KR20090067301A - 임피던스 정합 장치 - Google Patents

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KR20090067301A
KR20090067301A KR1020070134895A KR20070134895A KR20090067301A KR 20090067301 A KR20090067301 A KR 20090067301A KR 1020070134895 A KR1020070134895 A KR 1020070134895A KR 20070134895 A KR20070134895 A KR 20070134895A KR 20090067301 A KR20090067301 A KR 20090067301A
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남종현
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(주)이큐베스텍
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Abstract

본 발명은 RF 제너레이터로부터 챔버로 인가되는 고주파 전력을 코어를 이용함이 없이 전송 선로로부터 직접적으로 감지하여 임피던스를 정합시키는 임피던스 정합 장치에 관한 것이다. 상기 임피던스 정합 장치는 고주파 전력을 발생시키고, 상기 발생된 고주파 전력을 전송 선로를 통하여 출력하는 RF 제너레이터 , 코어의 사용없이 상기 전송 선로에 전기적으로 연결되고, 상기 전송 선로를 통하여 진행되는 고주파 전력을 상기 전송 선로로부터 직접적으로 감지하며, 상기 감지 결과를 가지는 감지 신호를 출력하는 감지부, 적어도 하나의 가변 소자를 가지는 정합부, 및 상기 출력된 감지 신호에 따라 상기 정합부의 가변 소자를 제어하여 임피던스를 정합시키는 제어부를 포함한다.
임피던스, 정합, 고주파 전력, 반도체, 플라즈마

Description

임피던스 정합 장치{APPARATUS FOR MATCHING IMPEDANCE}
본 발명은 반도체 장치에 있어서 임피던스 정합 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 RF 제너레이터로부터 챔버로 인가되는 고주파 전력을 코어를 이용함이 없이 전송 선로로부터 직접적으로 감지하여 임피던스를 정합시키는 임피던스 정합 장치에 관한 것이다.
반도체 웨이퍼를 제조하는 공정 중 건식 식각 공정에 사용되는 식각 장치나 이온 주입을 위해 사용되는 이온 주입기 등은 플라즈마 공정을 위한 챔버를 포함한다. 이러한 플라즈마 공정을 위하여, RF 제너레이터(RF Generator)로부터 출력된 고주파 전력이 상기 챔버로 인가된다. 이 과정에서, 상기 고주파 전력의 특성상 주변 환경에 따라 시스템의 임피던스가 변화될 수 있었고, 그 결과 상기 RF 제너레이터로부터 출력된 고주파 전력이 상기 챔버로 전부 전송되지 않고 반사파에 의해 많은 손실이 발생될 수 있었다. 이러한 반사파를 최소로 줄이기 위한 장치가 임피던스 정합 장치로서, 일반적으로 아래와 같은 구조를 가진다.
도 1은 일반적인 임피던스 정합 장치를 도시한 블록도이다.
도 1을 참조하면, 상기 임피던스 정합 장치는 RF 제너레이터(100), 감지부(102), 제어부(104) 및 정합부(106)를 포함한다.
RF 제너레이터(100)는 고주파 전력을 발생시키며, 상기 발생된 고주파 전력을 전송 선로(미도시)를 통하여 출력시킨다.
감지부(102)는 RF 제너레이터(100)로부터 상기 전송 선로를 통하여 전송되는 고주파 전력을 감지하여 반사파의 크기를 검출한다. 그런 후, 감지부(102)는 상기 감지 결과를 가지는 감지 신호를 제어부(104)로 전송한다.
정합부(106)는 RF 제너레이터(100)의 출력 임피던스와 챔버(108)의 입력 임피던스를 정합시키기 위한 복수의 소자들로 이루어진다. 여기서, 상기 소자들은 일반적으로 가변 소자들이다.
제어부(104)는 감지부(02)로부터 전송된 감지 신호를 통하여 반사파의 크기를 검출하고, 상기 출력 임피던스와 상기 입력 임피던스가 정합되도록 상기 검출 결과에 따라 정합부(106)의 가변 소자를 변화시킨다.
이러한 정합 과정은 상기 출력 임피던스와 상기 입력 임피던스가 정합될 때까지 반복적으로 수행된다.
