KR20100018001A - Apparatus method of fabricating liquid crystal display panel and apparatus of fabricating black matrix - Google Patents

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Abstract

PURPOSE: An LCD panel, a manufacturing method thereof and a black matrix manufacturing device are provided to form a black matrix by partial combustion of a color filter, thereby replacing chrome and organic material. CONSTITUTION: A black matrix(222) and a color filter(226) are formed on an upper substrate(221). A common electrode(224) and an upper orientation film(228) are formed on the black matrix and the color filter. A TFT(Thin Film Transistor), a pixel electrode(229) and a lower orientated film(230) are formed on an lower substrate(225). A liquid crystal is inserted to the internal space between the upper substrate and the lower substrate. The black matrix performs light leakage prevention and external light absorption. The black matrix is formed by partial combustion of the color filter.

Description

액정표시패널 및 그 제조방법과 이에 적용된 블랙 매트릭스 제조장치{Apparatus Method of Fabricating Liquid Crystal Display Panel and Apparatus of Fabricating Black Matrix}Liquid crystal display panel and its manufacturing method and black matrix manufacturing apparatus applied thereto {Apparatus Method of Fabricating Liquid Crystal Display Panel and Apparatus of Fabricating Black Matrix}

본 발명은 액정표시패널에 관한 것으로, 특히 제조 단가를 절감할 수 있는 액정표시패널 및 그 제조방법과 이에 적용된 블랙 매트릭스 제조장치에 관한 것이다. BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a liquid crystal display panel, and more particularly, to a liquid crystal display panel, a method for manufacturing the same, and a black matrix manufacturing apparatus applied thereto.

통상적으로, 액정표시장치(Liquid Crystal Display; LCD)는 비디오신호에 따라 액정셀들의 광투과율을 조절함으로써 액정셀들이 매트릭스 형태로 배열되어진 액정표시패널에 비디오신호에 해당하는 화상을 표시하게 된다. 이를 위하여, 액정표시장치는 액정셀들이 액티브 매트릭스(Active Matrix) 형태로 배열된 액정표시패널과, 액정표시패널을 구동하기 위한 구동회로들을 포함하게 된다.In general, a liquid crystal display (LCD) displays an image corresponding to a video signal on a liquid crystal display panel in which liquid crystal cells are arranged in a matrix form by adjusting light transmittance of liquid crystal cells according to a video signal. To this end, the liquid crystal display device includes a liquid crystal display panel in which liquid crystal cells are arranged in an active matrix form, and driving circuits for driving the liquid crystal display panel.

도 1은 종래의 액정표시패널을 나타내는 단면도이다.1 is a cross-sectional view showing a conventional liquid crystal display panel.

도 1에 도시된 액정표시패널은 상부기판(21) 상에 순차적으로 형성된 블랙 매트릭스(22), 컬러필터(26), 평탄화층(27), 공통전극(24), 상부 배향막(28)으로 구성되는 상판과, 하부기판(25) 상에 형성된 TFT와, 화소전극(29) 및 하부 배향막(30)으로 구성되는 하판과, 상판 및 하판 사이의 내부공간에 주입되는 액정(도시되지 않음)을 구비한다. The liquid crystal display panel illustrated in FIG. 1 includes a black matrix 22, a color filter 26, a planarization layer 27, a common electrode 24, and an upper alignment layer 28 that are sequentially formed on the upper substrate 21. An upper plate, a TFT formed on the lower substrate 25, a lower plate composed of the pixel electrode 29 and the lower alignment layer 30, and a liquid crystal (not shown) injected into an inner space between the upper plate and the lower plate. do.

상판에 있어서, 블랙 매트릭스(22)는 하판의 TFT 영역과 도시하지 않은 게이트라인들 및 데이터라인들 영역에 대응되어 상부기판(21) 상에 형성되며, 컬러필터(26)가 형성될 셀영역을 마련한다. 블랙 매트릭스(22)는 빛샘을 방지함과 아울러 외부광을 흡수하여 콘트라스트를 높이는 역할을 한다. 컬러필터(26)는 블랙 매트릭스(22)에 의해 분리된 셀영역 및 블랙 매트릭스(22)에 걸쳐 형성된다. 이 컬러필터(26)는 R,G,B 별로 형성되어 R, G, B 색상을 구현한다. 평탄화층(27)은 컬러필터를 덮도록 형성되어 상부기판을 평탄화한다. 공통전극(24)에는 액정구동시 기준이 되기 위한 공통전압이 공급된다. 스페이서(도시하지 않음)는 상판과 하판 사이의 셀 갭을 유지하는 역할을 한다. In the upper plate, the black matrix 22 is formed on the upper substrate 21 corresponding to the TFT region of the lower plate and the gate line and data line regions (not shown), and defines a cell region in which the color filter 26 is to be formed. Prepare. The black matrix 22 prevents light leakage and absorbs external light to increase contrast. The color filter 26 is formed over the cell region separated by the black matrix 22 and the black matrix 22. The color filter 26 is formed for each of R, G, and B to implement R, G, and B colors. The planarization layer 27 is formed to cover the color filter to planarize the upper substrate. The common electrode 24 is supplied with a common voltage to be a reference when driving a liquid crystal. The spacer (not shown) serves to maintain a cell gap between the upper and lower plates.

