KR20100005296A - Glass ceramic heater formed non-stick coating layer - Google Patents

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Abstract

PURPOSE: A glass ceramic heater in which a non-stick coating layer is formed is provided to prevent contamination by particles produced in the manufacture process. CONSTITUTION: A glass ceramic heater comprises a glass ceramic heater(100) which transfer or emits heat energy and far infrared rays to an upper target, a heating layer(103) which is formed beneath the glass ceramic substrate to have electric resistance and heats the glass ceramic substrate, a wiring part(105) which is extended from the heating layer and supplies AC or DC current to the heating layer through electric wires, a ceramic protective layer(107) which is formed beneath the heating layer to protect and electrically insulate the heating layer, and a non-stick coating layer(109) which is formed on the glass ceramic layer to prevent adhesion of foreign substances.

Description

비 점착성 코팅층이 형성된 글라스 세라믹 히터{Glass Ceramic Heater Formed Non-stick Coating Layer}Glass Ceramic Heater Formed Non-stick Coating Layer

본 발명은 피가열물을 가열하기 위한 글라스 세라믹 기판에 있어서, 상기 글라스 세라믹 기판상에 이물질의 부착을 억제하기 위한 비 점착성(Non-stick) 코팅층이 형성된 글라스 세라믹 히터에 관한 것이다. The present invention relates to a glass ceramic heater in which a non-stick coating layer for suppressing adhesion of foreign matter on the glass ceramic substrate is formed in a glass ceramic substrate for heating a heated object.

판상(板狀)으로 성형된 히터는 가정용 또는 반도체 공정 등의 산업용으로 사용되고 있다. Plate-shaped heaters are used for industrial purposes such as home or semiconductor processes.

종래의 히터는 알루미늄을 아노다이징(Anodiging) 처리한 기판 또는 마이카 시트(Mica Sheet, 운모판) 사이에 니크롬(Nichrome)선 또는 스테인레스(Stainless) 강판 등의 발열층를 삽입한 구조로서, 발열층에 전기를 인가하여 열을 발산하는 형태이다. 이러한 히터는 마이카 시트 또는 알루미늄 기판을 통하여 열이 전달되기 때문에, 기판에 이물질이 부착되기 쉬우며 이러한 원인으로 열 발산 능력 저하에 따른 발열층의 단선 등의 불량뿐만 아니라 사용 환경을 오염시키는 문제점이 발생 하였다. 특히, 반도체나 디스플레이 제조공정 등과 같이 고 청정 사용 환경이 요구되는 공정 내에서 발생하는 파티클(Particle)로 인한 오염 및 불량의 원인이 될 수 있다.The conventional heater is a structure in which a heating layer, such as a nickel chrome wire or a stainless steel sheet, is inserted between an anodized aluminum substrate or a mica sheet (mica sheet). It is a form that emits heat by applying. Since the heater transfers heat through the mica sheet or the aluminum substrate, foreign matters are easily attached to the substrate, and as a result, problems such as the disconnection of the heat generating layer due to the deterioration of the heat dissipation capacity as well as the problem of contaminating the use environment may occur. It was. In particular, it may cause contamination and defects due to particles generated in a process requiring a high clean use environment such as a semiconductor or display manufacturing process.

본 발명의 목적은, 피가열물을 가열하기 위한 글라스 세라믹 기판을 이용한 글라스 세라믹 히터로서, 특히 상기 글라스 세라믹 기판상에 이물질의 부착을 억제하기 위한 비 점착성(Non-stick) 코팅층이 형성된 글라스 세라믹 히터를 제공함에 있다.An object of the present invention is a glass ceramic heater using a glass ceramic substrate for heating a heated object, and in particular, a glass ceramic heater having a non-stick coating layer for suppressing adhesion of foreign matter on the glass ceramic substrate. In providing.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 글라스 세라믹 히터는, 글라스 세라믹 기판, 발열층, 배선부, 세라믹 보호층 및 논스틱(Non-stick) 코팅층을 포함한다. Glass ceramic heater according to the present invention for achieving the above object, a glass ceramic substrate, a heating layer, a wiring portion, a ceramic protective layer and a non-stick (Non-stick) coating layer.

