KR20100015697A

KR20100015697A - 경질의 자기 디스크 상에 윤활제 코팅을 증착시키기 위한 설비

Info

Publication number: KR20100015697A
Application number: KR1020097021803A
Authority: KR
Inventors: 피터센 칼
Original assignee: 인테벡, 인코포레이티드
Priority date: 2007-04-20
Filing date: 2008-04-21
Publication date: 2010-02-12
Also published as: US20080257264A1; JP2010525500A; CN101821801A; WO2008131349A1

Abstract

경질의 자기 디스크상에 윤활제 코팅을 증착시키는 설비는, 윤활제 코팅으로 코팅된 경질의 자기 디스크를 포함하는 카세트를 90 °회전시키는 로드 잠금부 및 언로드 잠금부를 구비한다. 공정 모듈에서 복수 개의 경질의 자기 디스크상에 윤활제 코팅이 동시에 증착된다. 경질의 자기 디스크를 포함하는 복수 개의 카세트는 진공 로드 잠금부 및 진공 언로드 잠금부에 동시에 위치한다. 경질의 자기 디스크를 포함하는 복수 개의 카세트는 윤활제 코팅을 증착하기 위해 진공 로드 잠금부와 모듈 사이에 있는 버퍼 영역에 동시에 위치한다.

자기 디스크, 윤활제 코팅, 공정 모듈, 진공 로드 잠금부, 진공 언로드 잠금부, 카세트.

Description

경질의 자기 디스크 상에 윤활제 코팅을 증착시키기 위한 설비{FACILITY FOR DEPOSITING LUBRICANT COATING ON HARD MAGNETIC DISKS}

본 발명은, 일반적으로, 경질의 자기 디스크 상에 윤활제 코팅을 증착시키기 위한 설비에 관한 것이며, 특히, 증기에 의해 얻어지는 윤활제 코팅으로 코팅되는 경질의 자기 디스크를 포함한 카세트가 가로지르는 경로를 포함하며, 그 경로가 적어도 한번 90 °회전하는 설비에 관한 것이다. 본 발명의 다른 태양은 경질의 자기 디스크 상에 윤활제 코팅을 증착시키는 설비에 관한 것이며, 이 설비는 진공 환경에서 윤활제 코팅을 복수 개의 경질의 자기 디스크 상에 실질적으로 동시에 증착시키는 장치를 포함한다. 본 발명의 추가적인 태양은 윤활제 코팅을 경질의 자기 디스크 상에 진공 증착시는 설비에 관한 것이며, 경질의 자기 디스크를 포함한 복수 개의 카세트는 로드 및/또는 언로드 진공 잠금부에 동시에 위치한다. 본 발명의 추가의 태양은 경질의 자기 디스크상에 윤활제 코팅을 진공 증착시키기 위한 설비에 관한 것으로서, 경질의 자기 디스크를 포함하는 복수 개의 카세트가 로드 진공 잠금부와, 경질의 자기 디스크상에 증기 윤활제 코팅을 증착시키는 모듈 사이에 있는 버퍼 영역에 동시에 위치한다. 본 발명의 또 다른 태양은 경질의 자기 디스크 상에 윤활제 코팅을 증착시키는 설비에 관한 것이며, 이 설비에는 본 단락에서 앞서 기술한 특징들이 결합되어 있다.

Hughes 등에 의한 미국 특허 제 6,183,831 호 (여기에 참조로서 통합됨) 는 진공 환경에서 디스크상의 자기 층에 윤활제를 증기 (즉, 기체의) 형태로 도포함으로써 윤활제 필름을 경질의 자기 디스크에 코팅시키는 설비를 개시한다. 바람직하게는 윤활제가 US 특허 제 5,776,577 호에 개시된 퍼플루오로폴리에테르 (PFPE) 이다. 경질의 자기 디스크는 로드 잠금부와 언로드 잠금부 각각을 통하여 진공 환경 안밖으로 (into and out) 운반되는 카세트 안으로 적재된다. 진공 환경은, 단일 자기 디스크가 윤활제 증기로 코팅되는 단일 처리실을 포함한다. 디스크의 양측은 단일 처리 간격을 두고 코팅된다. 단일 처리실은 경질의 자기 디스크를 카세트로부터, 디스크가 윤활제 증기에 노출되는 처리실의 일부안으로 들어올리는 리프트 블레이드를 포함한다. 코팅 작업이 완료된 후에, 리프트 블레이드는 처음에 경질의 자기 디스크가 들어올려졌던 카세트에 경질의 자기 디스크를 복귀시킨다. 단일 자기 디스크가 윤활제 증기로 코팅되는 단일 처리실은 12 스테이션 회전 스퍼터링 (12 station carousel sputtering) 공구의 하류부이다. 특정한 카세트 내에 있는 모든 디스크가 윤활제로 코팅된 후에, 카세트는 언로드 게이트를 통해 언로드 잠금부 안으로 지나가 공정을 완료한다.

Hughes 등의 특허에서 기술한 전술한 장치는 만족할만하게 수행되나, 개선될 수 있다. Hughes 등의 특허에서 기술한 설비의 작업 처리 (throughput) 공정 속도는 증가할 수 있으며 공간이 감소할 수 있다. 게다가, 경질의 자기 디스크에 윤활제 필름을 증착시키는 장치를, 완전한 경질의 자기 디스크를 형성하는 장치의 잔여부와는 별개인 독립형 유닛이 되도록 하는 것이 바람직한 경우가 있다.

본 발명은 카세트에 적재되게 되어 있는 경질의 자기 디스크에 윤활제 코팅을 증착시키는 설비를 각각 포함하는 다수의 특징을 포함한다. 설비는 진공 로드 잠금부 및 진공 언로드 잠금부를 포함하는 경로를 통해 카세트를 운반하는 장치를 포함한다. 경로는, 또한, 진공 로드 잠금부와 진공 언로드 잠금부 사이에 있으며 경질의 자기 디스크상에 윤활제 증기를 증착시키는 진공 공정 모듈을 포함하며, 증착된 윤활제 증기는 경질의 자기 디스크 상에 윤활제 코팅을 형성한다.

일 특징에 따르면, 경로는 적어도 한번, 바람직하게는 2 번, 카세트를 대략 90 °회전시킬 수 있게 형성되어 있다. 바람직하게는, 진공 로드 잠금부 및 진공 언로드 잠금부 모두는 카세트를 대략 90 °회전시켜, 작은 공간을 갖는 설비를 제공할 수 있도록 조력하지만, 오직 로드 잠금부 또는 언로드 잠금부 만이 그렇게 형성될 수 있다거나, 경로의 어딘가에 회전 장치가 있을 수 있음이 이해되어야 한다.

다른 특징에 따르면, 경로는 복수 개의 카세트 안으로 초기에 적재된 복수 개의 경질의 자기 디스크상에 윤활제 증기를 실질적으로 동시에 증착시키는 복수 개의 진공 공정 모듈을 포함한다. 복수 개의 경질의 자기 디스크에 윤활제를 실질적으로 동시에 증착시킴으로써, 작업 처리 속도가 비교적 커진다.

