KR20100018964A - 프로브 카드를 테스트하기 위한 장치 - Google Patents

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KR20100018964A
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이승태
이재영
고범길
신상훈
심현수
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티에스씨멤시스(주)
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Abstract

개시된 프로브 카드를 테스트하기 위한 장치는 일면에는 피검사체와 전기 접촉하는 프로브 팁들을 구비하고, 타면에는 상기 프로브 팁들과 전기적으로 연결되는 채널 단자들을 구비하는 프로브 카드에 있어서, 상기 채널 단자들 중에서 일부의 채널 단자들에만 접촉 가능한 사이즈를 갖고, 상기 일부의 채널 단자들에 접촉함에 의해 상기 일부의 채널 단자들과 전기적으로 연결된 프로브 팁들로부터의 전기 신호를 전달받는 접촉부, 및 상기 접촉부와 전기적으로 연결되고, 상기 접촉부로부터 전달되는 전기 신호에 의해 상기 프로브 카드의 전기적 상태를 확인하는 확인부를 포함한다.

Description

프로브 카드를 테스트하기 위한 장치{Apparatus for testing electric condition of probe card}
본 발명은 프로브 카드를 테스트하기 위한 장치에 관한 것으로써, 보다 상세하게는 일면에는 피검사체와 전기 접촉하는 프로브 팁들을 구비하고, 타면에는 상기 프로브 팁들과 전기적으로 연결되는 채널 단자들을 구비하는 프로브 카드를 테스트하기 위한 장치에 관한 것이다.
일반적으로, 프로브 카드는 프로브 팁(probe tip)들을 사용하여 회로 패턴이 형성된 반도체 기판 등과 같은 피검사체에 전기적으로 접촉시키고, 피검사체와의 전기적 접촉에 의해 인터페이싱(interfacing)되는 전기 신호로써 피검사체의 전기적 상태를 판단하는 구성을 갖는다. 특히, 프로브 카드를 사용한 피검사체의 전기적 상태에 대한 검사는 주로 테스트 핸들러, 프로브 스테이션 등과 주변 장치에 프로브 카드를 탑재시킨 상태에서 이루어진다.
그리고 언급한 프로브 카드를 사용한 피검사체의 전기적 상태에 대한 검사에서는 프로브 카드에 결함이 있을 경우 피검사체의 전기적 상태를 정확하게 검사하지 못하기 때문에 프로브 카드 자체 신뢰성이 매우 중요하다. 이에, 프로브 카드를 사용한 피검사체의 전기적 상태에 대한 검사의 수행에서는 프로브 카드 자체에 대한 신뢰성 테스트를 수시로 수행하고 있다. 그러므로 프로브 카드를 테스트하는 장치(이하, '테스트 장치'라고도 한다)를 사용하여 언급한 프로브 카드에 대한 신뢰성을 수시로 테스트하고 있다.
언급한 테스트 장치에 대한 일 예는 대한민국 등록특허 제787,829호에 개시되어 있다. 그리고 대한민국 등록특허 제787,829호를 포함한 대부분의 테스트 장치를 사용한 프로브 카드에 대한 신뢰성 테스트에서는 언급한 주변 장치에 탑재된 프로브 카드를 주변 장치로부터 분리시켜야 한다. 즉, 언급한 주변 장치로부터 프로브 카드를 분리시키고, 그리고 테스트 장치에 프로브 카드를 탑재시킨 후, 프로브 카드에 대한 신뢰성 테스트를 수행하는 것이다.
이와 같이, 프로브 카드의 신뢰성 테스트를 주변 장치에 프로브 카드를 탑재시킨 상태에서 수행하지 못하기 때문에 신뢰성 테스트에 따른 시간이 지연될 뿐만 아니라 피검사체를 제조하는 제조 라인 내에서 실시간으로 수행하는 것이 용이하지 않다. 또한, 프로브 카드의 종류에 따른 테스트 장치의 호환이 용이하지 않기 때문에 프로브 카드의 신뢰성 테스트를 수행할 때 혼동이 발생하는 경우도 있다.
본 발명의 제1 목적은 테스트 핸들러, 프로브 스테이션 등과 같은 주변 장치에 프로브 카드가 탑재된 상태에서 프로브 카드의 신뢰성 테스트가 가능한 프로브 카드를 테스트하기 위한 장치를 제공하는데 있다.
본 발명의 제2 목적은 언급한 프로브 카드를 테스트하기 위한 장치를 부재로 갖는 시스템적 구성을 갖는 프로브 카드를 테스트하기 위한 장치를 제공하는데 있다.