글라스 세라믹 기판은 글라스 세라믹으로 형성되어 상측의 피가열물로 열 에너지 및 원적외선을 전도 또는 복사하며, 발열층은 상기 글라스 세라믹 기판의 아랫면에 형성되고 교류 또는 직류 전류를 입력받아 발열하여 상기 글라스 세라믹 기판을 가열한다. 배선부는 상기 발열층으로부터 연장되어 형성되고 전기 도선이 연결되어, 상기 발열층으로 상기 교류 또는 직류 전류를 공급한다.The glass ceramic substrate is formed of glass ceramic and conducts or radiates thermal energy and far infrared rays to the object to be heated on the upper side, and a heat generating layer is formed on the lower surface of the glass ceramic substrate and generates heat by receiving an alternating current or direct current. Heat it. A wiring part is formed to extend from the heat generating layer, and the electric conductor is connected to supply the AC or DC current to the heat generating layer.

세라믹 보호층은 상기 발열층의 아랫면에 형성되어 상기 발열층을 보호하고 전기적으로 절연하며, A ceramic protective layer is formed on the lower surface of the heating layer to protect and electrically insulate the heating layer,

논스틱 코팅층은 상기 글라스 세라믹 기판의 윗면에 형성되어 이물질의 부착을 억제한다. The non-stick coating layer is formed on the upper surface of the glass ceramic substrate to suppress the adhesion of foreign matter.

여기서, 상기 논스틱 코팅층은, 상용 사용온도 250℃ ~ 300℃의 내열성을 가진 불소 수지(Teflon), 또는 상용 사용온도 200℃ ~ 300℃와 최대 내열온도 400℃의 특성을 가진 세라믹 소재인 것이 바람직하다.Here, the non-stick coating layer is preferably a fluorine resin (Teflon) having a heat resistance of a commercial use temperature of 250 ℃ to 300 ℃, or a ceramic material having a characteristic of a commercial use temperature of 200 ℃ to 300 ℃ and a maximum heat resistance of 400 ℃ Do.

실시 예에 따라, 상기 발열층은, 복수 열(列)의 횡대 패턴으로 나란하게 형성된 복수 개의 막대형 발열층; 및 하나의 폐로를 형성하도록 상기 복수 개의 막대형 발열층과 상기 배선부를 연결하는 적어도 하나의 연결도선층을 포함한다.According to an embodiment, the heat generating layer may include a plurality of rod-type heat generating layers formed side by side in a plurality of rows of horizontal patterns; And at least one connecting lead layer connecting the plurality of rod-shaped heating layers and the wiring part to form one closed path.

본 발명의 글라스 세라믹 히터는 기본적으로 제조 방법이 간단하며, 얇은 발열층이 형성된 글라스 세라믹 기판 구조를 가짐으로써 발열층의 열을 안정적으로 흡수 또는 방출할 수 있다. The glass ceramic heater of the present invention basically has a simple manufacturing method, and has a glass ceramic substrate structure in which a thin heating layer is formed, thereby stably absorbing or releasing heat from the heating layer.

나아가, 본 발명의 글라스 세라믹 히터는 800℃의 고온에서도 견딜 수 있는 글라스 세라믹 히터의 기판에 이물질의 부착을 억제하기 위하여 비 점착성(Non-stick) 코팅 막을 형성함으로써 청결한 히터의 관리와 반도체, 디스플레이 및 일반산업의 제조공정 중에 발생할 수 있는 파티클(Particle)에 의한 오염을 최대한 억제할 수 있다. 또한, 비 점착성 코팅 막은 글라스 세라믹 기판이 열을 효과적으로 방출하도록 함으로써, 열이 방출되지 않음에 따라 발열층이 단선되는 등의 문제를 해결할 수 있다.Furthermore, the glass ceramic heater of the present invention forms a non-stick coating film in order to suppress adhesion of foreign matter on the substrate of the glass ceramic heater that can withstand high temperatures of 800 ° C., thereby maintaining clean heaters, semiconductors, displays and It is possible to minimize the contamination by particles (particles) that can occur during the manufacturing process of the general industry. In addition, the non-adhesive coating film allows the glass ceramic substrate to effectively release heat, thereby solving a problem such as disconnection of the heat generating layer as heat is not released.

이하 도면을 참조하여 본 발명을 더욱 상세히 설명한다.Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 비 점착성 코팅 막을 구비한 글라스 세라믹 히터의 단면도이다.1 is a cross-sectional view of a glass ceramic heater having a non-stick coating film according to an embodiment of the present invention.

