JP2011180259A - Liquid crystal display device and method of manufacturing the same - Google Patents
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Abstract
Description
この発明は、液晶表示装置及びその製造方法に関する。 The present invention relates to a liquid crystal display device and a manufacturing method thereof.
液晶表示装置は、軽量、薄型、低消費電力などの特徴を生かして、パーソナルコンピュータなどのOA機器やテレビなどの表示装置として各種分野で利用されている。近年では、液晶表示装置は、携帯電話などの携帯端末機器や、カーナビゲーション装置、ゲーム機などの表示装置としても利用されている。 Liquid crystal display devices are utilized in various fields as display devices for OA equipment such as personal computers and televisions, taking advantage of features such as light weight, thinness, and low power consumption. In recent years, liquid crystal display devices are also used as mobile terminal devices such as mobile phones, display devices such as car navigation devices and game machines.
このような液晶表示装置において、一対の基板間に液晶層を形成する方法として、滴下注入法が知られている。この滴下注入法は、一方の基板にシール材を閉ループ状に塗布した後、ループ内に液晶材料を滴下し、他方の基板を重ね合わせ、液晶材料を広げて液晶層を形成し、シール材を硬化するものである。 In such a liquid crystal display device, a dropping injection method is known as a method for forming a liquid crystal layer between a pair of substrates. In this dropping injection method, a sealing material is applied to one substrate in a closed loop shape, then a liquid crystal material is dropped into the loop, the other substrate is overlapped, the liquid crystal material is spread to form a liquid crystal layer, and the sealing material is It cures.
例えば、特許文献1によれば、ディスペンサーでの描画し始めにシール材が出てきにくく、描画し終わり時には糸曳き状態となりやすいといった課題に対し、シール材を塗布する工程は、閉ループ状シールパターンの外部の箇所から描画し始め、且つ、閉ループ状シールパターンの外部の箇所で描画し終わる工程を有する液晶表示素子の製造方法が開示されている。 For example, according to Patent Document 1, the process of applying a seal material is a closed loop seal pattern for the problem that the seal material is difficult to come out at the beginning of drawing with a dispenser and is likely to become a stringed state at the end of drawing. A method for manufacturing a liquid crystal display element is disclosed which includes a step of starting drawing from an external location and finishing drawing at an external location of the closed loop seal pattern.
この発明の目的は、生産性の低下を抑制することが可能な液晶表示装置及びその製造方法を提供することにある。 An object of the present invention is to provide a liquid crystal display device capable of suppressing a decrease in productivity and a manufacturing method thereof.
この発明の一態様によれば、
第1スイッチング素子及び第2スイッチング素子と、前記第1スイッチング素子上に配置された第1カラーフィルタ層と、前記第2スイッチング素子上に配置されるとともに前記第1カラーフィルタ層の一部に重なった重畳部を形成する第2カラーフィルタ層と、前記第1カラーフィルタ層及び前記第2カラーフィルタ層を覆うとともに前記重畳部の直上に凹部が形成された絶縁膜と、前記第1カラーフィルタ層の上方に位置する前記絶縁膜上に配置され前記第1スイッチング素子に電気的に接続された第1画素電極と、前記第2カラーフィルタ層の上方に位置する前記絶縁膜上に配置され前記第2スイッチング素子に電気的に接続された第2画素電極と、を備えた第1基板と、前記第1基板に対向して配置された第2基板と、前記第1基板と前記第2基板とを貼り合わせる閉ループ状のシール材と、前記第1基板と前記第2基板との間であって前記シール材によって囲まれた内側に保持された液晶層と、を備えたことを特徴とする液晶表示装置が提供される。
According to one aspect of the invention,
First and second switching elements, a first color filter layer disposed on the first switching element, and disposed on the second switching element and overlapping a part of the first color filter layer A second color filter layer forming the overlapping portion, an insulating film covering the first color filter layer and the second color filter layer and having a recess formed immediately above the overlapping portion, and the first color filter layer A first pixel electrode disposed on the insulating film located above and electrically connected to the first switching element; and disposed on the insulating film located above the second color filter layer. A second substrate electrically connected to the two switching elements; a second substrate disposed opposite to the first substrate; and the first substrate A closed loop sealing material for bonding the second substrate; and a liquid crystal layer held between the first substrate and the second substrate and surrounded by the sealing material. A liquid crystal display device is provided.
この発明の他の態様によれば、
絶縁基板の上方に第1スイッチング素子及び第2スイッチング素子を形成し、前記第1スイッチング素子上に第1コンタクトホールが形成された第1カラーフィルタ層を形成し、前記第2スイッチング素子上に第2コンタクトホールが形成されるとともに前記第1カラーフィルタ層の一部に重なった重畳部を形成する第2カラーフィルタ層を形成し、前記第1カラーフィルタ層上及び前記第2カラーフィルタ層上にレジストを塗布し、第1コンタクトホールの直上及び前記第2コンタクトホールの直上に位置する前記レジストを第1露光量で露光するとともに前記重畳部の直上に位置する前記レジストを第1露光量とは異なる第2露光量で露光し、前記レジストにより前記第1コンタクトホール及び前記第2コンタクトホールに連通した貫通孔が形成された絶縁膜を形成し、前記第1カラーフィルタ層の上方に位置する前記絶縁膜上に前記第1スイッチング素子に電気的に接続された第1画素電極を形成するとともに、前記第2カラーフィルタ層の上方に位置する前記絶縁膜上に前記第2スイッチング素子に電気的に接続された第2画素電極を形成する第1基板の製造工程と、前記第1基板の前記第1画素電極及び前記第2画素電極が形成された面に閉ループ状のシール材を塗布する工程と、前記第1基板の前記シール材で囲まれた内側に液晶材料を滴下する工程と、前記第1基板に第2基板を貼り合わせる工程と、を備えたことを特徴とする液晶表示装置の製造方法が提供される。
According to another aspect of the invention,
A first switching element and a second switching element are formed on the insulating substrate, a first color filter layer having a first contact hole is formed on the first switching element, and a first color filter layer is formed on the second switching element. Forming a second color filter layer that forms an overlapping portion that overlaps with a part of the first color filter layer, and that is formed on the first color filter layer and the second color filter layer; A resist is applied, and the resist located immediately above the first contact hole and the second contact hole is exposed with a first exposure amount, and the resist located immediately above the overlapping portion is defined as the first exposure amount. A through which is exposed with a different second exposure amount and communicated with the first contact hole and the second contact hole by the resist. The first pixel electrode electrically connected to the first switching element is formed on the insulating film located above the first color filter layer, and the second color filter layer is formed. A first substrate manufacturing step of forming a second pixel electrode electrically connected to the second switching element on the insulating film located above the color filter layer; and the first pixel electrode of the first substrate. And a step of applying a closed loop sealing material on the surface on which the second pixel electrode is formed, a step of dropping a liquid crystal material inside the first substrate surrounded by the sealing material, and the first substrate There is provided a method for manufacturing a liquid crystal display device comprising a step of bonding a second substrate.
