KR20090015316A - 필름기판 이송기구, 이를 구비한 노광장치, 그리고필름기판 이송 및 노광방법, 플렉서블 기판의 제조방법 - Google Patents

필름기판 이송기구, 이를 구비한 노광장치, 그리고필름기판 이송 및 노광방법, 플렉서블 기판의 제조방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 필름기판 이송기구, 이를 구비한 노광장치, 그리고 필름기판 이송 및 노광방법, 플렉서블 기판의 제조방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 간단한 구조를 통하여 필름기판의 이송시 사행 및 편향을 방지할 수 있고, 신속하고 정확하게 필름기판을 이송하여 노광시킬 수 있는 필름기판 이송기구, 이를 구비한 노광장치, 그리고 필름기판 이송 및 노광방법, 플렉서블 기판의 제조방법에 관한 것이다.
본 발명에 따른 필름기판 이송기구는, 필름기판이 공급되는 프레임과, 상기 프레임상에 설치되어 상기 필름기판의 하면을 진공으로 흡착할 수 있도록 제1 흡착홀이 형성된 흡착플레이트와, 상기 필름기판의 양측부를 잡을 수 있는 한 쌍의 그립퍼와, 상기 한 쌍의 그립퍼를 상기 필름기판이 공급되는 방향으로 일정한 피치씩 왕복 이동시키는 리니어모터를 포함하여 이루어진다.
Figure P1020070079552
필름기판, 이송기구, 노광장치, 그립퍼, 흡착홀, 에어홀

Description

필름기판 이송기구, 이를 구비한 노광장치, 그리고 필름기판 이송 및 노광방법, 플렉서블 기판의 제조방법{MECHANISM FOR FEEDING FILM-BOARD, EXPOSURE-APPARATUS USING IT, METHOD FOR FEEDING AND EXPOSURING FILM-BOARD, METHOD FOR MANUFACTURING FLEXIBLE BOARD USING THE METHOD}
본 발명은 감광제가 도포된 필름기판이 정확한 노광위치에 배치되도록 상기 필름기판을 이송시키는 필름기판 이송기구, 이를 구비한 노광장치, 그리고 필름기판 이송 및 노광방법, 플렉서블 기판의 제조방법에 관한 것이다.
일반적으로 노광장치는 플라즈마 디스플레이 패널(PDP, Plasm Display Pannel), 새도우 마스크(SM, Shadow Mask), 인쇄회로기판(PCB, Printed Circuit Board), 컬러필터(CF, Color Filter), 액정 표시 장치(LCD, Liquid Crystal Display), 반도체 등을 제조하는 공정에서 사용되는 것으로서, 마스크와 조명계, 조정용 스테이지 및 자외선이 방출되는 수은 램프 등을 이용하여 필름기판에 패턴을 형성하는 장치이다.
액정기판이나 휴대폰 또는 노트북 등의 접을 수 있는 전자제품에 주로 적용되는 플렉서블 기판은 폴리에스테르나 폴리아미드로 이루어진 필름기판에 동박을 입혀 회로를 형성하거나 전자부품이 실장되어 사용된다.
도 8에 도시된 바와 같이, 필름기판(10)은 양측부에 얼라인핀에 걸림되도록 얼라인홀(12)이 등간격으로 연속되게 형성되어 상기 얼라인홀(12)에 얼라인핀이 걸림되며 정확한 이송 및 위치의 정렬이 이루어진다.
도 9는 종래의 필름기판 이송기구가 구비된 노광장치가 도시된 정면도이고, 도 10은 도 9의 필름기판 이송기구가 도시된 평면도이며, 도 11은 도 9의 필름기판 이송기구의 측면도이다.
종래의 노광장치는 도 9에 도시된 바와 같이, 자외선을 방출하는 광원(22) 및 상기 광원(22)에서 방출된 자외선을 일방향으로 조사하는 집광미러(24)가 포함되어 상기 광원(22)에서 방출된 자외선이 포토마스크를 지나 필름기판(10)에 조사됨으로써 패턴이 형성되도록 하는 광학기구(20)와, 상기 광학기구(20)에 의해 조사되는 자외선에 상기 필름기판(10)이 노출되도록 필름기판(10)을 이송하고, 상기 필름기판(10)이 정확한 위치에 배치된 채 자외선에 노출되어 정밀한 패턴이 생성되도록 하는 필름기판 이송기구(30)로 구성된다.
상기 필름기판 이송기구(30)는 도 10 및 도 11에 도시된 바와 같이, 상측이 개구된 챔버(40)와, 상기 챔버(40)의 일측에 상호 대향되게 배치되고 폭방향으로 이동가능하게 설치된 제1 스테이지(41) 및 제2 스테이지(42)와, 상기 챔버(40)의 일측에 설치되어 투입되는 필름기판(10)이 정확한 작업위치에 공급되도록 상기 필름기판(10) 폭의 크기에 따라 제1 스테이지(41) 및 제2 스테이지(42)를 폭방향으로 이동시키는 폭조절수단(50)과, 상기 제1 스테이지(41) 및 제2 스테이지(42)의 일측 에 설치되어 상기 필름기판(10)을 구속하며 이송시키는 이송수단(60)을 포함하여 구성된다.
