KR20100010172A - 태양전지용 웨이퍼 이력 추적을 위한 표시 방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 태양전지용 웨이퍼 이력 추적을 위한 표시 방법에 관한 것으로서,

초박형 웨이퍼의 생산 공정에 있어서,

잉곳 블록 상태에서 표면 세로로 레이저로 홈을 생성하여 잉곳의 메이커 및 공통되는 정보 코드를 기록하게 하고, 대각선으로 홈을 생성하여 잉곳 블록에서의 위치 정보를 기록하게 하는 단계와,

수평 방향으로 블록을 절단하여 웨이퍼를 생성하는 단계

로 구성된다.

웨이퍼,레이저,홈,이력정보

Description

태양전지용 웨이퍼 이력 추적을 위한 표시 방법{MARKING METHOD FOR TRACING RECORD OF A WAFER FOR SOLAR CELL}

본 발명은 태양전지용 웨이퍼 이력 추적을 위한 표시 방법에 관한 것으로서, 보다 상세히는 잉곳 블록 상태에서 표면에 레이저로 홈가공을 하는 태양전지용 웨이퍼 이력 추적을 위한 표시 방법에 관한 것이다.

현재까지 태양전지의 웨이퍼 이력을 추적하기 위해 웨이퍼 표면에 표식을 하는 방법은 개발되지 않고 있다. 다만, 특허공개번호 10-2002-0075282호를 참조하면, 반도체 웨이퍼의 경우 이력을 추적하기 위해 웨이퍼의 모서리에 ID 마크를 표시하는 방법이 개발되어 있다. 이 종래의 발명의 경우, 반도체 웨이퍼를 대상으로 하기 때문에 웨이퍼의 두께가 500um 이상이여서 표면에 마킹이 가능하며, 또한 웨이퍼의 처리가 매우 느린 속도로 진행되기 때문에 이와같은 방법으로 이력 추적이 가능하다. 그리고 웨이퍼 처리 공정이 매우 고가이므로 이와같은 방법으로 이력을 추적하여도 비용의 문제가 크게 발생하지 않는다.

그러나, 태양 전지용 웨이퍼의 경우 두께가 약 200um 으로서 초박형이며 계속해서 두께가 줄어드는 추세에 있으며, 웨이퍼를 시간당 2,000장에서 4,000장까지 굉장히 빠른 시간 내에 처리를 하여야 하고, 또한 웨이퍼의 처리 공정이 매우 저가이므로 반도체에서 사용하는ID 마크 표시 방법을 태양 전지용 웨이퍼에 적용하는 것은 불가능하다.

본 발명은 상술한 종래의 문제점을 극복하기 위한 것으로, 본 발명의 목적은 초박형 웨이퍼의 모서리 면에 식별 마크를 표시하기 위해 웨이퍼로 가공되기 이전에 잉곳 상태에서 가공을 하여 대량 생산에 적합하게 하며 특히 특정 웨이퍼가 잉곳 블록 상의 어느 위치에 있었는지를 알 수 있게 하는 태양전지용 웨이퍼 이력 추적을 위한 표시 방법을 제공하는데 있다.

본 발명에 따른 태양전지용 웨이퍼 이력 추적을 위한 표시 방법의 일예로서,

초박형 웨이퍼의 생산 공정에 있어서,

잉곳 블록 상태에서 표면 세로로 레이저로 홈을 생성하여 잉곳의 메이커 및 공통되는 정보 코드를 기록하게 하고, 대각선으로 홈을 생성하여 잉곳 블록에서의 위치 정보를 기록하게 하는 단계와,

수평 방향으로 블록을 절단하여 웨이퍼를 생성하는 단계

로 구성된다.

본 발명에 따른 태양전지용 웨이퍼 이력 추적을 위한 표시 방법은 웨이퍼로 가공되기 이전에 잉곳 상태에서 웨이퍼의 모서리 면에 식별 마크를 일괄적으로 표 시하므로 대량 생산에 적합하게 하며 특히 특정 웨이퍼가 잉곳 블록 상의 어느 위치에 있었는지를 알 수 있게 된다.

이상에서 설명한 것은 본 발명에 따른 태양전지용 웨이퍼 이력 추적을 위한 표시 방법을 실시하기 위한 하나의 실시예에 불과한 것으로서, 본 발명은 본 실시예에 한정되지 않고, 이하의 특허청구의 범위에서 청구하는 바와 같이 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변경 실시가 가능한 범위까지 본 발명의 기술적 정신이 있다고 할 것이다.

도 1은 잉곳 블록 상태이다.

도 2를 참조하면, 도 1의 잉곳 블록(3) 상태에서 표면 세로로 레이저로 홈(5a)을 생성하여 잉곳의 메이커 및 공통되는 정보 코드를 기록하게 한다. 그리고 대각선으로 홈(5b)을 생성하여 블록에서의 위치 정보를 기록하게 한다.

그런 다음, 도 3과 같이 수평 방향으로 블록을 절단하여 웨이퍼(4)를 생성한다.

그러면 초박형 웨이퍼의 모서리 면에 식별 마크가 된다.

본 발명은 웨이퍼로 가공되기 이전의 잉곳 상태에서 가공을 하여 대량 생산 에 적합하게 한다. 즉, 잉곳 블록 상태에서 세로홈(5a)에 잉곳의 메이커 및 공통되는 정보 코드를 기록하고,대각선 홈(5b)에 잉크 블록에서의 위치 정보를 기록하게 하는데, 이를 표시하기 위하여 레이저로 홈을 생성하므로 작업이 간단하게 된다.

태양 전지용 다결정 실리콘의 웨이퍼와 같은 경우 잉곳 블록의 높이 별로 불순물의 농도가 달라지며 이는 태양 전지의 효율과 직접 관계가 있다. 따라서 웨이퍼가 잉곳 블록 상의 어느 위치에 있었느냐가 매우 중요한 요소가 된다.

도 1은 잉곳 블록 상태의 사시도

도 2는 본 발명에 따라서 잉곳 블록에 홈을 생성한 상태의 사시도

도 3은 본 발명에 따른 웨이퍼의 정면도

도 4는 본 발명에 따른 웨이퍼의 평면도

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>

3 : 잉곳 블록 4 : 웨이퍼

Claims (1)

1. 초박형 웨이퍼의 생산 공정에 있어서,

   잉곳 블록 상태에서 표면 세로로 레이저로 홈을 생성하여 잉곳의 메이커 및 공통되는 정보 코드를 기록하게 하고, 대각선으로 홈을 생성하여 잉곳 블록에서의 위치 정보를 기록하게 하는 단계와,

   수평 방향으로 블록을 절단하여 웨이퍼를 생성하는 단계

   로 구성되는 것을 특징으로 하는 태양전지용 웨이퍼 이력 추적을 위한 표시 방법.

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