この発明によれば、生産性の低下を抑制することが可能な液晶表示装置及びその製造方法を提供することができる。 According to the present invention, it is possible to provide a liquid crystal display device capable of suppressing a decrease in productivity and a manufacturing method thereof.
以下、本発明の一態様について、図面を参照しながら詳細に説明する。なお、各図において、同一又は類似した機能を発揮する構成要素には同一の参照符号を付し、重複する説明は省略する。 Hereinafter, one embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. In each figure, the same reference numerals are given to components that exhibit the same or similar functions, and duplicate descriptions are omitted.
図1は、本実施形態における液晶表示装置の構成を模式的に示す図である。 FIG. 1 is a diagram schematically illustrating a configuration of a liquid crystal display device according to the present embodiment.
すなわち、液晶表示装置1は、アクティブマトリクスタイプの液晶表示パネルLPN、液晶表示パネルLPNに接続された駆動ICチップ2及びフレキシブル配線基板3、液晶表示パネルLPNを照明するバックライト4などを備えている。
That is, the liquid crystal display device 1 includes an active matrix type liquid crystal display panel LPN, a
液晶表示パネルLPNは、第1基板としてのアレイ基板ARと、アレイ基板ARに対向して配置された第2基板としての対向基板CTと、これらのアレイ基板ARと対向基板CTとの間に保持された図示しない液晶層と、を備えて構成されている。これらのアレイ基板ARと対向基板CTとは、シール材5によって貼り合わせられている。このシール材5は、アレイ基板ARと対向基板CTとの間において、略矩形枠状に形成されている。
The liquid crystal display panel LPN is held between an array substrate AR as a first substrate, a counter substrate CT as a second substrate disposed to face the array substrate AR, and the array substrate AR and the counter substrate CT. And a liquid crystal layer (not shown). The array substrate AR and the counter substrate CT are bonded together by a
このような液晶表示パネルLPNは、シール材5によって囲まれた内側に、画像を表示する略矩形状のアクティブエリアACTを備えている。このアクティブエリアACTは、m×n個のマトリクス状に配置された複数の画素PXによって構成されている(但し、m及びnは正の整数である)。
Such a liquid crystal display panel LPN is provided with a substantially rectangular active area ACT for displaying an image on the inner side surrounded by the
バックライト4は、図示した例では、アレイ基板ARの背面側に配置されている。このようなバックライト4としては、種々の形態が適用可能であり、また、光源として発光ダイオード(LED)を利用したものや冷陰極管(CCFL)を利用したものなどのいずれでも適用可能であり、詳細な構造については説明を省略する。 In the illustrated example, the backlight 4 is disposed on the back side of the array substrate AR. As such a backlight 4, various forms are applicable, and any of those using a light emitting diode (LED) as a light source or a cold cathode tube (CCFL) is applicable. Description of the detailed structure is omitted.
図2は、図1に示したアレイ基板ARを対向基板CTの側から見た概略上面図である。なお、図2においては、説明に必要な主要部のみを図示している。 FIG. 2 is a schematic top view of the array substrate AR shown in FIG. 1 viewed from the counter substrate CT side. In FIG. 2, only the main parts necessary for the description are shown.
まず、アクティブエリアACTの一画素PXの構成について説明する。アレイ基板ARは、第1方向Xに沿ってそれぞれ延出したゲート線G及び補助容量線C、第1方向Xと交差する第2方向Yに沿って延出したソース線S、ゲート線Gとソース線Sとの交差部近傍に配置されたスイッチング素子SWなどを備えている。 First, the configuration of one pixel PX in the active area ACT will be described. The array substrate AR includes gate lines G and auxiliary capacitance lines C that extend along the first direction X, source lines S and gate lines G that extend along the second direction Y that intersects the first direction X, and A switching element SW and the like disposed near the intersection with the source line S are provided.
アクティブエリアACTにおいて、複数本のゲート線G及び補助容量線Cは、第2方向Yに沿って交互に並列配置されている。また、複数本のソース線Sは、第1方向に沿って並列配置されている。ゲート線G及び補助容量線Cとソース線Sとは略直交するため、これらは格子状に形成され、アクティブエリアACTにおいてブラックマトリクスを形成する。例えば、補助容量線Cとソース線Sとが成すマス目が画素PXの開口部に相当する。 In the active area ACT, the plurality of gate lines G and storage capacitor lines C are alternately arranged in parallel along the second direction Y. The plurality of source lines S are arranged in parallel along the first direction. Since the gate line G, the auxiliary capacitance line C, and the source line S are substantially orthogonal to each other, they are formed in a lattice shape and form a black matrix in the active area ACT. For example, the grid formed by the storage capacitor line C and the source line S corresponds to the opening of the pixel PX.
各スイッチング素子SWは、例えば、nチャネル薄膜トランジスタ(TFT)によって構成されている。このスイッチング素子SWは、半導体層SCを備えている。この半導体層SCは、例えば、ポリシリコンやアモルファスシリコンなどによって形成可能であり、ここではポリシリコンによって形成されている。 Each switching element SW is configured by, for example, an n-channel thin film transistor (TFT). The switching element SW includes a semiconductor layer SC. The semiconductor layer SC can be formed of, for example, polysilicon or amorphous silicon, and is formed of polysilicon here.
スイッチング素子SWのゲート電極WGは、ゲート線Gに電気的に接続されている。図示した例では、ゲート電極WGはゲート線Gと一体的に形成されている。スイッチング素子SWのソース電極WSは、ソース線Sに電気的に接続されている。図示した例では、ソース電極WSはソース線Sと一体に形成されている。スイッチング素子SWのドレイン電極WDは、画素電極PEと電気的に接続されている。 The gate electrode WG of the switching element SW is electrically connected to the gate line G. In the illustrated example, the gate electrode WG is formed integrally with the gate line G. The source electrode WS of the switching element SW is electrically connected to the source line S. In the illustrated example, the source electrode WS is formed integrally with the source line S. The drain electrode WD of the switching element SW is electrically connected to the pixel electrode PE.
このようなゲート電極WGは、ゲート線Gや補助容量線Cなどと同一の導電材料を用いて同一工程で形成可能である。また、ソース電極WS及びドレイン電極WDは、ソース線Sなどと同一の導電材料を用いて同一工程で形成可能である。これらのゲート線Gやソース線Sなどは、例えばアルミニウム、モリブデン、タングステン、チタンなどの低抵抗な導電材料によって形成されている。ここに示した導電材料は、いずれも光の透過率が極めて低い(あるいはほとんど透過率がゼロである)遮光性の材料である。 Such a gate electrode WG can be formed in the same process using the same conductive material as the gate line G and the auxiliary capacitance line C. The source electrode WS and the drain electrode WD can be formed in the same process using the same conductive material as the source line S and the like. These gate lines G and source lines S are formed of a low-resistance conductive material such as aluminum, molybdenum, tungsten, titanium, or the like. The conductive materials shown here are light-shielding materials that have extremely low light transmittance (or almost zero transmittance).
