KR20090066952A - 모아레 기법을 이용한 표면 형상 측정 방법 - Google Patents

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Abstract

투광성을 갖는 소형 물체의 표면 형상을 위상천이 모아레 기법을 이용하여 정밀하게 측정할 수 있는 모아레 기법을 이용한 표면 형상 측정 방법이 개시된다. 상기 표면 형상 특정 방법은, 형상측정 대상물의 표면에 산화막을 형성하는 단계; 상기 형상측정 대상물에 평행광 상태로 격자무늬를 영사하는 단계; 상기 격자무늬의 영사에 의해 형상측정 대상물에 투영된 격자무늬 이미지를 검출하는 단계; 및 상기 격자무늬와 간격이 동일하고 각도가 서로 다른 가상의 격자 무늬를 생성하고, 상기 가상의 격자무늬와 상기 형상측정 대상물에 투영된 격자무늬 이미지를 겹쳐 모아레 무늬를 형성하는 단계를 포함할 수 있다.
위상천이, 모아레(Moire), 3차원, 형상측정, 산화막, 코팅

Description

모아레 기법을 이용한 표면 형상 측정 방법{METHOD OF MEASURING SURFACE SHAPE USING MOIRE TECHNIQUE}
본 발명은 모아레 기법을 이용하여 물체의 표면 형상을 측정하는 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 투광성을 갖는 소형 물체의 표면 형상을 위상천이 모아레 기법을 이용하여 정밀하게 측정할 수 있는 모아레 기법을 이용한 표면 형상 측정 방법에 관한 것이다.
최근 디지털 컨버전스 추세에 따라 각종 디지털 제품들의 소형화, 경량화가 요구되고 있으며, 특히 카메라 또는 캠코더 기능을 포함하는 이동통신 단말기가 일반화되고 광학적 기능의 개선 요구에 의해 광학 부품의 소형화 및 대량 생산화가 필요하게 되었다. 이에 따라, 광학 부품의 대량 생산을 위하여 부품의 특성을 신속하게 평가할 수 있는 평가 시스템의 구축이 필요하게 되었다.
물론 광학 부품의 주요 평가 수단인 간섭계를 이용한 기본적인 성능 평가 시스템이 존재하고 있지만, 이는 최종 단계에서의 부품의 특성을 확인하는 주요 수단으로 이용되는 실정이다. 이는 대량 생산을 위한 광학 부품 생산 라인의 주요 요인 들을 평가하는 수단이 아니므로, 생산 도중 혹은 생산을 위한 라인 구축 과정에서의 부품 평가 피드백이 매우 지연되는 단점이 존재하며, 폴리머(polymer)를 주재료로 사용하는 광학 부품의 경우 광학 부품을 생산하기 위한 금형의 평가를 위한 광학 부품의 표면 형상 정보를 정확히 측정하는 데 있어 많은 어려움이 존재해 왔다.
종래에, 광학 부품(예를 들어, 렌즈)의 표면 형상을 측정하는 방법은, 점 스캔 방식이 주로 채택되었으나, 이 방식은 광학 부품의 전 영역을 측정하는데 많은 시간이 소요되고 있어 주요 부분만을 스캔한 뒤 평균적으로 형상을 복원하는데 그치고 있어 실질적인 광학 부품의 표면형상은 정확하게 측정하지 못하는 문제점이 있었다. 이에 1970년도 초반에 Takasaki와 Meadows 등에 의해서 제안된 물체에 등고선을 그리는 모아레(Moire) 기법에 의한 비접촉식 3차원 형상 측정 방법이 제안되었다.
