KR20090121019A - Device for pressure transfer and thin component making device including the same - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 압력전달장치 및 이를 구비하는 박형 부품 제조장치에 관한 것으로 더욱 상세하게는 렌즈나 웨이퍼 렌즈, 또는 렌즈 모듈이나 그 외의 각종 박형 부품들을 제조하기 위한 압력전달장치 및 이를 구비하는 박형 부품 제조장치에 관한 것이다.The present invention relates to a pressure transmission device and a thin component manufacturing apparatus having the same, and more particularly, a pressure transmission apparatus for manufacturing a lens, a wafer lens, a lens module or other various thin components and a thin component manufacturing apparatus having the same. It is about.
최근에 각종 전자제품들이 소형화, 박형화 되면서 그 전자제품에 사용되는 부품들의 크기도 매우 작게 만들어져 박형화 되고 있는 추세이다.Recently, as various electronic products are miniaturized and thinned, the size of the components used in the electronic products is also made very small and thin.
이러한 박형 부품들, 특히 다수의 렌즈 어레이로 이루어진 웨이퍼 렌즈를 제조하거나 웨이퍼 단위가 아닌 개별적으로 렌즈를 제조하는 경우에, 렌즈 웨이퍼에 렌즈 제조를 위한 소재를 투입하고 이를 가압지그를 이용하여 가압한다.In the case of manufacturing such thin components, in particular, a wafer lens composed of a plurality of lens arrays or separately manufacturing a lens instead of a wafer unit, a material for manufacturing a lens is introduced into the lens wafer and pressed using a pressure jig.
또한, 이동통신 단말기 등에 사용되는 소형 카메라 모듈 등을 위한 박형 렌즈 모듈 등을 제조하는 경우, 박형 렌즈에 접착제를 도포하여 칩을 올려놓고 가압지그를 이용하여 가압하게 된다.In addition, in the case of manufacturing a thin lens module for a small camera module or the like used in a mobile communication terminal, etc., the adhesive is applied to the thin lens to put a chip and pressurized using a pressure jig.
그러나, 이와 같은 가압 과정에서 피가압대상물, 즉 상기 예에서 렌즈 웨이 퍼나 렌즈 모듈 등에 균일하게 압력이 전달되지 못하고 압력이 어느 한 쪽으로 편중되는 문제점이 있었다.However, there is a problem in that pressure is not uniformly transmitted to the object to be pressurized, that is, the lens wafer or the lens module in the above example, and the pressure is biased to either side.
즉 가압지그의 압력을 매우 크게 높여 피가압대상물을 가압하더라도 가압 과정에서 피가압대상물의 구조가 변형될 수도 있고, 또는 원래부터 피가압대상물의 표면 기울기가 가압지그와 다를 경우 가압 과정에서 가압지그가 전달하는 압력이 피가압대상물 전체에 균일하게 전달되지 못하고 피가압대상물의 어느 한 쪽으로 압력이 집중되어 버리게 되어 제품 불량을 초래하는 문제점이 있다.That is, even if the pressurized object is pressurized by increasing the pressure of the pressurized jig very much, the structure of the pressurized object may be deformed during the pressurizing process, or if the surface slope of the pressurized object is different from the pressurizing jig, There is a problem in that the pressure to be delivered is not uniformly transmitted to the entire object to be pressurized and the pressure is concentrated on either side of the object to be pressurized, resulting in a product defect.
본 발명은 피가압대상물의 형상이나 가압 과정에서 발생하는 피가압대상물의 구조 변형 등과 무관하게 피가압대상물 전체에 실질적으로 균일하게 압력이 전달되도록 하는 압력전달장치와 이러한 압력전달장치를 이용하여 피가압대상물을 가압하여 박형 부품을 제조하는 장치를 제공한다.The present invention provides a pressure transmitting device that allows the pressure to be transmitted substantially uniformly to the entire object to be pressurized regardless of the shape of the object to be pressurized or the structural deformation of the object to be pressurized. It provides an apparatus for producing a thin part by pressing the object.
본 발명에 따른 압력전달장치는, 하부스탬프에 놓인 피가압대상물을 가압하는 상부스탬프가 구동되도록 하는 가압시트; 압력발생장치로부터 발생한 압력을 상기 가압시트에 전달하는 가압플레이트; 및 상기 압력발생장치와 상기 가압플레이트 사이에 구비되며, 상기 피가압대상물과 상기 상부스탬프 사이의 편차에 따라 상기 가압플레이트와 상기 가압시트 사이의 편차를 보상하여 균일한 압력전달이 이루어지도록 볼 조인트를 포함한다.The pressure transmitting device according to the present invention comprises: a pressure sheet for driving an upper stamp for pressing the object to be pressurized placed on the lower stamp; A pressure plate for transferring the pressure generated from the pressure generating device to the pressure sheet; And a ball joint provided between the pressure generating device and the pressure plate and compensating the deviation between the pressure plate and the pressure sheet according to the deviation between the object to be pressurized and the upper stamp. Include.
또한, 상기 볼 조인트는, 상기 압력발생부 및 상기 가압플레이트 중 어느 하나에 연결되어 상기 가압플레이트의 움직임에 따라 소정 각도 회전하는 구면부재와, 상기 압력발생부 및 상기 가압플레이트 중 다른 하나에 연결되어 상기 구면부재를 수용하여 지지하며, 상기 구면부재가 회전하는 것을 안내하는 지지가이드를 포함하는 것을 특징으로 한다.In addition, the ball joint, is connected to any one of the pressure generating portion and the pressure plate is spherical member that rotates a predetermined angle in accordance with the movement of the pressure plate, and is connected to the other of the pressure generating portion and the pressure plate It accommodates and supports the spherical member, characterized in that it comprises a support guide for guiding the rotation of the spherical member.
또한, 상기 구면부재 및 상기 지지가이드 중 적어도 하나에 구비되어 상기 구면부재의 회전을 용이하게 하는 윤활부를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.The apparatus may further include a lubrication unit provided in at least one of the spherical member and the support guide to facilitate rotation of the spherical member.
또한, 상기 가압플레이트와 상기 가압시트 사이에 구비되어 상기 가압플레이트와 상기 가압시트의 상대 운동에 따른 편차를 보정하는 점접촉 수단을 더 포함하는 것을 특징으로 한다.In addition, the pressing plate and the pressing sheet is provided between the contact point means for correcting the deviation according to the relative movement of the pressing plate and the pressing sheet further comprises.
