KR20090048101A - 약액 공급 장치 - Google Patents

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Abstract

약액 공급 장치가 제공된다. 약액 공급 장치는 약액을 저장하는 약액 탱크와, 약액 탱크 내의 약액의 수위를 측정하는 레벨 센서 및 약액의 수면으로 기체를 주입하여 약액 상의 기포를 제거하는 기체 주입기를 포함한다.
Figure P1020070114317
약액 탱크, 레벨 센서

Description

약액 공급 장치{Chemical supply apparatus}
본 발명은 약액 공급 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 약액의 수위를 정확히 측정할 수 있는 약액 공급 장치에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 제조 공정 또는 FPD(평판 디스플레이, Flat Panel Display) 제조 공정에서 사용되는 설비의 경우, 대부분 설비 프레임의 하부에 약액 탱크가 위치하게 되는데 탱크 내 약액의 수위를 측정하기 위해 레벨 센서(Level Sensor)를 사용한다. 레벨 센서는 크게 접촉식 레벨 센서와 비접촉식 레벨 센서로 구분될 수 있다. 접촉식 레벨 센서는 약액에 접촉하여 레벨을 감자하는 것으로 플로우트식(Float Type) 레벨 센서가 그 예이다. 비접촉식 레벨 센서는 약액과 접촉하지 않고, 예컨데 초음파, 광 등을 탱크로 발사하여 발사된 초음파 또는 광이 반사되는지 여부, 또는 반사되는데 걸리는 시간을 이용하여 레벨을 측정한다.
그러나 비접촉식 레벨 센서의 경우, 약액 탱크에 저장된 약액에서 발생된 기포로 인해 약액 수위를 정확하게 측정하지 못하게 된다.
이에 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 약액의 수위를 정확히 측정할 수 있는 약액 공급 장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 기술적 과제들은 이상에서 언급한 기술적 과제들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기 기술적 과제를 달성하기 위하여, 본 발명의 일 태양에 따른 약액 공급 장치는, 약액을 저장하는 약액 탱크와, 상기 약액 탱크 내의 상기 약액의 수위를 측정하는 레벨 센서 및 상기 약액의 수면으로 기체를 주입하여 상기 약액 상의 기포를 제거하는 기체 주입기를 포함한다.
여기서, 레벨 센서는 비접촉식 레벨 센서로서, 상기 약액 탱크 외부에 설치되어 상기 약액의 수위를 측정한다.
또한, 상기 레벨 센서는 상기 약액의 저장 하한의 레벨을 감지하는 저위 레벨 센서와 상기 약액의 저장 상한의 레벨을 감지하는 상한 레벨 센서를 포함할 수 있다.
상기 약액 탱크는 상기 약액을 저장하는 메인 저장부와, 상기 메인 저장부와 연결되어 상기 메인 저장부에 저장된 약액과 동일한 수위의 약액을 저장하는 측정용 저장관을 포함하고, 상기 레벨 센서는 상기 측정용 저장관의 외부에 설치될 수 있다.
여기서, 상기 기체 주입기는 상기 측정용 저장관 상부에 설치되어 상기 측정용 저장관 내부의 상기 약액 수면으로 기체를 주입할 수 있다.
기타 실시예들의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.
상기한 바와 같은 본 발명의 약액 공급 장치에 의하면, 레벨 센서가 약액의 기포에 의해 오동작을 하지 않게 되어 약액의 수위를 정확히 측정할 수 있다.
본 발명의 효과들은 이상에서 언급한 효과들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 효과들은 청구범위의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명 세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.
하나의 소자(elements)가 다른 소자와 "접속된(connected to)" 또는 "커플링된(coupled to)" 이라고 지칭되는 것은, 다른 소자와 직접 연결 또는 커플링된 경우 또는 중간에 다른 소자를 개재한 경우를 모두 포함한다. 반면, 하나의 소자가 다른 소자와 "직접 접속된(directly connected to)" 또는 "직접 커플링된(directly coupled to)"으로 지칭되는 것은 중간에 다른 소자를 개재하지 않은 것을 나타낸다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다. "및/또는"은 언급된 아이템들의 각각 및 하나 이상의 모든 조합을 포함한다.
비록 제1, 제2 등이 다양한 소자, 구성요소 및/또는 섹션들을 서술하기 위해서 사용되나, 이들 소자, 구성요소 및/또는 섹션들은 이들 용어에 의해 제한되지 않음은 물론이다. 이들 용어들은 단지 하나의 소자, 구성요소 또는 섹션들을 다른 소자, 구성요소 또는 섹션들과 구별하기 위하여 사용하는 것이다. 따라서, 이하에서 언급되는 제1 소자, 제1 구성요소 또는 제1 섹션은 본 발명의 기술적 사상 내에서 제2 소자, 제2 구성요소 또는 제2 섹션일 수도 있음은 물론이다.
본 명세서에서 사용된 용어는 실시예들을 설명하기 위한 것이며 본 발명을 제한하고자 하는 것은 아니다. 본 명세서에서, 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함한다. 명세서에서 사용되는 "포함한다(comprises)" 및/또는 "포함하는(comprising)"은 언급된 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자는 하나 이상의 다른 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자의 존재 또는 추가를 배제하지 않는다.
다른 정의가 없다면, 본 명세서에서 사용되는 모든 용어(기술 및 과학적 용 어를 포함)는 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 공통적으로 이해될 수 있는 의미로 사용될 수 있을 것이다. 또 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 용어들은 명백하게 특별히 정의되어 있지 않는 한 이상적으로 또는 과도하게 해석되지 않는다.
이하, 도 1 및 도 2를 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 약액 공급 장치를 설명한다. 도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 약액 공급 장치를 설명하기 위한 처리 시스템의 구성도이고, 도 2는 도 1의 약액 공급 장치의 구체적인 구성도이다.
도 1을 참조하면, 처리 시스템은 처리 장치10)와 약액 공급 장치(50)를 포함한다.