이하, 이러한 임피던스 정합 장치에서 고주파 전력을 감지하는 과정을 첨부된 도면을 참조하여 자세히 상술하겠다.
도 2는 일반적인 고주파 전력 감지 과정을 도시한 도면이다.
도 2에 도시된 바와 같이, 고주파 전력을 감지하기 위하여, 전송 선로(200)가 코어(202)의 중심을 관통하여 형성된다.
이러한 코어(202)의 표면에는 에나멜선이 감겨져 있으며, 따라서 상기 고주 파 전력이 전송 선로(200)를 통하여 전송되는 과정에서 상기 에나멜선에 의해 유도 전류가 발생된다. 상기 발생된 유도 전류는 도 2에 도시된 바와 같이 전송 선로(200)에 물리적으로 연결된 감지부(102)의 감지 회로부(204)에 의해 검출된다. 여기서, 감지 회로부(204)는 저항 및 다이오드 등으로 이루어진다.
요컨대, 감지부(102)는 코어(202)에 의해 유도된 전류를 통하여 반사파의 크기를 감지한다. 그러나, RF 제너레이터(100)로부터 출력된 고주파 전력의 크기가 증가할 경우, 상기 유도 전류 또한 커지게 되며, 결과적으로 코어(202)로부터 많은 열이 발생된다. 이 경우, 상기 유도 전류가 정상적으로는 반사파의 크기에 비례하여 증가하여야 하나, 상기 열에 의해 반사파의 크기에 비례하지 않을 수 있다. 즉, 감지부(102)의 감지 특성에 왜곡이 발생될 수 있었다.
또한, 전송 선로(200)를 코어(202)의 중심에 통과시키기 위하여 일반적으로 코어(202)를 실리콘을 이용하여 고정시킨다. 그러나, 코어(202)의 온도가 올라가면 상기 실리콘이 녹게 되며, 그 결과 코어(202)가 고정되지 못하고 움직이게 된다. 결과적으로, 임피던스 정합 과정에서 코어(202)의 중심이 움직일 수 있었으며, 따라서 감지 특성이 변하여 임피던스 정합이 원활하게 이루어지지 못할 수도 있었다.
본 발명의 목적은 코어를 사용하지 않고 전송 선로로부터 고주파 전력을 직접적으로 감지하는 임피던스 정합 장치를 제공하는 것이다.
상기한 바와 같은 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 일 실시예에 따른 임피던스 정합 장치는 고주파 전력을 발생시키고, 상기 발생된 고주파 전력을 전송 선로를 통하여 출력하는 RF 제너레이터; 상기 전송 선로에 전기적으로 연결되고, 상기 전송 선로를 통하여 진행되는 고주파 전력을 코어의 사용없이 상기 전송 선로로부터 직접적으로 감지하며, 상기 감지 결과를 가지는 감지 신호를 출력하는 감지부; 적어도 하나의 가변 소자를 가지는 정합부; 및 상기 출력된 감지 신호에 따라 상기 정합부의 가변 소자를 제어하여 임피던스를 정합시키는 제어부를 포함한다.
상기 감지부는 상기 전송 선로를 통하여 진행하는 고주파 전력으로부터 유도된 전자기파를 통하여 해당 전압 및 전류를 검출한다.
상기 임피던스 정합 장치는 상기 감지부와 상기 제어부 사이에 연결되며, 상기 감지부로부터 출력된 감지 신호를 증폭하여 상기 제어부로 제공하는 증폭부를 더 포함한다.
상기 제어부는 상기 감지 신호를 통하여 입력 임피던스 및 상기 고주파 전력에 해당하는 전압과 전류의 위상차를 검출하고, 상기 검출된 임피던스와 상기 위상차를 고려하여 상기 정합부의 임피던스를 변화시킨다.
본 발명의 다른 실시예에 따른 임피던스 정합 장치는 고주파 전력을 발생시키고, 상기 발생된 고주파 전력을 전송 선로를 통하여 출력하는 RF 제너레이터; 상기 전송 선로와 전기적으로 연결되고, 상기 전송 선로를 통하여 흐르는 고주파 전력에 의해 발생되는 전자기파를 이용하여 반사파의 크기를 감지하며, 상기 감지 결과를 가지는 감지 신호를 출력하는 감지부; 적어도 하나의 가변 소자를 가지는 정합부; 및 상기 출력된 감지 신호에 따라 상기 정합부의 가변 소자를 제어하여 임피던스를 정합시키는 제어부를 포함한다.
