KR20090041007A - Stacked semiconductor package - Google Patents

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Abstract

A stacked semiconductor package is provided to prevent the reduction of the data storage capacity of each semiconductor chip by arranging a conductive connection member exposed from the side of each semiconductor chip for connecting the chips electrically. A stacked semiconductor package includes a semiconductor chip module(100) and a receiving substrate(250). The semiconductor chip module includes at least two stacked semiconductor chips(90). A pad(20) is arranged in the upper side of the semiconductor chip body. A recess part is arranged in the side of the semiconductor chip body. A conductive connection pattern(40) covers the groove formed in the side of the semiconductor chip body by the recess part. A receiving substrate includes a receiving unit and a connecting pattern. The receiving unit is the recess formed from the upper part of the receiving substrate with a predetermined depth. The semiconductor chip module is received in the receiving unit. The connecting pattern(260) is formed on the inner side of the receiving substrate formed by the receiving unit.

Description

적층 반도체 패키지{STACKED SEMICONDUCTOR PACKAGE}Multilayer Semiconductor Packages {STACKED SEMICONDUCTOR PACKAGE}

본 발명은 적층 반도체 패키지에 관한 것이다.The present invention relates to a laminated semiconductor package.

최근 들어, 반도체 제조 기술의 개발에 따라 단시간 내에 보다 많은 데이터를 처리하기에 적합한 반도체 소자를 갖는 다양한 종류의 반도체 패키지들이 개발되고 있다.In recent years, with the development of semiconductor manufacturing technology, various kinds of semiconductor packages having semiconductor devices suitable for processing more data in a short time have been developed.

반도체 패키지는 순도 높은 실리콘으로 이루어진 웨이퍼 상에 반도체 소자를 포함하는 반도체 칩을 제조하는 반도체 칩 제조 공정, 반도체 칩을 전기적으로 검사하는 다이 소팅 공정 및 양품 반도체 칩을 패키징하는 패키징 공정 등을 통해 제조된다.The semiconductor package is manufactured through a semiconductor chip manufacturing process for manufacturing a semiconductor chip including a semiconductor element on a wafer made of high purity silicon, a die sorting process for electrically inspecting the semiconductor chip, and a packaging process for packaging a good semiconductor chip. .

최근에는 반도체 패키지의 사이즈가 반도체 칩 사이즈의 약 100% 내지 105%에 불과한 칩 스케일 패키지(chip scale package) 및 반도체 소자의 데이터 용량 및 처리 속도를 향상시키기 위해서 복수개의 반도체 칩들을 상호 적층 시킨 적층 반도체 패키지(stacked semiconductor package) 등이 개발되고 있다.Recently, a chip scale package in which the size of a semiconductor package is only about 100% to 105% of the size of a semiconductor chip, and a stacked semiconductor in which a plurality of semiconductor chips are stacked on each other to improve data capacity and processing speed of a semiconductor device. Packaged semiconductor packages and the like are being developed.

복수개의 반도체 칩들을 적층 한 적층 반도체 패키지의 경우, 적층 된 반도체 칩들을 전기적으로 연결하기 위하여 반도체 칩에 관통홀을 형성하고, 관통홀에 관통 전극이 배치된다.In the stacked semiconductor package in which a plurality of semiconductor chips are stacked, a through hole is formed in the semiconductor chip to electrically connect the stacked semiconductor chips, and a through electrode is disposed in the through hole.

적층 반도체 패키지를 제조하기 위하여 각 반도체 칩을 관통하는 관통 전극을 형성할 경우, 관통 전극이 차지하는 면적에 의하여 각 반도체 칩의 데이터 용량이 감소 된다.When the through electrodes penetrating the semiconductor chips are formed to manufacture the stacked semiconductor package, the data capacity of each semiconductor chip is reduced by the area occupied by the through electrodes.

또한, 반도체 칩에 관통 전극을 형성할 때, 반도체 칩의 파손이 발생 될 수 있고, 관통 전극에 의하여 적층 반도체 패키지에만 적용되는 반도체 칩이 요구된다.In addition, when the through electrode is formed on the semiconductor chip, breakage of the semiconductor chip may occur, and a semiconductor chip applied only to the laminated semiconductor package is required by the through electrode.

본 발명의 하나의 목적은 관통 전극의 구조를 개선하여 데이터 저장 용량의 감소 없이 복수개의 반도체 칩을 적층 및 부피를 감소시킨 적층 반도체 패키지를 제공한다.One object of the present invention is to provide a stacked semiconductor package in which a plurality of semiconductor chips are stacked and reduced in volume without improving data storage capacity by improving the structure of the through electrode.