カラーフィルタ層CFは、スイッチング素子SWの上に配置されている。このようなカラーフィルタ層CFには、互いに異なる色に着色された複数種類のカラーフィルタ層が含まれる。ここに示した例では、カラーフィルタ層CFとして、例えば赤色に着色された樹脂材料からなる第1カラーフィルタ層CF1、青色に着色された樹脂材料からなる第2カラーフィルタ層CF2、緑色に着色された樹脂材料からなる第3カラーフィルタ層CF3が配置されている。 The color filter layer CF is disposed on the switching element SW. Such a color filter layer CF includes a plurality of types of color filter layers colored in different colors. In the example shown here, as the color filter layer CF, for example, a first color filter layer CF1 made of a resin material colored in red, a second color filter layer CF2 made of a resin material colored in blue, and colored in green. A third color filter layer CF3 made of a resin material is disposed.
これらの第1乃至第3カラーフィルタ層CF1乃至3は、アクティブエリアACTの第2方向Yに沿って延在している。また、これらの第1乃至第3カラーフィルタ層CF1乃至3は、第1方向Xに交互に配置され、図示した例では、アクティブエリアACTの左側から右側に向かって順に、第1カラーフィルタ層CF1、第2カラーフィルタ層CF2、第3カラーフィルタ層CF3、第1カラーフィルタ層CF1、…、第3カラーフィルタ層CF3と交互に配置されている。 These first to third color filter layers CF1 to CF3 extend along the second direction Y of the active area ACT. The first to third color filter layers CF1 to CF3 are alternately arranged in the first direction X. In the illustrated example, the first color filter layer CF1 is sequentially arranged from the left side to the right side of the active area ACT. The second color filter layer CF2, the third color filter layer CF3, the first color filter layer CF1,..., The third color filter layer CF3 are alternately arranged.
また、これらの第1乃至第3カラーフィルタ層CF1乃至3は、互いに離間することなく、それぞれの周縁部が重なるように配置されている。つまり、第1カラーフィルタ層CF1の周縁部は、第1方向Xに隣接する第2カラーフィルタ層CF2の周縁部と重なって重畳部を形成している。同様に、第2カラーフィルタ層CF2の周縁部は第1方向Xに隣接する第3カラーフィルタ層CF3の周縁部と重なり、また、第3カラーフィルタ層CF3の周縁部は第1方向Xに隣接する第1カラーフィルタ層CF1の周縁部と重なり、それぞれ重畳部を形成している。これらの重畳部は、図示した例では、ソース線Sの略直上に位置している。このため、第1乃至第3カラーフィルタ層CF1乃至3の下層の導電層、例えばソース線Sやゲート線Gや補助容量線Cがむき出しとならず、第1乃至第3カラーフィルタ層CF1乃至3の上に画素電極PEを形成した際のショートの発生を防止できる。 Further, the first to third color filter layers CF1 to CF3 are disposed so as to overlap each other without being separated from each other. That is, the peripheral portion of the first color filter layer CF1 overlaps with the peripheral portion of the second color filter layer CF2 adjacent in the first direction X to form an overlapping portion. Similarly, the peripheral edge of the second color filter layer CF2 overlaps with the peripheral edge of the third color filter layer CF3 adjacent to the first direction X, and the peripheral edge of the third color filter layer CF3 is adjacent to the first direction X. The first color filter layer CF1 overlaps with the peripheral edge of the first color filter layer CF1 to form overlapping portions. These overlapping portions are located substantially immediately above the source line S in the illustrated example. For this reason, the conductive layers under the first to third color filter layers CF1 to CF3, for example, the source line S, the gate line G, and the auxiliary capacitance line C are not exposed, and the first to third color filter layers CF1 to CF3 are not exposed. It is possible to prevent occurrence of a short circuit when the pixel electrode PE is formed on the substrate.
これらの第1乃至第3カラーフィルタ層CF1乃至3のそれぞれは、第2方向Yに並んだ画素PXの各スイッチング素子SWを覆うように配置されている。また、これらの第1乃至第3カラーフィルタ層CF1乃至3の上には、それぞれ第2方向Yに並んだ複数の画素電極PEが配置されている。各画素電極PEは、スイッチング素子SWのドレイン電極WDに電気的に接続されている。このような画素電極PEは、各画素PXの開口部に対応して配置されている。 Each of the first to third color filter layers CF1 to CF3 is disposed so as to cover the switching elements SW of the pixels PX arranged in the second direction Y. A plurality of pixel electrodes PE arranged in the second direction Y are arranged on the first to third color filter layers CF1 to CF3. Each pixel electrode PE is electrically connected to the drain electrode WD of the switching element SW. Such a pixel electrode PE is arranged corresponding to the opening of each pixel PX.
上述したアレイ基板ARにおいて、アクティブエリアACTの外側には、シール材5が配置されている。図示した例では、シール材5は、略矩形状のアクティブエリアACTの外周に沿って矩形枠状に形成されている。特に、このシール材5は、閉ループ状に形成されており、いわゆる注入口を確保するべく途中で途切れた形状とは異なる。なお、図示した例では、アレイ基板ARの画素電極PEなどが形成された面にシール材5を配置したが、図示しない対向基板CTのアレイ基板ARと向かい合う面にシール材を配置しても良い。
In the array substrate AR described above, the sealing
また、上述したアレイ基板ARにおいて、アクティブエリアACTの外側であってシール材5よりも内側には、遮光層6が配置されている。図示した例では、遮光層6は、略矩形状のアクティブエリアACTの外周に沿って矩形枠状に形成されている。このような遮光層6は、例えば、黒色に着色された樹脂材料によって形成されている。
In the array substrate AR described above, the
液晶表示パネルLPNの構造について、以下により詳細に説明する。 The structure of the liquid crystal display panel LPN will be described in detail below.
図3は、図2に示したアレイ基板ARを図中のA−B線で切断したときの液晶表示パネルLPNの概略断面図である。 FIG. 3 is a schematic cross-sectional view of the liquid crystal display panel LPN when the array substrate AR shown in FIG. 2 is cut along the line AB in the drawing.
