KR20090028975A - System for controlling a heating jacket - Google Patents
System for controlling a heating jacket Download PDFInfo
- Publication number
- KR20090028975A KR20090028975A KR1020070094153A KR20070094153A KR20090028975A KR 20090028975 A KR20090028975 A KR 20090028975A KR 1020070094153 A KR1020070094153 A KR 1020070094153A KR 20070094153 A KR20070094153 A KR 20070094153A KR 20090028975 A KR20090028975 A KR 20090028975A
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- heating jacket
- heating
- jacket
- controlling
- main controller
- Prior art date
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/67098—Apparatus for thermal treatment
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01F—MIXING, e.g. DISSOLVING, EMULSIFYING OR DISPERSING
- B01F35/00—Accessories for mixers; Auxiliary operations or auxiliary devices; Parts or details of general application
- B01F35/90—Heating or cooling systems
- B01F35/92—Heating or cooling systems for heating the outside of the receptacle, e.g. heated jackets or burners
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67242—Apparatus for monitoring, sorting or marking
- H01L21/67248—Temperature monitoring
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Central Heating Systems (AREA)
Abstract
Description
본 발명은 히팅자켓 제어시스템에 관한 것으로, 보다 상세하게는 반도체 등의 생산과정에서 배출되는 폐가스를 원활하게 배출하기 위해 배관부를 보온하거나 가열시키는 히팅자켓 제어시스템에 관한 것이다.The present invention relates to a heating jacket control system, and more particularly to a heating jacket control system for warming or heating the piping to smoothly discharge the waste gas discharged during the production process, such as semiconductor.
일반적으로 반도체 및 엘시디(LCD) 생산 현장에서 발생되는 폐가스는 소정의 정화과정을 거친 후에 외부로 배출된다. 그러나 이와 같은 폐가스 내에는 수소화물이 포함되어 파우더화 됨으로써 배관부를 막히게 하는 문제점이 있다. In general, the waste gas generated in the semiconductor and LCD (LCD) production site is discharged to the outside after a predetermined purification process. However, such waste gas has a problem that the hydride is contained and powdered to block the piping.
폐가스가 파우더화되는 것을 방지하기 위해 불활성 기체인 질소가스로 퍼지(Purge: 미연소 가스가 노속에 또는 기타 장소에 차 있으면 점화를 했을 때 폭발할 우려가 있으므로 점화 전에 이것을 노 밖으로 빼내기 위하여 환기하는 것)를 하고 있다.Purge with nitrogen gas, an inert gas, to prevent powdering of waste gas. Ventilation of unburned gas in the furnace or other places may cause it to explode when ignited. )
그러나 질소가스를 이용한 퍼지 또한 배출가스의 온도강하에 따른 실란(Silane, SiH4: 수소화물)의 파우더화를 막지 못하므로 배관부를 보온하거나 가열시키는 히팅자켓이 일반적으로 이용된다.However, a purge using nitrogen gas also prevents the powdering of silane (Silane, SiH 4 : hydride) due to the temperature drop of the exhaust gas, and a heating jacket for heating or heating the pipe is generally used.
그리고 히팅자켓의 외면은 일반적으로 석면재질로 된 외피에 의해 절연된다. 석면은 유연성이 있고 견사상 광택이 특이한 극세섬유상의 광물로서 일반적으로 많이 사용되나, 분진이나 피부자극을 발생시키고 호흡기 질환은 물론 폐암발생을 일으키는 것으로 알려져 있다. 따라서 히팅자켓에 사용되는 석면에 대해 2008년부터 수입이 금지되고 2009년까지 모든 석면제품의 사용이 금지되어 히팅자켓의 대체소재로서 다른 소재를 찾아야 하는 문제가 대두되고 있다.And the outer surface of the heating jacket is generally insulated by an outer shell made of asbestos material. Asbestos is generally used as a fine fibrous mineral having flexibility and silk gloss, but it is known to cause dust or skin irritation and to cause respiratory diseases as well as lung cancer. Therefore, the import of asbestos used in the heating jacket is banned from 2008 and all asbestos products are prohibited until 2009, so the problem of finding other materials as an alternative material for the heating jacket is on the rise.