본 발명에 따른 적층 반도체 패키지는 상면, 하면, 상기 상면과 상기 하면을 연결하는 측면들 및 회로부를 갖는 반도체 칩 몸체, 상기 회로부와 연결되며 상기 상면의 에지에 배치된 패드들, 상기 각 패드와 대응하는 상기 측면에 오목하게 형성되며 상기 상면 및 상기 하면을 연결하는 리세스부 및 상기 리세스부의 표면에 배치되며 상기 패드와 연결된 도전성 연결 패턴을 포함하는 적어도 2 개의 반도체 칩들을 포함하는 반도체 칩 모듈 및 상기 반도체 칩 모듈을 수납하는 수납부를 갖고, 상기 수납부에 의하여 형성된 내측면들 중 상기 반도체 칩 모듈과 마주하는 내측면 상에 배치되어 상기 각 도전성 연결 패턴과 접속되는 접속 패턴이 형성된 수납 기판을 포함한다.The stacked semiconductor package according to the present invention includes a semiconductor chip body having an upper surface, a lower surface, side surfaces connecting the upper surface and the lower surface, and a circuit portion, pads connected to the circuit portion and disposed at edges of the upper surface, and corresponding to each pad. A semiconductor chip module formed concave in the side surface and including at least two semiconductor chips disposed on a surface of the recess portion connecting the upper surface and the lower surface and a conductive connection pattern connected to the pad; And an accommodating substrate having an accommodating part for accommodating the semiconductor chip module, the accommodating substrate having a connection pattern disposed on an inner side facing the semiconductor chip module among the inner surfaces formed by the accommodating part and connected to the conductive connection patterns. do.

적층 반도체 패키지의 상기 수납 기판의 상기 수납부는 상기 수납 기판의 상면 및 상기 상면과 대향 하는 하면을 관통하는 관통공이다.The accommodating portion of the accommodating substrate of the multilayer semiconductor package is a through hole penetrating through an upper surface of the accommodating substrate and a lower surface opposing the upper surface.

적층 반도체 패키지의 상기 수납 기판은 상기 상면에 배치되어 상기 수납부의 일측을 덮는 커버 및 상기 수납 기판의 상기 일측과 대향 하는 타측을 덮는 몰딩 부재를 포함한다.The accommodating substrate of the multilayer semiconductor package may include a cover disposed on the upper surface to cover one side of the accommodating part and a molding member covering the other side of the accommodating substrate.

적층 반도체 패키지의 상기 접속 패턴은 상기 내측면 상에 배치된 도금 패턴 및 상기 도금 패턴 상에 형성되어 상기 도전성 연결 부재와 전기적으로 접속되는 솔더 패턴을 포함한다.The connection pattern of the multilayer semiconductor package includes a plating pattern disposed on the inner side surface and a solder pattern formed on the plating pattern and electrically connected to the conductive connection member.

적층 반도체 패키지의 상기 수납 기판의 상면 및 상기 상면과 대향 하는 하면 중 적어도 하나에는 상기 접속 패턴과 전기적으로 연결된 볼 랜드 패턴이 형성된다.A ball land pattern electrically connected to the connection pattern is formed on at least one of an upper surface of the accommodating substrate and a lower surface of the multilayer semiconductor package facing the upper surface.

적층 반도체 패키지의 상기 반도체 칩 모듈이 수납된 상기 수납 기판은 적어도 2 개가 적층 되고, 적층된 각 수납 기판들 중 마주하는 볼 랜드 패턴들은 솔더볼에 의하여 전기적으로 연결된다.At least two accommodating substrates in which the semiconductor chip modules of the multilayer semiconductor package are accommodated are stacked, and ball land patterns facing each other among the stacked accommodating substrates are electrically connected by solder balls.

적층 반도체 패키지의 상기 수납 기판은 적어도 2 개의 수납부들을 포함한다.The accommodating substrate of the multilayer semiconductor package includes at least two accommodating portions.