챔버(40)의 상측에는 상기 폭조절수단(50)과 이송수단(60)에 의해 공급된 필름기판(10)을 고정하여 노광작업이 이루어지도록 흡착홀(45a)이 형성되어 상기 필름기판(10)을 흡착시키는 진공판(45)이 설치되고, 상기 필름기판(10)이 챔버(40)의 상면에 수평하게 공급되도록 필름기판(10)의 하측을 받치며 상기 필름기판(10)의 처짐을 방지하는 가이드롤러(44)가 챔버(40)의 입구측과 출구측에 각각 설치된다.
또한, 상기 챔버(40)의 상단 일측에는 상기 이송수단(60)에 의해 이송되는 필름기판(10)이 자외선에 노출되기 전에 정확한 위치에 배치되도록 상기 필름기판(10)의 폭 방향으로 이동 가능하게 설치되어 상기 필름기판(10)의 양측면을 정렬시키는 복수의 가이드바(46)가 설치되고, 상기 가이드바(46)는 선단에 필름기판(10)의 상면 및 하면에 소정간격 이격되게 배치되어 상기 필름기판(10)의 상하 진동을 차단하는 가이드플레이트(47)가 설치된다.
이송수단(60)은 상기 챔버(40)의 일측에 장착되어 회전력을 발생하는 이송모터(61)와, 상기 이송모터(61)의 회전축(61a)에 설치된 구동풀리(62)와, 상기 제1 스테이지(41) 및 제2 스테이지(42)에 각각 회전가능하게 설치되고, 상기 구동풀리(62)와 연동되어 회전되도록 타이밍벨트(63)로 연결된 종동풀리(64)와, 상기 종동풀리(64)의 회전축에 연결되고 상기 필름기판(10)을 이동시키도록 상기 필름기판(10)의 상면과 하면에 각각 배치된 상부롤러(66a) 및 하부롤러(66b)가 한 쌍을 이루어 물림회전되는 주동롤러(66)와, 상기 주동롤러(66)의 회전시 상기 필름기 판(10)의 이송에 따라 회전되도록 한 쌍을 이루어 상기 필름기판(10)에 물림된 보조상부롤러(68a) 및 보조하부롤러(68b)로 이루어진 피동롤러(68)로 구성된다.
구동축(61a)에 한 쌍의 구동풀리(62)가 설치되는 바, 각각의 구동풀리(62)는 상기 챔버(40)의 전후 방향으로 길게 형성되므로 상기 종동풀리(64) 및 주동롤러(66)가 챔버(40)의 전후 방향으로 이동되어도 상기 타이밍벨트(63)가 구동풀리(62)의 둘레면을 따라 슬라이딩되면서 구동풀리(62)의 회전력이 종동풀리(64)로 전달될 수 있도록 한다.
상기와 같은 종래의 필름기판 이송기구는 각각의 롤러에 대한 정확한 설계와 배치가 필요하고, 이송모터로부터 롤러에 회전력을 전달하기 위하여 복잡한 동력전달수단이 요구되므로 그에 따른 생산원가의 상승을 가져오는 문제점이 있다.
또한, 상하 롤러 사이에 필름기판이 이송될 때, 미소한 슬립이 발생하여 필름기판의 이송이 부정확해지고, 이송되는 필름기판이 사행 또는 편향되어 정확한 위치에 노광이 이루어지지 않아 불량 발생율을 높이는 문제점이 있다.
또한, 종래의 필름기판 이송기구를 사용하기 위해서는 필름기판의 양측부에 얼라인홀을 천공해야 하므로 얼라인홀의 정확한 천공위치도 고려되어야 하며, 얼라인홀이 천공되지 않은 필름기판을 사용할 수 없는 문제점이 있다.
상기와 같은 종래기술의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 본 발명의 목적은, 간단한 구조를 통하여 필름기판의 이송시 사행 및 편향을 방지할 수 있고, 신속하고 정확하게 필름기판을 이송시킬 수 있는 필름기판 이송기구, 이를 구비한 노광장치, 그리고 필름기판 이송 및 노광방법, 플렉서블 기판의 제조방법을 제공하는 데 있다.
또한, 얼라인홀의 유무에 관계없이 필름기판의 정확한 이송이 가능하고, 그에 따라 정확한 위치에 노광이 이루어질 수 있는 필름기판 이송기구, 이를 구비한 노광장치, 그리고 필름기판 이송 및 노광방법, 플렉서블 기판의 제조방법을 제공하 는 데 있다.
