KR20090098414A - 용사 코팅법을 이용한 연삭공구의 제조방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 다이아몬드 및 CBN 연삭/절삭 공구를 용사코팅법을 이용하여 제조하는 방법에 관한 것으로서, 우수한 연삭 특성을 갖는 연삭공구를 간편하고 낮은 비용으로 제조할 수 있는 방법을 제공하고자 하는데, 그 목적이 있다.
본 발명은 결합재와 연마재를 준비하는 단계; 준비된 결합재와 연마재를 혼합하는 단계; 혼합된 혼합물을 타켓에 용사코팅하여 타켓 표면에 연삭공구를 형성하는 단계; 및 타켓으로부터 연삭공구를 분리하는 단계를 포함하는 연삭공구의 제조방법을 그 요지로 한다.
본 발명에 의하면, 우수한 연삭 특성을 갖는 연삭 공구를 간편하고 낮은 비용으로 제공할 수 있다.
용사코팅, 연삭공구, 연마재, 결합재, 타켓

Description

용사 코팅법을 이용한 연삭공구의 제조방법{Method for Manufacturing Grinding Tool Using Thermal Spraying Coating Method}
본 발명은 다이아몬드 및 CBN 연삭/절삭 공구의 제조방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 열간 용사 코팅 기법(Thermal spraying coating:플라즈마 스프레이 코팅)을 이용하여 연삭공구를 제조하는 방법에 관한 것이다.
최근, 특수강, 경합금, 세라믹 등 여러 분야에 적용되고 있는 재료들은 훌륭한 기계적 특성을 갖기 때문에 광범위하게 이용된다.
그렇지만, 이 재료들의 절삭 및 연삭은 점점 더 어려워지기 때문에 정밀한 표면과 작업효율을 올리는 데는 한계가 있다.
한편, 지상에서 가장 단단한 다이아몬드 및 CBN 등은 연삭 및 절삭 분야에서 사용되는 1차적인 연마재이다.
오늘날 다이아몬드 및 CBN 공구는 유리, 세라믹, 천연 돌, 경합금 등 재료의 연삭 분야에서 광범위하게 이용되고 있다.
예를 들면, 다이아몬드 휠에서 연마재인 다이아몬드 입자는 결합재료의 주변이나 휠 표면에 놓이게 된다.
결합재료의 종류에 따라서 연삭공구, 예를 들면, 다이아몬드 휠은 크게 수지(resin) 결합 다이아몬드 휠, 금속(metal) 결합 다이아몬드 휠과 비트리파이드(vitrified) 결합 다이아몬드 휠의 3가지로 나눈다.
상기 수지(resin) 결합 다이아몬드 휠은 일반적으로 각종 시멘트, 텅스텐 탄화물, 세라믹 HSS(High-Speed-Steel)을 연삭하는데 이용된다.
상기 금속 (Metal) 결합 다이아몬드 휠은 주로 CRT(Cathode Ray Tube), 유리, 광학유리, 자동차유리 등을 연삭하는데 이용된다.
상기 비트리 파이드 결합 다이아몬드 휠은 주로 캠축, PCD/PCBN(Polycrystalline diamond/Polycrystalline Boron Nitride)등을 연삭하는데 이용된다.
일반적으로 다이아몬드 및 CBN 공구의 제조 방법으로는 전착(Electro-deposition)법, 소결법, 융착법 등 세가지 방법을 들 수 있다.
그러나, 상기 방법들로 연삭공구, 예를 들면, 다이아몬드 휠을 제조하게 되면 제조공정이 복잡하고 또한 많은 시간이 소요된다.
특히, 최근에는 제품 크기 및 형상의 변화에 따른 적용 범위가 점차 넓어지고 있기때문에 지금까지의 방법을 사용하게 되면 제조비용 또한 많이 든다.
예를들면, 소결 공정은 분말의 혼합, 금형을 이용한 성형, 소결, 필요한 형상으로 제작하기 위한 마무리 연마 가공, 때에 따라서는 방전가공 등의 과정을 거친다.
더 나아가, 종래 방법으로 제조된 다이아몬드 휠이 국부적으로 파괴되면, 같 은 제조방법으로 수리하는 것이 어려울 뿐만 아니라 수리를 위해 발생되는 제반비용 (운송 및 수리기간)등이 소요된다.
따라서, 우수한 연삭 특성을 갖는 다이아몬드 휠과 같은 연삭공구를 간편하고 낮은 비용으로 제조할 수 있는 기술의 개발이 요구되고 있다.
본 발명은 용사코팅법을 이용하여 연삭공구를 제조함으로써 우수한 연삭특성을 갖는 연삭공구를 간편하고 낮은 비용으로 제조할 수 있는 방법을 제공하고자 하는데, 그 목적이 있다.
이하, 본 발명에 대하여 설명한다.
본 발명은 결합재와 연마재를 준비하는 단계;
상기와 같이 준비된 결합재와 연마재를 혼합하는 단계;
상기와 같이 혼합된 혼합물을 타켓에 용사코팅하여 타켓 표면에 연삭공구를 형성하는 단계; 및 상기 타켓으로부터 연삭공구를 분리하는 단계를 포함하는 용사코팅법을 이용한 연삭공구의 제조방법에 관한 것이다.
또한, 본 발명은 결합재에 의해 연마재가 샹크에 결합되어 있는 연삭공구의 제조방법에 있어서,
결합재, 연마재 및 샹크를 준비하는 단계;
상기와 같이 준비된 결합재와 연마재를 혼합하는 단계; 및
상기와 같이 혼합된 혼합물을 상기 샹크에 용사코팅하여 연삭공구를 제조하는 단계를 포함하는 용사코팅법을 이용한 연삭공구의 제조방법에 관한 것이다.
또한, 본 발명은 결합재에 의해 연마재가 샹크에 결합되어 있는 연삭공구의 제조방법에 있어서,
결합재, 연마재 및 샹크를 준비하는 단계;
상기와 같이 준비된 결합재와 연마재를 혼합하는 단계;
상기 샹크의 표면에 열팽창 완충재를 코팅하는 단계; 및
상기 열팽창 완충재 코팅층위에 상기와 같이 준비된 혼합물을 용사코팅하여 연삭공구를 제조하는 단계를 포함하는 용사코팅법을 이용한 연삭공구의 제조방법에 관한 것이다.
본 발명에 의하면, 우수한 연삭 특성을 갖는 연삭공구를 간편하고 낮은 비용으로 제공할 수 있다.
