KR20090026571A - 직교 로봇의 최적 경로 이동 방법 - Google Patents

직교 로봇의 최적 경로 이동 방법 Download PDF

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KR20090026571A
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Abstract

제1 수직 라인 및 제1 및 제2 수평 라인들에 의하여 정의되는 제1 서브 간섭 영역과 제2 수직 라인과 제1 및 제2 수평 라인들에 의하여 정의되는 제2 서브 간섭 영역을 포함하는 간섭 영역 및 간섭 영역을 제외한 나머지 영역을 안정 영역으로 구획되는 로봇 이동 영역 내에 현재 위치에서 목표 위치로 이동하는 직교 로봇의 최적 경로 이동 방법에 있어, 현재 위치의 상기 제2 방향의 좌표인 제2 현재 좌표가 제1 및 제2 수평 라인들 사이의 제2 간섭 좌표 범위 밖의 제2 안정 좌표 범위 이내 인지를 판정한 후, 목표 위치의 상기 제2 방향의 좌표인 제2 목표 좌표가 제2 안정 좌표 범위 이내인지를 판정한다. 따라서, 직교 로봇의 최적 이동 경로가 자동적으로 설정된다.

Description

직교 로봇의 최적 경로 이동 방법{METHOD OF MOVING A CARTESIAN COORDINATE ROBOT ALONG AN OPTIMUM PATH}
본 발명은 직교 로봇의 최적 경로의 이동 방법에 관한 것으로써, 더욱 상세 하게는 간섭 영역에 존재하는 다른 장비와의 충돌없이 목적 위치로 로봇을 이동시키는 직교 로봇을 최적 경로를 따라 이동시키는 방법에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 장치는 반도체 웨이퍼로 사용되는 실리콘 웨이퍼 상에 전자 소자들을 포함하는 전기적 회로를 형성하는 팹(Fab) 공정과, 상기 팹 공정에서 형성된 반도체 장치들의 전기적인 특성을 검사하기 위한 EDS(electrical die sorting) 공정과, 상기 반도체 장치들을 각각 에폭시 수지로 봉지하고 개별화시키기 위한 패키지 조립 공정을 통해 제조된다.
상기 팹 공정은 웨이퍼 상에 막을 형성하기 위한 증착 공정과, 상기 막을 평탄화하기 위한 화학적 기계적 연마 공정 등과 같은 평탄화 공정과, 상기 막 상에 포토레지스트 패턴을 형성하기 위한 포토 리소그래피 공정과, 상기 포토레지스트 패턴을 이용하여 상기 막을 전기적인 특성을 갖는 패턴으로 형성하기 위한 식각 공정과, 웨이퍼의 소정 영역에 특정 이온을 주입하기 위한 이온 주입 공정과, 웨이퍼 상의 불순물을 제거하기 위한 세정 공정과, 상기 막 또는 패턴이 형성된 웨이퍼의 표면을 검사하기 위한 검사 공정 등을 포함한다.
상기 공정들 중 포토 리소그래피 공정은 다수의 웨이퍼가 적재된 카세트가 로딩되는 카세트 블락으로부터 웨이퍼를 공정 챔버로 이송하기 위한 로봇 암 장치가 존재한다.
상기 로봇 암 장치는 반도체 장비 내 여러 유닛들 사이에 웨이퍼 또는 상기 웨이퍼를 수용하는 카세트를 이송한다.
하지만 로봇 암 장치의 주변에 배치된 간섭물이 존재할 수 있다. 로봇 암 장치가 상기 웨이퍼 또는 카세트를 이송할 때 상기 로봇 암 장치가 상기 간섭물과 접촉할 수 있다. 로봇 암 장치와 간섭물 간에 충돌이 발생할 경우 로봇 암 장치 및 간섭물 자체에 파손이 발생할 수 있을 뿐만 아니라 웨이퍼에 손상이 발생할 수 있다. 결과적으로 반도체 장비가 정지될 수 있으며 이에 따라 반도체 장비의 생산성이 감소되는 문제가 발생할 수 있다.