본 발명에 의하면, 적층 반도체 패키지를 이루는 반도체 칩들을 상호 전기적으로 연결하기 위해 각 반도체 칩들의 측면으로부터 노출된 도전성 연결 부재를 배치하여 각 반도체 칩들의 데이터 저장 용량이 감소 되는 것을 방지할 뿐만 아니라 적층 반도체 패키지를 리세스를 갖는 수납 기판 내에 실장 하여 적층 반도체 패키지의 두께를 크게 감소 시킬 수 있는 장점을 갖는다.According to the present invention, in order to electrically connect the semiconductor chips constituting the laminated semiconductor package with each other, the conductive connection members exposed from the sides of the semiconductor chips are disposed to prevent the data storage capacity of each semiconductor chip from being reduced, as well as the stacked semiconductors. The package may be mounted in an accommodating substrate having a recess to significantly reduce the thickness of the laminated semiconductor package.

이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 실시예들에 따른 적층 반도체 패키지에 대하여 상세하게 설명하지만, 본 발명이 하기의 실시예들에 제한되는 것은 아니며, 해당 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양한 다른 형태로 구현할 수 있을 것이다.Hereinafter, the multilayer semiconductor package according to the embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings, but the present invention is not limited to the following embodiments, and those skilled in the art will appreciate The present invention may be embodied in various other forms without departing from the spirit of the invention.

도 1은 본 발명의 일실시예에 의한 적층 반도체 패키지를 도시한 분해 사시도이다.1 is an exploded perspective view illustrating a laminated semiconductor package according to an embodiment of the present invention.

도 1을 참조하면, 적층 반도체 패키지(400)는 반도체 칩 모듈(100) 및 수납 기판(250)을 포함한다.Referring to FIG. 1, the stacked semiconductor package 400 includes a semiconductor chip module 100 and an accommodation substrate 250.

반도체 칩 모듈(100)은 적층 된 적어도 2 개의 반도체 칩(90)들을 포함한다. 본 실시예에서, 반도체 칩 모듈(100)은, 예를 들어, 4 개의 반도체 칩(90)들을 포함한다.The semiconductor chip module 100 includes at least two semiconductor chips 90 stacked on the semiconductor chip module 100. In this embodiment, the semiconductor chip module 100 includes, for example, four semiconductor chips 90.

도 2는 도 1에 도시된 반도체 칩 모듈들 중 어느 하나의 반도체 칩을 도시한 부분 절개 사시도이다. 도 3은 도 2의 I-I' 선을 따라 절단한 단면도이다. 도 4는 도 3의 'A' 부분 확대도이다.FIG. 2 is a partially cutaway perspective view illustrating a semiconductor chip of any one of the semiconductor chip modules illustrated in FIG. 1. 3 is a cross-sectional view taken along the line II ′ of FIG. 2. 4 is an enlarged view of a portion 'A' of FIG. 3.

도 2 및 도 3을 참조하면, 반도체 칩 모듈(100)의 각 반도체 칩(90)은 반도체 칩 몸체(10), 패드(20)들, 리세스부(30) 및 도전성 연결 패턴(40)을 포함한다.2 and 3, each semiconductor chip 90 of the semiconductor chip module 100 may include a semiconductor chip body 10, pads 20, a recessed portion 30, and a conductive connection pattern 40. Include.

반도체 칩 몸체(10)는, 예를 들어, 직육면체 형상을 갖는다. 직육면체 형상을 갖는 반도체 칩 몸체(10)는, 상면(1), 상면(1)과 대향 하는 하면(3), 상면(1) 및 하면(3)을 연결하는 측면(5)들 및 회로부(8)를 포함한다. 직육면체 형상을 갖는 반도체 칩 몸체(10)는 4 개의 측면(5)들을 포함한다. 회로부(8)들은, 예를 들어, 데이터를 저장 및 데이터를 처리하기 위해 트랜지스터, 커패시터, 저항 등과 같은 소자를 포함한다.The semiconductor chip body 10 has a rectangular parallelepiped shape, for example. The semiconductor chip body 10 having a rectangular parallelepiped shape includes an upper surface 1, a lower surface 3 facing the upper surface 1, side surfaces 5 connecting the upper surface 1 and the lower surface 3, and a circuit portion 8. ). The semiconductor chip body 10 having a cuboid shape includes four side surfaces 5. The circuit sections 8 comprise elements such as transistors, capacitors, resistors and the like, for example, for storing and processing data.

패드(20)들은 반도체 칩 몸체(10)의 상면(1)에 배치된다. 패드(20)들은 회로부(8)와 전기적으로 연결된다. 회로부(8)와 전기적으로 연결된 패드(20)들은, 예를 들어, 상면(1)의 에지 부분에 배치된다.The pads 20 are disposed on the top surface 1 of the semiconductor chip body 10. The pads 20 are electrically connected to the circuit section 8. The pads 20 electrically connected to the circuit part 8 are arranged, for example, at the edge portion of the upper surface 1.

