KR20090107435A - 스테이지 장치, 노광 장치 및 디바이스 제조 방법 - Google Patents

스테이지 장치, 노광 장치 및 디바이스 제조 방법 Download PDF

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Abstract

스테이지 장치는 다음의 구성 요소를 포함한다. 고정자는 x 방향으로 연장하는 제1 코일이 y 방향으로 배열된 제1 코일 열, x 방향으로 연장하는 제2 코일이 y 방향으로 배열되고 x 방향에 있어서 제1 코일 열 다음에 위치되는 제2 코일 열 및 y 방향으로 연장하는 제3 코일이 x 방향으로 배열되고 제1 및 제2 코일 열을 덮고 있는 제3 코일 열을 포함한다. 가동자는 고정자 위에서 이동한다. 제어 장치는 전류 앰프가 제1, 제2 및 제3 코일 열에 포함된 코일에 전류를 공급하게 함으로써 가동자의 구동을 제어한다. 스위치는 제1 코일을 제2 코일에 접속시킬 수 있다.
스테이지 장치, 고정자, 가동자, 코일 열, 스위치

Description

스테이지 장치, 노광 장치 및 디바이스 제조 방법 {STAGE UNIT, EXPOSURE APPARATUS, AND DEVICE MANUFACTURING METHOD}
본 발명은 대상물을 위치 결정하는 스테이지 장치에 관한 것이며, 특히 반도체 장치나 액정 장치와 같은 디바이스를 제조하기 위한 제조 장치, 예를 들어 노광 장치에 있어서 기판 또는 원판을 위치 결정하는데 적절한 스테이지 장치에 관한 것이다.
고정밀도 위치 설정을 요구하는 노광 장치에서 사용되는 스테이지 장치에 있어서, 평면 모터를 포함하는 스테이지 장치가 주목받아 왔다. 웨이퍼 스테이지와 관련하여서는 두 개의 가동 스테이지가 제공되는 트윈(twin) 스테이지 구성이 주목받아 왔다. 웨이퍼 상에 패턴을 형성하기 위해 노광을 행하는 노광 동작은 전회에 형성된 패턴의 위치를 계측하는 계측 동작과 동시에 수행되므로, 처리량의 증가가 기대될 수 있다. 일본 특허 출원 공개 제2005-253179호는 평면 모터를 포함하는 스테이지 장치를 개시한다. 다수의 코일을 갖는 리니어 모터용 구동 회로 중 하나로서 여자 절환형 구동 회로가 있다. 일본 특허 출원 공개 평8-111998호는 이러한 구동 회로를 개시한다.
도 10a 내지 도 10c는 평면 모터를 포함하는 관련 기술 분야의 트윈 스테이지 장치를 도시한다. 도 10a는 고정자 내에서 x 방향으로 배치된 코일 열을 도시한다. 도 10b는 y 방향으로 배치된 코일 열을 도시한다. 도 10c는 전체 스테이지 장치의 측면도이다.
도 10b를 참조하면, 스테이지 장치는 x 방향이 길이가 되는 제1 코일(즉, 제1 방향으로 연장)이 y 방향으로 배열된 제1 코일 열(1) 및 x 방향으로 연장하는 제2 코일이 y 방향으로 배열된 제2 코일 열(2)을 포함한다. 2개의 코일 열은 x 방향에 있어서 서로 인접하여 배치된다.
또한, y 방향이 길이가 되는 제3 코일(즉, 제2 방향으로 연장)이 x 방향으로 배열된 제3 코일 열(3)은 도 10c에 도시된 바와 같이 제3 코일(3)이 제1 코일 열(1) 및 제2 코일 열(2)을 덮도록 고정자(4)의 내부에 위치된다. 코일 사이의 절환 동작을 설명하기 위해서, 도면 중에 도시된 바와 같이 각 코일에는 참조 기호, 예를 들어, LxA1, RyA5 및 다른 기호가 붙여졌다.
고정자(4) 위로는, 제1 스테이지(5) 및 제2 스테이지(6)가 배열된다. 각기 영구 자석을 포함하는 제1 가동자(7) 및 제2 가동자(8)가 스테이지(5, 6)의 연직 방향 하부에 개별적으로 부착된다.
영구 자석을 포함하는 가동자에 수평 방향의 힘(추진력) 및 연직 방향의 힘(부상력)이 발생되도록 하는 원리가 도 15a 및 도 15b를 참조하여 이후 간략하게 설명될 것이다.
제1 가동자(7)는 복수의 자석을 포함한다. 자석은 파선 화살표에 의해 표시 된 방향으로 자기화되어 있고 소위 할바흐(Halbach) 배열로 배열되어 있다. 코일은 자석과는 위상이 벗어나 배치된다. 도 15a 및 도 15b에 도시된 자석과 코일 사이의 위치 관계에 있어서, 전류가 코일을 통해 흐르는 경우, 로렌츠력에 기인하여 실선 화살표에 의해 표시된 힘이 생성된다. 힘의 방향과 관련하여, 연직 방향의 자속 밀도 안에서 코일에 전류가 공급되는 경우, 코일은 수평 방향의 추진력을 발생시킨다. 반면, 수평 방향의 자속 밀도 안에서 코일에 전류가 공급되는 경우, 코일은 연직 방향의 힘을 발생시킨다. 이는 가동자(7)가 고정자(4)로부터 이격(즉, 부상)되게 하는 힘이 된다. 도 15a 및 도 15b를 참조하면, 가동자(7)가 고정자(4)로부터 이격되게 하는 힘은 상부 코일(9) 또는 하부 코일(10) 중 어느 하나에 의해 생성될 수 있다. 가동자(7)에 있어서 영구 자석에 가까운 상부 코일(9)에 전류를 공급함으로써 생성되는 힘은 하부 코일(10)에 전류를 공급함으로써 얻어지는 힘보다 크다. 따라서, 상부 코일(9)에 공급되는 전류가 하부 코일(10)에 공급되는 전류보다 낮아질 수 있다. 전류가 위상이 90도 다른 위상이 되도록 코일에 두 종류, A상 및 B상의 전류를 공급함으로써 일정한 힘을 생성시킬 수 있다.
