KR20090069736A - 스크류 펌프를 이용한 대용량 진공 챔버 배기방법 및배기시스템 - Google Patents

Abstract

본 발명은 대용량 진공 챔버 배기방법 및 대용량 진공 챔버 배기시스템에 관련된 것이다. 본 발명에 의한 대용량 진공챔버 배기시스템은 진공챔버와, 상기 진공챔버에 연결된 부스터펌프와, 상기 부스터펌프에 직렬로 연결된 메인펌프와, 상기 부스터펌프와 상기 메인펌프 사이에 연결된 버퍼탱크를 구비하는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 의한 대용량 진공 챔버 배기방법은, 상기 펌프로 상기 버퍼 탱크를 제1 진공상태로 배기하는 단계와, 상기 버퍼 탱크를 차단하여 상기 제1 진공상태를 유지하는 단계와, 상기 펌프시스템으로 상기 진공챔버를 제2 진공상태로 배기하는 단계와, 상기 버퍼 탱크를 열어 상기 펌프시스템의 부하를 경감하여 상기 진공챔버의 배기작업을 가속화하는 단계와, 상기 진공챔버가 제3진공상태가 되면 상기 진공챔버를 차단하는 단계와, 상기 펌프시스템으로 상기 버퍼 탱크를 다시 상기 제1진공상태로 배기하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 의한 대용량 진공 챔버 배기시스템은, 미리 진공 상태로 만들어 놓은 버퍼 탱크를 연결하여, 진공 펌프의 부하를 줄이고, 진공 작업 속도를 향상시키는 효과가 있다.

대용량 진공시스템, 버퍼 탱크 진공 시스템, 스크류 펌프

Description

스크류 펌프를 이용한 대용량 진공 챔버 배기방법 및 배기시스템{METHOD FOR PUMPING LARGE CHAMBER USING SCREW PUMP AND LARGE CHAMBER PUMPING SYSTEM THEREBY}

본 발명은 대용량 진공 챔버 배기방법 및 대용량 진공 챔버 배기시스템에 관련된 것이다. 특히, 본 발명은 대형 평판 디스플레이 생산 장비 중 하나인 대용량 로드락 챔버를 짧은 시간 내에 배기하면서 진공 펌프의 부하를 줄일 수 있는 스크류 펌프를 이용한 대용량 진공 챔버 배기방법 및 그 방법에 의한 대용량 진공 챔버 배기시스템에 관련된 것이다.

정보화 사회가 발전함에 따라, 비디오 정보를 처리하고 보여주는 디스플레이 기술이 획기적으로 발전할 수 있는 계기가 되었다. 특히, 디스플레이 기술은 디지털 비디오 처리 기술의 발전에 힘입어, 점점 더 커지고, 그 두께는 얇아지며, 화질의 선명도는 더욱 정밀해지는 추세로 발전하고 있다. 이러한 대형화 및 박형화 디스플레이 제품들에는 대표적으로 LCDP (Liquid Crystal Display Panel), PDP (Plasma Display Panel) 및 OLEDP (Organic Light Emission Display Panel)과 같은 것들이 있다. 이와 같은 평판 디스플레이의 크기가 점점 커짐에 따라, 생산에 사 용되는 원판 유리 기판의 크기 역시 계속하여 커진다. 또한, 생산자의 입장에서 보면, 이 원판 유리 기판을 처리하는 진공 챔버 (특히, 로드락 챔버 - LoadLock Chamber) 크기 역시 증가하여야 한다. 진공 챔버의 크기가 커진다는 것은 기존 진공 펌프시스템이 배기하여야 할 기체 배기량이 증가하여야 한다는 것을 의미한다. 또한 장비의 생산성을 확보하기 위해 짧은 시간내에 대형 진공 챔버 내의 기체를 배기하기 위해서는 진공 펌프시스템의 배기 용량 및 속도가 커지거나 진공 펌프의 대수를 증가시켜야 한다는 것을 의미한다.

우선, 일반적으로 평판 디스플레이 분야에서 사용하고 있는 로드락 챔버의 배기시스템에 대하여 살펴본다. 일반적으로, 평판 디스플레이 제조 공정은 고진공 상태에서 이루어진다. 즉, 대기압 상태에 놓인 유리 기판을 고진공 상태인 처리 공정으로 투입하여야 한다. 이 과정에서, 고진공 상태인 처리 공정을 구성하는 챔버의 진공 환경을 가급적 그대로 유지한 채 유리기판을 투입하는 것이 필요하다. 이를 위해 일반적으로, 로드락 챔버를 처리 공정 챔버 이전에 구성한다. 로드락 챔버는 대기압 상태에서 유리 기판을 수령한 후, 처리공정과 동일한 진공 상태로 만든 뒤, 처리 공정 챔버(혹은 트랜스퍼 챔버)로 유리 기판을 전달하는 역할을 수행하는 챔버이다. 생산 라인을 설계하는 기준인 생산 수율을 유지하기 위해, 로드락 챔버는 가급적 빠른 시간 내에 고진공 상태로 만들어야 한다. 하여, 로드락 챔버에는 성능이 우수한 배기시스템을 갖추어야 한다. 도 1은 종래에 사용하고 있는 로드락 챔버를 진공으로 만드는 배기시스템의 개략적인 구성을 나타내었다.

도 1을 참조하면, 종래의 로드락 진공 챔버 배기시스템은 로드락 챔버(혹은, 챔버)(1)에 연결된 배기배관(51)과 상기 배기배관(51)에 연결된 펌프시스템(53)으로 구성된다. 상기 로드락 챔버(1)와 배기배관(51) 사이에는 로드락 챔버(1) 내의 진공 상태를 펌프시스템(55)과 연결 및 차단을 해주는 밸브시스템(53)이 연결되어 있다. 진공이 시작될 때와 어느 정도 시작된 후의 상태에서 공기를 배출 유동의 양을 일정하게 유지하기 위해 밸브 시스템(53)은 메인 밸브(3)와 상기 메인 밸브(3)보다 관경이 작은 보조 밸브(5)로 구성되어 있다. 상기 밸브 시스템(53)을 통해 상기 로드락 챔버(1) 내의 공기를 배출하기 위해 연결된 펌프시스템(55)은 부스터 펌프(Booster Pump)(7)와 메인 펌프(Main Pump)(9)가 직렬로 연결되어 있다. 메인 펌프(9)는 펌프시스템(55)의 기본이 되는 펌프로서 진공작업 초기인 대기압 상태에서 진공 작업 부하가 가장 많이 걸리는 펌프이다. 어느 정도 진공이 형성되고 난 후의 진공 작업은 부스터 펌프(7)에 의해 이루어지고, 메인 펌프(9)는 부스터 펌프(7)가 배출하는 공기들을 후단에서 받아 외부로 내보내는 애프터 펌프(After Pump)로서의 역할을 수행한다. 일반적으로 반도체 공정이나 평판 디스플레이 공정에서, 메인 펌프(9)는 오일을 사용하지 않는 건식(Dry) 펌프를 주로 사용한다.