리세스부(30)는 반도체 칩 몸체(10)의 측면(5)들에 배치된다. 예를 들어, 리세스부(30)는 대향 하는 한 쌍의 측면(5)들에 각각 배치되며, 리세스부(30)는 측면(5)으로부터 오목하게 형성된 리세스 형상을 갖는다. 본 실시예에서, 리세스부(30)는 각 패드(20)와 대응하는 위치에 배치된다.The recess 30 is disposed on the side surfaces 5 of the semiconductor chip body 10. For example, the recesses 30 are each disposed on a pair of opposing side surfaces 5, and the recesses 30 have a recess shape formed concave from the side surfaces 5. In the present embodiment, the recess 30 is disposed at a position corresponding to each pad 20.

본 실시예에서, 리세스부(30)에 의하여 반도체 칩 몸체(10)의 측면(5)에는, 예를 들어, 반원 형상의 홈이 형성된다. 리세스부(30)는 반도체 칩 몸체(10)의 상면(1) 및 하면(3)을 연결한다.In this embodiment, for example, a semicircular groove is formed in the side surface 5 of the semiconductor chip body 10 by the recess portion 30. The recess 30 connects the upper surface 1 and the lower surface 3 of the semiconductor chip body 10.

본 실시예에서, 리세스부(30)에 의하여 반도체 칩 몸체(10)의 측면(5)에 반원 형상의 홈을 형성할 경우, 회로부(8)의 면적을 증가시켜 회로부(8)의 데이터 저장 용량을 크게 향상시킬 수 있다.In the present embodiment, when the semicircular groove is formed in the side surface 5 of the semiconductor chip body 10 by the recess portion 30, the area of the circuit portion 8 is increased to store the data of the circuit portion 8. The capacity can be greatly improved.

패드(20) 및 각 패드(20)와 대응하는 리세스부(30)는 상호 인접하게 배치될 수 있다. 이와 다르게, 패드(20) 및 각 패드(20)와 대응하는 리세스부(30)는 상호 소정 간격 이격 될 수 있다. 본 실시예에서, 패드(20) 및 각 패드(20)와 대응하는 리세스부(30)는 상호 인접하게 배치된다.The pad 20 and the recess 30 corresponding to each pad 20 may be disposed adjacent to each other. Alternatively, the pads 20 and the recesses 30 corresponding to the pads 20 may be spaced apart from each other by a predetermined interval. In the present embodiment, the pads 20 and the recesses 30 corresponding to the respective pads 20 are disposed adjacent to each other.

도전성 연결 패턴(40)은 리세스부(30)에 의하여 반도체 칩 몸체(10)의 측면(5)에 형성된 홈을 덮고, 도전성 연결 패턴(40)의 일부는 반도체 칩 몸체(10)의 상면(1)에 배치된 패드(20)를 덮는다. 도전성 연결 패턴(40)은, 예를 들어, 반원통 형상을 갖는다.The conductive connection pattern 40 covers the groove formed in the side surface 5 of the semiconductor chip body 10 by the recess portion 30, and a part of the conductive connection pattern 40 is formed on the top surface of the semiconductor chip body 10. Cover the pad 20 disposed in 1). The conductive connection pattern 40 has a semi-cylindrical shape, for example.

도 4를 참조하면, 도전성 연결 패턴(40)은 금속 씨드 패턴(42)을 포함할 수 있다. 금속 씨드 패턴(42)은 리세스부(30)에 의하여 반도체 칩 몸체(10)의 측면(5)에 형성된 홈 및 패드(20)를 덮는다. 본 실시예에서, 금속 씨드 패턴(42)으로 사용될 수 있는 물질의 예로서는 티타늄, 니켈 및 바나듐 등을 들 수 있다.Referring to FIG. 4, the conductive connection pattern 40 may include a metal seed pattern 42. The metal seed pattern 42 covers the grooves and the pads 20 formed in the side surface 5 of the semiconductor chip body 10 by the recesses 30. In this embodiment, examples of materials that can be used as the metal seed pattern 42 include titanium, nickel, vanadium, and the like.

도전성 연결 패턴(40)은, 예를 들어, 납과 유사한 용융점을 갖는 저융점 금속일 수 있다. 본 실시예에서, 금속 씨드 패턴(42) 상에 배치된 도전성 연결 패턴(40)은 솔더를 포함할 수 있다. 본 실시예에서, 금속 씨드 패턴(42) 및 도전성 연결 패턴(40)은 실질적으로 동일한 형상 및 사이즈를 갖는다.The conductive connection pattern 40 may be, for example, a low melting point metal having a melting point similar to lead. In the present embodiment, the conductive connection pattern 40 disposed on the metal seed pattern 42 may include solder. In the present embodiment, the metal seed pattern 42 and the conductive connection pattern 40 have substantially the same shape and size.

