KR20090013819A - Lips 장치의 침지 프로브 - Google Patents

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KR20090013819A
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KR1020087029708A
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요한 그루버
막스 달링거
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인시텍 레이저 테크놀로지스 게엠베하
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Abstract

본 발명은 액체 또는 금속 용탕과 같은 자유 유동성 고체물질 내에서 레이저 유도 플라즈마 분광법을 수행하기 위한 장치를 위한 침지 프로브(1)로서, 이 침지 프로브(1)의 종축선(X)을 따라 그 하단부(2)로부터 연장하는 관부재(4) 및 물질이 유입하기 위한 개구를 구비하는 침지 프로브(1)에 관한 것이다. 본 발명에 따르면 용탕의 표면에 대한 침지 프로브의 경사각에 무관하게 용탕의 특히 화학조성을 신뢰성 있게 측정할 수 있도록 하기 위해 상기 관부재(4)는 그 하단부(2)가 실질적으로 폐쇄된 상태 또는 폐쇄될 수 있는 상태로 구현되고, 물질이 관부재 내에 종축선(X)에 대해 어떤 각도(α)로 지향되는 자유 유동성 제트류(12)로서 도입되는 측면 개구(5)를 구비한다.
레이저 유도 플라즈마 분광법(laser-induced plasma spectroscopy), 침지 프로브(immersion probe), 금속 용탕(metallic melt), 화학조성

Description

LIPS 장치의 침지 프로브{Immersion probe for LIPS Apparatuses}
본 발명은 액체 또는 자유 유동성 고체물질(예, 금속 용탕) 내에서 레이저 유도 플라즈마 분광법을 수행하기 위한 장치를 위한 침지 프로브로서, 이 침지 프로브의 종축선을 중심으로 그 하단부로부터 연장하는 관부재 및 물질을 유입시키기 위한 개구를 구비하는 침지 프로브에 관한 것이다.
더욱, 본 발명은 액체 또는 자유 유동성 고체물질(예, 금속 용탕)의 물리적 성질 및/또는 화학적 성질을 측정하기 위한 장치, 특히 레이저 유도 플라즈마 분광법을 수행하기 위한 장치로서, 침지 프로브의 종축선을 중심으로 그 하단부로부터 연장하는 관부재 및 물질을 유입시키기 위한 개구를 구비하는 침지 프로브 및 침지 프로브 내에 유입되는 물질의 성질을 분석할 수 있는 이 침지 프로브에 연결되는 분석장치를 포함하는 장치에 관한 것이다.
마지막으로, 본 발명은 액체 또는 자유 유동성 고체물질(예, 금속 용탕)의 물리적 성질 및/또는 화학적 성질을 측정하기 위한 장치, 특히 레이저 유도 플라즈마 분광법을 수행하기 위한 장치에 관한 것으로서, 관부재 및 개구를 구비하는 침지 프로브가 물질 내에 삽입되고, 물질이 그 침지 프로브 내에 유입될 수 있고, 유입되는 물질의 성질이 분석된다.
액체 또는 자유 유동성 고체물질의 화학적 조성을 측정 또는 감시하는 것은 현대의 많은 화학 공정에서 필수적인 것이고, 가장 중요한 품질 제어 조치 중의 하나이다. 과거에는 최종 샘플을 수작업을 통해 채취하고 외부 실험실에서 분석하여으나, 최근에는 측정 결과를 더욱 신속하게 얻을 수 있고, 그에 따라 필요에 따라 공정에 더욱 신속하게 관여하여 조절할 수 있도록 하기 위해 현장의 물질의 위치에서 직접 화학적 조성을 측정하는 추세이다.
레이저 유도 플라즈마 분광법(Laser-induced plasma spectroscopy; LIPS)은 고체 물질 또는 액체 물질의 화학조성을 측정하기 위한 매우 유효하고 따라서 매력적인 방법이다. 이 방법에서, 플라즈마는 예를 들면 고에너지 레이저 비임을 이용한 충돌에 의해 시험될 물질의 표면 상에서 발화된다. 이 플라즈마에 의해 방출되는 전자기파는 물질의 표면의 조성의 특성을 나타낸다.
방출된 전자기파의 스펙트럼 분석에 기초하여 물질의 화학조성이 매우 정확하게 그리고 단시간 내에 근본적으로 측정될 수 있다.
레이저 유도 플라즈마 분광법의 유효성 및 단시간 내에 화학조성을 측정할 수 있는 가능성에 기초하여 이와 같은 형식의 분광법을 용융 금속 공정에 이용하려는 시도가 있다. 용탕의 표면 상에는 이물질(예, 강 용탕의 슬래그 또는 알루미늄 용탕의 드로스)이 덮여있으므로 용탕 내에 삽입될 수 있는 관형 침지 프로브를 가지는 LIPS 장치는 이 목적을 위해 사용된다.
이들 침지 프로브는 과압이 발생될 수 있는 하단부 개방 관을 필수적으로 포함한다. 과압의 발생시키기 위해, 관의 상단부는 폐쇄되고, 기체공급장치가 설치된 다. 이 상단부에는 플라즈마를 발화시킴과 동시에 플라즈마를 유지할 수 있는 레이저광을 도입할 수 있는 윈도우가 구비되어 있다. 플라즈마에 의해 방출되는 전자기파도 이 윈도우를 통해 방출된 후, 도광장치(광도파로) 및 그 후 분광계 또는 검파기에 공급될 수 있다. 또, 침지 프로브 내 또는 관 내에는 물질의 표면 상에 플라즈마 생성 레이저 비임을 집속하고 플라즈마에 의해 방출된 전자기파를 집속하기 위해 통상 집속장치가 설치된다.