처리 장치(100)는 약액(26)이 분사되는 노즐(16)이 일정간격으로 적어도 한 개 이상 구성되는 약액 공급부(14)와 약액 공급부(14)로 약액(26)을 공급, 전달하는 약액 공급관(12), 약액 공급부(14) 하부에 구성되는 기판(20)을 일측에서부터 다른 일측으로 반송해주는 반송 롤러(18), 분사된 약액(26)을 집액하는 처리조(22)가 구성된다. 이러한 처리 장치(10)는 예컨데 세정 장치일 수 있다.
약액 공급 장치(50)는 메인 저장부(60)와, 측정용 저장관(70) 및 레벨 센서(90_1, 90_2, 90_3)를 포함한다.
메인 저장부(60)는 약액(26)을 저장하고, 처리 장치의 약액 공급관(12)을 통해 처리 장치로 약액(26)을 공급하고, 처리조(22)로부터 약액 배출관(24)을 통해 배출되는 약액(26)을 모집한다.
측정용 저장관(70)은 약액(26)의 수위를 측정하기 위해 약액(26)을 저장하는 것으로, 메인 저장부(60)와 연결되어, 메인 저장부(60)에 저장된 약액(26)과 동일한 수위의 약액(26)을 저장한다. 이러한 측정용 저장관(70)은 메인 저장부(60)와 상부 및 하부에 각각 연결되는 제1 연결관(71) 및 제2 연결관(72)을 포함할 수 있다. 제2 연결관(72)은 메인 저장부(60)에 저장된 약액(26)을 측정용 저장관(70)으로 제공하고, 제1 연결관(71)은 메인 저장부(60)의 내부와 측정용 저장관(70)의 내부를 압력을 동일하게 하여, 메인 저장관에 저장된 약액(26)의 수위와 측정용 저장관(70)에 저장된 약액(26)의 수위를 동일하게 한다.
레벨 센서(90_1, 90_2, 90_3)는 측정용 저장관(70)의 외부에 설치된다. 여기서 레벨 센서(90_1, 90_2, 90_3)는 약액(26)의 저장 하한의 레벨을 감지하는 저위 레벨 센서(90_1)와 상기 약액(26)의 저장 상한의 레벨을 감자히는 상한 레벨 센서(90_3)를 포함할 수 있다. 또한 약액(26)의 보충 시기를 지시하는 중간 레벨 센서(90_2)를 더 포함할 수 있다. 도 1에서는 레벨 센서(90_1, 90_2, 90_3)가 3개인 경우가 예로 도시되어 있으나, 정확한 측정을 위해 다수개의 레벨 센서(90_1, 90_2, 90_3)가 구비될 수 있다.
이러한 레벨 센서(90_1, 90_2, 90_3)는 비접촉식 레벨 센서로서, 약액(26)과 직접 접촉하지 않고, 약액(26)의 레벨을 측정할 수 있다. 이러한 레벨 센서(90_1, 90_2, 90_3)는, 예컨데 초음파식 레벨 센서로서, 측정용 저장관(70)에 부착되어 초음파를 측정용 저장관(70) 내부로 발사하고, 발사된 초음파가 반사되는지 여부 또는 반사되는 시간을 이용하여 약액(26)의 수위를 측정한다. 또는 레벨 센서(90_1, 90_2, 90_3)는 광을 측정용 저장관(70) 내부로 발사하고, 발사된 광이 굴절되는지 여부 또는 반사되는지 여부 등을 이용하여 약액(26)의 수위를 측정할 수 있다.
기체 주입기(80)는 기체, 예컨데 공기를 약액(26)의 수면을 향하여 주입하여, 약액(26)으로부터 발생되는 기포(27)를 제거한다. 이는 레벨 센서(90_1, 90_2, 90_3)가 기포(27)로인한 오동작을 방지하기 위함이다. 도 1에서는 기체 주입기(80)가 하나인 경우가 예로 도시되어 있으나, 개수는 이에 한정되지 않는다.
여기서 도 2를 참조하여 좀더 구체적으로 설명한다. 이하에서 약액(26)의 수위가 상한 레벨 센서(90_1, 90_2, 90_3)의 아래에 존재하는 경우를 예로 들어 설명한다.
도 2를 참조하면, 약액(26)으로부터 발생된 기포(27)가 약액(26)의 수면 상에 분포하게 된다. 또는 기포(27)가 측정용 저장관(70)의 내벽에 붙어 있을 수 있다. 그러나, 기체 주입기(80)가, 예컨데 공기(AIR)를 약액(26)의 수면을 향하여 주입하므로, 수면 상 및 저장관(70)의 내벽에 있던 기포(27)가 수면으로 이동하게 된다. 즉, 기포(27)는 제거될 수 있다.
여기서 상한 레벨 센서(90_1)는, 예컨데 초음파(UW)를 발사하여 발사된 초음파(UW)가 반사되는지 여부 또는 반사되는데 걸리는 시간을 측정하는데, 기체 주입기(80)가 약액(26)의 기포(27)를 제거하므로, 상한 레벨 센서(90_1)로부터 발사된 초음파(UW)가 기포(27)에 의해 반사되지 않는다. 상한 레벨 센서(90_1)는 약액(26)의 수위가 상한 레벨 아래에 있는 것으로 판단한다. 상한 레벨 센서(90_1)는, 상술한 바와 같이 초음파(UW) 대신에 광을 발사하여 수위를 측정하는 레벨 센서일 수 있다.
중간 레벨 센서(90_2)는 약액(26)의 수위가 중간 레벨보다 높은 것으로 판단한다. 따라서, 레벨 센서(90_1, 90_2, 90_3)는 약액(26)의 수위를 정확하게 측정할 수 있다.
정리해서 설명하면, 기체 주입기(80)가 측정용 저장관(70) 내부로 약액(26)의 수면을 향하여 기체를 주입하여 약액(26) 상의 기포(27) 또는 측정용 저장관(70) 내벽에 붙은 기포(27)를 제거하므로, 레벨 센서(90_1, 90_2, 90_3)가 기포(27)에 의한 오동작을 하지 않게 된다.
도 3을 참조하여 본 발명의 다른 실시예에 따른 약액 공급 장치를 설명한다. 도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 약액 공급 장치를 설명하기 위한 구성도이다.
도 3을 참조하면, 약액 탱크(51)는 측정용 저장관(70)을 포함하지 않고, 다수의 기체 주입기(80_1, 80_2, 80_3)가 메인 저장부(60)의 상부에 구비된다.
다수의 기체 주입기(80_1, 80_2, 80_3)는, 메인 저장부(60)에 저장된 약액(26)의 수면을 향하여 기체를 주입하여, 약액(26)으로부터 발생된 기포(27)를 제거한다. 또한, 다수의 기체 주입기(80_1, 80_2, 80_3)는, 메인 저장부(60)의 내벽에 붙은 기포(27)를 제거할 수 있다. 따라서 레벨 센서(90_1, 90_2, 90_3)가 기포(27)에 의한 오동작을 하지 않게 되고, 정확한 약액(26)의 수위를 측정하게 된다.
본 발명이 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다 는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 본 발명의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허 청구의 범위에 의하여 나타내어 지며, 특허 청구의 범위의 의미 및 범위 그리고 그 균등 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 약액 공급 장치를 설명하기 위한 처리 시스템의 구성도이다.
도 2는 도 1의 A 부분을 확대한 확대도이다.
도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 약액 공급 장치를 설명하기 위한 구성도이다.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
10: 처리 장치 12: 약액 공급관
14: 약액 공급부 16: 노즐
18: 반송 롤러 20: 기판
22: 처리조 24: 약액 배출관
26: 약액 27: 기포
60: 메인 저장부 70: 측정용 저장관
80: 기체 주입기 90_1~90_3: 레벨