하판에 있어서, TFT는 게이트라인(도시하지 않음)과 함께 하부기판(25)위에 형성되는 게이트전극(16)과, 이 게이트전극(16)과 게이트 절연막(139)을 사이에 두고 중첩되는 반도체층(136)과, 반도체층(136)을 사이에 두고 데이터라인(도시하지 않음)과 함께 형성되는 소스/드레인전극(138,140)을 구비한다. 이러한 TFT는 게이트라인으로 부터의 스캔신호에 응답하여 데이터라인으로부터 화소신호를 화소전극(29)에 공급한다. In the lower plate, the TFT includes a gate electrode 16 formed on the lower substrate 25 together with a gate line (not shown), and a semiconductor layer overlapping the gate electrode 16 with the gate insulating film 139 therebetween. 136 and source / drain electrodes 138 and 140 formed with a data line (not shown) with the semiconductor layer 136 interposed therebetween. This TFT supplies the pixel signal from the data line to the pixel electrode 29 in response to the scan signal from the gate line.

화소전극(29)은 광투과율이 높은 투명전도성 물질로 보호막(208)을 사이에 두고 TFT의 드레인 전극(140)과 접촉된다. 액정배향을 위한 상/하부 배향막(28,30)은 폴리이미드 등과 같은 배향물질을 도포한 후 러빙공정을 수행함으로써 형성된다. The pixel electrode 29 is a transparent conductive material having a high light transmittance and is in contact with the drain electrode 140 of the TFT with the protective film 208 therebetween. The upper and lower alignment layers 28 and 30 for liquid crystal alignment are formed by applying an alignment material such as polyimide and then performing a rubbing process.

도 2a 내지 도 2f는 종래 액정표시패널의 상판의 제조방법을 단계적으로 나타내는 단면도이다. 2A to 2F are cross-sectional views illustrating a method of manufacturing a top plate of a conventional liquid crystal display panel in stages.

먼저, 상부기판(21)에 불투명 금속 또는 불투명 수지 등의 불투명 물질이 증착된 후 포토리쏘그래피 공정과 식각공정에 의해 유기물질이 패터닝됨으로써 도 2a에 도시된 바와 같이 블랙 매트릭스(22)가 형성된다. 불투명 금속으로는 일반적으로 크롬(Cr)이 이용되고, 불투명 수지로는 유기물질이 이용된다.First, an opaque material such as an opaque metal or an opaque resin is deposited on the upper substrate 21, and then an organic material is patterned by a photolithography process and an etching process to form a black matrix 22 as illustrated in FIG. 2A. . As the opaque metal, chromium (Cr) is generally used, and an organic material is used as the opaque resin.

블랙 매트릭스(22)가 형성된 상부기판(21) 상에 적색수지(R)가 증착된 후 포토리쏘그래피 공정과 식각공정에 의해 적색수지(R)가 패터닝됨으로써 도 2b에 도시된 바와 같이 적색 컬러필터(3R)가 형성된다. After the red resin R is deposited on the upper substrate 21 on which the black matrix 22 is formed, the red resin R is patterned by a photolithography process and an etching process, thereby showing a red color filter as shown in FIG. 2B. (3R) is formed.

적색 컬러필터(3R)가 형성된 상부기판상(21)에 녹색수지(G)가 증착된 후 포토리쏘그래피 공정과 식각공정에 의해 녹색수지(G)가 패터닝됨으로써 도 2c에 도시된 바와 같이 녹색컬러필터(3G)가 형성된다. 녹색 컬러필터(3G)가 형성된 상부기판(21)상에 청색수지(B)가 증착된 후 포토리쏘그래피 공정과 식각공정에 의해 청색수지(B)가 패터닝됨으로써 도 2d에 도시된 바와 같이 청색 컬러필터(3B)가 형성된다. After the green resin G is deposited on the upper substrate 21 on which the red color filter 3R is formed, the green resin G is patterned by a photolithography process and an etching process, thereby displaying green color as shown in FIG. 2C. A filter 3G is formed. After the blue resin B is deposited on the upper substrate 21 on which the green color filter 3G is formed, the blue resin B is patterned by a photolithography process and an etching process. The filter 3B is formed.

적, 녹, 청색 컬러필터(26)가 형성된 상부기판(21)상에 유기물질이 전면 증착됨으로써 도 2e에 도시된 바와 같이 평탄화층(27)이 형성한다 As the organic material is entirely deposited on the upper substrate 21 on which the red, green, and blue color filters 26 are formed, the planarization layer 27 is formed as shown in FIG. 2E.

평탄화층(27)이 형성된 상부기판(21)상에 투명도전성 물질이 전면증착된 후 패터닝됨으로써 도 2f에 도시된 바와 같이 공통전극(24)이 형성된다. A transparent conductive material is deposited on the upper substrate 21 on which the planarization layer 27 is formed and then patterned to form a common electrode 24 as shown in FIG. 2F.

이와 같이 종래의 액정표시패널은 블랙 매트릭스물질로 크롬(Cr)이 이용되고 있으나, 크롬(Cr)은 환경 유해물질로 점차 사용이 규제되고 있는 실정이다. 이로 인하여, 불투명 수지를 이용하여 블랙 매트릭스를 형성하고 있으나, 그 불투명 수지는 유기막으로 제조단가가 높고 수율이 나쁜 단점이 있다.As described above, in the conventional liquid crystal display panel, chromium (Cr) is used as a black matrix material, but chromium (Cr) is gradually regulated as an environmental harmful substance. For this reason, although the black matrix is formed using the opaque resin, the opaque resin has a disadvantage that the manufacturing cost is high and the yield is poor as the organic film.