도 2에 도시된 반도체 칩(90)들은 도 1에 도시된 바와 같이 복수개가 적층 된다. 반도체 칩(90)들은, 예를 들어, 4 개가 적층 된다.As shown in FIG. 1, a plurality of semiconductor chips 90 illustrated in FIG. 2 are stacked. For example, four semiconductor chips 90 are stacked.

복수개의 반도체 칩(90)들을 적층 하기 위하여 적층 된 반도체 칩(90)의 상면(1) 및 하면(3)에는 절연성 접착 부재(70)가 배치된다. 적층 된 반도체 칩(90)들은 절연성 접착 부재(70)에 의하여 상호 부착되며, 절연성 접착 부재(70)의 두께에 의하여 인접한 한 쌍의 반도체 칩(90)들은 상호 이격 된다.An insulating adhesive member 70 is disposed on the upper surface 1 and the lower surface 3 of the stacked semiconductor chip 90 to stack the plurality of semiconductor chips 90. The stacked semiconductor chips 90 are attached to each other by the insulating adhesive member 70, and a pair of adjacent semiconductor chips 90 are spaced apart from each other by the thickness of the insulating adhesive member 70.

한편, 절연성 접착 부재(70)는 적층 된 반도체 칩(90)들을 상호 부착할 뿐만 아니라 하부 반도체 칩의 패드(40) 및 하부 반도체 칩 상에 배치된 상부 반도체 칩이 전기적으로 쇼트 되는 것을 방지한다.Meanwhile, the insulating adhesive member 70 not only attaches the stacked semiconductor chips 90 to each other, but also prevents the pad 40 of the lower semiconductor chip and the upper semiconductor chip disposed on the lower semiconductor chip from being electrically shorted.

적층 된 반도체 칩(90)들의 각 도전성 연결 패턴(40)들은 동일 위치에 정렬되어 적층 된 반도체 칩(90)들의 각 도전성 연결 패턴(40)들은 상호 오버랩된다. 정렬된 도전성 연결 패턴(40)들은 리플로우 등의 방법에 의하여 상호 전기적으로 연결되고, 이로 인해 각 반도체 칩(90)의 각 도전성 연결 패턴(40)들은 전기적으로 연결된다.Each conductive connection pattern 40 of the stacked semiconductor chips 90 is aligned at the same position so that each conductive connection pattern 40 of the stacked semiconductor chips 90 overlaps each other. The aligned conductive connection patterns 40 are electrically connected to each other by a method such as reflow, and thus, each conductive connection pattern 40 of each semiconductor chip 90 is electrically connected to each other.

본 실시예에서, 적층 된 각 반도체 칩(90)들의 반도체 칩 몸체(10)는 절연성 접착 부재(70)에 의하여 상호 이격 되지만 솔더를 포함하는 도전성 연결 패턴(40)들은 각각 전기적으로 연결된다.In the present exemplary embodiment, the semiconductor chip bodies 10 of the stacked semiconductor chips 90 are spaced apart from each other by the insulating adhesive member 70, but the conductive connection patterns 40 including solder are electrically connected to each other.

도 5는 도 1에 도시된 적층 반도체 패키지를 절단한 단면도이다.FIG. 5 is a cross-sectional view of the multilayer semiconductor package illustrated in FIG. 1.

도 1 및 도 5를 참조하면, 수납 기판(250)은 수납부(255) 및 접속 패턴(260)을 포함한다.1 and 5, the accommodating substrate 250 includes an accommodating part 255 and a connection pattern 260.

수납부(255) 및 접속 패턴(260)을 포함하는 수납 기판(250)은, 예를 들어, 플레이트 형상을 갖는다. 플레이트 형상을 갖는 수납 기판(250)은, 예를 들어, 인쇄회로기판(PCB)일 수 있다.The storage substrate 250 including the storage portion 255 and the connection pattern 260 has a plate shape, for example. The accommodating substrate 250 having a plate shape may be, for example, a printed circuit board (PCB).

