KR20090025625A - 스토커 - Google Patents

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KR20090025625A
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Abstract

본 발명은 스토커의 내부에서 레일 위를 이동하는 랙 마스터(Rack Master)와 랙 마스터에 전원을 공급하는 전원공급케이블간 발생하는 마찰을 줄이기 위한 케이블지지수단이 구비된 스토커에 관련된 것으로서, 적어도 일측에서 셀 형태로 형성되어 카세트가 적재되는 선반(shelf)과; 상기 선반의 일측에 구비되는 레일과; 외부로부터 상기 레일을 따라 인입되어 전원을 공급하는 전원공급케이블과; 상기 레일의 측벽을 따라 구비되고, 상기 전원공급케이블이 지지되는 홀더가 상측 및 하측에 형성된 케이블지지수단; 및 상기 전원공급케이블 사이를 이동하며 비접촉상태로 유지되어 전자유도에 의한 전원을 공급받는 전원공급장치를 구비한 랙 마스터를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
랙 마스터, 전원공급장치, 레일, 케이블지지수단

Description

스토커{STOCKER}
본 발명은 스토커에 관한 것으로서, 더 자세하게는 스토커의 내부에서 레일을 따라 이동하며 카세트를 반입 및 반출하는 랙 마스터(Rack Master)와 랙 마스터에 전원을 공급하는 전원공급케이블간 발생하는 마찰을 줄여 전원공급케이블로부터의 이물 발생을 방지하려는 케이블지지수단이 구비된 스토커에 관련된다.
정보화 사회에 접어들면서, 액정표시장치는 콘트러스트비(contrast ratio)가 크고, 계조 표시가 동화상 표시에 적합하며 전력소비가 작다는 장점 때문에 CRT(cathode tube)의 단점을 극복할 수 있는 대체수단으로 점차 그 사용 범위가 확대되어 왔다.
보통 이러한 액정표시장치의 액정패널은 게이트 라인 및 데이터 라인에 의해 정의된 화소영역에 형성된 박막트랜지스터와, 화소전극을 구비한 박막트랜지스터기판과, 컬러필터층과 공통전극을 구비한 컬러필터기판과, 상기 두 기판 사이에 개재된 액정층으로 구성된다.
또한, 액정표시장치의 제조공정은 어레이공정, 셀공정 및 모듈 공정의 세 공정으로 구분되는데, 이러한 어레이공정, 셀공정 및 모듈공정을 거치기 위하여는 각 각의 공정제조장치로 기판을 이송하기 위한 카세트 단위의 반송시스템이 사용되고 있다. 이때, 카세트의 내부에는 복수 개의 기판들이 적재되어 있다. 그리고 상기 카세트는 일부 제조장치의 고장 또는 수리시 제조공정 라인의 원활한 흐름을 위하여 카세트가 일시 저장되는 스토커가 필요하게 된다.
도 1은 일반적인 스토커의 내부 구조를 나타내는 평면도이고, 도 2는 도 1의 랙 마스터를 나타내는 사시도이다.
도 1에 도시된 바와 같이, 일반적으로 스토커(10)의 내부에는 일정 공간의 반송통로를 가지는 박스 형태의 스토커 본체가 전후(前後) 방향으로 길게 형성되어 있으며, 반송통로의 양측에는 기판이 수납된 카세트(12)들이 적재되는 다수 개의 선반(shelf)(11)들이 구비되어 있다. 또한, 스토커(10)는 반송통로에 구비된 레일(미도시)상에 랙 마스터(20)가 위치하여 입고 포트(13)를 통해 입고된 카세트(12)를 선반(11)으로 적재하거나 선반(11)에 수납되어 있던 카세트(12)를 출고 포트(14)를 통해 출고하는 등 카세트(12)를 이송할 수 있도록 구성되어 있다.
여기에서, 랙 마스터(20)는 도 2에서와 같이 레일(40)상에서의 자체 주행을 위한 주행 구동부(51)와, 카세트(12)의 이송을 위한 로봇 암이 고정된 로봇 암 베이스(55) 및 로봇 암 베이스(55)를 상하 이동시키는 승강부(53) 등으로 이루어진 구동부(미표기)를 포함하고 있다.