본 발명의 목적은 환경친화적이고 제조 단가를 절감할 수 있는 블랙 매트릭스를 갖는 액정표시패널 및 그 제조방법을 제공하는데 있다.SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a liquid crystal display panel having a black matrix which can be environmentally friendly and can reduce manufacturing costs, and a method of manufacturing the same.

상기 목적을 달성하기 위하여, 빛샘방지 및 외부광 흡수를 위한 블랙 매트릭스를 갖는 액정표시패널에 있어서, 기판 상에 형성된 컬러필터와; 상기 컬러필터의 일부를 연소시켜 형성된 블랙 매트릭스를 구비하는 것을 특징으로 한다.In order to achieve the above object, a liquid crystal display panel having a black matrix for preventing light leakage and absorbing external light, comprising: a color filter formed on a substrate; And a black matrix formed by burning a part of the color filter.

상기 컬러필터는 적색, 녹색 및 청색 컬러필터를 포함하는 것을 특징으로 한다.The color filter may include red, green, and blue color filters.

상기 블랙 매트릭스는 상기 적색, 녹색 및 청색 컬러필터의 경계부가 레이저 빔에 의해 연소되어 형성된 것을 특징으로 한다.The black matrix is characterized in that the boundary of the red, green and blue color filter is formed by burning by the laser beam.

상기 블랙 매트릭스는 18~22㎛정도의 선폭을 갖는 특징으로 한다.The black matrix is characterized by having a line width of about 18 ~ 22㎛.

본 발명에 따른 액정표시패널의 제조방법은 블랙 매트릭스를 포함하는 액정표시패널의 제조방법에 있어서, 기판 상에 컬러필터를 형성하는 단계와; 상기 컬러필터의 일부를 레이저 빔으로 연소시켜 블랙 매트릭스를 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다. According to an aspect of the present invention, there is provided a method of manufacturing a liquid crystal display panel, comprising: forming a color filter on a substrate; And burning a portion of the color filter with a laser beam to form a black matrix.

상기 컬러필터를 형성하는 단계는 적색, 녹색 및 청색 컬러필터를 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.The forming of the color filter may include forming red, green, and blue color filters.

상기 블랙 매트릭스를 형성하는 단계는 상기 적색, 녹색 및 청색 컬러필터의 경계부에 레이저빔이 조사되고 연소되는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.The forming of the black matrix may include irradiating and burning a laser beam at a boundary of the red, green, and blue color filters.

상기 블랙 매트릭스를 형성하는 단계는 상기 적색, 녹색 및 청색 컬러필터의 경계부를 상기 레이저빔이 이동하면서 조사되게 하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.The forming of the black matrix may include irradiating boundary portions of the red, green, and blue color filters while moving the laser beam.

본 발명에 따른 액정표시패널의 블랙 매트릭스의 제조장치는 컬러필터가 형성된 기판 상에 블랙 매트릭스가 형성될 영역이 노출되게 정렬된 마스크와; 레이저 빔을 생성하는 레이저빔 발생기와; 상기 마스크를 통해 노출된 컬러필터의 일부를 순차적으로 조사하도록 상기 레이저빔의 경로를 조절하는 레이저빔 경로 조절부를 구비하는 것을 특징으로 한다.An apparatus for manufacturing a black matrix of a liquid crystal display panel according to the present invention includes a mask arranged to expose a region where a black matrix is to be formed on a substrate on which a color filter is formed; A laser beam generator for generating a laser beam; And a laser beam path adjusting unit for adjusting a path of the laser beam so as to sequentially irradiate a portion of the color filter exposed through the mask.

상기 목적 외에 본 발명의 다른 목적 및 특징들은 첨부도면을 참조한 실시예에 대한 설명을 통하여 명백하게 드러나게 될 것이다.
Other objects and features of the present invention in addition to the above objects will become apparent from the description of the embodiments with reference to the accompanying drawings.

본 발명의 실시예에 따른 액정표시패널 및 그 제조방법은 컬러필터들 간의 경계부를 연소시켜 형성하게 된다. 이에 따라, 크롬 및 유기물질을 대체할 수 있게 됨으로써 환경에 친화적임과 아울러 제조 단가를 절감할 수 있다.The liquid crystal display panel and its manufacturing method according to an embodiment of the present invention are formed by burning the boundary between the color filters. Accordingly, by being able to replace the chromium and organic materials it is possible to reduce the manufacturing cost and environmentally friendly.

