KR20090036735A - 고주파 전원공급장치 - Google Patents

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KR20090036735A
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Abstract

본 발명은 고주파 전원공급장치에 관한 것으로 시분할 형식으로 동작하는 다수개의 반파브리지 타입의 발진부를 변압기의 1차 권선을 통하여 연결되도록 구성함으로써 각각의 다이리스터의 역방향 바이어스 유지 시간을 길게 할수 있어 종전의 방식에 비해 수배의 높은 주파수와 고출력을 안전하게 출력할 수 있다.
Figure P1020070101944
고주파 전원공급장치, 유도성 역전압 방지

Description

고주파 전원공급장치{High Frequency Power Supplies}
본 발명은 고주파 전원공급장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 유도가열 분야에 있어서 다이리스터를 이용하여 고주파수 대역의 고출력을 안정하게 출력할 수 있도록 구성되는 고주파 전원공급장치에 관한 것이다.
유도가열에 사용되는 고주파 전원공급장치는 일반적으로 도8과 같은 구조를 가지는 단상 전파브리지 회로로 구현된다. 그러나 이러한 단상 전파브리지 회로는 도9에서 도시된 바와 같이 다이리스터의 역방향 바이어스 유지 시간이 짧아 일정 이상의 주파수를 발진하는데 한계가 있다.
시분할 형식으로 동작하는 다수개의 반파브리지 타입의 발진부를 변압기의 1차 권선을 통하여 연결되도록 구성 함으로서 도6에 도시된 바와 같이 다이리스터의 역방향 바이어스 유지 시간을 길게하여 같은 턴오프 시간특성(tq)을 갖는 다이리스터로 종래기술에 비해 수배의 높은 주파수와 대출력이 가능한 고주파 전원공급장치를 구성하는 것이다.
상기와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위한 수단으로써 본 발명의 일예에 따르면 도1에 도시된 바와 같이, DC전원, 상기의 DC전원의 양극과 음극에 각각 연결되는 변압기의 두개의 1차 권선, 상기 변압기의 두개의 1차 권선과 함께 동작하여 합성된 고주파를 출력하는 변압기의 2차 권선 및 상기의 변압기의 두개의 1차 권선과 상기 DC전원의 양극과 음극에 연결되어 시분할 형식으로 동작하는 다수개의 반파브리지 타입의 발진부를 포함하는 고주파 전원공급장치를 구성한다.
또한 상기 다수개의 반파브리지 타입의 각각의 발진부는, 서로 직렬 연결되어 상기 변압기의 두개의 1차 권선사이에 연결되는 제1다이리스터 및 제2다이리스터, 서로 직렬 연결되어 상기 DC전원의 양극과 음극사이에 연결되면서 그 직렬 중간점이 상기의 제1다이리스터 및 제2다이리스터의 직렬 중간점과 연결되는 제1 캐패시터 및 제2캐패시터를 포함하여 구성한다.
이때의 상기 제1 내지 제2다이리스터는 턴온 능력만 갖는 다이리스터로 구 현 할수 있으나 게이트 턴오프 다이리스터(GTO: Gate-Turn-Off Thyristor)와 같은 턴온 및 턴오프 능력을 모두 갖는 다른 종류의 다이리스터로 구현 될 수도 있다.
또한 상기 다수개의 반파브리지 타입의 각각의 발진부는 상기 제1 내지 제2다이리스터에 걸리는 유도성 역전압(Inductive-kick)을 방지하기 위하여 도3에 도시된 바와 같이 상기 제1다이리스터에 직렬 연결되는 제1고속 회복 소자, 상기의 제1고속 회복 소자와 병렬 연결되는 제1저항, 상기 제2다이리스터에 직렬 연결되는 제2고속 회복 소자, 상기의 제2고속 회복 소자와 병렬 연결되는 제2저항를 더 포함하여 구성할 수 있다.
이때의 상기 제1내지 제2고속 회복 소자는 직렬로 연결되는 상기 제1내지 제2다이리스터 보다 빠른 역 회복 시간특성(trr)을 갖는 다이오드 또는 상기의 특성을 갖는 다이리스터로도 구성할 수도 있다.
