KR20090061852A - Magazine auto transferring apparatus and wire bonding equipment having the same - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 매거진 자동 이송장치 및 그 매거진 자동 이송장치를 구비하는 와이어 본딩 설비에 관한 것으로, 좀더 상세하게는 본딩 공정 이후 로더 측에서 배출되는 매거진을 언로더 측으로 자동 이송시킬 수 있는 매거진 자동 이송장치 및 그 매거진 자동 이송장치를 구비하는 와이어 본딩 설비에 관한 것이다. The present invention relates to a magazine automatic feeder and a wire bonding facility having a magazine automatic feeder, and more particularly, a magazine automatic feeder which can automatically transfer a magazine discharged from the loader side to the unloader side after the bonding process. It relates to a wire bonding facility provided with the magazine automatic feeder.
일반적으로, 반도체 조립공정은 웨이퍼 프로세스(Wafer process)를 통해 제조가 완료된 실리콘 웨이퍼로부터 개별 반도체 칩{다이(Die)라고도 함}을 분리한 다음, 이를 리드 프레임(Lead frame)에 접착하는 다이 본딩(Die bonding) 공정으로 시작된다.In general, a semiconductor assembly process separates an individual semiconductor chip (also called a die) from a manufactured silicon wafer through a wafer process, and then die-bonds the adhesive to a lead frame. Die bonding) process.
그리고 반도체 칩이 접착된 리드 프레임은 와이어 본딩(Wire bonding) 공정을 통해서 또는 리드 프레임의 리드를 반도체 칩의 본드 패드에 연결함으로써 반도체 칩과 전기적으로 연결된다.The lead frame to which the semiconductor chip is bonded is electrically connected to the semiconductor chip through a wire bonding process or by connecting the lead of the lead frame to the bond pad of the semiconductor chip.
다음, 반도체 칩이 리드 프레임과 전기적으로 연결되면, 반도체 칩을 외부의 수분이나 먼지 또는 충격 등으로부터 보호하기 위해 리드 프레임 상면 전체에 봉지 재를 몰딩하는 몰딩 공정을 수행하게 되고, 몰딩 공정 후에는 리드 프레임을 각각의 패키지로 절단하여 반도체를 완성한다.Next, when the semiconductor chip is electrically connected to the lead frame, a molding process of molding the encapsulant on the entire upper surface of the lead frame is performed in order to protect the semiconductor chip from external moisture, dust, or impact. The frame is cut into individual packages to complete the semiconductor.
한편, 이와 같은 반도체 조립공정에서 리드 프레임은 스트립(Strip) 형태로 이송되는데, 하나의 스트립에는 동일한 리드 패턴이 여러 개 반복되어 있기 때문에 본딩 설비는 여러 반도체 칩을 동시에 다이 본딩, 와이어 본딩할 수 있게 된다. 여기서, 인덱서는 다이 본딩이나 와이어 본딩이 진행되도록 리드 프레임을 본딩 설비의 본딩 스테이지로 이송해주며, 이렇게 이송된 리드 프레임에는 본딩 유닛에 의해서 다이 본딩이나 와이어 본딩이 수행된다. 상기 리프 프레임은 통상 매거진(Magazine) 내부에 적재되고, 순차적으로 본딩 스테이지에 공급되며, 본딩 공정을 거친 리드 프레임은 다시 빈 매거진(Magazine) 내부에 회수된다.On the other hand, in the semiconductor assembly process, the lead frame is transferred in a strip form. Since the same lead pattern is repeated on one strip, the bonding facility can die-bond and wire-bond several semiconductor chips at the same time. do. Here, the indexer transfers the lead frame to the bonding stage of the bonding facility so that die bonding or wire bonding proceeds, and the bonded frame is subjected to die bonding or wire bonding by a bonding unit. The leaf frame is typically loaded inside a magazine, and is sequentially supplied to a bonding stage, and the lead frame that has undergone the bonding process is recovered again into an empty magazine.
종래 와이어 본딩 설비는 매거진이 장착되는 로더와, 상기 로더로부터 소정간격 이격된 언로더와, 상기 로더와 상기 언로더의 사이에 배치되며 본딩을 진행하기 위한 본딩 스테이지가 설치된 인덱서와, 상기 본딩 스테이지로 이송된 리프 프레임을 다이 본딩 및 와이어 본딩하는 본딩 유닛을 구비한다.Conventional wire bonding facilities include a loader equipped with a magazine, an unloader spaced apart from the loader by a predetermined distance, an indexer disposed between the loader and the unloader, and having a bonding stage for bonding, and the bonding stage. And a bonding unit for die bonding and wire bonding the conveyed leaf frame.
상기 로더는 본딩 스테이지로 리드 프레임을 공급하는 부분으로, 인덱서의 일 측에 구비된다. 상기 로더는 본딩 될 다수의 리드 프레임이 적재된 매거진이 장착되는 제 1 매거진 홀더와, 제 1 매거진 홀더를 공정진행에 따라 상하 및 전후 방향으로 이동시켜주는 제 1 매거진 이동유닛을 구비한다.The loader is a part for supplying a lead frame to the bonding stage, and is provided at one side of the indexer. The loader includes a first magazine holder in which a magazine loaded with a plurality of lead frames to be bonded is mounted, and a first magazine moving unit for moving the first magazine holder in the vertical direction and the front and rear directions as the process proceeds.
상기 언로더는 본딩 스테이지를 경유한 리드 프레임을 회수하는 부분으로 로 더에 상응되게 인덱서의 타 측에 구비된다.The unloader is a part for recovering the lead frame via the bonding stage and is provided on the other side of the indexer corresponding to the loader.
상기 언로더는 본딩된 리프 프레임들이 적재되도록 별도의 매거진이 장착되는 제 2 매거진 홀더와, 제 2 매거진 홀더를 공정진행에 따라 상하 및 전후 방향으로 이동시켜주는 제 2 매거진 이동유닛을 구비한다.The unloader includes a second magazine holder in which a separate magazine is mounted so that the bonded leaf frames are loaded, and a second magazine moving unit for moving the second magazine holder in the vertical direction and the front and rear directions as the process progresses.
상기 인덱서는 로더와 언로더의 사이에 마련되며 로더의 매거진에 적재된 리드 프레임을 순차적으로 언로더의 매거진 내부로 이송하면서 상기 이송되는 리프 프레임이 본딩 스테이지를 경유하도록 하는 역할을 한다.The indexer is provided between the loader and the unloader and serves to cause the conveyed leaf frame to pass through the bonding stage while sequentially transferring the lead frame loaded in the loader's magazine into the magazine of the unloader.
