KR20090084189A - 전자방출 특성이 향상된 필드 에미터의 제조방법 - Google Patents
전자방출 특성이 향상된 필드 에미터의 제조방법 Download PDFInfo
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Abstract
Description
Claims (14)
- 탄소나노튜브 에미터를 갖는 필드 에미터를 가온 용기에 넣은 후 온도를 서서히 증가시키고, 상기 증가되는 온도가 열처리 온도에 도달하면 온도 상승을 중지하고 원하는 시간만큼 유지하여 열처리하는 단계와;상기 열처리된 필드 에미터를 자연냉각 시킨 다음 불소용액에 함침시킨 후 건조시켜 불산처리하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 전자방출 특성이 향상된 필드에미터의 제조방법.
- 제 1 항에 있어서,상기 불산처리를 실시한 필드 에미터를 다시 가온 용기에 넣은 후 온도를 서서히 증가시키고, 상기 증가되는 온도가 열처리 온도에 도달하면 온도 상승을 중지하고 원하는 시간만큼 유지하여 열처리하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 전자방출 특성이 향상된 필드에미터의 제조방법.
- 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 열처리 온도까지 도달하는 시간은 100분 내지 140분인 것을 특징으로 하는 전자방출 특성이 향상된 필드에미터의 제조방법.
- 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 열처리 온도는 900 내지 1200℃인 것을 특징으로 하는 전자방출 특성이 향상된 필드에미터의 제조방법.
- 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 열처리 시간은 40 내지 80분인 것을 특징으로 하는 전자방출 특성이 향상된 필드에미터의 제조방법.
- 제 1 항에 있어서,상기 불소 용액의 농도는 1 내지 50%인 것을 특징으로 전자방출 특성이 향상된 필드에미터의 제조방법.
- 제 1 항에 있어서,상기 필드 에미터를 불소용액에 함침시키는 시간은 10 내지 40초인 것을 특징으로 하는 전자방출 특성이 향상된 필드에미터의 제조방법.
- 탄소나노튜브 에미터를 갖는 필드 에미터를 불소용액에 함침시킨 후 건조시켜 불산처리하는 단계와;상기 건조된 필드 에미터를 가온 용기에 넣은 후 온도를 서서히 증가시키고, 상기 증가되는 온도가 열처리 온도에 도달하면 온도 상승을 중지하고 원하는 시간만큼 유지시킨 다음 자연 냉각시키는 열처리 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 하는 전자방출 특성이 향상된 필드 에미터의 제조방법.
- 제 8 항에 있어서,상기 열처리된 필드 에미터를 불소용액에 함침시킨 후 건조시켜 불산처리하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 전자방출 특성이 향상된 필드 에미터의 제조방법.
- 제 8 항 또는 제 9 항에 있어서,상기 불소 용액의 농도는 1 내지 50%인 것을 특징으로 전자방출 특성이 향상된 필드에미터의 제조방법.
- 제 8 항 또는 제 9 항에 있어서,상기 필드 에미터를 불소용액에 함침시키는 시간은 10 내지 40초인 것을 특징으로 하는 전자방출 특성이 향상된 필드에미터의 제조방법.
- 제 8 항에 있어서,상기 열처리 온도까지 도달하는 시간은 100분 내지 140분인 것을 특징으로 하는 전자방출 특성이 향상된 필드에미터의 제조방법.
- 제 8 항에 있어서,상기 열처리 온도는 900 내지 1200℃인 것을 특징으로 하는 전자방출 특성이 향상된 필드에미터의 제조방법.
- 제 8 항에 있어서,상기 열처리 온도에서 필드 에미터를 노출시키는 열처리 시간은 40 내지 80분인 것을 특징으로 하는 전자방출 특성이 향상된 필드에미터의 제조방법.
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