또한, 상기 점접촉 수단은, 상기 가압플레이트와 상기 가압시트에 대해 각각 점접촉하여 상기 가압시트의 움직임에 따라 회전하여 상기 가압플레이트가 상기 가압시트에 대해 실질적으로 균일하게 압력을 전달하도록 하는 볼 부재를 포함하는 것을 특징으로 한다.In addition, the point contact means, the ball member for each point contact with respect to the pressure plate and the pressure sheet to rotate in accordance with the movement of the pressure sheet to transmit the pressure plate to the pressure sheet substantially uniformly to the pressure sheet. Characterized in that it comprises a.
또한, 상기 점접촉 수단은, 상기 가압플레이트와 상기 가압시트에 대해 각각 점접촉하며, 상기 가압플레이트의 무게중심을 기준으로 실질적으로 동일한 각도로 배치되어 상기 가압플레이트가 상기 가압시트에 대해 실질적으로 균일하게 압력을 전달하도록 하는 복수개의 볼 부재를 포함하는 것을 특징으로 한다.The point contact means may be in point contact with the pressure plate and the pressure sheet, respectively, and are disposed at substantially the same angle with respect to the center of gravity of the pressure plate so that the pressure plate is substantially uniform with respect to the pressure sheet. It characterized in that it comprises a plurality of ball members to transfer the pressure.
또한, 상기 압력발생장치에서 역방향의 압력이 발생함에 따라 상기 가압시트를 상향 이동시키도록 지지하는 지지수단을 더 포함하는 것을 특징으로 한다.In addition, the pressure generating device is characterized in that it further comprises a support means for supporting the pressure sheet to move upward as the pressure in the reverse direction occurs.
또한, 상기 지지수단은, 상기 가압플레이트와 일체로 또는 결합하여 구비되며, 상기 가압시트의 하단을 지지하도록 구비되는 시트지지부를 포함하는 것을 특징으로 한다.In addition, the support means, characterized in that it is provided integrally or coupled to the pressing plate, characterized in that it comprises a sheet support portion provided to support the lower end of the pressing sheet.
또한, 상기 가압시트는 그 측면에 마련되는 홈부를 포함하며, 상기 지지수단은, 상기 가압플레이트와 일체로 또는 결합하여 구비되며 상기 홈부에 삽입되어 상기 가압시트를 지지하는 시트지지부를 포함하는 것을 특징으로 한다.In addition, the pressing sheet includes a groove portion provided at its side, and the supporting means is provided with a sheet support portion which is provided integrally or coupled with the pressing plate and is inserted into the groove to support the pressing sheet. It is done.
또한, 상기 시트지지부는 상기 상부스탬프와 상기 피가압대상물이 분리될 때 의 충격을 완화하도록 하는 완충부재를 포함하는 것을 특징으로 한다.In addition, the seat support portion is characterized in that it comprises a cushioning member to mitigate the impact when the upper stamp and the pressurized object is separated.
또한, 상기 지지수단은, 상기 시트지지부와 상기 가압시트의 하단을 연결하여 상기 시트지지부가 상기 가압시트를 탄성지지하도록 하는 탄성부재를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.In addition, the support means, characterized in that it further comprises an elastic member for connecting the lower end of the sheet support and the pressing sheet to allow the sheet support to elastically support the pressing sheet.
또한, 상기 지지수단은, 상기 시트지지부와 상기 가압시트 사이에 구비되어 상기 시트지지부와 상기 가압시트 사이에 발생하는 편차를 보상하는 볼 포인트 부를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.In addition, the support means, characterized in that it further comprises a ball point portion provided between the sheet support and the pressing sheet to compensate for the deviation occurring between the sheet support and the pressing sheet.
또한, 상기 가압플레이트와 상기 압력발생장치를 연결하며 상기 가압플레이트의 움직임을 탄성적으로 지지하는 스프링 부재를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.The apparatus may further include a spring member connecting the pressure plate to the pressure generating device and elastically supporting the movement of the pressure plate.
또한, 상기 가압플레이트와 연결되는 복수개의 서브 볼 조인트와, 상기 각 서브 볼 조인트와 각각 연결되어 상기 각 서브 볼 조인트를 통해 전달 받은 압력을 상기 가압시트에 전달하는 서브 가압플레이트를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.The apparatus may further include a plurality of sub-ball joints connected to the pressing plate, and a sub-pressing plate connected to each of the sub-ball joints to transfer the pressure transmitted through each of the sub-ball joints to the pressing sheet. It is done.
또한, 상기 각 서브 가압플레이트와 상기 가압시트에 대해 각각 점접촉하며, 상기 서브 가압플레이트와 상기 가압시트의 상대 운동에 따른 편차를 보정하는 복수개의 볼 부재를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.The apparatus may further include a plurality of ball members that are in point contact with each of the sub-press plates and the pressure sheet, respectively, and correct the deviation due to the relative movement of the sub-press plates and the pressure sheet.
또한, 상기 압력발생장치에서 역방향의 압력이 발생함에 따라 상기 가압시트를 상향 이동시키도록 지지하는 지지수단을 더 포함하는 것을 특징으로 한다.In addition, the pressure generating device is characterized in that it further comprises a support means for supporting the pressure sheet to move upward as the pressure in the reverse direction occurs.
또한, 상기 지지수단은, 상기 가압플레이트 또는 상기 서브 가압플레이트와 일체로 또는 결합하여 구비되어 상기 가압시트를 지지하도록 구비되는 시트지지부 를 포함하는 것을 특징으로 한다.In addition, the support means, characterized in that it comprises a sheet support portion which is provided integrally or in combination with the pressing plate or the sub-pressing plate to support the pressing sheet.
또한, 상기 시트지지부는, 상기 상부스탬프와 상기 피가압대상물이 분리될 때의 충격을 완화하도록 하는 완충부재를 포함하는 것을 특징으로 한다.In addition, the sheet support portion, characterized in that it comprises a cushioning member to mitigate the impact when the upper stamp and the pressurized object is separated.