이와 같은 로드락 진공 챔버 배기시스템에서 배기방법을 살펴보면 다음과 같다. 산업용으로 사용하는 로드락 챔버의 경우에, 펌프시스템(55)은 항상 가동 중인 상태에 있다. 그리고, 밸브 시스템(53)을 이용하여, 로드락 챔버(1)에 대해 진공 작업을 수행하든지, 펌프시스템(55)과 로드락 챔버(1)의 연결을 차단하든지 한다. 초기 상태에는, 상기 밸브 시스템(53)을 닫아 로드락 챔버(1)를 대기압 상태 로 한 후, 유리 기판(11)을 로드락 챔버(1) 안에 적재한다. 로드락 챔버(1)를 완전 밀폐한 후, 밸브시스템(53)의 보조밸브(5)를 먼저 개방하여 배기를 시작한다. 로드락 챔버(1)가 어느 정도 진공도에 이르면, 메인 밸브(3)를 열어 본격적인 배기 작업을 수행한다. 이렇게 하는 이유는, 초기에는 로드락 챔버(1) 내에는 많은 양의 공기가 채워진 상태이므로 처음부터 관경이 큰 메인밸브(3)로 진공작업을 시작하면, 일시에 챔버(1) 내의 공기가 빠져 나가면서 순간 진공도가 높아진다. 그러면, 내부 환경에 갑작스런 충격이 가해지고, 이로 인해 내부에 장착한 유리기판(11)이 깨질 수 있다. 산업상 사용하는 로드락 챔버(1) 안에서 유리가 깨져 그 가루가 비산 하면, 전체 공정을 멈추고, 내부 청소 및 수리를 수행하여야 하므로 엄청난 손실이 발생한다. 하여, 진공작업 처음부터 갑작스런 배기로 인한 충격이 발생하는 것을 막기 위해 처음에는 관경이 작은 보조밸브(5)로 배기를 하다가 정상적인 관경을 갖는 메인밸브(3)로 진공작업을 수행하는 것이 바람직하다. 상기 로드락 챔버(1)가 목표 진공도에 도달하면, 상기 밸브시스템(53)의 메인 밸브(3) 및 보조 밸브(5)를 모두 닫는다. 그리고, 로드락 챔버(1) 내에 적재된 유리 기판(11)을 동일한 진공 상태를 유지하며 로드락 챔버(1)와 이웃하는 후속 처리공정 챔버(21)로 전달한다.

이와 같은 로드락 진공 챔버 배기시스템에서 더 큰 유리 기판(11)을 사용하기 위해서는 상기 로드락 챔버(1)의 크기가 더 커져야 한다. 이때, 로드락 챔버(1)를 진공상태로 만들기 위해서는, 펌프시스템(55)의 시간당 배기량이 커지거나, 시간당 배기 속도가 더 빨라야 한다. 그렇게 하기 위해서, 우선 생각할 수 있 는 가장 간단한 것이 전체적인 배기시스템의 구성에 변화를 주지 않고, 단지 용량이 큰 펌프시스템(55)을 사용하는 것이다. 하지만, 대용량 펌프시스템(55)을 사용한 배기시스템은 첫째 고가의 대용량 펌프들을 구입 사용하여야 하는 문제와, 둘째 소비전력이 많이 드는 문제(환경에 대한 영향), 그리고 세 번째로 부스터 펌프(7)와 메인 펌프(9)에 부하가 반복적으로 많이 걸려 고장을 쉽게 유발할 수 있다는 것이다.

대용량 로드락 진공 챔버를 사용함에 있어, 배기 능력을 향상시키기 위해 제안된 종래의 다른 기술로는, 도 2에 나타난 바와 같이, 종래의 펌프시스템 여러 세트를 병렬로 연결한 병렬 배기시스템이 있다.

도 2를 참조하여, 종래의 대용량 로드락 진공 챔버를 진공상태로 만드는데 적용한 병렬 배기시스템의 구성을 살펴보면 다음과 같다. 로드락 챔버(1)와 상기 로드락 챔버(1)에 연결된 배기배관(51)과 상기 배기배관(51)에 연결된 펌프시스템(55)으로 구성된다. 상기 로드락 챔버(1)와 배기배관(51) 사이에는 로드락 챔버(1) 내의 진공 상태를 펌프시스템(55)과 연결 및 차단을 해주는 밸브시스템(53)이 연결되어 있다. 진공이 시작될 때와 어느 정도 시작된 후의 상태에서 공기 배출 유동의 양을 일정하게 유지하기 위해 밸브 시스템(53)은 메인 밸브(3)와 상기 메인 밸브(3)보다 관경이 작은 보조 밸브(5)로 구성되어 있다. 상기 밸브 시스템(53)을 통해 상기 로드락 챔버(1) 내의 공기를 배출하기 위해 연결된 펌프시스템(55)은 직렬로 연결된 부스터 펌프(7a, 7b, ..., 7n)와 메인 펌프(9a, 9b, ..., 9n)를 한 펌프세트(55a, 55b, ..., 55n)로 하여 여러 개가 병렬로 연결되어 있다.

이와 같은 로드락 진공 챔버용 병렬 배기시스템에서 배기방법을 살펴보면 다음과 같다. 마찬가지로, 펌프시스템(55)의 부스터 펌프(7a, 7b, ..., 7n)와 메인 펌프(9a, 9b, ..., 9n)는 항상 가동중인 상태에 있다. 밸브 시스템(51)을 모두 닫아 로드락 챔버(1)를 대기압 상태로 하고, 유리 기판(11)을 적재한다. 로드락 챔버(1)를 완전 밀폐한 후, 밸브시스템(53)의 보조밸브(5)를 먼저 개방하여 배기를 시작한다. 로드락 챔버(1)가 어느 정도 진공도에 이르면, 메인 밸브(3)를 열어 본격적인 배기 작업을 수행한다. 상기 로드락 챔버(1)가 목표 진공도에 도달하면, 상기 밸브시스템(53)의 메인 밸브(3) 및 보조 밸브(5)를 모두 닫는다. 그리고, 로드락 챔버(1) 내에 적재된 유리 기판(11)을 동일한 진공 상태를 유지하며 로드락 챔버(1)와 이웃하는 후속 처리공정 챔버(21)로 전달한다.