이때, 상기 랙 마스터(20)의 구동부는 레일(40)을 따라 이동하며 랙 마스터(20)의 전원공급장치(52)에 공급된 전원을 통해 구동되는데, 상기 랙 마스터(20)의 전원공급장치(52)는 외부로부터 연장되어 인입된 전원공급케이블(60)을 통해 전 원을 공급받고 있다.
그러나, 최근 들어 액정패널이 점점더 대형화되어감에 따라 스토커의 랙 마스터도 함께 대형화되는 추세에 있고, 그 결과 랙 마스터의 주행 및 카세트의 이재 동작시 랙 마스터 본체의 유동이 발생하게 되는데, 이때 랙 마스터의 전원공급장치와 전원공급케이블간 마찰로 인해 전원공급케이블이 열화되고, 전원공급케이블의 처짐 현상도 발생하고 있다.
이로 인해, 랙 마스터의 전원공급장치와 전원공급케이블간 상호 간섭에 의해 이물이 발생하게 되고, 이는 결국 클린룸 내의 공기를 오염시켜 액정표시장치의 수율을 저하시키고 있다.
본 발명은 상기의 문제점을 개선하기 위하여 안출된 것으로서, 그 목적은 스토커 내부에 형성된 레일의 내벽을 따라 전원공급케이블의 처짐을 방지하여 랙 마스터와의 마찰을 줄이려는 케이블지지수단이 구비된 스토커를 제공함에 있다.
상기의 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 스토커는 적어도 일측에서 셀 형태로 형성되어 카세트가 적재되는 선반(shelf)과; 상기 선반의 일측에 구비되는 레일과; 외부로부터 상기 레일을 따라 인입되어 전원을 공급하는 전원공급케이블과; 상기 레일의 측벽을 따라 구비되고, 상기 전원공급케이블이 지지되는 홀더가 상측 및 하측에 형성된 케이블지지수단; 및 상기 전원공급케이블 사이를 이동하며 비접촉상태로 유지되어 전자유도에 의한 전원을 공급받는 전원공급장치를 구비한 랙 마스터를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
상기의 구성 결과, 본 발명에 따른 스토커는 외부로부터 랙 마스터에 전원을 공급하는 전원공급케이블의 처짐을 방지하고, 전원공급케이블과 랙 마스터간 마찰에 의해 발생하던 이물을 방지함으로써 클린룸 내부의 공기 청정도를 증가시켜 그 결과 액정표시장치의 수율에도 기여할 것이다.
이하, 도면을 참조하여 상기 구성과 관련해 구체적으로 살펴보고자 한다.
도 3은 본 발명의 제1실시예에 따른 케이블 지지수단의 구비된 스토커의 내부 구조를 나타내는 도면이다.
도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명의 스토커(100)는 내부에 일정 공간의 반송통로를 가지는 박스 형태의 스토커 본체가 전후(前後) 방향으로 길게 형성되어 있으며, 반송통로의 양측에는 기판이 수납된 카세트(112)들이 적재되는 다수개의 선반(111)들이 구비되어 있다. 또한 스토커의 내부에는 반송통로의 대략 바닥면에 레일(120)이 구비되고, 그 레일(120)을 따라서는 카세트(112)를 이송하는 랙 마스터(200)가 위치하여 입고 포트를 통해 입고된 카세트(120)를 선반(111)에 적재하거나 선반(111)에 수납되어 있는 카세트(112)를 출고 포트를 통해 출고할 수 있도록 구성되어 있다.
여기에서, 랙 마스터(200)는 랙 마스터(200)의 자체 주행 및 카세트(112)의 이송을 위한 구동부를 포함하고 있다. 다시 말해, 랙 마스터(200)는 스토커(100)의 반송통로에 형성된 레일(120)을 따라 이동하는 베이스(base)(210)와, 상기 베이스(210)의 양측으로 체결되는 승강축(column)(230)과, 상기 승강축(230)을 따라 상하로 이동하는 로봇 암 베이스(robot arm base)(250) 및 상기 로봇 암 베이스(250)에 체결되어 왕복 운동하는 로봇 암(미표기)을 포함하여 구성된다.