상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 수단으로써 본 발명의 또 다른 실시 예에 따르면 도2에 도시된 바와 같이, DC전원, 변압기의 다수개의 1차 권선, 상기 변압기의 다수개의 1차 권선과 함께 동작하여 합성된 고주파를 출력하는 변압기의 2차 권선 및 상기의 변압기의 각각의 1차 권선과 상기 DC전원의 양극과 음극에 연결되어 시분할 형식으로 동작하는 다수개의 반파브리지 타입의 발진부를 포함하여 구성되는 고주파 전원공급장치를 구성한다.
그리고 상기 다수개의 반파브리지 타입의 발진부의 각각은, 서로 직렬 연결되어 상기 DC전원의 양극과 음극사이에 연결되는 제1다이리스터 및 제2다이리스터와, 서로 직렬 연결되어 상기 DC전원의 양극과 음극사이에 연결되면서 그 직렬 중 간점이 상기의 제1다이리스터 및 제2다이리스터의 직렬 중간점과 상기의 변압기 각각의 1차 권선을 통하여 연결되는 제1 캐패시터 및 제2캐패시터를 포함하여 구성한다.
이때의 상기 제1 내지 제2다이리스터는 턴온 능력만을 갖는 다이리스터로 구현 할수 있으나 게이트 턴오프 다이리스터와 같은 턴온 및 턴오프 능력을 모두 갖는 다른 종류의 다이리스터로 구현 될 수도 있다.
또한 상기 다수개의 반파브리지 타입의 각각의 발진부는 상기 제1 내지 제2다이리스터에 걸리는 유도성 역전압(Inductive-kick)을 방지하기 위하여 도4에 도시된 바와 같이 상기 제1다이리스터에 직렬 연결되는 제1고속 회복 소자, 상기의 제1고속 회복 소자와 병렬 연결되는 제1저항, 상기 제2다이리스터에 직렬 연결되는 제2고속 회복 소자, 상기의 제2고속 회복 소자와 병렬 연결되는 제2저항를 더 포함하여 구성할 수 있다.
이때의 상기 제1내지 제2고속 회복 소자는 직렬로 연결되는 상기 제1내지 제2다이리스터 보다 빠른 역 회복 시간특성(trr)을 갖는 다이오드 또는 상기의 특성을 갖는 다이리스터로도 구현할 수 있다.
이와 같이 본 발명의 고주파 전원공급장치는 다수개의 반파브리지 타입의 발진부를 시분할로 동작시켜 고주파를 발진시킴으로써 종래의 단상 전파브리지 회로에 비해 동일 발진주파수에서 다이리스터의 역방향 바이어스 유지시간이 수배로 늘어나게 된다. 따라서 동일 턴오프 시간특성(tq)을 갖는 다이리스터로 종래방식에 비해 수배의 높은 주파수와 고출력을 안정하게 출력할 수 있는 장치를 구성할 수 있다.
이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 본 발명을 용이하게 실시할 수 있는 바람직한 실시 예를 상세히 설명한다. 다만, 본 발명의 바람직한 실시 예에 대한 동작원리를 상세하게 설명함에 있어 관련된 공지기술의 경우에는 그 상세한 설명을 생략한다.
도1에 도시된 본 발명의 일실시 예에 따른 고주파 전원공급장치의 회로도를 참조하면, 고주파 전원공급장치는DC전원(DC1), DC전원(DC1)의 양극과 음극에 각각 연결되는 변압기의 두개의 1차 권선(TP11, TP12), 상기 변압기의 두개의 1차 권선과 함께 동작하여 합성된 고주파를 출력하는 변압기의 2차 권선(TS1) 및 상기의 변압기의 두개의 1차 권선(TP11, TP12)과 DC전원(DC1)의 양극과 음극에 연결되어 시분할 형식으로 동작하는 다수개의 반파브리지 타입의 발진부(U11, U12~U1n)를 포함하여 구성한다.
그리고 다수개의 반파브리지 타입의 발진부(U11, U12~U1n)의 각각은 서로 직렬 연결되어 변압기의 두개의 1차 권선(TP11, TP12)사이에 연결되는 제1다이리스터(S111, S121~S1n1) 및 제2다이리스터(S112, S122~S1n2), 서로 직렬 연결되어 DC전원(DC1)의 양극과 음극사이에 연결되면서 그 직렬 중간점이 상기 제1다이리스터 및 상기 제2다이리스터의 직렬 중간점과 연결되는 제1 캐패시터(C111, C121~C1n1) 및 제2캐패시터(C112, C122~C1n2)를 포함하여 구성한다.