도 1에는 종래기술에 의한 히팅자켓 제어시스템이 도시되어 있다. 도시된 바와 같이, 폐가스가 방출되는 배관부를 보온 또는 가열시키기 위한 다수개의 히팅자켓(1)이 구비된다. Figure 1 shows a heating jacket control system according to the prior art. As shown in the drawing, a plurality of
상기 히팅자켓(1)은 배관부의 외부를 감싸도록 구성되며 내부에 구비된 열선에 의해 상기 배관부를 보온하거나 가열시키는 역할을 한다. 상기 히팅자켓(1)은 전선(3)에 의해 콘트롤러(5)로 연결되어 상기 콘트롤러(5)에 의해 작동이 제어된다.The heating jacket (1) is configured to surround the outside of the pipe portion and serves to heat or heat the pipe portion by a heating wire provided therein. The
상기 콘트롤러(5)에는 상기 콘트롤러(5)의 ON/OFF를 제어하는 조작부(도시되지 않음)가 구비되며, 상기 조작부를 제어하여 상기 히팅자켓(1)의 작동을 제어할 수 있다.The controller 5 is provided with an operation unit (not shown) for controlling ON / OFF of the controller 5, and can control the operation of the
그러나 상기한 바와 같은 종래 기술에 의한 히팅자켓 제어시스템에서는 다음과 같은 문제점이 있다.However, the heating jacket control system according to the prior art as described above has the following problems.
상기 콘트롤러(5)의 조작부는 다수개의 히팅자켓(1)을 모두 ON/OFF 하도록 구성되어 있다. 따라서 상기 히팅자켓(1)의 일부가 단선이 되는 경우, 모든 히팅자 켓(1)이 동작하지 않도록 구성되어 있으므로 어떤 히팅자켓(1)이 단선되었는지를 알 수 없는 문제점이 있다.The operation unit of the controller 5 is configured to turn on / off all of the plurality of
그리고 상기 히팅자켓(1)에 석면이 사용되므로 제작 과정에서 분진이 발생하고 인체에 유해한 물질이 생성되는 문제점이 있다.In addition, since asbestos is used in the
본 발명은 이와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 본 발명의 목적은 히팅자켓을 개별적으로 제어하는 것이다.The present invention is to solve such a conventional problem, the object of the present invention is to individually control the heating jacket.
본 발명의 다른 목적은 히팅자켓의 소재를 친환경적인 소재로 바꾸는 것이다.Another object of the present invention is to change the material of the heating jacket to environmentally friendly material.
이와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 특징에 의하면, 본 발명의 히팅자켓 제어시스템은 폐가스가 이동하는 배관부를 보온 및 가열하는 다수개의 히팅자켓과; 상기 히팅자켓과 개별적으로 연결되고 상기 히팅자켓의 동작을 개별적으로 제어하는 메인콘트롤러를 포함하여 구성되고, 상기 메인콘트롤러는 상기 히팅자켓에 개별적인 조작신호를 입력할 수 있는 조작부와, 상기 조작부에 의해 입력되는 조작신호에 의해 상기 히팅자켓의 동작을 제어하는 중앙제어부와, 상기 중앙제어부에 의한 동작결과를 나타내는 표시부를 포함하는 것이 바람직하다.According to a feature of the present invention for achieving the above object, the heating jacket control system of the present invention includes a plurality of heating jacket for heating and heating the pipe portion to move the waste gas; And a main controller connected to the heating jacket and individually controlling the operation of the heating jacket, wherein the main controller is configured to input an individual operation signal to the heating jacket, and is input by the operation unit. It is preferable to include a central control unit for controlling the operation of the heating jacket by the operation signal to be displayed, and a display unit for indicating the operation result by the central control unit.
본 발명의 조작부는 상기 히팅자켓을 개별적으로 작동시키는 작동수단과; 상기 작동수단에 의해 상기 히팅자켓이 동작하는지 여부를 나타내는 열선작동표시수단을 포함하는 것이 바람직하다.Operation unit of the present invention and the operating means for operating the heating jacket individually; Preferably, the heating means includes hot wire operation display means for indicating whether the heating jacket is operated.
본 발명의 조작부는 상기 히팅자켓의 온도를 제어하는 온도제어수단과; 상기 메인콘트롤러의 전원을 ON/OFF 시키는 전원스위치를 더 포함하는 것이 바람직하다.Operation unit of the present invention and the temperature control means for controlling the temperature of the heating jacket; It is preferable to further include a power switch for turning on / off the power of the main controller.
본 발명의 히팅자켓은 라스탄 소재로 구성된 단열재를 포함하는 것이 바람직 하다.Heating jacket of the present invention preferably comprises a heat insulating material made of rastan material.