이와 같은 병렬 배기시스템은 여러 대의 부스터 펌프(7a, 7b, ..., 7n) 및 메인 펌프(9a, 9b, ..., 9n)를 사용하므로, 클린 룸내 공간 문제, 배관의 추가 설치 문제, 소비 전력 문제 등이 여전히 해결해야 할 큰 문제점으로 남는다.

종래 기술에 의한 대용량 진공 챔버 배기방법 및 배기시스템에서 진공펌프의 용량을 키우거나 그 개수를 늘리는 것은 진공펌프 구입에 필요한 초기 투자비가 증가뿐만 아니라 운용 비용이 증가하는 등 비용적인 문제점들을 수반하게 된다. 또한, 이 같이 대형 혹은 다량의 진공펌프를 구동하기 위한 주변 설비가 복잡해지고 설치 공간적인 문제점도 발생한다.

따라서, 본 발명의 목적은 진공 펌프의 용량을 증대시키지 않으면서 로드락 챔버를 배기하는데 필요한 시간을 확보하는 배기방법 및 그 배기방법에 의한 배기시스템을 제공하는 데 있다. 또한, 본 발명의 목적은 진공 펌프의 개수를 늘이지 않고도 로드락 챔버를 배기하는데 필요한 시간을 확보하는 배기방법 및 그 배기방법에 의한 배기시스템을 제공하는 데 있다. 또 다른 본 발명의 목적은 기존의 펌프 시스템에서 버퍼 탱크를 사용함으로써 펌프의 개수를 줄이고 로드락 챔버를 진공하는데 필요한 배기 시간을 확보하는 배기방법 및 그 배기방법에 의한 배기시스템을 제공하는 데 있다.

상기 본 발명의 목적을 달성하기 위해 본 발명은 진공챔버와, 상기 진공챔버에 연결된 부스터펌프와, 상기 부스터펌프에 직렬로 연결된 메인펌프와, 상기 부스터펌프와 상기 메인펌프 사이에 연결된 제1 버퍼탱크를 구비하는 것을 특징으로 하는 대용량 진공챔버 배기시스템을 제공한다. 또한 본 발명은 상기 부스터 펌프와 병렬로 상기 진공챔버에 연결된 제2 버퍼탱크를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 대용량 진공챔버 배기시스템을 제공한다.

상기 본 발명의 목적을 달성하기 위해 본 발명은 진공챔버와, 상기 진공챔버에 연결된 부스터펌프와, 상기 부스터펌프에 직렬로 연결된 메인펌프와, 상기 부스터펌프와 상기 메인펌프 사이에 연결된 버퍼탱크를 구비하는 대용량 진공챔버 배기시스템에 있어서: 상기 부스터펌프 및 상기 메인펌프로 상기 버퍼탱크를 제1진공상태로 배기하는 단계와; 상기 버퍼탱크를 차단하여 상기 제1진공상태를 유지하는 단계와; 상기 부스터펌프 및 상기 메인펌프로 상기 진공챔버를 제2진공상태로 배기하는 단계와; 상기 버퍼탱크를 열어서, 상기 메인펌프의 부하를 경감하여, 상기 진공펌프의 배기작업을 가속화하는 단계와; 상기 진공챔버가 제3진공상태가 되면 상기 진공챔버를 차단하는 단계와; 상기 부스터펌프 및 상기 메인펌프로 상기 버퍼탱크를 다시 상기 제1진공상태로 배기하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 대용량 진공챔버 배기방법을 제공한다.

본 발명에 의하면 기존 방식에 비해 다음과 같은 효과를 얻을 수 있다. 첫 째, 본 발명은 종래 기술에 의한 대용량 로드락 챔버를 배기할 때 필요한 진공 펌프 대수보다 적은 펌프 대수를 이용하여 같은 시간 내 또는 더 짧은 시간 내에 배기할 수 있다. 두 번째, 본 발명은 진공 펌프의 부하를 줄여주기 때문에, 로드락 챔버를 반복적으로 진공과 대기 상태를 전환함에 따라 진공 펌프에 대한 부하가 반복적으로 가중되어 발생하는 진공 펌프의 잦은 고장을 방지할 수 있다. 세 번째, 본 발명은 배기작업에 필요한 진공 펌프의 대수를 줄여주기 때문에, 진공 펌프 각각에 대한 유지/보수 작업이 그만큼 줄어들어 경제적 이점이 있다. 네 번째, 본 발명은 배기에 필요한 진공 펌프의 대수가 줄기 때문에 그만큼 소비 전력을 줄일 수 있다. 다섯 번째, 본 발명은 배기에 필요한 진공 시스템을 컴팩트하게 하기 때문에, 기존 방식에 비해 초기 설치 투자비가 적게 든다. 여섯 번째, 본 발명에 의하면 점진적으로 압력차를 줄 수 있어서, 종래 기술에서 발생하는 초기 배기 단계에서 급격한 압력차로 인한 유리 기판 파손 문제를 근본적으로 해결할 수 있다.

상기 본 발명의 목적을 달성하고, 상기 본 발명의 효과를 얻기 위한 구체적인 본 발명의 실시 예들을 설명한다. 본 발명에 의한 배기시스템에서는 용량이 커진 로드락 챔버 내의 공기를 빠른 시간 내에 효율적으로 배기하기 위해 스크류 로터형 진공 펌프를 사용하며, 버퍼 탱크를 적용하였다. 다음 여러 실시 예들에서는 배기시스템에서 버퍼 탱크를 구성하는 여러 방법들을 중심으로 설명한다.

<제1 실시 예>

도 3은 본 발명의 제1 실시 예에 의한 대용량 진공 챔버 배기시스템의 개략적인 구성을 나타내는 도면이다. 로드락 챔버(101)와 상기 로드락 챔버(101)에 연결된 배기배관(151)과 상기 배기배관(151)에 연결된 펌프시스템(155)으로 구성된다. 상기 로드락 챔버(101)와 배기배관(151) 사이에는 로드락 챔버(101) 내의 진공 상태를 펌프시스템(155)과 연결 및 차단을 해주는 메인 밸브(103)와 보조 밸브(105)가 연결되어 있다. 보조 밸브(105)는, 앞에서 설명한 바와 같이, 진공이 시작될 때 갑작스런 진공 형성시 발생하는 급격한 압력차를 방지하기 위해 병렬로 설치된 것으로 상기 메인 밸브(103)보다 관경이 작은 것이 보통이다.

