KR20100026248A - 레이저 열 전사용 도너기판, 그의 제조방법 및 그를 이용한유기전계발광표시장치의 제조방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 레이저 열 전사용 도너기판, 그의 제조방법 및 그를 이용한 유기전계발광표시장치의 제조방법을 제공하는 것으로써, 기재필름; 기재필름 상에 위치하는 광-열 변환층; 상기 광-열 변환층 상에 위치하는 전사층; 상기 전사층을 포함하는 기재필름 상부에 위치하는 보호용 필름을 포함하며, 상기 보호용 필름은 기재필름과 가장자리의 일부만 부착되어 봉투형태를 이루는 것을 특징으로 하는 레이저 열 전사용 도너 기판을 제공한다.

도너기판, 레이저 열 전사법

Description

레이저 열 전사용 도너기판, 그의 제조방법 및 그를 이용한 유기전계발광표시장치의 제조방법{Donor Substrate For Laser Induced Thermal Imaging, The Fabricating Method Of The Same and The Method Of Fabricating Orgnic Light Emitting Display Device Using the Same}

본 발명은 도너기판, 그의 제조방법 및 그를 이용한 유기전계발광표시장치의 제조방법에 관한 것이다.

평판 표시 장치 중 유기전계발광표시장치는 응답속도가 1ms 이하로서 고속의 응답속도를 가지며, 소비 전력이 낮고, 자체광이므로 시야각에 문제가 없어서, 장치의 크기에 상관없이 동화상 표시 매체로서 장점이 있다. 또한, 저온 제작이 가능하고, 기존의 반도체 공정 기술을 바탕으로 제조 공정이 간단하므로 향후 차세대 평판 표시 장치로 주목받고 있다.

상기 유기전계발광표시장치는 유기전계발광소자로 사용하는 재료와 공정에 따라 습식공정을 사용하는 고분자형 소자와증착공정을 사용하는 저분자형 소자로 크게 나눌 수 있다.

상기 고분자 또는 저분자 발광층의 패터닝 방법 중 잉크젯 프린팅 방법의 경 우 발광층 이외의 유기층들의 재료가 제한적이고, 기판 상에 잉크젯 프린팅을 위한 구조를 형성해야하는 번거로움이 있다. 또한 증착 공정에 의한 발광층의 패터닝 경우 금속 마스크의 사용으로 인해 대형 소자의 제작에 어려움이 있다.

위와 같은 패터닝의 방법을 대체할 수 있는 기술로 레이저 열전사법(LITI : Laser Induced Thermal Imaging)이 최근 개발되고 있다.

레이저 열전사법이란 광원에서 나오는 레이저를 열에너지로 변환하고, 이 열 에너지에 의해 패턴 형성 물질을 대상 기판으로 전사시켜 패턴을 형성하는 방법으로, 이와 같은 방법을 위해서는 전사층이 형성된 도너 기판과 광원, 피사체인 기판이 필요하다.

이때, 상기 기판 상에 화소가 정의된 화소영역 상에 상기 도너기판을 얼라인 한 후 도너 기판 상의 전사층을 전사하는 과정에서 화소영역의 에지영역에 공기가 압축되는 현상이 발생한다. 그리고 기판쪽으로 전사물질을 밀어낼때 공기가 압축되며 에지부분이 터져나가는 현상이 발생하게되는데 이 때문에 레이저 열 전사 과정에서 불량이 발생하는 문제점이 있다.

또한, 종래의 레이저 열 전사법을 진행할 시에는 발광층 또는 유기막 물질이 산화되거나 오염되어 소자 성능 열화 문제도 발생하는 문제점도 발생하고 있다.

상기 문제점을 해결하고자, 본 발명에서는 봉투형태의 레이저 열 전사용 도너기판을 제공함으로써, 진공상태에서 레이저 열 전사법에 의한 유기전계발광표시장치를 제조하는 방법을 제공하고자 한다.

