KR20080103843A - Flat panel display and manufacturing method thereof - Google Patents
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Abstract
Description
도 1은 종래의 평판표시장치의 구조를 설명하기 위한 도면이고,1 is a view for explaining the structure of a conventional flat panel display device;
도 2는 본 발명의 제1실시예에 따르는 평판표시장를 설명하기 위한 도면이며,2 is a view for explaining a flat panel display according to the first embodiment of the present invention,
도 3은 도 2의 Ⅲ-Ⅲ를 따른 단면도이고,3 is a cross-sectional view taken along III-III of FIG. 2,
도 4는 도 2의 'A'부분의 확대 단면도이며,4 is an enlarged cross-sectional view of portion 'A' of FIG. 2,
도 5는 도 2의 'B'부분의 확대 사시도이고,5 is an enlarged perspective view of a portion 'B' of FIG. 2,
도 6a 및 도 6b는 본 발명의 제2실시예에 따르는 평판표시장치를 설명하기 위한 도면이며,6A and 6B are views for explaining a flat panel display device according to a second embodiment of the present invention.
도 7은 본 발명의 제1실시예에 따르는 평판표시장치의 제조방법을 설명하기 위한 순서도이고,7 is a flowchart illustrating a method of manufacturing a flat panel display device according to a first embodiment of the present invention.
도 8a 내지 도 8c는 본 발명의 제1실시예에 따르는 평판표시장치의 제조방법을 설명하기 위한 도면이며,8A to 8C are diagrams for describing a method of manufacturing a flat panel display device according to a first embodiment of the present invention.
도 9a 내지 도 9c는 본 발명의 제1실시예에 따르는 경화부재에 엠보싱(embossing)을 형성하는 방법을 설명하기 위한 도면이고,9A to 9C are views for explaining a method of forming embossing on the hardening member according to the first embodiment of the present invention.
도 10은 본 발명의 제2실시예에 따르는 평판표시장치의 제조방법을 설명하기 위한 순서도이고,10 is a flowchart illustrating a method of manufacturing a flat panel display device according to a second embodiment of the present invention.
도 11a 내지 도 11c는 본 발명의 제2실시예에 따르는 평판표시장치의 제조방법을 설명하기 위한 도면이다.11A to 11C are views for explaining a method of manufacturing a flat panel display device according to a second embodiment of the present invention.
* 도면의 주요부분의 부호에 대한 설명 *Explanation of Signs of Major Parts of Drawings
10 : 평판표시장치 100 : 박막트랜지스터 기판10: flat panel display device 100: thin film transistor substrate
110 : 절연기판 120 : 반도체층110: insulating substrate 120: semiconductor layer
130 : 게이트 절연막 140 : 게이트 전극130: gate insulating film 140: gate electrode
150 : 층간 절연막 161 : 소스 전극150: interlayer insulating film 161: source electrode
162 : 드레인 전극 170 : 보호막162: drain electrode 170: protective film
180 : 연결전극 200 : 유기발광 기판180: connecting electrode 200: organic light emitting substrate
210 : 커버기판 220 : 제1전극층210: cover substrate 220: first electrode layer
230 : 차단패턴 240 : 격벽230: blocking pattern 240: partition wall
250 : 유기발광층 260 : 제2전극층250: organic light emitting layer 260: second electrode layer
300 : 실런트 400 : 경화부재300: sealant 400: hardening member
410 : 엠보싱 500 : 프릿트410 embossing 500 frit
본 발명은, 평판표시장치와 이의 제조방법에 관한 것으로서, 더 자세하게는, 평판표시장치에 적용되는 프릿트(frit)의 경화시 프릿트(firt) 내에 기공(pore)이 발생하는 현상을 최소화하고 내구성이 향상된 평판표시장치와 이의 제 조방법에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE
평판표시장치(flat panel display) 중 저전압 구동, 경량 박형, 광시야각 그리고 고속응답 등의 장점으로 인하여, 최근 OLED(organic light emitting diode)가 각광 받고 있다. BACKGROUND OF THE INVENTION Organic light emitting diodes (OLEDs) have recently come into the spotlight due to advantages such as low voltage driving, light weight, wide viewing angle, and high-speed response among flat panel displays.
이하, 도1을 참조하여 OLED(1)의 일반적인 구조에 대하여 설명한다. 도1은 여러가지의 OLED 구조 중에서 일실시예에 따른 OLED의 단면도이다.Hereinafter, with reference to FIG. 1, the general structure of OLED1 is demonstrated. 1 is a cross-sectional view of an OLED in accordance with one embodiment of various OLED structures.
OLED(1)는, 도1에 도시된 바와 같이, 게이트 전극, 소스 전극 및 드레인 전극을 포함하는 박막트랜지스터(TFT)와, 박막트랜지스터(TFT)와 연결되어 있는 화소전극(3)과, 화소전극(3) 간을 구분하고 있는 격벽(4)과, 격벽(4) 사이영역의 화소전극(3) 상에 형성되어 있는 유기발광층(5) 및 유기발광층(5) 상에 형성되어 있는 공통전극(6)을 포함한다.As shown in FIG. 1, the OLED 1 includes a thin film transistor TFT including a gate electrode, a source electrode, and a drain electrode, a pixel electrode 3 connected to the thin film transistor TFT, and a pixel electrode. (3) the
여기서, 유기발광층(5)은 수분 및 산소에 민감하여, 수분 및 산소가 유기발광층(5)으로 유입되는 경우 유기발광층(5)의 성능이 저하되고 수명이 단축될 수 있다. 이와 같은, 유기발광층(5)의 열화를 방지하기 위하여 유기발광층(5)이 마련된 절연기판(2)에 수분 및 산소의 유입을 방지하는 커버기판(7)을 상호 대향 접합시키는 밀봉공정을 수행한다. 그리고, 양 기판(2, 7)을 상호 부착시키기 위하여 양 기판(2, 7) 사이의 가장자리를 따라 실런트를 도포한다. Here, the organic light emitting layer 5 is sensitive to moisture and oxygen, and when the moisture and oxygen flow into the organic light emitting layer 5, the performance of the organic light emitting layer 5 may be degraded and the life thereof may be shortened. In order to prevent such deterioration of the organic light emitting layer 5, a sealing process is performed in which the cover substrate 7, which prevents the inflow of moisture and oxygen, is bonded to the
그러나, 유기물질로 이루어진 실런트는 수분 및 산소를 완벽하게 차단하지 못하여, 실런트를 통하여 수분 및 산소가 유기발광층(5)으로 유입되어 유기발광층(5)을 열화시키는 문제점이 있다.However, the sealant made of an organic material may not completely block moisture and oxygen, and thus, moisture and oxygen may flow into the organic light emitting layer 5 through the sealant to deteriorate the organic light emitting layer 5.