수납부(255)는, 예를 들어, 수납 기판(250)의 중앙부에 배치될 수 있고, 수납부(255)는 수납 기판(250)의 상면(251) 및 하면(252)을 관통하는 관통공일 수 있다. 이와 다르게, 수납부(255)는 수납 기판(250)의 상면(251)으로부터 소정 깊이로 형성된 리세스일 수 있고, 리세스의 깊이는 반도체 칩 모듈(100)을 수납하기에 적합한 깊이를 갖는다. 본 실시예에서, 수납부(255)는 수납 기판(250)의 상면(251) 및 하면(252)을 관통하는 관통공이다.The accommodating part 255 may be disposed, for example, in the center portion of the accommodating substrate 250, and the accommodating part 255 is a through hole penetrating the upper surface 251 and the lower surface 252 of the accommodating substrate 250. Can be. Alternatively, the accommodating part 255 may be a recess formed to a predetermined depth from the upper surface 251 of the accommodating substrate 250, and the depth of the recess has a depth suitable for accommodating the semiconductor chip module 100. In the present exemplary embodiment, the accommodating part 255 is a through hole penetrating the upper surface 251 and the lower surface 252 of the accommodating substrate 250.

수납부(255)에는 반도체 칩 모듈(100)이 수납된다. 수납부(255)에 반도체 칩 모듈(100)을 수납하기 위하여 수납부(255)는 반도체 칩 모듈(100) 보다 다소 큰 사 이즈를 갖는다.The semiconductor chip module 100 is accommodated in the accommodating part 255. In order to accommodate the semiconductor chip module 100 in the accommodating part 255, the accommodating part 255 has a size slightly larger than that of the semiconductor chip module 100.

접속 패턴(260)은 수납부(255)에 의하여 형성된 수납 기판(250)의 내측면(255) 상에 형성된다. 접속 패턴(260)은 수납부(255)에 의하여 형성된 수납 기판(250)의 내측면(255)들 중 반도체 칩 모듈(100)의 도전성 연결 패턴(40)과 마주하는 내측면(255)에 선택적으로 형성된다.The connection pattern 260 is formed on the inner side surface 255 of the accommodation substrate 250 formed by the accommodation unit 255. The connection pattern 260 is optional on the inner side 255 of the inner side 255 of the accommodating substrate 250 formed by the accommodating part 255 facing the conductive connection pattern 40 of the semiconductor chip module 100. Is formed.

도 5를 다시 참조하면, 접속 패턴(260)은 도금 패턴(262) 및 솔더 패턴(264)을 포함한다.Referring back to FIG. 5, the connection pattern 260 includes a plating pattern 262 and a solder pattern 264.

도금 패턴(262)은, 예를 들어, 도전성 연결 패턴(40)과 마주하는 내측면(255) 상에 배치되며, 도금 패턴(262)은, 예를 들어, 다양한 도금 방법들에 의하여 형성될 수 있다. 도금 패턴(262)으로 사용될 수 있는 물질의 예로서는 티타늄, 니켈 및 바나듐, 구리 등을 포함할 수 있다.The plating pattern 262 is disposed on, for example, the inner surface 255 facing the conductive connection pattern 40, and the plating pattern 262 may be formed by, for example, various plating methods. have. Examples of materials that can be used as the plating pattern 262 may include titanium, nickel and vanadium, copper, and the like.

솔더 패턴(264)은 도금 패턴(262) 상에 선택적으로 형성된다. 솔더 패턴(264)은, 예를 들어, 도금 방법에 의하여 도금 패턴(262) 상에 형성된다. 솔더 패턴(264)은 반도체 칩 모듈(100)의 도전성 연결 패턴(40)과 전기적으로 접속된다.The solder pattern 264 is selectively formed on the plating pattern 262. The solder pattern 264 is formed on the plating pattern 262 by the plating method, for example. The solder pattern 264 is electrically connected to the conductive connection pattern 40 of the semiconductor chip module 100.

수납부(255) 및 접속 패턴(260)을 포함하는 수납 기판(250)의 상면(251) 및 하면(252)에는 각각 볼 랜드 패턴(275, 277)들이 형성될 수 있고, 볼 랜드 패턴(255,257)은 수납 기판(250)의 접속 패턴(260)과 전기적으로 연결된다.Ball land patterns 275 and 277 may be formed on the top and bottom surfaces 251 and 252 of the storage substrate 250 including the storage unit 255 and the connection pattern 260, respectively. ) Is electrically connected to the connection pattern 260 of the accommodation substrate 250.

한편, 볼 랜드 패턴(255,257) 상에는 솔더볼(280)이 어탯치 될 수 있다.Meanwhile, the solder balls 280 may be attached onto the ball land patterns 255 and 257.