종래기술에 따르면, 용탕 내에 침지 프로브를 이용하는 플라즈마의 점화 및 그 방출되는 전자기파의 분석을 위한 두 가지 방법이 존재한다. 제1의 방법에서는 침지 프로브가 도입된 영역에서 용탕의 액위가 대략 침지 프로브의 하단부 개구의 영역의 정압에 대해 가압되도록 침지 프로브의 관부재를 통해 고압의 불활성 기체를 취입된다. 플라즈마는 용탕 표면 상에서 발화되고, 따라서 국부적으로 조절되고, 방출된 전자기파는 침지 프로브의 관부재에 통과된 후 광학적 도파관에 의해 분석장치(특히, 분광계)에 공급됨으로써 그 플라즈마에 의해 방출되는 전자기파가 분석된다. 종래기술에 따른 제2의 방법에서는 침지 프로브의 관부재에 마찬가지로 압력이 가해진다. 그러나,이 압력은 저압으로서 용탕의 액위가 침지 프로브 또는 그 관부재 내에 위치되는 압력이 선택된다. 침지 프로브 내의 용탕의 액위가 조절된 후, 플라즈마는 침지 프로브 내에 위치된 용탕 상에서 발화되고, 그 플라즈마에 의해 방출된 전자기파가 분석된다.
종래기술에 따른 침지 프로브는 다수의 단점을 가진다. 예를 들면, 불활성 기체를 사용함에도 측정전의 용탕의 액위를 안정 높이로 조절하는데 장시간이 필요 하므로 용탕 표면에 측정오류의 원인이 될 수 있는 산화물이 없다는 것이 항상 보장될 수 없다.
공지의 침지 프로브의 또 하나의 심각한 단점은 측정기간 중 용탕의 액위 또는 플라즈마가 발화되는 용탕 표면의 액위를 일정한 높이로 보장하는 것이 극히 곤란하다는 것이다. 그러나, 용탕의 액위가 변화되면, 플라즈마는 이 플라즈마에 의해 방출되는 전자기파를 포집하여 궁극적으로 분석장치에 공급하는 렌즈의 초점 내에 더 이상 존재하지 않게 된다. 그 결과 화학조성의 측정시 오류의 근원이 될 수 있다. 통상 레이저광도 동일 렌즈를 통해 용탕 표면 상에 집속되므로 용탕 액위가 충분히 큰 높이로 변화되면 플라즈마는 더 이상 유지될 수 없다.
또 하나의 단점은 다른 용탕조와의 표면접촉 상태에 있는 용탕의 표면 상의 분석시 용탕 표면의 충돌을 배제할 수 없으므로 이것 역시 부정확한 측정 결과의 원인이 될 수 있다.
공지의 침지 프로브의 또 하나의 단점은 침지 프로브의 사용시 측정을 위해 용탕의 액위를 조절하기 위해 침지 프로브 내에서 과압을 발생시켜주어야 한다는 것에 기인된다. 그러나, 과압 하에서의 측정은 과학적으로 증명(Tjong Jie Lie 등, Spectrochimica Acta B 61 (2006), 104-112 페이지; Tariq Mahmood Naeem 등, Spectrochimica Acta B 58 (2003), 891-899 페이지)되는 바와 같이 낮은 신호 산출의 원인이 된다.
공지의 침지 프로브의 또 다른 심각한 단점은 특히 용탕이 침지 프로브의 내측에서 분석될 때 침지 프로브를 시험 대상의 물질 내에 정확하게 수직방향으로 삽 입해 주어야 한다는 것에 기인한다. 즉, 만일 침지 프로브가 경사방향에서 삽입되면 용탕의 표면은 침지 프로브의 종축선을 따라 안내되는 레이저 비임에 대해 경사를 이루게 되고, 레이저 비임에 의해 플라즈마가 발화되면 레이저 비임이 용탕 표면에 수직방향인 경우와 다른 측정 결과가 유발된다. 따라서, 이 경우의 측정 결과는 용탕 표면에 대한 침지 프로브의 경사각도에 매우 의존하고, 그 의존성은 교정이나 수정이 거의 불가능하다.
전술한 단점들은 종래기술에 따른 침지 프로브를 갖추고 있는 액체 또는 자유 유동성 고체물질의 물리적 성질 및/또는 화학적 성질을 측정하기 위한 장치에 일반적인 것일 수 있다. 마찬가지로, 대응되는 방법의 분석의 가능성, 유익한 측정치 또는 신뢰성이 제한된다.
이 종래기술에 기초하여, 본 발명의 목적은 서두에 제시된 유형의 침지 프로브로서, 종래기술의 단점들이 제거된 침지 프로브를 개시하는 것이다.
본 발명의 다른 목적은 서두에 제시된 유형의 장치로서, 종래기술에 관련된 침지 프로브의 단점들이 적어도 부분적으로 제거된 장치를 개시하는 것이다.