상기 제1 목적을 달성하기 위한 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 프로브 카드를 테스트하기 위한 장치는 일면에는 피검사체와 전기 접촉하는 프로브 팁들을 구비하고, 타면에는 상기 프로브 팁들과 전기적으로 연결되는 채널 단자들을 구비하는 프로브 카드에 있어서, 상기 채널 단자들 중에서 일부의 채널 단자들에만 접촉 가능한 사이즈를 갖고, 상기 일부의 채널 단자들에 접촉함에 의해 상기 일부의 채널 단자들과 전기적으로 연결된 프로브 팁들로부터의 전기 신호를 전달받는 접촉부, 및 상기 접촉부와 전기적으로 연결되고, 상기 접촉부로부터 전달되는 전기 신호에 의해 상기 프로브 카드의 전기적 상태를 확인하는 확인부를 포함한다.
상기 제2 목적을 달성하기 위한 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 프로브 카드를 테스트하기 위한 장치는 피검사체가 놓여지는 제1 척과, 일면에는 상기 피검사체와 전기 접촉하는 프로브 팁들을 구비하고, 타면에는 상기 프로브 팁들과 전 기적으로 연결되는 채널 단자들을 구비하는 프로브 카드가 놓여지고, 상기 제1 척 상부에 위치하면서 상기 프로브 팁들이 상기 피검사체와 전기 접촉 가능한 개구를 갖는 제2 척과, 상기 제1 척 및/또는 제2 척과 연결되고, 상기 프로팁 팁들과 피검사체의 전기 접촉이 가능하게 상기 제1 척 및/또는 제2 척의 높이를 조절하는 높이 조절부, 및 상기 채널 단자들 중에서 일부의 채널 단자들에만 접촉 가능한 사이즈를 갖고, 상기 일부의 채널 단자들에 접촉함에 의해 상기 일부의 채널 단자들과 전기적으로 연결된 프로브 팁들로부터의 전기 신호를 전달받는 접촉부와, 상기 접촉부와 전기적으로 연결되고, 상기 접촉부로부터 전달되는 전기 신호에 의해 상기 프로브 카드의 전기적 상태를 확인하는 확인부를 구비하는 테스터를 포함한다.
상기 실시예들에 따른 프로브 카드를 테스트하기 위한 장치에서, 상기 접촉부는 상기 프로브 카드의 종류에 따라 호환 가능하게 상기 확인부로부터 분리되는 구조를 가질 수 있다.
상기 실시예들에 따른 프로브 카드를 테스트하기 위한 장치에서, 상기 확인부는 상기 프로브 카드의 전기적 상태를 표시하는 더 표시부를 포함할 수 있고, 특히 상기 표시부는 칩-엘이디를 구비하는 디스플레이부, 부저를 구비하는 경보부 등을 포함할 수도 있다.
상기 실시예들에 따른 프로브 카드를 테스트하기 위한 장치에서, 상기 프로브 팁들 각각에 단독 접촉 가능한 핀 구조를 갖고, 상기 프로브 팁들 각각의 전기적 상태를 확인하도록 상기 접촉부를 사용하여 상기 일부의 채널 단자들에 접촉시킬 때 상기 일부의 채널 단자들과 전기적으로 연결된 프로브 팁들 각각에 단독 접 촉시키는 을 더 포함할 수 있다.
상기 실시예들에 따른 프로브 카드를 테스트하기 위한 장치에서, 상기 장치는 베터리(battery)를 전원으로 사용함으로써 휴대가 가능한 것이 바람직하다.
이와 같이, 본 발명에 따른 프로브 카드를 테스트하기 위한 장치는 프로브 카드의 일부 채널 단자들에만 접촉 가능한 사이즈를 갖는 접촉부와 접촉부로부터 전달되는 전기 신호에 의해 프로브 카드의 전기적 상태 확인하는 확인부를 포함한다. 그러므로 본 발명의 프로브 카드를 테스트하기 위한 장치는 테스트 핸들러, 프로브 스테이션 등과 같은 주변 장치에 프로브 카드가 탑재된 상태에서도 프로브 카드의 전기적 상태 즉, 신뢰성 테스트를 수행할 수 있다.
이에, 본 발명의 프로브 카드를 테스트하기 위한 장치는 프로브 카드의 신뢰성 테스트를 피검사체를 제조하는 제조 라인 내에서 실시간으로 용이하게 수행할 수 있어 신뢰성 테스트에 따른 시간을 충분하게 단축시킬 수 있다. 아울러 언급한 바와 같이 제조 라인 내에서 실시간으로 프로브 카드의 신뢰성 테스트를 수행할 수 있기 때문에 프로브 카드의 결함에 대한 조치를 즉각적으로 취할 수 있다.
또한, 프로브 카드의 종류에 따라 호환 가능한 구조로 접촉부를 마련함으로써 다양하게 마련되는 프로브 카드에 대해서도 혼동없이 신뢰성 테스트를 용이하게 수행할 수 있다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 대해 상세히 설명한다. 본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성 요소에 대해 사용하였다. 첨부된 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 본 발명의 명확성을 기하기 위하여 실제보다 확대하여 도시한 것이다.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
실시예 1
도 1은 본 발명의 실시예 1에 따른 프로브 카드를 테스트하기 위한 장치를 나타내는 개략적인 사시도이다.
