KR20080105152A - 탄화규소질 다공체 및 그 제조 방법 - Google Patents

탄화규소질 다공체 및 그 제조 방법 Download PDF

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KR20080105152A
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carbide porous
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요시오 기쿠치
신지 가와사키
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니뽄 가이시 가부시키가이샤
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Abstract

골재인 탄화규소의 입자가, 금속 규소를 결합재로 하여 입자 상호간에 세공을 유지한 상태로 결합된 다공체로서, 금속 규소의 표면이 선택적으로 알루미나를 함유하는 상(고융점의 화합물)으로 피복되어 있는 것을 특징으로 한다.
이 다공체는 원재료인 탄화규소 및 금속 규소에, 금속 알루미늄 또는 금속 규소와 금속 알루미늄으로 이루어진 합금을 첨가 혼합하고, 불활성 가스 분위기 하 또는 감압 분위기 하에서 소성한 후, 산소 분위기 하에서 산화 및 소성함으로써 제조된다.

Description

탄화규소질 다공체 및 그 제조 방법{POROUS SILICON CARBIDE AND PROCESS FOR PRODUCING THE SAME}
본 발명은 자동차 배기 가스 정화용 필터나 촉매 담체 등에 사용되는 탄화규소질 다공체 및 그 제조 방법에 관한 것이다.
디젤엔진 배기 가스와 같은 함진(含塵) 유체 중에 포함되는 입자상 물질을 포집 제거하기 위한 필터 또는 배기 가스 내의 유해 물질을 정화하는 촉매 성분을 담지하기 위한 촉매 담체로서, 다공질의 허니컴 구조체가 널리 사용되고 있다. 또한, 이러한 허니컴 구조체의 구성 재료로서, 탄화규소(SiC) 입자와 같은 내화성 입자를 사용하는 것이 알려져 있다.
그래서, 본원 발명자들은 골재인 내화성 입자(탄화규소 입자)와, 내화성 입자간을 결합시키는 결합재인 금속 규소를 함유하는 다공질인 허니컴 구조체(Si 결합 SiC질 다공체) 및 그 제조 방법을 제안하였다(특허 문헌 1 참조). 이 특허 문헌 1에서 개시된 허니컴 구조체는, 비교적 낮은 소성 온도에서 수율 좋게 제조할 수 있고, 열전도율이 높아 충분히 다공질이며, 비표면적이 높은 것으로서, 필터나 촉매 담체로서 적합하게 이용 가능한 것이다.
그런데, 이들 탄화규소질 다공체에 관해, 특수한 사용 환경이나 처리 방법에 따라서는 해결해야 할 과제가 잔존하고 있는 것이 이해되어 왔다.
예컨대, 금속 규소를 저산소 분위기 하 또는 환원 분위기 하에서 가열하면 Si가 휘발되거나 하기 식(1)과 같이 SiO로서 휘발되는 것이 알려져 있다. 또한, 이들 기체 상태의 Si나 SiO가 산화 반응 등을 일으킬 때에는 심한 발열을 수반하는 것도 알려져 있다.
Si＋1/2O2→SiO↑ ‥‥ (1)
또한, 발생한 SiO 가스가 분위기 중의 산소와 화합하여 SiO2의 파이버를 생성하여 표면에 석출된다. 이 때문에, 이러한 산화 반응이 일어난 부분에서는, 생성된 SiO2 파이버에 의해 백색으로 변색된다.
상기한 문제를 해소하기 위해 예컨대 탄화규소 입자 및/또는 금속 규소의 표면 또는 주위에 산소를 함유하는 상을 형성한 탄화규소질 다공체(특허 문헌 2 참조)가 제안되어 있지만, 특허 문헌 2에 나타내는 탄화규소질 다공체에서는, 탄화규소 및/또는 금속 규소의 표면 또는 주위의 산소를 함유하는 상의 융점이 최대 1700℃이며, 기타 금속이 더 혼입되었을 경우, 융점이 저하되고, 내산화성이 저하된다고 하는 문제점이 있었다.
상기한 문제점을 해소하기 위해서, 상기 탄화규소 및/또는 금속 규소의 표면 또는 주위의 산소를 함유하는 상보다도 높은 융점을 갖는 알루미나를 함유하는 화합물(예컨대, 코란담(corundum))로서, 탄화규소 및/또는 금속 규소, 특히, 금속 규소의 표면을 피복하는 것이 검토되어 왔다.
