KR20100007025A - 대상물 분석 장치 - Google Patents

대상물 분석 장치 Download PDF

Info

Publication number
KR20100007025A
KR20100007025A KR1020080067431A KR20080067431A KR20100007025A KR 20100007025 A KR20100007025 A KR 20100007025A KR 1020080067431 A KR1020080067431 A KR 1020080067431A KR 20080067431 A KR20080067431 A KR 20080067431A KR 20100007025 A KR20100007025 A KR 20100007025A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
providing
solution
detector
liquid sample
light
Prior art date
Application number
KR1020080067431A
Other languages
English (en)
Other versions
KR100977250B1 (ko
Inventor
임흥빈
Original Assignee
단국대학교 산학협력단
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 단국대학교 산학협력단 filed Critical 단국대학교 산학협력단
Priority to KR1020080067431A priority Critical patent/KR100977250B1/ko
Priority to PCT/KR2009/003793 priority patent/WO2010005263A2/ko
Publication of KR20100007025A publication Critical patent/KR20100007025A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR100977250B1 publication Critical patent/KR100977250B1/ko

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/75—Systems in which material is subjected to a chemical reaction, the progress or the result of the reaction being investigated
    • G01N21/76—Chemiluminescence; Bioluminescence
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
    • G01J3/28—Investigating the spectrum
    • G01J3/443—Emission spectrometry
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/94—Investigating contamination, e.g. dust
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
    • G01N21/9501—Semiconductor wafers

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Investigating Or Analysing Materials By The Use Of Chemical Reactions (AREA)

Abstract

개시된 분석 장치는 대상물을 액상 시료로 형성하는 제1 용액을 상기 대상물로 제공하는 제1 제공부와, 화학 발광 현상을 발생시키는 제2 용액을 상기 제1 용액에 의해 형성된 상기 액상 시료로 제공하는 제2 제공부와, 상기 액상 시료로 상기 제2 용액을 제공함에 의해 방출되는 광의 세기를 측정하여 상기 액상 시료의 농도를 구하는 디텍터, 그리고 상기 제2 용액을 제공하는 제2 제공부의 단부와 상기 광의 세기를 측정하는 디텍터의 단부를 서로 이웃하게 위치시키고, 상기 제2 제공부를 사용하여 제2 용액을 제공함과 아울러 상기 디텍터를 사용하여 광의 세기를 측정할 때 서로 이웃하게 위치하는 상기 제2 제공부의 단부와 상기 디텍터의 단부 모두를 외부와 차단시키는 차단부를 포함한다.