본 발명의 그 밖의 목적, 특정한 장점들 및 신규한 특징들은 첨부된 도면들과 연관된 이하의 상세한 설명과 바람직한 실시예들로부터 더욱 분명해질 것이다.
전술한 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 필름기판 이송기구는, 필름기판이 공급되는 프레임과, 상기 프레임상에 설치되어 상기 필름기판의 하면을 진공으로 흡착할 수 있도록 제1 흡착홀이 형성된 흡착플레이트와, 상기 필름기판의 양측부를 잡을 수 있는 한 쌍의 그립퍼와, 상기 한 쌍의 그립퍼를 상기 필름기판이 공급되는 방향으로 일정한 피치씩 왕복 이동시키는 리니어모터를 포함하여 이루어진다.
또한, 상기 필름기판의 길이방향을 따라 상기 프레임의 양단에 연장되어 설치된 서브프레임과, 상기 서브프레임에 회전가능하게 설치되어 상기 필름기판의 하면을 지지하는 복수의 지지롤러를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 복수의 지지롤러의 하부에 설치되고, 상방을 향해 공기를 분사하여 이송되는 상기 필름기판을 상기 복수의 지지롤러로부터 부양시키는 에어홀이 형성된 에어블로어를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 프레임상의 양측부에 설치되고, 상기 필름기판의 폭만큼 이격되어 상기 필름기판이 폭방향으로 흔들리지 않도록 지지하는 한 쌍의 제1 가이드바를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 한 쌍의 제1 가이드바 각각에 서로 마주보도록 설치되고, 상기 필름기판의 양측부의 상방에 위치하여 상기 필름기판이 상하방향으로 흔들리지 않 도록 지지하는 한 쌍의 제2 가이드바를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 한 쌍의 제2 가이드바는, 상기 필름기판의 양측부를 진공으로 흡착할 수 있도록 상기 필름기판과 마주보는 면에 제2 흡착홀이 형성된 것을 특징으로 한다.
한편, 본 발명의 필름기판 이송기구를 구비한 노광장치는, 자외선을 방출하는 광원 및 상기 광원에서 방출된 자외선을 일방향으로 조사하는 집광미러가 구비되어 상기 광원에서 방출된 자외선이 포토마스크를 지나 필름기판에 조사됨으로써 패턴이 형성되도록 하는 광학기구와, 상기 광학기구에 의해 조사되는 자외선에 상기 필름기판이 노출되도록 필름기판을 이송하는 필름기판 이송기구를 포함하고, 상기 필름기판 이송기구는, 필름기판이 공급되는 프레임과, 상기 프레임상에 설치되어 상기 필름기판의 하면을 진공으로 흡착할 수 있도록 제1 흡착홀이 형성된 흡착플레이트와, 상기 필름기판의 양측부를 잡을 수 있는 한 쌍의 그립퍼와, 상기 한 쌍의 그립퍼를 상기 필름기판이 공급되는 방향으로 일정한 피치씩 이동시키는 리니어모터를 포함하는 것을 특징으로 한다.
한편, 본 발명의 필름기판 이송 및 노광방법은, 프레임상에 필름기판이 공급되는 필름기판 공급단계와, 상기 필름기판을 흡착하여 고정시키고, 상기 필름기판에 자외선을 조사하여 패턴을 형성시키는 필름기판 노광단계와, 한 쌍의 그립퍼로 상기 필름기판의 양측부를 잡아 상기 필름기판이 공급되는 방향으로 일정한 피치씩 왕복 이동시키는 필름기판 이송단계를 포함하여 이루어진다.
또한, 상기 필름기판이 상기 프레임상에 공급 또는 이송될 경우 상기 필름기판의 하면을 복수의 지지롤러로 지지하여 안내하는 필름기판 안내단계를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 필름기판 안내단계는, 상기 필름기판의 하면에 상방을 향해 공기를 분사하여 상기 필름기판을 상기 복수의 지지롤러로부터 부양시키는 필름기판 부양단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 필름기판이 상기 프레임상에 이송될 경우 상기 필름기판의 양측부를 진공으로 흡착하여 상기 필름기판의 장력을 유지시키는 장력 유지단계를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
한편, 본 발명에 따른 플렉서블 기판의 제조방법은, 필름기판에 동판을 부착시켜 상기 동판을 세척하는 동판부착 및 세척공정과, 상기 동판에 감광제를 코팅시켜 상기 감광제를 건조시키는 감광제 코팅 및 건조공정과, 상기 감광제에 패턴이 형성된 회로도필름을 부착시키는 회로도필름 부착공정과, 상기 회로도필름이 부착된 상기 필름기판을 노광영역으로 이송하고 상기 필름기판에 자외선을 조사하여 노광하는 필름기판 이송 및 노광공정과, 상기 감광제로부터 회로도필름을 분리하여 자외선에 의해 경화된 상기 감광제 이외의 부분을 현상시켜 제거하고 동판을 부식시키는 필름기판 현상 및 부식공정과, 상기 동판에 경화된 상기 감광제를 박리시켜 제거하는 감광제 박리공정을 포함하여 이루어진 플렉서블 기판의 제조방법에 있어 서, 상기 필름기판 이송 및 노광공정은, 프레임상에 필름기판이 공급되는 필름기판 공급단계와, 상기 필름기판을 흡착하여 고정시키고, 상기 필름기판에 자외선을 조사하여 패턴을 형성시키는 필름기판 노광단계와, 한 쌍의 그립퍼로 상기 필름기판의 양측부를 잡아 상기 필름기판이 공급되는 방향으로 일정한 피치씩 왕복 이동시키는 필름기판 이송단계를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 필름기판 이송기구, 이를 구비한 노광장치, 그리고 필름기판 이송 및 노광방법, 플렉서블 기판의 제조방법은, 종래의 롤러 이송방식과 달리 그립퍼 및 리니어모터에 의한 간단한 구조를 통하여 신속하고 정확하게 필름기판을 이송할 수 있어 정밀한 노광의 실시가 가능하다.