도 1은 종래 액정표시패널을 나타내는 단면도.
도 2a 내지 도 2f는 종래의 액정표시패널의 상판의 제조방법을 단계적으로 나타내는 단면도.
도 3은 본 발명의 제1 실시예에 따른 액정표시패널을 나타내는 단면도.
도 4a 내지 도 4f는 도 3에 도시된 액정표시패널의 상판의 제조방법을 단계적으로 나타내는 단면도.
도 5는 본 발명의 제2 실시예에 따른 액정표시패널을 나타내는 단면도.
도 6a 내지 도 6f는 도 5에 도시된 액정표시패널의 상판의 제조 방법을 단계적으로 나타내는 단면도.
1 is a cross-sectional view showing a conventional liquid crystal display panel.
2A to 2F are cross-sectional views illustrating a method of manufacturing a top plate of a conventional liquid crystal display panel in stages.
3 is a cross-sectional view illustrating a liquid crystal display panel according to a first embodiment of the present invention.
4A through 4F are cross-sectional views illustrating a method of manufacturing a top plate of the liquid crystal display panel illustrated in FIG. 3.
5 is a cross-sectional view illustrating a liquid crystal display panel according to a second exemplary embodiment of the present invention.
6A through 6F are cross-sectional views illustrating a method of manufacturing a top plate of the liquid crystal display panel illustrated in FIG.

이하, 도 3 내지 도 6을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예에 대하여 설명하기로 한다. Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described with reference to FIGS. 3 to 6.

도 3은 본 발명의 제1 실시예에 따른 액정표시패널을 나타내는 단면도이다.3 is a cross-sectional view illustrating a liquid crystal display panel according to a first embodiment of the present invention.

도 3에 도시된 액정표시패널은 상부기판(121) 상에 순차적으로 형성된 블랙 매트릭스(122), 컬러필터(126), 공통전극(124), 상부 배향막(128)으로 구성되는 상판과, 하부기판(125) 상에 형성된 TFT와, 화소전극(129) 및 하부 배향막(130)으로 구성되는 하판과, 상판 및 하판 사이의 내부공간에 주입되는 액정(도시되지 않음)을 구비한다. 3 illustrates a top panel including a black matrix 122, a color filter 126, a common electrode 124, and an upper alignment layer 128 that are sequentially formed on the upper substrate 121, and a lower substrate. A TFT formed on the 125, a lower plate composed of the pixel electrode 129 and the lower alignment layer 130, and a liquid crystal (not shown) injected into an inner space between the upper plate and the lower plate.

상판에 있어서, 블랙 매트릭스(122)는 하판의 TFT 영역과 도시하지 않은 게이트라인들 및 데이터라인들 영역에 대응되어 상부기판(121) 상에 형성되며, 컬러필터(126)가 형성될 셀영역을 마련한다. 이러한, 블랙 매트릭스(122)는 절연층(120) 및 금속층(121)의 2중층으로 구성되어 빛샘을 방지함과 아울러 외부광을 흡수하여 콘트라스트를 높이는 역할을 한다. 즉, 백라이트(도시하지 않음)에서 출사된 광은 하판을 통과하여 블랙 매트릭스(122)의 절연층(120)에서 일부는 반사되고 일부는 투과하게 된다. 절연층(120)을 일부 투과한 광은 금속층(121)에서 다시 일부는 반사하게 되고 일부는 흡수된다. 여기서 절연층(120)은 상쇄간섭을 일으킬수 있는 두께 예를 들어, 400~600Å 정도로 형성됨으로써 절연층(120)에서 반사되는 광과 금속층(121)에서 반사되는 일부광이 서로 상쇄된다. In the upper plate, the black matrix 122 is formed on the upper substrate 121 to correspond to the TFT region of the lower plate and the gate line and data line regions (not shown), and defines a cell region in which the color filter 126 is to be formed. Prepare. The black matrix 122 is composed of a double layer of the insulating layer 120 and the metal layer 121 to prevent light leakage and to absorb external light to enhance contrast. That is, the light emitted from the backlight (not shown) passes through the lower plate to partially reflect and partially transmit the light from the insulating layer 120 of the black matrix 122. The light partially transmitted through the insulating layer 120 is partially reflected by the metal layer 121 and partially absorbed. In this case, the insulating layer 120 is formed to have a thickness that may cause a destructive interference, for example, about 400 to 600 Å so that the light reflected by the insulating layer 120 and the partial light reflected by the metal layer 121 cancel each other.

컬러필터(126)는 블랙 매트릭스(122)에 의해 분리된 셀영역 및 블랙 매트릭스(122)에 형성된다. 이 컬러필터(126)는 R,G,B 별로 형성되어 R, G, B 색상을 구현한다. 평탄화층(127)은 컬러필터(126)를 덮도록 형성되어 상부기판(121)을 평탄화한다. 공통전극(24)에는 액정구동시 기준이 되는 공통전압이 공급된다. 스페이서(도시하지 않음)는 상부기판(121)과 하부기판(125)사이의 셀 갭을 유지하는 역할을 한다. The color filter 126 is formed in the cell region and the black matrix 122 separated by the black matrix 122. The color filter 126 is formed for each of R, G, and B to implement R, G, and B colors. The planarization layer 127 is formed to cover the color filter 126 to planarize the upper substrate 121. The common electrode 24 is supplied with a common voltage which is a reference when driving the liquid crystal. The spacer (not shown) serves to maintain a cell gap between the upper substrate 121 and the lower substrate 125.