또한, 랙 마스터(200)는 이와 같은 자체 주행 및 구동부의 작동을 위해 전원공급장치(270)를 구비하고 있는데, 그 전원공급장치(270)는 반송통로의 대략 바닥면에 서로 나란하게 마주보며 형성된 레일(120)의 내측벽을 따라 소정 간격을 두고 형성된 케이블 지지수단(600)에 의해 지지되고 외부로부터 고주파 전류가 공급되는 전원공급케이블(700)과 서로 비접촉상태를 유지하면서 전자유도에 의한 전원을 공급받는 E자형의 픽업코어와, 그 픽업코어에 권선된 픽업코일 등으로 이루어진 이송자(미도시)를 포함할 것이다.
도 4a 및 도 4b는 도 3에 나타낸 랙 마스터의 베이스 내부 구동장치의 부분 절단면도이다.
도 4a 및 도 4b에 세부적으로 도시된 바와 같이, 랙 마스터(200)의 베이스(210)는 동력 전달원인 모터(211), 모터(211)의 회전을 감속하는 감속기(212), 감속기(212)를 통해 나오는 동력을 전달하며 감속기(212)와 구동 휠(216)의 동축도를 유지하는 샤프트 커플러(coupler)(220a, 220b), 모터 토크를 구동 휠(216)에 전달하는 토크전달 샤프트(217a), 토크전달 샤프트(217a)를 통하여 회전하는 구동 휠(216) 및 구동 휠(216)을 고정하는 구동 휠 샤프트(217b)로 구성되어 있다.
여기에서 샤프트(217a, 217b)는 동력을 전달하는 막대 모양의 기계부품으로 회전운동 또는 직선왕복운동에 의해 동력을 떨어져 있는 곳에 전달하는 역할을 하며, 구동 휠(216)과 구동 휠 샤프트(217b) 사이에는 베어링(bearing)(218)이 설치되어 있다. 물론 베어링(218)은 회전하고 있는 기계의 축(軸)을 일정한 위치에 고정시키고 축의 자중과 축에 걸리는 하중을 지지하면서 축을 회전시키는 역할을 하는 기계요소이다.
또한, 감속기(212)는 T자형으로 구성되어 모터(211)로부터 전달받은 토크를 양단에 위치한 제1샤프트 커플러(220a)를 통해 토크전달 샤프트(217a)로 전달하게 된다. 이후, 토크전달 샤프트(217a)는 제2샤프트 커플러(220b)를 통해 구동 휠 샤 프트(217b)에 연결되어 제1샤프트 커플러(220a)로부터 전달받은 토크를 양측의 구동 휠(216)로 직접 전달하게 된다.
도 5는 도 3의 랙 마스터의 승강축 내부 구조를 나타내는 도면이다.
도 5에 도시된 바와 같이, 랙 마스터(200)의 승강축(230)은 그 내부의 상·하측으로 체인(233)에 의하여 서로 연동하는 스프로킷(231a, 231b)과, 그 하측의 스프로킷(231b)으로 동력을 전달하는 서브모터(235)와, 그 서브모터(235)로부터 토크를 전달받아 하측의 스프로킷(231b)에 전달하는 감속기(미표기)와, 상·하측의 스프로킷(231a, 231b)을 연동시키는 체인(233)의 일측에 체결되어 외부의 로봇 암 베이스(미도시)를 이동시키는 이동 캐리지(moving carriage)(237)와, 그 이동 캐리지(237)의 균형을 유지시키기 위하여 그 타측 체인에 체결되는 웨이트 밸런스(weight balance)(239)를 포함하여 구성된다.
좀더 덧붙이면, 승강축(230)의 상·하측으로는 스프로킷(231a, 231b)이 위치하고 있는데, 이 중에서 하측의 스프로킷(231b)은 서브모터(235)로부터 동력을 직접적으로 전달받게 되며, 체인(233)을 통해 상측의 스프로킷(231a)과 동시에 동작하게 된다.
물론 서브모터(235)는 감속기(미표기)를 포함한다. 다시 말해, 서브모터(235)는 빠른 속도로 회전되기 때문에 모터의 동력을 사용할 때는 주로 다양한 감속장치와 결합하여 회전속도를 감속시켜 사용할 수 있도록 하고, 지름이 서로 다른 여러 개의 종동(從動) 기어들을 연속 결합하여 회전수를 감속시키는 반면, 그 동력은 배가(倍加)시킬 수 있다.