전술된 바와 같이, 로렌츠력이 영구 자석 및 코일을 통해 흐르는 전류에 의해 생성되어서, 가동 스테이지가 그 자중(own weight) 하에서 6축 방향으로 구동되어 위치 설정된다. 도 10a 내지 도 10c에 도시된 바와 같이, 제1 스테이지(5) 및 제2 스테이지(6)가 위치되는 것으로 가정하면, 제1 가동자(7) 및 제2 가동자(8)와 대면 하는 도 10a 내지 도 10c에 있어서 검정으로 칠해진 코일에 전류가 공급될 때, 로렌츠력이 발생된다. 이러한 실시예에 있어서는, x 및 y 방향 각각에 있어서 각각의 스테이지에 대해 4개의 코일이 선택된다. 전류가 공급되는 코일의 개수는 가동자의 크기에 따라 변하기 때문에, 가동자를 구동하는데 최적인 소정의 코일 개수가 선택되어 진다.
도 10c를 참조하면, 파선으로 둘러싸인 제1 코일 열(1)을 포함하는 공간이 계측 스테이션(12)에 대응하며, 파선으로 둘러싸인 제2 코일 열(2)을 포함하는 공간이 노광 스테이션(11)에 대응한다. 노광 스테이션(11)의 상부에는, 투영 광학계(14), 예를 들어 투영 렌즈가 제1 스테이지(5)에 탑재된 기판(웨이퍼 : 13)을 노광하여 패턴을 형성하기 위해 제공된다. 계측 스테이션(12)의 상부에는, 계측 광학계(15)가 제공된다. 계측 광학계(15)는 투영 광학계(14)의 광축에 평행한 방향에 있어서의 기판의 표면의 위치를 계측하는 계측기 및 기판에 형성된 마크의 위치를 계측하는 계측기 중 적어도 하나를 포함한다.
스테이지 이동에 있어서의 코일 절환 시퀀스가 이후 설명된다. 도 11a 및 도 11b는 제1 스테이지(5)가 1개의 코일의 폭에 대응하는 거리만큼 -x 방향으로 이동하고 제2 스테이지(6)가 동일 거리만큼 +x 방향으로 이동하는 경우를 도시한다. 도 11a 및 도 11b에서의 각각의 화살표는 스테이지가 이동하는 방향을 나타낸다.
제1 스테이지(5)가 -x 방향으로 이동하면, 사선으로 도시된 코일(RxB5)은 제1 스테이지(5)와 대면하지 않게 된다. 따라서, 코일(RxB5)은 통전을 오프(off)하고, 코일(RxB5)과 동일한 위상 관계를 가지는 코일(RxB3)은 새롭게 통전을 온(on)하여서, 여자를 절환한다. 마찬가지로, 제2 스테이지(6)가 +x 방향으로 이동하면, 사선으로 도시된 코일(LxA3)은 제2 스테이지(6)와 대면하지 않게 된다. 따라서, 코일(LxA3)은 통전을 오프하고, 코일(LxA3)과 동일한 위상 관계를 가지는 코일(LxA5)은 새롭게 통전을 온하여서, 여자를 절환한다. 전술된 바와 같이 스테이지의 위치에 따라 동일한 위상 관계를 가지는 코일의 여자를 스위치를 통해 절환하는 것으로 추진력을 연속해서 발생시킬 수 있다.
도 12는 제1 내지 제3 코일 열에 대한 절환 회로를 도시한다. 스테이지 제어 장치는 각각의 전류 앰프(16)에 전류 지령을 보낸다. 제2 코일 열(2)에서의 코일 사이의 절환을 위한 제1 스위치 군(17), 제1 코일 열(1)에서의 코일 사이의 절환을 위한 제2 스위치 군(18) 및 제3 코일 열(3)에서의 코일 사이의 절환을 위한 제3 스위치 군(19)이 배열된다.
도 12는 스테이지가 도 11a 및 도 11b에 도시된 바와 같이 위치될 때에 소정 코일로 전류가 공급될 수 있도록 하는 제1 내지 제3 스위치 군에 있어서의 적절한 절환을 도시한다. 동일한 위상 관계를 가지는 코일이 그룹화되고, 1개의 전류 앰프를 사용하여 선택된 코일이 여자됨(excited)으로써, 전류 앰프의 개수가 감소된다. 2개의 스테이지를 노광 스테이션(11) 및 계측 스테이션(12)에서 개별적으로 구동하기 위해서는, 각 스테이션에 있어서 8개의 전류 앰프(16), 즉 합계 16개의 전류 앰프(16)가 여기 되어야만 한다.
도 13a 및 도 13b는 제1 스테이지(5)가 노광 스테이션(11)으로부터 계측 스테이션(12)으로 이동되고 제2 스테이지(6)가 계측 스테이션(12)으로부터 노광 스테이션(11)으로 이동되도록 두 개의 스테이지가 교체되는 스와핑(swapping) 동작 동안의 코일 절환 시퀀스를 도시한다.
고정자(4)의 중앙 부근에서는, 두 개의 스테이지가 교체되도록 두 개의 스테이지에 공급되는 전류가 서로 독립적으로 제어되어야만 한다. 그 때문에, 도 13a에 도시된 바와 같이, 고정자(4)의 중앙 부근에서는, 제4 코일 열(22)이 노광 스테이션(11)에 있어서의 제3 코일 열(3)의 일 세그먼트 다음에 위치된다. 제4 코일 열(22)에 있어서는, 각기 y 방향으로 연장하는 각각의 제4 코일 쌍은 y 방향으로 위치되고, 제4 코일 쌍들은 x 방향으로 배치된다. 계측 스테이션(12)에서는, 제4 코일 열(22) 다음에 제3 코일 열(3)의 다른 세그먼트가 위치된다.
제1 스테이지(5)가 -x 방향으로 이동하면서 고정자(4)의 중앙 부근에서 도 13a에서의 상부를 통과하고 제2 스테이지(6)가 +x 방향으로 이동하면서 그 주변에서 도면에서의 하부를 통과하도록 제1 스테이지(5)와 제2 스테이지(6)를 교체하기 위한 스와핑 동작이 수행되는 것으로 가정하자. 도 13b에 도시된 바와 같이 스테이지가 제1 코일 열(1)과 제2 코일 열(2) 양쪽 모두 위에 위치되는 경우, 8개의 사선 표시된 코일이 또한 여기 되어야만 한다.
도 14는 두 개의 스테이지가 노광 스테이션(11)과 계측 스테이션(12) 사이에서 교체되는 스와핑 동작을 실현하기 위한 코일 절환 회로를 도시한다. 스와핑을 위해서는 파선으로 둘러싸인 8개의 전류 앰프(20)가 더 필요하게 된다. 따라서, 합계 24대의 전류 앰프가 스테이지를 교체하는 스와핑 동작을 실현한다.