이때의 제1 내지 제2다이리스터는 턴온 능력만을 갖는 다이리스터로 구현 할수 있으나 게이트 턴오프 다이리스터(GTO: Gate-Turn-Off Thyristor)와 같이 턴온 및 턴오프 능력을 모두 갖는 다른 종류의 다이리스터로 구현 될 수도 있다.
도3은 도1의 실시 예에 유도성 역전압 방지 회로를 추가로 구성 실시한 예로써, 다수개의 반파브리지 타입의 각각의 발진부(U31, U32~U3n)는 다이리스터에 걸리는 유도성 역전압을 방지하기 위하여 제1다이리스터(S311, S321~S3n1)에 직렬 연결되는 제1고속 회복 소자(D311, D321~D3n1)와 제1고속 회복 소자와 병렬 연결되는 제1저항(R311, R321~R3n1), 제2다이리스터(S312, S322~S3n2)에 직렬 연결되는 제2고속 회복 소자(D312, D322~D3n2)와 상기 제2고속 회복 소자와 병렬 연결되는 제2저항(R312, R322~R3n2)를 포함하여 구성된다.
이때의 상기 제1내지 제2고속 회복 소자는 직렬로 연결되는 상기 제1내지 제2다이리스터 보다 빠른 역 회복 시간특성(trr)을 갖는 다이오드 또는 상기의 특성을 갖는 다이리스터로 구현할 수도 있다.
이하, 계속하여 도1을 참조하여 본 발명의 고주파 전원공급장치의 동작을 보다 상세하게 설명하기로 한다.
먼저, 제1 반파브리지 타입의 발진부(U11)의 제1 다이리스터(S111)를 트리거 하여 턴온 시키면, 전류는 DC전원(DC1)에서 변압기의 1차 권선(TP11)과 상기 제1 다이리스터를 거쳐 제1 캐패시터(C111)와 제2 캐패시터(C112)를 충전시킨다.
전술한 바와 같이 제1, 2 캐패시터를 충전시키 면서. 일정한 시간이 지나면 상기 제1 캐패시터와 제2 캐패시터의 직렬 중간점 전압이 높아지면 상기 제1 다이 리스터가 역방향 바이어스되어 턴오프 상태로 된다.
그리고, 제2 반파브리지 타입의 발진부(U12)의 제2 다이리스터(S122)를 트리거 하여 턴온 시키면, 전류는 DC전원(DC1)에서 변압기의 1차 권선(TP12)과 제2 다이리스터(S122)를 거쳐 상기 제1 캐패시터와 제2 캐패시터를 역방향으로 충전시키게 된다.
또한 상기와 같이 제1, 2 캐패시터를 역방향으로 충전시키 면서, 일정한 시간이 지나면 제1 캐패시터(C121)와 제2 캐패시터(C122)의 직렬 중간점 전압이 낮아지면 상기 제2 다이리스터가 역방향 바이어스되어 턴오프 상태로 된다. 이처럼 각각의 반파브리지 타입의 발진부의 제1 다이리스터와 제2 다이리스터를 서로 반대로 마지막 단의 제n 반파브리지 타입의 발진부(U1n)까지 동작하게 된다.
그리고, 제1 반파브리지 타입의 발진부(U11)의 제2 다이리스터(S112)를 트리거 하여 턴온 시키면, 전류는 DC전원(DC1)에서 변압기의 1차 권선(TP12), 제2 다이리스터(S112)를 거쳐 제1 캐패시터(C111)와 제2 캐패시터(C112)를 역방향으로 충전시키게 되고, 일정한 시간이 지나면 상기 제1 캐패시터와 제2 캐패시터의 직렬 중간점 전압이 낮아지면 제1 다이리스터(S112)가 역방향 바이어스되어 턴오프 상태로 된다.
다음으로, 제2 반파브리지 타입의 발진부(U12)의 제1 다이리스터(S121)를 트리거 하여 턴온 시키면, 전류는 DC전원에서 변압기의 1차 권선(TP11)과 제1 다이리스터(S121)를 거쳐 제1 캐패시터(C121)와 제2 캐패시터(C122)를 충전시킨다.