상기 로드락 챔버(101) 내의 공기를 배출하기 위해 연결된 펌프시스템(155)은 부스터 펌프(107)와 메인 펌프(109)가 직렬로 연결되어 있다. 그리고, 상기 부스터 펌프(107)와 상기 메인 펌프(109) 사이에 버퍼 탱크(201)가 연결되어 있다. 또한, 버퍼 탱크(201) 앞 단에는 탱크밸브(203)를 구비하여 버퍼탱크(201)를 배기배관(151)과 연결 및 차단한다.

이와 같은 제1 실시 예에 의한 대용량 진공 챔버 배기시스템에서 배기방법을 살펴보면 다음과 같다. 부스터 펌프(107)와 메인 펌프(109)는 항상 가동 중에 있다. 항상 작동하는 부스터 펌프(107)와 메인펌프(109)를 이용하여, 상기 버퍼 탱크(201)를 항상 진공 상태를 유지하도록 한다. 일단 버퍼탱크(201)가 목표 진공도에 도달하면, 탱크밸브(203)를 닫아 진공상태를 유지시킨다. 초기 상태에서는, 메인 밸브(103) 및 보조 밸브(105)를 모두 닫아, 로드락 챔버(101)를 대기압 상태로 만든다. 대기압 상태에서, 로드락 챔버(101) 안에 유리기판(111)을 장착한 후, 로드락 챔버(101)를 밀봉한다. 보조밸브(105)를 먼저 열어 진공 배기작업을 시작한다. 보조밸브(105)로 배기가 잠시 진행 한 후, 메인밸브(103)을 열어 본격적인 진공 배기 작업을 진행한다. 진공 배기 작업의 초기 상태에는 주로 메인 펌프(109)에 부하가 걸린다. 따라서, 메인펌프(109) 앞단에 직렬 연결된 부스터 펌프(107)가 메인 펌프(109)를 막고 있는 형국이 되어, 메인펌프(109)의 부하가 가중된다. 이러한 현상은, 로드락 챔버(101)가 대형화될 수록 즉, 배기해야할 공기의 양이 많 을수록 더 심각하게 발생한다. 이러한 시점에서, 탱크 밸브(203)를 열면, 버퍼 탱크(201)의 높은 진공도에 의해 로드락 챔버(101) 내의 공기가 버퍼 탱크(201) 쪽으로 대량 이동하게 된다. 즉, 부스터 펌프(107)를 통해 배기 작업을 하는 메인펌프(109)의 부하를 경감하여 줌으로써, 메인펌프(109)의 효율을 높여주어, 배기 작업은 더욱 빠르게 진행한다. 버퍼 탱크(201)의 효과는 로드락 챔버(101)와 버퍼 탱크(201)의 진공도가 유사할 때까지 유지된다. 이 시점에서, 메인펌프(109)의 입장에서 보면, 메인펌프(109) 앞단의 상태는 동일한 진공도를 갖게 되므로, 실제 작업에 필요없는 버퍼탱크(201) 내의 공기도 배기하여 하는 부담을 갖는다. 따라서, 적절한 시기에 탱크밸브(203)을 닫아 버퍼탱크(201)을 제외한 공간 내의 공기만을 배기하도록 하는 것이 더욱 바람직하다. 상기 로드락 챔버(101)가 목표 진공도에 도달하면, 상기 메인 밸브(103) 및 보조 밸브(105)를 모두 닫는다. 그리고, 로드락 챔버(101) 내에 적재된 유리 기판(111)을 동일한 진공 상태를 유지하며 로드락 챔버(101)와 이웃하는 처리공정 챔버(121)로 전달한다. 필요한 경우, 닫아 두었던 탱크 밸브(203)을 다시 열어, 버퍼 탱크(201)의 진공도를 더욱 높일 수도 있다. 버퍼 탱크(201)가 원하는 진공도를 가지면, 탱크 밸브(203)를 다시 닫는다.

제1 실시 예에서는 버퍼 탱크(201)을 배기배관(151)에 연결하는 탱크 밸브(203)을 적절한 타이밍에 개방 혹은 폐쇄를 반복하여, 전체 시스템의 배기 능력을 최적의 상태로 유지하도록 하였다. 전체 시스템을 설계하는 방법에 따라 달라 질 수 있으며, 예를 들어,탱크(203) 밸브는 항상 열어두거나, 메인밸브(103)가 열린 후 열리고, 메인 밸브(103)가 닫힌 후 닫히도록 구성할 수도 있다.

<제2 실시 예>

도 4는 본 발명의 제2 실시 예에 의한 대용량 진공 챔버 배기시스템의 개략적인 구성을 나타내는 도면이다. 제2 실시 예에 의한 배기시스템은 로드락 챔버(101)와, 로드락 챔버(101)에 연결된 배기배관(151)과, 상기 배기배관(151)에 연결된 펌프시스템(155)으로 구성된다. 상기 로드락 챔버(101)와 배기배관(151) 사이에는 로드락 챔버(101) 내의 진공 상태를 펌프시스템(155)과 연결 및 차단을 해주는 메인 밸브(103)와 보조 밸브(105)가 연결되어 있다. 상기 로드락 챔버(101) 내의 공기를 배출하기 위해 연결된 펌프시스템(155)은 부스터 펌프(107)와 메인 펌프(109)가 직렬로 연결되어 있다. 그리고, 제1 버퍼 탱크(301)가 상기 부스터 펌프(107)와 병렬로 로드락 챔버(101)에 연결되어 있고, 상기 제1 버퍼 탱크(301) 앞 단에는 제1 탱크 밸브(303)가 설치되어 제1 버퍼탱크(301)을 배기배관(151)과 연결 및 차단한다. 이에 덧붙여, 상기 메인 펌프(109)와 부스터펌프(107) 사이에는 제2 버퍼 탱크(401)가 연결되어 있다. 그리고, 제2 버퍼 탱크(401) 앞 단에는 제2 탱크밸브(403)이 설치되어 제2 버퍼탱크(401)을 배기배관(151)과 연결 및 차단한다. 즉, 앞에서 설명한 제1 실시 예의 경우와 비교하면, 상기 배기배관(151)에 연결된 펌프시스템(155)에서 상기 부스터 펌프(107)와 병렬로 로드락 챔버(101)에 연결된 제1 버퍼 탱크(301)를 더 구비하고 있다.