이러한 문제점을 해결하기 위하여, 유기물질의 실런트 대신에 유리성분의 프릿트(8, frit)를 사용하여 양 기판(2, 7)을 상호 부착시키는 방법이 제안되었다. 프릿트(8)는 수분 투과율과 산소 투과율이 매우 낮아 유기발광층(5)이 열화되는 것을 방지할 수 있는 장점이 있다.In order to solve this problem, a method of attaching the two
그러나, 이러한 프릿트(8)는 표면부터 경화되고 내부가 마지막에 경화된다. 이에 따라, 내부에서 생성된 가스(gas) 등이 외부로 빠져나가지 못하고 내부에 갇혀 복수의 기공(9, pore)이 생성된다. 이러한 기공(9) 및 기공(9)에 의한 크랙(crack)에 의하여 수분 및 산소가 내부로 유입될 수 있다. 이에 따라, 프릿트(8)의 산소 및 수분 투과율이 높아져 유기발광층이 열화됨에 따라 평판표시장치의 수명 및 성능이 저하되는 문제점이 있다. 또한, 경화된 프릿트(8)는 외부충격에 의하여 깨질 수 있어 프릿트(8)만이 적용된 평판표시장치는 내구성이 좋지 않은 문제점이 있다.However, this frit 8 is cured from the surface and finally cured inside. As a result, a gas or the like generated inside does not escape to the outside and is trapped inside to generate a plurality of pores 9. Moisture and oxygen may be introduced into the pores 9 and cracks by the pores 9. As a result, the oxygen and moisture transmittance of the frit 8 is increased and the organic light emitting layer is deteriorated, thereby degrading the lifespan and performance of the flat panel display. In addition, the hardened frit 8 may be broken by an external impact, so that the flat panel display device to which only the frit 8 is applied has a poor durability.
따라서 본 발명의 목적은, 평판표시장치에 적용되는 프릿트(frit)의 경화시 프릿트(firt) 내에 기공(pore)이 발생하는 현상을 최소화하고 내구성이 향상된 평판표시장치를 제공하는 것이다.Accordingly, an object of the present invention is to provide a flat panel display device having improved durability and minimizing the occurrence of pores in the frit during curing of the frit applied to the flat panel display device.
본 발명의 다른 목적은, 평판표시장치에 적용되는 프릿트(frit)의 경화시 프릿트(firt) 내에 기공(pore)이 발생하는 현상을 최소화하고 내구성이 향상된 평판표시장치의 제조방법을 제공하는 것이다.Another object of the present invention is to provide a method of manufacturing a flat panel display device having improved durability and minimizing the occurrence of pores in the frit during curing of the frit applied to the flat panel display device. will be.
상기 목적은, 본 발명에 따라, 가장자리를 따라 형성된 경화부재를 포함하는 박막트랜지스터 기판과; 박막트랜지스터 기판과 대향 접합되는 커버기판과; 박막트랜지스터 기판과 커버기판 사이의 가장자리를 따라 형성되어 박막트랜지스터 기판과 상기 커버기판을 상호 접합시키는 실런트; 및 경화부재와 적어도 일부 중첩하도록 박막트랜지스터 기판과 커버기판이 접합하여 이루는 접합모서리부를 따라 형성된 프릿트를 포함하는 것을 특징으로 하는 평판표시장치에 의하여 달성된다.The object is, according to the present invention, a thin film transistor substrate comprising a curing member formed along the edge; A cover substrate opposed to the thin film transistor substrate; A sealant formed along an edge between the thin film transistor substrate and the cover substrate to bond the thin film transistor substrate and the cover substrate to each other; And a frit formed along a bonding edge formed by bonding the thin film transistor substrate and the cover substrate to at least partially overlap the hardening member.
여기서, 박막트랜지스터 기판은 게이트 전극을 갖는 박막트랜지스터를 더 포함하며, 경화부재는 게이트 전극과 동시에 동일한 재질로 형성될 수 있다.The thin film transistor substrate may further include a thin film transistor having a gate electrode, and the curing member may be formed of the same material as the gate electrode.
그리고, 박막트랜지스터 기판은 소스 전극 및 드레인 전극을 갖는 박막트랜지스터를 더 포함하며, 경화부재는 소스 전극 및 드레인 전극과 동시에 동일한 재질로 형성될 수 있다.The thin film transistor substrate further includes a thin film transistor having a source electrode and a drain electrode, and the curing member may be formed of the same material as the source electrode and the drain electrode.
또한, 박막트랜지스터 기판은 박막트랜지스터와, 박막트랜지스터와 연결되어 있는 연결전극을 더 포함하며, 경화부재는 연결전극과 동시에 동일한 재질로 형성될 수 있다.The thin film transistor substrate may further include a thin film transistor and a connection electrode connected to the thin film transistor, and the curing member may be formed of the same material as the connection electrode.
여기서, 경화부재는 금속을 포함할 수 있다.Here, the hardening member may include a metal.
그리고, 경화부재는 Cr, AlNd 및 Al 중 적어도 하나를 포함할 수 있다.The hardening member may include at least one of Cr, AlNd, and Al.
여기서, 경화부재의 외부면에는 복수의 엠보싱(embossing)이 형성되어 있을 수 있다.Here, a plurality of embossing may be formed on the outer surface of the hardening member.
그리고, 박막트랜지스터 기판은 상기 커버기판보다 더 큰 면적을 가질 수 있다.The thin film transistor substrate may have a larger area than the cover substrate.
본 발명의 목적은, 본 발명에 따라, 박막트랜지스터 기판과; 박막트랜지스터 기판과 대향 접합되는 커버기판과; 박막트랜지스터 기판과 커버기판 사이의 가장자리를 따라 형성되어 박막트랜지스터 기판과 커버기판을 상호 접합시키는 실런트와; 박막트랜지스터 기판 및 커버기판 중 적어도 하나의 모서리 영역에 형성된 경화부재; 및 경화부재와 적어도 일부 중첩하도록 박막트랜지스터 기판과 커버기판이 접합하여 이루는 접합모서리부를 따라 형성된 프릿트를 포함하는 것을 특징으로 하는 평판표시장치에 의하여 달성된다.The object of the present invention is, according to the present invention, a thin film transistor substrate; A cover substrate opposed to the thin film transistor substrate; A sealant formed along an edge between the thin film transistor substrate and the cover substrate to bond the thin film transistor substrate and the cover substrate to each other; A hardening member formed in an edge region of at least one of the thin film transistor substrate and the cover substrate; And a frit formed along a bonding edge formed by bonding the thin film transistor substrate and the cover substrate to at least partially overlap the hardening member.
여기서, 경화부재는 박막형태의 금속 및 입자상태의 금속 중 적어도 하나를 포함할 수 있다.Here, the hardening member may include at least one of a metal in a thin film form and a metal in a particulate state.