수납 기판(250)은 커버(285) 및 몰딩 부재(287)를 더 포함할 수 있다. 커버(285) 및 몰딩 부재(287)는 수납 기판(250)의 수납부(255)에 수납된 반도체 칩 모듈(100)을 외부에서 인가된 충격 및/또는 진동으로부터 보호, 외부 도전체로부터 절연, 반도체 칩 모듈(100)로부터 발생 된 열을 신속하게 방열하는 역할을 한다.The accommodation substrate 250 may further include a cover 285 and a molding member 287. The cover 285 and the molding member 287 protect the semiconductor chip module 100 accommodated in the accommodating part 255 of the accommodating substrate 250 from externally applied shocks and / or vibrations, and insulate from external conductors. It serves to quickly dissipate heat generated from the semiconductor chip module 100.

커버(285)는 수납 기판(250)의 상면(251)으로부터 노출된 반도체 칩 모듈(100)을 덮고, 커버(285)는 금속을 포함할 수 있다. 몰딩 부재(287)는 수납 기판(250)의 하면(252)으로부터 노출된 반도체 칩 모듈(100)을 덮고, 몰딩 부재(287)는 에폭시 수지 등을 포함할 수 있다.The cover 285 may cover the semiconductor chip module 100 exposed from the upper surface 251 of the accommodating substrate 250, and the cover 285 may include a metal. The molding member 287 may cover the semiconductor chip module 100 exposed from the bottom surface 252 of the accommodation substrate 250, and the molding member 287 may include an epoxy resin or the like.

본 실시예에서, 도 1 및 도 5에 도시된 적층 반도체 패키지(400)는 적어도 2 개가 도 6에 도시된 바와 같이 적층 될 수 있다. 이와 다르게, 도 1 및 도 5에 도시된 적층 반도체 패키지(400)는 도 7에 도시된 바와 같이 수납 기판(250)에 적어도 2 개의 수납부(255)를 형성하고, 각 수납부(255)에 반도체 칩 모듈(100)을 수납하여도 무방하다.In the present exemplary embodiment, at least two stacked semiconductor packages 400 illustrated in FIGS. 1 and 5 may be stacked as illustrated in FIG. 6. 1 and 5, at least two accommodating parts 255 are formed on the accommodating substrate 250, and each accommodating part 255 is formed as shown in FIG. 7. The semiconductor chip module 100 may be accommodated.

적층 반도체 패키지를 이루는 반도체 칩들을 상호 전기적으로 연결하기 위해 각 반도체 칩들의 측면으로부터 노출된 도전성 연결 부재를 배치하여 각 반도체 칩들의 데이터 저장 용량이 감소 되는 것을 방지할 뿐만 아니라 적층 반도체 패키지를 리세스를 갖는 수납 기판 내에 실장하여 적층 반도체 패키지의 두께를 크게 감소 시킬 수 있는 장점을 갖는다.In order to electrically connect the semiconductor chips constituting the stacked semiconductor package, the conductive connection members exposed from the sides of the semiconductor chips are disposed to prevent the data storage capacity of each semiconductor chip from being reduced and to recess the stacked semiconductor packages. It is mounted in an accommodating substrate having the advantage of greatly reducing the thickness of the laminated semiconductor package.

앞서 설명한 본 발명의 상세한 설명에서는 본 발명의 실시예들을 참조하여 설명하였지만, 해당 기술분야의 숙련된 당업자 또는 해당 기술분야에 통상의 지식을 갖는 자라면 후술 될 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 기술 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.In the detailed description of the present invention described above with reference to the embodiments of the present invention, those skilled in the art or those skilled in the art having ordinary knowledge in the scope of the present invention described in the claims and It will be appreciated that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the scope of the art.

도 1은 본 발명의 일실시예에 의한 적층 반도체 패키지를 도시한 분해 사시도이다.1 is an exploded perspective view illustrating a laminated semiconductor package according to an embodiment of the present invention.

도 2는 도 1에 도시된 반도체 칩 모듈들 중 어느 하나의 반도체 칩을 도시한 부분 절개 사시도이다.FIG. 2 is a partially cutaway perspective view illustrating a semiconductor chip of any one of the semiconductor chip modules illustrated in FIG. 1.

도 3은 도 2의 I-I' 선을 따라 절단한 단면도이다.3 is a cross-sectional view taken along the line II ′ of FIG. 2.

도 4는 도 3의 'A' 부분 확대도이다.4 is an enlarged view of a portion 'A' of FIG. 3.