물체의 등고선을 판단하는 모아레 기법에는 크게 그림자 모아레 기법과 투영 모아레 기법이 알려져 있다. 그림자 모아레 기법은 기준 격자(referance grating)를 측정 대상물 앞에 위치시킨 후 측정 대상물 앞의 격자에 빛을 영사하여 측정 대상물 위에 격자무늬의 그림자를 만들고 다른 각도에서 상기 기준격자를 통해서 그 그림자를 보았을때 보이는 모아레 무늬를 분석하는 방식이다. 또한, 투영 모아레 기법은 물체 위에 격자 무늬를 투영 시키고, 이미지 검출을 위한 이미지 센서 앞에 또 다른 격자를 위치시킨 후, 이 다른 격자의 격자무늬를 통해서 보이는 모아레 무늬를 분석하는 방식이다. 이와 같은 모아레 무늬를 분석하여 3차원 형상을 도출하 는 알고리듬들은 다양하게 소개된 바 있으므로 그에 대한 상세한 설명은 생략하기로 한다(M. Kujawinska, "Use of Phase-stepping Automatic Fringe Analysis in Moire interferometry," Applied Optics, 26(22) 4712~4714 참조, YB Choi, SW Kim, "Phase-shifting Grating Projection Moire Topography," Optical Engineering 37(3) 1005~1010 참조, SW Kim et al., "Two frequency phase-shifting projection moire topography," SPIE Vol. 3520, 36~42 참조)
그러나, 대량 생산되는 대부분의 광학 부품(렌즈)의 경우 폴리머가 주재료로 사용되고 있으므로 측정 대상물 자체의 투과율이 높아 측정 대상물의 표면에 선명한 격자무늬를 형성하지 못함으로써 정상적인 모아레 무늬를 획득하기 어려운 문제점이 있다. 이에 초기에 마이크로 입자를 광학 부품 표면에 도포하여 3차원 표면형상을 구하는 방식이 제안되었나, 마이크로 입자의 도포 상태가 균일 하지 못하여 광학 부품의 형상측정이 부정확해지는 문제점이 있다.
따라서, 당 기술분야에서는 투과율이 높은 광학 부품(렌즈)와 같은 대상물에 대해 정확한 표면 형상을 측정할 수 있는 방법이 요구되고 있다.
본 발명은, 투과율이 높은 광학 부품과 갖는 측정 대상물의 표면에 얇은 산화막을 형성함으로써 측정하고자 하는 표면에 선명한 격자무늬를 형성할 수 있는 모아레 기법을 이용한 표면 형상 측정 방법을 제공하는 것을 기술적 과제로 한다.
상기 기술적 과제를 해결하기 위한 수단으로서 본 발명은,
형상측정 대상물의 표면에 산화막을 형성하는 단계;
상기 형상측정 대상물에 평행광 상태로 격자무늬를 영사하는 단계;
상기 격자무늬의 영사에 의해 형상측정 대상물에 투영된 격자무늬 이미지를 검출하는 단계; 및
상기 격자무늬와 간격이 동일하고 각도가 서로 다른 가상의 격자 무늬를 생성하고, 상기 가상의 격자무늬와 상기 형상측정 대상물에 투영된 격자무늬 이미지를 겹쳐 모아레 무늬를 형성하는 단계
를 포함하는 모아레 기법을 이용한 표면 형상 측정 방법을 제공한다.
바람직하게, 상기 산화막을 형성하는 단계는, 상기 형상측정 대상물의 표면에 금속박막을 코팅하는 단계; 및 상기 코팅된 금속박막을 산화시키는 단계를 포함할 수 있다. 특히, 상기 금속박막을 코팅하는 단계는 스퍼터링 기법을 이용하여 상 기 형상측정 대상물의 표면에 금속박막을 코팅하는 단계이며, 상기 산화시키는 단계는 반응성 이온 식각 챔버를 이용하여 상기 금속박막을 산화시키는 단계인 것이 바람직하다.
바람직하게, 상기 검출하는 단계는, 상기 격자무늬의 영사에 의해 형상측정 대상물에 투영된 격자무늬 이미지를 확대하는 단계; 및 상기 확대된 격자무늬 이미지를 고체 촬상소자를 이용하여 검출하는 단계를 포함할 수 있다.
본 발명에 따르면, 형상측정 대상물의 표면에 산화막을 형성하여 상기 표면에 영사되는 격자무늬의 선명도를 향상시킴으로써 선명한 모아레 무늬를 획득할 수 있는 효과가 있다.
또한, 이를 통해 광학 부품(렌즈)와 같이 투과율이 높은 측정 대상물에 대한 표면형상 측정 정확도를 향상시킬 수 있는 효과가 있다.
이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 대한 동작 원리를 상세히 설명한다. 하기에서 본 발명을 설명함에 있어 관련된 공지 기능 또는 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명을 생략할 것이다. 그리고 후술되는 용어들은 본 발명에서 의 기능을 고려하여 정의된 용어들로서 이는 사용자, 운용자의 의도 또는 관례 등에 따라 달라질 수 있다. 그러므로 그 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 내려져야 할 것이다.