본 발명의 다른 목적은, 본 발명에 따라, 가장자리를 따라 형성된 경화부재를 포함하는 박막트랜지스터 기판을 마련하는 단계와; 실런트를 이용하여 박막트랜지스터 기판에 커버기판을 접합시키는 단계와; 경화부재와 적어도 일부 중첩하도록 박막트랜지스터 기판과 커버기판이 접합하여 이루는 접합모서리부를 따라 프릿트를 형성하는 단계와; 프릿트를 경화시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 평판표시장치의 제조방법에 의하여 달성된다.Another object of the present invention, according to the present invention, comprising the steps of providing a thin film transistor substrate comprising a curing member formed along the edge; Bonding a cover substrate to the thin film transistor substrate using a sealant; Forming a frit along a bonding edge formed by bonding the thin film transistor substrate and the cover substrate to at least partially overlap the hardening member; It is achieved by a method for manufacturing a flat panel display device comprising the step of curing the frit.
여기서, 박막트랜지스터 기판을 마련하는 단계는 절연기판 상에 게이트 전극을 형성하는 단계를 더 포함하며, 경화부재는 게이트 전극과 동시에 동일한 재질로 형성될 수 있다.The preparing of the thin film transistor substrate may further include forming a gate electrode on the insulating substrate, and the curing member may be formed of the same material as the gate electrode.
그리고, 박막트랜지스터 기판을 마련하는 단계는 절연기판 상에 소스 전극 및 드레인 전극을 형성하는 단계를 더 포함하며, 경화부재는 소스 전극 및 드레인 전극과 동시에 동일한 재질로 형성될 수 있다.The preparing of the thin film transistor substrate may further include forming a source electrode and a drain electrode on the insulating substrate, and the curing member may be formed of the same material as the source electrode and the drain electrode.
또한, 박막트랜지스터 기판을 마련하는 단계는 박막트랜지스터를 형성하는 단계와, 박막트랜지스터와 연결된 연결전극을 형성하는 단계를 더 포함하며, 경화부재는 연결전극과 동시에 동일한 재질로 형성될 수 있다.The preparing of the thin film transistor substrate may further include forming a thin film transistor and forming a connection electrode connected to the thin film transistor, and the curing member may be formed of the same material as the connection electrode.
그리고, 경화부재는 사진식각(photolithography) 공정을 통하여 형성될 수 있다.The hardening member may be formed through a photolithography process.
여기서, 경화부재는 외부면에 복수의 엠보싱을 갖도록 패터닝될 수 있다. Here, the hardening member may be patterned to have a plurality of embossing on the outer surface.
그리고, 경화부재가 상기 복수의 엠보싱을 갖도록 패터닝되는 방법은, 절연기판 상에 금속층을 형성하는 단계와; 금속층 상에 평탄부와 평탄부보다 높은 높이를 갖는 엠보싱부로 이루어진 감광막을 형성하는 단계와; 감광막을 이용한 금속층의 식각을 통하여 경화부재의 외부면에 엠보싱부에 대응하는 복수의 엠보싱(embossing)을 형성하는 단계를 포함할 수 있다.The hardening member is patterned to have the plurality of embossings, comprising: forming a metal layer on an insulating substrate; Forming a photoresist film comprising a flat portion and an embossed portion having a height higher than the flat portion on the metal layer; Forming a plurality of embossing (embossing) corresponding to the embossed portion on the outer surface of the hardening member through the etching of the metal layer using the photosensitive film.
또한, 경화부재는 Cr, AlNd 및 Al 중 적어도 하나를 포함하고 있을 수 있다.In addition, the hardening member may include at least one of Cr, AlNd and Al.
본 발명의 다른 목적은, 본 발명에 따라, 실런트를 이용하여 박막트랜지스터 기판과 커버기판을 상호 접합시키는 단계와; 박막트랜지스터 기판 및 커버기판 중 적어도 하나의 모서리 영역에 경화부재를 형성하는 단계와; 경화부재와 적어도 일부 중첩하도록 박막트랜지스터 기판과 커버기판이 접합하여 이루는 접합모서리부를 따라 프릿트를 형성하는 단계; 및 프릿트를 경화시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 평판표시장치의 제조방법에 의하여 달성된다.Another object of the invention, according to the present invention, the step of bonding the thin film transistor substrate and the cover substrate using a sealant; Forming a hardening member on at least one corner region of the thin film transistor substrate and the cover substrate; Forming a frit along a bonding edge formed by bonding the thin film transistor substrate and the cover substrate to at least partially overlap the hardening member; And it is achieved by a method of manufacturing a flat panel display device comprising the step of curing the frit.
여기서, 경화부재는 모서리 영역에 대응하여 적어도 하나의 개구부를 갖는 마스크를 이용한 증착(EVAPORATION)을 통하여 형성될 수 있다.Here, the hardening member may be formed through deposition using a mask having at least one opening corresponding to the edge region.
이하 첨부된 도면을 참조로 하여 본 발명을 더욱 상세히 설명하겠다. 이하에서는 여러 가지의 평판표시장치 중에서 OLED를 한 예로 하여 설명하나, 이에 한정되지 않고 액정표시장치(LCD)와 PDP 등의 다른 평판표시장치에도 적용될 수 있음은 당연하다. 그리고, 어떤 막(층)이 다른 막(층)의 위에(상에) 형성되어(위치하고) 있다는 것은, 두 막(층)이 접해 있는 경우뿐만 아니라 두 막(층) 사이에 다른 막(층)이 존재하는 경우도 포함한다. Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to the accompanying drawings. Hereinafter, the OLED will be described as an example among various flat panel display devices. However, the present invention is not limited thereto, and it can be applied to other flat panel display devices such as a liquid crystal display (LCD) and a PDP. In addition, the fact that a film is formed (located) on top of another film is not only when the two films are in contact with each other but also between the two films. It also includes the case where it exists.
도2은 본 발명의 제1실시예에 따른 평판표시장치를 설명하기 위한 도면이고, 도3은 도2의 Ⅲ-Ⅲ를 따른 단면도이며, 도4는 도2의 'A'부분 확대 단면도이고, 도5는 도2의 'B'부분의 확대 사시도이다.FIG. 2 is a view for explaining a flat panel display device according to a first exemplary embodiment of the present invention, FIG. 3 is a cross-sectional view taken along line III-III of FIG. 2, and FIG. 5 is an enlarged perspective view of a portion 'B' of FIG. 2.