도 1을 참조하면, 프로브 카드를 테스트하기 위한 장치(이하, '테스트 장치'라고도 한다)(100)는 접촉부(11), 확인부(13) 등을 포함한다.
먼저 언급한 테스트 장치(100)를 사용한 신뢰성 테스트가 이루어지는 프로브 카드에 대해서는 후술하기로 한다.
구체적으로, 접촉부(11)는 프로브 카드의 채널 단자들과 접촉하는 부재이다. 이에, 접촉부(11)는 일부 채널 단자들에 접촉함에 의해 일부의 채널 단자들과 전기적으로 연결된 프로브 팁들로부터 전기 신호를 전달받는다. 특히, 접촉부(11)는 채널 단자들 중에서 일부의 채널 단자들에만 접촉 가능한 사이즈를 갖는다. 이와 같이, 일부 채널 단자들에만 접촉 가능한 사이즈를 갖게 접촉부(11)를 형성하는 것은 후술하는 바와 같이 테스트 장치(100)의 휴대성을 도모하기 위함이다.
그리고 확인부(13)는 접촉부(11)와 전기적으로 연결되는 부재이다. 이에, 확인부(13)는 접촉부(11)로부터 전달되는 전기 신호에 의해 프로브 카드의 전기적 상태를 확인한다. 특히, 확인부(13)는 프로브 카드의 전기적 상태의 확인이 가능하게 접촉부(11)로부터 전달되는 전기 신호를 분석할 수 있어야 한다. 이에, 확인부(13)는 접촉부(11)로부터 전달되는 전기 신호를 분석할 수 있는 프로그램이 내장된 IC 칩 등을 포함할 수 있다. 즉, 확인부(13)는 접촉부(11)로부터 전달되는 전기 신호의 리딩(reading)이 가능한 프로그램을 포함할 수 있는 것이다.
아울러 확인부(13)는 프로브 카드의 전기적 상태를 확인하고, 그 결과를 표시할 수 있는 표시부(15)를 더 포함할 수 있다. 특히, 표시부(15)는 디스플레이부(15a)로써 점등이 가능한 부재, 경보부(15b)로써 알람이 가능한 부재 등을 포함할 수 있다. 이에, 표시부(15)는 점등이 가능한 디스플레이부(15a)로써 주로 칩-엘이디(chip-LED) 등을 구비할 수 있고, 알람이 가능한 경보부(15b)로써 부저 등을 구비할 수 있다. 아울러 디스플레이부(15a)로써 칩-엘이디를 구비하는 것은 프로브 카드의 프로브 팁과 동일한 배열을 갖도록 구비할 수 있기 때문이다. 즉, 디스플레이부(15a)로써 칩-엘이디를 구비할 경우에는 칩-엘이디의 배열을 프로브 카드의 프로브 팁과 동일하게 구비하는 것이다. 이와 같이, 디스플레이부(15a)의 칩-엘이디의 배열을 프로브 카드의 프로브 팁과 동일하게 구비하는 것은 테스트 장치(100)를 사용하여 프로브 카드의 전기적 상태, 즉 신뢰성 테스트를 수행할 때 프로브 팁들 중에서 어느 프로브 팁에 이상이 있는 가를 즉각적으로 판단하기 위함이다. 또한, 언급한 표시부(15)는 디스플레이부(15a), 경보부(15b)를 단독으로 마련할 수도 있지만, 주로 디스플레이부(15a)와 경보부(15b)를 함께 마련한다. 이와 같이, 확인부(13)가 언급한 표시부(15)를 더 포함할 경우에는 확인부(13)는 접촉부(11)로부터 전달되는 전기 신호의 리딩이 가능한 프로그램 이외에도 표시부(15)를 제어하는 프로그램을 더 포함할 수 있다. 이에, 확인부(13)는 접촉부(11)로부터 전달되는 전기 신호의 리딩하고, 그 결과로써 표시부(15)를 제어하는 구성을 갖는다.
그리고 확인부(13)의 경우에도 접촉부(11) 정도의 사이즈를 갖도록 구비하는 것이 가능하다. 즉, 언급한 바와 같이 확인부(13)는 주로 IC 칩 등을 구비하고, 표시부(15)로써 칩-엘이디와 같은 디스플레이부(15a)와, 부저와 같은 경보부(15b) 등을 더 구비하는 정도이기 때문에 접촉부(11)와 유사한 사이즈를 갖도록 구비할 수 있는 것이다. 이에, 언급한 접촉부(11)와 확인부(13)를 포함하는 테스트 장치(100)의 경우에는 휴대가 가능하게 구비할 수 있다. 아울러 휴대가 가능하게 테스트 장치(100)를 마련함으로써 테스트 장치(100)의 전원은 주로 베터리(battery)(도시되지 않음)를 사용하는 것이 바람직하고, 경우에 따라서는 일반적인 전원의 공급이 가능하게 연결되는 소켓을 구비하는 케이블로 마련할 수도 있다. 언급한 바와 같이, 전원으로써 베터리를 사용할 경우에는 테스트 장치(100)의 휴대가 보다 용이할 수 있다.