도 1을 참조하면, 본 발명의 글라스 세라믹 히터(100)는 글라스 세라믹 기판(101), 글라스 세라믹 기판(101)의 일 면(도 1 기준, 아랫면)에 형성된 발열층(103), 발열층(103)의 일 측에 형성되어 발열층(103)에 전기 에너지를 공급하기 위한 배선부(105), 발열층(103)의 아랫면에 형성되어 발열층(103)을 보호하고 전기적으로 절연하기 위한 세라믹 보호층(107), 및 글라스 세라믹 기판(101)의 양면 중 발열층(103)이 형성된 면의 반대 면(도 1 기준, 윗면)에 형성되어 이물질의 부착을 억제하는 논스틱(Non-stick) 코팅층(109)을 포함한다.Referring to FIG. 1, the glass ceramic heater 100 of the present invention may include a heat generating layer 103 and a heat generating layer formed on one surface (refer to FIG. 1, lower surface) of the glass ceramic substrate 101 and the glass ceramic substrate 101. Is formed on one side of the 103 is formed on the wiring portion 105 for supplying electrical energy to the heat generating layer 103, the lower surface of the heat generating layer 103 is a ceramic for protecting and electrically insulating the heat generating layer 103 Non-stick formed on the opposite side of the protective layer 107 and the heat generating layer 103 formed on both surfaces of the glass ceramic substrate 101 (see FIG. 1, upper surface) to suppress adhesion of foreign matter. The coating layer 109 is included.

이외에도, 글라스 세라믹 히터(100)는 교류 또는 직류 전원과 배선부(105)를 연결하여 전기 에너지를 공급하는 전기 도선(110)을 포함할 수 있다. In addition, the glass ceramic heater 100 may include an electrical conductor 110 for supplying electrical energy by connecting an AC or DC power supply and the wiring unit 105.

글라스 세라믹 기판(101)은 원적외선을 방출하는 세라믹스(Ceramics) 소재의 글라스(Glass)를 사용할 수 있으며, 높은 원적외선 방사 특성이 있고 800℃ 이상의 고온에서 견딜 수 있고 온도변화에도 깨어지지 않는 내열충격성을 가지는 내열결정화 유리(또는 초내열 유리)를 사용하는 것이 바람직하며, 발열층(103)에서 발생하는 열을 안정적으로 흡수하여 전도 또는 복사에 의한 방식으로 피가열물에 전달한다.The glass ceramic substrate 101 may use glass made of ceramics that emits far infrared rays, and has high far-infrared radiation characteristics, withstands high temperatures of 800 ° C. or higher, and has thermal shock resistance that does not break even with temperature changes. It is preferable to use heat-resistant crystallized glass (or super heat-resistant glass), which stably absorbs heat generated from the heat generating layer 103 and transfers the heat to the heated object in a conductive or radiation manner.

발열층(103)은 스크린 인쇄 등의 방법을 이용하여, 페러디엄(Palladium)과 같은 저항 온도 계수가 높은 재료를 글라스 세라믹 기판(101)의 일 면에 소정의 패 턴으로 인쇄하여 형성한다. 발열층(103)은 소정의 전기적 저항값을 가지는 전기적 경로를 형성함으로써, 공급되는 전기 에너지에 의해 발열하게 됨으로써, 소위 '발열패턴'이라고도 불린다.The heat generating layer 103 is formed by printing a material having a high resistance temperature coefficient such as a palladium on a surface of the glass ceramic substrate 101 by a predetermined pattern by using a screen printing method or the like. The heat generating layer 103 forms an electric path having a predetermined electric resistance value, thereby generating heat by the supplied electric energy, which is also called a “heating pattern”.