Description

대상물 분석 장치{Apparatus of analyzing a sample material}
본 발명은 대상물 분석 장치에 관한 것으로써, 보다 상세하게는 대상물에 잔류하는 오염원 등의 농도를 보다 정확하게 정량적으로 분석하기 위한 장치에 관한 것이다.
최근, 시약과 시료를 포함하는 약품의 소모량을 극대화하고, ppb 내지 ppt 단위의 분석을 정확하게 수행하고, 분석 시간을 최소화하기 위한 장치가 요구된다.
이에, 본 출원인은 '샘플 물질의 분석 방법 및 장치'를 발명하여 대한민국 특허청에 2002년 8월 27일자 10-2002-50704호로 특허 출원하고, 2005년 3월 3일자 10-476340호로 특허 등록 받았다.
그러나 언급한 등록 특허의 경우에는 간접적으로 오염 가능성을 측정할 수 있게 세정 용액에 대한 측정이 이루어지는 것으로서, 고체 물질(예를 들면, 반도체 웨이퍼) 상에 잔류하는 중금속 등과 같이 직접적으로 오염된 물질의 정보를 실시간으로 측정에는 다소 한계가 있는 것으로 확인된다.
이에, 본 출원인은 오염 물질의 정보를 실시간으로 측정 가능한 '대상물 분석 장치'를 발명하여 대한민국 특허청에 2008년 5월 14일자 10-2008-44328호로 특 허 출원하였다.
그러나 언급한 출원 특허의 경우에는 오염 물질의 정보를 실시간으로 측정함에 있어 광을 세기를 측정할 때 집광 효율 등을 충분하게 확보하지 못함으로 인하여 분석에 따른 데이터의 신뢰도가 저하되는 것으로 확인된다.
본 발명의 목적은 대상물의 분석이 실시간으로 수행할 때 화학 발광 현상을 발생시키는 용액을 제공하는 부재와 광의 세기를 측정하는 부재를 외부와 차단시키는 분석 장치를 제공하는데 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 분석 장치는 대상물을 액상 시료로 형성하는 제1 용액을 상기 대상물로 제공하는 제1 제공부와, 화학 발광(chemiluminescence) 현상을 발생시키는 제2 용액을 상기 제1 용액에 의해 형성된 상기 액상 시료로 제공하는 제2 제공부와, 상기 액상 시료로 상기 제2 용액을 제공함에 의해 방출되는 광의 세기를 측정하여 상기 액상 시료의 농도를 구하는 디텍터, 그리고 상기 제2 용액을 제공하는 제2 제공부의 단부와 상기 광의 세기를 측정하는 디텍터의 단부를 서로 이웃하게 위치시키고, 상기 제2 제공부를 사용하여 제2 용액을 제공함과 아울러 상기 디텍터를 사용하여 광의 세기를 측정할 때 서로 이웃하게 위치하는 상기 제2 제공부의 단부와 상기 디텍터의 단부 모두를 외부와 차단시키는 차단부를 포함한다.
언급한 본 발명의 일 실시예에 따른 분석 장치에서, 상기 대상물은 반도체 웨이퍼일 수 있고, 상기 제1 용액은 상기 대상물을 식각하여 상기 액상 시료로 형성하는 불화수소산을 포함하는 혼합물일 수 있고, 상기 제2 용액은 루미놀을 포함할 수 있다.
언급한 본 발명의 일 실시예에 따른 분석 장치에서, 상기 디텍터는 그 단부가 상기 제2 제공부의 단부와 이웃하게 위치하고, 상기 액상 시료로 상기 제2 용액을 제공함에 의해 방출되는 광을 집광부와, 상기 집광부와 연결되고, 상기 집광부에 의해 집광된 광을 증폭시키는 증폭부, 그리고 상기 증폭부와 연결되고, 상기 증폭된 광을 전기 신호로 변환시키는 신호 변환부를 포함할 수 있다. 특히, 상기 제2 제공부의 단부와 이웃하게 위치하는 집광부는 상기 제2 제공부의 단부를 둘러싸게 위치하는 광섬유 다발을 포함할 수도 있다.
언급한 본 발명의 일 실시예에 따른 분석 장치에서, 상기 차단부는 주둥이 및 내부 공간을 갖는 컵 구조로 이루어지고, 상기 제2 제공부의 단부와 상기 디텍터의 단부 모두를 상기 내부 공간 내에 서로 이웃하게 수용하고, 상기 제2 제공부를 사용하여 제2 용액을 제공함과 아울러 상기 디텍터를 사용하여 광의 세기를 측정할 때 상기 차단부의 주둥이를 상기 대상물에 면접시킴에 의해 상기 제2 제공부의 단부와 상기 디텍터의 단부 모두를 외부와 차단시킬 수 있다. 특히, 상기 차단부의 주둥이로부터 둘출되게 상기 주둥이를 둘러싸는 실링부를 더 포함할 수 있고, 고무, 태프론 등을 사용하여 형성할 수 있고, 그리고 상기 제2 제공부를 사용하여 제2 용액을 제공함과 아울러 상기 디텍터를 사용하여 광의 세기를 측정할 때 상기 차단부의 실링부를 상기 대상물에 면접시킬 수 있다.
언급한 본 발명의 일 실시예에 따른 분석 장치에서, 상기 제2 제공부의 단부는 외부 튜브 및 상기 외부 튜브 내에서 유동 가능하게 삽입되고, 상기 제2 용액을 제공하는 내부 튜브를 구비하는 이중 튜브 구조로 이루어질 수 있다.
언급한 본 발명의 일 실시예에 따른 분석 장치에서, 상기 제1 용액을 제공함에 의해 형성되어 상기 대상물 상에 존재하는 상기 액상 시료의 pH를 조절하는 pH 조절부를 더 포함할 수 있고, 특히 상기 pH 조절부는 상기 제1 용액을 제공함에 의해 형성되어 상기 대상물 상에 존재하는 상기 액상 시료를 건조시키는 건조부와, 상기 건조부에 의해 건조된 상기 액상 시료로 산성 수용액 또는 중성 수용액을 포함하는 제3 용액을 제공하는 제3 제공부를 포함할 수 있다.
본 발명에 따르면 대상물 자체에서 액상 시료를 형성하고, 이를 이용하여 대상물에 대한 오염원 등의 농도를 실시간으로 분석할 때 화학 발광 현상을 발생시키는 용액을 제공하는 부재와 광의 세기를 측정하는 부재를 외부와 차단시킬 수 있다. 이에, 본 발명의 분석 장치는 ppb 내지 ppt 단위의 분석을 실시간으로 수행할 수 있을 뿐만 아니라 화학 발광 현상을 발생시키는 용액이 분석 영역 외부로 튀는 것을 방지하고, 아울러 광의 세기의 측정에 따른 집광 효율을 향상시킬 수 있다.