이와 같이 구성된 종래 와이어 본딩 설비에서는, 작업자가 본딩될 다수의 리드 프레임이 적재된 매거진을 로더에 장착한다. 인덱서는 리드 프레임을 로더의 매거진에서 인출하여 본딩 스테이지로 이송한다.In the conventional wire bonding facility configured as described above, a loader mounts a magazine on which a plurality of lead frames to be bonded are loaded on a loader. The indexer pulls the lead frame out of the loader's magazine and transfers it to the bonding stage.
상기 본딩 스테이지로 이송된 리드 프레임은 본딩 유닛에 의해 다이 본딩과 와이어 본딩 된 후, 매거진 내부에 회수된다.The lead frame transferred to the bonding stage is die bonded and wire bonded by the bonding unit, and then recovered in the magazine.
그러나 종래 와이어 본딩 설비에서는, 로더에서 배출되는 매거진을 작업자가 일일이 수작업으로 꺼내어 언로더에 장착하여야 하므로, 수작업으로 인한 작업 지연 및 생산성 저하는 물론이며, 효율적인 장비 관리가 어려운 문제점이 있었다.However, in the conventional wire bonding equipment, the magazine discharged from the loader has to be taken out manually by the worker and mounted on the unloader, thereby reducing the work delay and productivity due to the manual work, and there is a problem in that it is difficult to efficiently manage the equipment.
본 발명은 전술한 문제점을 해결하기 위하여 고안된 것으로, 와이어 본딩 공정 이후 로더 측에서 배출되는 매거진을 언로더 측으로 자동 이송시킴으로써, 작업지연을 방지하고 생산성을 높이며, 효율적인 장비 관리를 실현할 수 있는 매거진 자동 이송장치 및 그 매거진 자동 이송장치를 구비하는 와이어 본딩 설비를 제공함에 그 목적이 있다.The present invention is designed to solve the above-described problems, by automatically transferring the magazine discharged from the loader side to the unloader side after the wire bonding process, to prevent work delays, increase productivity, automatic magazine management that can realize efficient equipment management It is an object of the present invention to provide a wire bonding facility having an apparatus and an automatic magazine conveying apparatus thereof.
전술한 목적을 달성하기 위하여, 제 1 관점에 따른 본 발명의 와이어 본딩 설비를 제공한다.In order to achieve the above object, there is provided a wire bonding facility of the present invention according to the first aspect.
상기 와이어 본딩 설비는 다수의 리드 프레임을 적재한 매거진을 올려놓기 위한 제 1 매거진 어퍼 트레이; 상기 제 1 매거진 어퍼 트레이에 남아있는 빈 매거진을 배출할 수 있도록 로더 베이스의 일 측에 이동 가능하게 설치되는 로더; 본딩 공정을 거친 상기 리드 프레임을 회수할 수 있도록 상기 빈 매거진을 올려놓기 위한 제 2 매거진 어퍼 트레이; 상기 제 2 매거진 어퍼 트레이에 상기 매거진을 공급하기 위하여 상기 로더와 상응하게 위치하며, 언로더 베이스의 일 측에 이동 가능하게 설치되는 언로더; 상기 로더와 상기 언로더 사이에 구비되며, 상기 제 1 매거진 어퍼 트레이에 놓인 상기 매거진의 리드 프레임을 본딩 스테이지 쪽으로 이송시키는 인덱서; 상기 인덱서에 의해 상기 본딩 스테이지에 이송된 상기 리드 프레임을 본딩하는 본딩 유닛; 및 상기 로더에서 배출된 상기 매거진을 상기 언로더 측으로 이송시킬 수 있도록 장비 베이스에 설치되는 매거진 이송유닛을 구비한다.The wire bonding facility includes a first magazine upper tray for placing a magazine loaded with a plurality of lead frames; A loader movably installed on one side of the loader base to discharge empty magazines remaining in the first magazine upper tray; A second magazine upper tray for placing the empty magazine to recover the lead frame that has undergone a bonding process; An unloader positioned corresponding to the loader to supply the magazine to the second magazine upper tray, the unloader being movably installed on one side of the unloader base; An indexer provided between the loader and the unloader and configured to transfer the lead frame of the magazine placed on the first magazine upper tray toward a bonding stage; A bonding unit for bonding the lead frame transferred to the bonding stage by the indexer; And a magazine transfer unit installed in the equipment base to transfer the magazine discharged from the loader to the unloader side.
또, 제 2 관점에 따른 본 발명의 매거진 자동 이송장치는 다수의 리드 프레임을 적재한 매거진을 올려놓기 위한 제 1 매거진 어퍼 트레이; 상기 제 1 매거진 어퍼 트레이에 놓인 빈 매거진을 배출할 수 있도록 로더 베이스의 일 측에 이동 가능하게 설치되는 로더; 본딩 공정을 거친 상기 리드 프레임을 회수할 수 있도록 상 기 매거진을 올려놓기 위한 제 2 매거진 어퍼 트레이; 상기 제 2 매거진 어퍼 트레이에 상기 매거진을 공급하기 위하여 상기 로더와 상응하게 위치하며, 언로더 베이스의 일 측에 이동 가능하게 설치되는 언로더; 및 상기 로더 측에서 배출된 상기 매거진을 상기 언로더 측으로 이송시킬 수 있도록 장비 베이스에 설치되는 매거진 이송유닛을 구비한다.In addition, the magazine automatic conveying apparatus of the present invention according to the second aspect includes a first magazine upper tray for placing a magazine loaded with a plurality of lead frames; A loader movably installed on one side of the loader base to discharge empty magazines placed on the first magazine upper tray; A second magazine upper tray for placing the magazine to recover the lead frame after the bonding process; An unloader positioned corresponding to the loader to supply the magazine to the second magazine upper tray, the unloader being movably installed on one side of the unloader base; And a magazine transfer unit installed in the equipment base to transfer the magazine discharged from the loader side to the unloader side.