또한, 본 발명에 의하면, 연삭공구의 국부적인 파괴 등이 발생되는 경우 용이하게 수리가 가능하고, 또한 이로 인하여 수리 시 필요한 운송 및 수리기간 등과 관련되는 제반비용을 절감할 수 있다.
이하, 본 발명에 대하여 상세히 설명한다.
본 발명은 용사코팅법을 이용하여 연삭공구를 제조하는 방법이다.
여기서, 연삭공구란 원래의 연삭공구는 물론 절삭공구 및 연마공구도 모두 포함하는 의미로 사용된다.
열간 용사 코팅에 의한 연삭공구의 제조는 간단한 제조 공정과 낮은 제조 단 가를 가져올 수 있으며, 이러한 용사코팅법의 이점은 앞으로 발전할 수 있는 구동력으로 작용한다.
일반적으로, 용사코팅법은 금속성분의 표면 특징들을 향상시키기 위한 다재다능한 코팅 제조 기술로 사용되어 왔다.
용사과정은 에너지원에 의해서 개개의 과정을 나눌 수 있다.
분말의 코팅재는 열과 추진력에 의해 타켓(모재부;Shank)으로 가스 흐름을 이용하여 높은 속도로 분사되어 운반된다.
타켓 표면 위에서 분말은 빠르게 산개 코팅을 형성하고 굳어진다.
용사는 불꽃 안에서 분말의 분무 속도가 코팅층 형성에 열쇠가 되는 요인이다.
도 1에는 여러 용사방법의 입자충돌속도에 따른 입자온도영역의 예들이 나타나 있다.
도 1에 나타난 바와 같이, PS(plasma spray), HVOF(high velocity oxide fuel flame spray), D-gun(detonation flame spray), CS(cold spray)는 최대의 충돌 속도에 의해서 샹크(Shank; 금속모재) 위에 다이아몬드, CBN 등의 연마재의 코팅을 형성시키는데 이용될 수 있다.
본 발명에서 중요한 것은 다이아몬드 및 CBN 등의 연마재를 이용한 연삭공구를 제조할 수 있는 용사 코팅 방법 및 그에 따른 용사코팅조건을 설정하는데 있다.
본 발명의 일례는 샹크가 없는 연삭공구를 제조하는 것이고, 다른 예는 샹크를 포함하는 연삭공구를 제조하는 것이고, 그리고 또 다른 예는 샹크를 포함하고 샹크 표면에 열팽창 완충재 코팅층을 갖는 연삭공구를 제조하는 것이다.
도 2에 나타난 바와 같이, 본 발명에 따라 샹크가 없는 연삭공구를 제조하기 위해서는 우선 결합재와 연마재를 준비하고, 샹크를 포함하는 연삭공구를 제조하는 경우에는 결합재, 연마재 및 샹크를 준비하고, 샹크를 포함하고 샹크 표면에 열팽창 완충재 코팅층을 갖는 연삭공구를 제조하는 경우에는 결합재, 연마재, 열팽창 완충재 및 샹크를 준비한다.
상기 연마재는 특별히 한정되는 것은 아니며, 바람직한 예로는 다이아몬드 및 CBN 등을 들 수 있고, 그 중에서도 다이아몬드가 가장 바람직하다.
그리고, Ti 등이 표면에 코팅된 다이아몬드를 사용할 수도 있다.
상기 연마재는 특별히 한정되는 것은 아니지만, 1~500㎛의 입자크기를 갖는 것이 바람직하다.
상기 결합재는 특별히 한정되는 것은 아니며, 그 대표적인 예로서는 Cu, Sn, Co, Cr, W 및 Ni로 이루어진 그룹으로부터 선택된 1종 또는 2종 이상을 포함하는 금속결합재들을 들 수 있으며, 이는 일반적으로 분말 성형 소결방식에 사용되는 결합재료로 사용되는 물질이다.
또한 상기 결합재로는 금속 결합재 뿐만 아니라 비트리파이드 결합재를 사용할 수 있는데, 대표적인 예로서는 Si를 주성분으로 하고, 여기에, Al, Mg, Na, Ca, Li, B, Ti 및 K 원소로 이루어진 그룹으로부터 선택된 1종 또는 2종 이상을 포함하는 결합재를 들 수 있다.
상기 결합재와 연마재의 혼합분말의 열팽창 계수와 샹크의 열팽창 계수가 다 른 경우 샹크와 혼합 분말의 사이에 열팽창 계수를 고려하여 열팽창 완충재를 코팅하는 것이 바람직하다.
예를 들어, 상기 샹크의 재질이 Cu 나 Cu 계 합금으로 이루어지는 경우에는 직접 샹크 표면에 코팅을 행할 수 있으나, Al 이나 Al계 합금 또는 철계 합금으로 이루어지는 경우에는 샹크 표면에 구리 및 기타 샹크부의 중간정도의 금속분말을 미세하게 도포시킴으로써 열팽창 계수의 차이에 의한 충격을 낮추고, 결합력을 향상시키는 것이 바람직하다.
상기 열팽창 완충재는 특별히 한정되는 것은 아니며, 그 대표적인 예로는 CuSn, NiCr 합금을 들 수 있다.
상기 샹크의 재질은 특별히 한정되는 것은 아니며, 그 대표적인 것으로는 철계, Al 또는 Al계, Cu 또는 Cu계를 들 수 있다.
다음에, 상기와 같이 준비된 결합재와 연마재를 혼합한다.
이 때, 연마재의 함량은 특별히 한정되는 것은 아니지만, 2~60vol%로 제한하는 것이 바람직하다.
상기 연마재의 함량이 2vol%미만이 경우에는 다이아몬드 및 CBN 등의 연삭 공구로서의 성능을 발휘할 수 없는 문제점이 있고, 60vol%를 초과하는 경우에는 제조 비용 및 연마재 사이의 상호 간섭으로 인해 가공성의 문제가 있기 때문에, 상기 연마재의 함량은 2~60vol%로 제한하는 것이 바람직하다.
다음에, 샹크가 없는 연삭공구를 제조하기 위해서는 상기와 같이 혼합된 혼합물을 타켓에 용사코팅하여 타켓 표면에 연삭공구를 형성한 후, 상기 타켓으로부 터 연삭공구를 분리함으로써 연상공구를 제조한다.
또한, 샹크를 포함하는 연삭공구를 제조하는 경우에는 상기와 같이 혼합된 혼합물을 샹크에 용사코팅하여 연상공구를 제조한다.