또한, 제1 가이드바 및 제2 가이드바에 의해 필름기판의 이송시 필름기판의 사행 및 편향을 방지할 수 있고, 필름기판의 정렬을 위해 따로 필름기판에 얼라인홀을 천공할 필요가 없다.
또한, 제2 가이드바에 제2 흡착홀을 형성하여 그립퍼에 의한 필름기판의 이송시 필름기판이 상하방향으로 구부러지지 않도록 필름기판의 장력을 유지할 수 있다.
이하에서는 첨부된 도면을 참조로 본 발명에 따른 필름기판 이송기구 및 이를 구비한 노광장치의 바람직한 실시예를 상세히 설명한다.
도 1은 본 발명에 따른 필름기판 이송기구의 일 실시예를 도시한 사시도이 고, 도 2는 도 1의 실시예의 A-A선에서 바라본 단면도이며, 도 3은 도 1의 실시예의 평면도이고, 도 4는 본 발명에 따른 필름기판 이송기구를 구비한 노광장치의 일 실시예를 도시한 정면도이다.
본 발명의 필름기판 이송기구(30)는, 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이 필름기판(10)이 공급되는 프레임(100), 제1 흡착홀(250)이 형성된 흡착플레이트(200), 그립퍼(300) 및 리니어모터(400)를 포함하여 이루어진다. 또한 서브프레임(500), 지지롤러(550), 에어블로어(600), 제1 가이드바(700) 및 제2 가이드바(750)를 포함할 수 있다.
프레임(100)에는 후술할 각각의 구성요소가 결합되어 지지되고, 광학기구(20)에 의해 패턴이 형성되도록 필름기판(10)이 공급된다. 필름기판(10)은 도 5에 도시된 얼라인홀(12)이 천공되어 있는지 여부에 관계없이 본 발명의 필름기판 이송기구(30)에 사용될 수 있다.
흡착플레이트(200)는 도 1 및 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 프레임(100)상에 설치되어 상기 필름기판(10)의 하면을 진공으로 흡착할 수 있도록 제1 흡착홀(250)이 형성된다. 흡착플레이트(200)에 형성된 제1 흡착홀(250)이 공급된 필름기판(10)을 진공으로 흡착하면, 필름기판(10)은 흡착플레이트(200)에 고정된다. 흡착플레이트(200)에 흡착되어 고정된 필름기판(10)에 도 4에 도시된 일반적인 광학기구(20)를 이용하여 패턴을 형성하게 되는 것이다. 광학기구(20)에 의해 패턴이 형성되면, 필름기판(10)의 다음 영역에 노광을 실시해야 하므로 후술할 그립 퍼(300) 및 리니어모터(400)에 의해 필름기판(10)이 이송되는데, 제1 흡착홀(250)은 필름기판(10)이 이송중일 때는 필름기판(10)을 흡착하지 않는다. 한편, 진공 흡착 방식의 흡착플레이트(200)에 대해서는 종래의 기술로 구현 가능하므로 그에 대한 상세한 설명은 생략한다.