상기 제 1 매거진 어퍼 트레이는 상기 매거진이 놓이는 어퍼 트레이 본체; 상기 매거진을 순차적으로 이송시키기 위해 상기 어퍼 트레이 본체에 설치되는 이송벨트; 상기 이송벨트를 장착하기 위해 상기 어퍼 트레이 본체의 전후에 설치되는 구동/종동 롤러; 및 상기 구동 롤러를 구동시킬 수 있도록 상기 어퍼 트레이 본체 내부에 설치되는 어퍼 트레이 구동모터를 구비할 수 있다.The first magazine upper tray may include: an upper tray body in which the magazine is placed; A conveyance belt installed in the upper tray body to sequentially convey the magazine; A driving / driven roller installed before and after the upper tray main body for mounting the transfer belt; And an upper tray driving motor installed inside the upper tray main body to drive the driving roller.
상기 로더는 상기 언로더 베이스 상에 전후방향으로 이동 가능하게 설치되는 포스트 프레임; 상기 포스트 프레임에 종 방향으로 회전 가능하게 설치되는 제 1 이송 스크류; 상기 매거진 이송유닛에 의해 이송된 상기 빈 매거진을 클램핑하여 상기 제 2 매거진 어퍼 트레이에 올려놓을 수 있도록 상기 제 1 이송 스크류에 승하강 가능하게 결합되는 제 1 클램프; 상기 제 1 이송 스크류와 일정 간격을 유지하여 상기 제 1 클램프 상에 종 방향으로 회전 가능하게 설치되는 제 2 이송 스크류; 상기 제 1 클램프의 상방에 위치하며 상기 제 2 이송 스크류에 승하강 가능하게 결합되는 제 2 클램프; 상기 포스트 프레임의 상부에 설치되며, 상기 제 1 이송 스크류를 회전시켜 상기 제 1 클램프와 상기 제 2 클램프를 동시에 승하강시키는 제 1클램프 구동모터 유닛; 및 상기 제 2 이송 스크류를 회전시켜 상기 제 2 클램 프를 승하강시키는 제 2클램프 구동모터 유닛을 포함한다.The loader includes a post frame which is installed on the unloader base so as to be movable in the front and rear directions; A first conveying screw rotatably installed in the post frame in a longitudinal direction; A first clamp coupled to the first conveying screw to move up and down to clamp the empty magazine conveyed by the magazine conveying unit to be placed on the second magazine upper tray; A second feed screw rotatably installed in the longitudinal direction on the first clamp while maintaining a predetermined distance from the first feed screw; A second clamp positioned above the first clamp and coupled to the second conveying screw in a liftable manner; A first clamp driving motor unit installed on an upper portion of the post frame and rotating the first conveying screw to simultaneously lift and lower the first clamp and the second clamp; And a second clamp driving motor unit which rotates the second conveying screw to raise and lower the second clamp.
상기 포스트 프레임의 후방에는 상기 포스트 프레임을 전후방향으로 구동시키는 포스트 프레임 구동 유닛이 구비될 수 있다.The rear of the post frame may be provided with a post frame driving unit for driving the post frame in the front-rear direction.
상기 제 2 매거진 어퍼 트레이는 상기 빈 매거진이 놓이는 어퍼 트레이 본체; 상기 매거진을 순차적으로 이송시키기 위해 상기 어퍼 트레이 본체에 설치되는 이송벨트; 상기 이송벨트를 장착하기 위해 상기 어퍼 트레이 본체의 전후에 설치되는 구동/종동 롤러; 및 상기 구동 롤러를 구동시킬 수 있도록 상기 어퍼 트레이 본체 내부에 설치되는 어퍼 트레이 구동모터를 구비할 수 있다.The second magazine upper tray may include: an upper tray body in which the empty magazine is placed; A conveyance belt installed in the upper tray body to sequentially convey the magazine; A driving / driven roller installed before and after the upper tray main body for mounting the transfer belt; And an upper tray driving motor installed inside the upper tray main body to drive the driving roller.
상기 언로더는 상기 언로더 베이스 상에 전후방향으로 이동 가능하게 설치되는 포스트 프레임; 상기 포스트 프레임에 종 방향으로 회전 가능하게 설치되는 제 1 이송 스크류; 상기 매거진 이송유닛에 의해 이송된 상기 빈 매거진을 클램핑하여 상기 제 2 매거진 어퍼 트레이에 올려놓을 수 있도록 상기 제 1 이송 스크류에 승강 가능하게 결합되는 제 1 클램프; 상기 제 1 이송 스크류와 일정 간격을 유지하여 상기 제 1 클램프 상에 종 방향으로 회전 가능하게 설치되는 제 2 이송 스크류; 상기 제 1 클램프의 상방에 위치하며 상기 제 2 이송 스크류에 승하강 가능하게 결합되는 제 2 클램프; 상기 포스트 프레임의 상부에 설치되며, 상기 제 1 이송 스크류를 회전시켜 상기 제 1 클램프와 상기 제 2 클램프를 동시에 승하강시키는 제 1클램프 구동모터 유닛; 및 상기 제 2 이송 스크류를 회전시켜 상기 제 2 클램프를 승하강시키는 제 2클램프 구동모터 유닛을 포함한다.The unloader may include a post frame installed on the unloader base so as to be movable in a forward and backward direction; A first conveying screw rotatably installed in the post frame in a longitudinal direction; A first clamp which is liftably coupled to the first conveying screw so as to clamp the empty magazine conveyed by the magazine conveying unit and place it on the second magazine upper tray; A second feed screw rotatably installed in the longitudinal direction on the first clamp while maintaining a predetermined distance from the first feed screw; A second clamp positioned above the first clamp and coupled to the second conveying screw in a liftable manner; A first clamp driving motor unit installed on an upper portion of the post frame and rotating the first conveying screw to simultaneously lift and lower the first clamp and the second clamp; And a second clamp driving motor unit which rotates the second conveying screw to raise and lower the second clamp.
상기 포스트 프레임의 후방에는 상기 포스트 프레임을 전후방향으로 구동시 키는 포스트 프레임 구동 유닛이 구비될 수 있다.The rear of the post frame may be provided with a post frame driving unit for driving the post frame in the front-rear direction.
상기 매거진 이송유닛은 상기 로더가 배출하는 상기 빈 매거진이 놓이며, 상기 빈 매거진을 상기 언로더 측으로 이송시키는 제 1 로워 트레이; 상기 제 1 로워 트레이에 의해 이송된 상기 빈 매거진을 상기 언로더 측으로 이송시키는 제 2 로워 트레이; 및 상기 제 1 로워 트레이와 상기 제 2 로워 트레이 사이에 설치되는 트랜스퍼를 구비할 수 있다.The magazine transfer unit includes a first lower tray to which the empty magazine discharged by the loader is placed, and transfers the empty magazine to the unloader side; A second lower tray configured to transfer the empty magazine conveyed by the first lower tray to the unloader side; And a transfer provided between the first lower tray and the second lower tray.