또한, 샹크를 포함하고 샹크 표면에 열팽창 완충재 코팅층을 갖는 연삭공구를 제조하는 경우에는 열팽창 완충재를 샹크에 코팅시킨 후, 상기와 같이 혼합된 혼합물을 샹크에 용사코팅하여 연상공구를 제조한다.
상기 용사 코팅 시 플라즈마 발생을 위한 가스는 수소 가스에 불활성 가스 또는 질소 가스를 혼합한 가스를 이용한다.
상기 불활성 가스 중 바람직한 것은 Ar 가스이다.
상기 불활성 가스 또는 질소가스의 유량은 20∼75 Slpm으로 선정하는 것이 바람직하며, 수소 가스의 유량은 1∼28 Slpm으로 선정하는 것이 바람직하다.
그리고 플라즈마 발생 전류 및 전압은 각각 200∼600A 및 20∼60V로 선정하는 것이 바람직하다.
운송가스의 유량은 1∼10 Slpm으로 선정하는 것이 바람직하고, 용사거리는 10∼300mm로 선정하는 것이 바람직하다.
용사코팅시간은 얻고자 하는 코팅층의 두께 등에 따라 변화될 수 있으며, 30초에서 2시간 정도이다.
이는 일반 분말 소결법에 의한 소결 시간(최소 1시간, 냉각시간 10시간이상) 에 비해 생산시간을 단축할 수 있다.
바람직한 용사코팅시간은 10~20분 정도이다,
한편, 샹크 표면에 열팽창 완충재 코팅층을 형성하는 경우에는 상기 불활성 가스 또는 질소가스의 유량은 25∼75Slpm으로 선정하는 것이 바람지하며, 수소 가스의 유량은 1∼34 Slpm1으로 선정하는 것이 바람직하다.
그리고 플라즈마 발생 전류 및 전압은 각각 300∼850A 및 30∼85V로 선정하는 것이 바람직하다.
운송가스의 유량은 1∼10 Slpm으로 선정하는 것이 바람직하다.
용사거리는 10∼300mm로 선정하는 것이 바람직하다.
용사코팅시간은 공구의 형상 및 두께에 따라 최소 1초 ~ 2시간 정도로 선정하는 것이 바람직하다.
예를 들면, 피코팅체의 크기가 작고 한 번의 용사로 코팅이 가능한 경우에는 최소 10초 이내에서도 제작이 가능하고, 일반적인 형상의 연삭휠(1A1, 150D-10W-3X)을 제작하는 경우의 바람직한 용사코팅시간은 10~20분이다.
본 발명에 따라 제조된 연삭 휠의 연마재 함유 코팅층의 두께는 0.01∼20mm이다.
본 발명에 적용되는 연삭공구는 특별히 한정되는 것은 아니며, 그 대표적인 것으로는 다양한 형태의 연삭 휠, 다중형상 연삭 커터, 양두 연마휠, 연삭 정반, 에지 가공용 휠, CMP Pad 가공용 휠, 호닝스톤 등의 연삭공구 및 각종 절삭공구 및 연마공구 등을 들 수 있다.
본 발명과 전통적인 방법과 비교해 보면 열간 용사 코팅(thermal spray coating)법을 이용한 본 발명은 일반적인 분말 소결 방법에 비해 제작시간을 1/5~1/50 까지 절약 할 수 있고 분말 소결 방법에서 필요로 하는 금형 제작비용 또한 절감할 수 있으며 소결후 금형을 분리, 제거하는데 필요한 가공 공정을 없앨 수 있다는 장점을 가지고 있다.
또한 부분적인 수리가 필요할 경우, 분말 소결방법에 의한 제조방법으로는 부분적인 수리가 불가능한 반면, 본 발명을 이용하게 되면, 부분적으로 손상이 된 연삭/절삭 공구의 국부적인 수리가 가능하게 된다.
또 다른 장점으로는 다중 형상의 제품인 경우 소결 금형을 복잡한 형상으로 제작 할 수 없어 스트레이트 형식으로 제조 한 후 가공 공정을 이용하여 형상을 제작 하거나 전착 형식으로만 공구를 제작 할 수 있었지만 본 발명 법으로 제작을 할 경우, 모재부(shank) 형상에 따라 어떠한 복잡한 형상도 코팅이 가능하게 되며, 용사층의 두께 또한 0.010~20mm까지 쉽게 조절할 수 있을 뿐만 아니라 전착 방법보다 제작 시간을 충분히 낮출 수 있으며 환경문제도 해결할 수 있다.
이하, 실시예를 통하여 본 발명을 보다 구체적으로 설명한다.
(실시예)
다음과 같이 용사코팅에 의하여 유리 에지 가공용 연삭휠들을 제조하였다.
이 때, 하기 표 1과 같이 샹크는 알루미늄 샹크, 구리 샹크 및 S45C 강 샹크를 사용하였으며, 결합재로는 입자 크기 10㎛의 브론즈(bronze: CuSn) 단독 및 여기에 입자크기 20㎛의 경한 합금 분말(Co25.5Cr10.5Ni7.5W0.5)을 첨가한 결합재를 사용하였다.
이 경우, 경한 합금 분말은 다이아몬드 코팅의 경도를 향상시키고 높은 젖음 성 능력 때문에 결합상태에도 영향을 미친다.
연마재로는 입자크기가 45㎛인 다이아몬드 및 Ti가 코팅된 다이아몬드를 각각 사용하였다.
볼 밀(ball-mill)를 사용하여 상기 결합재에 다이아몬드를 15vol.%를 혼합시킨 다음, 혼합한 분말을 APS(atmosphere plasma spraying)으로 샹크에 10분 동안 용사코팅하여 1mm두께의 용사코팅층을 얻었다.
이 때 운송가스로는 Ar가스를 사용하였다.
한편, 상기 Cu계 샹크를 제외하고, 상기 알루미늄 샹크 및 S45C 강 샹크에 대해서는 NiCr의 열팽창 완충재 코팅층을 형성시켰으며, 이 코팅층 형성시간은 1분 정도이고, 그 두께는 100㎛ 정도였다.
이 때, 용사코팅조건은 하기 표 2와 같이 하였다.
상기와 같이 제조된 연삭 휠에 대하여 경도 및 마모 정도를 조사하고, 그 결과 하기 표 3에 나타내었다.