그리고 상·하측 스프로킷(231a, 231b) 사이의 일측 체인(233) 영역으로는 이동 캐리지(237)가 체결되는데, 정확히 말해 이동 캐리지(237)의 상·하측에 체인(233)을 체결하는 것이다. 그리고 여기에서의 이동 캐리지(237)란 승강축(230)의 외부에서 승강축(230)을 따라 로봇 암 베이스가 상하로 이동할 수 있도록 하기 위한 것으로서, 그 로봇 암 베이스와는 고장력 볼트 등을 사용하여 서로 체결된다.
또한, 상·하측 스프로킷(231a, 231b) 사이의 타측 체인(233) 영역으로는 위의 이동 캐리지(237)와 동일한 방법으로 웨이트 밸런스(239)가 체결되며, 일측 체인(233) 영역의 이동 캐리지(237)와 무게 균형을 유지하기 위한 것이라 볼 수 있다.
도 6은 도 3의 랙 마스터의 로봇 암 베이스를 나타내는 도면이다.
도 6에 도시된 바와 같이, 로봇 암 베이스(250)상에는 회전 가능하도록 장착된 턴 테이블(251)이 체결되고, 또한 그 턴 테이블(251)상에는 로봇 암(253)이 체결되어 그 끝 부위에 카세트를 적재하기 위한 플레이트(255)가 체결되어 있다.
여기에서, 로봇 암 베이스(250)의 내부로는 예컨대 턴 테이블(251)을 회전시키기 위한 회전구동수단, 턴 테이블(251)을 정지시킬 수 있는 제동수단, 턴 테이블(251)을 정 위치에 고정시키기 위한 고정수단 및 턴 테이블(251)의 회전위치를 감지하여 제어신호를 송출하는 위치검출센서와 같은 감지수단 등이 추가적으로 구비될 수 있고, 또한 위의 구성 요소들과 연동하여 턴 테이블(251)의 회전을 제어하는 제어부 등이 구성될 것이다.
도 7은 도 3에 나타낸 레일과 랙 마스터 전원공급장치의 절단선(I-I`)을 따 라 본 절단부분사시도이다.
도 7에 도시된 바와 같이, 스토커 내부의 반송통로에서 대략 "ㄷ"자 형상을 갖는 레일(120)의 개방된 부위로 전원공급장치(270)가 체결되어 있다. 다시 말해, 상기 레일(200)은 바닥면과 수직을 이루는 수직 프레임(120a)과, 수직 프레임(120a)의 상측 및 하측에서 수직하게 연장·형성됨으로써 바닥면과 수평을 이루는 상측 수평프레임(120b) 및 하측 수평프레임(120c)을 이루고 있다. 그리고 이와 같이 구비된 레일(200)의 일측 내벽, 더 정확하게는 랙 마스터의 전원공급장치(270)가 위치하는 쪽의 일측 내벽의 상측 및 하측에는 교류 전류가 인가될 수 있도록 외부로부터 인입된 전원공급케이블(700)을 지지하는 케이블지지수단(600)이 형성되어 있다.
또한, 상기 레일(120)의 개방부와 대면하여서는 레일(120)을 따라 이동하며 전원을 공급받는 랙 마스터의 전원공급장치(270)가 위치하게 된다. 이때, 전원공급장치(270)는 레일(120)의 내벽 상·하측에 위치하는 케이블지지수단(600)에 의해 지지되고 외부로부터 교류 전류가 공급되는 전원공급케이블(700) 사이를 비접촉상태를 유지하면서 이동함으로써 전자유도에 의한 전원을 공급받는 E자형의 픽업코어(271)와, 그 픽업코어(271)에 권선된 픽업코일(273) 등으로 이루어진 이송자(미표기)를 포함하게 된다. 더 나아가서 전원공급장치(270)는 이송자가 체결되는 결합부재(550)도 포함할 수 있는데, 이를 통해 랙 마스터의 베이스에 고정됨으로써 레일(120)을 따라 이동하게 된다. 이때 결합부재(550)는 이송자에 접속하는 회로구동부도 포함할 수 있다.