특허 문헌 1: 일본 특허 공개 제2002-201082호 공보
특허 문헌 2: 일본 특허 공개 제2002-154882호 공보
본 발명은, 전술한 종래 기술의 문제점을 감안하여 이루어진 것으로서, 그 목적으로 하는 바는, 금속 규소의 표면만을 선택적으로 고융점의 화합물로 피복함으로써, 금속 규소의 산화 반응이 일어날 수 있는 가능성을 줄이고, 내산화성을 향상시키며, 기공률의 저하를 최소한으로 할 수 있는 탄화규소질 다공체 및 그 제조 방법을 제공하는 것에 있다.
상기 목적을 달성하기 위해서, 본 발명에 의해, 하기의 탄화규소질 다공체 및 그 제조 방법이 제공된다.
[1] 골재로서의 탄화규소 입자가, 금속 규소를 결합재로 하여 상기 탄화규소 입자 상호간에 세공(細孔)을 유지한 상태로 결합된 탄화규소질 다공체로서, 상기 탄화규소보다도 상기 금속 규소의 표면이 선택적으로 알루미나를 함유하는 상(相)으로 피복되어 있는 탄화규소질 다공체.
[2] 알루미나를 함유하는 상은, 알칼리 토류 금속, 희토류 금속, 규소(Si), 티탄(Ti), 코발트(Co) 및 니켈(Ni)로 이루어진 군으로부터 선택되는 1종 이상의 화합물을 함유하는 [1]에 기재한 탄화규소질 다공체.
[3] 세공의 개기공률은 30%∼75%인 [1] 또는 [2]에 기재한 탄화규소질 다공체.
[4] 세공의 평균 세공 직경은 5 ㎛∼50 ㎛인 [1] 내지 [3] 중 어느 한 항에 기재한 탄화규소질 다공체.
[5] 체적 비열용량은 2.1 Jcm-3K-1 이상인 [1] 내지 [4] 중 어느 한 항에 기재한 탄화규소질 다공체.
[6] [1] 내지 [5] 중 어느 한 항에 기재한 탄화규소질 다공체를 이용하여 구성된 허니컴 구조체.
[7] 골재로서의 탄화규소 입자가, 금속 규소를 결합재로 하여 상기 탄화규소 입자 상호간에 세공을 유지한 상태로 결합된 탄화규소질 다공체의 제조 방법으로서,
탄화규소 및 금속 규소와, 금속 알루미늄 또는 금속 규소와 금속 알루미늄으로 이루어진 합금을 혼합한 원재료를, 불활성 가스 분위기 하 또는 감압 분위기 하에서 소성하여, 금속 알루미늄-금속 규소-탄화규소 다공체를 제작한 후, 얻어진 금속 알루미늄-금속 규소-탄화규소 다공체를 산소 분위기 하에서 산화 및 소성하는 탄화규소질 다공체의 제조 방법.
[8] 금속 알루미늄의 혼합비가, 금속 규소에 대하여 몰비(Al/Si)가 0.05∼1.5인 [7]에 기재한 탄화규소질 다공체의 제조 방법.
[9] 원재료를 산소 분압이 10-4 atm 이하인 불활성 가스 분위기 하 또는 감압 분위기 하의 600℃∼1500℃에서 소성하는 [7] 또는 [8]에 기재한 탄화규소질 다공체의 제조 방법.
[10] 금속 알루미늄-금속 규소-탄화규소 다공체를 산소 분위기 하의 700℃∼1500℃에서 산화 및 소성하는 [7] 내지 [9] 중 어느 한 항에 기재한 탄화규소질 다공체의 제조 방법.
[11] 금속 알루미늄-금속 규소-탄화규소 다공체를 제작한 후, 실온까지 온도를 낮추지 않고 700℃ 이상의 온도에서 산소 분위기로 전환하여 상기 금속 알루미늄-금속 규소-탄화규소 다공체를, 상기 산소 분위기 하의 700℃∼1500℃에서 산화 및 소성하는 [7]에 기재한 탄화규소질 다공체의 제조 방법.
[12] 산소 분위기의 수증기 분압은 10-5 atm 이하인 [7] 내지 [11] 중 어느 한 항에 기재한 탄화규소질 다공체의 제조 방법.