또한, 상기 지지수단은, 상기 시트지지부와 상기 가압시트의 하단 사이에 구비되어 상기 상부스탬프와 상기 피가압대상물이 분리될 때 상기 시트지지부와 상기 가압시트 사이에 발생하는 편차를 보정하는 볼 포인트 부를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.The support means may include a ball point part provided between the sheet support part and the lower end of the pressing sheet to correct a deviation occurring between the sheet support part and the pressing sheet when the upper stamp and the pressurized object are separated. It further comprises.
한편, 본 발명에 따른 박형 부품 제조장치는, 압력을 발생시키는 압력발생장치; 피가압대상물이 놓이는 하부스탬프 및 상기 피가압대상물에 밀착하여 압력을 전달하는 상부스탬프; 상기 상부스탬프가 구동되도록 하는 가압시트와, 상기 압력발생장치로부터 발생한 압력을 상기 가압시트에 전달하는 가압플레이트와, 상기 압력발생장치와 상기 가압플레이트 사이에 구비되며, 상기 피가압대상물의 두께 편차에 의한 상기 상부스탬프와 상기 가압시트의 기울어짐에 따라 상기 가압플레이트가 기울어지도록 하여 상기 가압시트에 균일한 압력이 전달되도록 하는 볼 조인트를 포함하는 압력전달장치를 포함한다.On the other hand, the thin component manufacturing apparatus according to the present invention, a pressure generating device for generating a pressure; A lower stamp on which the object to be pressed is placed, and an upper stamp to transmit pressure in close contact with the object to be pressed; A pressure sheet for driving the upper stamp, a pressure plate for transmitting the pressure generated from the pressure generating device to the pressure sheet, and a pressure plate provided between the pressure generating device and the pressure plate, It includes a pressure transmission device including a ball joint to induce the pressure plate is inclined in accordance with the inclination of the upper stamp and the pressure sheet by the uniform pressure is transmitted to the pressure sheet.
또한, 상기 압력전달장치는, 상기 가압플레이트와 상기 가압시트 사이에 구비되어 상기 가압플레이트와 상기 가압시트의 상대 운동에 따른 편차를 보정하는 볼 부재를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.In addition, the pressure transmission device, characterized in that it further comprises a ball member provided between the pressing plate and the pressing sheet for correcting the deviation due to the relative movement of the pressing plate and the pressing sheet.
또한, 상기 압력전달장치는, 상기 압력발생장치에서 역방향의 압력이 발생함에 따라 상기 가압시트를 상향 이동시키도록 지지하는 시트지지부를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.In addition, the pressure transmission device, characterized in that it further comprises a seat support for supporting the pressure sheet to move up as the pressure in the reverse direction in the pressure generating device.
또한, 상기 압력전달장치는, 상기 시트지지부와 상기 가압시트를 연결하여 상기 시트지지부가 상기 가압시트를 탄성지지하도록 하는 탄성부재를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.In addition, the pressure transmission device, characterized in that it further comprises an elastic member for connecting the sheet support and the pressure sheet to allow the sheet support to elastically support the pressure sheet.
또한, 상기 압력전달장치는, 상기 시트지지부와 상기 가압시트 사이에 구비되어 상기 시트지지부와 상기 가압시트 사이에 발생하는 편차를 보상하는 볼 포인트 부를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.In addition, the pressure transmission device, characterized in that it further comprises a ball point portion provided between the seat support and the pressure sheet to compensate for the deviation occurring between the seat support and the pressure sheet.
또한, 상기 압력발생장치는, 압력발생부와, 상기 압력발생부를 지지하는 지지부재와, 상기 지지부재에 연결되며, 상기 압력발생부와 상기 지지부재의 상하 방향 움직임을 가이드하는 가이드부를 포함하는 것을 특징으로 한다.The pressure generating device may include a pressure generating part, a supporting member supporting the pressure generating part, and a guide part connected to the supporting member and guiding vertical movement of the pressure generating part and the supporting member. It features.
또한, 상기 가압시트와 상기 상부스탬프를 연결하여 상기 가압시트로 전달되는 압력을 상기 상부스탬프로 전달하는 샤프트와, 상기 샤프트의 이동을 가이드하며 상기 상부스탬프의 상기 피가압대상물에 대한 위치를 조절하는 위치조절부를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.In addition, by connecting the pressure sheet and the upper stamp to the shaft to transfer the pressure delivered to the pressure sheet to the upper stamp, to guide the movement of the shaft and to adjust the position of the upper stamp of the pressure target object It further comprises a position adjusting unit.
또한, 상기 위치조절부를 지지하는 지지시트와, 상기 위치조절부와 상기 지지시트에 각각 점접촉되며 상기 샤프트의 움직임에 따라 상기 위치조절부의 움직임을 조절하는 위치조절 볼을 더 포함하는 것을 특징으로 한다.The apparatus may further include a support sheet for supporting the position adjusting unit, and a position adjusting ball for point contact with the position adjusting unit and the support sheet, respectively, and adjusting the movement of the position adjusting unit according to the movement of the shaft. .
또한, 상기 가압시트로부터 전달되는 압력을 상기 상부스탬프로 전달하며, 상기 피가압대상물의 밀착면 기울기에 따라 상기 상부스탬프가 기울어질 수 있도록 하여 상기 피가압대상물 전체에 실질적으로 균일하게 압력이 분배되도록 하는 압력 분배장치를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.In addition, the pressure transmitted from the pressure sheet is transferred to the upper stamp, so that the upper stamp can be inclined according to the inclination of the contact surface of the object to be pressed so that the pressure is substantially uniformly distributed throughout the object to be pressed. It characterized in that it further comprises a pressure distribution device.
본 발명에 따른 압력전달장치 및 이를 구비하는 박형 부품 제조장치는 피가압대상물의 형상이나 가압 과정에서 발생하는 피가압대상물의 구조 변형 등과 무관하게 피가압대상물 전체에 실질적으로 균일하게 압력이 전달되도록 하여 박형 부품의 생산성을 향상시키고 양질의 부품 생산이 가능하도록 하는 효과가 있다.The pressure transmitting device and the thin part manufacturing apparatus having the same according to the present invention allow the pressure to be transmitted substantially uniformly to the entire object to be pressurized regardless of the shape of the object to be pressurized or the structural deformation of the object to be pressurized. It has the effect of improving the productivity of thin parts and enabling the production of high quality parts.