이때, 일정한 시간이지나면 제1 캐패시터(C121)와 제2 캐패시터(C122)의 직 렬 중간점 전압이 높아지게 되면 제2 다이리스터(S121)가 역방향 바이어스되어 턴오프 상태로 된다.
이처럼 각각의 반파브리지 타입의 발진부의 제2 다이리스터와 제1 다이리스터를 위에서 기술한 것과 반대로 마지막 단의 제n 반파브리지 타입의 발진부(U1n)까지 동작시키게 된다.
따라서 전술한 바와 같이 스위칭동작이 반복 수행되면 변압기의 2차 권선(TS1)에는 교번되는 출력이 나오게 되며 유도성 부하(Inductive Load)에 고주파 전류가 흐르게 된다.
또한 도 5에 도시한 바와 같이 각각의 다이리스터에 직렬 연결되는 고속 회복 소자와, 상기 고속 회복소자와 병렬 연결되는 저항으로 구성되어 각각의 다이리스터에 걸리는 유도성 역전압을 방지할 함과 동시에 출력단에 고주파전류가 흐를 수 있도록 3상 반파 브리지회로(스위칭 동작 설명은 생략하기로 한다)를 구성할 수 도 있다.
도2에 도시된 본 발명의 다른 실시 예에 따른 고주파 전원공급장치의 회로구성에 대해 상세하게 설명하기로 한다. 상기 고주파 전원공급장치는DC전원(DC2), 변압기의 다수개의 1차 권선(TP21, TP22~T2n), 변압기의 다수개의 1차 권선(TP21, TP22~T2n)과 함께 동작하여 합성된 고주파를 출력하는 변압기의 2차 권선(TS2) 및 상기 변압기의 각각의 1차 권선과 DC전원(DC2)의 양극과 음극에 연결되어 시분할 형식으로 동작하는 다수개의 반파브리지 타입의 발진부(U21, U22~U2n)를 포함하여 구성된다.
그리고 상기 다수개의 반파브리지 타입의 발진부의 각각은 서로 직렬 연결되어 DC전원(DC2)의 양극과 음극사이에 연결되는 제1다이리스터(S211, S221~S2n1) 및 제2다이리스터(S212, S222~S2n2)와, 서로 직렬 연결되어 DC전원(DC2)의 양극과 음극사이에 연결되면서 그 직렬 중간점이 상기 제1다이리스터 및 상기 제2다이리스터의 직렬 중간점과 변압기 각각의 1차 권선(TP21, TP22~T2n)을 통하여 연결되는 제1 캐패시터(C211, C221~C2n1) 및 제2캐패시터(C212, C222~C2n2)를 포함하여 구성된다.
이때의 제1 내지 제2다이리스터는 턴온 능력만을 갖는 다이리스터로 구현 할수 있으나 게이트 턴오프 다이리스터와 같은 턴온 및 턴오프 능력을 모두 갖는 다른 종류의 다이리스터로 구현 될 수도 있다.
또한 도4와 같이 다수개의 반파브리지 타입의 각각의 발진부(U41, U42~U4n)는 다이리스터에 걸리는 유도성 역전압을 방지하기 위하여 제1다이리스터(S411, S421~S4n1)에 직렬 연결되는 제1고속 회복 소자(D411, D421~D4n1)와 상기 제1고속 회복 소자와 병렬 연결되는 제1저항(R411, R421~R4n1)과, 제2다이리스터(S412, S422~S4n2)에 직렬 연결되는 제2고속 회복 소자(D412, D422~D4n2)와 상기 제2고속 회복 소자와 병렬 연결되는 제2저항(R412, R422~R4n2)를 포함하여 구성할 수 있다.
이때의 제1 내지 제2다이리스터는 턴온 능력만을 갖는 다이리스터로 구현 할수 있으나 게이트 턴오프 다이리스터와 같은 턴온 및 턴오프 능력을 모두 갖는 다른 종류의 다이리스터로 구현 될 수도 있다.
또한 상기 제1내지 제2고속 회복 소자는 직렬로 연결되는 상기 제1내지 제2 다이리스터 보다 빠른 역 회복 시간특성(trr)을 갖는 다이오드 또는 상기의 특성을 갖는 다이리스터로 구성할 수도 있다.