따라서, 본 발명은 이와 같은 문제점을 감안한 것으로써, 본 발명의 목적은 간섭물과 충돌을 방지하고 기판을 안전하게 이송할 수 있는 직교 로봇의 최적 경로 이동 방법을 제공하는 것이다.
상술한 본 발명의 목적을 달성하기 위하여, 제1 방향과 상기 제1 방향과 직교하는 제2 방향이 정의되고, 상기 제1 방향에 수직한 제1 수직 라인 및 상기 제1 방향과 평행한 제1 수평 라인과 제2 수평 라인에 의하여 정의되는 제1 서브 간섭 영역과 상기 제1 수직 라인과 평행한 제2 수직 라인과 상기 제1 및 제2 수평 라인들에 의하여 정의되는 제2 서브 간섭 영역을 포함하는 간섭 영역 및 상기 간섭 영역을 제외한 나머지 영역을 안정 영역으로 구획되는 로봇 이동 영역 내에 현재 위치에서 목표 위치로 이동하는 로봇의 최적 경로 이동 방법에 있어, 상기 현재 위치의 상기 제2 방향의 좌표인 제2 현재 좌표가 상기 제1 및 제2 수평 라인들 사이의 제2 간섭 좌표 범위 밖의 제2 안정 좌표 범위 이내 인지를 판정한 후, 상기 목표 위치의 상기 제2 방향의 좌표인 제2 목표 좌표가 상기 제2 안정 좌표 범위 이내인지를 판정한다.
여기서, 상기 제2 현재 좌표가 상기 제2 안정 좌표 범위내일 경우, 상기 제2 목표 좌표가 상기 제2 안정 좌표 범위내이면, 상기 로봇을 제1 및 제2 방향으로 동시에 상기 목표 위치로 이동할 수 있다. 이와 다르게, 상기 제2 목표 좌표가 상기 제2 간섭 좌표 범위 이내 이면, 상기 목표 위치의 제1 방향에 대한 좌표인 제1 목표 좌표가 상기 제1 및 제2 수직 라인들 사이에 의하여 정의되는 제1 안정 좌표 범위이내 인지를 판정한 후, 상기 제1 목표 좌표가 상기 제1 안정 좌표 범위 이내일 경우, 상기 현재 위치의 제1 방향으로의 좌표인 제1 현재 좌표를 제1 수직 라인의 좌표와 대비하고 상기 제1 목표 좌표를 제2 수직 라인의 좌표와 대비하는 것을 동시에 수행할 수 있다. 여기서, 상기 제1 목표 좌표가 상기 제1 안정 좌표 범위 이내이고, 상기 제1 현재 좌표가 상기 제1 수직 라인의 좌표보다 크고 동시에 상기 제1 목표 좌표가 상기 제2 수직 라인의 좌표보다 작은 경우, 상기 로봇을 제1 및 제2 방향으로 동시에 상기 목표 위치로 이동하는 단계를 더 포함할 수 있다. 또한,상기 제1 목표 좌표가 상기 제1 안정 좌표 범위 이내이고, 상기 제1 현재 좌표가 상기 제1 수직 라인의 좌표보다 작거나 상기 제1 목표 좌표가 상기 제2 수직 라인의 좌표보다 크고, 상기 제1 현재 좌표가 상기 제1 간섭 좌표 범위 내 일 경우, 상기 로봇을 제1 방향으로 이동시킨 후 및 제2 방향으로 이동할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 제2 현재 좌표가 상기 제2 간섭 좌표 범위내일 경우, 상기 제2 목표 좌표가 상기 제2 간섭 좌표 범위 이내 이면 상기 로봇을 제1 및 제2 방향으로 동시에 상기 목표 위치로 이동하는 단계를 더 포함할 수 있다. 이와 다르게, 상기 제2 목표 좌표가 상기 제2 안정 좌표 범위 이내 이면, 상기 목표 좌표의 상기 제1 방향에 대한 좌표인 제1 목표 좌표가 상기 제1 및 제2 수직 라인들에 의하여 정의되는 제1 간섭 좌표의 범위 내인지를 판정할 수 있다. 여기서, 상기 제1 목표 좌표가 상기 제1 간섭 좌표의 범위 이내이면, 상기 로봇을 제 2 방향으로 이동시킨 후 제1 방향으로 이동시킬 수 있다. 이와 다르게, 상기 제1 목표 좌표가 상기 제1 안정 좌표 범위 이내이면, 상기 로봇을 제1 및 제2 방향으로 동시에 상기 목표 위치로 이동할 수 있다.