전술된 바와 같이, 일본 특허 출원 공개 제2005-253179호에 기재된 평면 모터를 포함하는 트윈 스테이지 장치에 일본 특허 출원 공개 평8-111998호에 기재된 스위치 배열을 가지는 여자 절환형 구동 회로가 적용되는 경우, 두 개의 스테이지를 교체하는 스와핑 동작 동안 다수의 전류 앰프가 필요하게 된다. 불리하게도, 전류 앰프가 다수 필요하게 되면, 비용 상승을 초래하고, 추가로 전장(electrical component) 래크의 설치 면적(footprint) 증가를 초래한다.
본 발명은 전류 앰프의 개수를 증가시키지 않고 간단한 구성으로서 복수의 스테이지를 교체하는 스와핑 동작을 실현할 수 있는 위치 결정 스테이지 장치를 제공한다.
본 발명의 태양에 따르면, 스테이지 장치는 다음의 구성요소를 포함한다. 고정자는 제1 방향으로 연장하는 제1 코일이 제1 방향에 직교하는 제2 방향으로 배열된 제1 코일 열, 제1 방향으로 연장하는 제2 코일이 제2 방향으로 배열되고 제1 방향에 있어서 제1 코일 열 다음에 위치되는 제2 코일 열 및 제2 방향으로 연장하는 제3 코일이 제1 방향으로 배열되고 제1 및 제2 코일 열을 덮고 있는 제3 코일 열을 포함한다. 가동자는 고정자 위에 위치되는 자석 및 자석이 부착되는 스테이지를 포함한다. 제어 장치는 전류 앰프가 제1 방향으로 연장하는 코일에 전류를 공급하게 하고, 다른 전류 앰프가 제2 방향으로 연장하는 코일에 전류를 공급하게 함으로써 가동자의 구동을 제어한다. 스위치는 제1 코일을 제2 코일에 접속시킬 수 있다.
본 발명에 따르면, 전류 앰프의 개수를 증가시키지 않고 간단한 구성으로서 복수의 스테이지를 교체하는 스와핑 동작을 실현할 수 있는 위치 결정 스테이지 장치가 제공된다.
본 발명의 추가 특징은 첨부 도면을 참조한 예시적인 실시예에 대한 다음 설명으로부터 명백해질 것이다.
본 발명의 제1 실시예에 따른 평면 모터를 포함하는 트윈 스테이지 장치의 구성은 도 10a 내지 도 10c에 도시한 구성과 같다. 스테이지 장치는 x 방향으로 연장하는 제1 코일이 x 방향에 직교하는 y 방향으로 배열된 제1 코일 열(1) 및 x 방향으로 연장하는 제2 코일이 y 방향으로 배열된 제2 코일 열(2)을 포함한다. 두 개의 코일 열은 x 방향에 있어서 서로 인접하여 배치된다.
또한, y 방향으로 연장하는 제3 코일이 x 방향으로 배열된 제3 코일 열(3)은 도 10c에 도시된 바와 같이 제3 코일 열(3)이 제1 코일 열(1) 및 제2 코일 열(2)을 덮도록 고정자(4) 내부에 위치된다. 코일 사이의 절환 동작을 설명하기 위해서, 도면 중에 도시된 각 코일에는 참조 기호, 예를 들어, LxA1, RyA5 및 다른 유사 기호가 붙여졌다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 스테이지 장치에 있어서의 코일 절환 회로 를 도시한다. 장치는 노광 스테이션(11)에 위치된 제2 코일 열(2) 내의 일부 코일을 계측 스테이션(12)에 위치된 제1 코일 열(1) 내의 일부 코일에 접속 가능한 제4 스위치 군(21)을 포함한다. 장치는 각 전류 앰프(16)에 전류 지령을 부여하는 스테이지 제어 장치(27)를 더 포함한다.
스테이지가 교체되는 스와핑 동작 동안의 코일 절환 회로의 동작이 이후 설명될 것이다. 간략하게, 도 2 및 이어지는 도면에서는 스테이지 제어 장치(27)가 도시 생략된다. 각 전류 앰프가 스테이지 제어 장치(37)에 접속되어 있는 것은 물론이다.
도 2b를 참조하면, 본 실시예에서는 제1 자석(도시 생략) 및 제1 스테이지(5)를 구비하는 제1 가동자 및 제2 자석(도시 생략)과 제2 스테이지(6)를 구비하는 제2 가동자가 고정자(4) 위에서 구동된다. 이들 스테이지가 노광 장치에서 사용되는 경우, 제1 스테이지(5) 위로는 제1 기판(예를 들어, 웨이퍼)이 적재되고, 제2 스테이지(6) 위로는 제2 기판(예를 들어, 웨이퍼)이 적재된다.
각 스테이지가 각각의 스테이션에 있어서 노광 동작이나 계측 동작을 행하는 동안, 도 2a에 도시된 바와 같이 제4 스위치 군(21)이 오프(개방)되어 제2 코일 열(2)로부터의 제1 코일 열(1)의 접속을 끊는다. 노광 스테이션(11) 내의 일부 코일은 제1 스위치 군(17)을 통해 전류 앰프(16)에 개별적으로 접속되고, 계측 스테이션 내의 일부 코일은 제2 스위치 군(18)을 통해서 전류 앰프(16)에 개별적으로 접속된다. 도 2c는 도 2a에서의 코일, 스위치 및 앰프를 접속하는 회로부의 상세를 도시하여, 대표로 뽑힌 코일(LxA1, LxA3, LxA5, RyA1, RyA3, RyA5)을 포함하는 부분을 도시한다.
도 3a 및 도 3b는 제1 스테이지(5)가 노광 스테이션(11)으로부터 계측 스테이션(12)으로 이동되고 제2 스테이지(6)가 계측 스테이션(12)으로부터 노광 스테이션(11)으로 이동되도록 두 개의 스테이지가 교체되는 스와핑 동작 동안의 코일 절환 회로를 도시한다. 도면에 도시된 바와 같이 두 개의 스테이지가 제1 코일 열(1)과 제2 코일 열(2)에 모두 위에 위치되는 경우, 도 3b에서 사선으로 도시된 8개의 코일이 추가로 여기 되어야만 한다.
이러한 일예에 있어서는, 도 3a에 도시된 바와 같이, 노광 스테이션(11) 내의 제2 코일 열(2) 중 일부 코일을 계측 스테이션(12) 내의 제1 코일 열(1) 중 일부 코일에 접속하는 제4 스위치 군(21)이 온(단락)된다.