마지막으로, 본 발명의 목적은 서두에 제시된 유형의 방법으로서, 측정 대상의 물질의 표면에 대한 침지 프로브의 경사각에 의존하지 않고 측정 대상의 물질의 물리적 성질 및/또는 화학적 성질을 물질의 임의의 소망의 지점에서 일정한 프로브 간격에 의해 신뢰성이 있게 측정할 수 있는 방법을 개시하는 것이다.
서두에 언급된 유형의 침지 프로브의 종래기술의 단점들을 제거한다는 제1의 목적은 청구항 1에 따른 침지 프로브를 통해 달성된다. 본 발명에 따른 침지 프로브의 추가의 특징은 청구항 2 내지 청구항 20의 대상이다.
본 발명에 의해 달성되는 장점들은 특히 액체 물질 또는 자유 유동성 고체물질 내에 침지 프로브를 삽입하거나 도입할 때 물질이 침지 프로브의 종축선에 대해 일정각도로 유입되는 것으로부터 얻어진다. 이 종축선에 대한 유입방향이 측면개구를 통해서만 확립되므로 자유 제트류의 고속의 유입속도(초당 수 미터)는 중력에 무관하고, 침지 프로브를 수직으로 삽입했는지 또는 자유 유동성 고체물질의 표면이나 조의 표면에 대해 각을 이루고 삽입했는지에 무관하다. 따라서, 본 침지 프로브는 종래기술에 따른 공지의 해결책과 달리 강고하게 위치시킬 필요가 없고, 필요에 따라 특히 손으로 용탕 내에 도입할 수 있고 경사상태로 설치될 수 있다.
본 발명에 따른 침지 프로브의 다른 장점은 측정 중에 측면 개구를 통한 물질의 유속이 일정하게 주어진다는 것에 있다. 따라서, 특히 금속 용탕의 경우 순수한 산화물이 없는 또는 슬래그가 없는 용탕이 용탕조로부터 측정부로 항상 유도된다. 따라서, 슬래그나 드로스에 관련되는 문제들이 회피된다.
본 발명에 따른 침지 프로브의 또 하나의 장점은 개구가 침지 프로브의 일정 높이에 위치하는 것으로서, 이것에 의해 측정 중에 일정 높이에서의 제트류 형태의 물질의 도입이 보장된다. 따라서, 분석 대상의 물질 표면의 높이는 일정하고, 용탕의 액위 변화(예, 집속장치로부터의 플라즈마의 거리변화)에 기인되는 문제들은 배제된다.
본 발명에 따른 침지 프로브의 추가의 장점은 부압에서의 측정을 가능하게 한다는 것에 있다. 부압 하에서 레이저 유도 플라즈마 분광법을 수행하는 것은 높은 신호 수율이 얻어지고, 그 결과 신호/노이즈의 비율에 유리한 영향을 주고, 그 결과 측정의 질이나 분석의 질에 유리한 영향을 준다.
또, 본 발명에 따른 침지 프로브는 진입하는 제트류에 측정을 간섭하는 산화물 층이 없으므로 고온측정 또는 용탕의 온도측정을 수행하는데 매우 적합하다.
종축선에 대해 정렬되는 자유 유동하는 제트류로서 관부재 내에의 물질의 유입각은 넓은 각도범위 내에서 선택될 수 있으며, 예를 들면 45°- 135°의 범위로 선택될 수 있다. 측정 중의 형태조건을 매우 간단히 하기 위해, 개구의 각도를 대략 직각으로 구현하는 것이 유리하다.
또, 개구는 장방형의 단면을 구비하고, 그 단변이 종축선에 대해 평행하게 연장하는 것이 유리하다. 따라서, 사용시 물질의 면적형 유입(areal inflow)이 달성될 수 있고, 그 결과 측정면적이 확대됨과 동시에 플라즈마의 발화가 촉진된다.
본 발명에 따른 발화 프로브에서, 관부재는 원리적으로 임의의 소망하는 단면을 가지도록 구현하는 것이 가능하다. 그러나 침지 프로브의 생산성만을 위해서라면 관부재의 단면을 원형으로 구현하는 것이 바람직하다. 이 경우, 관부재의 측면개구 영역의 내면은 평평하게 구현되는 것이 더욱 바람직하다. 이 구조적인 조치를 통해, 물질의 평행 유입이 달성되고, 침지 프로브의 중심부를 향해 원추형 테이퍼를 이루는 제트류가 방지된다. 다시 말하면, 일정한 물질 유동이 제공되고, 분석될 표면의 모든 영역에서 비균질이 회피되고, 그 결과 고도의 정확한 분석결과가 얻어진다.
여러 가지 이유로 인해, 관부재 내에 부압 또는 진공을 생성하기 위한 수단이 제공되는 것이 매우 유리하다. 한편으로 부압에서 레이저 유도 플라즈마 분광법을 수행하는 것은 고 신호수율 면에서 바람직하다. 다른 한편, 용탕의 정압이 개구를 통해 물질을 가압하는데 불충분하거나 시험대상의 물질의 표면장력이 물질의 자동유입을 유발할 수 없을 정도로 큰 경우에는 부압을 가함으로써 침지 프로브 내에 물질을 강제 유입시키는 것이 필요할 수 있다. 이 것은 또 측정이 용탕조의 표면의 직하부에서 행해지고, 용탕에 의해 가해지는 정압이 측면개구 또는 측면간극을 통해 용탕을 가압하기에는 불충분한 경우 특히 필요할 수 있다. 또, 부압 상태에서 알루미늄 용탕은 차치하고 수소가 탈출한다. 이 수소는 침지 프로브 내에 위치되므로 알루미늄 용탕의 수소함유량은 침지 프로브 내의 기체조성의 분석을 통해 결론을 지을 수 있게 된다.