상기 제 1 로워 트레이는 로워 트레이 본체; 상기 로워 트레이 본체의 전후에 설치되는 벨트 구동/종동 롤러; 상기 벨트 구동 롤러를 구동시키는 벨트 구동 롤러 구동모터; 상기 벨트 구동 롤러와 상기 벨트 종동 롤러에 설치되는 이송벨트; 상기 로워 트레이 본체 내부에 설치되며, 상기 트랜스퍼 방향으로 회전 가능하게 설치되는 다수의 업다운 롤러 부; 업다운 롤러 부를 구동시키는 업다운 롤러 부 구동모터; 상기 업다운 롤러 부를 업다운 시키는 업다운 롤러 부 구동 핀; 및 상기 업다운 롤러 부 구동 핀을 선택적으로 업 다운시키는 업다운 실린더를 구비할 수 있다.The first lower tray may include a lower tray body; A belt drive / driven roller installed before and after the lower tray main body; A belt driving roller driving motor for driving the belt driving roller; A conveying belt installed on the belt driving roller and the belt driven roller; A plurality of up-down roller parts installed inside the lower tray main body and rotatably installed in the transfer direction; An up-down roller unit driving motor for driving the up-down roller unit; An up-down roller part driving pin for up-downing the up-down roller part; And an up-down cylinder for selectively up-downing the up-down roller sub-drive pin.
상기 제 2 로워 트레이는 로워 트레이 본체; 상기 로워 트레이 본체의 전후에 설치되는 벨트 구동/종동 롤러; 상기 벨트 구동 롤러를 구동시키는 벨트 구동 롤러 구동모터; 상기 벨트 구동 롤러와 상기 벨트 종동 롤러에 설치되는 이송벨트; 상기 로워 트레이 본체 내부에 설치되며, 상기 트랜스퍼 반대 방향으로 회전 가능하게 설치되는 다수의 업다운 롤러 부; 업다운 롤러 부를 구동시키는 업다운 롤러 부 구동모터; 상기 업다운 롤러 부를 업다운 시키는 업다운 롤러 부 구동 핀; 및 상기 업다운 롤러 부 구동 핀을 선택적으로 업 다운시키는 업다운 실린더를 구비할 수 있다.The second lower tray may include a lower tray body; A belt drive / driven roller installed before and after the lower tray main body; A belt driving roller driving motor for driving the belt driving roller; A conveying belt installed on the belt driving roller and the belt driven roller; A plurality of up-down roller parts installed inside the lower tray body and rotatably installed in a direction opposite to the transfer; An up-down roller unit driving motor for driving the up-down roller unit; An up-down roller part driving pin for up-downing the up-down roller part; And an up-down cylinder for selectively up-downing the up-down roller sub-drive pin.
상기 트랜스퍼는 트랜스퍼 본체; 상기 트랜스퍼 본체의 좌우에 설치되는 구동/종동 롤러; 상기 구동 롤러를 구동하는 구동 롤러 구동모터; 및 상기 구동 롤러와 상기 종동 롤러에 설치되는 이송벨트를 구비할 수 있다.The transfer includes a transfer body; Drive / driven rollers installed on left and right sides of the transfer body; A drive roller drive motor for driving the drive roller; And a conveyance belt installed on the driving roller and the driven roller.
상기 제 1 로워 트레이와 상기 제 2 로워 트레이의 일 측에는 매거진 감지 센서가 구비될 수 있다.A magazine detection sensor may be provided at one side of the first lower tray and the second lower tray.
상기 제 1 어퍼 트레이와 상기 제 1 로워 트레이의 측면에는 제 1 가이드 판이 설치되고, 상기 제 2 어퍼 트레이와 상기 제 2 로워 트레이의 측면에는 제 2 가이드 판이 설치될 수 있다.A first guide plate may be installed on side surfaces of the first upper tray and the first lower tray, and a second guide plate may be installed on side surfaces of the second upper tray and the second lower tray.
상기 제 1 가이드 판은 상기 제 1 어퍼 트레이와 상기 제 1 로워 트레이에 설치된 제 1 조임 볼트에 의해 위치 조절되며, 상기 제 2 가이드 판은 상기 제 2 어퍼 트레이와 상기 제 2 로워 트레이에 설치된 제 2 조임 볼트에 의해 위치 조절될 수 있다.The first guide plate is positioned by a first fastening bolt installed in the first upper tray and the first lower tray, and the second guide plate is a second installed in the second upper tray and the second lower tray. The position can be adjusted by tightening bolts.
이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명에 의하면 로더에서 배출된 빈 매거진을 언로더 측으로 이송시킬 수 있는 매거진 이송유닛을 구비하여, 와이어 본딩 공정 중에 로더 측에서 배출되는 매거진을 언로더 측으로 자동 이송시킴으로써, 작업지연을 방지하고 생산성을 높이며, 효율적인 장비 관리를 실현할 수 있다.As described above, according to the present invention is provided with a magazine transfer unit for transferring the empty magazine discharged from the loader to the unloader side, by automatically transferring the magazine discharged from the loader side to the unloader side during the wire bonding process, This can prevent delays, increase productivity, and enable efficient equipment management.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.
도 1은 본 발명에 따른 와이어 본딩 설비를 사시도이다.1 is a perspective view of a wire bonding facility according to the present invention.