도 1은 본 발명의 일실시형태에 따른 모아레 기법을 이용한 표면 형상 측정 방법을 도시한 플로우 차트이다. 도 1을 참조하면, 본 발명의 일실시형태에 따른 모아레 기법을 이용한 표면 형상 측정 방법은, 형상측정 대상물의 표면에 산화막을 형성하는 단계(S11)와, 상기 형상측정 대상물에 평행광 상태로 격자무늬를 영사하는 단계(S12)와, 상기 형상측정 대상물에 투영된 격자무늬 이미지를 검출하는 단계(S13)와, 상기 격자무늬와 간격이 동일하고 각도가 서로 다른 가상의 격자 무늬를 생성하고, 상기 가상의 격자무늬와 상기 형상측정 대상물에 투영된 격자무늬 이미지를 겹쳐 모아레 무늬를 형성하는 단계(S14)를 포함할 수 있다.
상기 형상측정 대상물의 표면에 산화막을 형성하는 단계(S11)는, 상기 형상측정 대상물의 표면에 금속박막을 코팅하는 단계(S111)와, 상기 코팅된 금속박막을 산화시키는 단계(S112)를 포함할 수 있다. 상기 금속박막을 코팅하는 단계(S111)는 스퍼터링 기법을 이용하여 상기 형상측정 대상물의 표면에 금속박막을 코팅하는 단계인 것이 바람직하다. 또한, 상기 산화시키는 단계(S112)는 반응성 이온 식각(RIE) 챔버를 이용하여 상기 금속박막을 산화시키는 단계인 것이 바람직하다.
상기 형상측정 대상물에 평행광 상태로 격자무늬를 영사하는 단계(S12)는 당 기술분야에 잘 알려진 다양한 방식으로 수행될 수 있다. 예를 들어, 측정 대상물 과 광원 사이에 격자를 배치시켜 상기 측정 대상물에 격자무늬를 영사하는 방법과 두 빛의 간섭현상에 의해 생성되는 격자무늬를 영사하는 방법 등이 알려져 수 있다. 통상 이동통신 단말기에 적용되는 광학 부품(렌즈)는 소형 렌즈이므로 격자무늬의 간격이 매우 조밀하여야 한다. 이를 위해, 전자의 영사 기법의 경우 좁은 격자간격을 갖는 격자를 사용하여야 하며 측정 대상물과 격자간의 간격을 좁게 유지하여야 한다. 이로 인해 실제 측정하고자 하는 모아레 무늬가 형성되는 구간이 짧아지게 되고 격자와 측정 대상물의 잔상이 검출되는 문제가 발생할 수 있다. 이러한 문제를 해결하기 위해 격자와 물체 간격을 충분히 확보하게 되면 측정 대상물에 선명한 격자 무늬를 형성하지 못하고 레즈의 곡률이 큰 경우에는 전체 면적의 측정이 불가능한 문제가 발생할 수 있다. 따라서, 이 격자무늬를 영사하는 단계(S12)는 후자의 간섭계를 이용하여 격자무늬를 생성하는 기법을 적용하는 것이 바람직하다.
상기 격자무늬의 영사에 의해 형상측정 대상물에 투영된 격자무늬 이미지를 검출하는 단계(S13)는, 상기 격자무늬의 영사에 의해 형상측정 대상물에 투영된 격자무늬 이미지를 확대하는 단계와, 상기 확대된 격자무늬 이미지를 고체 촬상소자를 이용하여 검출하는 단계를 포함할 수 있다. 전술한 바와 같이, 이동통신 단말기 등에 적용되는 소형 광학 장치(렌즈)에 대한 영상처리를 위해 본 발명의 일실시형태는 형상측정 대상물에 투영된 격자무늬 이미지를 확대하는 과정을 더 포함하며, 이 확대된 이미지를 고체 촬상 소자를 통해 검출해낸다. 상기 이미지 확대 과정은 측정 대상물과 고체 촬상 소자 사이에 배치되는 배율 렌즈를 통해 수행될 수 있으며, 상기 배율 렌즈의 초점은 상기 고체 촬상 소자의 결상면에 맺히도록 조정될 수 있다.
상기 모아레 무늬를 형성하는 단계(S14)는 상기 측정 대상물에 투영되는 격자무늬와 간격이 동일하고, 격자의 방향 즉 각도가 서로 다른 가상의 격자무늬를 생성한 후, 이 가상의 상기 가상의 격자무늬와 상기 형상측정 대상물에 투영된 격자무늬 이미지를 겹쳐 모아레 무늬를 형성하는 단계이다. 상기 가상의 격자무늬는 표면 형상 측정에 필요한 다양한 알고리듬 및 연산을 위해 마련되는 컴퓨터에 의해 생성될 수 있다. 또한, 이 컴퓨터에 의한 이론적인 연산을 통해 가상의 격자무늬와 고체 촬상 소자에 의해 검출된 격자무늬를 겹쳤을 때 발생하는 모아레 무늬를 생성할 수 있다. 모아레 무늬 생성의 원리에 대한 구체적인 설명은 당 기술분야에서 통상적인 수준의 기술이므로 생략하기로 한다.