이와 같은 제2 실시 예에 의한 대용량 진공 챔버 배기시스템에서 배기방법을 살펴보면 다음과 같다. 부스터 펌프(107)와 메인 펌프(109)는 항상 가동 상태에 있다. 하여, 제1 및 제2 탱크밸브(303, 403)를 이용하여, 제1 및 제2 버퍼탱크(301, 401)를 목표 진공상태로 만들어 놓는다. 보통, ~×10^-3Torr의 진공도를 갖도록 설정한다. 초기 상태에서는 상기 메인 밸브(103) 및 보조 밸브(105)가 모두 닫혀 있고, 로드락 챔버(101)는 대기압 상태(1013mbar)로 되어 있다. 이 상태에서, 유리 기판(111)을 로드락 챔버(101) 내로 투입한다. 일단 유리 기판(111)이 로드락 챔버(101) 내로 안착 되면, 로드락 챔버(101)를 밀봉한다. 보조밸브(105)를 먼저 개방하여 배기를 시작한다. 어느 정도 진공 작업을 진행하여, 진공 배출이 안전이 되면 메인밸브(103)을 열어 본격적인 배기 작업을 시작한다. 수초가 지난 후, 제1 탱크밸브(303)를 열어서, 로드락 챔버(101) 내의 공기를 로드락 챔버(101)와 제1 버퍼탱크(301)의 진공도 차이에 의해 제1 버퍼탱크(301)로 대량 배기시킨다. 즉, 제1 버퍼탱크(301)는 별도의 진공 펌프 역할을 수행한다. 메인 펌프(109)의 입장에서 보면, 로드락 챔버(101)의 부피가 커져서 진공작업 초기에 감당해야할 부하가 상당히 증가한 것이 문제가 된다. 그러나, 본 실시 예에 의하면, 제1 버퍼탱크(301)로 인해 전체 진공도가 초기에 상당히 떨어진 상태이므로 (약 300Torr 정도) 메인 펌프(109)가 진공 초기에 감당해야할 부하가 상당히 경감된 상태로 바뀐다. 하여, 메인 펌프(109)의 성능을 진공 초기 작업부터 고성능으로 유지할 수 있다. 더욱이, 초기 전체 진공도가 높아진다는 것은, 부스터 펌프(107)가 메인 펌프(109) 앞 단에서 초기 진공작업시 장애물로 역할을 하던 것 문제점을 동시에 해결하여 준다. 하여, 부스터 펌프(107)가 진공 초기 작업시 더 이상 메인펌프(109)에 부하를 가중시키지 않고, 빠른 시간 내에 자신의 역할을 수행할 수 있게 된다. 또한, 제1 버퍼 탱크(301)는 진공펌프가 구비하여야 하는 복잡한 설비를 갖추지 않고도 추가적인 진공 펌프로서의 역할을 충분히 하여, 아주 좋은 배기 효율을 나타낸다. 이후 배기 작업이 어느 정도 진행되면, 로드락 챔버(101)와 제1 버퍼 탱크(301)의 진공도는 같아지고, 계속 같이 진공도가 떨어지는 상태가 된다. 따라서, 제1 버퍼탱크(301)의 역할은 더 이상 없게 된다. 오히려, 제1 버퍼탱크(301)가 처음 개방되어 로드락 챔버(101) 내의 공기를 흡수하고 난 직후부터는, 제1 버퍼탱크(301) 내의 공기도 부스터 펌프(107)과 메인 펌프(109)가 배기하여야 한다. 따라서, 메인 펌프(109) 입장에서 보면, 제1 버퍼탱크(301)는 추가적인 부하로 보인다. 그러므로, 이 순간에는 제1 버퍼 탱크(301)의 제1 탱크 밸브(303)를 닫는 것이 전체 배기 공정에 도움이 되기도 한다. 초기 배기 작업의 효율이 높아지고, 메인 밸브(103)에 의한 배기 작업이 주도적으로 진행되기 시작할 때쯤에, 제2 탱크 밸브(403)를 연다. 그러면, 제1 실시 예에서와 마찬가지로, 제2 버퍼탱크(401)의 높은 진공도에 의해 부스터 펌프(107)를 통해 배기된 공기 제2 버퍼 탱크(401)로 대량 흡수하게 된다. 즉, 부스터 펌프(107)에서 배기된 공기를 받아 외부로 배기하는 메인펌프(109)의 부하를 더욱 경감하여 줌으로써, 메인펌프(109)의 효율을 높여주고, 배기 작업을 더욱 빠르게 진행시킨다. 제2 버퍼탱크(401)의 구체적인 작동 방법은 상기 실시 예 1과 동일하므로, 중복되는 설명은 생략한다. 상기 로드락 챔버(101)가 목표 진공도에 도달하면(약 0.4mbar=0.3Torr), 상기 메인 밸브(103) 및 보조 밸브(105)를 모두 닫는다. 그리 고, 로드락 챔버(101) 내에 적재된 유리 기판(111)을 동일한 진공 상태를 유지하며 로드락 챔버(101)와 이웃하는 후속 처리공정 챔버(121)로 전달한다. 필요한 경우, 제2 탱크 밸브(403)는 계속 열어두어, 제2 버퍼탱크(401)의 진공도를 더욱 높일 수도 있다. 경우에 따라서는 닫혀 있을 수도 있는 제1 탱크 밸브(303)도 열어서 제1 버퍼탱크(301)의 진공도를 높인다. 제1 및 제2 버퍼탱크(301, 401)가 원하는 진공도를 가지면, 제1 및 제2 탱크밸브(303, 403)들도 모두 닫는다.

제2 실시 예에서는 앞에서 설명한 제1 실시 예에 추가적인 버퍼 탱크를 부스터 펌프와 병렬로 연결하였다. 즉, 제1 버퍼탱크(301)는 또 다른 진공 펌프와 동일한 역할을 담당하여 로드락 챔버(101) 내의 공기를 더욱 빠른 시간 내에 배기할 수 있도록 도와준다. 또한, 제1 실시 예와 마찬가지로 제2 버퍼탱크(401)를 구성하여, 부스터 펌프(107)와 메인 펌프(109)의 성능 및 효율을 더욱 극대화 시켜 빠른 시간 내에 대용량 로드락 챔버(101)를 배기 시킬 수 있다.

