KR20090089646A - 모아레 무늬 촬영장치 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (7)
- 격자무늬를 발생하는 격자무늬 발생기와;상기 발생된 격자무늬를 이용하여 피사체를 검사하는 다수의 헤더로 구성되며,상기 격자무늬 발생기와 다수의 헤더가 이송장치에 결합되어 넓은 면적에 분포된 다수의 피사체를 이동하면서 동시에 검사하는 것을 특징으로 하는 모아레 무늬 촬영장치.
- 재 1항에 있어서,상기 격자무늬 발생기는 모아레 무늬를 획득하기 위한 빛을 제공하는 광원과;상기 빛을 평행광으로 변형하는 집광렌즈와;상기 변형된 평행광이 투과되어 격자무늬를 생성하는 투영격자; 및상기 격자무늬를 다수의 헤더에 전달하는 중계렌즈로 이루어진 것을 특징으로 하는 모아레 무늬 촬영장치.
- 제 2항에 있어서,상기 격자무늬를 생성하는 투영격자 이외에 DMD(Digital Micromirror Device)에 의해서 생성된 격자무늬로 중계렌즈에 전달되는 것을 특징으로 하는 모 아레 무늬 촬영장치.
- 제 1항에 있어서,상기 다수의 헤더는 각각 격자무늬를 반사하는 빔스플릿터와;상기 반사된 격자무늬를 피사체에 투영하는 투영렌즈와;상기 피사체에 결상된 격자무늬가 입사되는 결상렌즈와;상기 결상렌즈로부터 피사체에 결상된 격자무늬를 제공받는 CCD로 이루어진 것을 특징으로 하는 모아레 무늬 촬영장치.
- 제 4항에 있어서,상기 빔스플릿터는 격자무늬의 반사율이 1/(헤더의 개수) × 100%로 반사하는 것을 특징으로 하는 모아레 무늬 촬영장치.
- 제 1항에 있어서,상기 이송장치는 상기 격자무늬 발생기와, 다수의 헤더가 결합되는 거치대와;상기 거치대가 Y축 방향으로 이동하도록 형성된 Y축 레일로 이루어진 것을 특징으로 하는 모아레 무늬 촬영장치.
- 제 6항에 있어서,상기 거치대는 헤드마다 개별적으로 X축 방향으로 움직이는 것을 특징으로 하는 모아레 무늬 촬영장치.
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