또 다른 특징은 로드 잠금부 및 언로드 잠금부 중의 적어도 하나가 이들의 입구 영역과 출구 영역 사이에 복수 개의 카세트가 동시에 있을 수 있도록 형성되어 있다는 것이다. 바람직하게는 로드 잠금부 및 언로드 잠금부 모두 이들의 입구 영역과 출구 영역 사이에 복수 개의 카세트가 동시에 있을 수 있도록 형성되어 있어, 작업처리 속도를 향상시킬 수 있게 조력한다. 그러나, 단지 로드 잠금부 또는 언로드 잠금부가 그렇게 형성될 수 있음이 이해되어야 한다.

추가적인 일 특징은 경로가 로드 잠금부의 출구 영역과 공정 모듈 사이에 버퍼 영역을 갖는다는 것이며, 버퍼 영역은 그 안에 복수 개의 카세트가 동시에 있을 수 있도록 형성되어 있다. 그 안에 복수 개의 카세트가 동시에 있을 수 있게 하는 버퍼 영역은 작업처리 속도를 향상시키는 것을 조력한다.

바람직하게는 큰 작업 처리량과 작은 공간을 제공할 수 있도록 하기 위해, 버퍼 영역은 2 개 이하의 카세트가 그 안에 동시에 있을 수 있게 형성되고, 로드 잠금부는 이 로드 잠금부의 입구 및 출구 영역에 각각 제 1 밸브 및 제 2 밸브를 포함하며, 언로드 잠금부는 이 언로드 잠금부의 입구 및 출구 영역에 각각 제 3 밸브 및 제 4 밸브를 포함할 수 있도록 설비가 제공된다. 로드 잠금부는 2 개의 카세트가 제 1 밸브와 제 2 밸브 사이에 동시에 있을 수 있게 형성되어 있으며, 언로드 잠금부는 2 개의 카세트가 제 3 밸브와 제 4 밸브 사이에 동시에 있을 수 있게 형성되어 있다. 진공 로드 잠금부 및 진공 언로드 잠금부는 카세트를 대략 90 °회전시킬 수 있게 형성되어 있다. 설비는 2 개의 경질의 자기 디스크상에 윤활제 증기를 동시에 증착시킬 수 있게 형성된 2 개의 공정 모듈을 포함한다.

평면도에서 보았을 때, 실질적으로 동일한 길이를 가지며 평행하는 제 1 레그 및 제 2 레그 그리고 이 평행한 제 1 레그 및 제 2 레그를 서로 연결하며 이들과 직각을 이루는 베이스를 포함한 대략 U 자형으로 설비를 형상화하여, 매우 작은 공간이 얻어질 수 있다. 제 1 레그 및 제 2 레그 각각은 로드 잠금부 및 언로드 잠금부를 포함하며, 베이스는 버퍼 영역과 2 개의 공정 모듈을 포함한다. 레그 사이의 공간과 레그의 길이는, 작동기가 (a) 유지 및 수리 (maintenance and service) 작업을 위해 베이스에 위치해 있는 공정 모듈에 근접되게 하고, (b) 베이스로부터 멀리 위치해 있는, 제 1 레그의 단부에 근접한 제 1 레그의 일부에서, 경질의 자기 디스크를 포함한 카세트를 컨베이어 장치상에 적재하고, (c) 베이스로부터 멀리 위치해 있는, 제 2 레그의 단부에 근접한 제 2 레그의 일부에서, 공정 모듈에서 코팅된 경질의 자기 디스크를 포함한 카세트를 컨베이어 장치로부터 제거할 수 있도록 하는 작동기 영역을 U 자형 내에 형성하는데 충분하다.

본 발명의 상기 목적 및 다른 목적, 특징 그리고 이점이 그의 특정 실시형태에 대한 이하의 상세한 설명부를 고려할 때 특히 첨부된 도면에 관련하여 이해될 때, 명백해질 것이다.

도 1 은 본 발명의 바람직한 실시형태에 따른 설비 내의 경로를 통하여 이송되는 카세트 내의 경질의 자기 디스크상에 윤활제 (윤활유) 증기를 증착시키는 독립형 설비에 대한 사시도이다.

도 2 는 도 1 에 도시된 설비의 평면도로서, 로드 잠금부 및 언로드 잠금부 및 버퍼 모듈 위의 커버가 제거된 것이다.

도 3 은 도 2 의 장치의 로드 잠금부 및 언로드 잠금부의 사시도이다.

도 4 는 도 3 에 도시된 구조의 분해도이다.

도 5 는 도 3 에 도시된 구조의 일부의 사시도이다.

도 6 은 도 5 에 도시된 구조의 분해도이다.

도 7 은 도 2 의 버퍼 잠금부의 일부의 사시도이다.

도 8 은 도 7 에 도시된 구조의 분해도이다.

도 9 는 도 1 및 도 2 에 도시된 공정 모듈의 사시도이다.

도 10 은 도 9 에 도시된 구조의 분해도이다.

도 11 은 도 9 및 도 10 의 공정 모듈 중 하나의 공정 모듈의 이송 세그먼트의 사시도이다.

도 12 는 도 11 에 도시된 구조의 분해도이다.

도 1 및 도 2 를 참조하면, 카세트 102 와 같은 카세트 내의 경질의 자기 디스크상에 윤활제 코팅을 증기 증착시키기 위한 독립형 설비 (100) 가 컨베이어 (126) 상에 위치되고, 이 컨베이어는 카세트의 존재를 인지할 때 카세트 (102) 를,설비 (110) 의 평행한 레그 (leg) 중 하나의 레그로 이송시킨다. 컨베이어 (126) 를 위한 제어기가 장착된 캐비넷 (104) 은, 캐비넷 및 장치를 큰 어려움 없이 이동시킬 수 있도록 하기 위해 설비 (100) 와 캐스터 (108; casters) 의 평편도를 보장하도록 높이가 조정가능한 발 부분 (feet) (106) 을 구비한다.

도 2 에 도시된 평면도에서 설비 (100) 는, 베이스 (114) 에 의해 함께 연결된 평행한 2 개의 레그 (110, 112) 를 포함한 대략 U 자형의 형상을 갖는다. 또, 캐비넷 (104) 은 2 개의 평행한 레그 (116, 118) 를 포함하는데, 이 레그들은 각각 레그 (110, 112) 및 베이스 (114) 가 위에 고정 장착된 베이스 (120) 에 의해 함께 연결되어 있다. 캐비넷 (104) 은 베이스 (120) 로부터 멀리 위치해 있는, 레그 (118) 의 단부에, 베이스 (120) 에 평행하게 뻗어있는 부속물 (122) 을 구비한다.