본 발명에 따른 침지 프로브의 특히 바람직한 변형례에서, 하단부 영역 내에 적어도 하나의 제2의 개구가 추가되고, 측면개구는 제2의 개구 및 침지 프로브의 상단부 사이에 위치한다. 따라서, 물질은 측정 중에 하단부 영역 내에서도 침지 프로브 내에 유입되지만 측정은 상단부에 근처의 자유 제트류 상에서 행해지므로 이 하단부 영역에서 유입되는 물질은 영향이 없다. 그러나 측정의 수행 후 침지 프로브 내에 수용된 전체 물질을 하단부 영역에 제공된 제2의 개구를 통해 배출시킬 수 있으므로 중요한 효과를 얻는다.
측정 중 물질의 하단부측 유입에 의해 발생되는 난류를 가능하면 방지하기 위해, 측면에 적어도 하나의 추가의 제2의 개구를 형성하는 것이 유리하다.
측정 후, 침지 프로브를 가능하면 신속하게 배출시켜주기 위해 제2의 개구의 단면적은 측면 개 구의 단면적에 비해 크게 형성할 수 있다.
하단부에 제2의 개구가 제공되어 있으면 측정 중에 침지 프로브는 그 하단부로부터 용탕이 연속적으로 충만되므로, 측면개구는 관부재의 높이의 1/2 이상의 높이에 위치하는 것이 유리하다. 이에 따라 침지 프로브 내의 용탕의 액위가 측면개구에 도달하기 전에 자유 제트류 형상의 물질 상에 방해를 주지 않고 확실한 측정의 수행 및 완료가 보장될 수 있다.
측정작업 후 침지 프로브의 신속한 배출에 관련하여, 관부재에 압력부여 수단이 제공되는 것이 바람직하다는 것이 추가로 입증되었다. 이 것은 하단부에 제공된 제2의 개구를 통해 침지 프로브 내에 수용된 물질을 신속하게 가압 배출시켜 다음의 측정 전에 침지 프로브를 비울 수 있다.
측정 후 침지 프로브의 배출 시간을 더욱 감축시키기 위해, 측면개구를 폐쇄시키기 위한 부품이 제공될 수 있다. 이 점에서, 적어도 하나의 추가의 제2의 개구를 폐쇄하기 위한 부품이 제공되는 것도 유리하다. 이 경우 측정 중에 물질의 하단부 유입이 억제될 수 있고, 그 결과 측면개구를 통해 제트류로서 유입되는 물질만이 침지 프로브 내에 수집될 수 있다. 따라서, 측정작업 후 침지 프로브 내에 존재하는 물질이 소량이 되고, 그 결과 배출이 필요한 물질의 양도 소량이 된다.
특히 유리한 변형례는 관부재 내에 다수의 개구들 중의 하나를 양자 택일적으로 폐쇄시킬 수 있는 부품이 제공되는 것을 특징으로 한다. 예를 들면, 측정 중 물질은 측면개구를 통해 유입될 수 있는데 비해 하단부를 통한 물질의 유입은 방지된다. 반대로, 측정 후 침지 프로브 내에 수집된 물질은 하단부 개구를 통해 취출(blowing out)되고, 이와 동시에 측면개구를 통한 물질의 추가 유입은 억제될 수 있다. 이에 관련하여, 상기 부품이 관부재 내의 부압 또는 과압의 발생에 의해 작동되고, 제2의 개구가 부압의 발생을 통해 폐쇄될 수 있으면 특히 유리하다. 이 변형례에서, 부압에서의 측정 및 과압에서의 취출의 전술한 장점과 측정 중 및 측정 후의 개개의 개구들이 폐쇄되는 것의 장점이 결합된다.
특히 매우 격렬히 작용할 수 있는 금속 용탕에 있어서, 안정한 측정조건 또는 일정한 측정조건을 보장하기 위해 침지 프로브의 관부재는 세라믹 특히 질화규소를 포함하는 것이 유리하다는 것이 입증되었다.
이에 대한 대안으로서, 관부재에 강을 포함시키고, 그 외면에 작업조건 하에서의 내구성을 증대시키기 위해 코팅 또는 표면마무리 물질을 가할 수 있다.
또는 관부재에 강을 포함시키고, 측면개구를 형성하는 세라믹을 관부재에 착탈가능하게 부착시키는 것도 유리하다. 이 변형례는 비용효율이 양호하고 내용연한이 긴 설계를 특징으로 한다. 이 목적을 달성하기 위해, 관부재의 덜 중요한 부분은 강으로 제조되고, 반면 보다 중요한 측면개구부분 내에는 내구성이 더 큰 세라믹 삽입체가 제공된다. 또 착탈가능한 삽입체를 부착하는 것은 마모된 경우 전체 침지 프로브를 교체할 필요없이 쉽게 교체시킬 수 있다는 장점을 제공한다.
각 개구들의 폐색을 가능한 방지하기 위해, 개구의 전방 또는 외측 개구의 전방에 각각 배치되는 필터를 침지 프로브에 제공할 수 있다.
