KR20080098574A - 장파장 표면 방출 레이저 소자 및 그 제조 방법 - Google Patents
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Abstract
Description
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- 레이저를 표면 방출하는 하부 거울층, 광 이득을 제공하는 활성층, 자유 캐리어(free carrier) 흡수 손실을 줄이기 위한 터널 접합층 및 상부 거울층이 화합물 반도체 기판 상에 순차적으로 적층되고,상기 활성층, 터널 접합층 및 상부 거울층 중 적어도 어느 하나의 측면에 식각에 의하여 구경부가 형성되고,상기 구경부가 형성되는 층보다 더 큰 열 전도성을 갖는 열 방출층이 상기 구경부에 채워지는 것을 특징으로 하는 표면 방출 레이저 소자.
- 제1항에 있어서,상기 열 방출층은,상기 구경부에 증착되는 절연층과, 상기 절연층에 적층되는 금속층을 포함하는 것을 특징으로 하는 표면 방출 레이저 소자.
- 제2항에 있어서,상기 절연층은,원자층 증착법(ALD : atomic layer deposition) 또는 플라즈마 원자층 증착법(PEALD; Plasma Enhanced atomic layer deposition)에 의하여 상기 구경부의 두께보다 작게 증착되는 것을 특징으로 하는 표면 방출 레이저 소자.
- 제2항에 있어서,상기 절연층은,산화막 또는 질화막으로서 Al2O3 SiO2, SnO2, TiO2, ZrO2, In2O3, HfO2 , AlN 중에서 적어도 하나 이상 선택되는 것을 특징으로 하는 표면 방출 레이저 소자.
- 제2항에 있어서,상기 금속층은,Cu, Al, Pd, Ru, Ti, Ta, W, TiN, TaN 중에서 적어도 하나 이상 선택되는 것을 특징으로 하는 표면 방출 레이저 소자.
- 제1항에 있어서,전류를 주입하기 위한, 상기 하부 거울층과 상기 활성층 사이에 제1 전극층, 상기 활성층과 터널 접합층 사이에 제2 전극층, 상기 터널 접합층과 상부 거울층 사이에 제3 전극층이 더 적층되는 것을 특징으로 하는 표면 방출 레이저 소자.
- 제6항에 있어서,상기 구경부는,건식 식각에 의하여 노출된 상기 활성층, 제2 전극층, 터널 접합층, 제3 전 극층, 상부 거울층의 측면을 선택적 습식 식각함으로써 상기 활성층, 터널 접합층 및 상부 거울층 중 적어도 어느 하나의 측면에 형성되는 것을 특징으로 하는 표면 방출 레이저 소자.
- 제1항에 있어서,상기 구경부의 형성에 따라 상기 터널 접합층의 직경은 상기 활성층 및 상부 거울층의 직경보다 더 작은 것을 특징으로 하는 표면 방출 레이저 소자.
- 제1항 내지 제8항 중 어느 한 항에 있어서,상기 기판은 InP 로 이루어지며,상기 하부 거울층, 활성층, 터널 접합층 및 상부 거울층은 상기 기판과 동종의 물질을 포함하는 것을 특징으로 하는 표면 방출 레이저 소자.
- 제9항에 있어서,상기 하부 거울층은 InAlGaAs/InAlAs쌍, 상기 활성층은 다중양자우물 구조로서 InAlGaAs, 상기 상부 거울층은 InP/InAlAs쌍을 포함하는 것을 특징으로 하는 표면 방출 레이저 소자.
- 제6 항에 있어서,상기 제1 전극층, 제2 전극층 및 제3 전극층은 그 적층 순서대로 n-InP, p- InP 및 n-InP을 포함하는 것을 특징으로 하는 표면 방출 레이저 소자.
- 레이저를 표면 방출하는 하부 거울층, 전류를 주입하는 제1 전극층, 광 이득을 제공하는 활성층, 제2 전극층, 자유 캐리어(free carrier) 흡수 손실을 줄이기 위한 터널 접합층, 제3 전극층 및 상부 거울층을 화합물 반도체 기판 상에 순차적으로 적층하는 단계;상기 활성층, 제2 전극층, 터널 접합층, 제3 전극층 및 상부 거울층을 건식 식각하여 각각의 측면을 노출하는 단계;상기 활성층, 터널 접합층 및 상부 거울층 중 적어도 어느 하나의 측면을 선택적 습식 식각하여 구경부를 형성하는 단계;상기 구경부가 형성되는 층보다 더 큰 열 전도성을 갖는 열 방출층을 상기 구경부에 채워 넣는 단계; 를 포함하는 것을 특징으로 하는 표면 방출 레이저 소자의 제조 방법.
- 제12항에 있어서,상기 열 방출층은,상기 구경부에 절연층을 증착시킨 다음 상기 절연층에 금속층을 적층시킴으로써 형성되는 것을 특징으로 하는 표면 방출 레이저 소자의 제조 방법.
- 제13항에 있어서,상기 절연층은,원자층 증착법(ALD : atomic layer deposition) 또는 플라즈마 원자층 증착법(PEALD; Plasma Enhanced atomic layer deposition)에 의하여 상기 구경부의 두께보다 작게 증착되는 것을 특징으로 하는 표면 방출 레이저 소자의 제조 방법.
- 제12항에 있어서,상기 구경부의 형성에 따라 상기 터널 접합층의 직경은 상기 활성층 및 상부 거울층의 직경보다 더 작아지는 것을 특징으로 하는 표면 방출 레이저 소자의 제조 방법.
- 제12항 내지 제15항 중 어느 한 항에 있어서,상기 기판은 InP 로 이루어지며,상기 하부 거울층, 활성층, 터널 접합층 및 상부 거울층은 상기 기판과 동종의 물질을 포함하는 것을 특징으로 하는 표면 방출 레이저 소자의 제조 방법.
- 제16항에 있어서,상기 하부 거울층은 InAlGaAs/InAlAs쌍,상기 활성층은 다중양자우물 구조로서 InAlGaAs,상기 상부 거울층은 InP/InAlAs쌍을 포함하는 것을 특징으로 하는 표면 방출 레이저 소자의 제조 방법.
- 제12항에 있어서,상기 제1 전극층, 제2 전극층 및 제3 전극층은 그 적층 순서대로 n-InP, p-InP 및 n-InP을 포함하는 것을 특징으로 하는 표면 방출 레이저 소자의 제조 방법.
- 제1 항에 있어서,상기 레이저는 1.3 ~ 1.6 ㎛ 대역의 장파장 레이저인 것을 특징으로 하는 표면 방출 레이저 소자.
- 제12 항에 있어서,상기 레이저는 1.3 ~ 1.6 ㎛ 대역의 장파장 레이저인 것을 특징으로 하는 표면 방출 레이저 소자의 제조방법.
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