상기와 같이 제조된 연삭 휠 중 발명재(1)의 다이아몬드 코팅층의 XRD 스펙트럼 및 코팅층 표면의 SEM사진 및 코팅층 단면의 SEM사진을 관찰하고, XRD 스펙트럼 결과에 대해서는 도 3에 나타내고, 코팅층 표면의 SEM사진 결과에 대해서는 도 4에 나타내고, 코팅층 단면의 SEM사진 결과에 대해서는 도 5에 나타내었다.
그리고, 도 5에서 확인된 다이아몬드의 확대한 것을 도 6에 나타내었다.
한편, 연삭 휠 중 발명재(4)의 코팅층 단면의 SEM사진을 관찰하고, 그 결과를 도 7에 나타내었다.
이렇게 플라즈마 용사법으로 만들어진 다이아몬드 연삭 휠을 유리의 엣지면을 가공하여 평가하였다. 알루미늄 모재부(shank)에 플라즈마 용사 코팅한 다이아몬드 연삭휠은 유리의 엣지를 연삭할 수 있었다.
또한, 상기와 같이 제조된 연삭휠 중 발명재(9)를 사용하여 유리의 엣지면을 연삭한 결과, 연삭이 가능함을 확인할 수 있었으며, 연삭된 유리의 단면과 표면 사진을 디지털 이미지와 SEM 사진으로 측정하고, 그 결과를 도 8에 나타내었다.
도 8의 (a)는 디지털 이미지이고, (b)는 SEM 사진을 나타낸다.
도 8(b)의 검은색으로 보여지는 부분이 다이아몬드 입자를 나타낸다.
하기 표 3에서 마모정도는 2mm 두께 x 40mm길이의 유리판을 10㎛/pass의 절입량으로 총 40mm를 절삭했을 경우의 휠 마모정도를 나타낸 것이다.
시편 No. 샹크 결합재 연마재 완충재 코팅층두께(㎛) 혼합물 코팅층 두께(㎛)
발명재 1 Al샹크 CuSn 다이아몬드 100 1000
발명재 2 Cu샹크 CuSn 다이아몬드 - 1000
발명재 3 S45C강 샹크 CuSn 다이아몬드 100 1000
발명재 4 Al샹크 CuSn 코팅다이아몬드 100 1000
발명재 5 Cu샹크 CuSn 코팅다이아몬드 - 1000
발명재 6 S45C강 샹크 CuSn 코팅다이아몬드 100 1000
발명재 7 Al샹크 CuSn + 경한 합금 다이아몬드 100 1000
발명재 8 S45C 강 샹크 CuSn + 경한 합금 다이아몬드 100 1000
발명재 9 Al샹크 CuSn 다이아몬드 100 1000
발명재 10 S45C 강 샹크 CuSn 다이아몬드 100 1000
발명재 11 Al샹크 CuSn 다이아몬드 100 1000
발명재 12 S45C 강 샹크 CuSn 다이아몬드 100 1000
시편No. 열팽창 완충재 코팅층 형성 조건 다이아몬드 함유 코팅층 형성조건
Ar 유량 (Sl pm) 수소 유량 (Sl pm) 전 류 (A) 전 압 (V) 운송 가스(Ar)유량 (Slpm) 용사 거리 (mm) 용사시간(분) Ar 유량 (Sl pm) 수소 유량 (Sl pm) 전 류 (A) 전 압 (V) 운송 가스(Ar) 유량 (Slpm) 용사 거리 (mm) 용사시간 (분)
발명재1 50 2 400 46 2.5 120 1 55 2 400 37 4 120 10
발명재2 - - - - - - - 55 2 400 37 4 100 10
발명재3 50 2 400 46 2.5 120 1 55 2 400 37 4 100 10
발명재4 50 8 500 46 3 120 1 55 2 400 46 4 120 10
발명재5 - - - - - - - 55 2 400 46 4 100 10
발명재6 50 8 500 46 3 120 1 55 2 400 46 4 100 10
발명재7 50 6 650 55 3 120 1 55 2 500 55 4 90 10
발명재8 50 6 650 55 3 120 1 55 2 500 46 4 90 10
발명재9 50 8 500 55 3 120 1 55 2 500 55 4 90 10
발명재10 50 8 500 55 3 120 1 55 2 400 46 4 80 10
발명재11 50 8 500 55 3 120 1 55 2 600 64 4 100 10
발명재12 50 8 500 55 3 120 1 55 2 600 64 4 80 10
시편 No. 경도 마모정도
발명재 1 55.7 0.9387
발명재 2 67.3 0.6438
발명재 3 70.5 0.5135
발명재 4 82.6 0.3284
발명재 5 91.2 0.2167
발명재 6 85.4 0.2849
발명재 7 104.3 0.0815
발명재 8 101.5 0.1124
발명재 9 88.5 0.1012
발명재 10 92.7 0.05
발명재 11 80.5 0.1413
발명재12 75.6 0.1997
상기 표 3에 나타난 바와 같이, 본 발명에 부합되는 발명재(1-12)의 경우에는 연마공구에서 요구하는 경도 및 마모 정도를 나타내고 있음을 알 수 있다.
도 3에 나타난 바와 같이, 연삭 휠의 코팅층은 브론즈(bronze; CuSn)상을 포함하고 있고. 약간의 CuO가 발견됨을 알 수 있다.
이는 용사하는 동안 작게나마 산화가 생기는 것을 나타내지만, 이 구리 산화는 매우 미세한 정도이고 연삭휠의 성능에 영향을 주지 않을 정도의 양이다.
도 4에 나타난 바와 같이, 다이아몬드 입자들은 깨끗하게 존재하는 것을 알 수 있고 결합재 상에 결합 되어있는 것이 확인할 수 있다.
도 5 및 도 6에 나타난 바와 같이, Al 샹크(shank)와 혼합 분말 사이의 결합 층(NiCr)이 다이아몬드를 포함한 코팅층 사이와의 명백한 계면이 없다는 것을 알 수 있다.
이것은 Al 샹크에 1차 결합층을 코팅한 후 혼합 분말 층을 코팅하는 방법에 의해 열팽창 계수가 확연히 다른 두 재료가 서로 반응하여 결합하게 되며, 플라즈마 용사 코팅은 잘 결합한다는 것을 나타내는 것이다.
게다가, 플라즈마 용사 다이아몬드 코팅층은 상당히 조밀하고 기공률이 2Vol% 미만인 것을 알 수 있다.