본 발명은 도너기판, 그의 제조방법 및 그를 이용한 유기전계발광표시장치의 제조방법을 제공하는 것으로써, 기재필름; 기재필름 상에 위치하는 광-열 변환층; 상기 광-열 변환층 상에 위치하는 전사층; 상기 전사층을 포함하는 기재필름 상부에 위치하는 보호용 필름을 포함하며, 상기 보호용 필름은 기재필름과 가장자리의 일부만 부착되어 봉투형태를 이루는 것을 특징으로 하는 레이저 열 전사용 도너 기판을 제공한다.

그리고, 기재필름을 준비하고, 상기 기재필름 상에 광-열 변환층을 형성하고, 상기 광-열 변환층에 전사층을 형성하고, 상기 전사층을 포함하는 상기 기재필름 상부에 위치하는 보호용 필름을 형성하되, 상기 기재필름과 상기 보호용 필름은 가장자리의 일부만 부착하여 봉투형태를 이루도록 형성하는 것을 특징으로 하는 레이저 열 전사용 도너기판의 제조방법을 제공한다.

또한, 기판을 형성하고, 상기 기판 상에 위치하는 제 1 전극을 형성하고, 상기 제 1 전극 상에 화소정의막을 형성하고, 상기 기판을 전사층이 형성된 기재필름을 포함하는 봉투형 도너기판 내에 배치시키고, 상기 봉투형 도너기판 내의 공기를 흡기하여 진공처리하고, 상기 도너기판에 레이저를 조사하여 전사층을 상기 기판 상으로 전사시키고, 상기 봉투형 도너기판에서 상기 기판을 분리하고, 상기 기판 상에 제 2 전극을 형성하는 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시장치의 제조방법을 제공한다.

그리고 기판을 준비하고, 상기 기판에 제 1 전극을 형성하고, 상기 제 1 전극 상에 전사층을 구비하는 레이저 열 전사용 도너기판을 배치하여 얼라인 하고, 상기 얼라인 된 기판과 레이저 열 전사용 도너기판을 진공봉투에 넣고 흡기하여 진공상태로 형성하고, 상기 레이저 열 전사용 도너기판 상에 레이저를 조사하여 전사층을 상기 기판으로 전사하고, 상기 진공봉투를 제거하고, 상기 기판 상에 제 2 전극을 형성하는 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시장치의 제조방법을 제공한다.

본 발명은 진공상태에서 레이저 열 전사법을 진행하여 유기전계발광표시장치를 제조할 수 있는 방법을 제공함으로써, 종래의 레이저 열 전사법시 발생하였던, 에지오픈의 문제점과 산화, 오염에 의한 소자 열화에서 발생하는 문제점을 해결하여 불량을 줄이고, 제품의 수율을 향상 시킬 수 있는 효과가 있다.

이하, 실시예를 예로 들어 본 발명을 설명한다.

<실시예 1>

도 1a는 본발명의 실시예 1에 따른 열 전사용 도너기판에 관한 도면이다.

도 1a를 참조하면, 기재필름(100) 상에 보호용 필름(150)이 마주하는 형태로 상기 기재필름(100) 및 보호용 필름(150)의 가장자리 부분이 서로 접착되어 있다. 그러므로 상기 기재필름(100)과 보호용 필름(150)이 봉투형태를 이룬다.

도 1b 및 1c는 실시예 1에 따른 열전사용 도너기판에 관한 단면도이며, 도 1a를 Ⅰ방향으로 다른 단면도이다.

도 1b를 참조하면, 상기 기재필름(100) 상에 광-열변환층(102)가 위치하고, 상기 광-열 변환층(102) 상에 전사시키고자 하는 전사층(105)가 위치한다.