도 4a 및 도 4b는 제4 스위치 군(21)이 온(단락)되는 경우, 코일(LyA1, LyA3, LyA5)과 코일(RyA1, RyA3, RyA5) 사이의 접속의 상세를 도시한다. 스테이지를 교체하는 스와핑 동작 동안, 제4 스위치 군(21)을 통해 접속된 개별 스테이션 내의 코일에는 같은 전류가 공급될 수도 있다. 따라서, 도 4a에 도시된 병렬 접속 또는 도 4b에 도시된 직렬 접속 중 하나가 적용 가능하다. 제1 및 제2 코일 열 내의 다른 코일도 제4 스위치 군(21)을 통해 유사하게 접속된다.
예를 들어, 도 4a에 도시된 바와 같이, 제1 스테이지(5)를 구동하도록 여기되는 전류 앰프(16)는 제1 스위치 군(17) 및 제4 스위치 군(21)을 통해서 두 개의 스테이션 내의 코일(RyA5, LyA5)에 접속된다. 제2 스테이지(6)를 구동하도록 여기된 전류 앰프(16)는 제2 스위치 군(18) 및 제4 스위치 군(21)을 통해서 두 개의 스 테이션 내의 코일(LyA1, RyA1)에 접속된다.
각각의 전류 앰프(16)가 전술된 바와 같이 1개 혹은 2개의 코일에 접속되므로, 임피던스 차이에 기인하여 전류 앰프의 피드백 회로가 발진할 수도 있다. 보통, 어느 쪽의 경우에도 발진이 발생하지 않도록 전류 앰프의 피드백 게인은 최적 값으로 조정된다. 발진을 방지하기 위한 다른 접근 방법에 따르면, 발생력에는 기여하지 않는 더미(dummy) 부하 코일이 위치되어서, 전류 앰프의 출력이 스위칭 상태의 변화와는 무관하게 일정한 임피던스가 될 수도 있다.
전술된 바와 같이, 새로운 전류 앰프를 제공하지 않아도 도 3b에서 사선으로 도시된 8개의 코일에 전류가 공급되는 것이 가능해진다. 또한, 자중 하에서 각각의 스테이지를 지지하고 각각의 가동자를 고정자(4)로부터 이격(즉, 부상)시키기 위한 전류 공급은 항상 필요하다. 이러한 전류가 제4 스위치 군(21)에서의 절환에 의해 코일의 접속을 행하지 않는 제3 코일 열(3)에 공급되는 경우, 급격한 전류 변화가 초래되지 않는다. 따라서, 각 스테이지의 자세 제어의 정밀도에 대한 안정성이 확보된다.
코일의 접속에 관해서는, 도 3b에서 도시된 바와 같이, 서로에 대해 대향되는 코일을 접속하는 것이 바람직하다. 구체적으로는, 예를 들어 코일(LyA2, RyA2), 코일(LyB2, RyB2), 코일(RyA5, LyA5) 및 코일(RyB5, LyB5)이 접속된다. 그 이유는 다음과 같다. 스테이지의 이동 중에는, 각 스테이지의 자세(예를 들어, x 축 방향에 있어서 스테이지의 회전)도 제어된다. 따라서, 스테이지가 두 개의 스테이션 사이의 경계에 위치되는 경우, 대향되는 코일을 통해 흐르는 전류의 위상이 동일 위상이면, 자세 제어가 용이하게 수행될 수 있다.
도 5a 내지 도 5c는 두 개의 스테이지가 제4 코일 열(22) 위로 통과되어 스테이션 사이에서 교체되는 상태를 도시한다. 도 5a를 참조하면, 제4 스위치 군(21)이 오프(개방)되면서, 제1 스위치 군(17)에 있어서의 접촉 및 제2 스위치 군(18)에 있어서의 접촉이 적절하게 변화되고, 이에 의해 제1 코일 열(1) 및 제2 코일 열(2)이 전류 앰프(16)에 접속될 수 있다. 결과적으로, 스테이지는 스테이지를 교체하는 스와핑 동작 후에 연속으로 구동될 수 있다. 더 구체적으로, 스와핑 동작 후, 2개의 스테이지 중 하나는 제1 및 제2 코일 열 중 일 코일 열 위에서 독립적으로 구동될 수 있고, 다른 스테이지는 다른 코일 열 위에서 독립적으로 구동될 수 있다.
최근에는, 액침(liquid immersion) 노광 장치가 주목받고 있다. 액침 노광 장치에 있어서는, 도 6c에 도시된 바와 같이, 투영 광학계(14) 및 스테이지 상에 탑재된 웨이퍼(13) 사이의 갭이 초순수(ultra pure water)(23 : 높은 굴절률을 가지는 액체)로 채워져서 해상도를 증가시킨다. 액침 노광 장치에 있어서는 투영 광학계(14) 및 웨이퍼(13) 사이의 갭에 초순수를 항상 유지시킬 필요가 있기 때문에, 스테이지는 항상 투영 광학계(14)의 하방에 위치되어야만 한다. 이러한 이유로, 두 개의 스테이지를 교체하는 스와핑 동작은 노광 스테이션(11)에서 수행되어야만 한다.
도 6a를 참조하면, 본 발명의 제2 실시예를 따른 스테이지 장치는 y 방향으로 연장하는 제1 코일이 x 방향으로 배열된 제1 코일 열(1) 및 y 방향으로 연장하 는 제2 코일이 x 방향으로 배열된 제2 코일 열(2)을 포함한다. 두 개의 코일 열은 y 방향에 있어서 서로 인접하여 배치된다. 또한, 제1 및 제2 코일의 길이보다 긴 y 방향이 길이가 되는 제5 코일이 x 방향으로 배열되는 제5 코일 열(32)은 x 방향에 있어서 제1 코일 열(1) 및 제2 코일 열(2)의 배열 다음에 위치된다.
도 6b 및 도 6c에 도시된 바와 같이, x 방향으로 연장하는 제3 코일이 y 방향으로 배열된 제3 코일 열(3)은 제3 코일 열(3)이 제1 코일 열(1) 및 제2 코일 열(2) 밑에 놓이도록 고정자(4)의 내부에 위치된다. 또한, x 방향으로 연장하는 제6 코일이 y 방향으로 배열된 제6 코일 열(42)은 x 방향에 있어서 제3 코일 열(3) 다음에 위치된다.
계측 스테이션(12)에 있어서는, 도 6c에 도시된 바와 같이, 제6 코일 열(42)은 제6 코일 열(42)이 제5 코일 열(32) 밑에 놓이도록 고정자(4) 내부에 위치된다.