따라서 본 발명의 분석 장치를 사용할 경우에는 대상물에 잔류하는 오염원 등의 농도를 실시간으로 분석할 수 있을 뿐만 아니라 분석에 따른 데이터의 신뢰도의 향상까지도 기대할 수 있다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들에 대해 상세히 설명한다. 본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나 이는 본 발 명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성 요소에 대해 사용하였다. 첨부된 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 본 발명의 명확성을 기하기 위하여 실제보다 확대하여 도시한 것이다.
제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성 요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성 요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성 요소는 제2 구성 요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성 요소도 제1 구성 요소로 명명될 수 있다.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
실시예
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 대상물 분석 장치를 나타내는 개략적인 구성도이다.
도 1을 참조하면, 분석 장치(100)는 제1 제공부(11), 제2 제공부(13), 디텍터(15), pH 조절부(21), 차단부(30) 등을 포함한다.
구체적으로, 제1 제공부(11)는 대상물(50)에 제1 용액을 제공한다. 여기서, 상기 대상물(50)은 오염원 등의 농도를 분석하기 위한 것으로써, 상기 대상물(50)의 종류에 제한되지는 않으나 본 발명의 일 실시예에서는 상기 대상물(50)을 반도체 웨이퍼로 한정할 수 있다. 이에, 본 발명의 일 실시예에서는 언급한 분석 장치를 반도체 웨이퍼에 존재하는 오염원 등을 분석하기 위한 것으로 한정할 수도 있다.
그리고 상기 제1 제공부(11)에 의해 상기 대상물(50)로 제공되는 제1 용액은 상기 대상물(50)을 액상 시료로 형성할 수 있어야 한다. 즉, 상기 제1 용액은 상기 대상물(50)을 액상 시료로 형성할 수 있어야 하기 때문에 상기 대상물(50)을 식각할 수 있는 용액으로 한정할 수 있다. 이에, 본 발명의 일 실시예에서는 상기 대상물(50)을 반도체 웨이퍼로 한정하기 때문에 상기 제1 용액의 예로서는 불화수소산 을 포함하는 혼합물 등을 들 수 있다.
또한 상기 대상물(50)로 제공되는 제1 용액을 미세하게 제공되도록 조정되어야 한다. 이에 상기 제1 제공부(11)는 주사기 펌프(syringe pump) 등을 포함하는 것이 바람직하다. 구체적으로, 상기 제1 제공부(11)는 그 단부가 상기 대상물(50)로 향하는 주사기 펌프 등을 포함할 수 있는 것이다.
아울러 상기 제1 제공부(11)는 스캔 동작이 가능하게 구동된다. 즉, 상기 대상물(50)로 향하는 상기 제1 제공부(11)의 단부가 스캔 동작이 가능하게 구동되는 것이다. 여기서, 상기 제1 제공부(11)의 스캔 동작이 가능한 구동은 상기 제1 제공부(11)의 단부에 x축 및 y축 구동이 가능한 부재를 연결함에 의해 달성될 수 있다. 여기서 언급한 x축 및 y축 구동이 가능한 부재는 일반적인 것이 때문에 그 구체적인 설명은 생략하기로 한다. 이와 같이, 상기 제1 제공부(11)의 스캔 동작 구동은 상기 제1 제공부(11)에 의한 제1 용액의 제공을 확장시키기 위함이고, 상기 제1 용액에 의해 형성된 액상 시료를 한 곳에 모으기 위함이다. 이때, 상기 제1 제공부(11)의 스캔 동작은 상기 대상물(50) 전체 영역을 대상으로도 할 수도 있고, 상기 대상물(50) 일부 영역을 대상으로 할 수도 있다. 특히, 상기 대상물(50)의 일부 영역을 대상으로 할 경우에는 상기 일부 영역 각각에 대한 분석이 가능하다. 이에, 상기 대상물(50)이 언급한 바와 같이 반도체 웨이퍼일 경우에는 반도체 웨이퍼의 분석에 따른 맵핑(mapping) 데이터의 획득도 용이하게 가능할 것이다.
그리고 상기 제2 제공부(13)는 상기 제1 용액에 의해 형성된 액상 시료로 제2 용액을 제공한다. 여기서 상기 분석 장치(100)는 루미네센스(luminescence) 반응 즉, 화학 발광(chemiluminescence) 현상을 이용하여 상기 대상물(50)의 농도를 분석하기 때문에 상기 제2 제공부(13)에 의해 제공되는 제2 용액은 루미놀(luminol) 등을 포함할 수 있다. 아울러 상기 제2 용액의 제공 또한 미세하게 제공되도록 조정되어야 한다. 이에 상기 제2 제공부(13)도 상기 제1 제공부(11)와 마찬가지로 주사기 펌프 등을 포함하는 것이 바람직하다. 구체적으로, 상기 제2 제공부(13)는 그 단부가 상기 제1 제공부(11)에 의해 형성되고, 스캔 동작에 의해 한 곳에 모은 액상 시료로 향하는 주사기 펌프 등을 포함할 수 있다. 아울러 상기 제2 제공부(13)를 한 곳에 모은 액상 시료로 향하게 하는 것은 상기 제2 제공부(13)의 위치를 미리 세팅함에 의해 달성할 수도 있고, 이외에도 상기 제2 제공부(13)에도 상기 제2 제공부(13)를 구동할 수 있는 부재를 연결함에 의해 달성할 수도 있다. 여기서 상기 제1 제공부(11)의 스캔 동작을 구동하는 구동 부재와 상기 제2 제공부(13)의 위치를 조절하는 구동 부재를 각각으로 마련할 수 있으나, 본 발명의 일 실시예에서는 후술하는 바와 같이 상기 제2 제공부(13)를 상기 제1 제공부(11)에 이웃하게 설치하기 때문에 상기 제1 제공부(11)와 제2 구동부(13)를 동일한 구동 부재와 연결하여 그 구동을 수행하도록 한다.
