formed in the center thereof and inserted into the cylinder such that the upper end thereof is connected to the bottom surface of the robot body so that the cable tube communicates with the inside of the robot body; 상기 로봇본체의 내부에 설치되되 상기 반송챔버의 내부공간과는 분리되는 모터수납공간를 제공하여 아암모터가 수납되는 모터함;A motor box installed in the robot body and providing an motor storage space separated from an inner space of the transfer chamber to accommodate an arm motor; 상기 회전축의 케이블관과 상기 모터함을 연결시키는 연결관;A connecting pipe connecting the cable pipe of the rotary shaft and the motor box; 상기 반송챔버의 외부로부터 상기 케이블관 및 연결관을 통하여 상기 아암모터에 연결되는 전력선;A power line connected to the arm motor from the outside of the transfer chamber through the cable pipe and the connection pipe; 상기 아암모터의 회전축과 연결되어 상기 로봇본체의 양측으로 바퀴형태로 튀어나오도록 설치되는 구동풀리;A driving pulley which is connected to the rotating shaft of the arm motor and installed to protrude in a wheel form to both sides of the robot body; 상기 로봇본체의 양측으로 바퀴형태로 튀어나오며 상기 구동풀리가 사이에 위치하도록 상기 로봇본체의 길이방향 양 끝에 각각 설치되는 피동풀리; A driven pulley which protrudes in a wheel form on both sides of the robot body and is installed at both ends in the longitudinal direction of the robot body such that the driving pulley is positioned therebetween; 상기 구동풀리와 상기 피동풀리에 걸쳐지는 아암벨트; 및An arm belt spanning the drive pulley and the driven pulley; And 상기 아암벨트에 고정 결합되는 아암 고정 브라켓에 의해 지지되어 상기 로봇본체의 상부에 위치하도록 설치되며, 상기 기판을 지지하는 아암 블레이드를 가지는 로봇아암; 을 구비하는 것을 특징으로 하는 기판반송장치. A robot arm supported by an arm fixing bracket fixedly coupled to the arm belt, the robot arm having an arm blade supporting the substrate, the robot arm being installed to be positioned above the robot body; Substrate conveying apparatus comprising a. 제1항에 있어서, 상기 로봇본체의 벽에 경량화용 관통홀이 복수개 형성되는 것을 특징으로 하는 기판반송장치. The substrate transport apparatus of claim 1, wherein a plurality of lightweight through-holes are formed in a wall of the robot body. 제1항에 있어서, 상기 로봇본체가 4개의 판이 조립되어 직사각기둥 형태를 하는 것을 특징으로 하는 기판반송장치. The substrate transport apparatus of claim 1, wherein the robot body has four plates assembled to form a rectangular pillar. 제1항에 있어서, 상기 모터함은 하부아암모터를 수납하는 하부아암 모터함과, 상부아암모터를 수납하는 상부아암 모터함으로 구분되어 설치되고; The motor arm of claim 1, wherein the motor box is divided into a lower arm motor box accommodating the lower arm motor and an upper arm motor box accommodating the upper arm motor; 상기 구동풀리는 상기 하부아암모터에 연결되는 하부아암 구동풀리와, 상기 상부아암모터에 연결되는 상부아암 구동풀리로 구분되어 설치되고;The driving pulley is divided into a lower arm driving pulley connected to the lower arm motor and an upper arm driving pulley connected to the upper arm motor; 상기 피동풀리는 하부아암 피동풀리와 상부아암 피동풀리로 구분되어 설치되되 상기 하부아암 피동풀리와 상부아암 피동풀리가 서로 독립적으로 회전하도록 하나의 축에 설치되며;The driven pulley is divided into a lower arm driven pulley and an upper arm driven pulley and is installed on one shaft such that the lower arm driven pulley and the upper arm driven pulley rotate independently of each other; 상기 하부아암 피동풀리의 전단에는 피동풀리부 하부아암 아이들러가 설치되고, 상부아암 피동풀리의 전단에는 피동풀리부 상부아암 아이들러가 설치되되, 상기 피동풀리부 하부아암 아이들러와 피동풀리부 상부아암 아이들러는 서로 독립적 으로 회전하도록 하나의 축에 설치되며;The lower arm driven pulley is installed at the front end of the driven pulley lower arm idler, and the upper arm driven pulley is provided with the driven pulley upper arm idler, but the driven pulley lower arm idler and the driven pulley upper arm idler are Installed on one axis to rotate independently of each other; 상기 아암벨트는 상기 하부아암 구동풀리와 하부아암 피동풀리에 걸쳐지는 하부아암벨트와, 상기 상부아암 구동풀리와 상부아암 피동풀리에 걸쳐지는 상부아암벨트로 구분되어 설치되며; The arm belt is divided into a lower arm belt that spans the lower arm driving pulley and a lower arm driven pulley, and an upper arm belt that spans the upper arm driving pulley and the upper arm driven pulley; 상기 로봇아암은 상기 하부아암벨트에 연결되는 하부아암과, 상기 하부아암 상부에 위치하는 상부아암으로 구분되어 설치되는 것을 특징으로 하는 기판반송장치. And the robot arm is divided into a lower arm connected to the lower arm belt and an upper arm positioned above the lower arm.
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