OLED(1)는 전기적인 신호를 받아 발광하는 유기물(유기발광층)을 이용한 자발광형 소자로, 이와 같은 유기물의 성능과 수명은 습기(수분)와 산소에 취약하다. 그래서 유기물(유기발광층)로 침투되는 산소와 수분을 효과적으로 방지하는 밀봉방법이 중요하다. The
본 발명의 제1실시예에 따른 OLED(10)는, 도2 및 도3에 도시된 바와 같이, 박막트랜지스터(Tr)가 마련되어 있는 박막트랜지스터 기판(100), 유기발광층(250)이 형성되어 있는 유기발광 기판(200), 양 기판(100, 200) 사이의 가장자리를 따라 형성되어 양 기판(100, 200)을 상호 접합시키는 실런트(300), 박막트랜지스터 기판(100)의 가장자리를 따라 형성되어 있는 경화부재(400) 및 경화부재(400)와 적어도 일부 중첩하도록 박막트랜지스터 기판(100)과 유기발광 기판(200)이 접합하여 이루는 접합모서리부(C)를 따라 형성되어 있는 프릿트(500)를 포함한다.As shown in FIGS. 2 and 3, the
우선, 박막트랜지스터 기판(100)에 대하여 설명한다. 먼저, 실런트(300)의 안쪽영역을 설명한 후, 실런트(300)의 바깥쪽 영역을 설명하도록 한다.First, the thin
박막트랜지스터 기판(100)은 절연기판(110) 상에 형성되어 있는 박막트랜지스터(Tr)와, 박막트랜지스터(Tr)와 커버기판(200)의 제2전극층(260) 사이를 연결하는 연결전극(180)을 포함한다.The thin
절연기판(110)은 투명한 기판으로 유기기판 또는 플리스틱 기판일 수 있다. The insulating
절연기판(110) 상에는 박막트랜지스터(Tr)가 형성되어 있다. 박막트랜지스터(Tr)는 반도체층(120), 게이트 전극(140), 소스 전극(161) 및 드레인 전극(162) 등을 포함한다. The thin film transistor Tr is formed on the insulating
반도체층(120)은 절연기판(110) 상에 비정질 실리콘(a-Si:H)을 증착한 후, 탈수소화 과정과 열을 이용한 결정화 공정을 통하여 결정질 실리콘층을 형성하고, 비정질 실리콘층을 소정의 형상으로 패터닝하여 형성된다. 반도체층(120)은 불순물의 도핑 양에 따라 제1영역(120a)과, 제1영역(120a)의 양측에 위치하는 제2영역(120b)으로 구분된다. 제2영역(120b)은 3족 또는 5족 원소가 고농도로 도핑된 영역이다. The
이러한 반도체층(120)은 산화실리콘 또는 질화실리콘 등의 무기물질로 이루 어진 게이트 절연막(130)에 의하여 덮여 있다. 게이트 절연막(130)에는 제2영역(120b)을 노출시키는 개구부가 형성되어 있다. The
제1영역(120a) 상의 게이트 절연막(130)에는 게이트 전극(140)이 형성되어 있다. 게이트 전극(140)에 의하여 이온 도핑시 반도체층(120)의 제1영역(120a)에는 불순물이 거이 도핑 되지 않게되고, 제1영역(120b)에는 불순물이 고농도로 도핑되게 된다. 여기서, 게이트 전극(140)은 몰리브덴(Mo), 망간(Mn), 알루미늄(Al), 알미네리움(AlNd), 구리(Cu), 크롬(Cr) 및 이와 유사한 금속들 중 적어도 하나를 포함할 수 있다.The
게이트 전극(140)은 층간 절연막(150)에 의하여 덮여 있다. 층간 절연막(150)은 무기 절연막 또는 유기 절연막일 수 있다. 층간 절연막(150)에는 제2영역(120b) 각각 노출시키는 절연막 접촉구(151, 152)가 형성되어 이다. 제1 및 제2절연막 접촉구(151, 152)에 의하여 반도체층(120)의 제2영역(120b)의 적어도 일부는 외부로 노출된다.The
층간 절연막(150) 상의 일영역에는 소스 전극(161)과 드레인 전극(162)이 형성되어 있다. 소스 전극(161)은 제1절연막 접촉구(151)를 통하여 제2영역(120b)과 연결되어 있고, 드레인 전극(162)은 제2절연막 접촉구(152)를 통하여 제2영역(120b)과 연결되어 있다. 여기서, 소스 전극(161) 및 드레인 전극(162)은 몰리브덴(Mo), 망간(Mn), 알루미늄(Al), 알미네리움(AlNd), 구리(Cu), 크롬(Cr) 및 이와 유사한 금속들 중 적어도 하나를 포함할 수 있다. The
소스 전극(161) 및 드레인 전극(162)은 보호막(170)에 의하여 덮여 있다. 보호막(170)은 아크릴계의 유기 절연막일 수 있다. 보호막(170)에는 드레인 전극(162)의 적어도 일부를 노출시키는 드레인 접촉구(171)가 형성되어 있다.The
보호막(170) 상에는 드레인 접촉구(171)를 통하여 드레인 전극(162)과 연결되어 있는 연결전극(180)이 형성되어 있다. 연결전극(180)은 박막트랜지스터(Tr)와 후술할 제2전극(260) 사이를 연결하기 위한 것으로, 몰리브덴(Mo), 망간(Mn), 알루미늄(Al), 알미네리움(AlNd), 구리(Cu), 크롬(Cr) 및 이와 유사한 금속들 중 적어도 하나를 포함할 수 있다.The
실런트(300)는 절연기판(110)과 커버기판(210) 사이의 가장자리를 따라 형성되어 있다. 실런트(300)는 양 기판(110, 210)을 상호 부착시키는 접착제 및 양 기판(110, 210)의 사이공간을 통하여 산소 또는 수분이 유입되는 것을 방지하는 밀봉제이다. 실런트(300)는 유기물질로 이루어지며, 구체적으로 멜라민 수지계, 유레아 수지계, 페놀 수지계, 레조르시놀 수지계, 에폭시 수지계, 불포화 폴리에스테르 수지계, 폴리우레탄 수지계, 아크릴 수지계 등으로 이루어질 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다. 실런트(300)는 디스펜서(dispenser)법, 스크린 프린팅(screen printing)법, 슬릿코팅(slit coating)법, 및 롤 프린팅(roll printing)법 중 어느 하나에 의하여 형성될 수 있다. 그리고, 이러한 유기물질로 이루어진 실런트(300)는 UV에 의하여 경화되거나 열에 의하여 경화될 수 있다.The
다음, 실런트(300)의 바깥쪽 영역에 대하여 설명하도록 한다. Next, the outer region of the