하판에 있어서, TFT는 게이트라인(도시하지 않음)과 함께 하부기판(125)위에 형성되는 게이트전극(116)과, 이 게이트전극(116)과 게이트 절연막(239)을 사이에 두고 중첩되는 반도체층(236)과, 반도체층(236)을 사이에 두고 데이터라인(도시하지 않음)과 함께 형성되는 소스/드레인전극(238,240)을 구비한다. 이러한 TFT는 게이트라인으로 부터의 스캔신호에 응답하여 데이터라인으로부터 화소신호를 화소전극(129)에 공급한다. In the lower panel, the TFT includes a gate electrode 116 formed on the lower substrate 125 together with a gate line (not shown), and a semiconductor layer overlapping the gate electrode 116 with the gate insulating film 239 interposed therebetween. 236 and source / drain electrodes 238 and 240 formed with a data line (not shown) with a semiconductor layer 236 interposed therebetween. The TFT supplies a pixel signal from the data line to the pixel electrode 129 in response to a scan signal from the gate line.

화소전극(129)은 광투과율이 높은 투명전도성 물질로 보호막(208)을 사이에 두고 TFT의 드레인 전극(240)과 접촉된다. 액정배향을 위한 상/하부 배향막(128,130)은 폴리이미드 등과 같은 배향물질을 도포한 후 러빙공정을 수행함으로써 형성된다. The pixel electrode 129 is a transparent conductive material having a high light transmittance and contacts the drain electrode 240 of the TFT with the passivation layer 208 therebetween. The upper and lower alignment layers 128 and 130 for liquid crystal alignment are formed by applying an alignment material such as polyimide and then performing a rubbing process.

도 4a 내지 도 4f는 도 3에 도시된 액정표시패널의 상판의 제조방법을 단계적으로 나타내는 단면도이다. 4A through 4F are cross-sectional views illustrating a method of manufacturing a top plate of the liquid crystal display panel illustrated in FIG. 3.

먼저, 상부기판(121)에 불투명 금속물질과 무기절연물질이 순차적으로 증착된 후 포토리쏘그래피 공정과 식각공정에 의해 무기 절연물질과 불투명 금속물질이 패터닝됨으로써 도 4a에 도시된 바와 같이 절연층(120) 및 금속층(121)의 이중층으로 구성된 블랙 매트릭스(122)가 형성된다. 여기서, 절연층(120)의 두께는 400~600Å 정도이고, 금속층(121)의 두께는 1000~3000Å 정도이다. 무기 절연물질로는 질화실리콘(SiNx)이 이용되고, 불투명 금속으로는 몰리브덴(Mo) 등이 이용된다. First, an opaque metal material and an inorganic insulating material are sequentially deposited on the upper substrate 121, and then the inorganic insulating material and the opaque metal material are patterned by a photolithography process and an etching process, so that the insulating layer ( The black matrix 122 composed of the double layer 120 and the metal layer 121 is formed. Here, the thickness of the insulating layer 120 is about 400-600 kPa, and the thickness of the metal layer 121 is about 1000-3000 kPa. Silicon nitride (SiNx) is used as the inorganic insulating material, and molybdenum (Mo) is used as the opaque metal.

블랙 매트릭스(122)가 형성된 상부기판(121) 상에 적색수지(R)가 증착된 후 포토리쏘그래피 공정과 식각공정에 의해 적색수지(R)가 패터닝됨으로써 도 4b에 도시된 바와 같이 적색 컬러필터(103R)가 형성된다. After the red resin R is deposited on the upper substrate 121 on which the black matrix 122 is formed, the red resin R is patterned by a photolithography process and an etching process, thereby showing a red color filter as shown in FIG. 4B. 103R is formed.

적색 컬러필터(103R)가 형성된 상부기판상(121)에 녹색수지(G)가 증착된 후 포토리쏘그래피 공정과 식각공정에 의해 녹색수지(G)가 패터닝됨으로써 도 4c에 도시된 바와 같이 녹색 컬러필터(103G)가 형성된다. 녹색 컬러필터(103G)가 형성된 상부기판(121)상에 청색수지(B)가 증착된 후 포토리쏘그래피 공정과 식각공정에 의해 청색수지(B)가 패터닝됨으로써 도 4d에 도시된 바와 같이 청색 컬러필터(103B)가 형성된다. After the green resin G is deposited on the upper substrate 121 on which the red color filter 103R is formed, the green resin G is patterned by a photolithography process and an etching process, thereby displaying a green color as shown in FIG. 4C. Filter 103G is formed. After the blue resin B is deposited on the upper substrate 121 on which the green color filter 103G is formed, the blue resin B is patterned by a photolithography process and an etching process. Filter 103B is formed.

적, 녹, 청색 컬러필터(126)가 형성된 상부기판(121)상에 유기물질이 전면 증착됨으로써 도 4e에 도시된 바와 같이 평탄화층(127)이 형성한다 As the organic material is entirely deposited on the upper substrate 121 on which the red, green, and blue color filters 126 are formed, the planarization layer 127 is formed as shown in FIG. 4E.

평탄화층(127)이 형성된 상부기판(121)상에 투명도전성 물질이 전면증착된 후 패터닝됨으로써 도 4f에 도시된 바와 같이 공통전극(124)이 형성된다. A transparent conductive material is deposited on the upper substrate 121 on which the planarization layer 127 is formed, and then patterned to form a common electrode 124 as shown in FIG. 4F.