상기 임피던스 정합 장치는 상기 감지부와 상기 제어부 사이에 연결되며, 상기 감지부로부터 출력된 감지 신호를 증폭하여 상기 제어부로 제공하는 증폭부를 더 포함한다.
본 발명의 일 실시예에 따른, 임피던스 정합 장치에 포함되어 전송 선로를 통하여 진행하는 고주파 전력을 감지하는 감지 소자는 상기 전송 선로와 전기적으로 연결되고, 상기 전송 선로를 통하여 진행되는 고주파 전력을 코어의 사용없이 상기 전송 선로로부터 직접적으로 감지하는 감지 회로부; 및 상기 감지 결과를 가지는 감지 신호를 출력하는 출력부를 포함한다.
상기 감지 소자는 상기 출력된 감지 신호를 증폭하는 증폭부를 더 포함한다.
상기 감지 회로부는 상기 전송 선로를 통하여 진행하는 고주파 전력으로부터 유도된 전자기파를 통하여 해당 전압 및 전류를 감지한다.
상기 감지 신호는 입력 임피던스 및 상기 고주파 전력에 해당하는 전압과 전류의 위상차에 대한 정보를 포함한다.
본 발명의 다른 실시예에 따른 임피던스 정합 장치에 포함되어 전송 선로를 통하여 진행하는 고주파 전력을 감지하는 감지 소자는 상기 전송 선로와 전기적으로 연결되고, 상기 전송 선로를 통하여 진행하는 고주파 전력에 의해 발생되는 전자기파를 통하여 반사파의 크기를 감지하는 감지 회로부; 및 상기 감지 결과를 가지는 감지 신호를 출력하는 출력부를 포함한다.
상기 감지 소자는 상기 감지 신호를 증폭하는 증폭부를 더 포함한다.
본 발명에 따른 반도체 장치에 있어서 임피던스 정합 장치는 코어를 사용하지 않고 전송 선로로부터 직접적으로 고주파 전력을 감지한다. 따라서, 코어를 사용함에 의해 발생될 수 있는 감지 특성 왜곡이 발생되지 않으며, 또한 임피던스 정합이 안정적으로 이루어질 수 있다.
본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다.
어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "연결되어" 있다거나 "접속되어" 있다고 언급된 때에는, 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결되어 있거나 또는 접속되어 있 을 수도 있지만, 중간에 다른 구성요소가 존재할 수도 있다고 이해되어야 할 것이다. 반면에, 어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "직접 연결되어" 있다거나 "직접 접속되어" 있다고 언급된 때에는, 중간에 다른 구성요소가 존재하지 않는 것으로 이해되어야 할 것이다.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
이하에서는 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 실시예들을 자세히 설명하도록 한다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 임피던스 정합 장치를 도시한 도면이다.
도 3을 참조하면, 본 실시예의 임피던스 정합 장치는 RF 제너레이터(RF generator, 300), 감지부(302), 증폭부(304), 제어부(306) 및 정합부(308)를 포함한다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 임피던스 정합 장치는 반도체 제조 공정 및 LCD 제조 공정에서 고주파 플라즈마를 이용하는 공정에 사용되는 장치로서, RF 제너레이터(300)로부터 출력된 고주파 전력이 손실없이 챔버(310)로 제공되도록 RF 제너레이터(300)의 출력 임피던스(RS)와 챔버(310)의 입력 임피던스(RL)를 정합(matching)시킨다.
RF 제너레이터(300)는 고주파 전력을 발생시키고, 상기 발생된 고주파 전력을 정합부(308)를 통하여 챔버(310)로 제공한다. 이 경우, RF 제너레이터(300)의 출력 임피던스(RS)와 챔버(310)의 입력 임피던스(RL)가 정합된 경우에는, RF 제너레이터(300)로부터 출력된 고주파 전력이 챔버(310)로 손실없이 전달된다. 그러나, 실제적으로 출력 임피던스(RS)와 입력 임피던스(RL)가 여러가지 원인에 의해 다른 경우가 많으며, 결과적으로 상기 고주파 전력이 챔버(310)로 전부 전달되지 않고 반사파가 발생되어 손실된다. 따라서, 상기 반사파를 최소로 줄이기 위하여 출력 임피던스(RS)와 입력 임피던스(RL)를 정합시킬 필요가 있다.
