KR20090025797A - 접착력이 향상된 나노 와이어 그리드 편광자 및 그 제조방법 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (15)
- 투명 기판에 나노 구조물을 형성하는 단계;상기 나노 구조물 상에 제1 금속층을 적층하는 단계;상기 제1 금속층 위에 제2 금속층을 적층하는 단계; 및상기 제1 및 제2 금속층을 패터닝하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 나노 와이어 그리드 편광자 제조방법.
- 제1항에 있어서,상기 투명 기판은 유리 기판인 것을 특징으로 하는 나노 와이어 그리드 편광자 제조 방법.
- 제1항에 있어서,상기 나노 구조물은 광경화성 폴리머인 것을 특징으로 하는 나노 와이어 그리드 편광자 제조방법.
- 제1항에 있어서,상기 제1 금속층은 Cr, Cr과 Ni의 합금, Ti, Si 및 SiO2 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 나노 와이어 그리드 편광자 제조방법.
- 제1항에 있어서,상기 제2 금속층은 Al 및 Ag 중 하나인 것을 특징으로 하는 나노 와이어 그리드 편광자 제조방법.
- 제1항에 있어서,상기 제2 금속층을 적층하는 단계는,상기 제2 금속층 내에 입계면을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 나노 와이어 그리드 편광자 제조 방법.
- 제6항에 있어서,상기 제1 및 제2 금속층을 패터닝하는 단계는,상기 입계면을 통해 에칭액을 침투시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 나노 와이어 그리드 편광자 제조 방법.
- 제1항에 있어서,상기 제1 금속층의 두께는 50 내지 1000Å인 것을 특징으로 하는 나노 와이어 그리드 편광자 제조 방법.
- 제1항에 있어서,상기 제2 금속층의 두께는 1000 내지 3000Å인 것을 특징으로 하는 나노 와 이어 그리드 편광자 제조 방법.
- 투명 기판;상기 투명 기판 상에 형성된 돌기 형상의 나노 구조물;상기 나노 구조물의 상부에 형성된 제1 금속층; 및상기 제1 금속층 상에 형성된 제2 금속층;을 포함하는 것을 특징으로 하는 나노 와이어 그리드 편광자.
- 제10항에 있어서,상기 돌기 형상의 나노 구조물의 간격은 150nm이하인 것을 특징으로 하는 나노 와이어 그리드 편광자.
- 제10항에 있어서,상기 제1 금속층은 Cr, Cr과 Ni의 합금, Ti, Si 및 SiO2 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 나노 와이어 그리드 편광자 제조방법.
- 제10항에 있어서,상기 제2 금속층은 Al 및 Ag 중 하나인 것을 특징으로 하는 나노 와이어 그리드 편광자 제조방법.
- 제10항에 있어서,상기 제1 금속층의 두께는 50 내지 1000Å인 것을 특징으로 하는 나노 와이어 그리드 편광자 제조 방법.
- 제10항에 있어서,상기 제2 금속층의 두께는 1000 내지 3000Å인 것을 특징으로 하는 나노 와이어 그리드 편광자 제조 방법.
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