도 6a에 도시된 바와 같이, x 방향으로 추진력을 발생시키기 위해 사용되는 코일 열이 노광 스테이션(11) 내에서 서로로부터 이격되어 있기만 하면, 노광 스테이션(11) 내의 코일 열에 공급되는 전류는 서로 독립적으로 제어될 수 있다. 따라서, 노광 스테이션(11) 내에서 스와핑 동작이 수행될 수 있다.
스와핑 후에는, 도 7a 및 도 7b에 도시된 바와 같이, 제2 스테이지(6) 상에서의 노광 동작이 노광 스테이션(11)에서 개시된다. 도 7a에 도시된 바와 같이, 제2 스테이지(6)가 노광 스테이션(11)의 중앙 부근에서 제1 코일 열(1)과 제2 코일 열(2) 모두 위에 위치되도록 노광 처리가 제2 스테이지(6)에 적용된다. 이 경우, 제1 실시예와 마찬가지로 노광 스테이션(11) 내에서 제1 코일 열(1)을 제2 코일 열(2)에 접속하는 제4 스위치 군(21)이 제공되어서, 전류 앰프의 수를 증가시키지 않고 제2 스테이지(6)가 노광 스테이션 내에서 구동될 수 있다.
가동자가 노광 스테이션에 있어서 제1 코일 열(1)과 제2 코일 열(2) 사이의 경계 위를 이동하는 경우에는, 도 8a에 도시된 바와 같이, 불필요한 외력이 그 사이의 경계에 발생되어 위치 결정 정밀도에 영향을 미칠 수도 있다. 따라서, 노광 동작 중에 여기되는 제7 코일 열(25)이 노광 스테이션(11)에 추가로 배치되어 도 8c에 도시된 바와 같이 코일 열을 덮을 수도 있다.
그 자중 하에서 각 스테이지를 지지하고 각 가동자를 이동시켜 고정자(4)로부터 이격(즉, 부상)시키는 전류를 항상 공급할 필요가 있다. 이 전류가 제4 스위치 군(21)에서의 절환에 의해 코일의 접속이 이루어지지 않는 제3 코일 열(3)에 공급되는 경우, 급격한 전류 변화가 초래되지 않는다. 따라서, 각 스테이지의 자세 제어의 정밀도에 대한 안정성이 확보될 수 있다.
도 9a 내지 도 9c는 처리량을 더 향상시키기 위해 2개의 계측 스테이션(12)이 노광 스테이션(11)에 인접하여 배열되는 트리플 스테이지 장치의 구성을 도시한다. 상부 코일(9) 및 하부 코일(10)은 고정자(4) 내에 2층으로 배열된다.
도 9a 및 도 9b를 참조하면, 2개의 계측 스테이션은 일 계측 스테이션이 x 방향에 있어서 노광 스테이션 다음에 위치되고 다른 계측 스테이션이 y 방향에 있어서 그 다음에 위치되도록 1개의 노광 스테이션에 인접하여 배치된다.
계측 스테이션(12) 내의 제1 코일 열(1)의 일부 코일을 제2 코일 열(2)의 일부의 코일에 접속하는 제4 스위치 군(21) 및 제3 코일 열(3)의 일부 코일을 다른 계측 스테이션(12) 내의 제8 코일 열(33)의 일부 코일에 접속하는 제5 스위치 군(26)이 제공된다.
제1 스테이지(5)에 탑재된 웨이퍼(13)는 노광 스테이션 내에서 투영 광학계(14)를 통해 노광이 이루어진다. 동시에, 제2 스테이지(6) 상의 웨이퍼 및 제3 스테이지(24)에 탑재된 웨이퍼는 두 개의 계측 스테이션(12)에 있어서 개별 계측 광학계를 통해서 개별적으로 계측된다.
제1 스테이지 상의 노광 후, 먼저 계측이 완료된 제2 스테이지(6) 혹은 제3 스테이지(24) 중 하나와 제1 스테이지(5)의 교체를 위한 스와핑 동작이 수행된다. 제2 스테이지(5) 상의 계측이 먼저 완료되면, 제4 스위치 군(21)이 폐쇄되어 제1 코일 열(1) 및 제2 코일 열(2)을 접속시킨다. 따라서, 스테이지를 교체하는 스와핑 동작이 수행될 수 있다.
반면, 제3 스테이지(24) 상의 계측이 먼저 완료되면, 제5 스위치 군(26)이 폐쇄되어 제3 코일 열(3) 및 제8 코일 열(33)을 접속시킨다. 따라서, 스테이지를 교체하는 스와핑 동작이 수행될 수 있다.
본 발명이 3개 이상의 스테이지가 고정자(4) 위에 배열되는 위치 결정 스테이지 장치에 적용되는 경우에도, 전류 앰프의 개수를 증가시키지 않고 두 개의 스테이지를 교체하는 스와핑 동작이 수행될 수 있다. 따라서, 우수한 처리량을 발휘하는 위치 결정 스테이지 장치가 제공될 수 있다.
본 발명의 임의의 실시예에 따른 스테이지 장치를 포함하는 예시적인 노광 장치가 이하 설명될 것이다. 도 16을 참조하면, 노광 장치는 조명 장치(101), 레 티클이 탑재된 레티클 스테이지(102), 투영 광학계(503) 및 웨이퍼가 탑재된 웨이퍼 스테이지(104)를 구비한 본체(105)를 갖는다. 노광 장치는 레티클에 형성된 회로 패턴을 웨이퍼에 투영하면서 웨이퍼를 노광한다. 스텝-엔-리피트(step-and-repeat) 투영 노광 방식 또는 스텝-엔-스캔(step-and-scan) 투영 노광 방식이 사용될 수도 있다.
조명 장치(101)는 회로 패턴이 형성된 레티클을 조명하고, 광원 및 조명 광학계를 포함한다. 광원으로는, 예를 들어, 레이저가 사용된다. 레이저로는, 약 193nm의 파장을 가지는 ArF 엑시머 레이저, 약 248nm의 파장을 가지는 KrF 엑시머 레이저 또는 약 157nm의 파장을 가지는 F2 엑시머 레이저가 상용으로 입수 가능하다. 레이저의 종류는 엑시머 레이저에 한정되지 않는다. 예를 들어, YAG 레이저가 사용될 수도 있다. 레이저의 개수도 한정되지 않는다. 광원으로서 레이저가 사용되는 경우, 레이저 광원으로부터의 나오는 평행 광속을 원하는 빔 형상으로 정형화하는 광속 정형 광학계 및 코히어런트(coherent) 레이저 빔을 인코히어런트(incoherent) 레이저 빔으로 변환하는 인코히어런트화 광학계를 사용하는 것이 바람직하다. 사용 가능한 광원은 레이저에 한정되지 않는다. 수은 램프나 크세논 램프와 같은 하나 이상의 램프가 사용될 수도 있다.