<제3 실시 예>

도 5는 본 발명의 제3 실시 예에 의한 대용량 진공 챔버 배기시스템의 개략적인 구성을 나타내는 도면이다. 제3 실시 예에 의한 배기시스템은 기본적으로 구성요소는 상기 제1 실시 예와 동일한 구성 요소를 포함하되, 그 연결 방법은 상기 제2 실시 예의 방법을 참조한 것이다. 즉, 로드락 챔버(101)와, 로드락 챔버(101)에 연결된 배기배관(151)과, 상기 배기배관(151)에 연결된 펌프시스템(155)으로 구성된다. 상기 로드락 챔버(101)와 배기배관(151) 사이에는 로드락 챔버(101) 내의 진공 상태를 펌프시스템(155)과 연결 및 차단을 해주는 메인 밸브(103)와 보조 밸 브(105)가 연결되어 있다. 상기 로드락 챔버(101) 내의 공기를 효율적으로 배출하기 위해 연결된 펌프시스템(155)은 부스터 펌프(107)와 메인 펌프(109)가 직렬로 연결되어 있다. 그리고, 버퍼 탱크(201)가 상기 부스터 펌프(107)와 로드락 챔버(101)에 병렬로 연결되어 있다. 이와 동시에, 상기 버퍼 탱크(201)이 상기 메인 펌프(109)와 부스터 펌프(107) 사이에 연결되어 있다. 그리고, 버퍼 탱크(201) 앞 단 중 로드락 챔버(101)과 직접 연결되는 배기배관(151)에는 탱크밸브1(205)이 장착되고, 진공 펌프(107, 109) 쪽으로는 탱크밸브2(203)가 장착된다. 즉, 앞에서 설명한 제1 실시 예의 경우와 비교하면, 상기 부스터 펌프(107)와 메인 펌프(109) 사이에 연결된 버퍼탱크(201)가 동시에 부스터 펌프(107)와 로드락 챔버(101)에 병렬로 연결되어 있다. 또한, 앞에서 설명한 제2 실시 예와 비교하면, 제1 및 제2 버퍼탱크(301, 401)들이 개별적으로 구성되어 있지 않고, 하나의 버퍼탱크(201)에 배관을 변경하여 구성한 점이 다르다.

이와 같은 제3 실시 예에 의한 대용량 진공 챔버 배기시스템에서 배기방법을 살펴보면 다음과 같다. 부스터 펌프(107)과 메인 펌프(109)에 의해 버퍼탱크(201)은 목표 진공도를 유지한 상태에 있다. 초기 상태에서는 상기 메인 밸브(103) 및 보조 밸브(105)가 모두 닫혀, 로드락 챔버(101)는 대기압 상태로 되어 있다. 이 상태에서, 유리 기판(111)을 로드락 챔버(101) 내로 투입한다. 일단 유리 기판(111)이 로드락 챔버(101) 내로 안착 되면, 로드락 챔버(101)를 밀봉한다. 그리고 나면, 보조밸브(105)를 먼저 개방하여 배기를 시작한다. 어느 정도 배기가 진행되고 나면, 메인밸브(103)을 열어 본격적인 배기를 시작한다. 이때, 버퍼탱크(201)을 로드락 챔버(101)과 연결하고 있는 탱크밸브1(205)를 연다. 그러면, 로드락 챔버(101) 내의 공기는 로드락 챔버(101)와 버퍼탱크(201)의 진공도 차이에 의해 버퍼탱크(201)로 대량 배기 된다. 즉, 버퍼탱크(201)는 진공 작업 초기에 로드락 챔버(101) 내의 공기를 일시에 흡수하여 전체 진공도를 높여주는 역할을 수행한다. 따라서, 진공펌프가 구비하여야 하는 복잡한 설비를 갖추지 않고도 진공 펌프로서의 역할을 충분히 하여, 메인펌프(109)의 부하를 줄여주고, 부스터 펌프(107)가 메인 펌프(109)를 방해하는 문제점을 경감시킨다. 잠시 후, 버퍼 탱크(201)는 로드락 챔버(101)와 거의 유사한 진공도를 갖게 된다. 이런 상태가 되면, 버퍼탱크(201)은 진공 챔버로서의 역할은 수행하지 않는다. 따라서, 탱크밸브1(205)를 닫는 것이 바람직하다. 반면에, 탱크밸브2(203)을 열어서 버퍼탱크(201)을 제1 실시 예에서 설명한 것과 같은 작동을 하도록 하는 것이 바람직하다. 상기 로드락 챔버(101)가 목표 진공도에 도달하면, 상기 메인 밸브(103) 및 보조 밸브(105)를 모두 닫는다. 그리고, 로드락 챔버(101) 내에 적재된 유리 기판(111)을 동일한 진공 상태를 유지하며 로드락 챔버(101)와 이웃하는 후속 처리공정 챔버(121)로 전달한다. 필요한 경우, 탱크 밸브2(203)는 계속 개방하여, 버퍼탱크(201)의 진공도를 더욱 높일 수도 있다. 버퍼탱크(201)가 원하는 진공도를 가지면, 탱크밸브2(203)를 닫는다.

지금까지의 설명한 본 발명에 의한 제1 내지 제3 실시 예들에서는 부스터 펌프(107)와 메인 펌프(109)가 각각 1개씩 적용한 경우에 버퍼탱크를 적용하는 예를 들어 설명하였다. 그러나, 로드락 챔버의 부피가 더욱 커져서 단위 시간당 배기하 는 용량을 더욱 키워야 하는 경우에는, 복수개의 부스터 펌프와 메인 펌프를 연결하여 사용하여야 한다. 이런 경우에도, 복수개의 버퍼탱크를 각각의 부스터 펌프와 병렬로 연결하거나, 부스터 펌프와 메인 펌프 사이에 연결하는 구성을 적용할 수 있다. 이러한 다양한 연결의 예를 도 6 내지 도 7에 나타내었다.