이와 같은 본 발명에 의한 히팅자켓 제어시스템에 의하면, 조작부에 구비된 작동수단에 의해 히팅자켓의 개별적인 제어가 가능하므로 히팅자켓의 수리 및 보수가 용이해지고, 히팅자켓의 소재가 라스탄으로 구성되므로 분진이나 피부자극이 없어 환경친화적인 이점이 있다.According to the heating jacket control system according to the present invention, since the heating jacket can be individually controlled by the operating means provided on the operation unit, the repair and repair of the heating jacket is facilitated, and the material of the heating jacket is made of rastan dust There is no skin irritation and there are environmentally friendly benefits.
이하에서는 본 발명에 의한 히팅자켓의 제어시스템의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 보다 상세하게 설명한다.Hereinafter, a preferred embodiment of a heating jacket control system according to the present invention will be described in more detail with reference to the accompanying drawings.
도 2 및 도 3에는 본 발명에 의한 히팅자켓의 제어시스템의 바람직한 실시예가 도시되어 있다. 2 and 3 show a preferred embodiment of the heating jacket control system according to the present invention.
도시된 바에 따르면, 반도체 등의 생산과정에서 배출되는 폐가스가 이동되는 배관부(도시되지 않음)에는 다수개의 히팅자켓(10)이 구비된다. 상기 히팅자켓(10)은 배관부의 부분형상에 대응되도록 형성된다. 상기 배관부의 형상이 다양하므로 상기 히팅자켓(10)도, 도 2에 도시된 바와 같이 다양한 형태로 구성된다. As shown, a plurality of
도 3에는 상기 히팅자켓(10)의 분해사시도가 도시되어 있다. 도시된 바에 의하면, 상기 히팅자켓(10)에서 도면상 가장 하측에 구비된 면이 외피부(11)이다. 상기 외피부(11)는 상기 히팅자켓(10)의 외면을 감싸는 역할을 하고, 실리콘 수지가 코팅된 유리섬유로 구성된다. 유리섬유는 평균직경이 5~10μm으로서, 용융한 유리를 섬유모양으로 한 광물섬유로서 인체에 무해한 소재이다.3 is an exploded perspective view of the
상기 외피부(11)의 상면에는 다수개 층의 단열재(13)가 구비된다. 상기 단열재(13)는 아래에서 설명할 발열체(15)의 열이 외부로 전달되는 것을 방지한다. 상기 단열재(13)는 라스탄(LASTAN)으로 구성된다. 라스탄은 특수 아크릴 섬유를 소성탄화 시킨 것으로서 공기 중에서 타거나 녹지 않는다. 따라서 라스탄은 석면과 같은 분진문제나 피부자극이 없으며 가볍고 부드러워 석면의 대체 물질로 적합하다.The upper surface of the
상기 단열재(13) 중 최상측에 위치한 단열재(13)의 상면에는 발열체(15)가 구비된다. 상기 발열체(15)는 전기 등에 의해 발열을 하는 소재로서 배관부가 막히지 않도록 열을 가하는 역할을 한다. 상기 발열체(15)는 상기 단열재(13) 상면에 소정간격으로 이격되어 다수개가 구비된다.The
상기 발열체(15)의 상면에는 내피부(17)가 구비된다. 상기 내피부(17)는 상기 배관부에 접하는 면으로서 상기 외피부(11)와 같이 실리콘 수지가 코팅된 유리섬유로 구성된다.An
상기 히팅자켓(10) 내부에는 열감지센서(도시되지 않음)가 구비된다. 상기 열감지센서는 상기 히팅자켓(10)에 가해지는 온도를 측정하여 아래에서 설명할 메인콘트롤러(20)로 송신한다. A heat sensor (not shown) is provided inside the
상기 히팅자켓(10)의 내부에는 퓨즈(도시되지 않음)도 구비된다. 상기 퓨즈는 상기 히팅자켓(10)에서 발생할 수 있는 화재를 방지하기 위해 구비되며, 상기 히팅자켓(10)의 온도가 240°C 정도가 되면 단선이 된다.A fuse (not shown) is also provided inside the