이하, 전술한 도2의 고주파 전원공급장치의 동작에 대해 상세하게 살펴보기로 한다. 먼저, 제1 반파브리지 타입의 발진부(U21)의 제1 다이리스터(S211)를 트리거 하여 턴온 시키면, 전류는 DC전원(DC2)에서 제1 다이리스터(S211), 변압기의 1차 권선(TP21)을 거쳐 제1 캐패시터(C211)와 제2 캐패시터(C212)를 충전시키며, 일정한 시간이 지나면 상기 제1 캐패시터와 제2 캐패시터의 직렬 중간점 전압이 높아지면 제1 다이리스터(S211)가 역방향 바이어스되어 턴오프 상태로 된다.
그리고, 제2 반파브리지 타입의 발진부(U22)의 제2 다이리스터(S222)를 트리거 하여 턴온 시키면, 전류는 DC전원(DC2)에서 제2 다이리스터(S222), 변압기의 1차 권선(TP22)을 거쳐 제1 캐패시터(C221)와 제2 캐패시터(C222)를 역방향으로 충전시키고, 일정한 시간이 지나면 상기 제1 캐패시터와 제2 캐패시터의 직렬 중간점 전압이 낮아지면 제2 다이리스터가 역방향 바이어스되어 턴오프 상태로 된다.
이처럼 각각의 반파브리지 타입의 발진부의 제1 다이리스터와 제2 다이리스터를 서로 반대로 마지막 단의 제n 반파브리지 타입의 발진부(U2n)까지 동작하게 된다.
그리고, 제1 반파브리지 타입의 발진부(U21)의 제2 다이리스터(S212)를 트리거 하여 턴온 시키면, 전류는 DC전원(DC2)에서 제2 다이리스터(S212), 변압기의 1차 권선(TP21)을 거쳐 제1 캐패시터(C211)와 제2 캐패시터(C212)를 역방향으로 충전시키며, 일정한 시간이 지나면 상기 제1 캐패시터와 제2 캐패시터의 직렬 중간점 전압이 낮아지면 제1 다이리스터(S212)가 역방향 바이어스되어 턴오프 상태로 된다.
다음으로, 제2 반파브리지 타입의 발진부(U22)의 제1 다이리스터(S221)를 트리거 하여 턴온 시키면, 전류는 DC전원(DC2)에서 제1 다이리스터(S221), 변압기의 1차 권선(TP22)을 거쳐 제1 캐패시터(C221)와 제2 캐패시터(C222)를 충전시킨다.
상기와 같이 제1, 2 캐패시터를 충전시키 면서, 일정한 시간이 지나면 상기 제1 캐패시터와 제2 캐패시터의 직렬 중간점 전압이 높아지게 되고 제2 다이리스터(S221)가 역방향 바이어스되어 턴오프 상태로 된다.
이처럼 각각의 반파브리지 타입의 발진부의 제2 다이리스터와 제1 다이리스터가 전술한 것과 반대로 마지막 단의 제n 반파브리지 타입의 발진부(U2n)까지 동작하게 된다.
상기와 같이 동작이 반복 수행되면 변압기의 2차 권선(TS2)에는 교번되는 출력이 발생하게 되며 유도성 부하(Inductive Load)에 고주파 전류가 흐르게 된다.
그리고 다이리스터가 턴오프 될 때에는 역회복 시간(trr)동안 역회복 전류가 흐르게 되는데 유도성 회로에서 이 역회복 전류가 흐르다가 소자가 완전히 턴오프 상태가 되는 순간에 유도성 역전압(Inductive-kick)이 발생한다. 이것은 경우에 따라 정상 전압의 수배나 되는 전압으로써 다이리스터의 내압을 초과 하게 되어 소자가 파괴 될 수도 있다.
이처럼 다이리스터가 파괴되는 것을 방지하기 위하여 본 발명에서는 도7에 도시한 바와 같이 각각의 다이리스터에 직렬로 역회복 시간특성이 상기 다이리스터 보다 짧은 고속 회복 소자와 상기의 고속 회복 소자와 병렬연결된 저항을 연결 구성한다.