<제4 실시 예>

도 6은 복수개의 펌프 시스템을 구비한 배기시스템에서 복수개의 버퍼 탱크를 사용한 제4 실시 예를 나타내는 도면이다. 제4 실시 예에 의한 배기시스템은 로드락 챔버(101)와, 로드락 챔버(101)에 연결된 배기배관(151)과, 상기 배기배관(151)에 연결된 펌프시스템(155)으로 구성된다. 상기 펌프시스템(155)은 두 개의 부스터 펌프(107a, 107b)와, 두 개의 메인펌프(109a, 109b)가 각각 직렬로 연결되어 있다. 그리고, 병렬로 연결된 두 개의 버퍼 탱크(201a, 201b)가 부스터 펌프들(107a, 107b)과 메인 펌프들(109a, 109b)이 연결된 중간에 연결되어 있다. 그리고, 버퍼 탱크들(201a, 201b) 앞 단에는 탱크밸브들(203a, 203b)가 각각 연결되어 있다. 이와 같은 구조를 갖는 대용량 진공 챔버 배기시스템에서 배기방법은 기본적으로 도 3으로 설명한 제1 실시 예와 동일하다. 차이가 있다면, 복수개가 연결되어 있으므로, 진공 배기를 진행함에 따라서 즉, 로드락 챔버(101)의 진공도에 따라서, 탱크밸브들(203a, 203b)를 순차적으로 개방하는 것이 바람직하다.

<제5 실시 예>

도 7은 복수개의 펌프 시스템을 구비한 배기시스템에서 복수개의 버퍼 탱크를 사용한 제5 실시 예를 나타내는 도면이다. 제5 실시 예에 의한 배기시스템은 로드락 챔버(101)와, 로드락 챔버(101)에 연결된 배기배관(151)과, 상기 배기배관(151)에 연결된 펌프시스템(155)으로 구성된다. 상기 펌프시스템(155)은 두 개의 부스터 펌프(107a, 107b)와, 두 개의 메인펌프(109a, 109b)가 각각 직렬로 연결되어 있다. 그리고, 제1 버퍼탱크(301) 한 개가 부스터 펌프들(107a, 107b)과 로드락 챔버(101)에 병렬로 연결되어 있다. 제1 버퍼탱크(301) 앞 단에는 제1 탱크 밸브(303)이 장착되어 있다. 그리고, 두 개의 제2 버퍼탱크(401a, 401b)가 각각 직렬로 연결된 부스터 펌프들(107a, 107b)과 메인 펌프들(109a, 109b) 사이에 직렬로 연결되어 있다. 그리고, 제2 버퍼 탱크들(401a, 401b) 앞 단에는 제2 탱크밸브들(403a, 403b)가 각각 연결되어 있다. 이와 같은 구조를 갖는 대용량 진공 챔버 배기시스템에서 배기방법은 기본적으로 도 4로 설명한 제2 실시 예와 동일하다. 여기서는, 복수개의 제2 버퍼탱크들(401a, 401b)이 독립적으로 각각의 부스터 펌프(107a, 107b)와 메인펌프(109a, 109b) 사이에 연결되어 있는 구조를 갖는다. 그러나, 필요하다면, 이 두 제2 버퍼탱크들(401a, 401b)을 서로 연결할 수도 있다. 즉, 배관 노드인 N1과 N2를 서로 연결할 수도 있다. 이런 경우에는, 제2 버퍼 탱크들(401a, 401b)의 부피가 전체적으로 부스터 펌프들(107a, 107n)과 메인펌프들(109a, 109b)에 적용되므로, 순차적으로 제2 탱크 밸브들(403a, 403b)을 열어서 진공 배기를 진행하는 것이 바람직하다. 그렇지 않으면, 갑작스런 고진공이 배기배관(151)에 인가되기 때문에 시스템에 문제 및 손상을 유발할 수 있다.

도 8은 본 발명의 제5 실시 예를 구현한 대용량 진공 챔버 배기시스템의 구성을 나타내는 사시도이다. 본 발명의 실시 예 중에서 가장 최선이 되는 실시 예 는 제2 실시 예의 구성이다. 그리고, 도 8은 최선인 실시 예에서 배기 용량을 더욱 늘이기 위해 두 개의 부스터 펌프 및 두 개의 메인 펌프를 사용하고, 각각의 부스터 펌프와 메인 펌프 사이에 버퍼 탱크를 각각 연결한 것을 제5 실시 예로 한 것이다. 실제로 효능 면에서 본다면, 제5 실시 예가 가장 좋은 성능을 발휘하겠지만, 가격과 성능을 모두 고려한다면, 제2 실시 예가 가장 최선이 되는 실시 예로 볼 수 있다.

<비교 예>

상기 설명한 본 발명에 의한 실시 예 중에서, 가장 최선의 모델(Best Model)인 실시 예 2의 경우를 실제로 응용한 구성으로 종래의 기술에 의한 구성과 비교를 통해 본 발명의 효과를 설명한다.

경우 1: 종래 기술에 의한 것으로 배기용량 400㎥/hr인 건식 메인펌프 7대와 배기용량 1800㎥/hr인 부스터 펌프 7대를 3100리터 로드락 챔버에 연결하였다. 이때, 로드락 챔버 내의 진공도가 1013mbar에서 0.4mbar가 될 때까지의 시간을 측정하였다. 배관의 내경이 213mm인 경우에는 24.7초가, 배관 내경이 261mm인 경우에는 24.83초가 소요되었다.

경우 2: 종래 기술에 의한 것으로 배기용량 400㎥/hr인 건식 메인펌프 8대와 배기용량 1800㎥/hr인 부스터 펌프 5대를 3100리터 로드락 챔버에 연결하였다. 이때, 로드락 챔버 내의 진공도가 1013mbar에서 0.4mbar가 될 때까지의 시간을 측정하였다. 배관의 내경이 213mm인 경우에는 23.68초가, 배관 내경이 261mm인 경우에는 23.72초가 소요되었다.

경우 3: 본 발명에 의한 것으로 배기용량 400㎥/hr인 건식 메인펌프 6대와 배기용량 1800㎥/hr인 부스터 펌프 3대를 3100리터 로드락 챔버에 연결하였다. 그리고, 용량 1000리터짜리 제1 버퍼탱크 2개를 로드락 챔버에 부스터 펌프와 병렬로 연결하고, 용량 1000리터짜리 제2 버퍼탱크 2개를 부스터 펌프와 메인펌프 사이에 연결하였다. 이때, 로드락 챔버 내의 진공도가 1013mbar에서 0.4mbar가 될 때까지의 시간을 측정하였다. 배관의 내경이 213mm인 경우에는 24.04초가, 배관 내경이 261mm인 경우에는 23.89초가 소요되었다.

이를 쉽게 비교하기 위해 다음 표1에 나타내었다.