또한, 언급한 테스트 장치(100)의 경우에는 접촉부(11)와 확인부(13)를 서로 직접적으로 연결할 수도 있다. 이 경우에는 주로 접촉부(11)와 확인부(13) 서로를 연결하는 부분을 커넥터-핀 등으로 마련함으로써 달성할 수 있다. 그러나 본 발명의 테스트 장치(100)는 양측에 커넥터-핀을 구비하는 케이블(19)을 사용하여 접촉부(11)와 확인부(13)를 연결할 수 있다. 이와 같이, 언급한 케이블(19)을 사용하여 접촉부(11)와 확인부(13)를 연결하는 것은 테스트 장치(100)를 사용하여 프로브 카드의 신뢰성 테스트를 수행할 때 그 편의성을 도모하기 위함이다. 즉, 언급한 바와 같이 접촉부(11)와 확인부(13) 사이를 케이블(19)로 연결할 경우에는 테스트 장치(100)의 취급이 보다 용이하기 때문이다.
아울러 접촉부(11)의 경우에는 언급한 바와 같이 커넥터-핀 등을 이용하여 확인부(13)와 연결할 수 있기 때문에 확인부(11)로부터 분리시킬 수 있는 구조를 갖는다. 이에, 접촉부(11)는 프로브 카드의 종류에 따라 용이하게 호환할 수 있다. 그리고 접촉부(11)의 호환을 위한 분리는 언급한 케이블(19)을 이용할 경우에도 마찬가지이다. 즉, 케이블(19)의 경우에도 커넥터-핀 등을 이용하여 접촉부(11)와 연결하기 때문에 가능한 것이다. 이와 같이, 확인부(13)로부터 접촉부(11)를 용이하게 분리시킬 수 있음에 의해 프로브 카드의 종류에 따라 접촉부(11)를 용이하게 호환할 수 있고, 그 결과 다양하게 마련되는 프로브 카드에 대해서도 혼동없이 신뢰 성 테스트를 용이하게 수행할 수 있다.
또한, 본 발명의 테스트 장치(100)는 (17)을 더 포함할 수 있다. 언급한 (17)은 프로브 카드의 프로브 팁 각각에 단독 접촉이 가능한 구조를 갖는다. 이에, (17)은 그 단부를 핀 구조를 갖도록 마련한다. 여기서 (17)은 프로브 카드의 프로브 팁들 각각의 전기적 상태를 확인하기 위한 부재로써, 접촉부(11)를 사용하여 프로브 카드의 일부 채널 단자들에만 접촉시킬 때 언급한 일부 채널 단자들과 전기적으로 연결된 프로브 팁들 각각에 접촉시키는 구성을 갖는다. 이와 같이, 언급한 (17)을 사용할 경우에는 프로브 카드의 신뢰성 테스트를 보다 정확하게 수행할 수 있다. 즉, (17)을 사용할 경우에는 프로브 카드의 프로브 팁들 중에서 특정 프로브 팁에 대한 전기적 상태를 확인할 수 있을 뿐만 아니라 특정 프로브 팁의 오픈/쇼트(open/short) 등과 같은 보다 정확한 전기적 상태를 확인할 수 있다.
이와 같이, 언급한 본 발명의 테스트 장치(100)는 접촉부(11)와 확인부(13)를 구비하고, 더불어 표시부(15)와 (17) 등을 더 구비함으로써 프로브 카드의 신뢰성 테스트를 원만하게 수행할 수 있을 뿐만 아니라 프로브 카드의 채널 단자들 중에서 일부 채널 단자들에만 접촉 가능한 사이즈를 갖도록 접촉부(11)를 구비시키고, 테스트 핸들러, 프로브 스테이션 등과 같은 주변 장치에 프로브 카드가 탑재된 상태에서도 프로브 카드의 전기적 상태 즉, 신뢰성 테스트를 수행할 수 있다.
그러므로 본 발명의 테스트 장치(100)는 프로브 카드의 신뢰성 테스트를 피검사체를 제조하는 제조 라인 내에서 실시간으로 용이하게 수행할 수 있어 신뢰성 테스트에 따른 시간을 충분하게 단축시킬 수 있다. 아울러 언급한 바와 같이 제조 라인 내에서 실시간으로 프로브 카드의 신뢰성 테스트를 수행할 수 있기 때문에 프로브 카드의 결함에 대한 조치를 즉각적으로 취할 수 있다. 또한, 프로브 카드의 종류에 따라 호환 가능한 구조로 접촉부(11)를 마련함으로써 다양하게 마련되는 프로브 카드에 대해서도 혼동없이 신뢰성 테스트를 용이하게 수행할 수 있다.