스크린 인쇄 이외에도, 발열층(103)은 구리(Cu), 탄소(C), 은(Ag), 파라듐(Pd), 루테늄(RuO2), 은-파라듐(Ag-Pd), 은(Ag)-페러디엄(Pd12·02), 은(Ag)-백금(Pt21·45), 인듐산화물(ITO: Indium Tin Oxide), 주석산화물(ATO: Antimony Tin Oxide) 및 탄소나노튜브(CNT; Carbon Nano Tube) 중 어느 하나를 반도체 증착(Deposition) 기법 또는 스퍼터링(Sputtering) 기법으로 글라스 세라믹 기판(101) 상에 형성할 수 있다. In addition to screen printing, the heat generating layer 103 includes copper (Cu), carbon (C), silver (Ag), palladium (Pd), ruthenium (RuO 2), silver-paradium (Ag-Pd), and silver (Ag) -Perdium (Pd12 · 02), silver (Ag) -platinum (Pt21 · 45), indium oxide (ITO: Indium Tin Oxide), tin oxide (ATO: Antimony Tin Oxide) and carbon nanotube (CNT) ) May be formed on the glass ceramic substrate 101 by a semiconductor deposition technique or a sputtering technique.

특히, 루테늄, 은, 파라듐, 은-파라듐, 탄소나노튜브는 850℃의 고온에서 소성시 산화성이 없어 생산비용이 저렴하며, 550℃의 고온 사용시에도 높은 전류 밀도를 가짐으로써 산화되거나 저항특성이 변하지 않는 특성이 있다.Particularly, ruthenium, silver, palladium, silver-paradium, and carbon nanotubes are inexpensive because they do not oxidize when fired at a high temperature of 850 ° C. There is an unchanging characteristic.

발열층(103)은 발열에 사용되는 전기를 공급받기 위한 배선부(105)를 구비하며, 배선부(105)는 외부의 교류 또는 직류 전원(미도시)에 연결된다. The heat generating layer 103 includes a wiring unit 105 for receiving electricity used for heat generation, and the wiring unit 105 is connected to an external AC or DC power source (not shown).

배선부(105)는 발열층(103)과 마찬가지로 스크린 인쇄 등의 방법을 이용하여 발열층(103)에서 연장하거나 발열층(103) 상에 형성되며, 2개가 형성된다. 배선부(150)는 발열층(103)에서 연장됨으로써 발열층(103)이 형성하는 하나의 전기적 경로의 양 끝단에 해당한다. Like the heat generating layer 103, the wiring units 105 extend from the heat generating layer 103 or are formed on the heat generating layer 103 by using a screen printing method or the like, and two are formed. The wiring unit 150 extends from the heating layer 103 to correspond to both ends of one electrical path formed by the heating layer 103.

배선부(105)의 외면에는 납땜 등의 방법으로 전기 도선(110)이 전기적으로 연결 부착되어, 교류 또는 직류 전원에 연결된 전기 도선(110)을 통해 전송되는 전 기 에너지(전류)를 발열층(103)에 공급한다. 배선부(105)는 강도가 낮은 은(Ag)으로 형성함으로써, 발열 패턴을 형성하기 어려운 협소한 곳이라도 좁은 폭으로 최소화시켜 형성할 수 있도록 하며, 고온에서 전류부하를 최소화할 수 있다. 또한, 은(Ag)은 강도가 낮아 전기 도선(110)의 단자와의 밀착성이 향상되어 전류가 원활하게 흐를 수 있게 한다.Electrical conductors 110 are electrically connected and attached to the outer surface of the wiring unit 105 by soldering or the like, and the electric energy (current) transmitted through the electrical conductors 110 connected to an AC or DC power source is generated in the heating layer ( 103). Since the wiring part 105 is formed of silver (Ag) having low strength, the wiring part 105 may be formed to be narrowly narrowed even in a narrow place where it is difficult to form a heating pattern, and the current load may be minimized at a high temperature. In addition, silver (Ag) has a low strength to improve the adhesion to the terminal of the electrical conductor 110, so that the current can flow smoothly.

발열층(103) 및 배선부(105)의 형상(또는 패턴)에 대해서는 아래에서 다시 설명한다.The shape (or pattern) of the heat generating layer 103 and the wiring portion 105 will be described again below.

세라믹 보호층(107)은 550℃의 고온 사용시에도 파티클(Particle)이나 가스가 배출되지 않기 때문에 고온 청정 상태에서 사용이 가능하고 높은 절연특성을 지니고 있어 절연저항이나 내전압이 우수한 세라믹 계열의 소재(예컨대, SiO2-A12O3-MgO-RO)를 포함하여 형성하는 것이 바람직하다.Since the ceramic protective layer 107 does not emit particles or gases even when used at a high temperature of 550 ° C., the ceramic protective layer 107 can be used in a clean state of high temperature and has a high insulation characteristic, and thus is a ceramic-based material (eg, having excellent insulation resistance and withstand voltage). , SiO 2 -A1 2 O 3 -MgO-RO).