레그 (118) 로부터 멀리 위치해 있는, 부속물 (122) 의 단부는, 작동기가 캐비넷 (104) 의 외벽에 의해 형성된 72 " x 96 " 의 직사각형의 공간 내의 작동기 영역 (124) 으로 들어갈 수 있게 하는 개구를 제공할 수 있도록, 레그 (116) 로부터 이격되어 있다. 작동기는, 작동기 영역 (124) 내에 있는 동안, 설비 (100) 에서 윤활제 필름으로 코팅되어질 경질의 자기 디스크를 갖는 카세트를, 베이스 (120) 로부터 멀리 위치해 있는, 레그 (116) 의 단부와 설비 (100) 사이에 뻗어있는 모터 구동 롤러 컨베이어 장치 (126) 상에 적재한다. 유사한 모터 구동 롤러 컨베이어 (127) 가 베이스 (120) 로부터 멀리 위치해 있는, 레그 (118) 의 단부와 설비 (100) 사이에 뻗어있다. 적절한 컨베이어 장치는 Stratus Automation Corp. Kent, Washington 으로부터 이용가능하다. 작동기는, 작동기 영역 (114) 내에 있는 동안, 베이스 (120) 로부터 멀리 위치해 있는, 레그 (116) 의 단부 쪽의 컨베이어 장치 (126) 의 일부 상에 카세트를 적재한다. 작동기는, 작동기 영역 (124) 내에 있는 동안, 베이스 (120) 로부터 멀리 위치해 있는, 레그 (118) 의 단부에서 발생하는 하역 작동에 의해, 설비 (100) 에서 윤활제로 증기 코팅된 경질의 자기 디스크를 포함한 카세트를 컨베이어 장치 (127) 로부터 하역한다.

카세트 (102) 가 베이스 (120) 로부터 멀리 위치해 있는, 레그 (116) 의 단부쪽의 컨베이어 장치 (126) 의 일부 상에 적재된 후에, 컨베이어 장치는 카세트를 개방 솔레노이드 작동 게이트 밸브 (130) 를 통해 로드 잠금부 (132) 의 입구 단부 안으로 이송한다. 로드 잠금부 (132) 는, 게이트 밸브라는 중간물이 없이, 서로 연결된 제 1 섹션 (134) 과 제 2 섹션 (136) 을 포함하여, 이 양 섹션에는 동일한 압력이 존재하게 된다. 각각의 섹션 134 와 섹션 136 은 모터 구동 롤러 컨베이어를 포함한다. 게이트 밸브 (130) 가 개방되고 카세트 (102) 가 섹션 134 및 섹션 136 안으로 적재되는 동안에, 로드 잠금부 (132) 의 출구 단부에 있는 솔레노이드 작동 게이트 밸브 (137) 가 폐쇄된다. 섹션 134 및 섹션 136 은 각각 그 안에 오직 하나의 카세트 (102) 만이 위치될 수 있도록 충분히 길게 되어 있으며 이로써, 로드 잠금부 (132) 에는 동시에 2 개의 카세트가 있게 된다. 2 개의 카세트 (102) 가 동시에 로드 잠금부 (132) 에 적재된 후에는, 게이트 밸브 (130) 가 폐쇄된다. 그리고 나서, 로드 잠금부 (132) 에 장착된 진공 펌프 (138) 가 로드 잠금부 (132) 의 압력을 대기압으로부터, 카세트 (102) 를 버퍼 모듈 (140) 로 이송시키는데 적합한 진공 압력까지 감소시킨다.

로드 잠금부 (132) 의 섹션 136 은 모터 구동 롤러 컨베이어를 구비한 90 °턴테이블 (turntable) 을 포함하고, 이러한 턴테이블은 예컨데 Stratus Automation Corp. 로부터 이용가능한 것이다. 섹션 136 에 있는 턴테이블은 그 섹션 136 안으로 적재된 카세트 (102) 의 길이 방향 축선을 90 °회전시킨다. 그러므로, 턴테이블은 카세트 (102) 의 길이 방향 축선을, 레그 (110) 의 길이 방향과의 정렬 상태로부터 베이스 (114) 의 길이 방향과의 정렬상태로 바꾼다. 섹션 136 에 있는 턴베이블 상의 컨베이어는, 게이트 밸브 (130) 가 개방되고 2 개의 카세트가 컨베이어 장치 (126) 에 의해 로드 잠금부 (132) 안으로 적재되는 동안, 섹션 134 에 있는 컨베이어와 길이 방향으로 정렬된다.

컨베이어 장치 (126) 가 제 1 카세트 및 제 2 카세트 (102) 를 각각 섹션 134 와 섹션 136 으로 이동시키고 게이트 밸브 (130, 137) 가 폐쇄된 후, 그리고 펌프 (138) 가 로드 잠금부 (132) 를 펌핑하는 동안에, 섹션 136 에 있는 턴테이블은 제 1 방향으로 90 °회전된다. 로드 잠금부 (132) 에서 적합한 진공 압력이 획득되고, 초기에 섹션 136 에 있던 카세트 (102) 가 90 °회전된 후에, 게이트 밸브 (137) 는 개방되고, 섹션 136 에 있는 컨베이어 장치 (126) 의 일부가 초기에 섹션 136 에 있던 카세트를 게이트 밸브 (137) 를 통해 이동시킨다. 그리고 나서 섹션 136 에 있는 턴테이블이 제 2 방향 (제 1 방향에 대하여 반대방향) 으로 90 °회전되어, 섹션 136 에 있는 컨베이어 부분의 길이 방향 축선이 섹션 134 에 있는 컨베이어 부분의 길이 방향 축선에 다시 정렬된다. 그리고 나서, 초기에 섹션 134 에 있던 카세트 (102) 는 섹션 134 및 섹션 136 에 있는 컨베이어 부분에 의해 섹션 136 으로 이동된다. 그리고 나서 섹션 136 에 있는 턴테이블이 제 1 방향으로 90 °회전됨으로써, 초기에 섹션 134 에 있던 카세트의 길이 방향 축선이 90 °회전되어 베이스 (114) 의 길이 방향 축선에 정렬된다. 그리고 나서 섹션 136 에 있는 컨베이어는 초기에 섹션 134 에 있던 카세트를 게이트 밸브 (137) 를 통해 길이 방향으로 이동시킨다. 그리고 나서, 게이트 밸브 (137) 는 폐쇄되 고, 턴테이블은 제 2 방향으로 90 °회전되며 이어서 게이트 밸브 (130) 가 개방된다. 게이트 밸브 (130) 가 개방되고, 게이트 밸브 (137) 가 폐쇄되면, 2 개의 추가 카세트가 로드 잠금부 (132) 안으로 적재되며, 앞서 말한 절차가 반복된다.