이러한 본 발명에 따르면, 현재 위치와 목표 위치의 좌표와 간섭 영역의 좌표만을 설정함으로써 직교 로봇의 이동 경로가 자동적으로 생성될 수 있다. 따라서, 직교 로봇의 이동 경로를 설정하기 위한 티칭 작업이 생략될 수 있으므로 공정 세팅 시간이 감소될 수 있으며 직교 로봇의 최적의 이동 경로가 생성되어 로봇의 이동 시간이 감소될 수 있다. 결과적으로 직교 로봇의 이동 영역 중 간섭 영역이 자동적으로 배제됨으로써 직교 로봇이 간섭 영역을 회피하여 최단 거리 및 최단 시간으로 현재 위치에서 목표 위치로 이동할 수 있다.
첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 로봇의 최적 경로 이동 방법에 대해 상세히 설명한다. 본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다. 첨부된 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 본 발명의 명확성을 기하기 위하여 실제보다 확대하거나, 개략적인 구성을 이해하기 위 하여 실제보다 축소하여 도시한 것이다.
또한, 제1 및 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다.
한편, 다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
도 1은 직교 로봇이 이동할 수 있는 이동 영역을 간섭물이 존재할 수 있는 간섭 영역과 상기 간섭 영역을 제외하고 직교 로봇이 안전하게 이동할 수 있는 안전 영역으로 구획하는 로봇의 이동 영역을 나타낸 평면도이다.
도 1을 참조하면, 직교 로봇의 이동 영역 내에는 제1 방향과 상기 제1 방향과 실질적으로 수직한 제2 방향이 정의된다. 따라서 직교 로봇의 현재 위치는 제1 방향에 따라 정해지는 제1 현재 좌표와 제2 방향에 따라 정해지는 제2 현재 좌표로 정해진다. 그리고 직교 로봇의 목표 위치는 제1 방향에 따라 정해지는 제1 목표 좌표와 제2 방향에 따라 정해지는 제2 목표 좌표로 정해진다.
상기 제1 방향에 수직한 제1 수직 라인(101)과 상기 제1 수직 라인(101)으로부터 이격되고 상호 평행한 제2 수직 라인(102)이 정의된다. 한편, 상기 제1 방향과 평행한 제1 수평 라인(111)과 제1 수평 라인(111)으로부터 이격되고 상호 평행한 제2 수평 라인(112)이 정의된다.
또한, 제1 서브 간섭 영역(121)은 제1 및 제2 수평 라인들(111, 112)과 제1 수직 라인(101)에 의하여 정의되며, 반면에 제2 서브 간섭 영역(123)은 제1 및 제2 수평 라인들(111, 112)과 제2 수직 라인(102)에 의하여 정의된다. 결과적으로 간섭 영역(120)은 제1 서브 간섭 영역(121) 및 제2 서브 간섭 영역(123)을 포함한다. 상기 이동 영역 중 상기 간섭 영역(120)을 제외한 영역으로 직교 로봇이 안전하게 이동할 수 있는 이동 영역이 안정 영역(130)으로 정의된다.
그리고, 제1 수직 라인(101)은 제1 방향을 따라 정하여진 제1 수직 라인의 좌표를 이용하여 그 위치를 정할 수 있다. 또한, 제2 수직 라인(102)은 제1 방향을 따라 정하여진 제1 수직 라인의 좌표를 이용하여 그 위치를 정할 수 있다. 제1 및 제2 수직 라인들(101, 102)의 사이로 제1 안정 좌표 범위(106)가 설정된다. 한편 제1 수직 라인(101)의 좌표보다 작은 위치에 해당하는 좌표 범위와 제2 수직 라인(102)의 좌표보다 큰 위치에 해당되는 좌표 범위는 제1 간섭 좌표 범위(108)로 정의된다.