アレイ基板ARは、ガラス板などの光透過性を有する第1絶縁基板10を用いて形成されている。スイッチング素子SWは、第1絶縁基板10の上に形成された半導体層SCを備えている。この半導体層SCは、チャネル領域SCCを挟んだ両側にそれぞれソース領域SCS及びドレイン領域SCDを有している。なお、第1絶縁基板10と半導体層SCとの間には、絶縁膜であるアンダーコート層が介在していても良い。半導体層SCは、ゲート絶縁膜11によって覆われている。また、ゲート絶縁膜11は、第1絶縁基板10の上にも配置されている。
The array substrate AR is formed using a first insulating
ゲート電極WGは、ゲート絶縁膜11の上に形成され、半導体層SCのチャネル領域SCCの直上に位置している。ゲート電極WGは、層間絶縁膜12によって覆われている。また、この層間絶縁膜12は、ゲート絶縁膜11の上にも配置されている。これらのゲート絶縁膜11及び層間絶縁膜12は、例えば、酸化シリコン及び窒化シリコンなどの無機系材料によって形成されている。
The gate electrode WG is formed on the
スイッチング素子SWのソース電極WS及びドレイン電極WDは、層間絶縁膜12の上に形成されている。ソース電極WSは、ゲート絶縁膜11及び層間絶縁膜12を貫通するコンタクトホールを通して半導体層SCのソース領域SCSにコンタクトしている。同様に、ドレイン電極WDは、ゲート絶縁膜11及び層間絶縁膜12を貫通するコンタクトホールを通して半導体層SCのドレイン領域SCDにコンタクトしている。
The source electrode WS and the drain electrode WD of the switching element SW are formed on the
このような構成のスイッチング素子SWの上にはカラーフィルタ層が配置されている。すなわち、画素PX1において、第1カラーフィルタ層CF1は、ソース電極WS及びドレイン電極WDを覆うとともに、層間絶縁膜12の上にも配置され、さらに、第1方向Xに隣接する2本のソース線Sの上にもそれぞれ延在している。この第1カラーフィルタ層CF1は、概略テーパ状の断面を有している。第1カラーフィルタ層CF1が延在した2本のソース線Sのうちの一方のソース線Sの直上近傍では、第1カラーフィルタ層CF1の上に第3カラーフィルタ層CF3が重なり、重畳部OLを形成している。このような第1カラーフィルタ層CF1には、画素PX1に配置されたスイッチング素子SWのドレイン電極WDに到達するコンタクトホールCH1が形成されている。
A color filter layer is disposed on the switching element SW having such a configuration. That is, in the pixel PX1, the first color filter layer CF1 covers the source electrode WS and the drain electrode WD, and is also disposed on the
画素PX2においても同様に第2カラーフィルタ層CF2が配置されている。この第2カラーフィルタ層CF2は、画素PX1と画素PX2との間のソース線Sの直上近傍で第1カラーフィルタ層CF1の上に重なり、重畳部OLを形成している。この第2カラーフィルタ層CF2には、画素PX2に配置されたスイッチング素子SWのドレイン電極WDに到達するコンタクトホールCH2が形成されている。 Similarly, in the pixel PX2, the second color filter layer CF2 is disposed. The second color filter layer CF2 overlaps the first color filter layer CF1 in the vicinity immediately above the source line S between the pixels PX1 and PX2 to form an overlapping portion OL. In the second color filter layer CF2, a contact hole CH2 reaching the drain electrode WD of the switching element SW disposed in the pixel PX2 is formed.
また、画素PX3においても同様に第3カラーフィルタ層CF3が配置されている。この第3カラーフィルタ層CF3は、画素PX2と画素PX3との間のソース線Sの直上近傍で第2カラーフィルタ層CF2の上に重なり、重畳部OLを形成している。この第3カラーフィルタ層CF3には、画素PX3に配置されたスイッチング素子SWのドレイン電極WDに到達するコンタクトホールCH3が形成されている。 Similarly, the third color filter layer CF3 is arranged in the pixel PX3. The third color filter layer CF3 overlaps the second color filter layer CF2 in the vicinity immediately above the source line S between the pixels PX2 and PX3 to form an overlapping portion OL. In the third color filter layer CF3, a contact hole CH3 reaching the drain electrode WD of the switching element SW disposed in the pixel PX3 is formed.
図示した重畳部OLは、いずれもソース線Sの直上付近において、第1カラーフィルタ層CF1と第2カラーフィルタ層CF2、第2カラーフィルタ層CF2と第3カラーフィルタ層CF3、第3カラーフィルタ層CF3と第1カラーフィルタ層CF1といった2種類のカラーフィルタ層が積層された2層構造であるが、第1乃至第3カラーフィルタ層CF1乃至3が積層された3層構造であっても良い。また、重畳部OLは、ソース線Sの直上付近に限らず、ゲート線Gの直上付近や、補助容量線Cの直上付近に形成されても良い。 In the illustrated overlapping portion OL, the first color filter layer CF1, the second color filter layer CF2, the second color filter layer CF2, the third color filter layer CF3, and the third color filter layer are located in the vicinity immediately above the source line S. Although it has a two-layer structure in which two kinds of color filter layers such as CF3 and first color filter layer CF1 are stacked, a three-layer structure in which first to third color filter layers CF1 to CF3 are stacked may be used. Further, the overlapping portion OL is not limited to the vicinity immediately above the source line S, but may be formed in the vicinity immediately above the gate line G or in the vicinity immediately above the storage capacitor line C.