마스크를 조명하는 광학계로서 기능하는 조명 광학계는 렌즈, 미러, 라이트 인터그레이터(light integrator) 및 리미팅(limiting) 장치를 포함한다.
투영 광학계(103)로서는, 렌즈 소자만을 포함하는 광학계 또는 렌즈 소자와 하나 이상의 오목 거울을 포함하는 광학계[반사 굴절(catadioptric) 광학계]가 사 용될 수도 있다. 다르게는, 렌즈 소자와 키노폼(kinoform)과 같은 하나 이상의 회절 광학 소자를 포함하는 광학계 또는 전체 미러형 광학계가 사용될 수도 있다.
레티클 스테이지(102) 및 웨이퍼 스테이지(104)는 예를 들어 리니어 모터에 의해 이동될 수 있다. 스텝-엔-스캔 투영 노광 방식을 사용하는 경우에는, 이들 스테이지는 동시에 이동된다. 레티클의 패턴을 웨이퍼에 대해 정렬하기 위해서 웨이퍼 스테이지(104) 및 레티클 스테이지(102) 중 적어도 하나에는 액추에이터가 제공된다.
이러한 노광 장치는 반도체 집적 회로와 같은 반도체 디바이스 또는 마이크로머신이나 박막 자기 헤드와 같은 미세 패턴이 형성되는 디바이스의 제조에 이용될 수 있다.
(디바이스 제조 방법)
디바이스가 본 발명의 실시예에 따른 디바이스 제조 방법에 의해 제조되며, 방법은 전술된 실시예 중 임의의 것에 따른 스테이지를 구비하는 노광 장치를 사용해서 기판을 노광하는 단계 및 노광된 기판을 현상하는 단계 및 현상된 기판을 처리하는 단계로 이루어진 공정을 포함한다.
디바이스는 반도체 집적 회로 소자나 액정 표시 소자를 포함한다.
본 발명이 예시적인 실시예를 참조하여 설명되었지만, 본 발명이 개시된 예시적인 실시예에 한정되지 않음을 이해하여야 한다. 다음 청구범위의 범위는 모든 변형 및 등가 구조와 기능을 포함하도록 가장 넓게 해석되어야 한다.
도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 코일 절환 회로를 도시한 도면.
도 2a 내지 도 2c는 제1 실시예의 설명도(스와핑 전).
도 3a 및 도 3b는 제1 실시예의 설명도(스와핑 중).
도 4a 및 도 4b는 제1 실시예에 따른 코일 접속 회로의 상세도.
도 5a 내지 도 5c는 제1 실시예의 설명도(스와핑 후).
도 6a 내지 도 6c는 본 발명의 제2 실시예의 설명도(스와핑 중).
도 7a 및 도 7b는 제2 실시예의 설명도(스와핑 후).
도 8a 내지 도 8c는 제2 실시예의 설명도(스와핑 후).
도 9a 내지 도 9c는 본 발명의 제3 실시예에 따른 트리플 스테이지 장치의 구성도.
도 10a 내지 도 10c는 관련 기술 분야의 평면 모터를 포함하는 트윈 스테이지 장치의 구성도.
도 11a 및 도 11b는 관련 기술 분야의 장치의 설명도(스와핑 전).
도 12는 관련 기술 분야의 코일 절환 회로를 도시한 도면(스와핑 전).
도 13a 및 도 13b는 관련 기술 분야의 장치의 설명도(스와핑 중).
도 14는 관련 기술 분야의 코일 절환 회로를 도시한 도면(스와핑 중).
도 15a 및 도 15b는 평면 모터 구동 원리의 설명도.
도 16은 노광 장치의 설명도.
[도면이 주요 부분에 대한 부호의 설명]
1 : 제1 코일 열
2 : 제2 코일 열
3 : 제3 코일 열
4 : 고정자
5 : 제1 스테이지
6 : 제2 스테이지
11 : 노광 스테이션
16 : 전류 앰프
21 : 제4 스위치 군
27 : 제어 장치

Claims (13)

  1. 스테이지 장치이며,
    제1 방향으로 연장하는 제1 코일이 상기 제1 방향에 직교하는 제2 방향으로 배열된 제1 코일 열, 상기 제1 방향으로 연장하는 제2 코일이 상기 제2 방향으로 배열되고 상기 제1 방향에 있어서 상기 제1 코일 열 다음에 위치되는 제2 코일 열 및 상기 제2 방향으로 연장하는 제3 코일이 상기 제1 방향으로 배열되고 상기 제1 코일 열과 상기 제2 코일 열을 덮고 있는 제3 코일 열을 가지는 고정자와,
    상기 고정자 위에 위치되는 자석과 상기 자석이 부착되는 스테이지를 가지는 가동자와,
    전류 앰프가 상기 제1 방향으로 연장하는 코일에 전류를 공급하게 하고, 다른 전류 앰프가 상기 제2 방향으로 연장하는 코일에 전류를 공급하게 함으로써 상기 가동자의 구동을 제어하는 제어 장치와,
    상기 제1 코일을 상기 제2 코일에 접속시킬 수 있는 스위치를 포함하는, 스테이지 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 제어 장치는 미리 정해진 개수의 전류 앰프를 통해 상기 제1 방향으로 연장하는 코일로부터 선택된 미리 정해진 개수의 코일에 전류를 공급하고 미리 정해진 개수의 다른 전류 앰프를 통해 상기 제2 방향으로 연장하는 코일로부터 선택된 미리 정해진 개수의 코일에 전류를 공급함으로써, 상기 가동자 의 구동을 제어하고,
    상기 스테이지 장치는 상기 스위치를 복수 포함하는 스위치 군을 가지고,
    상기 스위치 군은 상기 제1 코일 열 내의 상기 제1 코일 중 일부와 상기 제1 코일 중 일부에 인접하여 위치되는 상기 제2 코일 열 내의 상기 제2 코일 중 일부 사이에 위치되는, 스테이지 장치.