실런트(300)의 바깥쪽의 절연기판(110) 상에는 프릿트(500)를 경화시키기 위한 경화부재(400)가 형성되어 있다. 경화부재(400)는 절연기판(110)의 가장자리를 따라 형성되어 있다. 경화부재(400)는 몰리브덴(Mo), 망간(Mn), 알루미늄(Al), 알미네리움(AlNd), 구리(Cu), 크롬(Cr) 및 이와 유사한 금속들 중 적어도 하나를 포함한다. 더욱 바람직하게, 경화부재(400)는 프릿트(500)의 경화속도를 빠르게 하기 위하여 반사율과 열전도율이 좋은 크롬(Cr), 알미네리움(AlNd) 및 알루미늄(Al)을 포함할 수 있다. 본 발명의 제1실시예에 따르는 경화부재(400)는 게이트 전극(140), 소스 전극(161)과 드레인 전극(162) 및 연결전극(180) 중 어느 하나가 형성될 때 동시에 형성되는 것이 바람직하다. 경화부재(400)는 상술한 금속들로 형성되기 때문에, 이와 동일하거나 유사한 금속들로 이루어진 게이트 전극(140), 소스 전극(161)과 드레인 전극(162) 및 연결전극(180) 중 어느 하나와 동시에 형성하는 것이 공정수의 증가를 방지할 수 있어 경제적이다. 구체적으로, 경화부재(400)가 게이트 전극(140)과 동시에 동일한 재질로 제조되는 경우, 절연기판(110) 상에 게이트 전극(140)과 경화부재(400)로 형성될 금속층(미도시)을 형성하고, 상기 금속층 상에 게이트 전극(140)과 경화부재(400)가 각각 형성되도록 감광막(미도시)을 형성한 후, 감광막(미도시)를 이용하여 금속층(미도시)를 패터닝하여 게이트 전극(140)과 경화부재(400)를 동시에 형성할 수 있다. 경화부재(400)가 소스 전극(161) 및 드레인 전극(162) 또는 연결전극(180)과 동시에 형성되는 경우에도 게이트 전극(140)의 형성방법과 같은 원리 및 방법에 의하여 형성될 수 있다.A hardening
본 발명의 제1실시예에 따르는 경화부재(400)는 표면이 평탄하게 마련될 수 도 있으나, 도5와 같이 표면에 복수의 엠보싱(410, embossing)이 형성되어 있을 수 있다. 엠보싱(410)은 경화부재(400)에 의한 프릿트(500)의 경화속도를 향상시키기 위한 것이다. 구체적으로, 경화부재(400)로 입사되는 레이져 빛은 엠보싱(410) 의하여 난반사되어, 레이져 빛은 프릿트(500)의 내부에서 전체적으로 균일하게 퍼지게 된다. 이에 따라, 프릿트(500)의 경화속도 및 경화균일도가 향상되게 된다. 또한, 엠보싱(410)에 의하여 프릿트(500)와 경화부재(400)의 접촉면적이 증가됨에 따라, 경화부재(400)에서 발생된 열은 프릿트(500)로 더욱 잘 전달되게 된다. 이에 따라, 프릿트(500)의 경화속도가 향상된다. 한편, 엠보싱(410)을 갖는 경화부재(400)의 제조방법에 대하여는 본 발명에 따르는 평판표시장치의 제조방법을 설명하는 단락에서 구체적으로 살펴보도록 한다.Hardening
양 기판(110, 210)이 접합하여 이루는 접합모서리부(C, 도 4참조)에는 프릿트(500)가 형성되어 있다. 프릿트(500)는, 도2 내지 도4에 도시된 바와 같이, 상술한 경화부재(400)와 적어도 일부 중첩하도록 접합모서리부(C, 도4참조)를 따라 형성되어 있다. 이와 같은 프릿트(500, frit)는 접착용 분말유리로서, SiO2, TiO2, PbO, PbTiO3, Al2O3, 바인더 및 경화제 등으로 이루어져 있다. 이러한 프릿트(130)는 수분 투과율과 산소 투과율이 대략 1g/㎡day 내지 10g/㎡day 정도로 매우 낮아 유기발광층(250)이 열화되는 것을 방지할 수 있다. 그리고, 진공실장이 가능할 정도의 내구성을 지니고 있어 진공챔버 내에서 제조될 수 있으며, 이에 따라 외부로부터의 산소 및 수분의 침투를 최소화할 수 있다. 이에 의하여, 평판표시장치(10) 의 수명이 늘어나고 성능이 개선된다. 이와 같은 프릿트(500)는 레이져(laser), 프릿트(500)에 접하고 있는 경화부재(400) 또는 오븐 등을 이용한 열로 경화시킬 수 있으며, 열가소성일 수 있다. 프릿트(500)의 경화과정에 대하여는 후술하는 평판표시장치의 제조방법을 설명하는 단락에서 구체적으로 살펴보도록 한다.A
그러나, 이러한 프릿트(500)는 레이져 빛이 프릿트(500)로 입사될 때 프릿트(500)의 표면부터 경화되고 내부가 마지막에 경화된다. 이에 따라, 내부에서 생성된 가스(gas) 등이 외부로 빠져나가지 못하고 내부에 갇혀 복수의 기공(pore)이 생성된다. 이러한 기공 및 기공에 의한 크랙(crack)에 의하여 수분 및 산소가 내부로 유입될 수 있다. 이에 따라, 프릿트(500)의 산소 및 수분 투과율이 높아져 유기발광층이 열화됨에 따라 평판표시장치의 수명 및 성능이 저하되는 문제점이 있다. 또한, 경화된 프릿트(500)는 외부충격에 의하여 깨질 수 있어 프릿트(500)만이 적용된 평판표시장치는 내구성이 좋지 않은 문제점이 있다.However, this
그러나, 본 발명에 따르는 평판표시장치(10)는 경화부재(400)에 의하여 프릿트(500)의 내부 경화속도가 향상되어 프릿트(500)의 내부와 표면의 경화속도가 거이 유사하거나 프릿트(500)의 내부 경화속도가 표면 경화속도보다 더 빨라 기공의 발생이 최소화된다. 구체적으로, 종래에는 경화부재(400)가 마련되지 않아, 프릿트(500)로 입사되는 레이져 빛은 프릿트(500)의 표면을 먼저 경화시켰다. 그러나, 본 발명과 같이 경화부재(400)가 마련된 경우, 프릿트(500)로 입사되는 레이져 빛은 경화부재(400)에 반사되어 프릿트(500)의 내부로 퍼지게 된다. 이에 따라, 프릿트(500)의 내부 경화속도가 향상되어, 프릿트(500)의 내부와 표면의 경화속도가 거이 유사하거나 프릿트(500)의 내부 경화속도가 표면 경화속도보다 더 빨라지게 된다. 더욱이, 경화부재(400)의 표면에 엠보싱(410, 도5참조)이 형성된 경우, 레이져 빛은 더욱 난반사되고, 프릿트(500)와 경화부재(400) 사이의 접촉면적이 향상되어 경화부재(400)에서 발생된 열은 프릿트(500)로 용이하게 전달될 수 있다. 이에 따라, 프릿트(500)의 내부 경화속도가 향상되어 기공의 발생이 최소화된다. However, in the flat