또한, 제1 수평 라인(111)은 제2 방향을 따라 정하여진 제1 수평 라인의 좌표를 이용하여 그 위치를 정할 수 있다. 또한, 제2 수평 라인(102)은 제2 방향을 따라 정하여진 제2 수직 라인(102)의 좌표를 이용하여 그 위치를 정할 수 있다. 제 1 및 제2 수평 라인들(111, 112)의 사이로 제1 간섭 좌표 범위(118)가 설정된다. 한편 제1 수평 라인(111)의 좌표보다 작은 위치에 해당하는 좌표 범위와 제2 수평 라인(112)의 좌표보다 큰 위치에 해당되는 좌표 범위는 제2 안정 좌표 범위(116)로 정의된다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 직교 로봇의 최적 경로 이동 방법을 설명하기 위한 순서도이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 직교 로봇의 최적 경로 이동 방법에 따르면 먼저 직교 로봇의 현재 위치의 제2 방향에 의하여 정하여지는 제2 현재 좌표가 상기 제2 안정 좌표 범위 이내 인지를 판정한다(S110). 이후, 상기 목표 위치의 상기 제2 방향에 의하여 정하여지는 제2 목표 좌표가 제2 안정 좌표 범위 이내인지를 판정한다(S120).
예를 들면, 제2 현재 좌표가 제2 안정 좌표 범위(116)이내 일 경우가 있으며, 제2 현재 좌표가 제2 안정 좌표 범위(116)밖의 제2 간섭 좌표 범위(118) 내일 수 있다. 먼저 제2 현재 좌표가 제2 안정 좌표 범위(116)이내일 경우를 먼저 설명한다. 이 경우, 전술한 바와 같이 제2 목표 좌표가 제2 안정 좌표 범위(116) 이내인지를 판정한다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 제2 목표 좌표가 제2 안정 좌표 범위(116)이내일 때 직교 로봇은 제1 및 제2 방향으로 동시에 이동하여 현재 위치로부터 목표 위치로 최단 경로로 이동할 수 있다(S161).
본 발명의 다른 실시예에 있어서 제2 목표 좌표가 제2 안정 좌표 범위(116) 밖의 제2 간섭 좌표 범위(118) 내에 있을 때, 제1 목표 좌표가 제1 안정 좌표 범위이내 인지를 판정한다(S130).
만약 제1 목표 좌표가 제1 안정 좌표 범위 이내이면 제1 현재 좌표가 제1 수직 라인 좌표보다 크고 제1 목표 좌표가 제2 수직 라인 좌표보다 작은지를 판정한다(S140). 제1 현재 좌표가 제1 수직 라인 좌표보다 크고 제1 목표 좌표가 제2 수직 라인 좌표보다 작은 경우 직교 로봇은 현재 위치에서 목표 좌표로 제1 방향과 제2 방향으로 동시에 최단 거리로 이동할 수 있다(S163).
이와 다르게, 제1 현재 좌표가 제1 수직 라인 좌표보다 작거나 제1 목표 좌표가 제2 수직 라인 좌표보다 클 경우 제1 현재 좌표가 제1 간섭 좌표 범위 이내인지를 판정한다(150). 제1 현재 좌표가 제1 간섭 좌표 범위 이내일 경우 직교 로봇은 제1 방향으로 이동한 후 제2 방향으로 이동하여 간섭 영역의 간섭물을 회피하여 안전하게 현재 위치로부터 목표 위치로 이동할 수 있다(S165).
한편, 제2 현재 좌표가 제2 안정 좌표 범위(116) 이내인지를 판정(S110)하여 제2 현재 좌표가 제2 안정 좌표 범위(116) 밖의 제2 간섭 좌표 범위(118) 이내일 경우를 이하 설명한다. 이 경우, 전술한 바와 같이 제2 목표 좌표가 제2 안정 좌표 범위(116) 이내인지를 판정한다(S120).
