KR20090130882A - 진동시험장치 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (29)
- 워크를 부착하기 위한 테이블과,상기 테이블을 제 1 방향으로 진동시킬 수 있는 제 1 액추에이터와,상기 테이블을 상기 제 1 방향과 직교하는 제 2 방향으로 진동시킬 수 있는 제 2 액추에이터와,상기 테이블을 상기 제 1 액추에이터에 대하여 제 2 방향으로 슬라이드 가능하게 연결하는 제 1 연결 수단과,상기 테이블을 상기 제 2 액추에이터에 대하여 제 1 방향으로 슬라이드 가능하게 연결하는 제 2 연결 수단,을 갖는 것을 특징으로 하는 진동시험장치.
- 제 1 항에 있어서,상기 제 1 및 제 2 액추에이터는,서보모터와,상기 서보모터의 회전운동을 제 1 또는 제 2 방향의 병진운동으로 변환하는 볼나사 기구를 각각 갖는 것을 특징으로 하는 진동시험장치.
- 제 2 항에 있어서,상기 서보모터의 회전축과 상기 볼나사 기구의 볼나사를 연결하는 커플링을 더 갖고,상기 커플링이 백래시가 없고, 회전축의 굽힘 방향으로 유연성을 갖고, 상기 모터의 구동축방향의 진동의 전달을 저해하도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 진동시험장치.
- 제 3 항에 있어서,상기 세미 리지드 커플링은 점탄성 요소를 포함하는 것을 특징으로 하는 진동시험장치.
- 제 4 항에 있어서,상기 점탄성 요소의 적어도 일부는 수지로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 진동시험장치.
- 제 4 항에 있어서,상기 점탄성 요소의 적어도 일부는 고무로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 진동시험장치.
- 제 3 항에 있어서,상기 세미 리지드 커플링은 상기 서보모터의 구동축방향의 진동의 감쇠율이 이 구동축의 고유 진동수에서 대략 최대가 되도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하 는 진동시험장치.
- 제 3 항에 있어서,상기 세미 리지드 커플링은,중심에 테이퍼 구멍이 관통형성된 강체 요소인 1쌍의 외륜과,상기 1쌍의 외륜 사이에 배치되고, 중심에 연결하는 축을 통과시키기 위한 원기둥 형상의 관통구멍이 형성되고, 외주의 축방향 양단에 상기 1쌍의 외륜의 테이퍼 구멍의 내주와 각각 걸어맞춤 가능한 테이퍼면이 형성되어 있는, 탄성 요소 또는 점탄성 요소로 이루어지는 내륜을 갖고,상기 내륜의 관통구멍에 상기 볼나사 및 상기 서보모터의 구동축이 끼워넣어져, 상기 내륜의 테이퍼면에 상기 1쌍의 외륜의 테이퍼 구멍의 내주가 맞닿고, 상기 1쌍의 외륜끼리 볼트로 서로 고정됨으로써 내륜을 통하여 축이 연결되는 것을 특징으로 하는 진동시험장치.
- 제 2 항에 있어서,상기 볼나사 기구의 너트가 상기 볼나사의 축방향으로만 이동 가능하게 되도록 이 너트를 가이드하는 가이드 기구가, 상기 진동시험장치의 프레임에 고정되는 제1부와, 이 너트에 고정되는 제2부를 갖고,상기 제1부와 제2부의 일방이 레일을 갖고, 또한 타방이 상기 레일과 걸어맞추어져 이 레일을 따라 이동할 수 있는 러너 블록을 갖고,상기 러너 블록이,상기 레일을 둘러싸는 오목부와,상기 오목부에서, 상기 러너 블록의 이동방향을 따라 형성된 홈과,상기 러너 블록의 내부에 형성되어, 상기 홈과 폐회로를 형성하도록 상기 홈의 상기 이동방향 양단과 연결되어 있는 퇴피로와,상기 폐회로를 순환함과 아울러, 상기 홈에 위치할 때는 상기 레일과 맞닿도록 되어 있는 복수의 볼을 갖는 것을 특징으로 하는 진동시험장치.
- 제 9 항에 있어서,상기 러너 블록에는 상기 폐회로가 4개 형성되어 있고,상기 4개의 폐회로 중 2개의 폐회로의 홈의 각각에 배치된 볼은 가이드 기구의 레이디얼 방향에 대하여 대략 ±45도의 접촉각을 갖고, 다른 2개의 폐회로의 홈의 각각에 배치된 볼은 상기 가이드 기구의 역레이디얼 방향에 대하여 대략 ±45도의 접촉각을 갖는 것을 특징으로 하는 진동시험장치.