또한, 본 발명의 제1실시예에 따르는 평판표시장치(10)는 실런트(300)와 프릿트(500)를 동시에 적용하고 있다. 이에 따라, 외부충격에 의하여 프릿트(500)가 일부 깨지더라도, 실런트(300)가 양 기판(110, 210)을 상호 부착하고 있어 평판표시장치(10)의 내구성 및 내충격성이 향상된다. 또한, 프릿트(500)의 깨진 부분으로 유입된 수분 및 산소는 실런트(300)에 차단될 수 있어 유기발광층(250)의 열화를 방지할 수 있다.In addition, the
이하, 유기발광 기판(200)에 대하여 설명하도록 한다.Hereinafter, the organic
유기발광 기판(200)은 절연기판(110)과 대향 접합하는 커버기판(210)과, 커버기판(210)의 저면에 형성된 제1전극층(220)과, 제1전극층(220) 상의 유기발광층(250)의 사이영역에 위치하는 차단패턴(230)과, 차단패턴(230) 상에 위치하여 화소(pixel)를 구획하는 격벽(240)과, 격벽(240) 사이의 화소(pixel)에 각각 채워져 있는 유기발광층(250) 및 유기발과층(250)과 격벽(240) 상에 형성되어 있는 제2전극층(260)을 포함한다.The organic
커버기판(210)은 절연기판(110)과 같이 유리 또는 프라스틱으로 마련될 수 있다.The
커버기판(210)의 전면에는 투명의 도전성 금속으로 이루어진 제1전극층(220)이 형성되어 있다. 구체적으로, 제1전극층(220)은 ITO(indium tin oxide) 또는 IZO(indium zinc oxide) 등으로 이루어질 수 있다. 제1전극층(220)은 유기발광층(250)에 정공을 공급하기 위한 양극(anode electrode)이다.The
각 화소(pixel) 사이의 경계영역에는 차단패턴(230)이 형성되어 있다. 차단패턴(230)은 질화실리콘(SiNx) 또는 산화실리콘(SiO2)을 포함하는 무기절연막이다. 차단패턴(230)은 제1전극층(200)을 다른 도전물질로 이루어진 층들로부터 절연시키기 위한 것이다. 차단패턴(230)은 평면적으로 격자형상으로 마련되어 있으며, 각 화소(pixel) 사이를 구분한다.A blocking
차단패턴(230) 상에는 격벽(240)이 형성되어 있다. 격벽(240)은 감광성 유기물질로 이루어져 있으며, 일예로, 아크릴 수지, 폴리이미드 수지 등을 포함할 수 있다. 격벽(240)은 각 화소(pixel)를 정의하며, 격자형상으로 마련되어 있다.The
각 화소(pixel)에는 유기발광층(250)이 형성되어 있다. 유기발광층(250)은 정공주입층(hole injecting layer), 전공전달층(hole transfer layer), 발광층(emission layer), 전자전달층(electron transfer layer) 및 전자주입층(electron injection layer)을 포함할 수 있다. 여기서, 발광층은 적색을 발광하는 적색 발광층, 녹색을 발광하는 녹색 발광층, 청색을 발광하는 청색 발광층으로 이루어져 있다. 발광층은 폴리플루오렌 유도체, (폴리)파라페닐렌비닐렌 유도체, 폴리페닐렌 유도체, 폴리비닐카바졸, 폴리티오펜 유도체, 또는 이들의 고분자 재료에 페릴렌계 색소, 로더민계 색소, 루브렌, 페릴렌, 9,10-디페닐안트라센, 테트라페닐부타디엔, 나일 레드, 쿠마린 6, 퀴나크리돈 등을 도핑하여 사용할 수 있다.An organic
제1전극층(220)에서 전달된 정공과 제2전극층(260)에서 전달된 전자는 유기발광층(250)에서 결합하여 여기자(exciton)가 된 후, 여기자의 비활성화 과정에서 빛을 발생시킨다. 이에 따라, 발광층의 종류에 따라 각 화소는 적색 화소, 청색 화소, 및 녹색 화소가 된다.The holes transferred from the
격벽(240) 및 유기발광층(250)의 상부에는 제2전극층(260)이 형성되어 있다. 제2전극층(260)은 각 화소(pixel) 마다 독립적으로 형성되어 있다. 제2전극층(260)은 양극(cathode)이라고도 불리며, 유기발광층(250)에 전자를 공급한다. 제2전극층(250)은 알루미늄, 은과 같은 불투명한 재질로 만들어져 있으며 유기발광층(250)에서 발광된 빛은 커버기판(210) 방향으로 출사 된다. The
한편, 설명한 바와 달리, 제2전극층(260)이 ITO(indium tin oxide) 또는 IZO(indium zinc oxide) 등으로 이루어지고, 제1전극층(220)이 알루미늄, 은과 같은 불투명한 재질로 만들어질 수도 있다. 이 때, 발광된 빛의 출사방향은 절연기판(110) 방향이다.Meanwhile, unlike the description, the
이하, 도6a 및 도6b를 참고하여 본 발명의 제2실시예에 따르는 평판표시장치의 구조에 대하여 설명하도록 한다. 제2실시예에서는 제1실시예와 구별되는 특징적인 부분만 발췌하여 설명하도록 하며, 설명이 생략되거나 요약된 부분은 제1실시 예에 따른다. 그리고, 설명의 편의를 위하여 동일한 구성요소에 대하여는 동일한 도면번호를 부여하여 설명하도록 한다.Hereinafter, a structure of a flat panel display device according to a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 6A and 6B. In the second embodiment, only characteristic parts distinguished from the first embodiment will be described and described, and descriptions thereof will be omitted or summarized according to the first embodiment. In addition, for the convenience of description, the same reference numerals are assigned to the same components to be described.