따라서, 플라즈마 용사 코팅 층에서 다이아몬드 입자들을 확인하기 쉽고, SEM 사진으로부터 혼합 분말 안에서 다이아몬드가 균일하게 분포되어있는 것을 볼 수 있다.
도 7에 나타난 바와 같이, Ti가 코팅된 다이아몬드 입자를 사용하는 경우에는 용사되어진 다이아몬드 입자의 날카로운 모서리가 보존되는 것을 알 수 있다.
이것은 다이아몬드 위에 코팅된 Ti 층이 다이아몬드가 열에 의해 부식되는 것을 효과적으로 막아주기 때문인 것으로 보여진다(열에 의한 흑연화 및 산화).
따라서, 다이아몬드가 양호한 결정면과 날카로운 모서리를 가지므로, 연삭 휠의 연삭 성능도 우수하게 된다.
Ti 코팅된 다이아몬드 입자를 사용하는 경우에는 다이아몬드 입자와 본드로 사용되는 금속 분말의 결합력의 증대에도 도움이 된다.
도 8에 나타난 바와 같이, 유리의 연삭 가공후 유리 표면에 연삭흔적이 형성되어 지고, 금속 결합층이 평평하게 마모된 것을 알 수 있다.
또한, 마모된 면의 중앙에 위치하는 다이아몬드 입자는 마모면위에 수 마이크로 미터 올라와 있는 것을 알 수 있다.
일반적으로 다이아몬드 입자 앞, 즉 캐비티(대략 몇 마이크로미터 깊이 정도)를 금속 결합제가 마모되어야 하며, 마모면의 다이아몬드 높이는 다이아몬드 입자의 평균크기(40~50μm) 보다 훨씬 작고, 노출된 다이아몬드 입자는 강하게 연삭 휠의 금속 본드부분에 붙어 있어 그라인딩(연삭)하는 동안 피삭재의 표면을 제거할 수 있게 된다.
도 1은 여러 용사방법의 입자충돌속도에 따른 입자온도영역의 예들이 나타내는 개략도
도 2는 본 발명에 따르는 용사코팅법을 이용한 연삭공구 제조방법의 일례를 나타내는 공정 순서도
도 3은 본 발명에 부합되는 연삭 휠[발명재(1)]의 다이아몬드 코팅층의 XRD 스펙트럼
도 4는 본 발명에 부합되는 연삭 휠[발명재(1)]의 다이아몬드 코팅층 표면의 SEM사진
도 5는 본 발명에 부합되는 연삭 휠[발명재(1)]의 다이아몬드 코팅층 단면의 SEM사진
도 6은 도 5에 나타난 다이아몬드를 확대하여 나타낸 사진
도 7은 본 발명에 부합되는 연삭 휠[발명재(4)]의 다이아몬드 코팅층 단면의 SEM사진
도 8은 본 발명에 부합되는 연삭 휠[발명재(9)]을 사용하여 연삭된 유리의
가공면 및 단면을 각각 나타내는 디지털 이미지 및 SEM 사진으로서, (a)는 디지털 이미지를 나타내고, 그리고 (b)는 SEM 사진을 나타냄.

Claims (48)

  1. 결합재와 연마재를 준비하는 단계;
    상기와 같이 준비된 결합재와 연마재를 혼합하는 단계;
    상기와 같이 혼합된 혼합물을 타켓에 용사코팅하여 타켓 표면에 연삭공구를 형성하는 단계; 및 상기 타켓으로부터 연삭공구를 분리하는 단계를 포함하는 용사코팅법을 이용한 연삭공구의 제조방법
  2. 제1항에 있어서, 연마재는 다이아몬드, CBN 및 Ti가 표면에 코팅된 다이아몬드로 이루어진 그룹으로부터 선택된 1종인 것을 특징으로 하는 용사코팅법을 이용한 연삭공구의 제조방법
  3. 제2항에 있어서, 연마재의 크기가 1~500㎛인 것을 특징으로 하는 용사코팅법을 이용한 연삭공구의 제조방법
  4. 제1항 내지 제3항 중의 어느 한 항에 있어서, 결합재가 Cu, Sn, Co, Cr, W 및 Ni로 이루어진 그룹으로부터 선택된 1종 또는 2종 이상을 포함하는 금속결합재이거나 또는 Si를 주성분으로 하고, 여기에, Al, Mg, Na, Ca, Li, B, Ti 및 K 원소로 이루어진 그룹으로부터 선택된 1종 또는 2종 이상을 포함하는 비트리파이드 결합재인 것을 특징으로 하는 용사코팅법을 이용한 연삭공구의 제조방법
  5. 제1항 내지 제3항 중의 어느 한 항에 있어서, 연마재의 함량이 2~60vol%인 것을 특징으로 하는 용사코팅법을 이용한 연삭공구의 제조방법
  6. 제4항에 있어서, 연마재의 함량이 2~60vol%인 것을 특징으로 하는 용사코팅법을 이용한 연삭공구의 제조방법
  7. 제1항 내지 제3항 중의 어느 한 항에 있어서, 용사 코팅 시 플라즈마 발생 가스로는 유량 1∼28 Slpm의 수소 가스에 유량 20∼75 Slpm의 불활성 가스 또는 질소 가스를 혼합한 가스를 이용하고, 플라즈마 발생 전류 및 전압은 각각 200∼600A 및 20∼60V이고, 운송가스의 유량은 1∼10 Slpm이고, 용사거리는 10∼300mm이고, 그리고 용사코팅시간은 1초∼ 2시간인 것을 특징으로 하는 용사코팅법을 이용한 연삭공구의 제조방법
  8. 제4항에 있어서, 용사 코팅 시 플라즈마 발생 가스로는 유량 1∼28 Slpm의 수소 가스에 유량 20∼75 Slpm의 불활성 가스 또는 질소 가스를 혼합한 가스를 이용하고, 플라즈마 발생 전류 및 전압은 각각 200∼600A 및 20∼60V이고, 운송가스의 유량은 1∼10 Slpm이고, 용사거리는 10∼300mm이고, 그리고 용사코팅시간은 1초∼ 2시간인 것을 특징으로 하는 용사코팅법을 이용한 연삭공구의 제조방법
  9. 제5항에 있어서, 용사 코팅 시 플라즈마 발생 가스로는 유량 1∼28 Slpm의 수소 가스에 유량 20∼75 Slpm의 불활성 가스 또는 질소 가스를 혼합한 가스를 이용하고, 플라즈마 발생 전류 및 전압은 각각 200∼600A 및 20∼60V이고, 운송가스의 유량은 1∼10 Slpm이고; 용사거리는 10∼300mm이고, 그리고 용사코팅시간은 1초∼ 2시간인 것을 특징으로 하는 용사코팅법을 이용한 연삭공구의 제조방법