상기 기재필름(100)은 투명성 고분자로 이루어져 있는데, 이러한 고분자로는 폴레에틸렌 테레프탈레이트와 같은 폴리에스테르, 폴리아크릴, 폴리에폭시, 폴리에틸렌, 폴리스티렌 등을 사용한다. 그 중에서 폴리에틸렌 테레프탈레이트 필름을 주로 사용한다. 기재 필름의 두께는 10 내지 500 ㎛인 것이 바람직하며, 이 기재 필름의 역할은 지지필름으로서의 역할을 수행하며 복합적인 다중계도 사용 가능하다.

상기 광-열 변환층(102)은 적외선-가시광선 영역의 빛을 흡수하는 성질을 갖고 있는 광흡수성 물질로 형성한다. 이러한 특성을 갖고 있는 막으로서 알루미늄, 그 산화물 및 황화물로 이루어진 금속막 그리고 카본 블랙, 흑연이나 적외선 염료가 첨가된 고분자로 이루어진 유기막이 있다. 이때 금속막은 진공 증착법, 전자빔 증착법 또는 스퍼터링을 이용하여 100 내지 5,000 Å 두께로 형성하며, 유기막의 경우에는 일반적인 필름코팅 방법인 압출(extrusion), 스핀(spin), 및 나이프(knife) 코팅 방법을 이용하여 0.1 내지 10 ㎛ 두께가 바람직하다.

그리고 나서, 상기 광-열 변환층(102) 상에 전사층(105)를 형성한다. 상기 전사층(105)은 고분자 또는 저분자 물질의 유기막으로 형성할 수 있으며, 이때 전 사층의 형성은 일반적인 코팅 방법인 압출, 스핀, 나이프 코팅 방법, 진공 증착법, CVD 등의 방법을 이용하여 100 내지 50,000 Å 두께로 코팅한다.

도 1c를 참조하면, 상기와 같이 기재필름(100) 상에 광-열 변환층(102) 및 전사층(105)을 형성한 후에, 상기 기재필름(100) 상부에 전면에 위치하는 보호용 필름(150)을 형성한다. 이때 상기 기재필름(100)과 상기 보호용 필름(150)을 마주하게 한 뒤, 열을 가하여 가장자리를 접착시켜 봉투형태를 완성한다. 상기 열은 상기 기재필름(100)과 보호용 필름(150) 접착될수 있는 정도만 가하면 되며, 상기 가장자리 접착시에는 기판(도 1에 도시, 200)이 들어갈 수 있는 너비만큼을 남겨두며 접착한다.

상기 보호용 필름(150)은 돌기(150a)를 구비하는데, 상기 돌기(150a)는 진공처리시 공기가 지나갈수 있는 통로의 역할을 할 수 있게 하며, 상기 보호용 필름(150)은 일반적인 진공 포장용 필름이면 사용 가능하고, 바람직하게는 폴리에스테르계 필름, 나일론 등의 가스투과율이 낮은 필름을 이용한다.

상기와 같이, 진공상태에서 전사가 가능한 레이저 열 전사용 도너기판을 완성하며, 상기와 같은방법으로 레이저 열 전사법을 실시한다.

도 1d 및 1e는 상기 레이저 열 전사용 도너기판을 이용하여 전사층을 전사하는 방법에 대한 도면이다.

도 1d를 참조하면, 상기와 같이 형성한 봉투형태의 레이저 열 전사용

도너기판(A) 안에 전사층을 형성할 기판(200)을 위치시킨다. 이때, 상기 전사층이 형성될 기판(200)의 면과 전사할 전사층(105)이 마주보도록 형성한다. 그리 고 나서, 상기 봉투형태의 레이저 열 전사용 도너기판(A)에 진공을 걸어 진공상태로 만들어 준다.

그 후에, 통상적인 레이저 열 전사법에 이용되는 레이저를 가하여, 전사하고자 하는 전사층패턴(105a)을 상기 기판(200) 상으로 전사시킨다.

그러므로, 도1e를 참조하여, 상기와 같은 방법으로 상기 기판(200) 상에 전사층패턴(150a)을 형성한다.