2 개의 카세트 (102) 는 게이트 밸브 (137) 를 통과한 후에, 진공 버퍼 모듈 (140) 안에 있게 되며, 이 진공 버퍼 모듈은, 동일하게 구성되고 정렬된 2 개의 섹션 (142, 144) 을 구비하며 이 섹션들은 함께 연결되어 있다. 섹션 (142, 144) 은 게이트 밸브라는 중간물이 없이 서로 연결되어 있어서, 양 섹션에 동일한 진공 압력이 있게 된다. 각각의 섹션 (142, 144) 이 버퍼 모듈 (140) 내에서 적합한 진공 압력에 이르는 진공 펌프에 연결된 솔레노이드 작동 러프 (rough) 밸브를 포함하여, 윤활제 증기가 카세트 (102) 내의 경질의 자기 디스크상에 코팅될 수 있게 된다. 각각의 섹션 (142, 144) 은 또한 모터 구동 롤러 컨베이어를 포함한다. 게이트 밸브 (137) 가 개방되고, 이전에 로드 잠금부 (132) 에 있던 카세트 (102) 가 로드 잠금부 (132) 및 버퍼 모듈 (140) 에 있는 컨베이어에 의해 버퍼 모듈 (140) 안으로 이동되는 동안, 버퍼 모듈 (140) 의 출구 단부에 있는 솔레노이드 작동 게이트 밸브 (146) 는 폐쇄된다. 각각의 섹션 (142, 144) 은 그 안에 하나의 카세트 (102) 가 위치될 수 있도록 충분히 길어서, 2 개의 카세트가 동시에 버퍼 모듈 (140) 내에 있다. 컨베이어 장치 (126) 가 2 개의 카세트 (102) 를 버퍼 모듈 (140) 안에 적재하여 제 1 의 카세트가 섹션 142 에 있고, 제 2 의 카세트가 섹션 144 에 있게 된 후에, 게이트 밸브 (137) 는 폐쇄된다. 공정 모듈 (150) 이 버퍼 모듈 (140) 에 있는 카세트 내의 경질의 자기 디스크를 수용할 준비 가 되면, 게이트 밸브 (146) 가 개방되고, 버퍼 모듈 (140) 및 공정 모듈 (150) 의 컨베이어가 2 개의 카세트를 공정 모듈 (150) 로 이송한다.

공정 모듈 (150) 은, 동일하게 구성되어 있으며 정렬되어 있는 2 개의 섹션 (152, 154) 을 포함하며 이 섹션들은 함께 연결되어 있다. 섹션 152, 154 은 서로 연결되어 있다. 섹션 152, 154 이 솔레노이드 작동 게이트 밸브 (155) 라는 중간물을 통해 서로 연결되어 있어, 섹션 152 에서의 경질의 자기 디스크에 대한 처리가 섹션 154 에서의 디스크 처리에 영향을 미치지 않으며, 또한 섹션 154 에서의 디스크 처리가 섹션 152 에서의 디스크 처리에 영향을 미치지 않는다. 각각의 섹션 152, 154 안에 적합한 진공 압력을 유지시키는 것을 조력할 수 있도록, 각각의 섹션은 밸브라는 중간물 없이 각각의 섹션 내의 챔버에 직접 연결되는 개별적인 진공 펌프 (157) 를 갖는다.

각각의 섹션 152, 154 은 모터 구동 롤러 컨베이어를 포함한다. 게이트 밸브 (146) 가 개방되고, 버퍼 모듈 (140) 및 공정 모듈 (150) 에 있는 컨베이어가 제 1 카세트 및 제 2 카세트를 각각 섹션 152, 154 에 적재하는 동안, 공정 모듈 (150) 의 출구 단부에 있는 솔레노이드 작동 게이트 밸브 (156) 는 폐쇄된다. 각각의 섹션 152, 154 은 그 안에 동시에 2 개의 카세트 (102) 가 위치할 수 있도록 충분히 길다. 2 개의 카세트 (102) 가 공정 모듈 (150) 에 동시에 있을지라도, 디스크를 코팅하는 동안에는, 섹션 152, 154 의 각각에 2 개의 카세트 (102) 가 결코 동시에 위치하지 않는다. 2 개의 카세트 (102) 가 공정 모듈 (150) 안에 적재되어 제 1 카세트가 섹션 152 에 있고 제 2 카세트가 섹션 154 에 있게 된 후에, 게이트 밸브 (146, 156) 는 폐쇄된다.

각각의 섹션 152, 154 이 이송 세그먼트 (158) 및 공정 세그먼트 (160) 를 포함한다. 각각의 이송 세그먼트 (158) 는 (1) 카세트를 특정 섹션 152, 154 을 통해 이송시키기 위한 모터 구동 롤러 컨베이어, (2) 특정 섹션에 있는 카세트 내의 각각의 경질의 자기 디스크를 그 섹션의 공정 세그먼트 (160) 로 개별적으로 들어올리기 위한 솔레노이드 작동 리프트 블레이드 어셈블리를 포함한다. 각각의 공정 세그먼트 (160) 는 전술한 미국 특허 제 6,183,831 호의 개시 사항에 따라 구성될 수 있지만, 바람직하게는 여기에 참조로 통합되어 있는, 공동 계류 (co-pending) 중이며, 공동 양도된, 2007 년 3 월 29 일에 출원된 Petersen 등에 의한 일련번호 제 11/693,039 의 "Apparatus for and Method of Applying Lubricant Vapor to Hard Magnectic Disks Via a Vapor Flow Path Including a Selectively Opened and Closed Shutter" 의 개시 내용에 따라 구성된다.

섹션 152, 154 에 있는 리프트 블레이드 어셈블리가 각각의 섹션 152, 154 에 있는 경질의 자기 디스크를, 그 섹션에 있는 카세트로부터 그 섹션에 있는 공정 세그먼트 (160) 로 개별적으로 들어올려, 경질의 디스크가 공정 세그먼트 (160) 에서 정지되어 제자리에 있은 후에는, 섹션 152, 154 의 공정 세그먼트 (160) 는 섹션 152, 154 의 2 개의 공정 세그먼트에 있는 경질의 자기 디스크상에 증기 윤활유 필름을 코팅할 수 있게 작동된다. 결과적으로, 윤활유 필름이 섹션 152, 154 의 공정 세그먼트 (160) 로 들어올려진 2 개의 다른 경질의 자기 디스크에 동시에 또는 대략 동시에 도포될 수 있다.

경질의 자기 디스크가 특정 섹션 152, 154 의 공정 세그먼트 (160) 에서 처리된 후에, 특정 섹션에 있는 리프트 블레이드 어셈블리는 처리된 경질의 자기 디스크를 특정 섹션에 있는 카세트로 돌려보낸다. 그리고 나서, 특정 섹션에 있는 컨베이어 장치는 특정 섹션에 있는 카세트를 앞으로 이동시켜 특정 섹션의 이송 세그먼트 (158) 안에 있게 하고, 카세트 내의 다음번의 경질의 자기 디스크가 특정 섹션의 리프트 블레이드 위에 있게 한다. 그리고 나서, 상기 다음번의 경질의 자기 디스크는 카세트로부터 특정 섹션의 공정 세그먼트 (160) 로 들어올려지고, 이 공정은 특정 카세트에 있는 경질의 자기 디스크가 모두 코팅될 때까지 반복된다.