これらの第1乃至第3カラーフィルタ層CF1乃至3は、重畳部OLを含む略全体が絶縁膜であるオーバーコート層13によって覆われている。つまり、オーバーコート層13は、第1乃至第3カラーフィルタ層CF1乃至3のうち、第1カラーフィルタ層CF1のみが配置された部分、第1カラーフィルタ層CF1と第2カラーフィルタ層CF2との重畳部OL、第2カラーフィルタ層CF2のみが配置された部分、第2カラーフィルタ層CF2と第3カラーフィルタ層CF3との重畳部OL、第3カラーフィルタ層CF3のみが配置された部分、さらには、第3カラーフィルタ層CF3と第1カラーフィルタ層CF1との重畳部OLのそれぞれの上面に配置されている。
These first to third color filter layers CF1 to CF3 are covered with an
このオーバーコート層13には、貫通孔THが形成されている。貫通孔THは、第1乃至第3カラーフィルタ層CF1乃至3のそれぞれに形成されたコンタクトホールCH1乃至3に連通している。このようなオーバーコート層13は、例えば、ポジ型レジストなどの光透過性を有するフォトレジストによって形成されている。
A through hole TH is formed in the
このようなオーバーコート層13は、概ね上方(つまり対向基板CTの側)に突出することなく、略平坦に形成されている、もしくは、一部に凹部が形成されている。図示した例では、オーバーコート層13において、重畳部OLの直上には凹部13Cが形成されている。換言すると、重畳部OLの直上に位置するオーバーコート層13の上面T1は、画素電極PEが配置される下地となるオーバーコート層13の上面T2よりも窪んでいる。このような凹部13Cは、ソース線Sの直上付近に位置している。第1乃至第3カラーフィルタ層CF1乃至3が図2に示したようなパターンで形成された場合、凹部13Cは、アクティブエリアACTにおいて第2方向Yに延在し、ストライプ状に形成されている。オーバーコート層13の上面が略平坦が形成された例については後述する。
Such an
画素電極PEは、アクティブエリアACTにおいて各画素PXに配置されている。すなわち、この画素電極PEは、オーバーコート層13の上に配置されている。このような画素電極PEは、インジウム・ティン・オキサイド(ITO)やインジウム・ジンク・オキサイド(IZO)などの光透過性を有する導電材料によって形成されている。
The pixel electrode PE is disposed in each pixel PX in the active area ACT. That is, the pixel electrode PE is disposed on the
画素PX1に配置された画素電極PEは、オーバーコート層13に形成された貫通孔TH及び第1カラーフィルタ層CF1に形成されたコンタクトホールCH1を通してドレイン電極WDと電気的に接続されている。同様に、画素PX2に配置された画素電極は貫通孔TH及びコンタクトホールCH2を通してドレイン電極と電気的に接続されている。同様に、画素PX3に配置された画素電極は貫通孔TH及びコンタクトホールCH3を通してドレイン電極と電気的に接続されている。
The pixel electrode PE disposed in the pixel PX1 is electrically connected to the drain electrode WD through the through hole TH formed in the
これらの画素電極PEの表面は、第1配向膜14によって覆われている。すなわち、第1配向膜14は、アレイ基板ARの対向基板CTと向かい合う側の表面、つまり、液晶層LQに接する面に配置されている。
The surfaces of these pixel electrodes PE are covered with the
アレイ基板ARのアクティブエリアACTの外側においては、遮光層6が配置され、さらにその外側にはシール材5が配置されている。
A
一方、液晶表示パネルLPNの対向基板CTは、ガラス板などの光透過性を有する第2絶縁基板30を用いて形成されている。この対向基板CTは、第2絶縁基板30に対向電極CEなどを備えている。
On the other hand, the counter substrate CT of the liquid crystal display panel LPN is formed using a second insulating
対向電極CEは連続膜であり、アクティブエリアACTにおいては、液晶層LQを介して各画素電極PEと対向している。また、この対向電極CEは、アクティブエリアACTの外側にも延在し、シール材5よりも外側において図示しない導電部材を介してアレイ基板ARの側から所定の電圧が印加される。このような対向電極CEは、ITOやIZOなどの光透過性を有する導電材料によって形成されている。
The counter electrode CE is a continuous film and faces each pixel electrode PE via the liquid crystal layer LQ in the active area ACT. The counter electrode CE also extends outside the active area ACT, and a predetermined voltage is applied from the array substrate AR side via a conductive member (not shown) outside the
対向電極CEの表面は、第2配向膜31によって覆われている。すなわち、第2配向膜31は、対向基板CTのアレイ基板ARと向かい合う側の表面、つまり液晶層LQに接する面に配置されている。
The surface of the counter electrode CE is covered with the
上述したようなアレイ基板ARと対向基板CTとは、それぞれの第1配向膜14及び第2配向膜31が対向するように配置されている。このとき、アレイ基板ARの第1配向膜14と対向基板CTの第2配向膜31との間には、例えば、樹脂材料によって一方の基板に一体的に形成された柱状スペーサが配置され、これにより、所定のギャップ、例えば3〜7μmのギャップが形成される。アレイ基板ARと対向基板CTとは、所定のギャップが形成された状態でシール材5によって貼り合わせられている。
The array substrate AR and the counter substrate CT as described above are arranged so that the
液晶層LQは、上述したセルギャップに封入されている。すなわち、液晶層LQは、アレイ基板ARの画素電極PEと対向基板CTの対向電極CEとの間に保持された液晶材料によって構成されている。液晶層LQと画素電極PEとの間には、第1配向膜14が介在している。液晶層LQと対向電極CEとの間には、第2配向膜31が介在している。
The liquid crystal layer LQ is enclosed in the cell gap described above. That is, the liquid crystal layer LQ is made of a liquid crystal material held between the pixel electrode PE of the array substrate AR and the counter electrode CE of the counter substrate CT. A
液晶表示パネルLPNの一方の外面、つまり、アレイ基板ARを構成する第1絶縁基板10の外面には、第1偏光板PL1が接着剤などにより貼付されている。また、液晶表示パネルLPNの他方の外面、つまり、対向基板CTを構成する第2絶縁基板30の外面には、第2偏光板PL2が接着剤などにより貼付されている。
A first polarizing plate PL1 is attached to one outer surface of the liquid crystal display panel LPN, that is, the outer surface of the first insulating
次に、上述した液晶表示パネルLPNの製造方法について説明する。 Next, a method for manufacturing the above-described liquid crystal display panel LPN will be described.
まず、図4に示すように、第1絶縁基板10の上方にソース線Sや図示しないゲート線及び補助容量線を形成するとともにスイッチング素子SWを形成する。なお、ここでは、説明に必要な構成のみを図示しており、スイッチング素子SWを簡略化して図示するとともに、ゲート絶縁膜や層間絶縁膜は省略している。スイッチング素子SWは、画素PX1乃至PX3にそれぞれ形成される。
First, as shown in FIG. 4, a source line S, a gate line (not shown), and an auxiliary capacitance line are formed above the first insulating
続いて、図5に示すように、画素PX1に第1カラーフィルタ層CF1を形成する。この第1カラーフィルタ層CF1は、例えば、第1絶縁基板10の上面全体に着色された樹脂材料を成膜した後に、フォトリソグラフィプロセスを経て所望の形状にパターン化されることによって形成される。このような樹脂材料のパターニングの際に、画素PX1に配置されたスイッチング素子SWに到達するコンタクトホールCH1も同時に形成される。その後、同様にして、画素PX2にコンタクトホールCH2が形成された第2カラーフィルタ層CF2を形成する。さらにその後、同様にして、画素PX3にコンタクトホールCH3が形成された第3カラーフィルタ層CF3を形成する。
Subsequently, as shown in FIG. 5, a first color filter layer CF1 is formed on the pixel PX1. The first color filter layer CF1 is formed, for example, by forming a colored resin material on the entire upper surface of the first insulating
これらの第1乃至第3カラーフィルタ層CF1乃至3は、それらの周縁部で互いに重なるように配置される。このため、図示したように、第1カラーフィルタ層CF1の上に第2カラーフィルタ層CF2が重なった重畳部OLでは、第2カラーフィルタ層CF2が上方に向かって盛り上がっている。同様に、第2カラーフィルタ層CF2の上に第3カラーフィルタ層CF3が重なった重畳部OLでは、第3カラーフィルタ層CF3が上方に向かって盛り上がっている。図示していないが、第1カラーフィルタ層CF1の上に第3カラーフィルタ層CF3が重なった重畳部OLでも同様に、第3カラーフィルタ層CF3が上方に向かって盛り上がっている。 These first to third color filter layers CF1 to CF3 are disposed so as to overlap each other at their peripheral edge portions. For this reason, as illustrated, in the overlapping portion OL in which the second color filter layer CF2 overlaps the first color filter layer CF1, the second color filter layer CF2 swells upward. Similarly, in the overlapping portion OL where the third color filter layer CF3 overlaps the second color filter layer CF2, the third color filter layer CF3 rises upward. Although not shown, the third color filter layer CF3 is also raised upward in the overlapping portion OL in which the third color filter layer CF3 overlaps the first color filter layer CF1.