그립퍼(300)는 한 쌍이 구비되어 상기 필름기판(10)의 양측부를 잡을 수 있다. 또한, 리니어모터(400)는 상기 한 쌍의 그립퍼(300)를 상기 필름기판(10)이 공급되는 방향으로 일정한 피치씩 왕복 이동시킨다. 즉, 도 1에 도시된 바와 같이, 그립퍼(300)가 상기 필름기판(10)의 양측부를 잡으면 리니어모터(400)가 그립퍼(300)를 필름기판(10)이 공급되는 방향을 따라 이동시켜 상기 필름기판(10)이 이송되는 것이다. 리니어모터(400)가 그립퍼(300)를 일정한 피치씩 이동시키면 그립퍼(300)에 물린 필름기판(10) 역시 일정한 피치씩 이송된다. 일정한 피치라 함은 필름기판(10)에 패턴이 형성될 노광영역 만큼의 길이를 말한다. 따라서, 리니어모터(400)의 작동거리 역시 상기 필름기판(10)의 노광영역 만큼의 길이가 확보되어야 한다. 또한, 그립퍼(300)가 일정한 피치만큼 상기 필름기판(10)을 잡고 이송하면, 그립퍼(300)는 필름기판(10)의 양측부를 물고 있던 것을 놓는다. 그 다음으로 리니어모터(400)가 작동하여 그립퍼(300)를 원래의 상태로 복귀시킨다. 즉, 리니어모터(400)가 그립퍼(300)를 일정한 피치씩 왕복 이동시키게 되는 것이다.
서브프레임(500)은 상기 필름기판(10)의 길이방향을 따라 상기 프레임(100)의 양단에 연장되어 설치된다. 또한, 지지롤러(550)는 복수가 구비되어 상기 서브프레임(500)에 회전가능하게 설치되고, 상기 필름기판(10)의 하면을 지지한다. 즉, 서브프레임(500)은 지지롤러(550)를 지지하기 위하여 설치되고, 지지롤러(550)가 필름기판(10)을 지지한다. 공급 또는 이송되는 필름기판(10)의 하면을 지지롤러(550)가 지지함으로써, 흡착플레이트(200)에 필름기판(10)이 용이하게 안내되어 고정될 수 있다.
지지롤러(550)에 의해 필름기판(10)이 지지되어 안내될 때, 필름기판(10)의 하면이 상기 지지롤러(550)에 밀착되면 필름기판(10)에 흠집이 생겨 불량이 발생할 여지가 있으므로 최대한 지지롤러(550)와 필름기판(10)이 접촉되지 않도록 하기 위하여 후술할 에어블로어(600)를 설치한다.
에어블로어(600)는 상기 복수의 지지롤러(550)의 하부에 설치되고, 상방을 향해 공기를 분사하여 이송되는 상기 필름기판(10)을 상기 복수의 지지롤러(550)로부터 부양시키는 에어홀(650)이 형성된다. 즉, 에어블로어(600)에 형성된 에어홀(650)이 공기를 상방으로 분사하면 지지롤러(550)를 따라 이송되는 필름기판(10)의 하면을 공기가 밀게 되고, 필름기판(10)은 분사된 공기에 의해 지지롤러(550)로부터 일정거리 부양하게 되는 것이다.
제1 가이드바(700)는 한 쌍이 구비되어 상기 프레임(100)상의 양측부에 설치되고, 상기 필름기판(10)의 폭만큼 서로 이격되어 필름기판(10)이 폭방향으로 흔들리지 않도록 지지한다. 제1 가이드바(700) 간의 이격된 거리는 필름기판(10)의 폭길이와 같고, 필름기판(10)의 양단이 제1 가이드바(700)에 의해 지지되어 이송됨으로써 폭방향으로 필름기판(10)이 흔들리지 않게 되는 것이다. 그에 따라, 필름기판(10)이 사행 또는 편향되지 않고 정확하게 이송될 수 있다.
제2 가이드바(750)는 상기 한 쌍의 제1 가이드바(700) 각각에 서로 마주보도록 한 쌍이 설치되고, 상기 필름기판(10) 양측부의 상방에 위치하여 상기 필름기판(10)이 상하방향으로 흔들리지 않도록 지지한다. 즉, 제2 가이드바(750)는 제1 가이드바(700)에 의해 지지되어 이송되는 필름기판(10)의 양측부 위에 서로 마주보도록 위치되고, 필름기판(10) 양측부의 상면에 접하여 제1 가이드바(700)에 설치됨으로써 상기 필름기판(10)이 상하방향으로 흔들리지 않도록 지지하는 것이다. 또한, 제2 가이드바(750)는 상기 필름기판(10)의 양측단부를 진공으로 흡착할 수 있도록 필름기판(10)과 마주보는 면에 제2 흡착홀(755)이 형성된다. 제2 흡착홀(755)은 도 2에 도시된 바와 같이, 필름기판(10)과 마주보는 면인 제2 가이드바(750)의 하면에 형성되는 것이다. 그립퍼(300) 및 리니어모터(400)에 의해 필름기판(10)이 이송될 때, 제2 흡착홀이 필름기판(10) 상면의 양측부를 진공으로 흡착하여 필름기판(10)의 장력을 유지하게 되는 것이다. 그에 따라, 필름기판(10)의 이송시 필름기판(10)이 상하방향으로 구부러지지 않고 곧게 펴져 이송될 수 있다.