또, 특히 관부재가 폐기처분이 가능한 요소로서 이용되고, 각 측정시마다 새로운 관부재가 사용되도록 된 경우 제거가능한 관부재가 바람직할 수 있다.
본 발명에 따른 침지 프로브에 의해 달성되는 이점은 액체 또는 고체 자유 유동성 물질(예, 금속 용탕)의 물리적 성질 및/또는 화학적 성질을 측정하기 위한, 특히 레이저 유도 플라즈마 분광법을 수행하기 위한 일반적 장치 내에 사용될 때 특히 효과적이다. 따라서, 이 추가 목표는 본 발명에 따른 침지 프로브를 포함하는 일반 장치에 의해 달성된다.
본 발명에 따른 장치에서 침지 프로브가 착탈가능하게 부착되는 것이 유리하다. 이것에 의해 예를 들면 일련의 공정 중의 상이한 지점에서의 시험을 위해 예를 들면 개개의 LIPS 장치에 필요에 따라 본 발명에 따른 다수의 침지 프로브를 결합하는 것이 가능해지고, 이것은 전체적으로 크게 실용적이고 비용의 감소로 이어진다.
결국 본 발명의 방법의 목적은 포괄적으로 물질이 관부재의 종축선에 대해 어떤 각도를 이룬 상태의 제트류로서 주입되고, 주입된 그 물질의 분석이 실시되는 것에 의해 달성된다.
본 발명에 따른 방법을 통해 달성되는 이점은 무엇보다도 관부재의 종축선에 대해 일정한 각을 구비하는 용탕의 표면 또는 자유 유동성 물질의 표면에 대한 침지 프로브의 경사각도에 무관하게 유동한다는 것에 의해 얻어진다. 이것이 다양한 경사각도에서도 일정한 측정배치가 항상 보장될 수 있는 이유이다. 유입되는 용탕에 산화물이 존재하지 않는 것 이외에도 레이저 유도 플라즈마 분광학의 또 하나의 이점은 집속장치와 생성된 플라즈마 사이의 간격이 일정하고, 그 결과 극히 정확한 측정결과 또는 분석결과가 얻어질 수 있다는 것에 의해 얻어진다. 이것은 플라즈마가 침지 프로브의 내측의 제트류의 표면 상에서 발화되고, 그 플라즈마에 의해 방출된 전자기파가 분석되는 점에서 극히 단순한 방식으로 수행될 수 있다.
광범위한 범위의 각도(예, 45°- 135°)가 선택될 수 있으나, 약 90°의 각도를 선택하는 것이 추천된다. 이 경우, 제트류가 항상 침지 프로브의 종축선에 수직한 침지 프로브 내에 유입되므로 극히 간단한 측정배치가 얻어진다.
물질, 특히 고 표면장력을 가지는 용탕의 유입을 촉진시키기 위해, 물질의 유입 중에 관부재 내에 부압을 가하는 것이 유리할 수 있다. 그 결과 LIPS를 위해 유리한 소망의 분위기, 특히 불활성 기체 분위기도 조절될 수 있다.
또, 물질의 유입 및 플라즈마에 의해 방출된 전자기파의 분석 후 부압을 가하여 관부재를 배출시키면 전체 관부재의 용적을 후속 측정을 위해 유입되는 물질을 수용하는 것에 이용될 수 있으므로 유리하다.
특히 침지된 상태에서 침지 프로브의 신속한 배출을 달성하기 위해, 관부재 내에 부합을 가함으로써 배출을 수행할 수 있다.
본 발명의 추가의 장점 및 효과는 이하이 실시예를 통해 개시된다.
이하, 본 발명에 따른 침지 프로브의 일부의 예시적인 실시예에 대해 더욱 상세히 설명한다.
도 1은 본 발명에 따른 침지 프로브이다;
도 1a는 도 1에 따른 침지 프로브의 측면 슬롯이다;
도 1b는 도 1에 따른 침지 프로브의 하단부이다;
도 2는 도 1의 II-II선을 따라 도시된 도 1에 따른 본 발명의 침지 프로브의 단면도이다;
도 3은 2개의 측면 개구를 구비하는 본 발명에 따른 침지 프로브의 관부재이다;
도 4는 도 3의 IV-IV선을 따라 도시된 도 3에 따른 본 발명의 침지 프로브의 단면도이다;
도 5는 2개의 측면 개구를 구비하는 본 발명에 따른 침지 프로브의 관부재이다;
도 6은 도 5의 VI-VI선을 따라 도시된 도 5에 따른 관부재의 단면도이다;
도 7은 본 발명에 따른 침지 프로브의 측면도이다;
도 8은 도 7의 VIII-VIII선을 따라 도시된 침지 프로브의 단면도이다;
도 9는 본 발명에 따른 침지 프로브의 측면도이다;
도 10은 도 9의 IX-IX선을 따라 도시된 침지 프로브의 단면도이다.