  10. 제6항에 있어서, 용사 코팅 시 플라즈마 발생 가스로는 유량 1∼28 Slpm의 수소 가스에 유량 20∼75 Slpm의 불활성 가스 또는 질소 가스를 혼합한 가스를 이용하고, 플라즈마 발생 전류 및 전압은 각각 200∼600A 및 20∼60V이고, 운송가스의 유량은 1∼10 Slpm이고, 용사거리는 10∼300mm이고, 그리고 용사코팅시간은 1초∼ 2시간인 것을 특징으로 하는 용사코팅법을 이용한 연삭공구의 제조방법
  11. 결합재에 의해 연마재가 샹크에 결합되어 있는 연삭공구의 제조방법에 있어서,
    결합재, 연마재 및 샹크를 준비하는 단계;
    상기와 같이 준비된 결합재와 연마재를 혼합하는 단계; 및
    상기와 같이 혼합된 혼합물을 상기 샹크에 용사코팅하여 연삭공구를 제조하는 단계를 포함하는 용사코팅법을 이용한 연삭공구의 제조방법
  12. 제11항에 있어서, 연마재는 다이아몬드, CBN 및 Ti가 표면에 코팅된 다이아 몬드로 이루어진 그룹으로부터 선택된 1종인 것을 특징으로 하는 용사코팅법을 이용한 연삭공구의 제조방법
  13. 제12항에 있어서, 연마재의 크기가 1~500㎛인 것을 특징으로 하는 용사코팅법을 이용한 연삭공구의 제조방법
  14. 제11항 내지 제13항 중의 어느 한 항에 있어서, 결합재가 Cu, Sn, Co, Cr, W 및 Ni로 이루어진 그룹으로부터 선택된 1종 또는 2종 이상을 포함하는 금속결합재이거나 또는 Si를 주성분으로 하고, 여기에, Al, Mg, Na, Ca, Li, B, Ti 및 K 원소로 이루어진 그룹으로부터 선택된 1종 또는 2종 이상을 포함하는 비트리파이드 결합재인 것을 특징으로 하는 용사코팅법을 이용한 연삭공구의 제조방법
  15. 제11항 내지 제13항 중의 어느 한 항에 있어서, 연마재의 함량이 2~60vol%인 것을 특징으로 하는 용사코팅법을 이용한 연삭공구의 제조방법
  16. 제14항에 있어서, 연마재의 함량이 2~60vol%인 것을 특징으로 하는 용사코팅법을 이용한 연삭공구의 제조방법
  17. 제11항 내지 제13항 중의 어느 한 항에 있어서, 샹크가 철계, Al, Al계, Cu 및 Cu계로 이루어진 그룹으로부터 선택된 1 종으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 용사코팅법을 이용한 연삭공구의 제조방법
  18. 제14항에 있어서, 샹크가 철계, Al, Al계, Cu 및 Cu계로 이루어진 그룹으로부터 선택된 1 종으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 용사코팅법을 이용한 연삭공구의 제조방법
  19. 제15항에 있어서, 샹크가 철계, Al, Al계, Cu 및 Cu계로 이루어진 그룹으로부터 선택된 1 종으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 용사코팅법을 이용한 연삭공구의 제조방법
  20. 제16항에 있어서, 샹크가 철계, Al, Al계, Cu 및 Cu계로 이루어진 그룹으로부터 선택된 1 종으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 용사코팅법을 이용한 연삭공구의 제조방법
  21. 제11항 내지 제13항 중의 어느 한 항에 있어서, 용사 코팅 시 플라즈마 발생 가스로는 유량 1∼28 Slpm의 수소 가스에 유량 20∼75 Slpm의 불활성 가스 또는 질소 가스를 혼합한 가스를 이용하고, 플라즈마 발생 전류 및 전압은 각각 200∼600A 및 20∼60V이고, 운송가스의 유량은 1∼10 Slpm이고, 용사거리는 10∼300mm이고, 그리고 용사코팅시간은 1초∼ 2시간인 것을 특징으로 하는 용사코팅법을 이용한 연삭공구의 제조방법
  22. 제14항에 있어서, 용사 코팅 시 플라즈마 발생 가스로는 유량 1∼28 Slpm의 수소 가스에 유량 20∼75 Slpm의 불활성 가스 또는 질소 가스를 혼합한 가스를 이용하고, 플라즈마 발생 전류 및 전압은 각각 200∼600A 및 20∼60V이고, 운송가스의 유량은 1∼10 Slpm이고, 용사거리는 10∼300mm이고, 그리고 용사코팅시간은 1초∼ 2시간인 것을 특징으로 하는 용사코팅법을 이용한 연삭공구의 제조방법
  23. 제15항에 있어서, 용사 코팅 시 플라즈마 발생 가스로는 유량 1∼28 Slpm의 수소 가스에 유량 20∼75 Slpm의 불활성 가스 또는 질소 가스를 혼합한 가스를 이용하고, 플라즈마 발생 전류 및 전압은 각각 200∼600A 및 20∼60V이고, 운송가스의 유량은 1∼10 Slpm이고, 용사거리는 10∼300mm이고, 그리고 용사코팅시간은 1초∼ 2시간인 것을 특징으로 하는 용사코팅법을 이용한 연삭공구의 제조방법
  24. 제16항에 있어서, 용사 코팅 시 플라즈마 발생 가스로는 유량 1∼28 Slpm의 수소 가스에 유량 20∼75 Slpm의 불활성 가스 또는 질소 가스를 혼합한 가스를 이용하고, 플라즈마 발생 전류 및 전압은 각각 200∼600A 및 20∼60V이고, 운송가스의 유량은 1∼10 Slpm이고, 용사거리는 10∼300mm이고, 그리고 용사코팅시간은 1초∼ 2시간인 것을 특징으로 하는 용사코팅법을 이용한 연삭공구의 제조방법
  25. 제17항에 있어서, 용사 코팅 시 플라즈마 발생 가스로는 유량 1∼28 Slpm의 수소 가스에 유량 20∼75 Slpm의 불활성 가스 또는 질소 가스를 혼합한 가스를 이용하고, 플라즈마 발생 전류 및 전압은 각각 200∼600A 및 20∼60V이고, 운송가스의 유량은 1∼10 Slpm이고, 용사거리는 10∼300mm이고, 그리고 용사코팅시간은 1초∼ 2시간인 것을 특징으로 하는 용사코팅법을 이용한 연삭공구의 제조방법