본 발명에 따른 압력전달장치 및 이를 구비하는 박형 부품 제조장치에 관한 실시예를 도면을 참조하여 좀 더 구체적으로 설명한다.An embodiment of a pressure transmission device and a thin component manufacturing apparatus having the same according to the present invention will be described in more detail with reference to the accompanying drawings.
먼저 도 1 및 도 2를 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 압력전달장치가 구비된 박형 부품 제조장치에 관하여 설명한다. 여기서 도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 박형 부품 제조장치에 관하여 개략적으로 나타낸 도면이고, 도 2는 도 1의 I-I 단면에 관하여 나타낸 도면이다.First, a thin part manufacturing apparatus equipped with a pressure transmitting device according to an embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 1 and 2. 1 is a view schematically showing a thin part manufacturing apparatus according to an embodiment of the present invention, Figure 2 is a view showing a cross-sectional view of the I-I of FIG.
도 1에 도시된 바와 같이 본 발명의 일 실시예에 따른 박형 부품 제조장치는, 압력발생장치(20), 압력전달장치(30), 상부스탬프(70) 및 하부스탬프(90) 등을 포함하여 이루어진다.As shown in FIG. 1, a thin part manufacturing apparatus according to an embodiment of the present invention includes a
여기서 상기 하부스탬프(90)에는 피가압대상물, 예컨대 웨이퍼 렌즈를 제조하기 위한 렌즈 웨이퍼가 놓이거나 렌즈 모듈을 제조하기 위하여 칩을 부착할 렌즈가 놓인다. 또는 칩이 하부스탬프(90)에 놓이고 렌즈가 상기 칩에 부착되도록 하는 것도 가능하다.Here, the
한편, 도 1에 도시된 바와 같이 본 발명의 일 실시예에 따른 박형 부품 제조장치는 압력전달장치(30)와 상부스탬프(70)를 연결하는 샤프트(50)와, 상기 샤프트(50)의 위치를 조절하는 위치조절장치(40) 등을 더 포함할 수 있다.On the other hand, as shown in Figure 1, the thin part manufacturing apparatus according to an embodiment of the present invention is a
그리고 피가압대상물에 소정의 소재를 투입하거나 접착제나 밀봉재 등을 투입하기 위해 소재투입장치(120)가 구비될 수도 있으며, 소재를 경화시키도록 하는 소재경화장치(100)가 구비될 수도 있다.In addition, a
또한, 도 1에 도시된 바와 같이 상기 각 구성부품들을 수용하도록 몸체부(10)가 구비될 수 있고, 상기 몸체부(10)의 내부에 지지부(11)를 구비하여 위치조절장치(40)를 지지하고, 작업대(12)를 구비하여 하부스탬프(90)를 고정시키도록 하는 것도 가능하다.In addition, as shown in FIG. 1, a
이하 상기한 각각의 구성부품들의 구조와 기능 등에 관하여 좀 더 구체적으로 설명한다.Hereinafter, the structure, function, and the like of each component will be described in more detail.
도 1에 도시된 바와 같이 압력발생장치(20)는 소정의 압력을 발생시키는 압력발생부(21)와, 상기 압력발생부(21)에서 발생한 압력이 아래 방향으로 정확하게 전달되도록 안내하는 압력 가이드(22)와 가이드 바(23), 그리고 상기 압력전달장치(30)를 압력발생장치(20)와 연결시키고 지지하는 지지부재(24)를 포함한다.As shown in FIG. 1, the
상기 압력발생부(21)는 소정의 하중을 부가하는 장치이고, 이때 가이드 바(23)는 상기 압력발생부(21)와 같이 상향 또는 하향으로 이동한다. 그리고 상기 가이드 바(23)의 이동이 정확하게 이루어지도록 상기 압력 가이드(22)가 안내한다.The
한편, 상기 압력전달장치(30)는 상기 지지부재(24)와 연결되는 볼 조인 트(31, 32)와, 가압플레이트(33), 가압시트(54), 그리고 시트지지부(35)를 포함하여 이루어진다.Meanwhile, the
상기 볼 조인트(31, 32)는 지지부재(24) 및 가압플레이트(33) 중 어느 하나에 구비되는 구면부재(31)와, 지지부재(24) 및 가압플레이트(33) 중 다른 하나에 구비되어 상기 구면부재(31)를 수용하여 지지하는 지지가이드(32)를 포함한다.The ball joints 31 and 32 are provided on the
상기 구면부재(31)는 상기 지지가이드(32)에 수용되어 상하 방향과 좌우 방향으로 자유롭게 회전할 수 있으며, 이러한 구면부재(31)의 회전을 상기 지지가이드(32)가 안내한다.The
즉 상기 구면부재(31)는 회전하면서 상기 지지가이드(32)에 대해 슬라이딩 하고 상기 지지가이드(32)는 이러한 구면부재(31)의 슬라이딩을 안내한다. 상기 구면부재(31)와 상기 지지가이드(32) 사이에는 슬라이딩이 용이하게 이루어지도록 윤활제 등이 개재되도록 함이 바람직하다.That is, the
한편, 상기 볼 조인트의 작용을 설명하기 전에 상부스탬프(70)와 피가압대상물(80) 사이의 작용에 관하여 먼저 설명한다.On the other hand, before explaining the operation of the ball joint will be described first with respect to the operation between the