重畳部OLにおける盛り上がりの高さは、カラーフィルタ層の材料特性や厚さ、カラーフィルタ同士の重なり量、加工プロセスなどの条件によって変わるが、一例として、塗布したレジストRの厚さが約2μmである場合に、重畳部OLの直上付近でレジストRが0.2〜1.0μm程度盛り上がることがある。 The height of the swell in the overlapping portion OL varies depending on conditions such as the material characteristics and thickness of the color filter layer, the amount of overlap between the color filters, and the processing process. As an example, the thickness of the applied resist R is about 2 μm. In some cases, the resist R may swell by about 0.2 to 1.0 μm in the vicinity immediately above the overlapping portion OL.
続いて、図6に示すように、第1乃至第3カラーフィルタ層CF1乃至3の上にレジストRを塗布する。ここでは、レジストRとして、光照射により分解が促進され現像液に溶解するポジ型レジストを適用している。このレジストRは、塗布された際に下地の凹凸を吸収する傾向にあるが、重畳部OLの直上付近ではその上面は依然として上方に向かって盛り上がっている。 Subsequently, as shown in FIG. 6, a resist R is applied on the first to third color filter layers CF1 to CF3. Here, as the resist R, a positive resist that is decomposed by light irradiation and dissolved in a developer is applied. The resist R tends to absorb the unevenness of the base when it is applied, but the upper surface of the resist R still rises upward in the vicinity of just above the overlapping portion OL.
続いて、図7に示すように、レジストRのうち、コンタクトホールCH1乃至3の直上に位置するレジストRを第1露光量で露光するとともに、重畳部OLの直上に位置するレジストRを第1露光量とは異なる第2露光量で露光する。このような位置に応じて露光量が異なる露光工程は、たとえば、第1露光量で露光する工程と第2露光量で露光する工程とを分けて行っても良いが、コンタクトホールCH1乃至3に対向する領域が第1透過率(高透過率)であり且つ重畳部OLに対向する領域が第1透過率より低い第2透過率である露光マスクを用いて一括して行っても良い。また、露光マスクとして、重畳部OLに対向する領域にグラデーションが形成されたハーフトーンマスクを用いても良い。 Subsequently, as shown in FIG. 7, among the resists R, the resist R located immediately above the contact holes CH1 to CH3 is exposed with the first exposure amount, and the resist R located immediately above the overlapping portion OL is first exposed. The exposure is performed with a second exposure amount different from the exposure amount. The exposure process with different exposure amounts depending on the position may be performed by, for example, dividing the exposure process with the first exposure dose and the exposure process with the second exposure dose, but in the contact holes CH1 to CH3. The exposure may be performed in a lump using an exposure mask in which the facing region has the first transmittance (high transmittance) and the region facing the overlapping portion OL has the second transmittance lower than the first transmittance. In addition, a halftone mask in which gradation is formed in a region facing the overlapping portion OL may be used as the exposure mask.
ここでは、ポジ型レジストを適用しているため、露光量が大きいほどレジストRの分解が促進される。このため、コンタクトホールCH1乃至3の直上においては、レジストRを完全に除去し、コンタクトホールCH1乃至3に連通した貫通孔THを形成する必要があるため、第1露光量は高露光量に設定される。一方で、重畳部OLの直上においては、レジストRの盛り上がりを除去することが目的であり、レジストRを完全に除去することはないため、第2露光量は第1露光量よりも低露光量に設定される。 Here, since the positive resist is applied, the decomposition of the resist R is promoted as the exposure amount increases. For this reason, since it is necessary to completely remove the resist R and form the through holes TH communicating with the contact holes CH1 to CH3 immediately above the contact holes CH1 to CH3, the first exposure amount is set to a high exposure amount. Is done. On the other hand, since the purpose is to remove the swell of the resist R immediately above the overlapping portion OL and the resist R is not completely removed, the second exposure amount is lower than the first exposure amount. Set to
続いて、図8に示すように、上述したレジストRに対して現像処理などを施すことにより、コンタクトホールCH1乃至3に連通した貫通孔THが形成されたオーバーコート層13が形成される。また、このオーバーコート層13においては、重畳部OLの直上における盛り上がりが除去される。図8に示した例では、重畳部OLの直上におけるオーバーコート層13には凹部13Cが形成されている。このような凹部13Cは、重畳部OLまで貫通していない。
Subsequently, as shown in FIG. 8, by performing development processing or the like on the resist R described above, the
なお、図9に示したように、オーバーコート層13において、重畳部OLの直上が略平坦に形成されても良い。この場合、重畳部OLの直上に位置するオーバーコート層13の上面T1は、画素電極PEが配置される下地となるオーバーコート層の上面T2と同一平面を形成している。図8及び図9のいずれに示した例についても、重畳部OLはオーバーコート層13によって覆われている。
As shown in FIG. 9, in the
その後、図示を省略するが、画素PX1乃至画素PX3のそれぞれにおいて、オーバーコート層13の上に画素電極PEが形成され、さらにその後、画素電極PEの上に第1配向膜14が形成される。以上のような工程を経てアレイ基板ARが製造される。
Thereafter, although not shown, in each of the pixels PX1 to PX3, the pixel electrode PE is formed on the
続いて、図10に示すように、アレイ基板ARの画素電極PEが形成された面にシール材5を塗布する。このとき、シール材5は、図2などに示した通り、閉ループ状に形成される。その後、アレイ基板ARのシール材5で囲まれた内側に液晶材料Lを滴下する。このとき、液晶材料Lは、アレイ基板ARのシール材5が形成された面に滴下され、配向膜14の上に位置している。
Subsequently, as shown in FIG. 10, a
続いて、図11に示すように、アレイ基板ARと対向基板CTとを貼り合わせる。なお、ここで用意した対向基板CTは、第2絶縁基板30の上に対向電極CEを形成した後、この対向電極CEの上に第2配向膜31を形成したものである。この貼り合わせ工程では、例えば、真空にした組立チャンバー内に、液晶材料Lが滴下されたアレイ基板AR及び別個に用意した対向基板CTを挿入し、アレイ基板ARの上の液晶材料Lと対向基板CTの第2配向膜31とが向かい合うように配置される。そして、アレイ基板ARと対向基板CTとの間隔が小さくなるに従い、滴下した液晶材料Lがアレイ基板ARの第1配向膜14と対向基板CTの第2配向膜31との間で周囲に向かって広がり、これらの基板間を満たすことによって液晶注入が行われる。そして、シール材5の硬化処理がなされ、貼り合わせられたアレイ基板ARと対向基板CTとの間に液晶層LQを保持した液晶表示パネルが製造される。
Subsequently, as shown in FIG. 11, the array substrate AR and the counter substrate CT are bonded together. The counter substrate CT prepared here is obtained by forming the counter electrode CE on the second insulating
上述した本実施形態によれば、アレイ基板ARに形成されたカラーフィルタ層CFの段差、つまり対向基板CTに向かって突出した盛り上がり(凸部)が低減されている。このため、アレイ基板ARに滴下した液晶材料Lは、アレイ基板ARと対向基板CTとの間で周囲に向かって広がる際、アレイ基板ARの表面(つまり第1配向膜14の上面)及び対向基板CTの表面(つまり第2配向膜31の上面)に沿ってスムースに進み、短時間で均一な液晶層LQを形成することが可能となる。したがって、効率よく液晶注入を行うことが可能となり、歩留りを改善できる。 According to the embodiment described above, the step of the color filter layer CF formed on the array substrate AR, that is, the bulge (convex portion) protruding toward the counter substrate CT is reduced. Therefore, when the liquid crystal material L dropped onto the array substrate AR spreads between the array substrate AR and the counter substrate CT toward the periphery, the surface of the array substrate AR (that is, the upper surface of the first alignment film 14) and the counter substrate The liquid crystal layer LQ can be formed in a short time by proceeding smoothly along the surface of the CT (that is, the upper surface of the second alignment film 31). Therefore, liquid crystal can be injected efficiently and the yield can be improved.