  26. 제18항 내지 제20항 중의 어느 한 항에 있어서, 용사 코팅 시 플라즈마 발생 가스로는 유량 1∼28 Slpm의 수소 가스에 유량 20∼75 Slpm의 불활성 가스 또는 질소 가스를 혼합한 가스를 이용하고, 플라즈마 발생 전류 및 전압은 각각 200∼600A 및 20∼60V이고, 운송가스의 유량은 1∼10 Slpm이고, 용사거리는 10∼300mm이고, 그리고 용사코팅시간은 1초∼ 2시간인 것을 특징으로 하는 용사코팅법을 이용한 연삭공구의 제조방법
  27. 제21항에 있어서, 연삭공구가 연삭 휠, 다중형상 연삭 커터, 양두 연마휠, 연삭 정반, 에지 가공용 휠, CMP 패드가공용 휠 및 호닝스톤로 이루어진 연마공구 그룹 중에서 선택된 1종인 것을 특징으로 하는 용사코팅법을 이용한 연삭공구의 제조방법
  28. 제22항 내지 제25항 중의 어느 한 항에 있어서, 연삭공구가 연삭 휠, 다중형상 연삭 커터, 양두 연마휠, 연삭 정반, 에지 가공용 휠, CMP 패드가공용 휠 및 호닝스톤로 이루어진 연마공구 그룹 중에서 선택된 1종인 것을 특징으로 하는 용사 코팅법을 이용한 연삭공구의 제조방법
  29. 제26항에 있어서, 연삭공구가 연삭 휠, 다중형상 연삭 커터, 양두 연마휠, 연삭 정반, 에지 가공용 휠, CMP 패드가공용 휠 및 호닝스톤로 이루어진 연마공구 그룹 중에서 선택된 1종인 것을 특징으로 하는 용사코팅법을 이용한 연삭공구의 제조방법
  30. 결합재에 의해 연마재가 샹크에 결합되어 있는 연삭공구의 제조방법에 있어서,
    결합재, 연마재 및 샹크를 준비하는 단계;
    상기와 같이 준비된 결합재와 연마재를 혼합하는 단계;
    상기 샹크의 표면에 열팽창 완충재를 코팅하는 단계; 및
    상기 열팽창 완충재 코팅층위에 상기와 같이 준비된 혼합물을 용사코팅하여 연삭공구를 제조하는 단계를 포함하는 용사코팅법을 이용한 연삭공구의 제조방법
  31. 제30항에 있어서, 연마재는 다이아몬드, CBN 및 Ti가 표면에 코팅된 다이아몬드로 이루어진 그룹으로부터 선택된 1종인 것을 특징으로 하는 용사코팅법을 이용한 연삭공구의 제조방법
  32. 제31항에 있어서, 연마재의 크기가 1~500㎛인 것을 특징으로 하는 용사코팅 법을 이용한 연삭공구의 제조방법
  33. 제30항 내지 제32항 중의 어느 한 항에 있어서, 결합재가 Cu, Sn, Co, Cr, W 및 Ni로 이루어진 그룹으로부터 선택된 1종 또는 2종 이상을 포함하는 금속결합재이거나 또는 Si를 주성분으로 하고, 여기에, Al, Mg, Na, Ca, Li, B, Ti 및 K 원소로 이루어진 그룹으로부터 선택된 1종 또는 2종 이상을 포함하는 비트리파이드 결합재인 것을 특징으로 하는 용사코팅법을 이용한 연삭공구의 제조방법
  34. 제30항 내지 제32항 중의 어느 한 항에 있어서, 연마재의 함량이 2~60vol%인 것을 특징으로 하는 용사코팅법을 이용한 연삭공구의 제조방법
  35. 제33항에 있어서, 연마재의 함량이 2~60vol%인 것을 특징으로 하는 용사코팅법을 이용한 연삭공구의 제조방법
  36. 제30항 내지 제32항 중의 어느 한 항에 있어서, 샹크가 철계, Al 및 Al계로 이루어진 그룹으로부터 선택된 1 종으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 용사코팅법을 이용한 연삭공구의 제조방법
  37. 제33항에 있어서, 샹크가 철계, Al 및 Al계로 이루어진 그룹으로부터 선택된 1 종으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 용사코팅법을 이용한 연삭공구의 제조방 법
  38. 제34항에 있어서, 샹크가 철계, Al, 및 Al계로 이루어진 그룹으로부터 선택된 1 종으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 용사코팅법을 이용한 연삭공구의 제조방법
  39. 제35항에 있어서, 샹크가 철계, Al 및 Al계로 이루어진 그룹으로부터 선택된 1 종으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 용사코팅법을 이용한 연삭공구의 제조방법
  40. 제30항 내지 제32항 중의 어느 한 항에 있어서, 열팽창 완충재를 코팅시 플라즈마 발생 가스로는 유량 1∼34 Slpm의 수소 가스에 유량 25∼75 Slpm의 불활성 가스 또는 질소 가스를 혼합한 가스를 이용하고, 플라즈마 발생 전류 및 전압은 각각 300∼850A 및 30∼85V이고, 운송가스의 유량은 1∼10 Slpm이고, 용사거리는 10∼300mm이고, 그리고 용사코팅시간은 1초∼ 2시간이고; 그리고
    혼합물 용사 코팅 시 플라즈마 발생 가스로는 유량 1∼28 Slpm의 수소 가스에 유량 20∼75 Slpm의 불활성 가스 또는 질소 가스를 혼합한 가스를 이용하고, 플라즈마 발생 전류 및 전압은 각각 200∼600A 및 20∼60V이고, 운송가스의 유량은 1∼10 Slpm이고, 용사거리는 10∼300mm이고, 그리고 용사코팅시간은 1초∼ 2시간인 것을 특징으로 하는 용사코팅법을 이용한 연삭공구의 제조방법