피가압대상물(80)은 그 표면의 평행도가 상부스탬프(70)의 평행도와 정확하게 일치할 수도 있으나, 어느 정도 편차가 있을 수 있다. 또한 평행도가 정확하게 일치한다고 하더라도 상부스탬프(70)에 의해 피가압대상물(80)이 가압되는 과정에서 피가압대상물(80)의 구조 변형 등에 의해 평행도가 불일치하게 되는 경우가 있다.Although the parallelism of the surface of the object to be pressurized 80 may coincide exactly with the parallelism of the
이와 같이 상부스탬프(70)와 피가압대상물(80) 사이의 평행도에 있어서 편차 가 발생하는 경우, 상기 상부스탬프(70)는 이러한 편차를 보상하기 위해 그 편차에 해당하는 만큼 기울어지면서 피가압대상물(80) 전체에 상부스탬프(70)가 실질적으로 균일하게 압력을 가할 수 있게 된다.When a deviation occurs in the parallelism between the
이때 상부스탬프(70)가 소정 각도 기울어지면서 상기 압력발생장치(20)에서 발생한 압력이 상기 상부스탬프(70)에 편차 없이 전달되도록 하는 것이 상기 압력전달장치(30)이다.At this time, as the
즉 압력전달장치(30)의 볼 조인트(31, 32)는 피가압대상물(80)에 의해 상부스탬프(70)가 기울어지면서 가압시트(54)가 기울어지는 것을 보상하여 가압플레이트(33)도 실질적으로 동일한 편차만큼 기울어지도록 하여, 상기 압력발생부(20)에서 발생한 압력이 가압시트(54)에 균일하게 전달되도록 하고 상기 가압시트(54)로 전달되는 압력은 상기 상부스탬프(70)로 균일하게 전달되도록 하여, 상기 상부스탬프(70)가 피가압대상물(80)을 균일하게 가압할 수 있도록 한다.That is, the ball joints 31 and 32 of the
한편, 상기 압력전달장치(30)의 가압플레이트(33)와 가압시트(54) 사이에는 점접촉 수단이 구비되도록 함이 바람직하다.On the other hand, it is preferable that a point contact means is provided between the
상기 점접촉 수단은 상기 상부스탬프(70)의 기울어짐에 따른 상기 가압시트(54)와 가압플레이트(33)의 상대적인 운동을 보상하여 서로 편차가 생기지 않도록 하여 균일한 압력전달이 이루어질 수 있도록 한다.The point contact means compensates for the relative movement of the
구체적으로 상기 점접촉 수단은 상기 가압플레이트(33)와 상기 가압시트(54) 사이에 복수개 구비되는 볼 부재(34)를 포함하도록 함이 바람직하다.Specifically, the point contact means preferably includes a plurality of
도 1의 I-I 단면에 관하여 도 2에서 도시하고 있는데, 도 2에 도시된 바와 같이 가압시트(54)의 무게중심과 가압플레이트(33)의 무게중심을 실질적으로 일치시키고 그 무게중심으로부터 동일한 각도로 3개의 볼 부재(34)를 각각 배치함으로써 가압플레이트(33)가 가압시트(54)를 균일하게 가압할 수 있도록 할 수 있다.A cross section II of FIG. 1 is shown in FIG. 2, and as shown in FIG. 2, the center of gravity of the
도 2에 도시된 실시예에서는 볼 부재(34)가 3개 구비되는 경우에 관하여 나타내고 있으나, 반드시 이에 한하지 않고 가압플레이트(33)가 가압시트(54)를 균일하게 가압할 수 있도록 지지하는 구조라면 모두 포함한다.In the embodiment shown in FIG. 2, the
예컨대 가압플레이트(33)의 무게중심을 기준으로 볼 부재(34)가 4개 구비되어 정사각형 모양으로 배치하는 것도 가능하고 볼 부재(34)를 5개 구비하여 정오각형 모양으로 배치하는 것도 가능하다.For example, four
한편, 상기 가압플레이트(33)가 가압시트(54)를 가압하여 아래 방향으로 이동시켜 상부스탬프(70)가 피가압대상물(80)을 가압한 후, 피가압대상물(80)로부터 상부스탬프(70)를 분리하는 경우가 있다.On the other hand, the
이때 압력발생장치(20)는 역방향의 압력을 발생시키고 가압시트(54)를 윗 방향으로 이동시켜 상부스탬프(70)가 피가압대상물(80)로부터 분리되도록 한다.At this time, the
상기 가압시트(54)를 윗 방향으로 이동시키기 위한 구조물로서 상기 압력전달장치(30)는 지지수단을 구비한다.As the structure for moving the
도 1에 도시된 실시예에서는 상기한 지지수단으로서 시트지지부(35)에 관하여 개시하고 있다.In the embodiment shown in FIG. 1, the
상기 시트지지부(35)는 가압플레이트(33)에 결합하거나 가압플레이트(33)와 일체로 형성되며 가압시트(54)의 하단을 지지하도록 구성된다.The
따라서 압력발생장치(20)에서 역방향의 압력이 발생하는 경우 상기 시트지지부(35)가 가압시트(54)를 지지하고 있는 상태에서 윗 방향으로 이동함으로써 상기 가압시트(54)도 윗 방향으로 이동되도록 한다.Therefore, when the pressure in the reverse direction in the
이때 상기 시트지지부(35)는 상기 상부스탬프(70)와 상기 피가압대상물(80)이 분리될 때의 충격을 완화하도록 소정의 완충부재, 예컨대 탄성체로 이루어지도록 함이 바람직하다.At this time, the
한편, 도 1에 도시된 실시예에서는 상기 가압시트(54)와 압력분배장치(60)가 샤프트(50)에 의해 연결되어 있는 경우에 관하여 도시하고 있다. 여기서 샤프트(50)는 압력을 전달하는 부재로서 그 형상이나 구조는 어떠한 것이든 모두 포함한다.On the other hand, in the embodiment shown in Figure 1 shows a case in which the
이하 도 1에 도시된 실시예에 따른 박형 부품 제조장치의 작동에 관하여 설명한다.Hereinafter will be described the operation of the thin component manufacturing apparatus according to the embodiment shown in FIG.