도 1은 더욱 상세히 본 발명에 따른 침지 프로브(1)를 도시한 것이다. 이 침지 프로브(1)는 원추형의 테이퍼 단부(2)를 구비한다. 이 단부는 동시에 관부재(4)의 단부를 형성한다. 관부재(4)는 예를 들면 세라믹 또는 강으로 구성될 수 있는 것으로서 내부가 비어있고, 측면에는 용탕과 같은 물질이 제트류 형태로 유입할 수 있는 개구(5) 또는 슬롯이 구비된다. 이 관부재(4)에는 추가의 관부재(9)는 접합되 고, 이 접합부에서 양 관부재(4, 9)는 클램프 링(10)에 의해 기밀상태로 상호 연결된다. 양 관부재는 로드 형상으로 구현된 침지 프로브(1)의 종축선(X)을 중심으로 동심으로 연장한다. 이 침지 프로브(1)의 상단부(3)는 전자기파의 투과를 허용하는 윈도우(8)에 의해 폐쇄되고, 이 윈도우의 인접부에는 예를 들면 LIPS 장치의 광학 도파관이 연결될 수 있는 단면부(7)가 구비되어 있다. 침지 프로브 내에 과압 또는 부압을 형성할 수 있도록 하기 위해, 침지 프로브는 기체입구 및 기체 출구(11)를 추가로 구비한다.
도 1a는 도 1에 따른 침지 프로브(1)의 개구(5)의 상세도이다. 이 개구(5) 또는 슬롯은 직사각형 모양의 단면으로 구현되었다. 이와 같은 유형의 단면은 종축선(X)에 실질적으로 수직한 방향으로 물질을 평평하게 유입시킨다는 장점을 가진다.
또한, 도 1b는 도 1에 따른 침지 프로브의 하단부(2)의 확대도이다. 원추형 테이퍼 단부(2)는 실질적으로 폐쇄되어 있고, 그 최하점에만 소형 치수의 개구(6)가 구비되어 있다. 측정 중에 유입된 물질은 측정 후 이 개구를 통해 배출된다. 개구(6)의 단면의 치수는 공지의 용탕을 위한 측정시간(예, 1분) 중에 소량의 용탕만이 유입되도록 또는 정압에 기인되어 가압될 수 있도록 선택되고, 개구(5)는 측정 중에 개방상태에 유지된다.
도 2는 도 1의 II-II선 단면도로서, 침지 프로브가 침지되는 용탕조(13)의 일부가 추가로 도시되어 있다.도 2로부터 알 수 있는 바와 같이, 용탕(13) 내에 침지 프로브(1)를 진입시키면 측면 개구가 용탕의 표면(14)의 하측에 위치할 때 주어 진 정압에 의해 물질 또는 용탕은 자유 유동성의 제트류(12)로서 침지 프로브(1) 내에 유입한다. 동시에, 용탕은 도 1b에 도시된 침지 프로브(1)의 하단부(2)의 제2의 개구를 통해서 유입된다. 그러나, 측정은 물질의 자유 유동성 제트류(12) 상에서 수행되므로 상기 제2의 개구를 통한 유입은 측정과 무관하다. 즉, 도 2에 도시된 바와 같이, 플라즈마는 광학 집속장치(16)에 의해 집속되는 레이저 비임(15)에 의해 자유 유동 제트류(12) 상에서 발화된다(또는 플라즈마는 스파크 방전을 통해 발화될 수도 있다). 용탕은 계속해서 유입되므로 물질의 제트류(12)에는 산화성 오염물이 실질적으로 존재하지 않고, 물질 제트류(12)를 위해 측정된 화학조성은 높이(H1)의 용탕조의 화학조성의 특성을 나타낸다. 더욱, 도 2로부터 측면 개구(5)는 관부재(4)의 상반부 내에 위치되어 있음을 알 수 있다. 따라서, 측정시 개구(6)를 통해 하방으로부터 유입되는 용탕을 위한 내부 용적이 충분한 크기로 확보될 수 있고, 그 결과 유입 용탕이 측면 개구(5)의 영역에 도달하지 않음으로써 물질 제트류(12)의 자유로운 유입을 방해하지 않게 된다.
도 3은 본 발명에 따른 침지 프로브의 관부재(4)의 상세도이다. 이 관부재(4)는 2개의 측면 개구(5, 17)를 구비한다. 여기서, 더 높은 위치의 개구(5)는 슬릿형태로 구현되어 있고, 물질의 평탄유입을 보장한다.
도 3에 도시된 관부재의 내측에는 부품(18)이 부착되어 있다. 이 부품은 부압 하에서 따라서 측정 조건 하에서 측면 개구(5)를 개방하고, 반면에 측면 개구(17)는 폐쇄된다.
본 발명에 따른 침지 프로브(1)의 이 변형례에서, 측정시 하단부(2)의 영역 에서의 용탕의 침투는 제한되고, 그 결과 자유 유동성 물질의 제트류(12)는 장시간 동안 확보될 수 있다. 이것에 의해 도 1에 따른 침지 프로브에 비해 더 긴 시간에 걸쳐 측정을 수행하는 것이 가능하고, 따라서, 신뢰성 및 정확성이 더욱 높은 분석 결과를 달성하는 것이 가능하다.
도 5 및 도 6은 도 3 및 4와 동일한 상황을 도시한 것으로서, 단지 여기서는 관부재에 부압 대신 과압이 가해진다. 이 경우, 측면 개구(5)는 상기 부품(18)에 의해 폐쇄되지만 측면 개구(17)는 해방 즉 개방된다. 이것은 개구(17)의 상측에 위치하는 임의의 용탕은 관부재(4)의 외부로 가압되어 배출되거나 개구(17)를 통해 제거된다는 것을 의미한다.