また、本実施形態によれば、重畳部OLの直上における不所望な盛り上がりが低減されたため、液晶分子の配向不良またはセルギャップ変化を抑制することが可能となる。このため、重畳部OLの直上付近での画質低下、例えば透過率やコントラストや視野角の変化がなく、表示品位の改善に貢献できる。 In addition, according to the present embodiment, since an undesired rise immediately above the overlapping portion OL is reduced, it is possible to suppress alignment defects of the liquid crystal molecules or cell gap changes. For this reason, there is no deterioration in image quality in the vicinity immediately above the overlapping portion OL, for example, there is no change in transmittance, contrast, or viewing angle, which can contribute to improvement in display quality.
一方、カラーフィルタ層CFの盛り上がりが残っている場合、例えば、図2に示したようなパターンの第1乃至第3カラーフィルタ層CF1乃至3を形成した場合、第2方向Yに沿って延びた盛り上がりが形成されるため、液晶材料Lの第1方向Xへの広がりに対する抵抗となり、均一な液晶層を形成するまでに要する時間が本実施形態よりも長く、場合によってはアクティブエリアACTの周辺、特にコーナー部に僅かに気泡が残る場合もあった。 On the other hand, when the color filter layer CF remains swelled, for example, when the first to third color filter layers CF1 to CF3 having a pattern as shown in FIG. 2 are formed, the color filter layer CF extends along the second direction Y. Since the swell is formed, it becomes a resistance to the spread of the liquid crystal material L in the first direction X, and the time required to form a uniform liquid crystal layer is longer than that of this embodiment, and in some cases, the periphery of the active area ACT, In particular, a slight amount of bubbles may remain in the corner portion.
上述した実施の形態では、第1乃至第3カラーフィルタ層CF1乃至3のいずれもが第2方向Yに沿って直線的に延在していた例について説明したが、この例に限らない。 In the above-described embodiment, the example in which any of the first to third color filter layers CF1 to CF3 extends linearly along the second direction Y has been described. However, the present invention is not limited to this example.
例えば、図12に示した例は、図2などに示した例と比較して、第2カラーフィルタ層CF2及び第3カラーフィルタ層CF3が画素PXの開口部に配置される一方で、第1カラーフィルタ層CF1が画素PXの開口部のみならずコンタクトホールCH1乃至3が形成される補助容量線Cの上にも延在している点で相違している。 For example, in the example shown in FIG. 12, the second color filter layer CF2 and the third color filter layer CF3 are disposed in the opening of the pixel PX, compared to the example shown in FIG. The color filter layer CF1 is different in that it extends not only on the opening of the pixel PX but also on the auxiliary capacitance line C in which the contact holes CH1 to CH3 are formed.
このような例の場合にも、第1乃至第3カラーフィルタ層CF1乃至3は、それぞれの周縁部が重なるように配置され、重畳部OLが形成されている。このような重畳部OLのうち、特に図中のAで示した位置では、第1乃至第3カラーフィルタ層CF1乃至3の3層が積層されている。このため、位置Aに形成された重畳部OLは、2層のカラーフィルタ層が積層されて形成された他の位置の重畳部OLよりも高く盛り上がる。 Also in such an example, the first to third color filter layers CF1 to CF3 are arranged so that their peripheral portions overlap each other, and the overlapping portion OL is formed. In such an overlapping portion OL, in particular, at the position indicated by A in the figure, three layers of first to third color filter layers CF1 to CF3 are stacked. For this reason, the overlapping portion OL formed at the position A rises higher than the overlapping portion OL at other positions formed by stacking the two color filter layers.
これらの第1乃至第3カラーフィルタ層CF1乃至3の上にオーバーコート層13を配置した場合、重畳部OLの直上付近で盛り上がり、特に、位置Aでは高く盛り上がる。このため、位置A付近で液晶材料の広がりに対する抵抗が大きくなる。
When the
そこで、上述した例と同様に、オーバーコート層13を形成する際に、露光量を調整することにより、図13の概略断面図に示すように、位置Aを含む重畳部OLの直上に位置するオーバーコート層13の盛り上がりを低減することができる。これにより、液晶材料をよりスムースに広げることができ、短時間で均一な液晶層LQを形成することが可能となる。
Therefore, similarly to the above-described example, when the
なお、この発明は、上記実施形態そのものに限定されるものではなく、その実施の段階ではその要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化できる。また、上記実施形態に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合せにより種々の発明を形成できる。例えば、実施形態に示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除してもよい。更に、異なる実施形態に亘る構成要素を適宜組み合せてもよい。 In addition, this invention is not limited to the said embodiment itself, In the stage of implementation, it can change and implement a component within the range which does not deviate from the summary. Further, various inventions can be formed by appropriately combining a plurality of constituent elements disclosed in the embodiment. For example, some components may be deleted from all the components shown in the embodiment. Furthermore, you may combine suitably the component covering different embodiment.