  3. 제2항에 있어서, 상기 가동자는 상기 고정자 위에 배열되는 제1 가동자 및 제2 가동자를 포함하고, 상기 제1 가동자는 제1 자석과 상기 제1 자석이 부착되는 제1 스테이지를 가지고, 상기 제2 가동자는 제2 자석과 상기 제2 자석이 부착되는 제2 스테이지를 가지며,
    상기 제어 장치는 미리 정해진 개수의 전류 앰프를 통해 상기 제1 방향으로 연장하는 코일로부터 선택된 미리 정해진 개수의 코일에 전류를 공급하고 미리 정해진 개수의 다른 전류 앰프를 통해 상기 제2 방향으로 연장하는 코일로부터 선택된 미리 정해진 개수의 코일에 전류를 공급함으로써, 상기 제1 가동자의 구동 및 상기 제2 가동자의 구동을 제어하는, 스테이지 장치.
  4. 제3항에 있어서, 상기 스위치 군에 의해 상기 제1 코일 중 일부와 상기 제2 코일 중 일부 사이의 접속이 온 되는 경우, 상기 제1 및 제2 가동자는 일 가동자가 일 코일 열로부터 다른 코일 열로 이동하고 다른 가동자가 다른 코일 열로부터 일 코일 열로 이동하도록 상기 제1 및 제2 코일 열 위에서 교체 가능하고,
    상기 스위치 군에 의해 상기 제1 코일 중 일부와 상기 제2 코일 중 일부 사이의 접속이 오프 되는 경우, 상기 제1 및 제2 가동자는 일 가동자가 상기 제1 코일 열 위에 위치되고 다른 가동자가 상기 제2 코일 열 위에 위치되도록 서로 독립적으로 이동 가능한, 스테이지 장치.
  5. 제3항에 있어서, 상기 제3 코일 열은 제1 열 세그먼트, 제2 열 세그먼트 및 제4 코일 열을 가지며, 상기 제1 및 제2 열 세그먼트는 상기 제2 방향으로 각기 연장하는 각각의 제4 코일 쌍이 상기 제2 방향으로 위치되는 상기 제4 코일 열을 사이에 끼우고, 상기 제4 코일 쌍은 상기 제1 방향으로 배열되고, 상기 제1 및 제2 열 세그먼트와 상기 제4 코일 열은 상기 제1 방향으로 배치되는, 스테이지 장치.
  6. 제3항에 있어서, 상기 스위치 군에 의해 상기 제1 코일 중 일부와 상기 제2 코일 중 일부 사이의 접속이 온 되는 경우, 상기 제1 가동자 또는 제2 가동자는 일 코일 열로부터 다른 코일 열로 이동하도록 상기 제1 및 제2 코일 열 위에서 이동 가능하고,
    상기 스위치 군에 의해 상기 제1 코일 중 일부와 상기 제2 코일 중 일부 사이의 접속이 오프 되는 경우, 상기 제1 및 제2 가동자는 일 가동자가 상기 제1 코일 열 위에 위치되고 다른 가동자가 상기 제2 코일 열 위에 위치되도록 서로 독립적으로 이동 가능한, 스테이지 장치.
  7. 제3항에 있어서, 상기 제1 및 제2 가동자를 상기 고정자로부터 이격 이동시키기 위한 전류가 상기 제3 코일 열 내의 제3 코일로 공급되는, 스테이지 장치.
  8. 기판을 노광하는 노광 장치이며,
    기판이 노광되는 광을 공급하는 조명 장치와,
    상기 기판을 유지하면서 이동시키는 스테이지 장치를 포함하고,
    상기 스테이지 장치는
    제1 방향으로 연장하는 제1 코일이 상기 제1 방향에 직교하는 제2 방향으로 배열된 제1 코일 열, 상기 제1 방향으로 연장하는 제2 코일이 상기 제2 방향으로 배열되고 상기 제1 방향에 있어서 상기 제1 코일 열 다음에 위치되는 제2 코일 열 및 상기 제2 방향으로 연장하는 제3 코일이 상기 제1 방향으로 배열되고 상기 제1 코일 열과 상기 제2 코일 열을 덮고 있는 제3 코일 열을 가지는 고정자와,
    상기 고정자 위에 위치되는 자석과 상기 자석이 부착되는 스테이지를 가지는 가동자와,
    전류 앰프가 상기 제1 방향으로 연장하는 코일에 전류를 공급하게 하고, 다른 전류 앰프가 상기 제2 방향으로 연장하는 코일에 전류를 공급하게 함으로써 상기 가동자의 구동을 제어하는 제어 장치와,
    상기 제1 코일을 상기 제2 코일에 접속시킬 수 있는 스위치를 포함하는, 노광 장치.
  9. 제8항에 있어서, 상기 가동자는 상기 고정자 위에 배열되는 제1 가동자 및 제2 가동자를 포함하고, 상기 제1 가동자는 제1 자석과 상기 제1 자석이 부착되는 제1 스테이지를 가지고, 상기 제2 가동자는 제2 자석과 상기 제2 자석이 부착되는 제2 스테이지를 가지며,
    상기 제어 장치는 미리 정해진 개수의 전류 앰프를 통해 상기 제1 방향으로 연장하는 코일로부터 선택된 미리 정해진 개수의 코일에 전류를 공급하고 미리 정해진 개수의 다른 전류 앰프를 통해 상기 제2 방향으로 연장하는 코일로부터 선택된 미리 정해진 개수의 코일에 전류를 공급함으로써, 상기 제1 가동자의 구동 및 상기 제2 가동자의 구동을 제어하고,
    상기 스테이지 장치는 상기 스위치를 복수 포함하는 스위치 군을 가지고, 상기 스위치 군은 상기 제1 코일 열 내의 상기 제1 코일 중 일부와 상기 제1 코일 중 일부에 인접하여 위치되는 상기 제2 코일 열 내의 상기 제2 코일 중 일부 사이에 위치되고,
    상기 노광 장치는
    상기 제1 코일 열 및 상기 제3 코일 열에 의해 이동되는 상기 제1 및 제2 스테이지 중 하나에 유지되는 제1 기판이 계측되는 계측 스테이션과,
    상기 제2 및 제3 코일 열에 의해 이동되는 상기 제1 및 제2 스테이지 중 하나에 유지되고 상기 계측 스테이션에서 계측된 상기 제1 기판이 노광되는 노광 스테이션을 더 포함하고,
    상기 노광 스테이션에 있어서의 상기 제1 기판의 노광과 병행하여, 상기 제1 및 제3 코일 열에 의해 이동되는 상기 제1 및 제2 스테이지 중 다른 하나에 유지되는 제2 기판이 상기 계측 스테이션에서 계측되고,
    상기 제1 가동자 및 상기 제2 가동자는 일 가동자가 상기 계측 스테이션으로부터 상기 노광 스테이션으로 이동되고 다른 가동자가 상기 노광 스테이션으로부터 상기 계측 스테이션으로 이동되도록 교체 가능한, 노광 장치.