상기 히팅자켓(10)은 상기 배관부에 다수개가 구비되며, 도 2에 도시된 바와 같이 몇개의 어셈블리로 구획되어 전선으로 연결된다. 상기 히팅자켓(10)은 제1어 셈블리(21)와 제2어셈블리(23)와 제3어셈블리(25)로 구분되어 연결된다. 상기 제1,2,3 어셈블리(21,23,25)는 배관부의 종류에 따라 구분될 수도 있고, 상기 히팅자켓(20)의 특성에 따라 구분될 수도 있다. 상기 히팅자켓(10)은 전선에 의해 메인콘트롤러(20)에 연결된다.The
상기 메인콘트롤러(20)는 상기 히팅자켓(10)의 온도를 조절하고 작동을 제어하는 역할을 한다. 상기 메인콘트롤러(20)에는 다수개의 히팅자켓(10)과 연결된 전선이 접속되는 포트부(27)가 구비된다.The
상기 포트부(21)는 상기 메인콘트롤러(20)에 동작신호를 입력하는 조작부(30)와 연결된다. 상기 조작부(30)에는 다수개의 열선작동표시수단(31)이 구비된다. 상기 열선작동표시수단(31)은 상기 히팅자켓(10)이 작동 중일 때는 켜지고, 상기 히팅자켓(10)이 정지 중이거나 단락되었을 때는 꺼지도록 구성되는 램프와 같은 것으로 구성될 수 있다.The
상기 열선작동표시수단(31)은 상기 히팅자켓(10)의 구비개수보다 작지 않은 개수로 구비되어 차후 히팅자켓(10)을 추가할 수 있도록 구성된다. 그리고 상기 열선작동표시수단(31)의 하부에는 작동수단(33)이 구비된다. 상기 작동수단(33)은 스위치와 같은 것으로 구성되어 상기 히팅자켓(10)을 개별적으로 작동시키며, 상기 히팅자켓(10)이 작동되면 상기 열선작동표시수단(31)이 점등된다.The hot wire operation display means 31 is provided in a number that is not less than the number of the heating jacket (10) is configured to add a
다시 말해, 상기 열선작동표시수단(31)와 작동수단(33)은 개개의 히팅자켓(10)과 모두 대응되도록 구성되므로 상기 작동수단(33)에 의해 상기 히팅자켓(10)을 개별적으로 제어할 수 있다.In other words, since the heating wire operation display means 31 and the operation means 33 are configured to correspond to the
그리고 상기 조작부(30)에는 온도제어수단(35)이 더 구비될 수 있다. 상기 온도제어수단(35)에 의해 상기 히팅자켓(10)에 가해지는 온도를 높이거나 낮출 수 있다. 상기 온도제어수단(35)은 온도상승버튼 및 온도하강버튼으로 구성되어 사용자가 상기 히팅자켓(10)에 가해지는 온도를 제어할 수 있도록 구성될 수 있다. In addition, the
상기 조작부(30)에는 상기 메인콘트롤러(20)의 전원을 선택적으로 차단하는 전원스위치(37)가 더 구비된다. 상기 전원스위치(37)는 ON버튼과 OFF버튼으로 구성되어 사용자가 선택적으로 전원을 차단할 수 있다.The
상기 조작부(30)는 상기 히팅자켓(10)의 온도를 나타내는 표시부(40)와 연결된다. 상기 표시부(40)는 아래에서 설명할 중앙제어부(50)에 의해 송신되는 상기 히팅자켓(10)의 평균온도를 나타낸다.The
상기 조작부(30)와 상기 표시부(40)는 중앙제어부(50)와 연결된다. 상기 중앙제어부(50)는 상기 조작부(30)에서 보내지는 조작신호를 처리하거나 상기 히팅자켓(10)의 동작을 제어하는 역할을 한다.The
상기 중앙제어부(50)는 상기 히팅자켓(10)에 구비된 열감지센서에서 송신되는 데이타를 평균계산하여 상기 표시부(40)에 그 결과를 표시한다. 또한 상기 히팅자켓(10)의 동작여부에 따라 상기 조작부(30)의 열선작동표시수단(31)의 점멸을 제어한다.The
그리고 사용자가 상기 조작부(30)의 작동수단(33)을 작동하면 상기 중앙제어부(50)는 그에 따라 상기 히팅자켓(10)의 동작여부를 제어한다. 마찬가지로 상기 온도제어수단(35)을 조작하면 상기 중앙제어부(50)는 그에 따라 상기 히팅자켓(10) 의 온도를 제어한다.When the user operates the operation means 33 of the
이하에서는 상기한 바와 같은 구성을 가지는 본 발명에 의한 히팅자켓 제어시스템의 작용을 상세하게 설명한다.Hereinafter, the operation of the heating jacket control system according to the present invention having the configuration as described above in detail.