例えば、上述した実施の形態では、オーバーコート層を形成するレジストとしてポジ型レジストを適用した例について説明したが、ネガ型レジストを適用することも可能である。 For example, in the above-described embodiment, an example in which a positive resist is applied as a resist for forming the overcoat layer has been described. However, a negative resist can also be applied.
また、本実施形態では、第1乃至第3カラーフィルタ層CF1乃至3をアレイ基板ARに形成するいわゆるカラーフィルタ・オン・アレイ(COA)構造について説明したが、これらの第1乃至第3カラーフィルタ層CF1乃至3は、対向基板CTに形成されても良い。この場合、第1乃至第3カラーフィルタ層CF1乃至3は、第2絶縁基板30と対向電極CEとの間に配置され、さらに、これらの第1乃至第3カラーフィルタ層CF1乃至3と対向電極CEとの間にオーバーコート層13が配置される。このような構成においても、重畳部OLの直上に位置するオーバーコート層13の盛り上がりを低減することにより、本実施形態と同様の効果が得られる。
In the present embodiment, the so-called color filter-on-array (COA) structure in which the first to third color filter layers CF1 to CF3 are formed on the array substrate AR has been described, but these first to third color filters are also described. The layers CF1 to CF3 may be formed on the counter substrate CT. In this case, the first to third color filter layers CF1 to CF3 are disposed between the second insulating
さらに、本実施形態では、液晶層LQに印加する電界をアレイ基板ARに形成した画素電極PEと対向基板CTに形成した対向電極CEとの間で形成した場合について説明したが、一方の基板に画素電極PEと対向電極CEとを形成したいわゆる横電界モードを適用しても良い。 Furthermore, in the present embodiment, the case where the electric field applied to the liquid crystal layer LQ is formed between the pixel electrode PE formed on the array substrate AR and the counter electrode CE formed on the counter substrate CT has been described. A so-called lateral electric field mode in which the pixel electrode PE and the counter electrode CE are formed may be applied.
さらに、本実施形態では、液晶注入を滴下注入方式にて説明したが、シールによって注入口を設け、真空排気後に注入口に液晶を付けた後に大気圧に戻す従来の注入方式でも同様な効果が期待できる。 Further, in the present embodiment, liquid crystal injection has been described by the dropping injection method, but the same effect can be obtained by a conventional injection method in which an injection port is provided by a seal and liquid crystal is attached to the injection port after evacuation and then returned to atmospheric pressure. I can expect.
LPN…液晶表示パネル AR…アレイ基板 CT…対向基板 LQ…液晶層
ACT…アクティブエリア PX…画素
G…ゲート線 C…補助容量線 S…ソース線 SW…スイッチング素子
PE…画素電極 CE…対向電極
CF…カラーフィルタ層 OL…重畳部 CH…コンタクトホール
13…オーバーコート層 13C…凹部 TH…貫通孔
LPN ... Liquid crystal display panel AR ... Array substrate CT ... Counter substrate LQ ... Liquid crystal layer ACT ... Active area PX ... Pixel G ... Gate line C ... Auxiliary capacitance line S ... Source line SW ... Switching element PE ... Pixel electrode CE ... Counter electrode CF ... color filter layer OL ... overlapping part CH ...
Claims (5)
前記第1基板に対向して配置された第2基板と、
前記第1基板と前記第2基板とを貼り合わせる閉ループ状のシール材と、
前記第1基板と前記第2基板との間であって前記シール材によって囲まれた内側に保持された液晶層と、
を備えたことを特徴とする液晶表示装置。 First and second switching elements, a first color filter layer disposed on the first switching element, and disposed on the second switching element and overlapping a part of the first color filter layer A second color filter layer forming the overlapping portion, an insulating film covering the first color filter layer and the second color filter layer and having a recess formed immediately above the overlapping portion, and the first color filter layer A first pixel electrode disposed on the insulating film located above and electrically connected to the first switching element; and disposed on the insulating film located above the second color filter layer. A first substrate comprising: a second pixel electrode electrically connected to the two switching elements;
A second substrate disposed opposite the first substrate;
A closed loop sealing material for bonding the first substrate and the second substrate;
A liquid crystal layer held between the first substrate and the second substrate and surrounded by the sealing material;
A liquid crystal display device comprising:
前記第1スイッチング素子上に第1コンタクトホールが形成された第1カラーフィルタ層を形成し、
前記第2スイッチング素子上に第2コンタクトホールが形成されるとともに前記第1カラーフィルタ層の一部に重なった重畳部を形成する第2カラーフィルタ層を形成し、
前記第1カラーフィルタ層上及び前記第2カラーフィルタ層上にレジストを塗布し、
第1コンタクトホールの直上及び前記第2コンタクトホールの直上に位置する前記レジストを第1露光量で露光するとともに前記重畳部の直上に位置する前記レジストを第1露光量とは異なる第2露光量で露光し、
前記レジストにより前記第1コンタクトホール及び前記第2コンタクトホールに連通した貫通孔が形成された絶縁膜を形成し、
前記第1カラーフィルタ層の上方に位置する前記絶縁膜上に前記第1スイッチング素子に電気的に接続された第1画素電極を形成するとともに、前記第2カラーフィルタ層の上方に位置する前記絶縁膜上に前記第2スイッチング素子に電気的に接続された第2画素電極を形成する第1基板の製造工程と、
前記第1基板の前記第1画素電極及び前記第2画素電極が形成された面に閉ループ状のシール材を塗布する工程と、
前記第1基板の前記シール材で囲まれた内側に液晶材料を滴下する工程と、
前記第1基板に第2基板を貼り合わせる工程と、
を備えたことを特徴とする液晶表示装置の製造方法。 Forming a first switching element and a second switching element above the insulating substrate;
Forming a first color filter layer having a first contact hole on the first switching element;
A second contact hole is formed on the second switching element and a second color filter layer is formed to form an overlapping portion overlapping a part of the first color filter layer;
Applying a resist on the first color filter layer and the second color filter layer;
Exposing the resist located immediately above the first contact hole and directly above the second contact hole with a first exposure amount, and exposing the resist located immediately above the overlapping portion to a second exposure amount different from the first exposure amount Exposure with
Forming an insulating film in which a through hole communicating with the first contact hole and the second contact hole is formed by the resist;
A first pixel electrode electrically connected to the first switching element is formed on the insulating film located above the first color filter layer, and the insulation located above the second color filter layer. Forming a first substrate on the film to form a second pixel electrode electrically connected to the second switching element;
Applying a closed loop sealing material to a surface of the first substrate on which the first pixel electrode and the second pixel electrode are formed;
Dropping a liquid crystal material inside the first substrate surrounded by the sealing material;
Bonding a second substrate to the first substrate;
A method for manufacturing a liquid crystal display device, comprising:
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