본 발명은 위상천이에 의해 서로 다른 복수(예를 들어, 4 개)의 격자무늬를 생성하여 측정 대상물에 영사하고, 측정 대상물이 각각의 영사된 격자무늬를 투영한 이미지를 각각 검출하며, 검출된 각각의 이미지에 대한 가상 격자무늬를 생성하여 서로 다른 위상의 복수의 모아레 무늬를 검출한다. 이러한 위상 천이된 복수의 모아레 무늬에 대해 PSI(Phase Shift Inerferometer) 알고리듬과 위상 복원(Phase Unwrapping) 알고리듬을 적용함으로써 측정 대상물에 해단 위상맵(phase map) 정보를 획득하고, 높이 비례상수를 이 위상맵 정보에 곱하여 최종적인 3차원 표면형상 정보를 획득할 수 있다(S15). 상기 PSI 알고리듬 및 위상 복원 알고리듬은 당 기술분야에 알려진 다양한 기법들이 적용될 수 있다. 상기 PSI 알고리듬 및 위상 복원 알고리듬에 대해서는 "J.E. Gallagher and D. R. Herriott, U. S. Patent 3,694,088 (1972)", "K. Creath, Progress in Optics. Vol. XXVI, 349 (E. Wolf, ED., Elsevier Science Publishers, Amsterdam", "J. E. Greivenkamp and J. H. Bruning, Optical Shop Testing, 2th Edition, pp518~536", 및 "J. E. Greivenkamp, Appl. Opt. 26, 5245 (1987)" 등을 참조할 수 있다.
도 2는 본 발명의 일실시형태에 따른 모아레 기법을 이용한 표면 형상 측정 방법을 적용하기 위한 측정 장치의 일례를 도시한 구성도이다.
도 2를 참조하면, 본 발명의 일실시형태에 따른 모아레 기법을 이용한 표면 형상 측정 방법을 적용하기 위한 측정 장치는, 광원(21), 빔 확산기(22), 광분할기(23), 미러(24a, 24b), 미러구동기(25), 배율렌즈(26), 고체 촬상소자(27), 컴퓨터(28)을 포함하여 구성될 수 있다. 상기 광원(21), 빔 확산기(22), 광분할기(23), 미러(24a, 24b) 및 미러구동기(25)는 측정 대상물(30)에 평행광 상태로 격자무늬를 영사하는 수단이 되며, 상기 배율렌즈(26) 및 고체 촬상소자(27)는 형상측정 대상물에 투영된 격자무늬 이미지를 검출하는 수단이 되며, 상기 컴퓨터(28)는 가상의 격자무늬를 생성하고 이 가상의 격자무늬와 상기 형상측정 대상물에 투영된 격자무 늬 이미지를 겹쳐 모아레 무늬를 형성한 후, 모아레 무늬를 이용하여 3차원 표면 형상을 복원하는 수단이 된다.
전술한 바와 같이, 소형의 측정 대상물에는 격자를 이용하여 격자무늬를 형성하는 것은 바람직하지 않으므로, 격자 대신 간섭계(Tyman-Green 간섭계 또는 Mach-Zehnder 간섭계)를 이용하여 격자 무늬를 형성한다. 이를 위해 도 2에 도시된 바와 같이, 레이저 다이오드와 같은 광원(21)에서 출력되는 광을 빔 확산기(22)를 이용하여 넓은 영역을 갖는 평행광으로 형성한 후 이 평행광을 광분할기(23)로 입사시킨다. 광분할기(23)를 통과한 평행광은 제1 미러(24a) 및 제2 미러(24b)로 분할되어 입사되며, 제1 미러(24a)에서 반사한 평행광과 제2 미러(24b)에서 반사한 평행광은 서로 간섭하여 격자와 같은 간섭무늬를 형성한다. 특히, 위상 천이를 위해, 이 장치는 상기 제1 미러(24a)에 압전 액추에이터와 같은 미러구동기(25)를 포함하며, 이 미러구동기(25)는 제1 미러(24a)의 위치를 전후로 이동시켜 반사되는 광의 위상을 변동한다.