따라서 고속 회복 소자가 직렬연결된 다이리스터보다 먼저 턴오프 되므로 유도성 역전압이 고속 회복 소자에 걸리게 되고, 상기의 역전압은 고속 회복 소자와 병렬 연결된 저항을 통하여 감소되게 된다. 이처럼 고속 회복 소자의 구성 위치는 상기에 설명한 원리에 기초하여 자유롭게 변경 구성할 수 있다.
또한, 본 발명의 실시 예 중에는 변압기를 사용하지 않고 변압기의 1차 권선 수만큼의 부하를 직접 연결할 수도 있으며, 고주파 전원공급장치를 제작할 때 반파브리지 타입의 발진부의 개수는 임의로 정할수 있으나 정확한 교번 출구 파형을 얻기 위하여 기수로 정하는 것이 바람직하다.
이상에서 설명한 본 발명은 전술한 실시 예 및 첨부된 도면에 의해 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경할 수 있다는 것은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 당 업자에게 있어 명백할 것이다.
도1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 고주파 전원공급장치의 회로도.
도2는 본 발명의 다른 실시 예에 따른 고주파 전원공급장치의 회로도.
도3은 도1의 회로에 유도성 역전압 방지회로를 추가한 회로도.
도4은 도2의 회로에 유도성 역전압 방지회로를 추가한 회로도.
도5은 도3에 기초로 하는 일 실시 예의 회로도
도6은 도5의 다이리스터의 전압 파형.
도7는 다이리스터에 걸리는 유도성 역전압 방지회로의 원리도.
도8은 종래의 고주파 전원공급장치의 회로도.
도9는 도8의 다이리스터의 전압 파형
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
TP, TP11, TP12, TP21, TP22, TP2n, TP31, TP32, TP41, TP42, TP4n,
TP51,TP52 : 변압기의 1차 권선
TS, TS1, TS2, TS3, TS4, TS5 : 변압기의 2차 권선
U11, U12, U1n, U21, U22, U2n, U31, U32, U3n, U41, U42, U4n : 반파브리지 타입의 발진부
LEA, L1,L2, L3, L4 : 인덕터

Claims (4)

  1. DC전원
    상기의 DC전원의 양극과 음극에 각각 연결되는 변압기의 두개의 1차 권선
    상기 변압기의 두개의 1차 권선과 함께 동작하여 합성된 고주파를 출력하는 변압기의 2차 권선
    서로 직렬 연결되어 상기 변압기의 두개의 1차 권선사이에 연결되는 제1다이리스터 및 제2다이리스터, 서로 직렬 연결되어 상기 DC전원의 양극과 음극사이에 연결되면서 그 직렬 중간점이 상기의 제1다이리스터 및 제2다이리스터의 직렬 중간점과 연결되는 제1 캐패시터 및 제2캐패시터로 구성되는 반파브리지 타입의 발진부를 다수개 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 고주파 전원공급장치.
  2. DC전원
    변압기의 다수개의 1차 권선
    상기의 변압기의 다수개의 1차 권선과 함께 동작하여 합성된 고주파를 출력하는 변압기의 2차 권선
    서로 직렬 연결되어 상기 DC전원의 양극과 음극사이에 연결되는 제1다이리스터 및 제2다이리스터, 서로 직렬 연결되어 상기 DC전원의 양극과 음극사이에 연결되면서 그 직렬 중간점이 상기의 제1다이리스터 및 제2다이리스터의 직렬 중간점 과 상기의 변압기 각각의 1차권선을 통하여 연결되는 제1 캐패시터 및 제2캐패시터로 구성되는 반파브리지 타입의 발진부를 다수개 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 고주파 전원공급장치.
  3. 제1항 및 제2항에 있어서,
    이때의 상기 제1 내지 제2스위칭소자가 다이리스터 또는 게이트 턴오프 다이리스터로 구성되는 것을 특징으로 하는 고주파 전원공급장치.
  4. 제1항 및 제2항에 있어서,
    유도성 부하를 가진 다이리스터에 유도성 역전압(Inductive-kick)이 걸리는 것을 방지하기 위하여 상기의 각각의 다이리스터 보다 빠른 역 회복 시간특성을 갖는 소자와 저항을 병렬로 연결 구성한 것을 상기의 각각의 다이리스터와 직렬로 연결하여 구성되는 것을 특징으로 하는 고주파 전원공급장치.
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