- 제 1 항에 있어서,상기 제 1 및 제 2 연결 수단의 각각은 상기 제 1 및 제 2 액추에이터와 상기 테이블 사이에 배치된 중간 스테이지를 갖고,상기 제 1 연결 수단의 중간 스테이지는, 이 제 1 방향에 수직한 일방향으로만 상기 테이블에 대하여 슬라이드 가능하고, 또한, 이 일방향과 이 제 1 방향의 쌍방에 수직한 방향으로만 상기 제 1 액추에이터에 대하여 슬라이드 가능하며,상기 제 2 연결 수단의 중간 스테이지는, 이 제 2 방향에 수직한 일방향으로만 상기 테이블에 대하여 슬라이드 가능하고, 또한, 이 일방향과 이 제 2 방향의 쌍방에 수직한 방향으로만 상기 제 2 액추에이터에 대하여 슬라이드가능한 것을 특징으로 하는 진동시험장치.
- 제 11 항에 있어서,상기 제 1 연결 수단의 중간 스테이지가 상기 테이블 및 상기 제 1 액추에이터에 대하여 슬라이드 가능한 2방향 중 일방은 이 제 2 방향이며,상기 제 2 연결 수단의 중간 스테이지가 상기 테이블 및 상기 제 2 액추에이터에 대하여 슬라이드 가능한 2방향 중 일방은 이 제 1 방향인 것을 특징으로 하는 진동시험장치.
- 제 11 항에 있어서,상기 테이블 및 상기 중간 스테이지의 일방에는, 상기 중간 스테이지가 상기 테이블에 대하여 슬라이드 가능한 방향으로 뻗어 있는 적어도 1개의 레일이 설치되어 있고,상기 테이블 및 상기 중간 스테이지의 타방에는 상기 레일에 걸어맞추는 러너 블록이 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 진동시험장치.
- 제 13 항에 있어서,상기 테이블과 상기 중간 스테이지는, 서로 평행하게 배치된 복수의 레일과, 상기 복수의 레일의 각각에 걸어맞추는 복수의 러너 블록을 통하여, 슬라이드 가능하게 연결되어 있는 것을 특징으로 하는 진동시험장치.
- 제 13 항에 있어서,상기 러너 블록이,상기 레일을 둘러싸는 오목부와,상기 오목부에서, 상기 러너 블록의 이동방향을 따라 형성된 홈과,상기 러너 블록의 내부에 형성되고, 상기 홈과 폐회로를 형성하도록 상기 홈의 상기 이동방향 양단과 연결되어 있는 퇴피로와,상기 폐회로를 순환함과 아울러, 상기 홈에 위치할 때는 상기 레일과 맞닿도록 되어 있는 복수의 볼을 갖는 것을 특징으로 하는 진동시험장치.
- 제 15 항에 있어서,상기 러너 블록에는 상기 폐회로가 4개 형성되어 있고,상기 4개의 폐회로 중 2개의 폐회로의 홈의 각각에 배치된 볼이, 상기 레일과 상기 러너 블록을 구비한 가이드 기구의 레이디얼 방향에 대하여 대략 ±45도의 접촉각을 갖고, 다른 2개의 폐회로의 홈의 각각에 배치된 볼은 상기 가이드 기구의 역레이디얼 방향에 대하여 대략 ±45도의 접촉각을 갖는 것을 특징으로 하는 진동 시험장치.
- 제 11 항에 있어서,상기 중간 스테이지 및 대응하는 액추에이터의 일방에는, 상기 중간 스테이지가 상기 대응하는 액추에이터에 대하여 슬라이드 가능한 방향으로 뻗어 있는 적어도 1개의 레일이 설치되어 있고,상기 중간 스테이지 및 대응하는 액추에이터의 타방에는 상기 레일에 걸어맞추는 러너 블록이 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 진동시험장치.
- 제 17 항에 있어서,상기 중간 스테이지와 대응하는 액추에이터는, 서로 평행하게 배치된 복수의 레일과, 상기 복수의 레일의 각각에 걸어맞추는 복수의 러너 블록을 통하여, 슬라이드 가능하게 연결되어 있는 것을 특징으로 하는 진동시험장치.