이하, 출력 임피던스(RS)와 입력 임피던스(RL)를 정합시키는 과정을 상기 임피던스 정합 장치의 구성 요소들을 통하여 상술하겠다.
감지부(302)는 RF 제너레이터(300)로부터 출력된 고주파 전력을 감지한다. 상세하게는, 상기 고주파 전력은 RF 제너레이터(300)로부터 출력되어 전송 선로를 통하여 챔버(310)로 전달된다. 이 과정에서, 감지부(302)는 상기 전송 선로에 전기적으로 연결되어 상기 고주파 전력을 감지하여 반사파의 크기를 검출한다. 여기서, 상기 반사파의 크기는 출력 임피던스(RS) 및 상기 고주파 전력에 해당하는 전압과 전류의 위상차를 통하여 판단된다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 감지부(302)는 코어를 이용하여 반사파의 크기를 검출하던 종래의 임피던스 정합 장치와 달리 코어(Core)를 사용함이 없이 전송 선로로부터 직접 반사파의 크기를 검출한다. 이에 대한 자세한 설명은 이하 첨부된 도면을 통하여 자세히 상술하겠다.
감지부(302)는 위에 언급한 바와 같이 상기 고주파 전력을 감지하고, 상기 감지 결과를 가지는 감지 신호를 증폭부(304)로 제공한다.
증폭부(304)는 상기 감지 신호를 증폭시키고, 바람직하게는 잡음까지 제거시킨다. 일반적으로, 감지부(302)가 코어를 사용하지 않고 전송 선로로부터 직접 상기 고주파 전력을 감지하면, 감지되는 신호의 크기가 미약할 수 있다. 그러므로, 상기 신호의 크기를 증폭시킬 필요가 있으며, 따라서 상기 임피던스 정합 장치는 증폭부(304)를 이용하여 상기 신호의 크기를 증폭시킨다. 물론, 감지부(302)에 의해 감지되는 신호의 크기가 충분한 경우에는 이러한 증폭부(304)는 생략될 수 있다.
제어부(306)는 증폭부(304)를 통하여 제공된 감지 신호를 통하여 반사파의 크기를 판단하고, 출력 임피던스(RS)와 입력 임피던스(RL)가 정합되도록 상기 판단 결과에 따라 정합부(308)를 제어하는 제어 신호를 출력시킨다.
정합부(308)는 예를 들어 가변 인덕터들(L1 및 L2)과 캐패시터(C)로 이루어진 정합 회로부(322)와 상기 출력된 제어 신호에 따라 가변 인덕터들(L1 및 L2)을 가변시키는 예를 들어 모터들(320A 및 320B)로 이루어진 구동부(320)를 포함한다. 다만, 정합부(308)의 구성은 임피던스를 정합시킬 수 있는 한 다양하게 변형될 수 있다.
이러한 정합부(308)의 임피던스 정합 과정을 살펴보자.
예를 들어, 상기 전송 선로의 임피던스가 50Ω이고 입력 임피던스(RL)가 50Ω이 아닌 경우, 제어부(306)는 상기 반사파의 크기를 검출하여 출력 임피던스(RS)와 입력 임피던스(RL)가 정합되지 않았음을 검출하고 검출 결과에 따라 모터들(M1 및 M2)을 제어하여 가변 인덕터들(L1 및 L2)을 가변시킨다. 그런 후, 제어부(306)는 상기 반사파의 크기를 다시 검출하며, 검출 결과 출력 임피던스(RS)와 입력 임피던스(RL)가 정합되지 않았다고 판단되는 경우 위 정합 과정을 반복시킨다. 즉, 출력 임피던스(RS)와 입력 임피던스(RL)가 정합될 때까지 상기 정합 과정을 반복시킨다.