도 5는 도 1에 도시된 적층 반도체 패키지를 절단한 단면도이다.FIG. 5 is a cross-sectional view of the multilayer semiconductor package illustrated in FIG. 1.

도 6은 본 발명의 다른 실시예에 의한 적층 반도체 패키지를 도시한 단면도이다.6 is a cross-sectional view illustrating a laminated semiconductor package according to another embodiment of the present invention.

도 7은 본 발명의 또 다른 실시예에 의한 적층 반도체 패키지를 도시한 단면도이다.7 is a cross-sectional view illustrating a laminated semiconductor package according to still another embodiment of the present invention.

Claims (7)

상면, 하면, 상기 상면과 상기 하면을 연결하는 측면들 및 회로부를 갖는 반도체 칩 몸체, 상기 회로부와 연결되며 상기 상면의 에지에 배치된 패드들, 상기 각 패드와 대응하는 상기 측면에 오목하게 형성되며 상기 상면 및 상기 하면을 연결하는 리세스부 및 상기 리세스부의 표면에 배치되며 상기 패드와 연결된 도전성 연결 패턴을 포함하는 적어도 2 개의 반도체 칩들을 포함하는 반도체 칩 모듈; 및A top surface, a bottom surface, a semiconductor chip body having side surfaces and circuit portions connecting the top surface and the bottom surface, pads connected to the circuit portion and disposed at edges of the top surface, and concave on the side surfaces corresponding to the respective pads; A semiconductor chip module disposed on a surface of the recess and connecting the upper and lower surfaces, and at least two semiconductor chips including a conductive connection pattern connected to the pad; And 상기 반도체 칩 모듈을 수납하는 수납부를 갖고, 상기 수납부에 의하여 형성된 내측면들 중 상기 반도체 칩 모듈과 마주하는 내측면 상에 배치되어 상기 각 도전성 연결 패턴과 접속되는 접속 패턴이 형성된 수납 기판을 포함하는 적층 반도체 패키지.And an accommodating substrate having an accommodating part for accommodating the semiconductor chip module, the accommodating substrate having a connection pattern disposed on an inner side facing the semiconductor chip module among the inner surfaces formed by the accommodating part and connected to the conductive connection patterns. Laminated semiconductor package. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 수납 기판의 상기 수납부는 상기 수납 기판의 상면 및 상기 상면과 대향 하는 하면을 관통하는 관통공인 것을 특징으로 하는 적층 반도체 패키지.And the receiving portion of the storage substrate is a through hole penetrating through an upper surface of the storage substrate and a lower surface facing the upper surface. 제2항에 있어서,The method of claim 2, 상기 수납 기판은 상기 상면에 배치되어 상기 수납부의 일측을 덮는 커버 및 상기 수납 기판의 상기 일측과 대향하는 타측을 덮는 몰딩 부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 적층 반도체 패키지.The accommodating substrate may include a cover disposed on the upper surface to cover one side of the accommodating part and a molding member to cover the other side facing the one side of the accommodating substrate. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 접속 패턴은 상기 내측면 상에 배치된 도금 패턴 및 상기 도금 패턴 상에 형성되어 상기 도전성 연결 부재와 전기적으로 접속되는 솔더 패턴을 포함하는 것을 특징으로 하는 적층 반도체 패키지.The connection pattern may include a plating pattern disposed on the inner surface and a solder pattern formed on the plating pattern to be electrically connected to the conductive connection member. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 수납 기판의 상면 및 상기 상면과 대향 하는 하면 중 적어도 하나에는 상기 접속 패턴과 전기적으로 연결된 볼 랜드 패턴이 형성된 것을 특징으로 하는 적층 반도체 패키지.And a ball land pattern electrically connected to the connection pattern on at least one of an upper surface of the accommodating substrate and a lower surface of the accommodating substrate. 제5항에 있어서,The method of claim 5, 상기 반도체 칩 모듈이 수납된 상기 수납 기판은 적어도 2 개가 적층 되고, 적층된 각 수납 기판들 중 마주하는 볼 랜드 패턴들은 솔더볼에 의하여 전기적으로 연결되는 것을 특징으로 하는 적층 반도체 패키지.At least two accommodating substrates in which the semiconductor chip module is accommodated are stacked, and ball land patterns facing each other among the stacked accommodating substrates are electrically connected by solder balls. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 수납 기판은 적어도 2 개의 수납부들을 포함하는 적층 반도체 패키지.The accommodating substrate may include at least two accommodating portions.
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