먼저 하부스탬프(90)에 피가압대상물(80)이 놓인다. 이때 피가압대상물(80)은 웨이퍼 렌즈를 제조하기 위한 다수의 렌즈 제조 홀이 어레이되어 마련되는 렌즈 웨이퍼인 경우를 일 예로서 설명한다.First, the object to be pressed 80 is placed on the
렌즈 웨이퍼(80)에 소재투입장치(120)로부터 렌즈 제조를 위한 소재가 투입된다.Material for manufacturing a lens is input from the
그리고 압력발생장치(20)의 압력발생부(21)가 아래 방향으로 이동하면서 압력을 발생시키는데, 이때 가이드 바(23)가 압력가이드(22)에 의해 가이드 되어 압력발생부(21)가 일정하게 아래 방향으로 이동한다.The
그리고 상기 압력발생장치(20)에 의해 발생한 압력은 압력전달장치(30)와 샤프트(50), 그리고 압력분배장치(60)를 통해 상부스탬프(70)로 전달되어 상기 상부스탬프(70)가 아래 방향으로 이동하면서 피가압대상물(80)을 가압한다.The pressure generated by the
이때 상부스탬프(70)와 피가압대상물(80) 사이에 평행도의 편차가 발생하면, 상기 압력분배장치(60)에 의해 상기 상부스탬프(70)가 상기 피가압대상물(80)과의 편차에 해당하는 만큼 기울어지게 되고, 상기 상부스탬프(70)와 샤프트(50)에 의해 연결된 가압시트(54)도 실질적으로 동일한 편차로 기울어지게 된다.At this time, if a deviation in parallelism occurs between the
그리고 가압시트(54)와 함께 가압플레이트(33)가 기울어지게 되는데, 이때 볼 조인트(31, 32)는 상기 가압플레이트(33)가 기울어지도록 소정 각도 회전한다.And the
상기 가압플레이트(33)와 가압시트(54) 사이에는 볼 부재(34)가 구비되어 상기 가압플레이트(33)와 상기 가압시트(54) 사이의 상대운동을 보상하도록 회전함으로써 상기 가압플레이트(33)가 가압시트(54)를 균일하게 가압할 수 있도록 한다.A
한편, 피가압대상물(80)로부터 상부스탬프(70)를 분리하는 경우, 압력발생장치(20)의 압력발생부(21)가 윗 방향으로 이동하면서 역방향의 압력을 발생시킨다.On the other hand, when the
이때 가압플레이트(33)가 들어 올려지게 되고, 시트지지부(35)는 가압시트(54)를 탄력 지지하며 가압시트(54)를 위로 들어올린다.At this time, the
상기 상부스탬프(70)가 피가압대상물(80)에 밀착된 상태에서 분리되기 때문에, 분리될 때 순간적으로 충격이 발생할 수 있는데, 상기 시트지지부(35)가 이러한 충격을 완화시킨다. Since the
한편, 피가압대상물, 즉 렌즈 소재가 충진된 렌즈 웨이퍼에 대해 소재경화장 치(100)가 소정의 빛을 조사하여 소재를 경화시켜 렌즈가 만들어지도록 한다.Meanwhile, the
이때 소재경화장치(100)는 자외선 등을 조사하는 램프장치로서 구현되며, 상기 하부스탬프(90)는 상기 램프장치에서 조사하는 빛이 통과할 수 있도록 투명한 재질로 이루어짐이 바람직하다.At this time, the
상기한 바와 같은 과정을 거쳐 렌즈 전체의 평행도가 일정한 양질의 렌즈를 제조할 수 있게 된다.Through the above-described process, it is possible to manufacture a lens of high quality with a constant parallelism of the entire lens.
한편, 상기 위치조절장치(40)는 압력발생장치(20)에서 발생하는 압력의 방향에 따라 샤프트(50)가 위로 이동하거나 아래로 이동하는 것을 가이드하며, 상부스탬프(70)가 정확한 위치에서 피가압대상물(80)을 가압하도록 위치를 조절한다.On the other hand, the
상기 위치조절장치(40)는 샤프트(50)를 가이드하며 측면 쪽으로 연장되어 형성되는 위치조절부(41)와, 몸체부(10)의 지지부(11) 위에 마련되는 지지시트(43)와 상기 위치조절부(41) 사이에 구비되는 위치조절볼(42)을 포함하여 이루어진다.The
상기 위치조절볼(42)은 상기 위치조절부(41)가 xy 평면(샤프트(50)가 z축 방향으로 구비된다고 가정할 때) 방향으로 자유롭게 이동할 수 있도록 하여 샤프트(50) 및 상부스탬프(70)가 위치를 조절할 수 있도록 지지한다.The
그리고 상기 위치조절볼(42)은 상부스탬프(70)가 피가압대상물(80)을 가압할 때 발생하는 편차에 따라 샤프트(50)가 압력 전달에 용이한 방향으로 움직일 수 있도록 상기 위치조절부(41)가 이동할 수 있도록 한다.And the
한편, 도 3을 참조하여 본 발명의 다른 일 실시예에 따른 박형 부품 제조장치에 관하여 설명한다.On the other hand, with reference to Figure 3 will be described in the thin part manufacturing apparatus according to another embodiment of the present invention.
도 3에 도시된 본 발명의 다른 일 실시예에 따른 박형 부품 제조장치는 기본적으로 도 1에 도시된 실시예에 따른 박형 부품 제조장치와 동일하고, 압력발생장치(20)에 있어서 차이가 있다.The thin part manufacturing apparatus according to another embodiment of the present invention shown in FIG. 3 is basically the same as the thin part manufacturing apparatus according to the embodiment shown in FIG. 1, and there is a difference in the
따라서 차이 나는 부분에 관한 설명을 구체적으로 하고 도 1에 도시된 실시예와 동일하여 중복되는 부분에 관한 설명은 생략한다.Therefore, a detailed description of the difference between the parts and the description of the overlapping parts are the same as the embodiment shown in FIG.
도 3에 도시된 바와 같이 본 발명의 다른 일 실시예에 따른 박형 부품 제조장치의 압력발생장치(20)는 압력발생부(21)와, 이를 지지하는 지지부재(24), 그리고 상기 지지부재(24)와 연결되어 상기 압력발생부(21)의 압력 방향을 일정하게 유지시키는 압력가이드(22)를 포함하여 이루어진다.As shown in FIG. 3, the
상기 압력가이드(22)는 몸체부(10)의 지지부(11)와 몸체부(10)의 상부를 연결하여 구비된다.The
따라서 압력발생부(21)에서 아래로 이동하는 경우, 지지부재(24)는 압력가이드(22)를 따라 일정한 방향으로 아래로 이동할 수 있도록 하고, 압력발생부(21)가 위로 이동하는 경우에도 압력가이드(22)를 따라 지지부재(24)가 일정하게 위로 이동할 수 있도록 한다.Therefore, when moving downward from the
한편, 도 4를 참조하여 본 발명의 또 다른 일 실시예에 따른 박형 부품 제조장치에 관하여 설명한다.On the other hand, with reference to Figure 4 will be described with respect to the thin part manufacturing apparatus according to another embodiment of the present invention.