다른 예로, 제어부(306)는 상기 감지 결과에 따라 전류와 전압의 위상차를 검출하고, 상기 위상차에 해당하는 전압을 출력하여 모터들(M1 및 M2)을 제어하며, 그 결과 가변 인덕터들(L1 및 L2)이 가변된다. 이러한 정합 과정은 제어부(306)로부터 출력된 전압이 0V가 될 때까지, 즉 상기 전압과 전류의 위상이 일치할 때까지 반복적으로 수행된다.
위에서 언급한 바와 같이 임피던스 정합 과정이 완료되면, 챔버(310)는 상기 인가된 고주파 전력을 이용하여 플라즈마 공정을 수행한다.
요컨대, 본 실시예의 임피던스 정합 장치는 RF 제너레이터(300)로부터 출력되는 고주파 전력을 감지하고, 상기 감지 결과에 따라 정합부(308)를 가변시켜 임피던스를 정합시킨다. 다만, 감지부(302)가 상기 고주파 전력을 감지할 때 후술하는 바와 같이 코어를 이용하지 않고 전송 선로로부터 직접적으로 상기 고주파 전력을 감지한다. 따라서, 코어를 사용함에 의해 발생되었던 검출 특성 왜곡이 본 발명의 임피던스 정합 장치에는 발생되지 않는다. 또한, 코어 흔들림에 의해 안정적으로 임피던스 정합을 수행할 수 없었던 종래의 임피던스 정합 장치와 달리, 본 발명의 임피던스 정합 장치는 상기 코어의 사용없이 상기 전송 선로로부터 안정적으로 반사파의 크기를 검출하므로 상기 임피던스 정합을 안정적으로 수행할 수 있다.
이하, 이러한 반사파를 감지하는 과정을 첨부된 도면을 참조하여 상술하겠다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 반사파를 감지하는 과정을 도시한 회로도이다.
도 4에 도시된 바와 같이, RF 제너레이터(300)로부터 출력된 고주파 전력이 전송 선로(400) 및 정합부(308)를 통하여 챔버(310)로 인가된다. 이 과정에서, 감 지부(302)는 전송 선로(400)를 통하여 흐르는 고주파 전력을 감지한다. 다만, 감지부(302)는 종래와 달리 코어를 사용하지 않고 전송 선로(400)로부터 직접적으로 고주파 전력을 감지한다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 감지부(302)는 도 4에 도시된 바와 같이 전송 선로(400)와 물리적으로 연결되지는 않고 전기적으로만 연결되며, 전송 선로(400)를 통하여 흐르는 고주파 전력, 즉 전류에 의해 발생되는 전자기파를 감지하여 반사파의 크기를 검출한다. 이를 구현하기 위하여, 감지부(400)는 저항, 인덕터, 다이오드, 캐패시터 및 커넥터(402)로 이루어진다.
이어서, 감지부(302)는 상기 감지 결과를 가지는 감지 신호를 커넥터(402)를 통하여 증폭부(304) 및 제어부(306)로 전송한다.
즉, 감지부(302)는 상기 고주파 전력을 감지하는 감지 회로부 및 상기 감지 신호를 출력하는 출력부로 이루어진다.
본 발명의 다른 실시예에 따르면, 증폭부(304)는 감지부(302)에 포함될 수 있고, 구동부(320)는 정합부(308)에 포함되지 않고 별도의 소자로서 존재할 수도 있다.
상기한 본 발명의 실시예는 예시의 목적을 위해 개시된 것이고, 본 발명에 대한 통상의 지식을 가지는 당업자라면 본 발명의 사상과 범위 안에서 다양한 수정, 변경, 부가가 가능할 것이며, 이러한 수정, 변경 및 부가는 하기의 특허청구범위에 속하는 것으로 보아야 할 것이다.
도 1은 일반적인 임피던스 정합 장치를 도시한 블록도이다.
도 2는 일반적인 고주파 전력 감지 과정을 도시한 도면이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 임피던스 정합 장치를 도시한 도면이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 반사파를 감지하는 과정을 도시한 회로도이다.