위와 같은 간섭계에 의해 측정 대상물에 영사된 격자무늬는 측정 대상물에 투영되고, 이 투영된 격자무늬 이미지를 배율 렌즈(26)에서 소정 배율(예를 들어 4배)로 확대 한 후 고체 촬상소자(예를 들어, 2048×2048 화소의 CCD)(27)에서 검출한다. 전술한 바와 같이, 컴퓨터는 측정 대상물에 영사된 격자무늬와 동일한 간격을 갖고 각도가 다른 가상의 격자를 형성하고, 고체 촬상소자(27)에 의해 검출된 측정 대상물에 투영된 격자무늬와 상기 가상의 격자를 겹쳐 모아레 무늬를 생성한 후 PSI 알고리듬 및 위상 복원 알고리듬을 적용하여 측정 대상물의 표면 형상을 분 석한다.
한편, 본 발명은 광학 장치(렌즈)와 같이 투과율이 높은 측정 대상물의 측정 정확도를 향상시키기 위해 측정 대상물의 표면을 산화막으로 코팅하는 기술을 적용한다. 도 3은 배어(bare) 상태의 렌즈가 격자무늬를 투영한 이미지로서, 도 3에 도시된 것과 같이 투과율이 높은 렌즈에 대해서는 명확한 격자무늬가 투영되지 못한다. 즉, 측정 대상물이 렌즈인 경우, 사출 후의 배어(bare) 상태에서 광투과율이 90% 이상이 되므로, 배어 상태의 측정 렌즈에 격자무늬가 투영된 이미지의 선명도가 현저히 떨어지는 현상이 나타난다. 또한, 다량의 광이 투과됨으로서 렌즈의 측정하고자하는 면이 아닌 다른 면에서의 난반사 효과와 측정 렌즈에 수직이 아닌 각도를 가지고 입사하는 모아레 방식의 광원에서 렌즈 자체가 그림자 영역을 발생 시키므로서 격자 무늬의 선명도를 더욱 저하시켜 정상적인 3차원 표면 형상을 획득하기 불가능한 문제가 발생할 수 있다. 이에, 측정하고자 하는 면 이외의 면에서의 난반사 및 렌즈 자체에서 발생시키는 그림자 영역을 해결하기 위하여 측정하고자 하는 렌즈의 표면에 얇은 산화막을 형성하는 것이 바람직하다.
이 산화막을 형성하는 과정은, 스퍼터링 기법을 이용하여 측정 대상물(렌즈)의 표면에 금속박막을 형성하는 과정과, 형성된 금속박막을 RIE 챔버를 이용하여 산화시키는 과정을 포함할 수 있다.
도 4는 다양한 두께로 금속박막을 형성한 렌즈에 투영된 격자 무늬를 검출한 이미지이다. 도 4에 도시한 바와 같이, 측정 대상물(렌즈)의 표면에 금속박막 만을 코팅한 상태에서 투영된 격자 무늬를 검출한 이미지는 배어 상태의 이미지에 비해 비교적 선명한 격자무늬를 검출할 수 있으나, 금속박막의 두께가 얇을수록 투과율이 높아져 격자 무늬의 선명도가 저하되며, 금속 코팅의 두께가 두꺼울수록 반사율이 높아져 직접 고체 촬상소자로 반사되어 들어오는 빔에 의해 측정 면의 형상정보가 훼손되는 문제가 발생할 수 있다.
이에, 고체 촬상소자로 직접 입사되는 반사광을 감소시키기 위하여 금속박막의 표면을 산화 처리하는 과정을 수행하는 것이 바람직하다. 즉, 측정 대상물(렌즈)의 표면에 코팅된 금속박막의 표면을 산화 처리함으로써, 측정면에서의 산란(scattering) 효과를 통해 반사광이 발생하는 것을 방지할 수 있다.
도 5 및 도 6은 다양한 조건에 따라 산화코팅된 렌즈에 투영된 격자 무늬를 검출한 이미지이다. 특히 도 5는 20nm 두께의 금속박막에 대해 서로 다른 산화시간으로 산화를 진행한 후 투영된 격자 무늬를 검출한 이미지이며, 도 6은 200nm 두께의 금속박막에 대해 서로 다른 산화시간으로 산화를 진행한 후 투영된 격자 무늬를 검출한 이미지이다.