측면 개구를 폐쇄하기 위한 밸브기능을 구비하는 본 발명에 따른 침지 프로브(1)의 또 다른 변형례 및 추가의 제2의 측면 개구 또는 하단부 개구는 도 7 내지 도 10에 기초하여 설명된다. 도 7에 따른 정면도에 도시된 침지 프로브(1)는 도 8에 도시된 바와 같이 침지 프로브(1)의 중공부(19) 내에 부착된 광학부품 외에도 특히 집속장치(20) 및 보어(22)를 구비한 재킷(21)을 구비한다. 이 보어(22)는 측면 개구(5)에 연결된다. 도 8에 도시된 바와 같이, 침지 프로브(1)의 중공부(19) 내에 부압이 가해지면 관부재(4)의 하단부 개구는 플레이트(23)를 통해 폐쇄된다. 따라서, 용탕은 측면 개구(5)를 통해서만 침지 프로브(1) 내에 진입되고, 분석된다.
그러나, 도 9에 도시된 동일한 침지 프로브(1)에 과압이 가해지면, 이 플레이트(23)는 하방으로 가압되고, 침지 프로브 내에 측정시 포집된 임의의 물질은 가 압되어 측면 개구들을 통해 외부로 배출될 수 있다. 동시에, 과압은 개구(5)에도 가해지므로 보어(22)를 통한 용탕의 상승이 발생하지 않고, 개구(5)를 통한 침지 프로브 내로의 유입이 발생하지 않는다.
본 기술분야의 전문가는 도 1 내지 도 10에 도시된 발명에 따른 침지 프로브의 실시예 및 그 설명이 단순한 예시로서, 이것이 특허청구항의 보호범위를 제한하지 않는다는 것을 명백히 이해할 수 있을 것이다.

Claims (29)

  1. 액체 또는 금속 용탕과 같은 자유 유동성 고체물질 내에서 레이저 유도 플라즈마 분광법을 수행하기 위한 장치를 위한 침지 프로브(1)로서, 이 침지 프로브(1)의 종축선(X)을 따라 그 하단부(2)로부터 연장하는 관부재(4) 및 물질이 유입하기 위한 개구를 구비하는 침지 프로브(1)에 있어서, 상기 관부재(4)는 그 하단부(2)가 실질적으로 폐쇄되어 있거나 또는 폐쇄될 수 있도록 구현됨과 동시에 상기 물질이 상기 종축선(X)에 대해 어떤 각도(α)를 이루는 상태로 지향되는 자유 유동성 제트류(12)로서 상기 관부재 내에 유입될 수 있는 측면 개구(5)를 구비하는 것을 특징으로 하는 침지 프로브.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 각도(α)는 45°-135°, 특히 약 직각인 것을 특징으로 하는 침지 프로브.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 개구(5)는 직사각형 모양의 단면을 구비하고, 그 단면의 단측은 상기 종축선(X)에 평행하게 실시되는 것을 특징으로 하는 침지 프로브.
  4. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 관부재(4)는 원형 단면을 구비하도록 구현되는 것을 특징으로 하는 침지 프로브.
  5. 제 4 항에 있어서, 상기 관부재(4)는 상기 측면 개구(5)의 영역 내의 내측 상에서 평탄하게 구현되는 것을 특징으로 하는 침지 프로브.
  6. 제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 관부재(4) 내에 부압 또는 진공을 발생하기 위한 수단이 제공되는 것을 특징으로 하는 침지 프로브.
  7. 제 1 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 있어서, 적어도 하나의 추가의 제2의 개구(6)가 하단부(2)의 영역에 제공되고, 상기 측면 개구(5)는 상기 제2의 개구(6)와 상기 침지 프로브(1)의 상단부(3)의 사이에 위치되는 것을 특징으로 하는 침지 프로브.
  8. 제 7 항에 있어서, 상기 적어도 하나의 추가의 제2의 개구(6)는 측면에 형성되는 것을 특징으로 하는 침지 프로브.
  9. 제 7 항 또는 제 8 항에 있어서, 상기 제2의 개구(6)의 단면은 상기 측면 개구(5)의 단면보다 큰 것을 특징으로 하는 침지 프로브.
  10. 제 7 항 내지 제 9 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 측면 개구(5)는 상기 관부재(4)의 높이(H) 또는 그 보다 높은 높이의 1/2 부분에 위치되는 것을 특징으 로 하는 침지 프로브.
  11. 제 7 항 내지 제 10 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 관부재(4)에 압력을 가하기 위한 수단이 제공되는 것을 특징으로 하는 침지 프로브.
  12. 제 7 항 내지 제 11 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 측면 개구(5)를 폐쇄시키기 위한 부품이 제공되는 것을 특징으로 하는 침지 프로브.
  13. 제 7 항 내지 제 12 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 적어도 하나의 추가의 제2의 개구(6)를 폐쇄시키기 위한 부품이 제공되는 것을 특징으로 하는 침지 프로브.
  14. 제 7 항 내지 제 13 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 관부재(4) 내에 상기 개구(5, 6) 중의 하나를 교대로 폐쇄시킬 수 있는 부품이 제공되는 것을 특징으로 하는 침지 프로브.