특히, 본 발명의 일 실시예에서는 상기 제2 제공부(13)를 상기 제1 제공부(11)와 이웃하게 설치한다. 즉, 상기 대상물(50)로 향하는 상기 제1 제공부(11)의 단부와 상기 제2 제공부(13)의 단부를 서로 이웃하게 위치하도록 설치하는 것이다. 이와 같이, 상기 제1 제공부(11)의 단부와 상기 제2 제공부(13)의 단부를 서로 이웃하게 설치함으로써 상기 제1 용액과 상기 제2 용액을 실시간으로 제공할 수 있 다. 즉, 상기 제1 용액을 제공함에 의해 형성되어 상기 대상물(50) 상에 존재하는 액상 시료에 곧바로 상기 제2 용액을 제공할 수 있는 것이다. 다시 말해, 분석하고자 하는 상기 대상물(50) 상에서 실시간으로 상기 제1 용액과 제2 용액의 제공이 이루어지도록 하는 것이다.
또한, 언급한 제2 제공부(13)는 그 단부가 내부 튜브 및 외부 튜브를 구비하는 이중 튜브의 구조를 가질 수도 있고, 이에 대한 구체적은 설명은 후술하기로 한다.
그리고 상기 디텍터(15)는 상기 액상 시료로 상기 제2 용액을 제공함에 의해 방출되는 광의 세기를 측정하여 상기 액상 시료의 농도를 구한다. 즉, 상기 디텍터(15)는 상기 액상 시료에 화학 발광 현상을 발생시키는 제2 용액을 제공함에 의해 방출되는 광의 세기를 측정하여 상기 액상 시료의 농도를 구하는 것이다.
그러므로 상기 디텍터(15)는 단부에 위치하는 집광부 그리고 증폭부(15b), 신호 변환부(15c) 등을 포함한다. 구체적으로, 상기 집광부는 상기 액상 시료로 상기 제2 용액을 제공함에 의해 방출되는 광을 집광한다. 그리고 상기 증폭부(15b)는 상기 집광부와 연결되고, 상기 집광부에 의해 집광된 광을 증폭한다. 또한 상기 신호 변환부(15c)는 상기 증폭부(15b)와 연결되고, 상기 증폭부(15b)에 의해 증폭된 광을 전류로 변환시킨다. 이에, 상기 디텍터(15)는 상기 액상 시료로 상기 제2 용액을 제공함에 의해 방출되는 광을 집광하여 증폭시킨 후, 이를 전류 등과 같은 전기 신호로 변환하여 상기 액상 시료의 농도 즉, 상기 대상물(50)에 존재하는 오염원 등의 농도를 구하는 것이다.
아울러 언급한 상기 제2 제공부(13)의 단부와 상기 디텍터(15)의 단부에 위치하는 집광부의 배치 관계에 대한 구체적인 설명은 후술하기로 한다.
그리고 상기 pH 조절부(21)는 상기 제1 용액을 제공함에 의해 형성되어 상기 대상물(50) 상에 존재하는 액상 시료의 pH를 조절한다. 즉, 상기 pH 조절부(21)를 더 마련함으로써 상기 분석 장치(100)를 이용한 대상물의 농도 분석을 최적의 조건에서 수행할 수 있다. 여기서 상기 pH 조절부(21)는 상기 제1 용액을 제공함에 의해 형성되어 상기 대상물(50) 상에 존재하는 상기 액상 시료를 건조시키는 건조부(19)를 포함한다. 특히 상기 건조부(19)는 적외선(IR) 램프 등을 포함할 수 있다. 또한, 상기 pH 조절부(21)는 상기 건조부(19)에 의해 건조된 상기 액상 시료로 제3 용액을 제공하는 제3 제공부(17)를 포함한다. 여기서 상기 제3 용액은 pH를 조절하기 위한 용액으로써 산성 수용액, 중성 수용액 등을 포함한다. 아울러 상기 제3 제공부(17)는 상기 대상물(50) 상에 존재하는 건조된 액상 시료로 상기 제3 용액을 제공하기 때문에 그 단부를 상기 대상물(50)로 향하게 위치시킨다.
이와 더불어, 상기 분석 장치(100)는 상기 디텍터(15)와 연결되는 디스플레이부(23)를 더 포함한다. 이와 같이, 상기 분석 장치(100)는 상기 디스플레이부(23)를 더 포함함으로써 실시간으로 이루어지는 분석 결과를 모니터링할 수 있다.
또한, 상기 차단부(30)는 상기 제2 제공부(13)의 단부와 상기 디텍터(15)의 단부 모두를 외부와 차단시킨다. 즉, 상기 차단부(30)는 상기 제2 제공부(13)를 사용하여 제2 용액을 제공함과 아울러 상기 디텍터(15)를 사용하여 광의 세기를 측정 할 때 상기 제2 제공부(13)의 단부와 상기 디텍터(15)의 단부 모두를 외부와 차단시키는 것이다. 특히, 상기 디텍터(15)의 단부에는 언급한 바와 같이 집광부가 위치함으로써 상기 차단부(30)에 의해 상기 디텍터(15)의 집광부가 외부와 차단되는 것이다.
이와 같이, 상기 차단부(30)를 마련하는 것은 상기 분석 장치(100)를 사용함에 의해 피피비(ppb) 내지 피피티(ppt) 단위의 분석을 실시간으로 수행할 때 화학 발광 현상을 발생시키는 용액이 분석 영역 외부로 튀거나 아울러 광의 세기의 측정에 따른 집광 효율을 향상시키기 위함이다.
이하, 언급한 차단부(30)와 차단부(30)에 의해 외부와 차단되는 제2 제공부(13)의 단부와 디텍터(15)의 단부에 대한 배치 관계에 대하여 설명하기로 한다.
도 2 및 도 3은 도 1의 차단부를 포함하는 부위를 나타내는 도면들이다.
도 2 및 도 3을 참조하면, 상기 차단부(30)는 주둥이(31a) 및 내부 공간(31b)을 갖는 컵 구조로 이루어진다. 이에, 상기 제2 제공부(13)의 단부와 상기 디텍터(15)의 단부 모두는 상기 차단부(30)의 내부 공간(31b) 내에 수용된다. 그러므로 상기 제2 제공부(13)의 단부와 상기 디텍터(15)의 단부인 집광부(15a)는 서로 이웃하게 위치하는 것이 바람직하다. 즉, 상기 제2 용액을 제공하는 제2 제공부(13)의 단부와 상기 광의 세기를 측정하는 디텍터(15)의 단부를 서로 이웃하게 위치시키고, 그리고 서로 이웃하게 위치하는 상기 제2 제공부(13)의 단부와 상기 디텍터(15)의 단부 모두를 상기 차단부(30)를 사용하여 외부와 차단시키는 것이다.
상기 차단부(30)를 마련하고, 상기 차단부(30)를 사용하여 상기 제2 제공 부(13)의 단부와 상기 디텍터(15)의 단부를 외부와 차단시키는 것은 언급한 바와 같이 상기 제2 제공부(13)를 사용하여 제2 용액을 제공함과 아울러 상기 디텍터(15)를 사용하여 광의 세기를 측정할 때 상기 제2 제공부(13)를 통하여 제공되는 제2 용액이 외부로 튀어나감으로써 화학 발광 현상의 집중화를 감소시키는 것을 방지하기 위함이고, 또한 화학 발광 현상이 발생함으로써 방출되는 광을 상기 디텍터(15)의 집광부(15a)를 사용하여 집광할 때 외부 환경에 의해 집광 효율이 감소하는 것을 방지하기 위함이다.