Claims (5)

  1. 약액을 저장하는 약액 탱크;
    상기 약액 탱크 내의 상기 약액의 수위를 측정하는 레벨 센서; 및
    상기 약액의 수면을 향하여 기체를 주입하여 상기 약액 상의 기포를 제거하는 기체 주입기를 포함하는 약액 공급 장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 레벨 센서는 비접촉식 레벨 센서로서, 상기 약액 탱크 외부에 설치되어 상기 약액의 수위를 측정하는 약액 공급 장치.
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 레벨 센서는 상기 약액의 저장 하한의 레벨을 감지하는 저위 레벨 센서와 상기 약액의 저장 상한의 레벨을 감지하는 상한 레벨 센서를 포함하는 약액 공급 장치.
  4. 제 1항에 있어서,
    상기 약액 탱크는 상기 약액을 저장하는 메인 저장부와, 상기 메인 저장부와 연결되어 상기 메인 저장부에 저장된 약액과 동일한 수위의 약액을 저장하는 측정용 저장관을 포함하고,
    상기 레벨 센서는 상기 측정용 저장관의 외부에 설치된 약액 공급 장치.
  5. 제 4항에 있어서,
    상기 기체 주입기는 상기 측정용 저장관 상부에 설치되어 상기 측정용 저장관 내부의 상기 약액 수면으로 기체를 주입하는 약액 공급 장치.
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