도 1 을 참조하면, 본 발명의 와이어 본딩 설비(50)는 매거진의 리드 프레임(L)을 본딩 스테이지(61) 쪽으로 이송시키는 인덱서(Indexer))(60); 상기 인덱서(60)에 의해 상기 본딩 스테이지(61)에 이송된 상기 리드 프레임(L)을 다이 본딩과 와이어 본딩하는 본딩 유닛(70); 및 리드 프레임(L)이 분리된 매거진을 자동으로 배출하고 소정 위치로 이송시키는 매거진 자동 이송장치(100)를 구비한다.Referring to FIG. 1, the
도 1 내지 도 20을 참조하여 본 발명의 매거진 자동 이송장치(100)에 대하여 상세하게 설명한다.1 to 20 will be described in detail with respect to the magazine
도 1을 참조하면, 본 발명의 매거진 자동 이송장치(100)는 다수의 리드 프레임(L)을 적재한 매거진을 올려놓기 위한 제 1 매거진 어퍼 트레이(110); 상기 제 1 매거진 어퍼 트레이(110)에 놓인 빈 매거진을 배출할 수 있도록 로더 베이스(101)의 일 측에 이동 가능하게 설치되는 로더(120); 본딩 공정을 거친 상기 리드 프레임(L)을 회수할 수 있도록 상기 매거진을 올려놓기 위한 제 2 매거진 어퍼 트레이(130); 상기 제 2 매거진 어퍼 트레이(130)에 상기 매거진을 공급하기 위하여 상기 로더(120)와 상응하게 위치하며, 언로더 베이스(102)의 일 측에 이동 가능하게 설치되는 언로더(140); 및 상기 로더(120)에서 배출된 상기 매거진을 상기 언로더(140) 측으로 이송시킬 수 있도록 장비 베이스(103)에 설치되는 매거진 이송유닛(150)을 구비한다.Referring to Figure 1, the magazine
도 2 내지 도 4를 참조하면, 상기 제 1 매거진 어퍼 트레이(110)는 상기 매거진이 놓이는 어퍼 트레이 본체(111); 상기 매거진을 순차적으로 이송시키기 위해 상기 어퍼 트레이 본체(111)에 설치되는 이송벨트(112); 상기 이송벨트(112)를 장착하기 위해 상기 어퍼 트레이 본체(111)의 전후에 설치되는 구동/종동 롤러(113)(114); 및 상기 구동 롤러(113)를 구동시킬 수 있도록 상기 어퍼 트레이 본체(111) 내부에 설치되는 어퍼 트레이 구동모터(115)를 구비할 수 있다.2 to 4, the first magazine
도 4 내지 도 7을 참조하면, 상기 로더(120)는 상기 로더 베이스(101) 상에 전후방향으로 이동 가능하게 설치되는 포스트 프레임(121); 상기 포스트 프레임(121)에 종 방향으로 회전 가능하게 설치되는 제 1 이송 스크류(122); 상기 제 1 매거진 어퍼 트레이(110)에 놓인 상기 빈 매거진을 클램핑할 수 있도록 상기 제 1 이송 스크류(122)에 승강 가능하게 결합되는 제 1 클램프(123); 상기 제 1 이송 스크류(122)와 일정 간격을 유지하여 상기 제 1 클램프(123)상에 종방방향으로 회전 가능하게 설치되는 제 2 이송 스크류(124); 상기 제 1 클램프(123)의 상방에 위치하며 상기 제 2 이송 스크류(123)에 승강 가능하게 결합되는 제 2 클램프(125); 상기 포스크 프레임(121)의 상부에 설치되며, 상기 제 1 이송 스크류(122)를 회전시켜, 상기 제 1 클램프(123)와 상기 제 2 클램프(125)를 동시에 승하강시키는 제 1클램프 구동모터 유닛(126): 및 상기 제 2 이송 스크류(123)를 회전시켜 상기 제 2 클램프(125)를 승하강시키는 제 2클램프 구동모터 유닛(127)을 구비할 수 있다.4 to 7, the
상기 포스트 프레임(121)의 후방에는 상기 포스트 프레임(121)을 전후방향으로 구동시키는 포스트 프레임 구동 유닛(129)이 구비될 수 있다.The rear of the
도 8 내지 도 10을 참조하면, 상기 제 2 매거진 어퍼 트레이(130)는 상기 빈 매거진이 놓이는 어퍼 트레이 본체(131); 상기 매거진을 순차적으로 이송시키기 위해 상기 어퍼 트레이 본체(131)에 설치되는 이송벨트(132); 상기 이송벨트(132)를 장착하기 위해 상기 어퍼 트레이 본체(131)의 전후에 설치되는 구동/종동 롤러(133)(134); 및 상기 구동 롤러(133)를 구동시킬 수 있도록 상기 어퍼 트레이 본체(131) 내부에 설치되는 어퍼 트레이 구동모터(135)를 구비할 수 있다.8 to 10, the second magazine
도 10 내지 도 13을 참조하면, 상기 언로더(140)는 상기 언로더 베이스(102) 상에 전후방향으로 이동 가능하게 설치되는 포스트 프레임(141); 상기 포스트 프레임(141)에 종 방향으로 회전 가능하게 설치되는 제 1 이송 스크류(142); 상기 제 1 매거진 어퍼 트레이(110)에 놓인 상기 빈 매거진을 클램핑할 수 있도록 상기 제 1 이송 스크류(142)에 승강 가능하게 결합되는 제 1 클램프(143); 상기 제 1 이송 스크류(142)와 일정 간격을 유지하여 상기 제 1 클램프(143)상에 종방방향으로 회전 가능하게 설치되는 제 2 이송 스크류(144); 상기 제 1 클램프(143)의 상방에 위치하며 상기 제 2 이송 스크류(144)에 승강 가능하게 결합되는 제 2 클램프(145); 상기 포스크 프레임(141)의 상부에 설치되며, 상기 제 1 이송 스크류(142)를 회전시켜, 상기 제 1 클램프(143)와 상기 제 2 클램프(145)를 동시에 승하강시키는 제 1클램프 구동모터 유닛(146): 및 상기 제 2 이송 스크류(143)를 회전시켜 상기 제 2 클램프(145)를 승하강시키는 제 2클램프 구동모터 유닛(147)을 구비할 수 있다.10 to 13, the
상기 포스트 프레임(141)의 후방에는 상기 포스트 프레임(141)을 전후방향으로 구동시키는 포스트 프레임 구동 유닛(149)이 구비될 수 있다.The rear of the
도 14 내지 도 20을 참조하여 상기 매거진 이송유닛(150)을 상세하게 설명한다.The