그리고 상기 제2 제공부(13)의 단부와 상기 디텍터(15)의 단부를 이웃하게 위치시킬 때 상기 디텍터(15)의 단부가 상기 제2 제공부(13)의 단부를 둘러싸게 배치시킬 수 있다. 즉, 상기 디텍터(15)의 단부인 집광부(15a)를 상기 제2 제공부(13)의 단부를 둘러싸게 배치시키는 것이다. 이에, 상기 제2 제공부(13)의 단부와 이웃하게 위치하는 상기 디텍터(15)의 단부인 집광부(15a)는 광섬유 다발을 포함할 수 있다. 따라서 상기 제2 제공부(13)를 통하여 상기 액상 시료로 제2 용액을 제공함에 따라 방출되는 광을 상기 집광부(15a)가 집광함으로써 이를 이용하여 상기 광의 세기를 측정하고, 그 결과 상기 액상 시료의 농도를 구할 수 있는 것이다. 특히, 상기 분석 장치(100)의 경우에는 상기 디텍터(15)의 집광부(15a)를 상기 제2 제공부(13)의 단부를 둘러싸도록 마련함으로써 상기 제2 용액을 제공함에 의해 방출되는 광을 상기 대상물(50) 상에서 실시간으로 집광이 가능하고, 이에 대상물(50)은 오염원 등의 농도를 실시간으로 분석할 수 있다.
아울러 언급한 제2 제공부(13)의 경우에는 그 단부를 언급한 바와 같이 내부 튜브(13a) 및 외부 튜브(13b)를 구비하는 이중 튜브 구조로 마련할 수 있다. 이때, 상기 내부 튜브(13a)는 상기 외부 튜브(13b) 내에서 유동 가능하게 삽입되게 마련하고, 특히 상기 내부 튜브(13a)를 통하여 상기 제2 용액을 제공할 수 있도록 한다. 즉, 본 발명의 일 실시예에서 상기 제2 제공부(13)의 단부는 외부 튜브(13b) 및 상기 외부 튜브(13b) 내에서 유동 가능하게 삽입되고, 상기 제2 용액을 제공하는 내부 튜브(13a)를 구비하는 이중 튜브 구조로 이루어지게 마련된다. 아울러 상기 제2 제공부(13)의 단부를 이중 튜브 구조로 마련할 경우 상기 디텍터(15)의 단부인 집광부(15a)는 상기 외부 튜브를 둘러싸게 위치시킨다.
이와 같이, 상기 제2 제공부(13)를 내부 튜브(13a) 및 외부 튜브(13b)를 구비하는 이중 튜브 구조로 마련하는 것은 상기 제2 제공부(13)의 단부에 대한 용이한 교체, 그리고 상기 내부 튜브(13a)의 높이를 조절하여 상기 제2 제공부(13)를 통하여 상기 액상 시료로 제2 용액을 안전하게 제공하기 위함이다. 즉, 상기 제2 제공부(13)의 내부 튜브(13a)의 높이를 적절하게 조절함으로써 상기 제2 제공부(13)의 내부 튜브(13a)를 통하여 제공되는 제2 용액의 튐으로 인하여 발생할 수 있는 분석 저하 요인을 사전에 방지할 수 있고, 아울러 상기 내부 튜브(13a)만을 별도로 취급할 수 있음으로써 상기 내부 튜브(13a)의 취급만으로도 상기 제2 제공부(13)의 유지 보수를 수행할 수 있는 것이다.
또한, 상기 제2 제공부(13)의 단부를 높이 조절이 가능한 내부 튜브(13a)를 구비하는 이중 튜브 구조로 마련함으로써 상기 내부 튜브(13a)의 높이 조절을 통하여 상기 제2 제공부(13)의 단부가 상기 디텍터(15)와 단부와 접촉하는 것을 방지할 수 있다. 즉, 상기 제2 제공부(13)의 단부가 상기 디텍터(15)와 단부와 동일하거나 또는 유사한 높이로 위치할 경우에는 상기 제2 제공부(13)의 단부가 상기 디텍터(15)와 단부인 집광부(15a)와 접촉할 수 있는 상황이 발생하여 상기 디텍터(15)의 집광부(15a)를 사용하여 광을 집광할 때 영향을 끼칠 수 있기 때문이다. 이에, 언급한 바와 같이 상기 제2 제공부(13)를 이중 튜브 구조로 마련하고, 이중 튜브 구조 중에서 제2 용액을 제공하는 내부 튜브(13a)의 높이를 적절하게 조절하여 상기 제2 제공부(13)의 단부와 상기 디텍터(15)와 단부가 접촉하는 것을 방지함으로써 상기 분석 장치(100)를 사용한 분석 효율을 향상시킬 수 있다.
그리고 상기 주둥이(31a) 및 내부 공간(31b)을 갖는 컵 구조로 이루어지는 차단부(30)의 경우, 상기 제2 제공부(13)의 단부와 상기 디텍터(15)의 단부 모두를 상기 내부 공간(31b) 내에 서로 이웃하게 수용하고, 상기 제2 제공부(13)를 사용하여 제2 용액을 제공함과 아울러 상기 디텍터(15)를 사용하여 광의 세기를 측정할 때 상기 차단부(30)의 주둥이(31a)를 상기 대상물에 면접시킨다. 이에, 상기 차단부(30)에 의해 외부와 차단된 상태, 즉 외부 환경 요인에 별다른 방해를 받지 않는 상태에서 상기 제2 제공부(13)를 사용하여 제2 용액을 제공할 수 있고, 더불어 상기 디텍터(15)의 집광부(15a)를 사용하여 상기 제2 용액을 제공함으로써 방출되는 광을 집광할 수 있다.
여기서 상기 분석 장치(100)를 사용한 대상물(50)의 분석에서는 상기 차단부(30)의 주둥이(31a)가 상기 대상물(50)에 면접함에 의해 상기 제2 제공부(13)의 단부와 상기 디텍터(15)의 단부 모두를 외부와 차단시키는 구성을 갖는다. 이에, 상기 차단부(30)의 주둥이(31a)로 인하여 상기 대상물이 손상될 수도 있다. 따라서 상기 차단부(30)는 상기 대상물(50)에 손상을 거의 가하지 않는 재질로 마련하는 것이 바람직하다.
이에, 본 발명의 일 실시예에서는 상기 차단부(30)의 주둥이(31a)로부터 둘출되게 상기 주둥이(31a)를 둘러싸는 실링부(40)를 더 구비하고, 상기 실링부(40)를 상기 대상물(50)에 면접시킨다. 여기서 상기 실링부(40)는 상기 주둥이(31a)를 완전하게 둘러싸는 구조로 마련하기 때문에 오-링(O-ring)으로 구비하는 것이 적절하다. 이와 같이, 상기 실링부(40)를 마련하고, 상기 실링부(40)를 상기 대상물(50)에 면접시키기 때문에 상기 실링부(40)를 상기 대상물(50)에 손상을 거의 가하지 않는 재질로 마련한다. 여기서 상기 실링부(40)의 재질에 대한 예로서는 고무, 테프론 등을 들 수 있다. 아울러 상기 차단부(30)를 통한 외부와의 차단을 보다 효율적으로 구현하기 위한 일환으로써 상기 실링부(40)를 검은색 계열로 마련하고 이용하는 것이 보다 적절하다. 즉, 상기 실링부(40)를 검은색 계열로 마련할 경우에는 보다 효율적으로 상기 제2 제공부(13)의 단부와 상기 디텍터(15)의 단부를 외부와 차단시킬 수 있기 때문이다.