이와 같이 본 발명의 제1 실시예에 따른 액정표시패널은 블랙 매트릭스(122)가 절연층(120) 및 금속층(121)의 이중층으로 형성됨으로써 크롬 및 유기물질을 대체할 수 있다. 이로써, 환경친화적임가 아울러 제조단가를 절감할 수 있다. As described above, in the liquid crystal display panel according to the first embodiment of the present invention, the black matrix 122 is formed as a double layer of the insulating layer 120 and the metal layer 121, thereby replacing chromium and organic materials. As a result, it is possible to reduce the manufacturing cost while being environmentally friendly.

도 5는 본 발명의 제2 실시예에 따른 액정표시패널을 나타내는 단면도이다.5 is a cross-sectional view illustrating a liquid crystal display panel according to a second exemplary embodiment of the present invention.

도 5에 도시된 액정표시패널은 상부기판(221) 상에 형성된 블랙 매트릭스(222) 및 컬러필터(226)와, 블랙 매트릭스(222) 및 컬러필터(226) 위에 형성된, 공통전극(224), 상부 배향막(228)으로 구성되는 상판과, 하부기판(225) 상에 형성된 TFT와, 화소전극(229) 및 하부 배향막(230)으로 구성되는 하판과, 상판 및 하판 사이의 내부공간에 주입되는 액정(도시되지 않음)을 구비한다. The liquid crystal display panel illustrated in FIG. 5 includes a black matrix 222 and a color filter 226 formed on the upper substrate 221, a common electrode 224 formed on the black matrix 222 and the color filter 226. Liquid crystal injected into the inner space between the upper plate composed of the upper alignment layer 228, the TFT formed on the lower substrate 225, the lower plate composed of the pixel electrode 229 and the lower alignment layer 230, and the upper plate and the lower plate. (Not shown).

상판에 있어서, 블랙 매트릭스(222)는 하판의 TFT 영역과 도시하지 않은 게이트라인들 및 데이터라인들 영역에 대응되어 상부기판(221) 상에 형성되며, 컬러필터(226)가 형성될 셀영역을 마련한다. 이 블랙 매트릭스(222)는 컬러필터(226)의 경계부가 레이저빔(55)에 의해 연소되어 검은 색을 띄게 함으로써 형성된다. 여기서, 블랙 매트릭스(222)는 컬러필터(226)와 동일높이로 형성된다. 이러한, 블랙 매트릭스(222)는 빛샘을 방지함과 아울러 외부광을 흡수하여 콘트라스트를 높이는 역할을 한다. In the upper plate, the black matrix 222 is formed on the upper substrate 221 corresponding to the TFT region of the lower plate and the gate line and data line regions (not shown), and defines a cell region in which the color filter 226 is to be formed. Prepare. The black matrix 222 is formed by causing the boundary of the color filter 226 to be burned by the laser beam 55 to make it black. Here, the black matrix 222 is formed at the same height as the color filter 226. The black matrix 222 prevents light leakage and absorbs external light to increase contrast.

컬러필터(226)는 블랙 매트릭스(222)에 의해 분리된 셀영역에 형성된다. 이 컬러필터(226)는 R,G,B 별로 형성되어 R, G, B 색상을 구현한다. 공통전극(224)에는 액정의 움직임을 제어하기 위한 공통전압이 공급된다. 스페이서(도시하지 않음)는 상판과 하판사이의 셀 갭을 유지하는 역할을 한다. The color filter 226 is formed in the cell region separated by the black matrix 222. The color filter 226 is formed for each of R, G, and B to implement R, G, and B colors. The common electrode 224 is supplied with a common voltage for controlling the movement of the liquid crystal. The spacer (not shown) serves to maintain a cell gap between the upper and lower plates.

하판에 있어서, TFT는 게이트라인(도시하지 않음)과 함께 하부기판(225)위에 형성되는 게이트전극(216)과, 이 게이트전극(216)과 게이트 절연막(339)을 사이에 두고 중첩되는 반도체층(336)과, 반도체층(336)을 사이에 두고 데이터라인(도시하지 않음)과 함께 형성되는 소스/드레인전극(338,340)을 구비한다. 이러한 TFT는 게이트라인으로 부터의 스캔신호에 응답하여 데이터라인으로부터 화소신호를 화소전극(229)에 공급한다. In the lower plate, the TFT includes a gate electrode 216 formed on the lower substrate 225 together with a gate line (not shown), and a semiconductor layer overlapping the gate electrode 216 with the gate insulating film 339 therebetween. 336 and source / drain electrodes 338 and 340 formed with a data line (not shown) with the semiconductor layer 336 therebetween. The TFT supplies a pixel signal from the data line to the pixel electrode 229 in response to a scan signal from the gate line.

화소전극(229)은 광투과율이 높은 투명전도성 물질로 보호막(308)을 사이에 두고 TFT의 드레인 전극(340)과 접촉된다. 액정배향을 위한 상/하부 배향막(228,230)은 폴리이미드 등과 같은 배향물질을 도포한 후 러빙공정을 수행함으로써 형성된다. The pixel electrode 229 is a transparent conductive material having a high light transmittance and contacts the drain electrode 340 of the TFT with the passivation layer 308 therebetween. The upper and lower alignment layers 228 and 230 for liquid crystal alignment are formed by applying an alignment material such as polyimide and then performing a rubbing process.

도 6a 내지 도 6e는 도 5에 도시된 액정표시패널의 상판의 제조방법을 단계적으로 나타내는 단면도이다. 6A through 6E are cross-sectional views illustrating a method of manufacturing a top plate of the liquid crystal display panel illustrated in FIG. 5.