도6a에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제2실시예에 따르는 경화부재(400)는 제1실시예와 달리 절연기판(110)과 커버기판(210)에 각각 형성되어 있다. 이와 같이, 제2실시예에 따르는 경화부재(400)가 제1실시예와 다른 형상 및 구조를 갖는 이유는 제1실시예와 달리 진공증착(EVAPORATION) 방법에 의하여 경화부재(400)가 절연기판(110)과 커버기판(210) 모두에 형성되었기 때문이다. 제2실시예에 따르는 경화부재(400)의 제조방법에 대하여는 평판표시장치의 제조방법을 설명하는 단락에서 구체적으로 살펴보도록 한다. As shown in FIG. 6A, the hardening
제2실시예에 따르는 경화부재(400)는 박막형태 이거나 입자상태 일 수 있다. 구체적으로, 경화부재(400)는, 도6a에 도시된 바와 같이, 박막형태로 절연기판(110)의 모서리 영역(E)과 커버기판(210)의 모서리 영역(E)에 각각 형성될 수 있다. 또는, 변형실시예로 도6b에 도시된 바와 같이, 경화부재(400)는 입자형태로 절연기판(110)의 모서리 영역(E)과 커버기판(210)의 모서리 영역(E)에 각각 형성될 수 있다. 도6a의 박막형태 또는 도6b의 입자상태는 경화부재(400)를 제조할 때 사용되는 마스크(700, 도11a)의 패턴 또는 형상에 따라 정해진다. The hardening
경화부재(400)가, 도6a 및 도6b에 도시된 바와 같이, 절연기판(110)의 모서리 영역(E)과 커버기판(210)의 모서리 영역(E)에 각각 형성된 후, 프릿트(500)가 경화부재(400)와 적어도 일부 중첩되도록 형성된다. 그 후, 상술한 제1실시예와 같이, 경화부재(400)에 열 또는 레이져 빛을 가하여 프릿트(500)를 경화시키다.6A and 6B, after the hardening
제2실시예에 따르는 경화부재(400)는 제1실시예와 다른 형태 및 제조방법에 따르는 일예를 나타낸 것이다. 제2실시예에 따르는 경화부재(400)는 별도의 공정으로 경화부재를 제조하여야 할 경우 및 양 기판(110, 210)의 접착 후에 경화부재(400)를 제조할 필요가 있는 경우에 적용될 수 있다.Curing
한편, 본 발명의 제2실시예에서는 경화부재(400)가 절연기판(110)과 커버기판(210)의 모서리 영역(E)에 형성되는 경우를 예로 들어 설명하였으나, 이에 한정되지 않고, 경화부재(400)가 후술할 프릿트(500)와 중첩될 수 있는 위치이면 절연기판(110)과 커버기판(210) 중 어느 곳에나 형성될 수 있다.Meanwhile, in the second embodiment of the present invention, a case in which the hardening
이하, 도7 내지 도8c를 참조하여 본 발명의 제1실시예에 따르는 평판표시장치의 제조방법에 대하여 구체적으로 설명하도록 한다.Hereinafter, a method of manufacturing the flat panel display device according to the first embodiment of the present invention will be described in detail with reference to FIGS. 7 to 8C.
먼저, 도7 및 도8a와 같이, 절연기판(110)의 가장자리를 따라 형성된 경화부재(400)를 포함하는 박막트랜지스터 기판(100)을 마련한다(S11). 경화부재(400)는 사진식각(photolithography) 공정을 이용하여 게이트 전극(140, 도3참조), 소스 전극 및 드레인 전극(161, 162, 도3참조), 연결전극(180, 도3참조) 중 어느 하나와 동시에 형성될 수 있다. 경화부재(400)를 형성하는 구체적인 방법에 대하여는 후술하는 경화부재(400)의 엠보싱(410, 도5참조)을 형성하는 방법을 설명하는 단락에서 구체적으로 살펴보도록 한다.First, as shown in FIGS. 7 and 8A, a thin
한편, 박막트랜지스터 기판(100)의 형성과 동시에 또는 별도의 공정으로 유기발광 기판(200)을 마련한다(S12). 유기발광 기판(200)은 커버기판(210) 상에 제1 전극층(220, 도3참조), 유기발광층(250, 도3참조), 격벽(240, 도3참조) 및 제2전극층(260, 도3참조) 등이 형성되어 있는 형태로, 공지의 방법에 따라 형성된다.Meanwhile, the organic
박막트랜지스터 기판(100)과 유기발광 기판(200)이 완성되면, 절연기판(110)과 커버기판(210)의 가장자리에 실런트(300)를 도포한 후, 도8a에 도시된 바와 같이, 양 기판(100, 200)을 상호 접합시킨다(S20). 실런트(300)는 유기물질로 이루어지며, 디스펜서(dispenser)법, 스크린 프린팅(screen printing)법, 슬릿코팅(slit coating)법, 및 롤 프린팅(roll printing)법 중 어느 하나에 의하여 형성될 수 있다. 양 기판(100, 200)이 접합되면, 실런트(300)에 UV 또는 열을 조사하여 실런트(300)를 경화시킨다. When the thin
다음, 도7 및 도8b에 도시된 바와 같이, 접합모서리부(C)에 프릿트(500)를 형성한다(S30). 프릿트(500)는, 도7에 도시된 바와 같이, 경화부재(400)와 적어도 일부 중첩하도록 실런트(300)의 바깥쪽에 형성된다. 이와 같은 프릿트(500)는 디스펜서(dispenser)법, 스크린 프린팅(screen printing)법, 슬릿코팅(slit coating)법, 및 롤 프린팅(roll printing)법 중 어느 하나에 의하여 형성될 수 있다. 프릿트(500)는 절연기판(110)과 커버기판(120)의 사이공간을 모두 덮도록 형성되는 것이 외부로부터 유입되는 산소 및 수분을 방지하기 위하여 바람직하다.Next, as shown in FIG. 7 and FIG. 8B, the
프릿트(500)가 접합모서리부(C)에 형성되면, 프릿트(500)를 경화시킨다(S40). 프릿트(500)의 경화공정은 합착된 양 기판(100, 200)을 오븐(Oven)에 넣고 프릿트(500)를 건조 시킨다. 건조공정은 오븐에서 약80도의 열을 프릿트(500)에 가하는 것이다. 이어, 레이져 장치(600)를 이용하여 1차 및 2차 소성공정을 진행한 다. 1차 소성공정은 프릿트(500)에 함유되어 있는 용매성분을 건조 및 제거하기 위한 것이다. 한편, 프릿트(500)에 포함된 용매는 용매성분의 프릿트(500)를 디스펜싱(dispensing) 등의 방법으로 용이하게 형성하기 위하여 함유된 것이다. 다음, 도8c에 도시된 바와 같이, 레이져 장치(600)를 이용하여 레이져 빛을 프릿트(500)에 조사하여 프릿트(500)를 완전경화 시킨다. 프릿트(500)로 조사된 레이져 빛은 경화부재(400)에 반사되어 프릿트(500)의 내부로 퍼지게 된다. 이에 따라, 프릿트(500)의 내부 경화속도가 향상되어, 프릿트(500)의 내부와 표면의 경화속도가 거이 유사하거나 프릿트(500)의 내부 경화속도가 표면 경화속도보다 더 빨라지게 된다. 더욱이, 경화부재(400)의 표면에 엠보싱(410, 도5참조)이 형성된 경우, 레이져 빛은 더욱 난반사되고, 프릿트(500)와 경화부재(400) 사이의 접촉면적이 향상되어 경화부재(400)에서 발생된 열은 프릿트(500)로 용이하게 전달될 수 있다. 이에 따라, 프릿트(500)의 내부 경화속도가 향상되어 기공의 발생이 최소화된다.When the
이하에서는, 도9a 내지 도9c를 참조하여 엠보싱(410, 도5참조)이 형성된 경화부재(400)의 제조방법에 대하여 구체적으로 설명하도록 한다. Hereinafter, a method of manufacturing the hardening