언급한 바와 같이, 상기 분석 장치(100)는 대상물(50)에 대한 오염원 등의 농도를 실시간으로 분석할 때 상기 차단부(30)를 사용하여 상기 제2 제공부(13)의 단부와 상기 디텍터(15)의 단부를 외부와 차단시킬 수 있기 때문에 ppb 내지 ppt 단위의 분석을 실시간으로 수행할 수 있을 뿐만 아니라 화학 발광 현상을 발생시키는 용액이 분석 영역 외부로 튀는 것을 방지함과 아울러 광의 세기의 측정에 따른 집광 효율을 향상시킬 수 있다. 그러므로 상기 분석 장치(100)를 사용한 대상물(50)에 잔류하는 오염원 등의 농도에 대한 분석을 실시간으로 수행할 수 있을 뿐만 아니라 분석에 따른 데이터의 신뢰도의 향상까지도 기대할 수 있다.
언급한 바를 토대로 상기 분석 장치(100)를 사용하여 상기 대상물(50)에 존재하는 오염원 등의 분석에 대한 방법을 살펴보면 다음과 같다.
먼저 반도체 웨이퍼 등과 같은 분석을 위한 대상물(50)을 마련한다. 그리고 상기 제1 용액을 제공하여 상기 대상물(50) 상에 불화수소산 혼합물 등과 같은 제1 용액을 제공한다. 그리고 상기 제1 제공부(11)를 이용한 스캔 구동을 실시한다. 이때 상기 스캔 구동은 상기 대상물(50)의 전체 영역 또는 일부 영역에 한정될 수 있다. 이와 같이 상기 제1 용액을 제공한 후, 스캔 구동을 실시함으로써 상기 대상물(50)인 반도체 웨이퍼는 식각이 이루어지고, 그 결과 상기 대상물(50) 상에 액상 시료가 형성된다. 이때 상기 액상 시료에는 상기 대상물(50)에 존재하는 오염원 등이 함께 식각되어 포함된다.
이어서 상기 pH 조절부(21)를 사용하여 상기 액상 시료의 pH를 조절한다. 여기서 상기 액상 시료의 pH를 조절하는 것은 상기 대상물(50)의 분석에 따른 조건을 최적화하기 위한 것으로써 생략할 수도 있다. 그리고 상기 제1 제공부(11)의 스캔 구동에 의해 상기 액상 시료를 한 곳에 모은 후, 필요에 따라 전기 에너지나 광 에너지를 사용하여 가열 건조시킬 수도 있다.
계속해서, 상기 제2 제공부(13)의 단부와 상기 디텍터(15)의 단부가 내부 공 간에 수용된 차단부(30)를 상기 대상물(50)에 면접시킨다. 특히, 상기 차단부(30)의 주둥이(31a)에 실링부(50)를 구비할 경우에는 상기 실링부(40)가 상기 대상물(50)에 면접된다. 이에, 상기 제2 제공부(13)의 단부와 상기 디텍터(15)의 단부는 상기 차단부(30)에 의해 외부와 완전히 차단된 상태에 있다.
이어서, 상기 차단부에 의해 외부와 차단된 상태에 있는 상기 제2 제공부(13)를 이용하여 상기 액상 시료로 루미놀을 포함하는 제2 용액을 제공한다. 그러면 상기 액상 시료는 상기 제2 용액의 제공에 의해 화학 발광 현상이 발생하고, 그 결과 광을 방출시킨다. 이에, 상기 디텍터(15)의 집광부(15a)는 상기 방출이 이루어지는 광을 집광하고, 이를 상기 증폭부(15b)와 신호 변환부(15c)를 이용하여 상기 광의 세기를 측정할 수 있는 데이터로 변환시킨다. 그리고 상기 광의 세기를 측정할 수 있는 데이터를 이용하여 상기 대상물(50), 즉 액상 시료의 농도를 분석하는 것이다. 이와 같이, 상기 액상 시료의 농도를 분석함으로써 상기 대상물(50)에 존재하는 오염원 등을 분석할 수 있는 것이다.
특히, 상기 차단부(30)에 의해 외부와 차단된 상태에서 상기 제2 제공부(13)를 통하여 제공되는 상기 제2 용액은 외부로 튀는 것을 방지할 수 있다. 아울러, 상기 디텍터(15)의 집광부(15a)를 이용하여 상기 방출이 이루어지는 광을 집광할 경우에도 상기 차단부(30)에 의해 외부와 차단된 상태를 유지하기 때문에 외부 환경 요인에 대하여 전혀 지장을 받지 않는 상태에서 상기 방출이 이루어지는 광을 집광할 수 있다. 또한, 상기 제2 제공부(13)의 내부 튜브(13a)의 높이를 적절하게 조절함으로써 상기 제2 제공부(13)의 단부가 상기 디텍터의 집광부(15a)와 접촉하 는 것을 방지할 수 있다.
그러므로 상기 분석 장치(100)를 사용할 경우에는 외부 환경 요인에 대하여 영향을 받지 않는 최적의 상태에서 분석을 용이하게 수행할 수 있다.
따라서 본 발명의 분석 장치(100)를 사용하면 실시간으로 상기 대상물(50)의 농도(예를 들면, 오염원 등의 존재, 종류 등의 여부)를 분석할 수 있고, 특히 일부 영역을 계속적으로 분석할 경우에는 맵핑 데이터의 수득도 가능할 뿐만 아니라 외부 환경 요인에 대한 지장을 받지 않기 때문에 외부 환경 요인으로 인한 분석 데이터의 신뢰도 저하를 방지할 수 있다.
아울러 언급한 분석 장치(100)를 사용한 분석 방법에서 화학적 반응의 경우에는 본 출원인이 발명하여 대한민국 특허청에 출원하고, 등록받은 등록 특허 10-476340호에 상세하게 기재되어 있으므로 그 구체적인 설명은 생략하기로 한다.
이와 같이, 본 발명의 분석 장치(100)는 외부 환경 요인에 지장을 받지 않는 상태서 ppb 내지 ppt 단위의 분석을 정확하게 수행하고, 분석을 실시간으로 수행할 수 있다. 따라서 본 발명의 분석 장치(100)는 분석에 따른 조치가 실시간으로 필요한 분야에 보다 적극적으로 활용할 수 있다. 이에, 본 발명의 분석 장치(100)는 미세 오염원 등을 보다 민감하게 제어하고, 관리해야 하는 반도체 제조 라인 등에 보다 적극적으로 활용할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 대상물 분석 장치를 나타내는 개략적인 구성도이다.
도 2 및 도 3은 도 1의 차단부를 포함하는 부위를 나타내는 도면들이다.