본 발명의 일 실시예에 있어서 제2 목표 좌표가 제2 안정 좌표 범위(116)밖의 제2 간섭 좌표 범위(118) 내에 있을 경우, 직교 로봇은 현재 위치에 목표 위치로 제1 및 제2 방향들로 동시에 최단 거리로 이동할 수 있다(S171).
본 발명의 다른 실시예에 있어서 제2 목표 좌표가 제2 안정 좌표 범위 이내 에 있을 경우 제1 목표 좌표가 제1 간섭 좌표 범위 내인지를 판정한다(S135).
만약 제1 목표 좌표가 제1 간섭 좌표 범위(108) 이내일 경우 직교 로봇은 제2 방향으로 먼저 이동한 후 제1 방향으로 이동하여 현재 위치에서 목표 위치로 이동할 수 있다(S173).
만약 제1 목표 위치가 제1 간섭 좌표 범위(108) 밖의 제1 안정 좌표 범위(106) 내에 있을 경우 직교 로봇은 현재 위치에 목표 위치로 제1 및 제2 방향들로 동시에 최단 거리로 이동할 수 있다(S175).
본 발명에 따르면, 현재 위치와 목표 위치의 좌표와 간섭 영역의 좌표만을 설정함으로써 직교 로봇의 이동 경로가 자동적으로 생성될 수 있다. 따라서, 직교 로봇의 이동 경로를 설정하기 위한 티칭 작업이 생략될 수 있으므로 공정 세팅 시간이 감소될 수 있으며 직교 로봇의 최적의 이동 경로가 생성되어 로봇의 이동 시간이 감소될 수 있다. 결과적으로 직교 로봇의 이동 영역 중 간섭 영역이 자동적으로 배제됨으로써 직교 로봇이 간섭 영역을 회피하여 최단 거리 및 최단 시간으로 현재 위치에서 목표 위치로 이동할 수 있다.
앞서 설명한 본 발명의 상세한 설명에서는 본 발명의 바람직한 실시예들을 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자 또는 해당 기술분야에 통상의 지식을 갖는 자라면 후술될 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 기술 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
이와 같은 본 발명의 직교 로봇의 최적 경로 이동 방법은 반도체 장치를 제조하는 반도체 소자 제조 설비에 반도체 기판 또는 반도체 기판을 수용하는 수용 부재를 이송하는 직교 로봇 장치에 적용될 수 있다. 또한, 평판 디스플레이 장치에 적용되는 평면 표시 패널을 제조에 이용되는 유리 기판을 이송하는 직교 로봇 장치에 적용될 수 있을 것이다.
도 1은 직교 로봇이 이동할 수 있는 이동 영역을 간섭물이 존재할 수 있는 간섭 영역과 상기 간섭 영역을 제외하고 직교 로봇이 안전하게 이동할 수 있는 안전 영역으로 구획하는 로봇의 이동 영역을 나타낸 평면도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 직교 로봇의 최적 경로 이동 방법을 설명하기 위한 순서도이다.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
101 : 제1 수직 라인 102 : 제2 수직 라인
106 : 제1 안정 좌표 범위 108 : 제1 간섭 좌표 범위
111 : 제1 수평 라인 112 : 제2 수평 라인
116 : 제2 안정 좌표 범위 118 : 제2 간섭 좌표 범위
120 : 간섭 영역 130 : 안정 영역

Claims (9)

  1. 제1 방향과 상기 제1 방향과 직교하는 제2 방향이 정의되고, 상기 제1 방향에 수직한 제1 수직 라인 및 상기 제1 방향과 평행한 제1 수평 라인과 제2 수평 라인에 의하여 정의되는 제1 서브 간섭 영역과 상기 제1 수직 라인과 평행한 제2 수직 라인과 상기 제1 및 제2 수평 라인들에 의하여 정의되는 제2 서브 간섭 영역을 포함하는 간섭 영역 및 상기 간섭 영역을 제외한 나머지 영역을 안정 영역으로 구획되는 로봇 이동 영역 내에 현재 위치에서 목표 위치로 이동하는 직교 로봇의 최적 경로 이동 방법에 있어,
    상기 현재 위치의 상기 제2 방향의 좌표인 제2 현재 좌표가 상기 제1 및 제2 수평 라인들 사이의 제2 간섭 좌표 범위 밖의 제2 안정 좌표 범위 이내 인지를 판정하는 단계; 및
    상기 목표 위치의 상기 제2 방향의 좌표인 제2 목표 좌표가 상기 제2 안정 좌표 범위 이내인지를 판정하는 단계를 포함하는 직교 로봇의 최적 경로 이동 방법.