상기 매거진 이송유닛(150)은 상기 로더(120)가 배출하는 상기 빈 매거진이 놓이며, 상기 매거진을 상기 언로더(140) 측으로 이송시키는 제 1 로워 트레이(151); 상기 제 1 로워 트레이(151)에 의해 이송된 상기 빈 매거진을 상기 언로더(140) 측으로 이송시키는 제 2 로워 트레이(155); 및 상기 제 1 로워 트레이(151)와 상기 제 2 로워 트레이(155) 사이에 설치되는 트랜스퍼(157)를 구비할 수 있다.The
도 14 내지 도 16을 참조하면, 상기 제 1 로워 트레이(151)는 로워 트레이 본체(151a); 상기 로워 트레이 본체(151a)의 전후에 설치되는 벨트 구동/종동 롤러(151b)(151c); 상기 벨트 구동 롤러(151b)를 구동시키는 벨트 구동 롤러 구동모터(151d); 상기 벨트 구동 롤러(151b)와 상기 벨트 종동 롤러(151c)에 설치되는 이송벨트(151e); 상기 로워 트레이 본체(151a) 내부에 설치되며, 상기 트랜스퍼 방향으로 회전 가능하게 설치되는 다수의 업다운 롤러 부(151f); 업다운 롤러 부(151f)를 구동시키는 업다운 롤러 부 구동모터(M1); 상기 업다운 롤러 부(151f)를 업다운 시키는 업다운 롤러 부 구동 핀(151g); 및 상기 업다운 롤러 부 구 구동 핀(151g)을 선택적으로 구동시키는 업다운 실린더(151h)를 구비할 수 있다.14 to 16, the first
도 17 내지 도 19를 참조하면, 상기 제 2 로워 트레이(155)는 로워 트레이 본체(155a); 상기 로워 트레이 본체(155b)의 전후에 설치되는 벨트 구동/종동 롤러(155b)(155c); 상기 벨트 구동 롤러(155b)를 구동시키는 벨트 구동 롤러 구동 모터(155d); 상기 벨트 구동 롤러(155b)와 상기 벨트 종동 롤러(155c)에 설치되는 이송벨트(155e); 상기 로워 트레이 본체(155b) 내부에 설치되며, 상기 트랜스퍼 반대 방향으로 회전 가능하게 설치되는 다수의 업다운 롤러 부(155f); 업다운 롤러 부(155f)를 구동시키는 업다운 롤러 부 구동모터(M2); 상기 업다운 롤러 부(155f)를 업다운 시키는 업다운 롤러 부 구동 핀(155g); 및 상기 업다운 롤러 부 구동 핀(155g)을 선택적으로 업 다운시키는 업다운 실린더(155h)를 구비할 수 있다.17 to 19, the second
도 20을 참조하면, 상기 트랜스퍼(157)는 트랜스퍼 본체(157a); 상기 트랜스퍼 본체(157a)의 좌우에 설치되는 구동/종동 롤러(157b)(157c); 상기 구동 롤러(157b)를 구동하는 구동 롤러 구동모터(157d); 및 상기 구동 롤러(157b)와 상기 종동 롤러(157c)에 설치되는 이송벨트(157e)를 구비할 수 있다.20, the
상기 제 1 로워 트레이(151)와 상기 제 2 로워 트레이(155)의 일 측에는 각각 매거진 감지 센서(S1)(S2)가 구비될 수 있다(도 15 및 도 18 참조).One side of the first
상기 제 1 어퍼 트레이(110)와 상기 제 1 로워 트레이(151)의 측면에는 제 1 가이드 판(G1: 도 1 참조)이 설치되고, 상기 제 2 어퍼 트레이(130)와 상기 제 2 로워 트레이(155)의 측면에는 제 2 가이드 판(G2: 도 1 참조)이 설치될 수 있다.A first guide plate G1 (see FIG. 1) is installed on side surfaces of the first
상기 제 1 가이드 판(G1)은 상기 제 1 어퍼 트레이(110)와 상기 제 1 로워 트레이(151)에 설치된 제 1 조임 볼트(B1:도 15 참조)에 의해 위치 조절되며, 상기 제 2 가이드 판(G2)은 상기 제 2 어퍼 트레이(130)와 상기 제 2 로워 트레이(155)에 설치된 제 2 조임 볼트(B2: 도 18 참조)에 의해 위치 조절될 수 있다.The first guide plate G1 is positioned and adjusted by a first fastening bolt B1 (see FIG. 15) installed in the first
이와 같이 구성된 본 발명의 와이어 본딩 설비(50)에 있어서는 제 1 어퍼 트 레이(110)에 놓인 매거진의 리드 프레임(L)이 인덱서(60)에 의해서 본딩 스테이지(61)로 이송되고, 본딩 유닛(70)은 리드 프레임(L)을 다이 본딩과 와이어 본딩한다. 본딩 공정을 거친 리드 프레임(L)은 제 2 어퍼 트레이(130)에 놓인 매거진에 회수된다.In the
일련의 본딩 공정에 있어서 로더 측에서 배출되는 매거진은 본 발명의 매거진 자동 이송장치(100)에 의해서 언로더 측으로 자동 이송된다.In the series of bonding processes, the magazine discharged from the loader side is automatically transferred to the unloader side by the magazine
본 발명의 매거진 자동 이송장치의 작동을 설명하면 다음과 같다.Referring to the operation of the magazine automatic transfer device of the present invention.
우선, 로더(120)는 제 1 어퍼 트레이(110)에 놓인 매거진(리드 프레임이 분리된 매거진)을 클램핑하고 하강한 후 전방으로 전진하여 제 1 로워 트레이(151)에 올려놓는다.First, the
상기 제 1 로워 트레이(151)는 상기 매거진을 트랜스퍼(157)로 이송시키며, 트랜스퍼(157)는 상기 매거진을 다시 제 2 로워 트레이(155)로 이송시킨다.The first
상기 언로더(140)는 전방으로 전진하여 상기 제 2 로워 트레이(155)에 놓인 매거진을 클램핑하고 후진한 후, 상승하여 제 2 어퍼 트레이(130)에 올려놓는다. 이와 같은 일련의 이송 과정을 거쳐 매거진의 자동 이송이 수행된다.The
이하에서는 각 구성부품의 작동을 좀더 상세하게 설명한다.Hereinafter, the operation of each component will be described in more detail.