여기에서, 결합부재(550)는 레일(120)의 형상과 동일한 "ㄷ자 형상"을 이룰 수 있는데, 결합부재(550)의 수평한 상측프레임(550a)은 레일(120)의 상측 수평프레임(120b)의 위쪽에 위치하며, 결합부재(550)의 수평한 하측프레임(550b)은 레일(120)의 하측 수평프레임(120c)의 아래에 위치하게 된다. 물론 두 금속 재질의 레일(120)과 결합부재(550)간 마찰을 줄이기 위하여는 레일(120)의 상측 수평프레임(120b)과 결합부재(550)의 수평한 상측프레임(550a)의 사이에는 랙 마스터의 좌우 치우침을 방지하기 위한 제1롤러(551)가 형성되어 있고, 레일(120)의 하측 수평프레임(120c)과 결합부재(550)의 수평한 하측프레임(550b)의 사이에는 랙 마스터의 상하 유동을 방지하기 위한 제2롤러(552)가 형성되어 있다.
상기의 구성을 통해, 랙 마스터는 스토커의 반송통로에 구비된 레일(120) 위를 구르면서 좌우 치우침 및 상하의 유동 없이 안정되게 카세트를 반입 및 반출할 수 있게 되고, 또한 랙 마스터의 전원공급장치(270)는 레일(120)의 내벽에 형성되어 전원공급케이블(700)을 안정되게, 즉 아래로의 처짐없이 지지하는 케이블지지수단(600)에 의해 전원공급케이블(700)과의 마찰이 방지된다.
한편, 본 발명의 제1실시예에 따른 케이블지지수단(600)은 외부로부터 교류 전원이 인가되는 전원공급케이블(700)을 지지하기 위하여 레일(120)의 내벽을 따라 형성되어 있는데, 이때 케이블지지수단(600)간 피치(pitch), 즉 간격은 물론 좁으면 좁을수록 좋을 것이다. 그러나 그것의 형성에 따른 제조비용의 측면을 고려해 볼 때 하나의 케이블지지수단(600)의 끝단과 이웃하는 케이블지지수단(600)의 끝단간 거리를 최적으로 조절함으로써 전원공급케이블(700)의 처짐을 방지하는 것이 바 람직하다. 이는 물론 전원공급케이블(700)의 무게 등 기타 요인들에 의해 얼마든지 달라질 수 있을 것이다.
상기 케이블지지수단(600)은 좀더 구체적으로 레일(120)에 고정되는 고정몰드물(611)과, 고정몰드물(611)로부터 수직하게 연장되어 바닥면과 수평을 이루도록 형성된 상·하 수평몰드물(613a, 613b)과, 상·하 수평몰드물(613a, 613b)의 끝단에 형성되어 전원공급케이블(700)이 체결되는 홀더부(612)로 이루어진다. 이때, 홀더부(612)의 개방부위는 바닥면과 수평한 방향으로 형성되어 있다. 이때, 고정몰드물(611)은 레일과 나사체결되는 나사체결부(미표기)를 포함할 수 있다.
여기에서, 고정몰드물(611)의 상·하측에 형성된 수평몰드물(613a, 613b)간 간격(혹은 높이) 및 고정몰드물(611)로부터 연장되어 형성된 상·하측 수평몰드물(613a, 613b)의 길이는 케이블지지수단(600)의 초기설계시 레일(120)의 내벽 높이 및 랙 마스터 전원공급장치(270)의 폭과 높이 등을 고려해 그 케이블지지수단(600)과 전원공급장치(270)간 마찰을 줄일 수 있도록 제조될 것이다.
도 8a 및 도 8b는 본 발명의 제2실시예에 따른 케이블지지수단을 나타내는 도면이다.