[13] 산소 분위기의 산소 분압은 0.05 atm 이상인 [7] 내지 [12] 중 어느 한 항에 기재한 탄화규소질 다공체의 제조 방법.
이상 설명한 바와 같이, 본 발명의 탄화규소질 다공체 및 그 제조 방법은, 금속 규소의 표면만을 선택적으로 고융점의 화합물로 피복함으로써, 금속 규소의 산화 반응이 일어날 수 있는 가능성을 줄이고, 내산화성을 향상시키며, 기공률의 저하를 최소한으로 할 수 있다.
이하, 본 발명의 탄화규소질 다공체 및 그 제조 방법을 구체적인 실시 형태에 기초하여 상세히 설명하지만, 본 발명은, 이것에 한정되어 해석되지 않고, 본 발명의 범위를 일탈하지 않는 한, 당업자의 지식에 기초하여 여러 가지 변경, 수정, 개량을 가할 수 있는 것이다.
본 발명에 따른 탄화규소질 다공체는, 골재로서 탄화규소의 입자가, 금속 규소를 결합재로 하여 탄화규소의 입자 상호간에 세공을 유지한 상태로 결합된 탄화규소질 다공체로서, 탄화규소보다도 금속 규소의 표면이 선택적으로 알루미나를 함유하는 상으로 피복되어 있는 것이다.
여기서, 본 발명에서 이용하는 알루미나를 함유하는 상은, 알칼리 토류 금속, 희토류 금속, 규소(Si), 티탄(Ti), 코발트(Co) 및 니켈(Ni)로 이루어진 군으로부터 선택되는 1종 이상의 화합물을 함유하는 것이 바람직하다. 이것은, 이들 화합물을 함유함으로써, 알루미나를 함유하는 상(고융점의 화합물)을 두껍게 할 수 있기 때문이다.
또한, 본 발명의 탄화규소질 다공체는, 세공의 개기공률이 30%∼75%(보다 바람직하게는, 50%∼60%)인 것이 바람직하다. 개기공률이 30%보다 작으면 압력 손실이 커지고, 반대로 75%를 초과하여 크면 강도가 저하된다.
또한, 본 발명의 탄화규소질 다공체는, 세공의 평균 세공 직경이 5 ㎛∼50 ㎛(보다 바람직하게는, 10 ㎛∼30 ㎛)인 것이 바람직하다. 평균 세공 직경이 5 ㎛보다 작으면 압력 손실이 커지고, 반대로 50 ㎛보다 크면 입자상 물질이 누출되기 때문이다.
또한, 본 발명의 탄화규소질 다공체는, 예컨대, 자동차 배기 가스 정화용 필터나 촉매 담체 등에 사용되는 허니컴 구조체의 구성 부재(예컨대, 허니컴 세그먼트)로서도 적합하게 이용할 수 있다.
이상의 것으로부터, 본 발명의 탄화규소질 다공체는, 금속 규소의 표면만을 선택적으로 알루미나를 함유하는 상(고융점의 화합물)으로 피복함으로써, 금속 규소의 산화 반응이 일어날 수 있는 가능성을 줄이고, 내산화성을 향상시키며, 기공률의 저하를 최소한으로 할 수 있다.
다음에, 본 발명의 탄화규소질 다공체의 제조 방법에 대해서 설명한다.
본 발명에 따른 탄화규소질 다공체의 제조 방법은, 골재로서의 탄화규소 입자가, 금속 규소를 결합재로 하여 탄화규소 입자 상호간에 세공을 유지한 상태로 결합된 탄화규소질 다공체의 제조 방법으로서, 탄화규소 및 금속 규소와, 금속 알루미늄 또는 금속 규소와 금속 알루미늄으로 이루어진 합금을 혼합한 원재료를, 불활성 가스 분위기 하 또는 감압 분위기 하에서 소성하여, 금속 알루미늄-금속 규소-탄화규소 다공체를 제작한 후, 얻어진 금속 알루미늄-금속 규소-탄화규소 다공체를, 산소 분위기 하에서 산화 및 소성하는 것이다.
본 발명의 탄화규소질 다공체의 제조 방법의 주된 특징은, 원재료인 탄화규소 및 금속 규소에, 금속 알루미늄 또는 금속 규소와 금속 알루미늄으로 이루어진 합금을 첨가하는 것에 있다. 이에 따라, 본 발명의 탄화규소질 다공체의 제조 방법은, 이하에 나타내는 [A] 내지 [E]의 효과를 기대할 수 있다.