섹션 152, 154 에 있는 카세트 내의 모든 경질의 자기 디스크가 윤활유 필름으로 코팅된 후에, 섹션 152, 154 에 있는 카세트의 선두 전방 에지가 폐쇄된 각각의 게이트 밸브 (155, 156) 옆에 있게 된다. 이 때, 버퍼 모듈 (140) 과 공정 모듈 (150) 사이에 있는 게이트 밸브 (146) 는 폐쇄된다. 그리고 나서, 게이트 밸브 (155, 156) 가 개방되고, 섹션 154 에 있는 컨베이어 장치는 섹션 154 에서 처리되었던 카세트를 언로드 잠금부 (162) 의 섹션 161 안으로 이송시키고, 섹션 152, 154 에 있는 컨베이어 장치는 섹션 152 에서 처리되었던 카세트를 섹션 154 안으로 이송시킨다. 섹션 154 에서 처리되었던 카세트는 언로드 잠금부 (162) 의 섹션 161 을 통해 신속하게 이동하며, 그리고 나서 섹션 152 에서 처리되었던 카세트는 섹션 154 로부터 언로드 잠금부 (162) 의 섹션 161 으로 신속하게 이동하는데, 섹션 154 은 이전에 섹션 152 에서 처리되었던 디스크를 처리하지 않는다.

섹션 152 에서 처리되었던 카세트가 언로드 잠금부 (162) 의 섹션 161 으로 이동된 후에, 게이트 밸브 (155) 가 개방되어 있는 동안 게이트 밸브 (156) 는 폐쇄되고, 게이트 밸브 (146) 는 개방된다. 그리고 나서 모듈 (140, 150) 에 있는 컨베이어는 버퍼 모듈 (140) 에서 놀고 있던 2 개의 카세트를 공정 모듈 (150) 로 이동시키고, 공정은 반복된다.

언로드 잠금부 (162) 는, 이 언로드 잠금부 (162) 에 있는 턴테이블과 밸브가 로드 잠금부 (132) 에 있는 그것과는 역 방식으로 작동하는 것을 제외하고는, 로드 잠금부 (132) 와 동일하게 구성된다. 그러므로, 언로드 잠금부 (162) 는 90 °턴테이블이 위치하는 섹션 (161) 과 함께 섹션 (163) 을 포함한다. 솔레노이드 작동 출구 게이트 밸브 (166) 는 설비 (100) 의 베이스 (114) 로부터 멀리 위치해 있는, 섹션 163 의 단부에 있다.

작동시, 섹션 154 에서 처리된 카세트가 섹션 154 로부터 게이트 밸브 (156) 를 통해 섹션 161 로 지나가고 섹션 161 에 있는 턴테이블에 의해 제 1 방향으로 90 °회전되고 나서 섹션 163 으로 이송된 후에, 섹션 161 에 있는 턴테이블은 반대 방향인 제 2 방향으로 90 °회전되고, 섹션 152 에서 처리된 카세트는 게이트 (156) 를 통해 섹션 161 에 있는 턴테이블로 이송된다. 그리고 나서, 게이트 밸브 (156) 가 폐쇄되고, 섹션 161 에 있는 턴테이블이 제 1 방향으로 90 °회전되어, 섹션 (161, 163) 에 있는 카세트가 정렬되고 그의 길이 방향 축선이 레그 (112) 와 같은 방향으로 뻗어 있게 된다. 그리고 나서, 게이트 밸브 (166) 는 개방되고, 언로드 잠금부 (162) 에 있는 카세트는 캐비넷 장치의 레그 (118) 상의 컨베이어 세그먼트 (127) 에 이송된다. 작동기는 컨베이어 세그먼트 (127) 로부터 카세트를 제거하고, 그리고 나서 재사용된 카세트로부터 마무리된 경질의 자기 디스크를 제거한다.

도 3 내지 도 6 을 참조하자면, 도 3 과 도 4 는 각각 로드 잠금부 (132) 의 사시도와 분해 사시도이며, 도 5 와 도 6 은 각각 로드 잠금부 (132) 의 섹션 (136) 의 사시도와 분해 사시도이다. 섹션 (134, 136) 은 각각 금속의 큐브형 하우징 (202, 204) 을 포함한다. 하우징 (202) 의 바닥은 솔레노이드 작동 고 (high) 진공 밸브 (205) 에 의해 고 (high) 진공 터보 펌프 (138) 에 선택적으로 결합되는 통로 (미도시) 를 포함한다. 밸브 (205) 는 하우징 (202) 의 루프상의 압력 센서 장치 (207) 에 의해 제어된다.

하우징 (202) 은 카세트 (102) 가 지나가는 정렬된 천공 (206; 단지 하나만이 도시) 이 위치해 있는 한 쌍의 평행한 벽 (205: 단지 하나만이 도시) 을 포함하며, 하우징 (204) 은 서로 직각을 이루며 카세트가 지나가는 천공 (212, 214) 을 각각 구비하는 벽 (208, 210) 을 포함한다. 천공 (218) 을 포함한 스페이서 (216) 가, 하우징 (202, 204) 의 인접한 평행 벽 (205, 208) 사이에 있으며 이 벽에 접한다. 게이트 밸브 (130) 가 개방되어, 하우징 (202) 의 저부에 있는 모터 구동 컨베이어 롤러 (222) 에 의하여 카세트가 개방 천공 (220) 을 통해 하우징 (204) 으로 이송될 수 있게 될 때, 천공 (206, 212, 218) 은 서로에 대해, 그리고 게이트 밸브 (130) 에 있는 천공 (220) 에 대해 정렬된다. 롤러 (222) 는 하우징 (202) 이 갖는 모터 (225) 에 의해 구동된다. 천공 (220) 은 셔터 (미 도 시) 를 천공 (220) 에 대해 상하로 구동시키는 스템 (222) 에서 솔레노이드 (미 도시) 에 의해 선택적으로 개폐된다. 게이트 밸브 (130) 와 동일하게 구성된 게이트 벨브 (137) 는 하우징 (204) 의 벽 (210) 에 있는 천공 (214) 에 정렬되는 천공 (224) 을 포함한다.

하우징 (204) 의 바닥은, 하우징 (204) 이 갖는 모터 (228) 에 의하여, 시계방향으로 그리고 반시계방향으로 수직 축선을 중심으로 90 °회전하는 턴테이블 (226) 을 포함한다. 턴테이블 (226) 이 모터 (228) 에 의해 구동되는 컨베이어 롤러 (230) 를 갖는다. 클러치 장치 (미 도시) 는 모터 (228) 가 턴테이블 (226) 및 롤러 (230) 를 상호 배타적인 타임으로 구동시킬 수 있게 하며, 이는 하우징 (204) 에 있는 카세트가 항상 상호 배타적인 타임으로 길이 방향으로 구동되고 회전되기 때문에 필수적이다. 모터 (228) 와 이 모터에 연결된 클러치는 하우징 (204) 의 천장에 장착된 위치 센서 장치 (232) 에 의해 제어된다.