  2. 제1항에 있어서, 상기 제2 현재 좌표가 상기 제2 안정 좌표 범위내일 경우,
    상기 제2 목표 좌표가 상기 제2 안정 좌표 범위내이면, 상기 직교 로봇을 제1 및 제2 방향으로 동시에 상기 목표 위치로 이동하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 직교 로봇의 최적 경로 이동 방법.
  3. 제 2 항에 있어서, 상기 제2 목표 좌표가 상기 제2 간섭 좌표 범위 이내 이면,
    상기 목표 위치의 제1 방향에 대한 좌표인 제1 목표 좌표가 상기 제1 및 제2 수직 라인들 사이에 의하여 정의되는 제1 안정 좌표 범위이내 인지를 판정하는 단계;
    상기 제1 목표 좌표가 상기 제1 안정 좌표 범위 이내일 경우, 상기 현재 위치의 제1 방향으로의 좌표인 제1 현재 좌표를 제1 수직 라인의 좌표와 대비하고 상기 제1 목표 좌표를 제2 수직 라인의 좌표와 대비하는 것을 동시에 수행하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 직교 로봇의 최적 경로 이동 방법.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 제1 목표 좌표가 상기 제1 안정 좌표 범위 이내이고, 상기 제1 현재 좌표가 상기 제1 수직 라인의 좌표보다 크고 동시에 상기 제1 목표 좌표가 상기 제2 수직 라인의 좌표보다 작은 경우, 상기 직교 로봇을 제1 및 제2 방향으로 동시에 상기 목표 위치로 이동하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 직교 로봇의 최적 경로 이동 방법.
  5. 제 3 항에 있어서,
    상기 제1 목표 좌표가 상기 제1 안정 좌표 범위 이내이고, 상기 제1 현재 좌 표가 상기 제1 수직 라인의 좌표보다 작거나 상기 제1 목표 좌표가 상기 제2 수직 라인의 좌표보다 크고, 상기 제1 현재 좌표가 상기 제1 간섭 좌표 범위 내 일 경우, 상기 직교 로봇을 제1 방향으로 이동시킨 후 및 제2 방향으로 이동하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 직교 로봇의 최적 경로 이동 방법.
  6. 제1항에 있어서, 상기 제2 현재 좌표가 상기 제2 간섭 좌표 범위내일 경우,
    상기 제2 목표 좌표가 상기 제2 간섭 좌표 범위 이내 이면 상기 직교 로봇을 제1 및 제2 방향으로 동시에 상기 목표 위치로 이동하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 직교 로봇의 최적 경로 이동 방법.
  7. 제6항에 있어서, 상기 제2 목표 좌표가 상기 제2 안정 좌표 범위 이내 이면,
    상기 목표 좌표의 상기 제1 방향에 대한 좌표인 제1 목표 좌표가 상기 제1 및 제2 수직 라인들에 의하여 정의되는 제1 간섭 좌표의 범위 내인지를 판정하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 직교 로봇의 최적 경로 이동 방법.
  8. 제7항에 있어서, 상기 제1 목표 좌표가 상기 제1 간섭 좌표의 범위 이내이면,
    상기 직교 로봇을 제2 방향으로 이동시킨 후 제1 방향으로 이동시키는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 직교 로봇의 최적 경로 이동 방법.
  9. 제7항에 있어서, 상기 제1 목표 좌표가 상기 제1 안정 좌표 범위 이내이면,
    상기 직교 로봇을 제1 및 제2 방향으로 동시에 상기 목표 위치로 이동하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 직교 로봇의 최적 경로 이동 방법.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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