논스틱 코팅층(109)은 내열성이 우수하며 표면이 매우 치밀하고 매끄러워 불필요한 이물질이 부착되지 않으며, 상용 사용온도 250℃ ~ 300℃의 내열성을 가지고 세척이 용이한 불소 수지(Teflon) 또는 상용 사용온도 200℃ ~ 300℃와 최대 내열온도 400℃의 특성을 가진 논스틱 세라믹계열의 코팅물질(예컨대, SiO2-TiO2-RO)로 형성하는 것이 바람직하다.The non-stick coating layer 109 has excellent heat resistance, and its surface is very dense and smooth so that unnecessary foreign matters are not attached, and it has a heat resistance of 250 ° C. to 300 ° C., which is easy to clean. It is preferable to form a non-stick ceramic-based coating material (eg, SiO 2 -TiO 2 -RO) having a property of 200 ° C to 300 ° C and a maximum heat resistance temperature of 400 ° C.

도 2는 본 발명의 일 실시 예에 따른 글라스 세라믹 히터의 제조방법의 설명에 제공되는 흐름도로서, 이하에서는 도 1 및 도 2를 참조하여, 글라스 세라믹 히터(100)의 제조방법을 설명한다.2 is a flowchart provided to explain a method of manufacturing a glass ceramic heater according to an embodiment of the present invention. Hereinafter, a method of manufacturing the glass ceramic heater 100 will be described with reference to FIGS. 1 and 2.

먼저, 글라스 세라믹 기판(101)의 일 면에 발열층(103)을 형성한다. 앞서 설명한 바와 같이 발열층(103)은 스크린 인쇄, 증착기법 또는 스퍼터링 등의 방법에 의해 형성될 수 있다(S201).First, the heating layer 103 is formed on one surface of the glass ceramic substrate 101. As described above, the heating layer 103 may be formed by a screen printing method, a deposition method, or a sputtering method (S201).

발열층(103)을 형성한 다음, 배선부(105)를 글라스 세라믹 기판(101)의 일 측에 발열층(103)으로부터 연장하거나 발열층(103) 상에 형성한다(S203).After the heat generating layer 103 is formed, the wiring unit 105 extends from the heat generating layer 103 on one side of the glass ceramic substrate 101 or is formed on the heat generating layer 103 (S203).

발열층(103)의 패턴보호 및 절연을 위해, 발열층(103)의 상측에 세라믹 보호층(107)을 형성한다(S205).In order to protect the pattern and the insulation of the heat generating layer 103, a ceramic protective layer 107 is formed on the heat generating layer 103 (S205).

마지막으로, 글라스 세라믹 기판(101)의 양면 중 세라믹 보호층(107)이 형성된 반대 면에 이물질의 부착을 억제하기 위하여 논스틱 코팅층(109)을 형성한다. 논스틱 코팅층(109)의 형성은 불소 수지(Teflon) 또는 논스틱 세라믹계열의 소재의 코팅물질(예컨대, SiO2-TiO2-RO)을 스프레이 건(Gun) 등으로 도포함으로써 이루어진다(S207).Finally, the non-stick coating layer 109 is formed on the opposite side of the glass ceramic substrate 101 on the opposite side on which the ceramic protective layer 107 is formed. The non-stick coating layer 109 is formed by applying a coating material (eg, SiO 2 -TiO 2 -RO) made of fluorine resin (Teflon) or a non-stick ceramic material (eg, SiO 2 -TiO 2 -RO) with a spray gun or the like (S207).

배선부(105)에 전기 도선(110)을 납땜 방법으로 연결하는 단계는 S207 단계 이후에 이루어지는 것이 바람직하다.The step of connecting the electrical lead 110 to the wiring portion 105 by the soldering method is preferably performed after the step S207.