한편, 도 4에 도시된 바와 같이 본 발명의 필름기판 이송기구를 구비한 노광장치는 필름기판(10)에 패턴을 형성하는 광학기구(20) 및 필름기판(10)이 공급되는 필름기판 이송기구(30)를 포함하여 이루어진다.
광학기구(20)는 자외선을 방출하는 광원(22) 및 상기 광원(22)에서 방출된 자외선을 일방향으로 조사하는 집광미러(24)가 구비되어 상기 광원(22)에서 방출된 자외선이 포토마스크를 지나 필름기판(20)에 조사됨으로써 패턴이 형성되도록 한 다. 광학기구(20)에 의한 패턴 형성 기술은 종래의 기술로 구현 가능하므로 그에 대한 상세한 설명은 생략하되, 본 발명은 필름기판 이송기구(30)의 구성에 특징이 있으므로 어떠한 광학기구(20)를 사용하든지 상관없이 본 발명의 필름기판 이송기구(30)를 포함하는 노광장치는 본 발명의 권리범위에 속하게 될 것이다.
또한, 필름기판 이송기구(30)는 상기에서 설명한 바와 동일하므로 그에 대한 상세한 설명은 생략한다.
이하에서는 도 5 및 도 6을 참조하여 본 발명에 따른 필름기판 이송 및 노광방법의 바람직한 실시예를 설명하되, 중복되는 설명은 생략한다.
필름기판 공급단계(S101)는 프레임상에 필름기판이 공급된다. 상기 필름기판은 감광제가 도포되어 있다.
필름기판 노광단계(S201)는 상기 필름기판을 흡착하여 고정시키고, 상기 필름기판에 자외선을 조사하여 패턴을 형성시킨다.
필름기판 이송단계(S301)는 한 쌍의 그립퍼로 상기 필름기판의 양측부를 잡아 상기 필름기판이 공급되는 방향으로 일정한 피치씩 왕복 이동시킨다.
상기 필름기판 공급단계(S101), 노광단계(S201) 및 이송단계(S301)는 반복적으로 수행되어 노광영역만큼 계속하여 공급, 노광, 이송이 이루어진다.
필름기판 안내단계(S401)는 상기 필름기판이 상기 프레임상에 공급 또는 이송될 경우 상기 필름기판의 하면을 복수의 지지롤러로 지지하여 안내한다. 또한, 필름기판 부양단계(S501)는 상기 필름기판이 상기 복수의 지지롤러에 지지되어 안 내될 경우 상기 필름기판의 하면에 상방을 향해 공기를 분사하여 상기 필름기판을 상기 복수의 지지롤러로부터 부양시킨다. 도 6에서는 상기 필름기판 안내단계(S401) 및 필름기판 부양단계(S501)가 필름기판 공급단계(S101) 이후에 수행되도록 도시되어 있으나, 필름기판 이송단계(S301) 이후에도 수행될 수 있다. 또한, 상기 필름기판 안내단계(S401) 및 필름기판 부양단계(S501)은 순차로 또는 함께 수행될 수 있으며, 필름기판 부양단계(S501)가 필름기판 안내단계(S401)보다 먼저 수행되어도 무방하다.
장력 유지단계(S601)는 상기 필름기판이 상기 프레임상에 이송될 경우 상기 필름기판의 양측부를 진공으로 흡착하여 상기 필름기판의 장력을 유지시킨다. 도 6에서는 필름기판 이송단계(S301) 이후에 상기 장력 유지단계(S601)가 수행되도록 도시되어 있으나, 필름기판 이송단계(S301)와 함께 장력 유지단계(S601)가 수행될 수 있고, 장력 유지단계(S601) 이후에 필름기판 이송단계(S301)가 수행되어도 무방하다.
상기 각각의 필름기판 공급단계(S101) 내지 장력 유지단계(S601)에 대해서는 상기 필름기판 이송기구 및 이를 구비한 노광장치에서 설명하였는바 그 상세한 설명은 생략한다.
이하에서는 도 7을 참조하여 본 발명에 따른 플렉서블 기판의 제조방법의 바람직한 실시예를 상세히 설명한다.
기판의 제조방법으로는 에칭법과 도금법이 사용되고 있는데, 특히 에칭법은 양산성이 우수하여 널리 사용되고 있으며, 고분자 수지의 절연성 소재에 도체인 동판을 부착하고, 동판 중에 불필요한 부분을 부식액으로 용해 제거하여 필요한 패턴만을 남겨 기판을 제조하는 방법이다.