히팅자켓(10)을 작동시키기 위해서는 먼저 메인콘트롤러(20)의 조작부(30)에 구비된 전원스위치(37)를 켠다. 그리고 상기 조작부(30)에 구비된 온도조절수단(35)에 의해 상기 히팅자켓(10)에 가해질 온도를 설정한다.In order to operate the
이때, 작동수단(33)에 의해 작동되어질 히팅자켓(10)과 작동되지 않을 히팅자켓(10)을 구분하여 동작시킬 수 있으므로 상기 히팅자켓(10)을 별도로 제어할 수 있다.At this time, since the
상기 작동수단(33)에 의해 히팅자켓(10)을 작동시키면, 열선작동표시수단(31)에 작동표시가 나타난다. 상기 열선작동표시수단(31)이 램프로 구성되는 경우 램프에 불이 들어오게 된다.When the
그런데 상기 작동수단(33)에 의해 상기 히팅자켓(10)을 작동시켰음에도 불구하고 상기 작동수단(33)에 불이 들어오지 않는 경우, 상기 히팅자켓(10) 내부에 단선이 발생한 것이다. 따라서 이 경우 해당 히팅자켓(10)을 교체하거나 수리할 수 있다.By the way, when the operating means 33 does not light even though the
상기 히팅자켓(10)을 작동시키면 중앙제어부(50)에 의해 상기 히팅자켓(10)에 가해지는 평균온도가 표시부(40)에 표시된다. 따라서 온도가 너무 낮거나 높은 경우, 사용자는 온도조절수단을 이용하여 적정한 온도로 제어할 수 있다.When the
이와 같은 본 발명의 기본적인 기술적 사상의 범주에서, 당업계의 통상의 지 식을 가진 자에게 있어서는 다른 많은 변형이 가능함은 물론이고, 본 발명의 권리범위는 첨부한 특허청구범위에 기초하여 해석되어야 할 것이다.In the scope of the basic technical idea of the present invention, many modifications are possible to those skilled in the art, and the scope of the present invention should be interpreted based on the appended claims. will be.
위에서 상세히 설명한 바와 같은 본 발명에 의한 히팅자켓 제어시스템에 의하면 다음과 같은 이점이 있다.According to the heating jacket control system according to the present invention as described in detail above has the following advantages.
조작부에 구비된 작동수단은 다수개의 히팅자켓과 각각 연결되어 히팅자켓의 작동상태를 개별적으로 파악할 수 있으므로 단선된 히팅자켓을 쉽게 찾을 수 있으므로 히팅자켓의 수리 및 보수가 용이해져서 관리성이 향상되는 이점이 있다.The operation means provided on the control panel is connected to a plurality of heating jackets, respectively, so that the operating status of the heating jacket can be individually identified, so that a disconnected heating jacket can be easily found, thereby making it easier to repair and repair the heating jacket. There is this.
또한 히팅자켓의 단열재는 인체에 무해한 라스탄으로 구성되어 있으므로 기존에 사용되던 석면을 대체할 수 있어 환경친화적인 이점이 있다.In addition, the heat insulating material of the heating jacket is made of rastan, which is harmless to the human body, so it is possible to replace the asbestos used in the past, which is environmentally friendly.
도 1은 종래기술에 의한 히팅자켓 제어시스템을 보인 개략구성도.1 is a schematic configuration diagram showing a heating jacket control system according to the prior art.
도 2는 본 발명에 의한 히팅자켓 제어시스템의 바람직한 실시예의 구성을 보인 개략구성도.Figure 2 is a schematic diagram showing the configuration of a preferred embodiment of the heating jacket control system according to the present invention.
도 3은 본 발명에 의한 히팅자켓 제어시스템의 히팅자켓을 보인 분해사시도.Figure 3 is an exploded perspective view showing a heating jacket of the heating jacket control system according to the present invention.