실시 예에 따라, 공정상 논스틱 코팅층(109)의 형성이 반드시 마지막 단계에 위치할 필요 없으며 S201 단계의 발열층(103)의 형성 이전에 이루어질 수도 있다. 또한, S201 및 S203 단계와 반대로 배선부(105)가 먼저 형성되고 발열층(103)이 후공정으로 이루어질 수도 있다. According to an embodiment, the formation of the non-stick coating layer 109 is not necessarily located at the last step in the process and may be made before the formation of the heating layer 103 in step S201. In addition, as opposed to steps S201 and S203, the wiring unit 105 may be formed first, and the heat generating layer 103 may be formed in a later process.

이하에서는 도 3을 참조하여, 발열층(103) 및 배선부(105)에 대하여 설명한 다. 도 3은 발열층 및 배선부의 일 예를 도시한 도면으로서, 발열층(103) 및 배선부(105)의 형상(패턴)의 일 예가 도시되어 있다. Hereinafter, the heat generating layer 103 and the wiring unit 105 will be described with reference to FIG. 3. 3 is a diagram illustrating an example of a heat generating layer and a wiring unit, and an example of a shape (pattern) of the heat generating layer 103 and the wiring unit 105 is illustrated.

도 3에 도시된 발열층(103)은 복수 개의 막대형 발열층(301)과 복수 개의 연결도선층(303)을 포함하고, 복수 개의 막대형 발열층(301)이 2열 횡대의 패턴으로 나란하게 형성된 예이다. 막대형 발열층(301)의 양 끝단 각각은 바로 옆에 형성된 막대형 발열층 중 적어도 하나와 연결도선층(303)에 의해 전기적으로 연결됨으로써, 복수 개의 막대형 발열층(301)과 복수 개의 연결도선층(303)은 하나의 폐로(Closed Circuit)를 형성하며 배선부(105)에 연결된다. The heat generating layer 103 illustrated in FIG. 3 includes a plurality of rod-type heating layers 301 and a plurality of connection lead layers 303, and the plurality of rod-type heating layers 301 are arranged in a pattern of two rows of horizontal lines. It is an example formed. Each end of the bar-shaped heat generating layer 301 is electrically connected to at least one of the bar-shaped heat generating layers formed next to each other by the connecting lead layer 303, thereby connecting the plurality of bar-shaped heat generating layers 301 to the plurality of ends. The conductive layer 303 forms one closed circuit and is connected to the wiring unit 105.

배선부(105) 및 연결도선층(303)은 다양한 도전성 소재로 형성할 수 있으며, 전도성이 좋은 은(Ag)이 바람직하다. The wiring portion 105 and the connection lead layer 303 may be formed of various conductive materials, and silver (Ag) having good conductivity is preferable.

배선부(105)에는 전원부(미도시)에 연결된 전기 도선(110)이 납땜 또는 브레이징(Brasing) 방법 등에 의해 연결된다. 따라서, 배선부(105)는 브레이징 공법에 의해 전기 도선(110)과의 접촉저항을 최소화할 수 있고, 전기 도선(110)을 볼트(Bolt) 등으로 접합하기 위한 홀을 형성할 필요가 없다.The electric wire 110 connected to the power supply unit (not shown) is connected to the wiring unit 105 by a soldering or brazing method. Therefore, the wiring unit 105 can minimize the contact resistance with the electrical lead 110 by the brazing method, and it is not necessary to form a hole for joining the electrical lead 110 with a bolt or the like.

이상에서 설명된 본 발명의 세라믹 히터는 판상(板狀)의 글라스 히터(100)를 예로 도시하고 설명하였으나, 세라믹 히터가 반드시 판상으로 형성된 필요는 없다. 예컨대, 세라믹 히터가 박스형 또는 원통형으로 마련되고 그 외주면에 세라믹 보호층 등이 마련되어, 피가열물이 글라스 세라믹 히터의 내부에 위치할 수 있을 것이다.In the ceramic heater of the present invention described above, the plate-shaped glass heater 100 is illustrated and described as an example, but the ceramic heater is not necessarily formed in a plate shape. For example, the ceramic heater may be provided in a box shape or a cylindrical shape, and a ceramic protective layer or the like may be provided on the outer circumferential surface thereof, so that the heated object may be located inside the glass ceramic heater.