도 4에 도시된 실시예에 따른 박형 부품 제조장치는 압력발생장치(20), 압력전달장치(30), 샤프트(50), 상부스탬프(70) 및 하부스탬프(90), 그리고 소재경화장치(100) 등을 포함한다. 소재투입장치에 관한 구성은 생략하였다.4, the thin part manufacturing apparatus according to the embodiment shown in FIG. 4 includes a
본 실시예에 따른 압력발생장치(20)에 관하여는 도 2에 도시된 실시예에 따른 압력발생장치와 실질적으로 동일하므로 구체적인 설명을 생략한다.Since the
상기 압력전달장치(30)도 기본적으로 볼 조인트(31, 32)와 가압플레이트(33), 가압시트, 볼 부재(34), 그리고 시트지지부(35)를 포함하여 이루어진다.The
그리고, 압력발생장치(20)의 지지부재(24)와 압력전달장치(30)의 가압플레이트(33)가 스프링 부재(36)에 의해 연결되어 상기 가압플레이트(33)가 탄력 지지되는 구성이다.In addition, the
그리고 본 실시예에서 가압시트로서 가압시트부재(55)가 구비된다.In this embodiment, the
상기 가압시트부재(55)는 그 측면에 홈부(56)가 마련되는 것이 특징이다. 따라서 상기 시트지지부(35)는 상기 가압시트부재(55)의 홈부(56)에 삽입되어 고정될 수 있다. The
본 실시예에서도 상기 시트지지부(35)는 소정의 탄성체로 이루어지는 것이 바람직하다.Also in this embodiment, the
한편, 본 실시예에 따른 박형 부품 제조장치의 작동에 관하여 설명한다.On the other hand, the operation of the thin part manufacturing apparatus according to the present embodiment will be described.
압력발생장치(20)에서 압력이 발생하여 상부스탬프(70)가 피가압대상물(80)에 밀착되면서 평행도의 편차가 발생하는 경우, 상기 상부스탬프(70)가 그러한 편차를 보상하도록 기울어질 수 있도록 볼 조인트(31, 32)가 회전하여 가압플레이트(33)를 소정 각도 기울어지도록 한다. When pressure is generated in the
그리고 이에 따라 가압시트부재(55)가 기울어지는데, 이때 볼 부재(34)가 회전하면서 상기 가압플레이트(33)와 가압시트부재(55) 사이의 상대운동에 따른 편차 가 보상될 수 있다.And accordingly, the
그리고 상기한 바와 같은 작동에 의해 상부스탬프(70)는 피가압대상물(80)과의 편차만큼 기울어질 수 있어 피가압대상물(80) 전체에 균일하게 압력을 가할 수 있게 된다.And by the operation as described above, the
상부스탬프(70)를 피가압대상물(80)로부터 분리하는 경우, 압력발생장치(20)에서 역방향의 압력을 발생시키면 가압플레이트(33)가 위로 들어 올려지면서 시트지지부(35)가 가압시트(54)를 탄력지지면서 위로 들어올리고, 상부스탬프(70)도 따라서 위로 이동한다.When the
상기한 바와 같이 가압이 모두 이루어진 후에는 소재경화장치(100)에서 빛을 조사하여 피가압대상물(80)에 투입된 소재를 경화시킨다. 물론 이때 하부스탬프(90)는 투명한 재질로 이루어짐이 바람직하다.After the pressurization is performed as described above, the
한편, 도 5를 참조하여 본 발명의 또 다른 일 실시예에 따른 박형 부품 제조장치에 관하여 설명한다.On the other hand, with reference to Figure 5 will be described a thin component manufacturing apparatus according to another embodiment of the present invention.
도 5에 도시된 실시예에 따른 박형 부품 제조장치는 기본적으로 도 4에 도시된 실시예에 따른 박형 부품 제조장치와 동일하고, 다만 압력전달장치(30)의 구성에 있어서 차이가 있다. The thin part manufacturing apparatus according to the embodiment shown in FIG. 5 is basically the same as the thin part manufacturing apparatus according to the embodiment shown in FIG. 4, but there is a difference in the configuration of the
따라서 본 실시예에 따른 박형 부품 제조장치에 관하여 도 4에 도시된 실시예와 실질적으로 동일하여 중복되는 부분에 관한 설명은 생략한다.Therefore, with respect to the thin part manufacturing apparatus according to the present embodiment, a description of overlapping parts substantially the same as the embodiment shown in FIG. 4 will be omitted.
도 4에 도시된 실시예에 구비된 스프링 부재(36)는 본 실시예에서 구비될 수도 있고 제외시키는 것도 가능하다. The
도 5에 도시된 바와 같이 압력전달장치(30)는 가압시트(54)와 시트지지부(35) 사이에 볼 포인트 부(37)를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.As shown in FIG. 5, the
상기 볼 포인트 부(37)는 시트지지부(35)와 가압시트(54) 사이에 발생하는 편차를 보상하여 상기 시트지지부(35)와 가압시트(54)의 상대운동에 따라 회전한다.The ball point
상기 볼 포인트 부(37)는 볼 부재(34)가 가압플레이트(33)와 가압시트(54) 사이의 편차를 보상하는 것을 더욱 용이하게 하도록 시트지지부(35)와 가압시트(54) 사이의 편차를 보상한다.The
그 이외에는 도 4에 도시된 실시예의 경우와 실질적으로 동일하며, 작동도 실질적으로 동일하므로 구체적인 설명은 생략한다.Other than that is substantially the same as the case of the embodiment shown in Figure 4, the operation is also substantially the same detailed description is omitted.
한편, 도 6을 참조하여 본 발명의 또 다른 일 실시예에 따른 박형 부품 제조장치에 관하여 설명한다.On the other hand, with reference to Figure 6 will be described a thin component manufacturing apparatus according to another embodiment of the present invention.
도 6에 도시된 실시예에 따른 박형 부품 제조장치는 기본적으로 도 5에 도시된 실시예에 따른 박형 부품 제조장치와 동일하고, 다만 압력전달장치(30)의 구성에 있어서 차이가 있다. The thin part manufacturing apparatus according to the embodiment shown in FIG. 6 is basically the same as the thin part manufacturing apparatus according to the embodiment shown in FIG. 5, but there is a difference in the configuration of the
따라서 본 실시예에 따른 박형 부품 제조장치에 관하여 도 5에 도시된 실시예와 실질적으로 동일하여 중복되는 부분에 관한 설명은 생략한다.Therefore, with respect to the thin part manufacturing apparatus according to the present embodiment, description of the overlapping parts substantially the same as the embodiment shown in FIG. 5 will be omitted.