  10. 제9항에 있어서, 상기 계측 스테이션은 2개의 계측 스테이션을 가지고,
    2개의 계측 스테이션 중 일 계측 스테이션은 상기 제1 방향에 있어서 상기 노광 스테이션 다음에 위치되고, 다른 계측 스테이션은 상기 제2 방향에 있어서 상기 노광 스테이션 다음에 위치되는, 노광 장치.
  11. 제8항에 있어서, 상기 가동자는 상기 고정자 위에 배열되는 제1 가동자 및 제2 가동자를 포함하고, 상기 제1 가동자는 제1 자석과 상기 제1 자석이 부착되는 제1 스테이지를 가지고, 상기 제2 가동자는 제2 자석과 상기 제2 자석이 부착되는 제2 스테이지를 가지며,
    상기 제어 장치는 미리 정해진 개수의 전류 앰프를 통해 상기 제1 방향으로 연장하는 코일로부터 선택된 미리 정해진 개수의 코일에 전류를 공급하고 미리 정해진 개수의 다른 전류 앰프를 통해 상기 제2 방향으로 연장하는 코일로부터 선택된 미리 정해진 개수의 코일에 전류를 공급함으로써, 상기 제1 가동자의 구동 및 상기 제2 가동자의 구동을 제어하고,
    상기 스테이지 장치는 상기 스위치를 복수 포함하는 스위치 군을 가지고, 상기 스위치 군은 상기 제1 코일 열 내의 상기 제1 코일 중 일부와 상기 제1 코일 중 일부에 인접하여 위치되는 상기 제2 코일 열 내의 상기 제2 코일 중 일부 사이에 위치되고,
    상기 스위치 군에 의해 상기 제1 코일 중 일부와 상기 제2 코일 중 일부 사이의 접속이 온 되는 경우, 상기 제1 가동자 또는 제2 가동자는 일 코일 열로부터 다른 코일 열로 이동하도록 상기 제1 및 제2 코일 열 위에서 이동 가능하고, 상기 스위치 군에 의해 상기 제1 코일 중 일부와 상기 제2 코일 중 일부 사이의 접속이 오프 되는 경우, 상기 제1 및 제2 가동자는 일 가동자가 상기 제1 코일 열 위에 위치되고 다른 가동자가 상기 제2 코일 열 위에 위치되도록 서로 독립적으로 이동 가능하고,
    상기 노광 장치는
    상기 제1 및 제2 코일 열에 의해 이동되는 상기 제1 및 제2 스테이지 중 하나에 유지되는 제1 기판이 계측되는 계측 스테이션과,
    상기 제1, 제2 및 제3 코일 열에 의해 이동되는 상기 제1 및 제2 스테이지 중 하나에 유지되고 상기 계측 스테이션에서 계측된 상기 제1 기판이 노광되는 노광 스테이션을 더 포함하고,
    상기 노광 스테이션에 있어서의 상기 제1 기판의 노광과 병행하여, 상기 제1 및 제2 코일 열에 의해 이동되는 상기 제1 및 제2 스테이지 중 다른 하나에 유지되는 제2 기판이 상기 계측 스테이션에서 계측되고,
    상기 제1 가동자 및 상기 제2 가동자는 일 가동자가 상기 제1 코일 열 위에 위치되고 다른 가동자가 상기 제2 코일 위에 위치되게 상기 제1 및 제2 가동자를 상기 제1 코일 열 및 상기 제2 코일 열 위에서 서로 독립적으로 이동시킴으로써, 일 가동자가 상기 계측 스테이션으로부터 상기 노광 스테이션으로 이동되고 다른 가동자가 상기 노광 스테이션으로부터 상기 계측 스테이션으로 이동되도록 교체 가능한, 노광 장치.
  12. 제11항에 있어서, 상기 노광 스테이션은 상기 기판에 광을 투영하는 투영 광학계를 가지고,
    상기 계측 스테이션은 상기 투영 광학계의 광축에 평행한 방향에 있어서 상기 기판 표면의 위치를 계측하는 계측기 및 상기 기판에 형성된 마크 위치를 계측하는 계측기 중 하나 이상을 가지고,
    상기 기판은 상기 투영 광학계와 상기 기판 사이의 갭을 채우는 액체를 통해 노광되는, 노광 장치.
  13. 디바이스 제조 방법이며,
    노광 장치를 사용해서 기판을 노광하는 단계와,
    상기 노광된 기판을 현상하는 단계를 포함하고,
    상기 노광 장치는
    기판이 노광되는 광을 공급하는 조명 장치와,
    상기 기판을 유지하면서 이동시키는 스테이지 장치를 포함하고,
    상기 스테이지 장치는
    제1 방향으로 연장하는 제1 코일이 상기 제1 방향에 직교하는 제2 방향으로 배열된 제1 코일 열, 상기 제1 방향으로 연장하는 제2 코일이 상기 제2 방향으로 배열되고 상기 제1 방향에 있어서 상기 제1 코일 열 다음에 위치되는 제2 코일 열 및 상기 제2 방향으로 연장하는 제3 코일이 상기 제1 방향으로 배열되고 상기 제1 코일 열과 상기 제2 코일 열을 덮고 있는 제3 코일 열을 가지는 고정자와,
    상기 고정자 위에 위치되는 자석과 상기 자석이 부착되는 스테이지를 가지는 가동자와,
    전류 앰프가 상기 제1 방향으로 연장하는 코일에 전류를 공급하게 하고, 다른 전류 앰프가 상기 제2 방향으로 연장하는 코일에 전류를 공급하게 함으로써 상기 가동자의 구동을 제어하는 제어 장치와,
    상기 제1 코일을 상기 제2 코일에 접속시킬 수 있는 스위치를 포함하는, 디바이스 제조 방법.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR101389883B1 (ko) * 2011-05-25 2014-04-29 에이에스엠엘 네델란즈 비.브이. 멀티-스테이지 시스템, 이를 위한 제어 방법, 및 리소그래피 장치
KR20170031175A (ko) * 2014-07-08 2017-03-20 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 할바크 어레이를 이용한 마스크의 자기 척킹

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