<실시예2>

도 2a 내지 도 2b는 본 발명의 <실시예2>에 따른 따른 레이저 열 전사용 도너기판 및 그를 이용한 전사층의 전사방법에 관한 도면이다.

도 2a를 참조하면, 기재필름(300) 상에 광-열 변환층(302)를 형성한다. 그리고 나서 상기 광-열 변환층(302) 상에 전사층(305)을 형성하여 레이저 열 전사용 도너기판을 형성한다. 상기 기재필름(300), 광-열 변환층(302) 및 전사층(305)의 형성방법은 상기 <실시예1>에서와 동일하며, 중복을 피하기 위하여 생략한다. 상기와 같이 전사층(305)이 구비된 기재필름(300)을 형성하여 도너기판을 완성한다.

도 2b를 참조하면, 상기와 광-열 변환층(302) 및 전사층(305)가 형성된 기재필름(300)으로 형성된 도너기판의 전사층(305)이 기판(400)과 마주하게 하여, 두장의 보호용 필름(500)으로 이루어진 진공봉투(B)에 넣는다.

상기 보호용 필름(150)은 돌기(150a)를 구비하는데, 상기 돌기(150a)는 진공처리시 공기가 지나갈수 있는 통로의 역할을 할 수 있게 하며, 상기 보호용 필름(150)은 일반적인 진공 포장용 필름이면 사용 가능하고, 바람직하게는 폴리에스 테르계 필름, 나일론 등의 가스투과율이 낮은 필름을 이용한다.

도 2c 및 도 2d를 참조하면, 상기와 같이 기재기판(300) 및 기판(400)을 진공봉투(B)에 넣고 진공을 걸어 진공상태를 유지한 뒤, 상기 도너기판 상에 레이저를 조사하여 전사하고자 하는 전사층패턴(305a)를 기판(400) 상에 전사하도록 한다.

<실시예3>

도 3은 본 발명에 따른 유기전계발광표시장치의 제조방법에 관한것으로써, 도 3을 참조하며, 기판(400)을 형성하고, 상기 기판(400) 상에 제 1 전극(410)을 형성한다.

그리고 나서, 상기 제 1 전극(410)을 포함하는 기판(400)을 상기 <실시예1>에 따른 레이저 열 전사용 도너기판(도 1c에 도시)을 이용하여 레이저 열 전사법을 실시하고, 전사층(420)을 혀 상기 제 1 전극(410) 상에 유기막층(420)을 형성한다.

그리고 나서, 상기 기판(400) 전면에 걸쳐 제 2 전극(430)이 형성되어 유기전계발광표시장치를 완성한다.

상기 <실시예3>은 <실시예1>의 도너기판을 이용하여 전사층을 형성하는 것으로 서술하였으나, <실시예2>에 서술된 레이저 열 전사법을 이용하여 형성할 수도 있다.

도 1 a 내지 도 1c는 본 발명의 실시예1 따른 레이저 열 전사용 도너기판에 관한 도면이다.

도 1d 및 1e는 상기 레이저 열 전사용 도너기판이용하여 전사층을 전사하는 방법에 대한 도면이다.

도 2a 내지 도 2d는 본 발명의 실시예2 따른 레이저 열 전사용 도너기판 및 그를 이용한 전사층의 전사방법에 대한 도면이다.

도 3은 본 발명의 실시예 3 따른 유기전계발광표시장치의 제조방법에 관한 도면이다.