도 7 및 도 8 을 참조하면, 도 7 과 도 8 은 각각 버퍼 모듈 (140) 의 섹션 142 의 사시도와 분해 사시도이다. 버퍼 모듈 (140) 의 섹션 142, 144 은 동일하기 때문에, 단지 섹션 142 만을 도시하고 기술한다.

섹션 142 은 금속의 큐브형의 하우징 (302) 을 포함하며, 하우징의 바닥은, 러프 (rough) 밸브 (306) 에 연결되어 저속 (low-speed) 진공 펌프 (미 도시) 에 선택적으로 연결된 통로 (304) 를 포함한다. 러프 밸브 (306) 가 솔레노이드 (308) 에 의해 선택적으로 개폐되는 셔터 (미 도시) 를 포함한다. 일반적으로, 밸브 (306) 의 셔터는 개방 유지되어 있고, 하우징 (302) 의 내부는 보통 진공 상 태에서 유지된다. 밸브 (306) 의 셔터는 섹션 142 의 유지를 위해 폐쇄된다.

하우징 (302) 은 카세트 (102) 가 지나가는 천공 (314, 316) 이 각각 정렬되어 위치해 있는 평행한 벽 (310, 312) 을 포함한다. 패널 (318) 이 컨베이어 롤러 (320) 와, 이 컨베이어 롤러를 구동하는 모터 (322) 를 갖는다. 패널 (318) 은, 벽 (310, 312) 에 직각을 이루며 이 사이에 위치해 있는 벽 (324) 에 고정적으로 장착된다. 패널 (318) 이 벽 (322) 의 직사각형의 개구 (324) 에 걸쳐 끼워맞춤되면, 롤러 (320) 와, 롤러를 붙잡고 있으며, 패널 (318) 이 갖는 채널 (326) 이 하우징 (302) 의 내부에 고정적으로 장착될 수 있게 된다.

하우징 (302) 이 벽 (322) 에 평행하는 벽 (328) 을 포함한다. 벽 (328) 은 원형의 플레이트 (332) 에 의해 보통 덮여지는 원형의 포트홀 (330; porthole) 을 포함한다. 플레이트 (332) 가 포트홀 (330) 로부터 제거될 때, 하우징 (302) 내부에 있는 구성요소가 포트홀을 통해 수리될 수 있다. 하우징 (302) 의 천장은 컨베이어 롤러 (320) 를 구동하는 모터 (322) 를 제어하는 위치 센서 장치 (334) 를 갖는다.

도 9 내지 도 12 를 참조하자면, 도 9 와 도 10 은 각각 공정 모듈 (150) 의 사시도와, 세미-분해 사시도이며, 도 11 과 도 12 는 각각 공정 모듈 (150) 의 섹션 152, 154 중 하나의 섹션의 이송 세그먼트 (158) 에 대한 사시도와 세미-분해 사시도이다. 섹션 152, 154 는 본질적으로 동일하기 때문에, 섹션 152 만을 기술한다.

섹션 152 는 2 개의 평행한 벽 (404) (단지 하나만이 도시) 을 포함한 직각 의 평행 6 면체와 같은 형상을 갖는 금속 하우징 (402) 을 포함한다. 벽 (404) 은, 카세트 (102) 가 지나가는 정렬된 천공 (406) 을 포함한다. 평행한 벽 (404) 은, 길이 방향으로 정렬된 2 개의 카세트의 길이보다 약간 더 긴 벽 (404) 사이의 길이를 갖는 벽 (408) (오직 하나만이 도시) 과 직각을 이룬다. 섹션 152 에 있는 천공 (406) 이, 도 4 의 게이트 밸브 (130) 와 동일한 솔레노이드 작동 게이트 밸브 (155) 의 천공 (408) 과 섹션 154 에 있는 대응 천공에 정렬된다. 섹션 152, 154 의 인접한 면 (404) 사이에 게이트 밸브 (155) 가 있어서, 밸브 (155) 의 대향면이 섹션 152, 154 의 인접면 (404) 을 접하게 된다.

하우징 (402) 의 바닥 및 천장 (410) 은 정렬된 기다란 슬롯 (412) 을 포함하며, 각각의 슬롯은 벽 (404) 에 평행한 길이 방향 축선을 갖는다 (하우징 (402) 의 바닥과 그 바닥에 있는 슬롯은 미도시) . 하우징 (402) 의 바닥에 있는 슬롯은, 리프트 블레이드 어셈블리 (416) 가 갖는 솔레노이드 작동 리프트 블레이드 (414) 가 바닥 슬롯을 통해 뻗어, 하우징 (402) 의 카세트 내에 있는 경질의 자기 디스크와 결합되어 이 디스크를 그 카세트로부터 공정 세그먼트 (160) 안으로 들어올릴 수 있도록 치수 및 위치가 결정된다. 천장 (410) 에 있는 슬롯 (412) 은, 이송 세그먼트 (158) 에 있는 카세트로부터 블레이드 (414) 에 의해 들어올려진 경질의 자기 디스크가 공정 세그먼트 (160) 로 이동될 수 있도록 치수 및 위치가 결정된다.

벽 (404) 사이에 있는 하우징 (402) 을 통해 카세트를 몰아대고 개구 (406) 를 통해 카세트를 이동시키는 것을 조력하는 모터 구동 롤러 컨베이어 (418) 는 실 질적으로 벽 (404) 사이의 하우징의 길이에 걸쳐 뻗어 있다. 연속적이며 길이 방향으로 정렬된 2 개의 부분으로 구성된 컨베이어 (418) 는, 컨베이어 (320) 가 플레이트 (318) 에 속하는 방식과 유사한 방식으로, 플레이트 (420) 에 속한다. 컨베이어 (418) 의 2 개의 부분은, 플레이트 (420) 에 속한 모터 (422) 에 의해 개별적으로 구동된다.

하우징 (402) 의 천장에 고정적으로 장착된 공정 세그먼트 (160) 는, 코팅실 (424) 및 증기 공급원 (426, 428) 을 포함하고, 이 증기 공급원들은 코팅실의 대향 외부면에 고정적으로 장착된다. 증기 공급원 (426, 428) 은, 슬롯 (412) 을 통해 코팅실 (424) 안으로 블레이드 (414) 에 의해 들어올려진 경질의 자기 디스크의 대향하는 평행 면에 윤활유 증기를 동시에 공급한다. 공정 세그먼트 (160) 는, 특정한 경질의 자기 디스크가 증기 윤활유의 적당한 양을 수용하는 때를 판단하여 신호를 발생시키는 센서 장치를 포함한다. 신호가 리프트 블레이드 (414) 를 위한 솔레노이드 구동부를 제어하면, 리프트 블레이드가 하강되어, 처리된 경질의 자기 디스크를 코팅실 (424) 로부터 제거할 수 있게 된다. 개별적인 자기 디스크가 전형적으로 동시에 섹션 152, 154 의 코팅실 (424) 에 있기 때문에, 전형적으로 4 개의 자기 디스크면이 동시에 윤활유로 코팅된다.