이하, 언급한 도 1의 테스트 장치를 사용하는 예들을 설명하기로 한다.
도 2는 도 1의 프로브 카드를 테스트하기 위한 장치를 사용하는 일 예를 나타내는 도면이고, 도 3은 도 1의 프로브 카드를 테스트하기 위한 장치를 사용하는 다른 예를 나타내는 도면이다.
도 2 및 도 3을 참조하면, 도 1의 테스트 장치(100)를 사용하여 신뢰성 테스트를 수행하기 위한 프로브 카드(200)가 구비된다. 여기서 프로브 카드(200)는 피검사체(300)와 전기 접촉하는 프로브 팁(25)들이 일면에 구비되고, 그리고 프로브 팁(25)들과 전기적으로 연결되는 채널 단자(29)들이 타면에 구비된다. 아울러 언급한 피검사체(300)는 반도체 기판 등을 포함한다.
구체적으로, 프로브 카드(200)는 단일 기판 구조 또는 복합 기판 구조로 구비할 수 있다.
언급한 프로브 카드(200)가 단일 기판 구조로 구비될 경우 단일 기판의 일면에는 프로브 팁(25)들이 위치할 수 있고, 단일 기판의 타면에는 채널 단자(29)들이 위치할 수 있다. 아울러 프로브 카드(200)가 단일 기판인 경우에도 갖더라도 여러 장의 기판이 겹쳐진 다층 구조일 수도 있다.
그리고 프로브 카드(200)가 복합 기판 구조일 경우에는 도 2 및 도 3에 도시 된 바와 같이 제1 기판(21), 제2 기판(23) 그리고 연결부(27) 등을 포함할 수 있다. 여기서 제1 기판(21)은 주로 마이크로 프로브 헤드(micro probe head : MPH), 스페이스 트랜스포머(space transformer : 공간 변형기) 등으로 표현할 수 있고, 제2 기판(23)은 인쇄회로기판(PCB) 등으로 표현할 수 있고, 연결부(27)는 인터포저(interposer), 포고-핀(pogo-pin) 등으로 표현할 수 있다. 이와 같이, 프로브 카드(200)가 제1 기판(21), 제2 기판(23) 그리고 연결부(27)를 포함하는 복합 기판 구조로 이루어질 경우에는 제1 기판(21)의 일면에 프로브 팁(25)들이 위치할 수 있고, 제2 기판(23)의 타면에 채널 단자(29)들이 위치할 수 있다. 여기서 연결부(27)는 제1 기판(21)과 제2 기판(23) 사이에 개재되어 제1 기판(21)과 제2 기판(23) 사이에서 전기 신호를 인터페이싱한다. 아울러 프로브 카드(200)가 복합 기판 구조일 경우에도 제1 기판(21)과 제2 기판(23) 각각은 여러 장의 기판이 겹쳐진 다층 구조일 수도 있다.
그리고 언급한 바와 같이 프로브 카드(200)의 일면에 위치하는 프로브 팁(25)들은 전기 검사를 수행할 때 피검사체(300)와 전기적으로 접촉하는 부재이고, 프로브 카드(200)의 타면에 위치하는 채널 단자(29)들은 전기 검사를 수행할 때 외부 기기와 전기적으로 접속하는 부재이다.
이에, 언급한 프로브 카드(200)를 이용한 피검사체(300)의 전기 검사에서는 프로브 팁(25)들과 외부 기기 사이에서 인터페이싱되는 전기 신호로써 피검사체(300)의 전기적 상태를 판단한다. 그러므로 프로브 팁(25)들과 채널 단자(29)들 사이는 전기 신호의 인터페이싱을 위한 부재(예들 들면, 배선) 등이 마련된다. 따 라서 본 발명에서의 도 1의 테스트 장치(100)를 사용한 프로브 카드(200)에 대한 신뢰성 테스트는 주로 언급한 인터페이싱을 위한 부재에 결함이 있는 가를 확인하는 것이다. 즉, 도 1의 테스트 장치(100)를 사용한 프로브 카드(200)에 대한 신뢰성 테스트에서는 프로브 팁(25)들과 채널 단자(29)들 사이에서의 전기 신호에 결함이 있는 가를 확인하는 것이다.