Claims (12)

  1. 고주파 전력을 발생시키고, 상기 발생된 고주파 전력을 전송 선로를 통하여 출력하는 RF 제너레이터;
    상기 전송 선로에 전기적으로 연결되고, 상기 전송 선로를 통하여 진행되는 고주파 전력을 코어의 사용없이 상기 전송 선로로부터 직접적으로 감지하며, 상기 감지 결과를 가지는 감지 신호를 출력하는 감지부;
    적어도 하나의 가변 소자를 가지는 정합부; 및
    상기 출력된 감지 신호에 따라 상기 정합부의 가변 소자를 제어하여 임피던스를 정합시키는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 하는 임피던스 정합 장치.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 감지부는 상기 전송 선로를 통하여 진행하는 고주파 전력으로부터 유도된 전자기파를 통하여 해당 전압 및 전류를 검출하는 것을 특징으로 하는 임피던스 정합 장치.
  3. 제 1 항에 있어서, 상기 임피던스 정합 장치는,
    상기 감지부와 상기 제어부 사이에 연결되며, 상기 감지부로부터 출력된 감지 신호를 증폭하여 상기 제어부로 제공하는 증폭부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 임피던스 정합 장치.
  4. 제 1 항에 있어서, 상기 제어부는 상기 감지 신호를 통하여 입력 임피던스 및 상기 고주파 전력에 해당하는 전압과 전류의 위상차를 검출하고, 상기 검출된 임피던스와 상기 위상차를 고려하여 상기 정합부의 임피던스를 변화시키는 것을 특징으로 하는 임피던스 정합 장치.
  5. 고주파 전력을 발생시키고, 상기 발생된 고주파 전력을 전송 선로를 통하여 출력하는 RF 제너레이터;
    상기 전송 선로와 전기적으로 연결되고, 상기 전송 선로를 통하여 흐르는 고주파 전력에 의해 발생되는 전자기파를 이용하여 반사파의 크기를 감지하며, 상기 감지 결과를 가지는 감지 신호를 출력하는 감지부;
    적어도 하나의 가변 소자를 가지는 정합부; 및
    상기 출력된 감지 신호에 따라 상기 정합부의 가변 소자를 제어하여 임피던스를 정합시키는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 하는 임피던스 정합 장치
  6. 제 5 항에 있어서, 상기 임피던스 정합 장치는,
    상기 감지부와 상기 제어부 사이에 연결되며, 상기 감지부로부터 출력된 감지 신호를 증폭하여 상기 제어부로 제공하는 증폭부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 임피던스 정합 장치.
  7. 임피던스 정합 장치에 포함되어 전송 선로를 통하여 진행하는 고주파 전력을 감지하는 감지 소자에 있어서,
    상기 전송 선로와 전기적으로 연결되고, 상기 전송 선로를 통하여 진행되는 고주파 전력을 코어의 사용없이 상기 전송 선로로부터 직접적으로 감지하는 감지 회로부; 및
    상기 감지 결과를 가지는 감지 신호를 출력하는 출력부를 포함하는 것을 특징으로 하는 감지 소자.
  8. 제 7 항에 있어서, 상기 감지 소자는 상기 출력된 감지 신호를 증폭하는 증폭부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 감지 소자.
  9. 제 7 항에 있어서, 상기 감지 회로부는 상기 전송 선로를 통하여 진행하는 고주파 전력으로부터 유도된 전자기파를 통하여 해당 전압 및 전류를 감지하는 것을 특징으로 하는 감지 소자.
  10. 제 7 항에 있어서, 상기 감지 신호는 입력 임피던스 및 상기 고주파 전력에 해당하는 전압과 전류의 위상차에 대한 정보를 포함하는 것을 특징으로 하는 감지 소자.
  11. 임피던스 정합 장치에 포함되어 전송 선로를 통하여 진행하는 고주파 전력을 감지하는 감지 소자에 있어서,
    상기 전송 선로와 전기적으로 연결되고, 상기 전송 선로를 통하여 진행하는 고주파 전력에 의해 발생되는 전자기파를 통하여 반사파의 크기를 감지하는 감지 회로부; 및
    상기 감지 결과를 가지는 감지 신호를 출력하는 출력부를 포함하는 것을 특징으로 하는 감지 소자.
  12. 제 11 항에 있어서, 상기 감지 소자는 상기 감지 신호를 증폭하는 증폭부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 감지 소자.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR20170121501A (ko) * 2016-04-25 2017-11-02 주식회사 뉴파워 프라즈마 전자식 가변 임피던스 매칭박스를 구비한 플라즈마 전원 공급 시스템

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