도 8a 및 도 8b에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제2실시예에 따른 케이블 지지수단(800, 900)은 레일의 일측 내벽에 고정되는 고정몰드물(811, 911)과, 고정몰드물(811, 911)로부터 수직하게 연장, 형성되어 바닥면과 수평을 이루는 상·하 수평몰드물(813a, 813b; 913a, 913b)과, 상·하 수평몰드물(813a, 813b; 913a, 913b)의 끝단에 형성되어 전원공급케이블이 체결되는 홀더부(815, 915)로 이루어지는데, 이때 전원공급케이블이 체결되는 홀더부(815, 915)의 체결부위, 즉 개방부위가 바닥면과 수직한 상측 및 하측 방향을 향하도록 형성되어 있다. 이와 같이, 케이블지지수단(800, 900)의 홀더부(815, 915)의 개방부위를 다양하게 변경하여 형성할 수 있는 것은 어디까지나 전원공급케이블을 체결할 때 작업의 편이성(便易性)을 고려한 것으로 볼 수 있다.
물론 상기(上記)의 케이블지지수단들(600, 800, 900)은 폴리 계열의 수지나 메탈(metal) 등을 사용하여 사출성형을 통해 고정몰드물(611, 811, 911)과 상·하 수평몰드물(613a, 613b; 813a, 813b; 913a, 913b) 및 홀더부(615, 815, 915)를 일체로 형성할 수 있을 뿐만 아니라, 상·하 수평몰드물(613a, 613b; 813a, 813b; 913a, 913b)이 각각 분리되어 형성된 것을 서로 결합하여 형성할 수도 있다. 그러나 작업의 편이성을 고려해 볼 때 폴리 계열의 수지를 사용한 전자(前者)가 더욱 적합할 것으로 보인다.
도 9는 본 발명의 제3실시예에 따른 케이블지지수단을 나타내는 도면이다.
도 9에 도시된 바와 같이, 본 발명의 케이블지지수단(1000)은 복수 개의 케이블지지수단을 서로 연결하여 일체로 형성할 수도 있다. 가령, 도 7에서와 같은 케이블지지수단(600)이 2개가 일체로 형성된다고 가정할 때, 본 발명의 케이블지지수단(1000)은 레일의 측벽에 부착되어 바닥면과 수직을 이루는 제1고정몰드물(1011) 및 제2고정몰드물(1013)과, 상기 제1고정몰드물(1011) 및 제2고정몰드물(1013)을 서로 연결하여 수평하게 형성된 결합몰드물(1017)과, 상기 제1고정몰드물(1011) 및 제2고정몰드물(1013)의 상·하측에서 각각 연장·형성되어 바닥면과 수평을 이루는 상측의 수평몰드물(1011a, 1013a) 및 하측의 수평몰드물(1011b, 1013b)과, 상기 상측 및 하측 수평몰드물(1011a, 1013a; 1011b, 1013b)의 끝단에 각각 형성되어 전원공급케이블을 지지하는 홀더부(1015)를 포함하여 구성된다. 이를 통해 일체로 형성된 케이블지지수단(1000)상의 홀더부(1015)는 상측 2개와 하측 2개, 총 4개가 형성되어 있다. 이때 제1 및 제2고정몰드물(1011, 1013)의 상측에서 좌우로 형성된 수평몰드물(1011a, 1013a)과 제1 및 제2고정몰드물(1011, 1013)의 하측에서 좌우로 형성된 수평 몰드물(1011b, 1013b)간 간격은 전원공급케이블의 무게 등을 고려해 초기설계시 전원공급케이블의 처짐이 방지될 수 있는 범위에서 형성될 것이다.
도 10은 본 발명의 제4실시예에 따른 케이블지지수단을 나타내는 도면이다.
도 10에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제4실시예에 따른 케이블지지수단(1100)은 레일의 상측 및 하측에 각각 부착되어 바닥면과 수평을 이루는 제1고정몰드물(1111) 및 제2고정몰드물(1113)과, 상기 제1고정몰드물(1111) 및 제2고정몰드물(1113)을 서로 연결하여 수직하게 형성된 결합몰드물(1117)과, 상기 제1고정몰드물(1111) 및 제2고정몰드물(1113)을 따라 그 제1 및 제2고정몰드물(1111, 1113)과 수직한 방향으로 연장·형성되어 바닥면과 수평을 이루는 수평몰드물(1111a, 1113a)과, 상기 수평몰드물(1111a, 1113a)의 끝단에 각각 형성되어 전원공급케이블을 지지하는 홀더부(1115)를 포함하여 이루어질 것이다. 이때 수평몰드물(1111a, 1113a)의 간격 또한 위에서와 마찬가지로 전원공급케이블의 무게 등을 고려해 초기설계시 전원공급케이블의 처짐이 방지될 수 있는 범위에서 형성될 것이다.