먼저, 도9a에 도시된 바와 같이, 절연기판(110) 상에 금속층(450)을 형성한다. 여기서, 금속층(450)은 몰리브덴(Mo), 망간(Mn), 알루미늄(Al), 알미네리움(AlNd), 구리(Cu), 크롬(Cr) 및 이와 유사한 금속들 중 적어도 하나를 포함할 수 있다. 금속층(450)이 형성되면, 금속층(450) 상에 감광막(480)을 형성한다. 감광막(480)은 유기물질로 이루어져 있으며, 빛에 노광된 부분이 현상(develop) 공정에 서 제거되는 포지티브형(positive type)이거나 노광되지 않은 부분이 현상공정에서 제거되는 네거티브형(negative type)일 수 있다.First, as shown in FIG. 9A, a
감광막(480)이 형성되면, 도9b에 도시된 바와 같이, 일정한 패턴을 갖는 차단마스크(미도시)를 이용하여 감광막(480)을 노광(exposure) 및 현상(develop) 한다. 이에 의하여, 감광막(480)은 평탄부(481)와, 평탄부(481)보다 높은 높이를 갖는 엠보싱부(482)를 갖게 된다. 감광막(480)에 의하여 덮여지지 않은 금속층(450)은 차후에 금속층(450)의 식각(etching) 과정에서 제거될 부분이다. 한편, 제조될 경화부재(400)가 게이트 전극(140, 도3참조), 소스 전극(161, 도3참조) 및 드레인 전극(162, 도3참조), 연결전극(180, 도3참조) 중 어느 하나와 동시에 형성되는 경우라면, 상기 감광막(480)은 평탄부(481) 및 엠보싱부(482) 이외에 게이트 전극(140, 도3참조), 소스 전극(161, 도3참조)과 드레인 전극(162, 도3참조) 및 연결전극(180, 도3참조) 중 어느 하나를 형성하기 위한 패턴들도 포함한다. When the
다음, 평단부(481)와 엠보싱부(482)를 갖는 감광막(480)을 이용하여 하부의 금속층(450)을 식각한다. 금속층(450)의 식각공정에 의하여, 도9c에 도시된 바와 같이, 감광막(480)에 덮여져 있지 않은 금속층(450)은 제거되고, 평탄부(481)의 하부에 위치하는 금속층(450)의 높이는 낮아지며, 엠보싱부(482)의 하부에 위치하는 금속층(450)에는 엠보싱(410)이 형성된다. 이와 동시에, 게이트 전극(140, 도3참조), 소스 전극(161, 도3참조)과 드레인 전극(162, 도3참조) 및 연결전극(180, 도3참조) 중 어느 하나가 형성된다. 그 후, 잔존하는 감광막(480)을 제거하면, 엠보싱(410)을 갖는 경화부재(400)가 완성된다. 그리고, 금속층(450)의 식각 과정에서 게이트 전극(140, 도3참조), 소스 전극(161, 도3참조) 및 드레인 전극(162, 도3참조), 연결전극(180, 도3참조) 중 어느 하나가 형성되게 된다.Next, the
한편, 엠보싱(410)이 없는 구조의 경화부재(400)의 형성방법은 상술한 방법에서 엠보싱부(482)를 갖지 않도록 감광막(480)을 형성한 후, 금속층(450)을 식각하면 된다.Meanwhile, in the method of forming the hardening
이하, 도10 내지 도11c를 참조하여 본 발명의 제2실시예에 따르는 평판표시장치의 제조방법에 대하여 설명하도록 한다. 제2실시예에서는 제1실시예와 구별되는 특징적인 부분만 발췌하여 설명하도록 하며, 설명이 생략되거나 요약된 부분은 제1실시예에 따른다. Hereinafter, a method of manufacturing a flat panel display device according to a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 10 to 11C. In the second embodiment, only characteristic parts distinguished from the first embodiment will be described and described, and descriptions omitted or summarized will be in accordance with the first embodiment.
먼저, 도10에 도시된 바와 같이, 공지의 방법에 따라 박막트랜지스터 기판(100)을 마련하고(S110), 이와 별도의 공정으로 유기발광 기판(200)을 마련한다(S120).First, as shown in FIG. 10, according to a known method, a thin
박막트랜지스터 기판(100)과 유기발광 기판(200)이 마련되면, 실런트(300, 도3참조)를 이용하여 양 기판(100, 200)을 상호 접합시킨다(S200).When the thin
양 기판(100, 200)이 접합되면, 도11a에 도시된 바와 같이, 진공증착(Evaporation) 방법을 통하여 경화부재(400)를 절연기판(110)과 커버기판(210)의 모서리 영역에 형성한다. 진공 증착 방법은 진공챔버 내부에 합착된 평판표시장치(10)를 위치시키고, 금속물질을 증발시키는 소스(800)와 평판표시장치(10) 사이에 소정의 개구패턴(710)을 갖는 마스크(700)를 배치시킨 후, 소스(800)에 열을 가 하여 금속분자들이 개구패턴(710)을 통하여 평판표시장치(10)에 증착되도록 하는 방법이다. 이때, 경화부재(400)는 개구패턴(710)에 대응하는 위치의 평판표시장치(10)에 형성되게 된다. When both
한편, 본 발명의 제2실시예에서는 경화부재(400)가 절연기판(110)과 커버기판(210)의 모서리 영역에 형성되는 경우를 예로 들어 설명하였으나, 이에 한정되지 않고, 경화부재(400)가 후술할 프릿트(500)와 중첩될 수 있는 위치이면 절연기판(110)과 커버기판(210) 중 어느 곳에나 형성될 수 있다.Meanwhile, in the second embodiment of the present invention, the case in which the hardening
그리고, 도11a에는 박막형태의 경화부재(400)가 형성되는 경우를 설명하고 있으나, 마스크(700)의 개구패턴(710)의 형상을 작은 많은 원형으로 마련하면 도6b와 같은 입자형태의 경화부재(400)도 형성될 수 있다.11A illustrates a case in which a thin film-
다음, 경화부재(400)가 형성되면, 도10 및 도11b에 도시된 바와 같이, 접합모서리부(C)에 프릿트(500)를 형성한다(S300).Next, when the hardening
그 후, 레이져 장치(600)를 이용하여 프릿트(500)를 경화시킨다(S500).Thereafter, the
이상 설명한 바와 같이, 본 발명에 따르면, 평판표시장치에 적용되는 프릿트(frit)의 경화시 프릿트(firt) 내에 기공(pore)이 발생하는 현상을 최소화하고 내구성이 향상된 평판표시장치가 제공된다.As described above, according to the present invention, there is provided a flat panel display device which minimizes a phenomenon in which pores are generated in the frit during curing of the frit applied to the flat panel display device and improves durability. .
또한, 평판표시장치에 적용되는 프릿트(frit)의 경화시 프릿트(firt) 내에 기공(pore)이 발생하는 현상을 최소화하고 내구성이 향상된 평판표시장치의 제조방법이 제공된다.In addition, a method of manufacturing a flat panel display device having improved durability and minimizing the occurrence of pores in the frit during curing of the frit applied to the flat panel display device is provided.
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