본 발명의 특정 실시형태가 설명되고 도시되었으나, 구체적으로 도시 및 설명한 실시형태에 대한 상세한 설명내에서, 첨부된 청구항에서 정의한 본 발명의 진정한 사상 및 범위를 벗어나지 않는 변형이 만들어질 수 있다는 것은 명백하다. 예를 들어 설비 (100) 의 U 자형은 항상 필수적인 것은 아니며, 또한, 2 개의 카 세트를 한번에 다룰 수 있는 로드 잠금부, 언로드 잠금부, 버퍼 모듈 및 공정 모듈을 항상 사용할 필요는 없다. 그러나, U 자형 설비 및, 2 개의 카세트를 한번에 다룰 수 있는 로드 잠금부, 언로드 잠금부, 버퍼 모듈 및 공정 모듈을 사용하면, 고 (high) 작업 처리 속도를 제공하면서, 공간 영역을 최소화하는데 있어서 최적의 절충안을 제공한다.

Claims

카세트에 적재되게 되어 있는 경질의 자기 디스크상에 윤활제 코팅을 증착시키기 위한 설비로서,

이 설비는 (a) 진공 로드 잠금부, (b) 진공 언로드 잠금부, 및 (c) 경질의 자기 디스크상에 윤활제 증기를 증착시키는 진공 공정 모듈을 포함하는 경로를 통해 카세트를 운반하는 장치를 포함하며, 상기 공정 모듈은 증착된 윤활제 증기가 경질의 자기 디스크상에 윤활제 코팅을 형성할 수 있게 배열되어 있으며, 상기 공정 모듈은 진공 로드 잠금부와 진공 언로드 잠금부 사이에 있고,

상기 설비는, 평면도에서 보았을 때, 평행한 제 1 레그 및 제 2 레그 그리고 이 평행한 제 1 레그 및 제 2 레그를 서로 연결하며 이들과 직각을 이루는 베이스를 포함한 대략 U 자형의 형상을 가지며, 제 1 레그는 로드 잠금부를 포함하고, 제 2 레그는 언로드 잠금부를 포함하며, 베이스는 공정 모듈을 포함하고,

상기 경로는, 카세트의 길이 방향 축선을 하나의 레그의 길이 방향과의 정렬상태로부터 베이스의 길이 방향과의 정렬상태로 바꾸도록, 적어도 한번 카세트를 대략 90 °회전시킬 수 있게 형성되어 있는 경질의 자기 디스크상에 윤활제 코팅을 증착시키기 위한 설비.
제 1 항에 있어서, 상기 진공 로드 잠금부 및 진공 언로드 잠금부 중의 적어도 하나는 카세트를 90 °회전시킬 수 있도록 배열된 경로의 일부인 경질의 자기 디스크상에 윤활제 코팅을 증착시키기 위한 설비.
제 2 항에 있어서, 상기 로드 잠금부는 이 로드 잠금부의 입구 영역 및 출구 영역에 각각 제 1 밸브 및 제 2 밸브를 포함하며, 상기 언로드 잠금부는 이 언로드 잠금부의 입구 영역 및 출구 영역에 각각 제 3 밸브 및 제 4 밸브를 포함하고, 상기 로드 잠금부는 복수 개의 카세트가 제 1 밸브와 제 2 밸브 사이에 동시에 있을 수 있게 형성되어 있으며, 상기 언로드 잠금부는 복수 개의 카세트가 제 3 밸브와 제 4 밸브 사이에 동시에 있게 형성되어 있는 경질의 자기 디스크상에 윤활제 코팅을 증착시키기 위한 설비.
제 3 항에 있어서, 상기 경로는 복수 개의 카세트 안으로 초기에 적재된 복수 개의 경질의 자기 디스크상에 윤활제 증기를 동시에 증착시킬 수 있도록 형성된 복수 개의 공정 모듈을 포함하는 경질의 자기 디스크상에 윤활제 코팅을 증착시키기 위한 설비.
제 4 항에 있어서, 상기 경로는 로드 잠금부의 제 2 밸브와 제 1 의 공정 모듈 사이에 있는 복수 개의 버퍼 모듈을 포함하며, 이 복수 개의 버퍼 모듈은 복수 개의 카세트가 당해 복수 개의 버퍼 모듈에 동시에 있을 수 있게 형성되어 있는 경질의 자기 디스크상에 윤활제 코팅을 증착시키기 위한 설비.
제 2 항에 있어서, 상기 로드 잠금부 및 언로드 잠금부 모두는 카세트를 대략 90 °회전시킬 수 있도록 형성되어 있는 경질의 자기 디스크상에 윤활제 코팅을 증착시키기 위한 설비.
제 2 항에 있어서, 상기 로드 잠금부는 카세트를 대략 90 °회전시킬 수 있도록 형성되어 있는 경질의 자기 디스크상에 윤활제 코팅을 증착시키기 위한 설비.
제 2 항에 있어서, 상기 언로드 잠금부는 카세트를 대략 90 °회전시킬 수 있도록 형성되어 있는 경질의 자기 디스크상에 윤활제 코팅을 증착시키기 위한 설비.
제 1 항에 있어서, 상기 로드 잠금부는 이 로드 잠금부의 입구 영역 및 출구 영역에 각각 제 1 밸브 및 제 2 밸브를 포함하며, 상기 경로는 로드 잠금부의 제 2 밸브와 공정 모듈 사이에 있는 복수 개의 버퍼 모듈을 추가로 포함하며, 이 복수 개의 버퍼 모듈은 복수 개의 카세트가 당해 복수 개의 버퍼 모듈에 동시에 있을 수 있도록 형성되어 있는 경질의 자기 디스크상에 윤활제 코팅을 증착시키기 위한 설비.
제 1 항에 있어서, 상기 경로는 복수 개의 카세트 안으로 초기에 적재된 복수 개의 경질의 자기 디스크상에 윤활제 증기를 동시에 증착시킬 수 있도록 형성된 복수 개의 공정 모듈을 포함하는 경질의 자기 디스크상에 윤활제 코팅을 증착시키기 위한 설비.
카세트에 적재되게 되어 있는 경질의 자기 디스크상에 윤활제 코팅을 증착시키기 위한 설비로서,

이 설비는 (a) 진공 로드 잠금부, (b) 진공 언로드 잠금부, 및 (c) 복수 개의 카세트 안으로 초기에 적재된 복수 개의 경질의 자기 디스크상에 윤활제 증기를 실질적으로 동시에 증착시킬 수 있게 형성된 복수 개의 진공 공정 모듈을 포함하는 경로를 통해 카세트를 운반하는 장치를 포함하며, 상기 복수 개의 공정 모듈은 증착된 윤활제 증기가 경질의 자기 디스크상에 윤활제 코팅을 형성할 수 있게 배열되어 있으며, 상기 공정 모듈은 진공 로드 잠금부와 진공 언로드 잠금부 사이에 있는 경질의 자기 디스크상에 윤활제 코팅을 증착시키기 위한 설비.
카세트에 적재되게 되어 있는 경질의 자기 디스크상에 윤활제 코팅을 증착시키기 위한 설비로서,