[A] 금속 규소의 표면만을 선택적으로 알루미나를 함유하는 상(고융점의 화합물)으로 피복할 수 있으므로, 알루미나를 함유하는 상(고융점의 화합물)으로, 탄화규소질 다공체 내의 금속 규소의 상기 식 (1)에 나타낸 바와 같은 저산소 분압 하에 있어서의 산화 반응을 저감시킬 수 있기 때문에, 탄화규소질 다공체의 내산화성을 향상시킬 수 있고, 탄화규소에 대한 알루미나를 함유하는 상(고융점의 화합 물)의 피복을 최소한으로 할 수 있기 때문에, 탄화규소질 다공체의 기공률의 저하를 최소한으로 할 수 있다.
[B] 탄화규소 및 금속 규소의 표면에 있는 산화규소를 하기 식 (2)에 따라서 제거함으로써, 탄화규소에 대한 금속 규소의 습윤성을 향상시킬 수 있다.
3SiO2＋4Al→3Si＋2Al2O3 ‥‥ (2)
[C] 탄화규소 및 금속 규소의 원재료에, 금속 알루미늄 또는 금속 규소와 금속 알루미늄으로 이루어진 합금을 첨가함으로써, 결합부의 융점이 저하되기 때문에, 금속 알루미늄-금속 규소-탄화규소 다공체(산화 처리 전의 탄화규소질 다공체)의 소성 온도를 낮출 수 있으므로, 경제적이다.
[D] 탄화규소 및 금속 규소의 원재료에, 금속 알루미늄 또는 금속 규소와 금속 알루미늄으로 이루어진 합금을 첨가함으로써, 금속 알루미늄-금속 규소-탄화규소 다공체(산화 처리 전의 탄화규소질 다공체)의 소성비(=소성 전 치수/소성 후 치수)를 작게 할 수 있다.
[E] 체적 비열용량이 작은 금속 규소의 표면을 체적 비열용량이 높은 화합물인 알루미나를 함유하는 상으로 피복할 수 있기 때문에, 고온 가스에 노출된 탄화규소 다공체 내의 금속 규소의 온도 상승을 억제할 수 있으므로, 탄화규소질 다공체의 온도 상승을 억제할 수 있다.
여기서, 본 발명의 탄화규소질 다공체의 제조 방법은, 금속 알루미늄의 혼합비가, 금속 규소에 대하여 몰비(Al/Si)가 0.05∼1.5[보다 바람직하게는, 몰 비(Al/Si)가 0.2∼0.7]인 것이 바람직하다. 이것은, 몰비가 0.05보다 작으면 금속 규소의 표면을 전부 피복할 수 없게 되고, 반대로 몰비가 1.5보다 크면 탄화규소를 금속 규소에 의해 결합시키는 비율이 작아지며, 열전도율 등의 특성이 저하되기 때문이다.
또한, 본 발명의 탄화규소질 다공체의 제조 방법은, 원재료를, 산소 분압이 10-4 atm 이하인 불활성 가스 분위기 하 또는 감압 분위기 하의 600℃∼1500℃[보다 바람직하게는, 그 몰비(Al/Si)에 대한 초정(初晶) 온도]에서 금속 알루미늄-금속 규소-탄화규소 다공체를 소성하는 것이 바람직하다.
또한, 본 발명의 탄화규소질 다공체의 제조 방법은, 상기 소성 후에 얻어진 금속 알루미늄-금속 규소-탄화규소 다공체를 산소 분위기 하의 700℃∼1500℃(보다 바람직하게는, 1200℃∼1400℃)에서 산화 및 소성하는 것이 바람직하다. 이에 따라, 얻어진 탄화규소질 다공체는, 탄화규소가 금속 규소와 결합되어 있고, 금속 규소에 대한 알루미나를 함유하는 상(고융점의 화합물)의 피복 상태를 양호하게 유지할 수 있으므로, 내산화성을 향상시킬 수 있다.
또한, 상기 산소 분위기의 수증기 분압은, 10-5 atm 이하이며, 산소 분위기의 산소 분압은 0.05 atm 이상인 것이 바람직하다.