먼저, 상부기판(221) 상에 적색수지(R)가 증착된 후 포토리쏘그래피 공정과 식각공정에 의해 적색수지(R)가 패터닝됨으로써 도 6a에 도시된 바와 같이 적색 컬러필터(203R)가 형성된다. First, the red resin R is deposited on the upper substrate 221, and then the red resin R is patterned by a photolithography process and an etching process to form a red color filter 203R as illustrated in FIG. 6A. do.

적색 컬러필터(203R)가 형성된 상부기판상(221)에 녹색수지(G)가 증착된 후 포토리쏘그래피 공정과 식각공정에 의해 녹색수지(G)가 패터닝됨으로써 도 6b에 도시된 바와 같이 녹색컬러필터(203G)가 형성된다. 녹색 컬러필터(203G)가 형성된 상부기판(221)상에 청색수지(B)가 증착된 후 포토리쏘그래피 공정과 식각공정에 의해 청색수지(B)가 패터닝됨으로써 도 6c에 도시된 바와 같이 청색 컬러필터(203B)가 형성된다. After the green resin G is deposited on the upper substrate 221 on which the red color filter 203R is formed, the green resin G is patterned by a photolithography process and an etching process, thereby displaying green color as shown in FIG. 6B. A filter 203G is formed. After the blue resin B is deposited on the upper substrate 221 on which the green color filter 203G is formed, the blue resin B is patterned by a photolithography process and an etching process. Filter 203B is formed.

적, 녹, 청색 컬러필터(226)가 형성된 상부기판(221)상에 블랙 매트릭스(222)가 형성될 영역에 레이저 생성장치 및 마스크(72)를 이용하여 블랙 매트릭스(222)가 형성된다. 여기서, 미러(57)와 포커스 랜즈(59)는 레이저 빔 경로를 결정한다. The black matrix 222 is formed using a laser generator and a mask 72 in a region where the black matrix 222 is to be formed on the upper substrate 221 on which the red, green, and blue color filters 226 are formed. Here, the mirror 57 and the focus lens 59 determine the laser beam path.

레이저 생성장치는 레이저빔(55)을 생성하는 레이저 생성부(31)와, 레이저 생성부(31)에서 생성된 레이저빔(55)의 경로를 조절하는 미러(57)와, 입사된 레이저빔(55)을 집속하여 집속된 레이저빔(55)을 기판에 조사하는 포커스렌즈(59)를 구비한다. The laser generator includes a laser generator 31 for generating a laser beam 55, a mirror 57 for adjusting a path of the laser beam 55 generated by the laser generator 31, and an incident laser beam ( And a focus lens 59 for focusing 55 and irradiating the focused laser beam 55 onto the substrate.

구체적으로, 컬러필터(226)가 형성된 상부기판(221) 상에 투과부(P1) 및 차단부(P2)를 갖는 마스크(72)와, 마스크(72)의 투과부(P1)를 통해 레이저 빔(55)이 조사 되도록 레이저 생성장치가 각각 정렬된다. 이 후, 도 6d에 도시된 바와 같이 레이저 생성부(31)로부터 생성된 레이저빔(55)은 미러(31)에 의해 반사되고 포커스렌즈(59)에 의해 집속되어 마스크(72)의 투과부(P1)를 경유하여 적, 녹, 청색 컬러필터의 경계부분에 이동하면서 순차적으로 조사된다. 이로써, 적, 녹, 청색 컬러필터의 경계부분을 포함하는 소정영역이 레이저빔(55)에 의해 연소됨으로써 검은색을 띠게 된다. 이러한 레이저빔(55)의 조사를 다수번 반복함으로써 도 6e에 도시된 바와 같이 소정폭을 갖는 블랙 매트릭스(222)가 형성된다. 블랙 매트릭스의 선폭은 예를 들어 18~22㎛ 정도이다. Specifically, the laser beam 55 through the mask 72 having the transmission portion P1 and the blocking portion P2 on the upper substrate 221 on which the color filter 226 is formed, and the transmission portion P1 of the mask 72. Are arranged so that the laser generating apparatus is irradiated. Thereafter, as shown in FIG. 6D, the laser beam 55 generated from the laser generating unit 31 is reflected by the mirror 31 and focused by the focus lens 59 to transmit the transparent portion P1 of the mask 72. It is irradiated sequentially while moving to the boundary of red, green and blue color filter via). As a result, the predetermined region including the boundary portions of the red, green, and blue color filters is burned by the laser beam 55, thereby becoming black. By repeatedly irradiating the laser beam 55 many times, a black matrix 222 having a predetermined width is formed as shown in FIG. 6E. The line width of a black matrix is about 18-22 micrometers, for example.

블랙 매트릭스(222) 및 컬러필터(226)가 형성된 상부기판(221) 상에 투명도전성 물질이 전면증착된 후 패터닝됨으로써 도 6f에 도시된 바와 같이 공통전극(224)이 형성된다. A transparent conductive material is deposited on the upper substrate 221 on which the black matrix 222 and the color filter 226 are formed, and then patterned, thereby forming a common electrode 224 as shown in FIG. 6F.