  15. 제 14 항에 있어서, 상기 부품은 관부재(4) 내의 부압 또는 과압의 발생에 의해 작동될 수 있고, 상기 제2의 개구(6)는 부압의 형성을 통해 폐쇄될 수 있는 것을 특징으로 하는 침지 프로브.
  16. 제 1 항 내지 제 15 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 침지 프로브(1)의 관부재(4)는 세라믹 특히 질화규소를 포함하는 것을 특징으로 하는 침지 프로브.
  17. 제 1 항 내지 제 15 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 관부재(4)는 강을 포함하고, 코팅되거나 표면 물질을 구비하는 것을 특징으로 하는 침지 프로브.
  18. 제 1 항 내지 제 15 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 관부재(4)는 강을 포함하고, 상기 측면 개구(5)를 형성하는 세라믹 삽입체는 상기 관부재(4) 내에 착탈가능하게 부착되는 것을 특징으로 하는 침지 프로브.
  19. 제 1 항 내지 제 18 항 중 어느 한 항에 있어서, 필터가 개구(5)의 전방 또는 외측의 개구들(5, 6)에 각각 배치되는 것을 특징으로 하는 침지 프로브.
  20. 제 1 항 내지 제 19 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 관부재(4)는 제거될 수 있는 것을 특징으로 하는 침지 프로브.
  21. 액체 또는 금속 용탕과 같은 자유 유동성 고체물질의 물리적 성질 및/또는 화학적 성질을 측정하기 위한 장치, 특히 침지 프로브(1)의 종축선(X)을 따라 그 하단부(2)로부터 연장함과 동시에 물질의 유입을 위한 개구를 구비하는 관부재(4)를 구비하는 침지 프로브를 포함하는 레이저 유도 플라즈마 분광법을 수행하기 위 한 장치에 있어서, 상기 장치는 청구항 1 내지 청구항 20에 따른 침지 프로브(1)를 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 유도 플라즈마 분광법을 수행하기 위한 장치.
  22. 제 21 항에 있어서, 상기 침지 프로브(1)는 착탈가능하게 부착되는 것을 특징으로 하는 레이저 유도 플라즈마 분광법을 수행하기 위한 장치.
  23. 제 21 항 또는 제 22 항에 있어서, 상기 침지 프로브(1)의 하단부에 윈도우(7)가 설치되고, 이 윈도우를 통해 전자기파가 통과할 수 있는 것을 특징으로 하는 레이저 유도 플라즈마 분광법을 수행하기 위한 장치.
  24. 액체 또는 금속 용탕과 같은 자유 유동성 고체물질의 물리적 성질 및/또는 화학적 성질을 측정하기 위한 방법, 특히 개구를 갖춘 관부재(4)를 구비하는 침지 프로브(1)가 상기 물질 내에 삽입되고, 상기 물질의 유입이 허용되고, 상기 유입되는 물질의 성질이 분석되는 레이저 유도 플라즈마 분광법을 수행하기 위한 방법에 있어서, 상기 물질이 제트류로서 도입되고, 상기 관부재(4)의 종축선(X)에 대해 어떤 각도(α)를 이루는 상태로 지향되고, 그 결과 도입된 물질의 분석이 수행되는 것을 특징으로 하는 레이저 유도 플라즈마 분광법의 수행방법.
  25. 제 24 항에 있어서, 플라즈마는 상기 침지 프로브(1)의 내측의 제트류의 표면 상에서 발화되고, 상기 플라즈마에 의해 방출되는 전자기파가 분석되는 것을 특 징으로 하는 레이저 유도 플라즈마 분광법의 수행방법.
  26. 제 25 항에 있어서, 상기 각도(α)는 45°- 135°, 특히 약 90°인 것을 특징으로 하는 레이저 유도 플라즈마 분광법의 수행방법.
  27. 제 25 항 또는 제 26 항에 있어서, 물질의 유입 중에 관부재(4) 내에 부압이 가해지는 것을 특징으로 하는 레이저 유도 플라즈마 분광법의 수행방법.
  28. 제 25 항 내지 제 27 항 중 어느 한 항에 있어서, 물질의 유입 및 플라즈마에 의해 방출된 전자기파의 분석 후 상기 관부재(4)가 비워지는 것을 특징으로 하는 레이저 유도 플라즈마 분광법의 수행방법.
  29. 제 28 항에 있어서, 상기 관부재(4)의 비움은 상기 관부재(4)에 과압을 가하는 것에 의해 수행되는 것을 특징으로 하는 레이저 유도 플라즈마 분광법의 수행방법.
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Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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FR3021407B1 (fr) * 2014-05-23 2016-07-01 Commissariat Energie Atomique Dispositif d'analyse d'un metal en fusion oxydable par technique libs
US10690590B2 (en) * 2016-04-05 2020-06-23 Viavi Solutions Inc. Light pipe for spectroscopy
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FR3095861B1 (fr) * 2019-05-09 2021-06-04 Commissariat Energie Atomique Dispositif d’analyse d’un matériau liquide par technique de spectroscopie libs avec atomisation

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB8403976D0 (en) * 1984-02-15 1984-03-21 British Steel Corp Analysis of materials
US5077481A (en) * 1990-10-25 1991-12-31 The Perkin-Elmer Corporation Optical probe for measuring light transmission of liquid
US6909505B2 (en) * 2002-06-24 2005-06-21 National Research Council Of Canada Method and apparatus for molten material analysis by laser induced breakdown spectroscopy

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