언급한 바와 같이, 도 1의 테스트 장치(100)를 사용한 프로브 카드(200)의 신뢰성 테스트에서는 도 2에 도시된 바와 같이 테스트 장치(100)의 접촉부(11)를 프로브 카드(200)의 채널 단자(29)들에 접촉시킨다. 여기서 접촉부(11)에 의해 접촉이 이루어지는 채널 단자(29)들은 프로브 카드(200) 전체의 채널 단자(29)들 중에서 일부 채널 단자(29)들에 해당한다. 그리고 테스트 장치(100)의 접촉부(11)를 프로브 카드(200)의 일부 채널 단자(29)들에 접촉시킬 때 프로브 카드(200)는 테스트 핸들러, 프로브 스테이션 등과 같은 주변 장치 내에 위치한 상태를 유지한다. 이에, 프로브 카드(200)의 프로브 팁(25)들은 피검사체(300)에 접촉된 상태를 유지하고, 따라서 일부 채널 단자(29)들과 전기적으로 연결된 프로브 팁(25)들로부터의 전기 신호를 접촉부(11)가 전달받을 수 있다.
이와 같이, 접촉부(11)로 전달되는 프로브 팁(25)들로부터의 전기 신호는 접촉부(11)와 연결된 확인부(13)로 전달이 이루어지고, 이에 확인부(13)는 언급한 전기 신호에 의해 프로브 카드(200)의 전기적 상태를 확인한다. 즉, 일부 채널 단자(29)들 그리고 일부 채널 단자(29)들과 전기적으로 연결된 프로브 팁(29)들 사이에서의 전기 신호를 확인하는 것이다.
언급한 바와 같이, 전기 신호의 확인을 통하여 테스트 장치(100)의 표시부(15)는 그 결과를 표시한다. 예를 들면, 전기 신호가 폐회로, 즉 결함이 없을 경우에는 표시부(15)의 디스플레이부(15a)가 정상적으로 점등됨과 아울러 표시부(15)의 경보부(15b)의 신호음이 정상적으로 작동한다. 그러나 전기 신호에 이상이 있을 경우에는 표시부(15)의 디스플레이부(15a), 경보부(15b)가 정상적으로 작동하지 않는다. 예를 들면, 전기 신호가 오픈 신호로 확인될 경우 표시부(15)의 디스플레이부(15a)가 점등되지 않고, 또한 표시부(15)의 경보부(15b)의 신호음이 정상적으로 작동하지 않는다. 아울러 전기 신호가 쇼트 신호로 확인될 경우 표시부(15)의 디스플레이부(15a)가 여러 곳에 점등이 이루어지고, 또한 표시부(15)의 경보부(15b)의 신호음이 정상 상태보다 더 크게 작동한다. 여기서 표시부(15)의 동작 관계는 언급한 설명에 한정되지 않고, 작업자가 임의로 설정할 수 있다.
이와 같이, 도 1의 테스트 장치(100)를 사용한 프로브 카드(200)의 신뢰성 테스트는 프로브 카드(200)가 언급한 주변 장치 내에 위치한 상태에서 수행할 수 있다. 이에, 본 발명의 테스트 장치(100)를 사용한 프로브 카드(200)의 신뢰성 테스트는 피검사체(300)를 제조하는 제조 라인 내에서 실시간으로 용이하게 수행할 수 있어 신뢰성 테스트에 따른 시간을 충분하게 단축시킬 수 있다.
아울러 도 3에 도시된 바와 같이 접촉-핀(17)을 사용함으로써 접촉부(11)에 접촉이 이루어지는 일부의 채널 단자(29)들과 전기적으로 연결되는 프로브 팁(25)들 각각의 전기적 상태를 보다 정확하게 확인할 수 있다. 즉, 접촉부(11)를 이용하여 일부의 채널 단자(29)들에 접촉시킬 때 일부의 채널 단자(29)들과 전기적으로 연결된 프로브 팁(25)들 각각에 접촉-핀(17)을 단독 접촉시키는 것이다. 이에, 접촉-핀(17)에 의해 접촉이 이루어지는 해당 프로브 팁(25)이 정상인지, 아니면 오픈 신호로 확인되는지, 쇼트 신호로 확인되는 지를 판단할 수 있다. 언급한 바와 같이, 전기 신호가 오픈 신호로 확인될 경우 표시부(15)의 디스플레이부(15a)가 점등되지 않고, 또한 표시부(15)의 경보부(15b)의 신호음이 정상적으로 작동하지 않는다. 아울러 전기 신호가 쇼트 신호로 확인될 경우 표시부(15)의 디스플레이부(15a)가 여러 곳에 점등이 이루어지고, 또한 표시부(15)의 경보부(15b)의 신호음이 정상 상태보다 더 크게 작동한다. 여기서 접촉-핀(17)을 사용한 프로브 카드(200)의 신뢰성 테스트는 베터리 등과 같은 전원을 이용할 경우 용이하게 수행할 수 있다.