또한, 본 발명의 탄화규소질 다공체의 제조 방법은, 금속 알루미늄-금속 규소-탄화규소 다공체를 제작한 후, 실온까지 온도를 낮추지 않고, 700℃ 이상[보다 바람직하게는, 그 몰비(Al/Si)에 대한 초정 온도]의 온도에서 산소 분위기로 전환 하여 금속 알루미늄-금속 규소-탄화규소 다공체를, 산소 분위기 하의 700℃∼1500℃(보다 바람직하게는, 1200℃∼1400℃)에서 산화 및 소성하는 것이 보다 바람직하다. 또한, 상기 산소 분위기의 조건은 전술한 바와 같다.
실시예
이하, 본 발명을 실시예에 의해 더욱 구체적으로 설명하지만, 본 발명은, 이들 실시예에 의해 어떠한 제한을 받는 것은 아니다.
(실시예 1 내지 실시예 10, 비교예 1 내지 비교예 9)
80 질량%의 탄화규소 및 20 질량%의 금속 규소에, 표 1 또는 표 2에 나타내는 금속 알루미늄[금속 규소에 대한 몰비(Al/Si)] 및 기타 첨가물을 첨가·혼합한 원재료를, 표 1 또는 표 2에 나타내는 분위기 하에서, 표 1 또는 표 2에 나타내는 조건으로 소성하여 금속 알루미늄-금속 규소-탄화규소 다공체를 제작하였다. 얻어진 금속 알루미늄-금속 규소-탄화규소 다공체를 표 1 또는 표 2에 나타내는 분위기 하에서 산화 및 소성하였다. 각각 얻어진 탄화규소질 다공체의 금속 규소 표면 및 탄화규소 표면의 Al 함유량 및 금속 규소에 대한 알루미나를 함유하는 상(고융점의 화합물)의 피복 상태를 (수단: 주사형 전자현미경/에너지 분산형 X선 분석 장치)로 측정 및 평가하고, 알루미나를 함유하는 상의 주된 Al 함유 결정상의 확인을 X선 회절법으로 행하였다. 또한, 각각 얻어진 탄화규소질 다공체의 기공률, 평균 세공 직경 및 내산화성의 평가를 행하였다. 이상의 결과를 표 1 및 표 2에 나타낸다. 또한, 각각의 탄화규소질 다공체는 수은 압입법으로 평균 세공 직경을 측정하고, 아르키메데스법에 의해 기공률을 측정하였다. 또한, 내산화성의 평가는 이하의 방 법에 의해 실시되었다.
(내산화성의 평가)
「내산화성」의 평가는 저산소 분압 하의 산화 시험에 의해 행하였다. 즉, 얻어진 탄화규소질 다공체를, 전기로 내에서 산소 분압이 0.01 atm인 Ar 가스 분위기 하의 시험 온도에서 10분간 유지하여 그 외관 변화를 검사하였다. 상기 식 (1)에 의해 생성된 SiO 가스가 분위기 내의 산소와 더 화합하여 SiO2가 되었을 때에는 외관이 희게 변화된다. 그 외관이 변화되는 시험 온도를 표 1 및 표 2에 나타낸다.
Figure 112008070234783-PCT00001
Figure 112008070234783-PCT00002
(고찰: 실시예 1 내지 실시예 10, 비교예 1 내지 비교예 9)
표 1 및 표 2의 결과로부터, 실시예 1 내지 실시예 10은 탄화규소보다도 금속 규소의 표면이 선택적으로 알루미나를 함유하는 상으로 피복되어 있기 때문에, 탄화규소질 다공체의 내산화성을 향상시킬 수 있고, 탄화규소에 대한 알루미나를 함유하는 상(고융점의 화합물)의 피복을 최소한으로 할 수 있기 때문에, 탄화규소질 다공체의 기공률의 저하를 최소한으로 할 수 있었다.
비교예 1 내지 비교예 3 및 비교예 8에서는, 금속 규소의 표면이 알루미나를 함유하는 상으로 피복되어 있지 않거나 또는 피복되는 표면이 적기 때문에, 얻어진 탄화규소질 다공체의 내산화성이 불충분하였다.
한편, 비교예 4에서는, 탄화규소보다도 금속 규소의 표면이 선택적으로 알루미나를 함유하는 상으로 피복되어 있지 않기 때문에, 금속 규소뿐만 아니라, 탄화규소도 동일하게 피복되어 버리기 때문에, 얻어진 탄화규소질 다공체의 기공률이 저하되는 것을 확인하였다.