*도면의 주요부분에 대한 설명** Description of the main parts of the drawings *
10: 히팅자켓 11: 외피부10: heating jacket 11: outer skin
13: 단열재 15: 발열체13: insulation 15: heating element
17: 내피부 20: 메인콘트롤러17: inner skin 20: main controller
27: 포트부 30: 조작부27: port portion 30: operation portion
31: 열선작동표시수단 33: 작동수단31: hot wire operation indicating means 33: operating means
35: 온도제어수단 37: 전원스위치35: temperature control means 37: power switch
40: 표시부 50: 중앙제어부40: display unit 50: central control unit
Claims (4)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020070094153A KR20090028975A (en) | 2007-09-17 | 2007-09-17 | System for controlling a heating jacket |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020070094153A KR20090028975A (en) | 2007-09-17 | 2007-09-17 | System for controlling a heating jacket |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20090028975A true KR20090028975A (en) | 2009-03-20 |
Family
ID=40695870
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020070094153A KR20090028975A (en) | 2007-09-17 | 2007-09-17 | System for controlling a heating jacket |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR20090028975A (en) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100923279B1 (en) * | 2009-03-18 | 2009-10-23 | 주식회사 브이씨알 | Apparatus and method for controlling heating jacket and displaying method thereof |
KR101525817B1 (en) * | 2014-07-11 | 2015-06-16 | (주) 한양티엠에스 | Modular heating jacket assembly |
KR101575181B1 (en) * | 2015-07-27 | 2015-12-21 | 김환남 | jacket heater |
KR101940139B1 (en) * | 2017-11-24 | 2019-01-18 | (주)신우에이엔티 | Heating jacket for manufacturing device of semiconductor and display panel, and heating jacket forming unit |
KR102008690B1 (en) * | 2018-11-22 | 2019-10-21 | 주식회사 티에스시 | Heater jacket having eco felt insulator |
KR102112178B1 (en) * | 2018-11-13 | 2020-05-28 | (주) 아이엔티매니지먼트 | System for Monitoring and Controlling Plurality of Heater Jackets |
-
2007
- 2007-09-17 KR KR1020070094153A patent/KR20090028975A/en not_active Application Discontinuation
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100923279B1 (en) * | 2009-03-18 | 2009-10-23 | 주식회사 브이씨알 | Apparatus and method for controlling heating jacket and displaying method thereof |
KR101525817B1 (en) * | 2014-07-11 | 2015-06-16 | (주) 한양티엠에스 | Modular heating jacket assembly |
KR101575181B1 (en) * | 2015-07-27 | 2015-12-21 | 김환남 | jacket heater |
WO2017018778A1 (en) * | 2015-07-27 | 2017-02-02 | 김환남 | Jacket heater |
KR101940139B1 (en) * | 2017-11-24 | 2019-01-18 | (주)신우에이엔티 | Heating jacket for manufacturing device of semiconductor and display panel, and heating jacket forming unit |
KR102112178B1 (en) * | 2018-11-13 | 2020-05-28 | (주) 아이엔티매니지먼트 | System for Monitoring and Controlling Plurality of Heater Jackets |
KR102008690B1 (en) * | 2018-11-22 | 2019-10-21 | 주식회사 티에스시 | Heater jacket having eco felt insulator |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR20090028975A (en) | System for controlling a heating jacket | |
CN1411543A (en) | Electronic gas cooktop control with system and method thereof | |
CN103346491A (en) | Flame retardant distribution box | |
CN107750239A (en) | Submerged combustion glass melters with oxygen/gas fired burner device system | |
TW200604121A (en) | Electrodes system for glass melting furnaces | |
JP5054892B2 (en) | Equipment for firing denture ceramics | |
CA1272185A (en) | Furnace heating | |
JP2006234324A (en) | Kiln for ceramics | |
US5383949A (en) | Glass forehearth | |
CN207330376U (en) | Furnace of calcium carbide uses the control system of blowing oxygen | |
CN105984895B (en) | The baking system of boiling chloridizing furnace | |
CN202482385U (en) | Furnace pressure control device for continuous annealing furnace | |
JP2009514207A (en) | Waste gas guidance device | |
KR20130075173A (en) | Rotary kiln capable of being controlled to temperature by arbitrarily settled section | |
CN207811548U (en) | A kind of electric melting furnace convenient for safeguarding | |
CN111504066B (en) | Brown gas melting furnace | |
CN107117619A (en) | Furnace of calcium carbide uses the control system and method for blowing oxygen | |
CN102517435B (en) | Furnace pressure control device for continuous annealing furnace | |
CN205575912U (en) | Glass processing device | |
CN204963557U (en) | Combustion device | |
EP2181299A1 (en) | Device for firing ceramic dental prostheses | |
CN207584815U (en) | A kind of novel firebreak | |
CN206556019U (en) | Hot-blast stove gas burner spout structure | |
ES1275905U (en) | Continuous electric furnace for melting ceramic frits (Machine-translation by Google Translate, not legally binding) | |
CN205434713U (en) | Cushion formula far infrared radiation therapeutic instrument based on temperature prompt and temperature protection |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A201 | Request for examination | ||
E902 | Notification of reason for refusal | ||
E601 | Decision to refuse application |