도 6에 도시된 바와 같이 압력전달장치(30)는 가압시트(54)와 시트지지부(35) 사이에 탄성부재(38)를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.As illustrated in FIG. 6, the
상기 탄성부재(38)는 상기 가압시트(54)가 들어 올려지면서 상부스탬프(70) 가 피가압대상물(80)에 충격을 주지 않도록 완충작용을 한다.The
한편, 도 7을 참조하여 본 발명의 또 다른 일 실시예에 따른 박형 부품 제조장치에 관하여 설명한다.On the other hand, with reference to Figure 7 will be described with respect to the thin part manufacturing apparatus according to another embodiment of the present invention.
도 7에 도시된 실시예에 따른 박형 부품 제조장치는 기본적으로 도 5 및 도 6에 도시된 실시예에 따른 박형 부품 제조장치와 동일하고, 다만 압력전달장치(30)의 구성에 있어서 차이가 있다. The thin part manufacturing apparatus according to the embodiment shown in FIG. 7 is basically the same as the thin part manufacturing apparatus according to the embodiment shown in FIGS. 5 and 6, but there is a difference in the configuration of the
따라서 본 실시예에 따른 박형 부품 제조장치에 관하여 도 5 및 도 6에 도시된 실시예와 실질적으로 동일하여 중복되는 부분에 관한 설명은 생략하고 압력전달장치(30)에 관하여 구체적으로 설명한다.Therefore, with respect to the thin part manufacturing apparatus according to the present embodiment, the description of the overlapping parts substantially the same as the embodiment shown in FIGS. 5 and 6 will be omitted and the
도 7에 도시된 바와 같이 본 실시예에 따른 박형 부품 제조장치의 압력전달장치(30)는 계층적 구조의 볼 조인트와 가압플레이트 구조이다.As illustrated in FIG. 7, the
즉 볼 조인트(31, 32)가 가압플레이트(33)와 연결되고, 상기 가압플레이트(33)는 제1 서브 볼 조인트(31a, 32a)와 제2 서브 볼 조인트(31b, 32b)와 연결된다.That is, the ball joints 31 and 32 are connected to the
상기 제1 서브 볼 조인트(31a, 32a)는 제1 서브 가압플레이트(33a)와 연결되며, 상기 제2 서브 볼 조인트(31b, 32b)는 제2 서브 가압플레이트(33b)와 연결된다.The first
상기 제1 서브 가압플레이트(33a)와 가압시트(54) 사이에는 볼 부재(34a)가 개재되고, 상기 제2 서브 가압플레이트(33b)와 가압시트(4) 사이에는 또 다른 볼 부재(34b)가 개재된다.A
따라서 가압시트(54)의 면적이 클 경우 상기한 바와 같은 계층적 구조를 통해 압력이 전달되도록 하여 효과적으로 균일한 압력전달이 가능하도록 할 수 있다.Therefore, when the area of the
한편, 도 7에 도시된 바와 같이 제1 서브 가압플레이트(33a)에는 가압시트(54)의 일측을 지지하는 제1 시트지지부(35a)가 결합되거나 일체로 구비되고, 제2 서브 가압플레이트(33b)에는 가압시트(54)의 타측을 지지하는 제2 시트지지부(35b)가 결합되거나 일체로 구비된다.On the other hand, as shown in FIG. 7, the first
물론 상기 제1 시트지지부(35a)와 가압시트(54)의 일측 하단 사이, 그리고 상기 제2 시트지지부(35b)와 가압시트(54)의 타측 하단 사이에는 각각 볼 포인트 부나 탄성부재가 구비되는 것이 가능하다.Of course, a ball point part or an elastic member is provided between the first
상기 각 실시예에서 구체적으로 설명한 바와 같이, 본 발명에 따른 박형 부품 제조장치는, 상부스탬프가 피가압대상물을 가압할 때 발생하는 편차를, 압력전달장치의 볼 조인트, 가압플레이트와 가압시트 사이의 볼 부재, 그리고 시트지지부와 가압시트 사이의 볼 포인트 부 등의 구성에 의해 용이하게 보상할 수 있도록 하여 피가압대상물에 대한 압력전달이 실질적으로 균일하게 이루어질 수 있도록 할 수 있다.As described in detail in each of the above embodiments, the thin part manufacturing apparatus according to the present invention, the deviation occurs when the upper stamp presses the object to be pressed, between the ball joint, the pressure plate and the pressure sheet of the pressure transmission device; The ball member and the ball point portion between the seat support and the pressure sheet can be easily compensated for, so that the pressure transmission to the object to be pressurized can be made substantially uniform.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 박형 부품 제조장치에 관하여 개략적으로나타낸 도면이다.1 is a view schematically showing a thin part manufacturing apparatus according to an embodiment of the present invention.
도 2는 도 1의 I-I 단면을 나타낸 도면이다.2 is a cross-sectional view taken along line II of FIG. 1.
도 3은 본 발명의 다른 일 실시예에 따른 박형 부품 제조장치에 관하여 개략적으로 나타낸 도면이다.3 is a view schematically showing a thin component manufacturing apparatus according to another embodiment of the present invention.
도 4는 본 발명의 또 다른 일 실시예에 따른 박형 부품 제조장치에 관하여 개략적으로 나타낸 도면이다.4 is a view schematically showing a thin part manufacturing apparatus according to another embodiment of the present invention.
도 5는 본 발명의 또 다른 일 실시예에 따른 박형 부품 제조장치에 관하여 개략적으로 나타낸 도면이다.5 is a view schematically showing a thin part manufacturing apparatus according to another embodiment of the present invention.
도 6은 본 발명의 또 다른 일 실시예에 따른 박형 부품 제조장치에 관하여 개략적으로 나타낸 도면이다.6 is a view schematically showing a thin part manufacturing apparatus according to another embodiment of the present invention.
도 7은 본 발명의 또 다른 일 실시예에 따른 박형 부품 제조장치에 관하여 개략적으로 나타낸 도면이다.7 is a view schematically showing a thin component manufacturing apparatus according to another embodiment of the present invention.
Claims (28)
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