즉, 도 2에서의 프로브 카드(200)의 신뢰성 테스트는 접촉부(11)에 의해 접촉이 이루어지는 채널 단자(29)들과 전기적으로 연결된 프로브 팁(25)들 전체에 대하여 이루어지는 것이고, 도 3에서의 프로브 카드(200)의 신뢰성 테스트는 접촉부(11)에 의해 접촉이 이루어지는 채널 단자(29)들과 전기적으로 연결된 프로브 팁(25)들 각각에 대하여 이루어지는 것으로 이해할 수 있다.
아울러 일부의 채널 단자(29)들과 연결되는 프로브 팁(25)들의 전기적 상태에 대한 확인을 수행한 이후, 접촉부(11)를 이동시킴에 의해 다른 채널 단자(29)들과 연결되는 프로브 팁(25)들의 전기적 상태에 대한 확인을 계속적으로 수행할 수 있다. 뿐만 아니라 확인부(13)로부터 접촉부(11)를 분리시킴에 의해 접촉부(11)를 호환시킴으로써 프로브 카드(200)의 종류에 따른 신뢰성 테스트도 능동적으로 수행할 수 있다.
언급한 바와 같이, 본 발명의 테스트 장치(100)는 휴대가 가능하기 때문에 장소에 구애받지 않고 프로브 카드(200)에 대한 신뢰성 테스트를 수행할 수 있다. 특히, 본 발명의 테스트 장치(100)는 피검사체(300)를 제조하는 제조 라인 내에서 실시간으로 용이하게 수행할 수 있어 신뢰성 테스트에 따른 시간을 충분하게 단축시킬 수 있다. 또한, 프로브 카드(200)의 종류에 따라 호환 가능한 구조로 접촉부(11)를 마련함으로써 다양하게 마련되는 프로브 카드(200)에 대해서도 혼동없이 신뢰성 테스트를 용이하게 수행할 수 있다.
실시예 2
도 4는 본 발명의 실시예 2에 따른 프로브 카드를 테스트하기 위한 장치를 나타내는 개략적인 구성도이다. 그리고 도 4의 프로브 카드를 테스트하기 위한 장치는 도 1의 테스트 장치를 부재로 포함하는 시스템적 구성을 갖는다. 그러므로 도 1의 테스트 장치는 도 4의 테스터와 동일한 구성을 갖는다. 이에, 이하에서는 도 1의 테스트 장치를 테스터로 표현하고, 동일 부재는 동일 부호를 사용하고, 아울러 중복되는 설명은 생략하기로 한다.
도 4를 참조하면, 프로브 카드를 테스트하기 위한 장치(400), 즉 테스트 장치(400)는 제1 척(41), 제2 척(43), 높이 조절부(45), 테스트(100) 등을 포함한다.
먼저, 테스트(100)는 도 1의 테스트 장치와 동일한 구성을 갖는다. 그러므로 테스터(100)는 접촉부(11), 확인부(13)를 포함하고, 아울러 표시부(15), 접촉-핀(17) 등을 더 포함한다.
그리고 제1 척(41)은 피검사체(300)가 놓여지는 부재이고, 제2 척(43)은 프 로브 카드(200)가 놓여지는 부재이다. 특히, 제2 척(43)은 제1 척(41) 상부에 위치하고, 프로브 카드(200)의 프로브 팁(25)들이 피검사체(300)와 전기 접촉 가능한 개구를 갖는다.
또한, 높이 조절부(45)는 제1 척(41), 제2 척(43) 등과 연결된다. 여기서 높이 조절부(45)는 제1 척(41), 제2 척(43) 중에서 어느 하나에만 연결될 수도 있고, 제1 척(41), 제2 척(43) 모두에 연결될 수도 있다. 그리고 본 발명의 경우에는 언급한 높이 조절부(45)를 제1 척(41)에 연결되는 것으로 마련한다. 아울러 높이 조절부(45)는 프로브 카드(200)의 프로팁 팁(25)들과 피검사체(300)의 전기 접촉이 가능하게 제1 척(41), 제2 척(43) 등의 높이를 조절하는 부재로써, 조절이 가능한 스크류 등으로 마련할 수 있다. 이와 같이, 높이 조절부(45)를 마련하는 것은 제1 척(41)과 제2 척(43)을 이용할 때 피검사체(300)와 프로브 카드(200)의 프로브 팁(25)들을 보다 용이하게 접촉시키기 위함이다.
이에, 언급한 도 4의 테스트 장치(400)를 사용할 경우에도 휴대가 가능하기 때문에 장소에 구애받지 않고 프로브 카드(200)에 대한 신뢰성 테스트를 수행할 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시예 1에 따른 프로브 카드를 테스트하기 위한 장치를 나타내는 개략적인 사시도이다.
도 2는 도 1의 프로브 카드를 테스트하기 위한 장치를 사용하는 일 예를 나타내는 도면이다.
도 3은 도 1의 프로브 카드를 테스트하기 위한 장치를 사용하는 다른 예를 나타내는 도면이다.