상기의 내용들로 미루어 볼 때, 본 발명에 따른 케이블지지수단과 관련해서는 다양한 형태의 변형이 이루어질 수 있다. 따라서, 이에 대해 일일이 열거할 수는 없는 것이며, 이에 대하여는 이후에 기술하는 청구범위에 그 권리범위를 밝혀두고자 한다.
도 1은 일반적인 스토커를 나타내는 평면도
도 2는 도 1의 랙 마스터를 나타내는 사시도
도 3은 본 발명의 제1실시예에 따른 케이블 지지수단이 구비된 스토커의 내부 구조를 나타내는 도면
도 4a 및 도 4b는 도 3에 나타낸 베이스 내부 구동장치의 부분 절단면도
도 5는 도 3의 랙 마스터의 승강축 내부 구조를 나타내는 도면
도 6은 도 3의 랙 마스터의 로봇 암 베이스를 나타내는 도면
도 7은 도 3에 나타낸 레일과 랙 마스터의 전원공급장치를 절단선(I-I`)을 따라 본 절단부분사시도
도 8a 및 도 8b는 본 발명의 제2실시예에 따른 케이블지지수단을 나타내는 도면
도 9는 본 발명의 제3실시예에 따른 케이블지지수단을 나타내는 도면
도 10은 본 발명의 제4실시예에 따른 케이블지지수단을 나타내는 도면

Claims (5)

  1. 적어도 일측에서 셀 형태로 형성되어 카세트가 적재되는 선반(shelf);
    상기 선반의 일측에 구비되는 레일;
    외부로부터 상기 레일을 따라 인입되어 전원을 공급하는 전원공급케이블;
    상기 레일의 측벽을 따라 구비되고, 상기 전원공급케이블이 지지되는 홀더가 상측 및 하측에 형성된 케이블지지수단;
    상기 전원공급케이블 사이를 이동하며 비접촉상태로 유지되어 전자유도에 의한 전원을 공급받는 전원공급장치를 구비한 랙 마스터를 포함하여 구성되는 스토커.
  2. 제1항에 있어서, 상기 케이블지지수단은 레일의 측벽에 고정되어 바닥면과 수직을 이루는 고정몰드물과, 상기 고정몰드물의 상·하측에서 각각 연장·형성되어 바닥면과 수평을 이루는 상측 및 하측 수평몰드물과, 상기 상측 및 하측 수평몰드물의 끝단에 각각 형성되어 전원공급케이블이 체결되는 홀더부를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 스토커.
  3. 제2항에 있어서, 상기 케이블지지수단은 복수 개의 고정몰드물을 연결시키는 수평한 방향의 결합몰드물이 추가적으로 형성될 수 있는 것을 특징으로 하는 스토커.
  4. 제1항에 있어서, 상기 케이블지지수단은 레일의 측벽을 따라 상·하측에 고정되어 바닥면과 수평을 이루는 제1고정몰드물 및 제2고정몰드물과, 상기 제1 및 제2고정몰드물을 연결시키는 수직한 방향의 결합몰드물과, 상기 제1 및 제2고정몰드물을 따라 그 제1 및 제2고정몰드물과 수직한 방향으로 연장·형성되어 바닥면과 수평을 이루는 수평몰드물과, 상기 수평몰드물의 끝단에 각각 형성되어 전원공급케이블이 체결되는 홀더부를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 스토커.
  5. 제1항에 있어서, 상기 케이블지지수단은 폴리 계열의 수지로 형성되는 것을 특징으로 하는 스토커.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3399319B2 (ja) * 1997-10-17 2003-04-21 株式会社豊田自動織機 有軌道台車の非接触給電システム
KR20070072007A (ko) * 2005-12-30 2007-07-04 엘지.필립스 엘시디 주식회사 스토커

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109422167A (zh) * 2017-08-23 2019-03-05 细美事有限公司 塔式升降机
KR20190021659A (ko) * 2017-08-23 2019-03-06 세메스 주식회사 타워 리프트
CN109422167B (zh) * 2017-08-23 2020-09-04 细美事有限公司 塔式升降机
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