- 제 17 항에 있어서,상기 러너 블록이,상기 레일을 둘러싸는 오목부와,상기 오목부에서, 상기 러너 블록의 이동방향을 따라 형성된 홈과,상기 러너 블록의 내부에 형성되고, 상기 홈과 폐회로를 형성하도록 상기 홈의 상기 이동방향 양단과 연결되어 있는 퇴피로와,상기 폐회로를 순환함과 아울러, 상기 홈에 위치할 때는 상기 레일과 맞닿도록 되어 있는 복수의 볼을 갖는 것을 특징으로 하는 진동시험장치.
- 제 19 항에 있어서,상기 러너 블록에는 상기 폐회로가 4개 형성되어 있고,상기 4개의 폐회로 중 2개의 폐회로의 홈의 각각에 배치된 볼이 상기 레일과 상기 러너 블록을 구비한 가이드 기구의 레이디얼 방향에 대하여 대략 ±45도의 접촉각을 갖고, 다른 2개의 폐회로의 홈의 각각에 배치된 볼은 상기 가이드 기구의 역레이디얼 방향에 대하여 대략 ±45도의 접촉각을 갖는 것을 특징으로 하는 진동시험장치.
- 제 1 항에 있어서,이 제 1 및 제 2 방향의 쌍방에 수직한 제 3 방향으로 상기 테이블을 진동시킬 수 있는 제 3 액추에이터와,상기 테이블을 상기 제 3 액추에이터에 대하여 제 1 및 제 2 방향으로 슬라이드 가능하게 연결하는 제 3 연결 수단을 갖고,상기 제 1 및 제 2 연결 수단은 각각 상기 테이블을 제 1 및 제 2 액추에이터에 대하여 제 3 방향으로 슬라이드 가능하게 연결하는 것을 특징으로 하는 진동시험장치.
- 제 21 항에 있어서,상기 제 3 액추에이터는 서보모터로 볼나사 기구를 구동하여 상기 테이블을 진동시키는 것을 특징으로 하는 진동시험장치.
- 제 21 항에 있어서,상기 제 3 연결 수단은 상기 제 3 액추에이터와 상기 테이블 사이에 배치된 중간 스테이지를 갖고,상기 제 3 연결 수단의 중간 스테이지는 이 제 3 방향에 수직한 일방향으로만 상기 테이블에 대하여 슬라이드 가능하고, 또한, 이 일방향과 이 제 3 방향의 쌍방에 수직한 방향으로만 상기 제 1 액추에이터에 대하여 슬라이드 가능한 것을 특징으로 하는 진동시험장치.
- 제 23 항에 있어서,상기 제 3 연결 수단의 중간 스테이지가 상기 테이블 및 상기 제 1 액추에이터에 대하여 슬라이드 가능한 2방향은 이 제 1 및 제 2 방향인 것을 특징으로 하는 진동시험장치.
- 제 23 항에 있어서,상기 테이블 및 상기 중간 스테이지의 일방에는, 상기 중간 스테이지가 상기 테이블에 대하여 슬라이드 가능한 방향으로 뻗어 있는 적어도 1개의 레일이 설치되 어 있고,상기 테이블 및 상기 중간 스테이지의 타방에는 상기 레일에 걸어맞추는 러너 블록이 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 진동시험장치.
- 제 25 항에 있어서,상기 테이블과 상기 중간 스테이지는, 서로 평행하게 배치된 복수의 레일과, 상기 복수의 레일의 각각에 걸어맞추는 복수의 러너 블록을 통하여, 슬라이드 가능하게 연결되어 있는 것을 특징으로 하는 진동시험장치.
- 제 23 항에 있어서,상기 중간 스테이지 및 대응하는 액추에이터의 일방에는, 상기 중간 스테이지가 상기 대응하는 액추에이터에 대하여 슬라이드 가능한 방향으로 뻗어 있는 적어도 1개의 레일이 설치되어 있고,상기 중간 스테이지 및 대응하는 액추에이터의 타방에는, 상기 레일에 걸어맞추는 러너 블록이 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 진동시험장치.
- 제 27 항에 있어서,상기 중간 스테이지와 대응하는 액추에이터는, 서로 평행하게 배치된 복수의 레일과, 상기 복수의 레일의 각각에 걸어맞추는 복수의 러너 블록을 통하여, 슬라이드 가능하게 연결되어 있는 것을 특징으로 하는 진동시험장치.
- 제 23 항에 있어서,상기 제 3 방향이 연직방향이고,상기 제 3 액추에이터는 복수의 중간 스테이지를 갖는 것을 특징으로 하는 진동시험장치.
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