이와 같이 본 발명의 제2 실시예에 따른 액정표시패널의 적,녹, 청색 컬러필터의 경계부가 레이저빔(55)에 의해 조사됨으로써 블랙 매트릭스(222)가 형성된다. 이로써 별도의 블랙 매트릭스(222)의 재료가 필요하지 않게됨과 아울러 평탄화층이 필요없게 된다. 이로써 액정표시패널의 제조단가를 절감할 수 있다. As such, the black matrix 222 is formed by irradiating the boundary portions of the red, green, and blue color filters of the liquid crystal display panel according to the second embodiment of the present invention with the laser beam 55. This eliminates the need for a separate black matrix 222 material and eliminates the need for a planarization layer. As a result, the manufacturing cost of the liquid crystal display panel can be reduced.

제1 및 제2 실시예에서 서술한 블랙 매트릭스 형성방식은 TN(Twisted Nematic)모드의 액정표시패널 뿐만 아니라 IPS(In plan Switch) 모드의 액정표시패널, 나아가 ECB(Electrical Controlled Birefringence), VA(Vertical Alignment) 모드의 액정표시패널에도 용이하게 적용될 수 있다.
The black matrix forming method described in the first and second embodiments is not only a liquid crystal display panel in twisted nematic (TN) mode but also an liquid crystal display panel in IPS (in plan switch) mode, and furthermore, ECB (Electric Controlled Birefringence) and VA (Vertical). It can also be easily applied to the liquid crystal display panel of the alignment mode.

21,121,221:상부기판 22,122,222:블랙 매트릭스
24,124,224:공통전극 25,125,225:하부기판
26,126,226:컬러필터 28,30,128,130:배향막
21,121,221: Upper substrate 22,122,222: Black matrix
24,124,224 Common electrode 25,125,225 Lower substrate
26,126,226: color filter 28,30,128,130: alignment film

Claims (9)

빛샘방지 및 외부광 흡수를 위한 블랙 매트릭스를 갖는 액정표시패널에 있어서,
기판 상에 형성된 컬러필터와;
상기 컬러필터의 일부를 연소시켜 형성된 블랙 매트릭스를 구비하는 것을 특징으로 하는 액정표시패널.
A liquid crystal display panel having a black matrix for preventing light leakage and absorbing external light,
A color filter formed on the substrate;
And a black matrix formed by burning a part of the color filter.
제 1 항에 있어서,
상기 컬러필터는 적색, 녹색 및 청색 컬러필터를 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시패널.
The method of claim 1,
The color filter includes a red, green and blue color filter.
제 2 항에 있어서,
상기 블랙 매트릭스는 상기 적색, 녹색 및 청색 컬러필터의 경계부가 레이저 빔에 의해 연소되어 형성된 것을 특징으로 하는 액정표시패널.
The method of claim 2,
And wherein the black matrix is formed by burning a boundary between the red, green, and blue color filters by a laser beam.
제 1 항에 있어서,
상기 블랙 매트릭스는 18~22㎛정도의 선폭을 갖는 특징으로 하는 액정표시패널.
The method of claim 1,
The black matrix has a line width of about 18 ~ 22㎛.
블랙 매트릭스를 포함하는 액정표시패널의 제조방법에 있어서,
기판 상에 컬러필터를 형성하는 단계와;
상기 컬러필터의 일부를 레이저 빔으로 연소시켜 블랙 매트릭스를 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시패널의 제조방법.
In the manufacturing method of the liquid crystal display panel containing a black matrix,
Forming a color filter on the substrate;
And composing a portion of the color filter with a laser beam to form a black matrix.
제 5 항에 있어서,
상기 컬러필터를 형성하는 단계는
적색, 녹색 및 청색 컬러필터를 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시패널의 제조방법.
The method of claim 5, wherein
Forming the color filter
Forming a red, green and blue color filter comprising the steps of manufacturing a liquid crystal display panel.
제 6 항에 있어서,
상기 블랙 매트릭스를 형성하는 단계는
상기 적색, 녹색 및 청색 컬러필터의 경계부에 레이저빔이 조사되고 연소되는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시패널의 제조방법.
The method of claim 6,
Forming the black matrix
And irradiating and burning a laser beam on a boundary of the red, green, and blue color filters.
제 7 항에 있어서,
상기 블랙 매트릭스를 형성하는 단계는
상기 적색, 녹색 및 청색 컬러필터의 경계부를 상기 레이저빔이 이동하면서 조사되게 하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시패널의 제조방법.
The method of claim 7, wherein
Forming the black matrix
And irradiating the boundary portions of the red, green, and blue color filters while the laser beam is moving.
컬러필터가 형성된 기판 상에 블랙 매트릭스가 형성될 영역이 노출되게 정렬된 마스크와;
레이저 빔을 생성하는 레이저빔 발생기와;
상기 마스크를 통해 노출된 컬러필터의 일부를 순차적으로 조사하도록 상기 레이저빔의 경로를 조절하는 레이저빔 경로 조절부를 구비하는 것을 특징으로 하는 블랙 매트릭스 제조장치.
A mask arranged to expose a region where a black matrix is to be formed on a substrate on which a color filter is formed;
A laser beam generator for generating a laser beam;
And a laser beam path adjusting unit for adjusting a path of the laser beam so as to sequentially irradiate a portion of the color filter exposed through the mask.
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