도 4는 본 발명의 실시예 2에 따른 프로브 카드를 테스트하기 위한 장치를 나타내는 개략적인 구성도이다.

Claims (10)

  1. 일면에는 피검사체와 전기 접촉하는 프로브 팁들을 구비하고, 타면에는 상기 프로브 팁들과 전기적으로 연결되는 채널 단자들을 구비하는 프로브 카드에 있어서,
    상기 채널 단자들 중에서 일부의 채널 단자들에만 접촉 가능한 사이즈를 갖고, 상기 일부의 채널 단자들에 접촉함에 의해 상기 일부의 채널 단자들과 전기적으로 연결된 프로브 팁들로부터의 전기 신호를 전달받는 접촉부; 및
    상기 접촉부와 전기적으로 연결되고, 상기 접촉부로부터 전달되는 전기 신호에 의해 상기 프로브 카드의 전기적 상태를 확인하는 확인부를 포함하는 프로브 카드를 테스트하기 위한 장치.
  2. 제1 항에 있어서, 상기 접촉부는 상기 프로브 카드의 종류에 따라 호환 가능하게 상기 확인부로부터 분리되는 구조를 갖는 것을 특징으로 하는 프로브 카드를 테스트하기 위한 장치.
  3. 제1 항에 있어서, 상기 확인부는 상기 프로브 카드의 전기적 상태를 표시하는 표시부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 카드를 테스트하기 위한 장치.
  4. 제3 항에 있어서, 상기 표시부는 칩-엘이디를 구비하는 디스플레이부, 부저를 구비하는 경보부 또는 이들의 복합 구조물을 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 카드를 테스트하기 위한 장치.
  5. 제1 항에 있어서, 상기 프로브 팁들 각각에 단독 접촉 가능한 핀 구조를 갖고, 상기 프로브 팁들 각각의 전기적 상태를 확인하도록 상기 접촉부를 사용하여 상기 일부의 채널 단자들에 접촉시킬 때 상기 일부의 채널 단자들과 전기적으로 연결된 프로브 팁들 각각에 단독 접촉시키는 접촉-핀을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 카드를 테스트하기 위한 장치.
  6. 제1 항에 있어서, 상기 장치는 베터리(battery)를 전원으로 사용함으로써 휴대가 가능한 것을 특징으로 하는 프로브 카드를 테스트하기 위한 장치.
  7. 피검사체가 놓여지는 제1 척;
    일면에는 상기 피검사체와 전기 접촉하는 프로브 팁들을 구비하고, 타면에는 상기 프로브 팁들과 전기적으로 연결되는 채널 단자들을 구비하는 프로브 카드가 놓여지고, 상기 제1 척 상부에 위치하면서 상기 프로브 팁들이 상기 피검사체와 전기 접촉 가능한 개구를 갖는 제2 척;
    상기 제1 척 및/또는 제2 척과 연결되고, 상기 프로팁 팁들과 피검사체의 전기 접촉이 가능하게 상기 제1 척 및/또는 제2 척의 높이를 조절하는 높이 조절부; 및
    상기 채널 단자들 중에서 일부의 채널 단자들에만 접촉 가능한 사이즈를 갖고, 상기 일부의 채널 단자들에 접촉함에 의해 상기 일부의 채널 단자들과 전기적으로 연결된 프로브 팁들로부터의 전기 신호를 전달받는 접촉부와, 상기 접촉부와 전기적으로 연결되고, 상기 접촉부로부터 전달되는 전기 신호에 의해 상기 프로브 카드의 전기적 상태를 확인하는 확인부를 구비하는 테스터를 포함하는 프로브 카드를 테스트하기 위한 장치.
  8. 제7 항에 있어서, 상기 접촉부는 상기 프로브 카드의 종류에 따라 호환 가능하게 상기 확인부로부터 분리되는 구조를 갖는 것을 특징으로 하는 프로브 카드를 테스트하기 위한 장치.
  9. 제7 항에 있어서, 상기 확인부는 상기 프로브 카드의 전기적 상태를 표시하는 표시부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 카드를 테스트하기 위한 장치.
  10. 제7 항에 있어서, 상기 테스터는 상기 프로브 팁들 각각에 단독 접촉 가능한 핀 구조를 갖고, 상기 프로브 팁들 각각의 전기적 상태를 확인하도록 상기 접촉부를 사용하여 상기 일부의 채널 단자들에 접촉시킬 때 상기 일부의 채널 단자들과 전기적으로 연결된 프로브 팁들 각각에 단독 접촉시키는 접촉-핀을 더 포함하는 것 을 특징으로 하는 프로브 카드를 테스트하기 위한 장치.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20160044287A (ko) * 2014-10-15 2016-04-25 주식회사 에스에이치엘 프로브 카드 검사용 테스트 헤드

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