Claims (8)

  1. 대상물을 액상 시료로 형성하는 제1 용액을 상기 대상물로 제공하는 제1 제공부;
    화학 발광(chemiluminescence) 현상을 발생시키는 제2 용액을 상기 제1 용액에 의해 형성된 상기 액상 시료로 제공하는 제2 제공부;
    상기 액상 시료로 상기 제2 용액을 제공함에 의해 방출되는 광의 세기를 측정하여 상기 액상 시료의 농도를 구하는 디텍터; 및
    상기 제2 용액을 제공하는 제2 제공부의 단부와 상기 광의 세기를 측정하는 디텍터의 단부를 서로 이웃하게 위치시키고, 상기 제2 제공부를 사용하여 제2 용액을 제공함과 아울러 상기 디텍터를 사용하여 광의 세기를 측정할 때 서로 이웃하게 위치하는 상기 제2 제공부의 단부와 상기 디텍터의 단부 모두를 외부와 차단시키는 차단부를 포함하는 분석 장치.
  2. 제1 항에 있어서, 상기 대상물은 반도체 웨이퍼이고, 상기 제1 용액은 상기 대상물을 식각하여 상기 액상 시료로 형성하는 불화수소산을 포함하는 혼합물이고, 상기 제2 용액은 루미놀을 포함하는 것을 특징으로 하는 분석 장치.
  3. 제1 항에 있어서, 상기 디텍터는,
    그 단부가 상기 제2 제공부의 단부와 이웃하게 위치하고, 상기 액상 시료로 상기 제2 용액을 제공함에 의해 방출되는 광을 집광부;
    상기 집광부와 연결되고, 상기 집광부에 의해 집광된 광을 증폭시키는 증폭부; 및
    상기 증폭부와 연결되고, 상기 증폭된 광을 전기 신호로 변환시키는 신호 변환부를 포함하는 것을 특징으로 하는 분석 장치.
  4. 제3 항에 있어서, 상기 제2 제공부의 단부와 이웃하게 위치하는 집광부는 상기 제2 제공부의 단부를 둘러싸게 위치하는 광섬유 다발을 포함하는 것을 특징으로 하는 분석 장치.
  5. 제1 항에 있어서, 상기 차단부는 주둥이 및 내부 공간을 갖는 컵 구조로 이루어지고, 상기 제2 제공부의 단부와 상기 디텍터의 단부 모두를 상기 내부 공간 내에 서로 이웃하게 수용하고, 상기 제2 제공부를 사용하여 제2 용액을 제공함과 아울러 상기 디텍터를 사용하여 광의 세기를 측정할 때 상기 차단부의 주둥이를 상기 대상물에 면접시킴에 의해 상기 제2 제공부의 단부와 상기 디텍터의 단부 모두를 외부와 차단시키는 것을 특징으로 하는 분석 장치.
  6. 제5 항에 있어서, 고무, 테프론 또는 이들의 혼합물로 이루어지고, 상기 차단부의 주둥이로부터 둘출되게 상기 주둥이를 둘러싸는 실링부를 더 포함하고, 상기 제2 제공부를 사용하여 제2 용액을 제공함과 아울러 상기 디텍터를 사용하여 광 의 세기를 측정할 때 상기 차단부의 실링부를 상기 대상물에 면접시키는 것을 특징으로 하는 분석 장치.
  7. 제1 항에 있어서, 상기 제2 제공부의 단부는 외부 튜브 및 상기 외부 튜브 내에서 유동 가능하게 삽입되고, 상기 제2 용액을 제공하는 내부 튜브를 구비하는 이중 튜브 구조로 이루어지는 것을 특징으로 하는 분석 장치.
  8. 제1 항에 있어서, 상기 제1 용액을 제공함에 의해 형성되어 상기 대상물 상에 존재하는 상기 액상 시료의 pH를 조절하는 pH 조절부를 더 포함하고,
    상기 pH 조절부는 상기 제1 용액을 제공함에 의해 형성되어 상기 대상물 상에 존재하는 상기 액상 시료를 건조시키는 건조부와, 상기 건조부에 의해 건조된 상기 액상 시료로 산성 수용액 또는 중성 수용액을 포함하는 제3 용액을 제공하는 제3 제공부를 포함하는 것을 특징으로 하는 분석 장치.
KR1020080067431A 2008-07-11 2008-07-11 대상물 분석 장치 KR100977250B1 (ko)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020080067431A KR100977250B1 (ko) 2008-07-11 2008-07-11 대상물 분석 장치
PCT/KR2009/003793 WO2010005263A2 (ko) 2008-07-11 2009-07-10 대상물 분석 장치