Claims (13)

1. 기재필름;

   기재필름 상에 위치하는 광-열 변환층;

   상기 광-열 변환층 상에 위치하는 전사층;

   상기 전사층을 포함하는 기재필름 상부에 위치하는 보호용 필름을 포함하며, 상기 보호용 필름은 기재필름과 가장자리의 일부만 부착되어 봉투형태를 이루는 것을 특징으로 하는 레이저 열 전사용 도너 기판.
2. 제 1항에 있어서,

   상기 보호용 필름은 돌기부를 구비하는 것을 특징으로 하는 레이저 열 전사용 도너 기판.
3. 제 2항에 있어서,

   상기 보호용 필름의 돌기부는 기재필름을 향한 면에 위치하는 것을 특징으로 하는 레이저 열 전사용 도너 기판.
4. 제 1항에 있어서,

   상기 전사층과 상기 보호용 필름은 분리되어 있는 것을 특징으로 하는 레이저 열 전사용 도너 기판.
5. 제 1항에 있어서,

   상기 보호용 필름은 진공 포장용 필름인 것을 특징으로 하는 레이저 열 전사용 도너 기판.
6. 기재필름을 준비하고,

   상기 기재필름 상에 광-열 변환층을 형성하고,

   상기 광-열 변환층에 전사층을 형성하고,

   상기 전사층을 포함하는 상기 기재필름 상부에 위치하는 보호용 필름을 형성하되, 상기 기재필름과 상기 보호용 필름은 가장자리의 일부만 부착하여 봉투형태를 이루도록 형성하는 것을 특징으로 하는 레이저 열 전사용 도너 기판의 제조방법.
7. 제 6항에 있어서,

   상기 전사층은 상기 보호용 필름과 분리되어 있는 것을 특징으로 하는 레이저 열 전사용 도너 기판의 제조방법.
8. 제 6항에 있어서,

   상기 기재필름은 돌기부를 구비하는 것을 사용하는 것을 특징으로 하는 레이저 열 전사용 도너 기판의 제조방법.
9. 제 6항에 있어서,

   상기 보호용 필름은 돌기부가 형성되어 있는 면이 상기 기재필름을 향하도록 위치시킨 후, 상기 기재필름과 가장자리를 부착하는 것을 특징으로 하는 레이저 열 전사용 도너 기판의 제조방법.
10. 제 6항에 있어서,

    상기 가장자리의 일면은 접착하지 않는 것을 특징으로 하는 레이저 열 전사용 도너 기판의 제조방법.
11. 기판을 형성하고,

    상기 기판 상에 위치하는 제 1 전극을 형성하고,

    상기 제 1 전극 상에 화소정의막을 형성하고,

    상기 기판을 전사층이 형성된 기재필름을 포함하는 레이저 열 전사용 도너기판 내에 배치시키고,

    상기 봉투형 도너 기판 내의 공기를 흡기하여 진공처리하고,

    상기 도너 기판에 레이저를 조사하여 전사층을 상기 기판 상으로 전사시키고,

    상기 봉투형 도너 기판에서 상기 기판을 분리하고,

    상기 기판 상에 제 2 전극을 형성하는 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시 장치의 제조방법.
12. 제 11항에 있어서,

    상기 봉투형 도너 기판은 기재필름; 기재필름 상에 위치하는 광-열 변환층; 상기 광-열 변환층 상에 위치하는 전사층; 상기 전사층을 포함하는 기재필름 상부에 위치하는 보호용 필름을 포함하며, 상기 보호용 필름은 기재필름과 가장자리의 일부만 부착되어 봉투형태로 이루어진 레이저 열 전사용 도너 기판인 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시장치의 제조방법.
13. 기판을 준비하고,

    상기 기판에 제 1 전극을 형성하고,

    상기 제 1 전극 상에 전사층을 구비하는 레이저 열 전사용 도너 기판을 배치하여 얼라인 하고,

    상기 얼라인 된 기판과 레이저 열 전사용 도너 기판을 진공봉투에 넣고 흡기하여 진공상태로 형성하고,

    상기 레이저 열 전사용 도너기판 상에 레이저를 조사하여 전사층을 상기 기판으로 전사하고,

    상기 진공봉투를 제거하고,

    상기 기판 상에 제 2 전극을 형성하는 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시장치의 제조방법.

Images