구분	펌프 구성			배기시간(1013mbar에서 0.4mbar)
	메인펌프(건식) (400㎥/hr)	부스터 펌프 (1800㎥/hr)	버퍼 탱크 (1000L)	ISO200 (내경 213mm)	ISO250 (내경 261mm)
경우 1	7대	7대	-	24.70초	24.83초
경우 2	8대	5대	-	23.68초	23.72초
경우 3	6대	3대	4개	24.04초	23.89초

이상에서 알 수 있듯이, 본 발명에 의한 경우 3을 보면, 펌프의 전체 개수가 최대 5대를 줄이고도 배기 속도는 거의 동일한 수준을 나타내었다. 이로써, 동일한 펌프 구성이라면, 버퍼 탱크를 구비하면, 훨씬 더 빠른 배기 시간을 나타낼 것임을 알 수 있다. 또한, 비용을 절약하기 위해 펌프의 대수를 줄이고 그 대신에 버퍼 탱크를 사용하면, 동일한 배기 속도를 구현할 수 있음을 알 수 있다.

앞에서 설명하고 도면에 나타낸 본 발명의 실시 예들은, 본 발명의 기술적 사상을 한정하는 것으로 해석되어서는 안 된다. 본 발명의 보호범위는 청구범위에 기재된 사항에 의하여만 제한되고, 본 발명의 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 기술적 사상을 다양한 형태로 개량 변경하는 것이 가능하다. 따라서 이러한 개량 및 변경은 통상의 지식을 가진 자에게 자명한 것인 한 본 발명의 보호범위에 속하게 될 것이다.

도 1은 종래 기술에 의한 로드락 진공 챔버 배기시스템을 나타내는 개략도

도 2는 종래 기술에 의한 다수개의 펌프 시스템을 이용한 로드락 진공 챔버 배기시스템을 나타내는 개략도

도 3은 본 발명의 제1 실시 예에 의한 버퍼 탱크를 이용한 로드락 진공 챔버 배기시스템을 나타내는 개략도

도 4는 본 발명의 제2 실시 예에 의한 제1 및 제2 버퍼 탱크를 이용한 로드락 진공 챔버 배기시스템을 나타내는 개략도

도 5는 본 발명의 제3 실시 예에 의한 버퍼 탱크를 이용한 로드락 진공 챔버 배기시스템을 나타내는 개략도

도 6은 본 발명의 제4 실시 예에 의한 복수 개의 버퍼 탱크 및 다수개의 펌프 시스템을 이용한 로드락 진공 챔버 배기시스템을 나타내는 개략도

도 7은 본 발명의 제5 실시 예에 의한 제1 버퍼탱크 및 복수개의 제2 버퍼 탱크와 다수개의 펌프 시스템을 이용한 로드락 진공 챔버 배기시스템을 나타내는 개략도

도 8은 본 발명의 제5 실시 예를 구현한 실제 로드락 진공 챔버 배기시스템의 구성을 나타내는 사시도.

<도면 부호의 간단한 설명>

1, 101: 로드락 챔버 3, 103: 메인 밸브

5, 105: 보조 밸브 7, 107: 부스터 펌프

9, 109: 메인 펌프 11, 111: 유리 기판

21, 121: 후속 처리공정 챔버 51, 151: 배기배관

55, 155: 펌프 시스템

201, 301, 401: 버퍼 탱크

203, 303, 403: 탱크 밸브

N1, N2: 배기배관 노드

Claims (8)

1. 진공챔버와;

   상기 진공챔버에 연결된 부스터펌프와;

   상기 부스터펌프에 직렬로 연결된 메인펌프와;

   상기 부스터펌프와 상기 메인펌프 사이에 연결된 제1 버퍼탱크를 구비하는 것을 특징으로 하는 대용량 진공챔버 배기시스템.
2. 제1항에 있어서,

   상기 부스터 펌프와 병렬로 상기 진공챔버에 연결된 제2 버퍼탱크를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 대용량 진공챔버 배기시스템.
3. 진공챔버와;

   상기 진공챔버에 연결된 펌프시스템과;

   상기 펌프시스템에 연결된 버퍼탱크를 구비하는 것을 특징으로 하는 대용량 진공챔버 배기시스템.
4. 제3항에 있어서,

   상기 버퍼탱크는 상기 진공챔버에 직렬로 연결된 것을 특징으로 하는 대용량 진공챔버 배기시스템.
5. 제3항에 있어서,

   상기 펌프시스템은 직렬로 연결된 부스터 펌프와 메인 펌프를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 대용량 진공챔버 배기시스템.
6. 제5항에 있어서,

   상기 버퍼탱크는 상기 부스터 펌프와 상기 메인 펌프 사이에 연결된 것을 특징으로 하는 대용량 진공챔버 배기시스템.
7. 진공챔버와, 상기 진공챔버에 연결된 부스터펌프와, 상기 부스터펌프에 직렬로 연결된 메인펌프와, 상기 부스터펌프와 상기 메인펌프 사이에 연결된 버퍼탱크를 구비하는 대용량 진공챔버 배기시스템에 있어서:

   상기 부스터펌프 및 상기 메인펌프로 상기 버퍼탱크를 제1진공상태로 배기하는 단계와;

   상기 버퍼탱크를 차단하여 상기 제1진공상태를 유지하는 단계와;

   상기 부스터펌프 및 상기 메인펌프로 상기 진공챔버를 제2진공상태로 배기하는 단계와;

   상기 버퍼탱크를 열어서, 상기 메인펌프의 부하를 경감하여, 상기 진공펌프의 배기작업을 가속화하는 단계와;

   상기 진공챔버가 제3진공상태가 되면 상기 진공챔버를 차단하는 단계와;

   상기 부스터펌프 및 상기 메인펌프로 상기 버퍼탱크를 다시 상기 제1진공상태로 배기하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 대용량 진공챔버 배기방법.
8. 진공챔버와, 상기 진공챔버에 연결된 펌프시스템과, 상기 펌프시스템에 연결된 버퍼탱크를 구비하는 대용량 진공챔버 배기시스템에 있어서:

   상기 펌프시스템으로 상기 버퍼 탱크를 제1 진공상태로 배기하는 단계와;

   상기 버퍼 탱크를 차단하여, 상기 제1 진공상태를 유지하는 단계와;

   상기 펌프시스템으로 상기 진공챔버를 제2진공상태로 배기하는 단계와;

   상기 버퍼 탱크를 열어, 상기 펌프시스템의 부하를 경감하여, 상기 진공챔버의 배기작업을 가속화하는 단계와;

   상기 진공챔버가 제3진공상태가 되면 상기 진공챔버를 차단하는 단계와;

   상기 펌프시스템으로 상기 버퍼 탱크를 다시 상기 제1진공상태로 배기하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 대용량 진공챔버 배기방법.

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