이상에서는 본 발명의 바람직한 실시 예에 대하여 도시하고 설명하였지만, 본 발명은 상술한 특정의 실시 예에 한정되지 아니하며, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 다양한 변형실시가 가능한 것은 물론이고, 이러한 변형실시들은 본 발명의 기술적 사상이나 전망으로부터 개별적으로 이해되어서는 안 될 것이다.Although the above has been illustrated and described with respect to preferred embodiments of the present invention, the present invention is not limited to the above-described specific embodiments, it is usually in the technical field to which the invention belongs without departing from the spirit of the invention claimed in the claims. Various modifications can be made by those skilled in the art, and these modifications should not be individually understood from the technical spirit or the prospect of the present invention.

도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 비 점착성 코팅 막을 구비한 글라스 세라믹 히터의 단면도,1 is a cross-sectional view of a glass ceramic heater having a non-stick coating film according to an embodiment of the present invention,

도 2는 본 발명의 일 실시 예에 따른 글라스 세라믹 히터의 제조방법의 설명에 제공되는 흐름도, 그리고2 is a flowchart provided to explain a method of manufacturing a glass ceramic heater according to an embodiment of the present invention, and

도 3은 발열층 및 배선부의 일 예를 도시한 도면이다.3 is a diagram illustrating an example of a heating layer and a wiring unit.

** 도면의 주요 부분에 대한 부호**** Symbols for Main Parts of Drawings **

100: 세라믹 히터 101: 세라믹 기판100: ceramic heater 101: ceramic substrate

103: 발열층 105: 배선부103: heat generating layer 105: wiring portion

107: 세라믹 보호층 109: 논스틱(Non-stick) 코팅층107: ceramic protective layer 109: non-stick coating layer

110: 전기 도선 301: 막대형 발열층110: electrical wire 301: rod-shaped heating layer

303: 연결도선층 303: connecting lead layer

Claims (3)

상측의 피가열물로 열 에너지 및 원적외선을 전도 또는 복사하는 글라스 세라믹 기판; A glass ceramic substrate conducting or radiating thermal energy and far infrared rays to an upper object to be heated; 상기 글라스 세라믹 기판의 아랫면에 전기적 저항값을 가지도록 형성되며, 교류 또는 직류 전류를 입력받아 발열하여 상기 글라스 세라믹 기판을 가열하는 발열층;A heat generating layer formed on the lower surface of the glass ceramic substrate to have an electrical resistance value and generating heat by receiving an AC or DC current to heat the glass ceramic substrate; 상기 발열층으로부터 연장되어 형성되고 전기 도선이 연결되어, 상기 발열층으로 상기 교류 또는 직류 전류를 공급하는 배선부;A wiring unit extending from the heat generating layer and connected to an electric conductor to supply the AC or DC current to the heat generating layer; 상기 발열층의 아랫면에 형성되어 상기 발열층을 보호하고 전기적으로 절연하기 위한 세라믹 보호층; 및A ceramic protective layer formed on a lower surface of the heating layer to protect and electrically insulate the heating layer; And 상기 글라스 세라믹 기판의 윗면에 형성되어 이물질의 부착을 억제하는 논스틱(Non-stick) 코팅층;을 포함하는 것을 특징으로 하는 글라스 세라믹 히터.And a non-stick coating layer formed on an upper surface of the glass ceramic substrate to suppress adhesion of foreign substances. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 논스틱 코팅층은,The non-stick coating layer, 상용 사용온도 250℃ ~ 300℃의 내열성을 가진 불소 수지(Teflon), 또는 상용 사용온도 200℃ ~ 300℃와 최대 내열온도 400℃의 특성을 가진 세라믹 소재인 것을 특징으로 하는 글라스 세라믹 히터.Glass ceramic heater, characterized in that the fluorine resin (Teflon) having a heat resistance of the commercial use temperature of 250 ℃ ~ 300 ℃, or a ceramic material having a characteristic of the commercial use temperature 200 ℃ ~ 300 ℃ and the maximum heat resistance temperature 400 ℃. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 발열층은, The heating layer, 복수 열(列)의 횡대 패턴으로 나란하게 형성된 복수 개의 막대형 발열층; 및A plurality of rod-shaped heat generating layers formed side by side in a plurality of rows of horizontal patterns; And 하나의 폐로를 형성하도록 상기 복수 개의 막대형 발열층과 상기 배선부를 연결하는 적어도 하나의 연결도선층을 포함하는 것을 특징으로 하는 글라스 세라믹 히터.And at least one connecting lead layer connecting the plurality of rod-shaped heating layers and the wiring part to form one closed path.
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