도 5 및 도 6에 도시된 바와 같이, 산화 과정 이전에 금속 코팅을 충분히 두껍게 하지 않을 경우 격자 무늬의 투과율이 높아져, 모아레 무늬를 획득하기에 충분한 선명도의 격자무늬를 획득하기 어렵다. 반응성 이온 식각 챔버(RIE 챔버)를 사용한 산화과정에서 충분한 두께로 코팅된 금속박막이 아닌 경우는 금속표면을 산화시키는 도중 렌즈 자체가 왜곡되어 정상적인 렌즈 표면 형상을 획득할 수 없다. 이와 같이 다양한 조건들을 적용하여 산화막을 형성하고 그에 투영된 격자무늬를 분석한 결과 대략 100 내지 200 ㎚의 금속박막을 코팅한 후, 대략 30 분 이상의 충분한 산화시간을 통해 금속박막의 표면을 산화시키는 경우 바람직한 렌즈 표면 형상 데이터를 획득할 수 있음이 확인 되었다.
이상에서 설명한 바와 같이, 광투과율이 높은 측정 대상물에 대해 측정하고자 하는 표면에 산화막을 형성 함으로써 모아레 기법 적용시 측정 대상물의 표면에 투영되는 격자무늬의 선명도를 현저하게 향상시킬 수 있다. 이를 통해 모아레 기법을 이용한 표면 형상 측정의 정확도를 현저하게 향상시킬 수 있다.
이상 본 발명의 상세한 설명에서는 구체적인 실시예에 관해 설명하였으나, 본 발명의 범위에서 벗어나지 않는 한도 내에서 여러 가지 변형이 가능함은 물론이다. 그러므로 본 발명의 범위는 설명된 실시예에 국한되지 않으며, 후술되는 특허청구의 범위뿐만 아니라 이 특허청구의 범위와 균등한 것들에 의해 정해져야 한다.
도 1은 본 발명의 일실시형태에 따른 모아레 기법을 이용한 표면 형상 측정 방법을 도시한 플로우 차트이다.
도 2는 본 발명의 일실시형태에 따른 모아레 기법을 이용한 표면 형상 측정 방법을 적용하기 위한 측정 장치의 일례를 도시한 구성도이다.
도 3은 배어(bare) 상태의 렌즈에 투영된 격자 무늬를 검출한 이미지이다.
도 4는 다양한 두께로 금속박막을 형성한 렌즈에 투영된 격자 무늬를 검출한 이미지이다.
도 5는 20nm 두께의 금속박막에 대한 산화 시간에 따른 렌즈에 투영된 격자 무늬를 검출한 이미지이다.
도 6은 200nm 두께의 금속박막에 대한 산화 시간에 따른 렌즈에 투영된 격자 무늬를 검출한 이미지이다.

Claims (4)

  1. 형상측정 대상물의 표면에 산화막을 형성하는 단계;
    상기 형상측정 대상물에 평행광 상태로 격자무늬를 영사하는 단계;
    상기 격자무늬의 영사에 의해 형상측정 대상물에 투영된 격자무늬 이미지를 검출하는 단계; 및
    상기 격자무늬와 간격이 동일하고 각도가 서로 다른 가상의 격자 무늬를 생성하고, 상기 가상의 격자무늬와 상기 형상측정 대상물에 투영된 격자무늬 이미지를 겹쳐 모아레 무늬를 형성하는 단계
    를 포함하는 모아레 기법을 이용한 표면 형상 측정 방법.
  2. 제1항에 있어서, 상기 산화막을 형성하는 단계는,
    상기 형상측정 대상물의 표면에 금속박막을 코팅하는 단계; 및
    상기 코팅된 금속박막을 산화시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 모아레 기법을 이용한 표면 형상 측정 방법.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 금속박막을 코팅하는 단계는 스퍼터링 기법을 이용하여 상기 형상측정 대상물의 표면에 금속박막을 코팅하는 단계이며, 상기 산화시키는 단계는 반응성 이온 식각 챔버를 이용하여 상기 금속박막을 산화시키는 단계인 것을 특징으로 하는 모레이 기법을 이용한 표면 형상 측정 방법.
  4. 제1항에 있어서, 상기 검출하는 단계는,
    상기 격자무늬의 영사에 의해 형상측정 대상물에 투영된 격자무늬 이미지를 확대하는 단계; 및
    상기 확대된 격자무늬 이미지를 고체 촬상소자를 이용하여 검출하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 모아레 기법을 이용한 표면 형상 측정 방법.
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