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020080067431A KR100977250B1 (ko) 2008-07-11 2008-07-11 대상물 분석 장치

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20100007025A true KR20100007025A (ko) 2010-01-22
KR100977250B1 KR100977250B1 (ko) 2010-08-23

Family

ID=41507595

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020080067431A KR100977250B1 (ko) 2008-07-11 2008-07-11 대상물 분석 장치

Country Status (2)

Country Link
KR (1) KR100977250B1 (ko)
WO (1) WO2010005263A2 (ko)

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2626738B2 (ja) * 1990-03-13 1997-07-02 三共株式会社 化学発光検出装置
JP2936973B2 (ja) * 1993-09-17 1999-08-23 東洋紡績株式会社 発光測定装置
JPH07140143A (ja) * 1993-11-19 1995-06-02 Inax Corp 便検査方法及び装置
US6949377B2 (en) * 2001-03-05 2005-09-27 Ho Winston Z Chemiluminescence-based microfluidic biochip

Also Published As

Publication number Publication date
WO2010005263A2 (ko) 2010-01-14
WO2010005263A3 (ko) 2010-04-29
KR100977250B1 (ko) 2010-08-23

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP1584917A3 (en) Detection method and detection apparatus of substance in biological sample
KR101684407B1 (ko) 광학 센서를 이용한 수질 오염 측정 시스템 및 수질 오염 측정 장치
WO2005091342A3 (en) In-situ monitoring on a spinning-disk ion implanter
US7760346B2 (en) Method and apparatus for analyzing a dry-chemical test element
WO2015111443A1 (ja) 核酸分析装置
JP2019533172A (ja) 水質検出
KR100977250B1 (ko) 대상물 분석 장치
US10801945B2 (en) Inline particle sensor
KR100967549B1 (ko) 대상물 분석 장치
US7933011B2 (en) Fiber optic detection system
WO2010013586A1 (ja) ケイ素濃度測定装置
KR101806763B1 (ko) 전자동 휴대형 미세조류 검출 장치
JP2010237020A (ja) 生体分子検出装置及び生体分子検出方法
JP6287195B2 (ja) 蛍光測定装置
CN208752002U (zh) 一种分光光度检测装置
JP4041485B2 (ja) 紫外線照射を利用したａｔｐ測定方法および装置
KR101683371B1 (ko) 휴대형 미세조류 검출 장치를 제어하는 방법 및 휴대형 미세조류 검출 장치
JP4485170B2 (ja) 分析装置
US20180209897A1 (en) Detecting device, optical detecting apparatus, and optical detecting method
US20240230533A9 (en) Optical stabilization techniques incorporating pixel current measurements
CN101539521A (zh) 一种带有光纤参比光路的恒温荧光检测仪
CN109100314B (zh) 一种分光光度检测方法及装置
CN206990444U (zh) 检测装置及毛细管电泳系统
JP2008170353A (ja) 物質検出装置、物質検出、物質検出プレート、及び、測定セル
JP2007212478A (ja) 光量測定装置

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
N231 Notification of change of applicant
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20130710

Year of fee payment: 4

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20140711

Year of fee payment: 5

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20150619

Year of fee payment: 6

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20160701

Year of fee payment: 7

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20170801

Year of fee payment: 8

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20180702

Year of fee payment: 9

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20190702

Year of fee payment: 10