제 1 어퍼 트레이(110)의 경우에는, 어퍼 트레이 구동모터(115)가 구동하여 구동 롤러/종동 롤러(113)(114)를 회전시킨다. 상기 구동 롤러(113)와 종동 롤러(114)를 연결하고 있는 이송벨트(112)는 매거진을 적당한 위치에 이송시킨다.In the case of the first
상기 로더(120)의 경우에는, 제 1클램프 구동모터 유닛(126)에 의해서 제 1 이송 스크류(122)가 회전하면 상기 제 1 이송 스크류(122)상에 설치된 제 1 클램프(123)가 상승한다. 이때, 상기 제 2 클램프(125)는 물론 상기 제 2 이송 스크류(124)도 함께 상승된다. 상기 제 1 클램프(123) 및 제 2 클램프(125)가 적당한 높이로 이르면, 제 2클램프 구동모터 유닛(127)이 상기 제 2 이송 스크류(124)를 회전시켜서 상기 제 2 클램프(123)를 적당한 위치로 하강시킨다. 이때, 상기 제 1 클램프(123) 및 상기 제 2 클램프(125)에 의해서 매거진이 클램핑된다.In the case of the
포스트 프레임 구동 유닛(129)은 포스트 프레임(121) 전체를 전방 또는 후방으로 이동시키면서 상기 제 1 클램프(123) 및 상기 제 2 클램프(125)에 의해 클램핑 된 매거진을 제 1 로워 트레이(151)로 이송시킨다.The post
상기 제 1 로워 트레이(151)의 경우에는, 상기 벨트 구동 롤러 구동모터(151d)가 작동하여 상기 벨트 구동/종동 롤러(151b)(151b')를 회전시킨다. 상기 벨트 구동/종동 롤러(151b)(151b')를 연결하고 있는 이송벨트(151e)가 회전하면서 매거진을 적당한 위치로 이송시킨다.In the case of the first
그 다음, 상기 업다운 롤러 부 구동모터(M1)에 의해 회전하는 업다운 롤러 부(151f)가 상기 업다운 롤러 부 구동 핀(151g) 및 업다운 실린더(151h)에 의해서 탄력적으로 승강하여, 상기 매거진을 트랜스퍼 쪽으로 이송시킨다.Then, the up-down
여기서 센서(S1)는 매거진이 상기 제 1 로워 트레이(151)에 놓여 있는 지를 판단하고, 매겨진이 상기 제 1 로워 트레이(151)에 놓일 경우, 상기 벨트 구동 롤러 구동모터(151d) 및 상기 업다운 롤러 부 구동모터(M1)를 선택적으로 구동시키는 역할을 한다.Here, the sensor S1 determines whether a magazine is placed on the first
상기 트랜스퍼(157)의 경우에는, 상기 구동 롤러 구동모터(157d)가 작동하여 구동 롤러/종동 롤러(157b)(157c)를 회전시킨다. 상기 구동 롤러/종동 롤러(157b)(157c)를 연결하고 있는 이송벨트(157e)는 회전하면서 매거진을 제 2 로워 트레이(155)로 이송시킨다.In the case of the
상기 제 2 로워 트레이(155)의 경우에는, 업다운 롤러 부(155f)가 상기 업다운 롤러 부 구동 핀(155g) 및 업다운 실린더(155h)에 의해서 탄력적으로 승강함과 동시에 상기 업다운 롤러 부 구동모터(M2)가 작동하여 업다운 롤러 부(155f)를 회전시켜 매거진을 적당한 위치로 이송시킨다. 이때 상기 벨트 구동 롤러 구동모터(155d)에 의해 상기 벨트 구동/종동 롤러(155b)(155b')가 회전한다. 상기 벨트 구동/종동 롤러(155b)(155b')를 연결하고 있는 이송벨트(151e)가 회전하면서 매거진을 언로더(140) 쪽으로 이송시킨다.In the case of the second
여기서 센서(S2)는 매거진이 상기 제 2 로워 트레이(155)에 놓여 있는 지를 판단하고, 매겨진이 상기 제 2 로워 트레이(155)에 놓일 경우, 상기 벨트 구동 롤러 구동모터(155d) 및 상기 업다운 롤러 부 구동모터(M2)를 선택적으로 구동시키는 역할을 한다.Here, the sensor S2 determines whether a magazine is placed on the second
상기 언로더(140)의 경우에는, 상기 포스트 프레임 구동유닛(149)은 포스트 프레임(141) 전체를 전방으로 이동시킨다. 상기 제 1클램프 구동모터 유닛(146) 및 제 2클램프 구동모터 유닛(147)이 구동하여, 전술한 로더(120)와 동일한 원리로, 제 1 클램프(143)와 제 2 클램프(145)가 매거진을 클램핑 한다. 이후 상기 포스트 프레임 구동유닛(149)은 포스트 프레임(141) 전체를 후방으로 후퇴시킨다.In the case of the
다시 상기 제 1클램프 구동모터 유닛(146) 및 제 2클램프 구동모터 유닛(147)이 구동하여 전술한 로더(140)와 동일한 원리로, 제 1 클램프(143)와 제 2 클램프(145)가 매거진을 상기 제 2 어퍼 트레이(130)에 올려놓는다.The first clamp driving
전술한 바와 같이, 일련의 과정을 거쳐 로더(120) 측에서 배출되는 매거진을 자동으로 언로더(140) 측으로 이송시킨다.As described above, the magazine discharged from the
이상 설명한 바와 같이, 본 발명의 상세한 설명에서는 본 발명의 바람직한 실시 예에 관하여 설명하였으나, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 범주에서 벗어나지 않는 한도 내에서 여러 가지 변형 가능함은 물론이다.As described above, in the detailed description of the present invention has been described with respect to preferred embodiments of the present invention, those skilled in the art to which the present invention pertains various modifications can be made without departing from the scope of the invention Of course.
따라서 본 발명의 권리 범위는 설명된 실시 예에 국한되어 정해져서는 안되며, 후술하는 특허청구범위뿐만 아니라, 이 특허청구범위와 균등한 것들에 의해 정해져야 한다.Therefore, the scope of the present invention should not be limited to the described embodiments, but should be determined not only by the claims below, but also by the equivalents of the claims.
도 1은 본 발명에 따른 와이어 본딩 설비를 사시도1 is a perspective view of a wire bonding facility according to the present invention
도 2는 본 발명에 따른 매거진 자동 이송장치의 제 1 어퍼 트레이를 보인 분리 사시도Figure 2 is an exploded perspective view showing a first upper tray of the magazine automatic transfer device according to the present invention
도 3은 2의 측면도3 is a side view of the 2
도 4는 본 발명에 따른 매거진 자동 이송장치의 로더를 보인 측면도Figure 4 is a side view showing the loader of the magazine automatic transfer device according to the present invention
도 5는 도 4의 로더를 보인 사시도5 is a perspective view of the loader of FIG.
도 6은 도 5의 정면도6 is a front view of FIG. 5
도 7은 도 5의 종단면도7 is a longitudinal cross-sectional view of FIG.