이러한 기판 제조방법 중 가요성이 있는 필름기판에 패턴을 형성하는 플렉서블 기판의 제조방법은, 필름기판에 동판을 부착시켜 상기 동판을 세척하는 동판부착 및 세척공정(S11)과, 상기 동판에 감광제를 코팅시켜 상기 감광제를 건조시키는 감광제 코팅 및 건조공정(S21)과, 상기 감광제에 패턴이 형성된 회로도필름을 부착시키는 회로도필름 부착공정(S31)과, 상기 회로도필름이 부착된 상기 필름기판을 노광영역으로 이송하고 상기 필름기판에 자외선을 조사하여 노광하는 필름기판 이송 및 노광공정(S41)과, 상기 감광제로부터 회로도필름을 분리하여 자외선에 의해 경화된 상기 감광제 이외의 부분을 현상시켜 제거하고 동판을 부식시키는 필름기판 현상 및 부식공정(S51)과, 상기 동판에 경화된 상기 감광제를 박리시켜 제거하는 감광제 박리공정(S61)을 포함하여 이루어진다.
상기 필름기판 이송 및 노광공정(S41)은, 프레임상에 필름기판이 공급되는 필름기판 공급단계(S101)와, 상기 필름기판을 흡착하여 고정시키고, 상기 필름기판에 자외선을 조사하여 패턴을 형성시키는 필름기판 노광단계(S201)와, 한 쌍의 그립퍼로 상기 필름기판의 양측부를 잡아 상기 필름기판이 공급되는 방향으로 일정한 피치씩 왕복 이동시키는 필름기판 이송단계(S301)을 더 포함하여 이루어질 수 있다. 이를 통하여 플렉서블 기판의 제조시 신속하고 정확하게 필름기판을 이송하여 정밀한 노광을 실시할 수 있다.
상기의 일반적인 플렉서블 기판의 제조방법은 종래의 기술로 구현가능하고, 필름기판 이송 및 노광공정 역시 중복되는 설명이므로 그 상세한 설명은 생략한다.
앞에서 설명되고, 도면에 도시된 본 발명의 실시예는, 본 발명의 기술적 사상을 한정하는 것으로 해석되어서는 안 된다. 본 발명의 보호범위는 청구범위에 기재된 사항에 의하여만 제한되고, 본 발명의 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 기술적 사상을 다양한 형태로 개량 변경하는 것이 가능하다. 따라서 이러한 개량 및 변경은 통상의 지식을 가진 자에게 자명한 것인 한 본 발명의 보호범위에 속하게 될 것이다.
도 1은 본 발명에 따른 필름기판 이송기구의 일 실시예를 도시한 사시도이고,
도 2는 도 1의 실시예의 A-A선에서 바라본 단면도이며,
도 3은 도 1의 실시예의 평면도이고,
도 4는 본 발명에 따른 필름기판 이송기구를 구비한 노광장치의 일 실시예를 도시한 정면도이며,
도 5는 본 발명에 따른 필름기판 이송 및 노광방법의 일 실시예를 도시한 흐름도이고,
도 6은 본 발명에 따른 필름기판 이송 및 노광방법의 다른 실시예를 도시한 흐름도이며,
도 7은 본 발명에 따른 플렉서블 기판의 제조방법의 일 실시예를 도시한 흐름도이고,
도 8은 일반적인 필름기판을 도시한 평면도이며,
도 9는 종래의 필름기판 이송기구를 구비한 노광장치의 정면도이고,
도 10은 도 9의 필름기판 이송기구를 도시한 평면도이며,
도 11은 도 9의 필름기판 이송기구를 도시한 측면도이다.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
10 : 필름기판
20 : 광학기구 22 : 광원
24 : 집광미러
30 : 필름기판 이송기구
100 : 프레임
200 : 흡착플레이트 250 : 제1 흡착홀
300 : 그립퍼
400 : 리니어모터
500 : 서브프레임 550 : 지지롤러
600 : 에어블로어 650 : 에어홀
700 : 제1 가이드바 750 : 제2 가이드바
755 : 제 2흡착홀

Claims (12)

  1. 필름기판이 공급되는 프레임과,
    상기 프레임상에 설치되어 상기 필름기판의 하면을 진공으로 흡착할 수 있도록 제1 흡착홀이 형성된 흡착플레이트와,
    상기 필름기판의 양측부를 잡을 수 있는 한 쌍의 그립퍼와,
    상기 한 쌍의 그립퍼를 상기 필름기판이 공급되는 방향으로 일정한 피치씩 왕복 이동시키는 리니어모터를 포함하여 이루어진 필름기판 이송기구.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 필름기판의 길이방향을 따라 상기 프레임의 양단에 연장되어 설치된 서브프레임과,
    상기 서브프레임에 회전가능하게 설치되어 상기 필름기판의 하면을 지지하는 복수의 지지롤러를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 필름기판 이송기구.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 복수의 지지롤러의 하부에 설치되고, 상방을 향해 공기를 분사하여 이송되는 상기 필름기판을 상기 복수의 지지롤러로부터 부양시키는 에어홀이 형성된 에어블로어를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 필름기판 이송기구.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 프레임상의 양측부에 설치되고, 상기 필름기판의 폭만큼 이격되어 상기 필름기판이 폭방향으로 흔들리지 않도록 지지하는 한 쌍의 제1 가이드바를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 필름기판 이송기구.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 한 쌍의 제1 가이드바에 서로 마주보도록 각각 설치되고, 상기 필름기판의 양측부의 상방에 위치하여 상기 필름기판이 상하방향으로 흔들리지 않도록 지지하는 한 쌍의 제2 가이드바를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 필름기판 이송기구.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 한 쌍의 제2 가이드바는, 상기 필름기판의 양측부를 진공으로 흡착할 수 있도록 상기 필름기판과 마주보는 면에 제2 흡착홀이 형성된 것을 특징으로 하는 필름기판 이송기구.