이 설비는 (a) 진공 로드 잠금부, (b) 진공 언로드 잠금부, 및 (c) 경질의 자기 디스크상에 윤활제 증기를 증착시키는 진공 공정 모듈을 포함하는 경로를 통해 카세트를 운반하는 장치를 포함하며, 상기 공정 모듈은 증착된 윤활제 증기가 경질의 자기 디스크상에 윤활제 코팅을 형성할 수 있게 배열되어 있으며, 상기 공정 모듈은 진공 로드 잠금부와 진공 언로드 잠금부 사이에 있으며, 로드 잠금부는 이 로드 잠금부의 입구 영역 및 출구 영역에 각각 제 1 밸브 및 제 2 밸브를 포함하고, 언로드 잠금부는 이 언로드 잠금부의 입구 영역 및 출구 영역에 각각 제 3 밸브 및 제 4 밸브를 포함하며, 로드 잠금부 및 언로드 잠금부 중의 적어도 하나는 그들의 밸브들 사이에 복수 개의 카세트가 동시에 있을 수 있도록 형성되어 있고,

진공 로드 잠금부 및 진공 언로드 잠금부 중의 적어도 하나는 카세트의 길이 방향 축선을 로드 잠금부의 길이 방향과의 정렬상태로부터 공정 모듈의 길이 방향과의 정렬상태로 바꿀 수 있게 형성되어 있는 경질의 자기 디스크상에 윤활제 코팅을 증착시키기 위한 설비.
제 12 항에 있어서, 상기 로드 잠금부 및 언로드 잠금부 모두는 그들의 밸브들 사이에 복수 개의 카세트가 동시에 있도록 형성되어 있는 경질의 자기 디스크상에 윤활제 코팅을 증착시키기 위한 설비.
제 12 항에 있어서, 상기 로드 잠금부는 그의 밸브들 사이에 복수 개의 카세트가 동시에 있을 수 있게 형성되어 있는 경질의 자기 디스크상에 윤활제 코팅을 증착시키기 위한 설비.
제 12 항에 있어서, 상기 언로드 잠금부는 그의 밸브들 사이에 복수 개의 카세트가 동시에 있을 수 있게 형성되어 있는 경질의 자기 디스크상에 윤활제 코팅을 증착시키기 위한 설비.
제 12 항에 있어서, 상기 경로는 로드 잠금부의 출구 영역과 공정 모듈 사이에 있는 버퍼 영역을 추가로 포함하며, 버퍼 영역은 복수 개의 카세트가 그 안에 동시에 있을 수 있도록 형성되어 있는 경질의 자기 디스크상에 윤활제 코팅을 증착시키기 위한 설비.
카세트에 적재되게 되어 있는 경질의 자기 디스크상에 윤활제 코팅을 증착시키기 위한 설비로서,

이 설비는 (a) 진공 로드 잠금부, (b) 진공 언로드 잠금부, (c) 경질의 자기 디스크상에 윤활제 증기를 증착시키는 진공 공정 모듈, 및 (d) 버퍼 영역을 포함하는 경로를 통해 카세트를 운반하는 장치를 포함하며, 상기 공정 모듈은 증착된 윤활제 증기가 경질의 자기 디스크상에 윤활제 코팅을 형성할 수 있게 배열되어 있으며, 상기 공정 모듈은 진공 로드 잠금부와 진공 언로드 잠금부 사이에 있으며, 로드 잠금부는 이 로드 잠금부의 입구 영역 및 출구 영역에 각각 제 1 밸브 및 제 2 밸브를 포함하고, 언로드 잠금부는 이 언로드 잠금부의 입구 영역 및 출구 영역에 각각 제 3 밸브 및 제 4 밸브를 포함하며, 버퍼 영역은 로드 잠금부의 출구 영역과 공정 모듈 사이에 있으며, 버퍼 영역은 복수 개의 카세트가 그 안에 동시에 있도록 형성되어 있는 경질의 자기 디스크상에 윤활제 코팅을 증착시키기 위한 설비.
제 17 항에 있어서, 상기 버퍼 영역은 2 개 이하의 카세트가 그 안에 동시에 있을 수 있도록 형성되어 있으며, 로드 잠금부는 이 로드 잠금부의 입구 영역 및 출구 영역에 각각 제 1 밸브 및 제 2 밸브를 포함하며, 언로드 잠금부는 이 언로드 잠금부의 입구 영역 및 출구 영역에 각각 제 3 밸브 및 제 4 밸브를 포함하며, 로드 잠금부는 2 개 이하의 카세트가 제 1 밸브와 제 2 밸브 사이에 동시에 있을 수 있도록 형성되어 있으며, 언로드 잠금부는 2 개 이하의 카세트가 제 3 밸브와 제 4 밸브 사이에 동시에 있을 수 있도록 형성되어 있고, 진공 로드 잠금부 및 진공 언로드 잠금부는 카세트를 대략 90 °회전시키도록 형성되어 있으며, 상기 설비는 2개 이하의 경질의 자기 디스크상에 윤활제 증기를 동시에 증착시키도록 형성된 2 개 이하의 공정 모듈을 포함하는 경질의 자기 디스크상에 윤활제 코팅을 증착시키기 위한 설비.
제 18 항에 있어서, 상기 설비는, 평면도에서 보았을 때, 평행한 제 1 레그 및 제 2 레그 그리고 이 평행한 제 1 레그 및 제 2 레그를 서로 연결하며 이들과 직각을 이루는 베이스를 포함한 대략 U 자형의 형상을 가지며, 제 1 레그는 로드 잠금부를 포함하고, 제 2 레그는 언로드 잠금부를 포함하며, 베이스는 버퍼 영역 및 2 개의 공정 모듈을 포함하고, 레그 사이의 공간 및 레그의 길이는, 작동기가 (a) 베이스로부터 멀리 위치한, 제 1 레그의 단부에 근접한 제 1 레그의 일부에서, 경질의 자기 디스크가 그 안에 포함된 카세트를 컨베이어 장치상에 적재하고, (b) 베이스로부터 멀리 위치한, 제 2 레그의 단부에 근접한 제 2 레그의 일부에서, 공정 모듈에서 코팅된 경질의 자기 디스크가 포함된 카세트를 컨베이어 장치로부터 제거시킬 수 있게 하는 작동기 영역을 U 자형 내에 형성하는데 충분한 경질의 자기 디스크상에 윤활제 코팅을 증착시키기 위한 설비.
제 19 항에 있어서, 상기 레그는 실질적으로 동일한 길이를 갖는 경질의 자기 디스크상에 윤활제 코팅을 증착시키기 위한 설비.