도 8은 본 발명에 따른 매거진 자동 이송장치의 제 2 어퍼 트레이를 보인 분리 사시도Figure 8 is an exploded perspective view showing a second upper tray of the magazine automatic transfer device according to the present invention
도 9는 도 8의 측면도9 is a side view of FIG. 8
도 10은 본 발명에 따른 매거진 자동 이송장치의 언로더를 보인 측면도Figure 10 is a side view showing the unloader of the magazine automatic transfer device according to the present invention
도 11은 도 10의 언로더를 보인 사시도11 is a perspective view of the unloader of FIG.
도 12는 도 11의 정면도12 is a front view of FIG.
도 13은 도 11의 종단면도13 is a longitudinal cross-sectional view of FIG.
도 14는 본 발명에 따른 매거진 이송유닛의 제 1 로워 트레이를 보인 분리 사시도Figure 14 is an exploded perspective view showing a first lower tray of the magazine transfer unit according to the present invention
도 15는 도 14의 평면도15 is a top view of FIG. 14.
도 16은 도 14의 측면도FIG. 16 is a side view of FIG. 14
도 17은 본 발명에 따른 매거진 이송유닛의 제 2 로워 트레이를 보인 분리 사시도Figure 17 is an exploded perspective view showing a second lower tray of the magazine transfer unit according to the present invention
도 18은 도 17의 평면도18 is a top view of FIG. 17.
도 19는 도 17의 측면도19 is a side view of FIG. 17
도 20은 본 발명에 따른 매거진 이송유닛의 트랜스퍼를 보인 종단면도20 is a longitudinal sectional view showing a transfer of the magazine transfer unit according to the present invention;
*주요부분에 대한 도면 설명* Description of main parts
100: 매거진 자동 이송장치100: magazine automatic feeder
101: 로더 베이스101: loader base
102: 언로더 베이스102: unloader base
103: 장비 베이스103: equipment base
110: 제 1 매거진 어퍼 트레이110: first magazine upper tray
111: 어퍼 트레이 본체111: upper tray body
112: 이송벨트112: transport belt
113,114: 구동/종동 롤러113,114: Driven / Following Roller
115: 어퍼 트레이 구동모터115: upper tray drive motor
120: 로더120: loader
121: 포스트 프레임121: post frame
122: 제 1 이송 스크류122: first feed screw
123: 제 1 클램프123: first clamp
124: 제 2 이송 스크류124: second feed screw
125: 제 2 클램프125: second clamp
126: 제 1클램프 구동모터 유닛126: first clamp drive motor unit
127: 제 2클램프 구동모터 유닛127: second clamp drive motor unit
129: 포스트 프레임 구동유닛129: post frame drive unit
130: 제 2 매거진 어퍼 트레이130: second magazine upper tray
131: 어퍼 트레이 본체131: upper tray body
132: 이송벨트132: transport belt
133,134: 구동/종동 롤러133,134: driven / driven roller
135: 어퍼 트레이 구동모터135: upper tray drive motor
140: 언로더140: Unloader
141: 포스트 프레임141: post frame
142: 제 1 이송 스크류142: first feed screw
143: 제 1 클램프143: first clamp
144: 제 2 이송 스크류 144: second feed screw
145: 제 2 클램프145: second clamp
146: 상부 클램프 구동모터 유닛146: upper clamp drive motor unit
147: 하부 클램프 구동모터 유닛147: lower clamp drive motor unit
149: 포스트 프레임 구동 유닛149: post frame drive unit
150: 매거진 이송유닛150: magazine transfer unit
151: 제 1 로워 트레이151: first lower tray
151a: 로워 트레이 본체151a: lower tray body
151b,151c: 벨트 구동/종동 롤러151b, 151c: belt driven / driven roller
151d: 벨트 구동 롤러 구동모터151d: belt driven roller drive motor
151e: 이송벨트151e: conveying belt
151f: 업다운 롤러 부151f: up-down roller section
151g: 업다운 롤러 부 구동 핀151 g: up-down roller part drive pin
151h: 업다운 실린더151h: up-down cylinder
155: 제 2 로워 트레이155: second lower tray
155a: 로워 트레이 본체155a: lower tray body
155b,155c: 벨트 구동/종동 롤러155b, 155c: belt driven / driven roller
155d: 벨트 구동 롤러 구동모터155d: belt driven roller drive motor
155e: 이송벨트155e: conveying belt
155f: 업다운 롤러 부155f: up-down roller part
155g: 업다운 롤러 부 구동 핀155 g: up-down roller part drive pin
155h: 업다운 실린더155h: up-down cylinder
157: 트랜스퍼157: transfer
157a: 트랜스퍼 본체157a: transfer body
157b,157c: 구동/종동 롤러157b, 157c: driven / driven roller
157d: 구동 롤러 구동모터157d: drive roller drive motor
157e: 이송벨트157e: conveying belt
L: 리드 프레임L: lead frame
S1, S2: 감지 센서S1, S2: detection sensor
G1: 제 1 가이드 판G1: first guide plate
G2: 제 2 가이드 판G2: 2nd guide plate
B1: 제 1 조임 볼트B1: first tightening bolt
B2: 제 2 조임 볼트B2: 2nd tightening bolt
Claims (28)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020070128825A KR20090061852A (en) | 2007-12-12 | 2007-12-12 | Magazine auto transferring apparatus and wire bonding equipment having the same |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020070128825A KR20090061852A (en) | 2007-12-12 | 2007-12-12 | Magazine auto transferring apparatus and wire bonding equipment having the same |
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Family
ID=40991182
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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KR1020070128825A KR20090061852A (en) | 2007-12-12 | 2007-12-12 | Magazine auto transferring apparatus and wire bonding equipment having the same |
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KR (1) | KR20090061852A (en) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102773641A (en) * | 2012-08-08 | 2012-11-14 | 成都先进功率半导体股份有限公司 | Material box bearing device of blanking part of welding wire machine |
KR101276267B1 (en) * | 2013-02-26 | 2013-06-21 | 한복우 | A tray rotation device |
KR20190013250A (en) * | 2017-08-01 | 2019-02-11 | 에스케이하이닉스 주식회사 | Sorter and substrate transferring apparatus including the same |
KR102182374B1 (en) | 2019-05-23 | 2020-11-24 | 아메스산업(주) | Transfer Apparatus for Magazine with Pocket Member |
-
2007
- 2007-12-12 KR KR1020070128825A patent/KR20090061852A/en not_active Application Discontinuation
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