  41. 제33항에 있어서, 열팽창 완충재를 코팅시 플라즈마 발생 가스로는 유량 1∼34 Slpm의 수소 가스에 유량 25∼75 Slpm의 불활성 가스 또는 질소 가스를 혼합한 가스를 이용하고, 플라즈마 발생 전류 및 전압은 각각 300∼850A 및 30∼85V이고, 운송가스의 유량은 1∼10 Slpm이고, 용사거리는 10∼300mm이고, 그리고 용사코팅시간은 1초∼ 2시간이고; 그리고
    혼합물 용사 코팅 시 플라즈마 발생 가스로는 유량 1∼28 Slpm의 수소 가스에 유량 20∼75 Slpm의 불활성 가스 또는 질소 가스를 혼합한 가스를 이용하고, 플라즈마 발생 전류 및 전압은 각각 200∼600A 및 20∼60V이고, 운송가스의 유량은 1∼10 Slpm이고, 용사거리는 10∼300mm이고, 그리고 용사코팅시간은 1초∼ 2시간인 것을 특징으로 하는 용사코팅법을 이용한 연삭공구의 제조방법
  42. 제34항에 있어서, 열팽창 완충재를 코팅시 플라즈마 발생 가스로는 유량 1∼34 Slpm의 수소 가스에 유량 25∼75 Slpm의 불활성 가스 또는 질소 가스를 혼합한 가스를 이용하고, 플라즈마 발생 전류 및 전압은 각각 300∼850A 및 30∼85V이고, 운송가스의 유량은 1∼10 Slpm이고, 용사거리는 10∼300mm이고, 그리고 용사코팅시간은 1초∼ 2시간이고; 그리고
    혼합물 용사 코팅 시 플라즈마 발생 가스로는 유량 1∼28 Slpm의 수소 가스에 유량 20∼75 Slpm의 불활성 가스 또는 질소 가스를 혼합한 가스를 이용하고, 플라즈마 발생 전류 및 전압은 각각 200∼600A 및 20∼60V이고, 운송가스의 유량은 1 ∼10 Slpm이고, 용사거리는 10∼300mm이고, 그리고 용사코팅시간은 1초∼ 2시간인 것을 특징으로 하는 용사코팅법을 이용한 연삭공구의 제조방법
  43. 제35항에 있어서, 열팽창 완충재를 코팅시 플라즈마 발생 가스로는 유량 1∼34 Slpm의 수소 가스에 유량 25∼75 Slpm의 불활성 가스 또는 질소 가스를 혼합한 가스를 이용하고, 플라즈마 발생 전류 및 전압은 각각 300∼850A 및 30∼85V이고, 운송가스의 유량은 1∼10 Slpm이고, 용사거리는 10∼300mm이고, 그리고 용사코팅시간은 1초∼ 2시간이고; 그리고
    혼합물 용사 코팅 시 플라즈마 발생 가스로는 유량 1∼28 Slpm의 수소 가스에 유량 20∼75 Slpm의 불활성 가스 또는 질소 가스를 혼합한 가스를 이용하고, 플라즈마 발생 전류 및 전압은 각각 200∼600A 및 20∼60V이고, 운송가스의 유량은 1∼10 Slpm이고, 용사거리는 10∼300mm이고, 그리고 용사코팅시간은 1초∼ 2시간인 것을 특징으로 하는 용사코팅법을 이용한 연삭공구의 제조방법
  44. 제36항에 있어서, 열팽창 완충재를 코팅시 플라즈마 발생 가스로는 유량 1∼34 Slpm의 수소 가스에 유량 25∼75 Slpm의 불활성 가스 또는 질소 가스를 혼합한 가스를 이용하고, 플라즈마 발생 전류 및 전압은 각각 300∼850A 및 30∼85V이고, 운송가스의 유량은 1∼10 Slpm이고, 용사거리는 10∼300mm이고, 그리고 용사코팅시간은 1초∼ 2시간이고; 그리고
    혼합물 용사 코팅 시 플라즈마 발생 가스로는 유량 1∼28 Slpm의 수소 가스 에 유량 20∼75 Slpm의 불활성 가스 또는 질소 가스를 혼합한 가스를 이용하고, 플라즈마 발생 전류 및 전압은 각각 200∼600A 및 20∼60V이고, 운송가스의 유량은 1∼10 Slpm이고, 용사거리는 10∼300mm이고, 그리고 용사코팅시간은 1초∼ 2시간인 것을 특징으로 하는 용사코팅법을 이용한 연삭공구의 제조방법
  45. 제37항 내지 제39항 중의 어느 한 항에 있어서, 열팽창 완충재를 코팅시 플라즈마 발생 가스로는 유량 1∼34 Slpm의 수소 가스에 유량 25∼75 Slpm의 불활성 가스 또는 질소 가스를 혼합한 가스를 이용하고, 플라즈마 발생 전류 및 전압은 각각 300∼850A 및 30∼85V이고, 운송가스의 유량은 1∼10 Slpm이고, 용사거리는 10∼300mm이고, 그리고 용사코팅시간은 1초∼ 2시간이고; 그리고
    혼합물 용사 코팅 시 플라즈마 발생 가스로는 유량 1∼28 Slpm의 수소 가스에 유량 20∼75 Slpm의 불활성 가스 또는 질소 가스를 혼합한 가스를 이용하고, 플라즈마 발생 전류 및 전압은 각각 200∼600A 및 20∼60V이고, 운송가스의 유량은 1∼10 Slpm이고, 용사거리는 10∼300mm이고, 그리고 용사코팅시간은 1초∼ 2시간인 것을 특징으로 하는 용사코팅법을 이용한 연삭공구의 제조방법
  46. 제40항에 있어서, 연삭공구가 연삭 휠, 다중형상 연삭 커터, 양두 연마휠, 연삭 정반, 에지 가공용 휠, CMP 패드가공용 휠 및 호닝스톤로 이루어진 연마공구 그룹 중에서 선택된 1종인 것을 특징으로 하는 용사코팅법을 이용한 연삭공구의 제조방법
  47. 제41항 내지 제44항 중의 어느 한 항에 있어서, 연삭공구가 연삭 휠, 다중형상 연삭 커터, 양두 연마휠, 연삭 정반, 에지 가공용 휠, CMP 패드가공용 휠 및 호닝스톤로 이루어진 연마공구 그룹 중에서 선택된 1종인 것을 특징으로 하는 용사코팅법을 이용한 연삭공구의 제조방법
  48. 제45항에 있어서, 연삭공구가 연삭 휠, 다중형상 연삭 커터, 양두 연마휠, 연삭 정반, 에지 가공용 휠, CMP 패드가공용 휠 및 호닝스톤로 이루어진 연마공구 그룹 중에서 선택된 1종인 것을 특징으로 하는 용사코팅법을 이용한 연삭공구의 제조방법
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