  7. 자외선을 방출하는 광원 및 상기 광원에서 방출된 자외선을 일방향으로 조사하는 집광미러가 구비되어 상기 광원에서 방출된 자외선이 포토마스크를 지나 필름기판에 조사됨으로써 패턴이 형성되도록 하는 광학기구와,
    상기 광학기구에 의해 조사되는 자외선에 상기 필름기판이 노출되도록 필름 기판을 이송하는 필름기판 이송기구를 포함하고,
    상기 필름기판 이송기구는,
    필름기판이 공급되는 프레임과,
    상기 프레임상에 설치되어 상기 필름기판의 하면을 진공으로 흡착할 수 있도록 제1 흡착홀이 형성된 흡착플레이트와,
    상기 필름기판의 양측부를 잡을 수 있는 한 쌍의 그립퍼와,
    상기 한 쌍의 그립퍼를 상기 필름기판이 공급되는 방향으로 일정한 피치씩 이동시키는 리니어모터를 포함하는 것을 특징으로 하는 노광장치.
  8. 프레임상에 필름기판이 공급되는 필름기판 공급단계와,
    상기 필름기판을 흡착하여 고정시키고, 상기 필름기판에 자외선을 조사하여 패턴을 형성시키는 필름기판 노광단계와,
    한 쌍의 그립퍼로 상기 필름기판의 양측부를 잡아 상기 필름기판이 공급되는 방향으로 일정한 피치씩 왕복 이동시키는 필름기판 이송단계를 포함하여 이루어진 필름기판 이송 및 노광방법.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 필름기판이 상기 프레임상에 공급 또는 이송될 경우 상기 필름기판의 하면을 복수의 지지롤러로 지지하여 안내하는 필름기판 안내단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 필름기판 이송 및 노광방법.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 필름기판이 상기 복수의 지지롤러에 지지되어 안내될 경우 상기 필름기판의 하면에 상방을 향해 공기를 분사하여 상기 필름기판을 상기 복수의 지지롤러로부터 부양시키는 필름기판 부양단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 필름기판 이송 및 노광방법.
  11. 제8항에 있어서,
    상기 필름기판이 상기 프레임상에 이송될 경우 상기 필름기판의 양측부를 진공으로 흡착하여 상기 필름기판의 장력을 유지시키는 장력 유지단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 필름기판 이송 및 노광방법.
  12. 필름기판에 동판을 부착시켜 상기 동판을 세척하는 동판부착 및 세척공정과, 상기 동판에 감광제를 코팅시켜 상기 감광제를 건조시키는 감광제 코팅 및 건조공정과, 상기 감광제에 패턴이 형성된 회로도필름을 부착시키는 회로도필름 부착공정과, 상기 회로도필름이 부착된 상기 필름기판을 노광영역으로 이송하고 상기 필름기판에 자외선을 조사하여 노광하는 필름기판 이송 및 노광공정과, 상기 감광제로부터 회로도필름을 분리하여 자외선에 의해 경화된 상기 감광제 이외의 부분을 현상시켜 제거하고 동판을 부식시키는 필름기판 현상 및 부식공정과, 상기 동판에 경화된 상기 감광제를 박리시켜 제거하는 감광제 박리공정을 포함하여 이루어진 플렉 서블 기판의 제조방법에 있어서,
    상기 필름기판 이송 및 노광공정은,
    프레임상에 필름기판이 공급되는 필름기판 공급단계와,
    상기 필름기판을 흡착하여 고정시키고, 상기 필름기판에 자외선을 조사하여 패턴을 형성시키는 필름기판 노광단계와,
    한 쌍의 그립퍼로 상기 필름기판의 양측부를 잡아 상기 필름기판이 공급되는 방향으로 일정한 피치씩 왕복 이동시키는 필름기판 이송단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 플렉서블 기판의 제조방법.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR20150083464A (ko) * 2014-01-09 2015-07-20 삼성디스플레이 주식회사 노광 장치 및 이를 이용한 노광 방법
KR20150096536A (ko) * 2014-02-13 2015-08-25 삼성디스플레이 주식회사 노광 장치 및 이를 이용한 노광 방법

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