또한, 비교예 5, 비교예 6 및 비교예 9에서는, 탄화규소가 금속 규소와 결합되어 있지 않기 때문에, 탄화규소질 다공체로서 형성되지 않았다.
비교예 7에서는, 금속 알루미늄이 산화되지 않기 때문에, 얻어진 탄화규소질 다공체의 내산화성이 불충분하였다.
본 발명의 탄화규소질 다공체는, 배기 가스용 포집 필터, 그 중에서도, 디젤엔진의 배기 가스 내의 입자상 물질(미립자) 등을 포집하는 디젤 미립자 필터(DPF)의 제작시에 적합하게 이용할 수 있다.

Claims (13)

  1. 골재로서의 탄화규소 입자가, 금속 규소를 결합재로 하여 상기 탄화규소 입자 상호간에 세공을 유지한 상태로 결합된 탄화규소질 다공체로서, 상기 탄화규소보다도 상기 금속 규소의 표면이 선택적으로 알루미나를 함유하는 상으로 피복되어 있는 것인 탄화규소질 다공체.
  2. 제1항에 있어서, 상기 알루미나를 함유하는 상은, 알칼리 토류 금속, 희토류 금속, 규소(Si), 티탄(Ti), 코발트(Co) 및 니켈(Ni)로 이루어진 군으로부터 선택되는 1종 이상의 화합물을 함유하는 것인 탄화규소질 다공체.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 세공의 개기공률은 30%∼75%인 것인 탄화규소질 다공체.
  4. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 세공의 평균 세공 직경은 5㎛∼50 ㎛인 것인 탄화규소질 다공체.
  5. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서, 체적 비열용량은 2.1 Jcm-3K-1 이상인 것인 탄화규소질 다공체.
  6. 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 기재한 탄화규소질 다공체를 이용하여 구성된 것인 허니컴 구조체.
  7. 골재로서의 탄화규소 입자가, 금속 규소를 결합재로 하여 상기 탄화규소의 입자 상호간에 세공을 유지한 상태로 결합된 탄화규소질 다공체의 제조 방법으로서, 탄화규소 및 금속 규소와, 금속 알루미늄 또는 금속 규소와 금속 알루미늄으로 이루어진 합금을 혼합한 원재료를, 불활성 가스 분위기 하 또는 감압 분위기 하에서 소성하여, 금속 알루미늄-금속 규소-탄화규소 다공체를 제작한 후, 얻어진 금속 알루미늄-금속 규소-탄화규소 다공체를 산소 분위기 하에서 산화 및 소성하는 것인 탄화규소질 다공체의 제조 방법.
  8. 제7항에 있어서, 상기 금속 알루미늄의 혼합비는, 상기 금속 규소에 대하여 몰비(Al/Si)가 0.05∼1.5인 것인 탄화규소질 다공체의 제조 방법.
  9. 제7항 또는 제8항에 있어서, 상기 원재료를, 산소 분압이 10-4 atm 이하인 불활성 가스 분위기 하 또는 감압 분위기 하의 600℃∼1500℃에서 소성하는 것인 탄화규소질 다공체의 제조 방법.
  10. 제7항 내지 제9항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 금속 알루미늄-금속 규소-탄화규소 다공체를 산소 분위기 하의 700℃∼1500℃에서 산화 및 소성하는 것인 탄화규소질 다공체의 제조 방법.
  11. 제7항에 있어서, 상기 금속 알루미늄-금속 규소-탄화규소 다공체를 제작한 후, 실온까지 온도를 낮추지 않고 700℃ 이상의 온도에서 산소 분위기로 전환하여 상기 금속 알루미늄-금속 규소-탄화규소 다공체를, 상기 산소 분위기 하의 700℃∼1500℃에서 산화 및 소성하는 것인 탄화규소질 다공체의 제조 방법.
  12. 제7항 내지 제11항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 산소 분위기의 수증기 분압은 10-5 atm 이하인 것인 탄화규소질 다공체의 제조 방법.
  13. 제7항 내지 제12항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 산소 분위기의 산소 분압은 0.05 atm 이상인 것인 탄화규소질 다공체의 제조 방법.
KR1020087024611A 2006-03-20 2007-02-15 탄화규소질 다공체 및 그 제조 방법 KR20080105152A (ko)

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