KR20080097441A - 다중 전구체 분배 장치 - Google Patents

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KR20080097441A
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드미트리 즈나멘스키
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레르 리키드 쏘시에떼 아노님 뿌르 레드 에렉스뿔라따시옹 데 프로세데 조르즈 클로드
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Abstract

본 발명의 제조 도구에 다중 전구체를 분배하기 위한 장치는 복수의 상호 연결된 서브매니폴드를 구비한 유체 매니폴드 및 복수의 탱크를 포함하며, 각 탱크는 상이한 전구체를 수용하고, 각 서브매니폴드는 탱크들 중 하나에 연결된다. 제조 도구에 다중 전구체를 분배하기 위한 시스템은 유체 매니폴드 및 복수의 탱크를 구비한 다중 전구체 분배기를 포함하며, 각 탱크는 상이한 전구체를 수용하고 유체 매니폴드의 상이한 서브매니폴드에 연결되며, 상기 서브매니폴드는 상호 연결되어 있으며, 제조 도구 유체 프로세서는 복수의 캐니스터를 구비하고, 각 캐니스터는 상이한 전구체를 수용하며, 제1 분배기 탱크는 동일한 전구체를 갖는 제1 도구 캐니스터와 소통하고, 제2 분배기 탱크는 동일한 전구체를 갖는 제2 도구 캐니스터와 소통한다. 관련 방법도 본원에 개시되어 있다.
Figure P1020087020726
서브매니폴드, 캐니스터, 전구체, 유체 매니폴드, 탱크, 다중 전구체 분배기

Description

다중 전구체 분배 장치 {MULTIPLE PRECURSOR DISPENSING APPARATUS}
본 발명은 제조 도구를 위해 다중 전구체를 분배하기 위한 장치에 관한 것이다.
처리용 화학물 전달 분야에서, 복합 화학물 분배 시스템 및 방법은 고순도 반응성 액체 화학품, 때로는 독성 액체 화학품 또는 전구체를 박막 필름 증착 도구와 같은 제조 도구(반응기)에 전달하는데 사용된다. 박막 필름을 중실의 기판에 전달하는 도구는 예를 들어, 반도체, 광학 장비와 광학 제품, 및 내화학성 코팅제를 제조하는데 사용된다. 특히, 다양한 액체 전구체는 화학 기상 증착(CVD) 공정을 사용하여 개선된 반도체 전자 제품에 인가된다. 화학물 분배 시스템은, 반도체 장치에의 인가를 위해 증착 도구의 반응기에 액체 전구체를 포함하는 혼합물을 전달한다. 전구체 증착 방법으로는 금속 유기 CVD, 원자층 CVD, 금속 게이트 및 다양한 장벽층을 사용한 고유전체(high-k gate dielectric)용 CVD 등이 있다.
제조 도구에 사용되는 액체 화학품, 또는 전구체는 캐니스터에 보유된다. 또한, 제조 공정의 중단을 최소화하고 캐니스터의 연속적 재충전을 용이하게 하기 위해, 이러한 캐니스터는 대형의 분리 탱크로 대체될 수도 있다. 전구체의 흐름을 관리하기 위해, 각 캐니스터는 캐비닛에 수용되어 있는 모든 장치와 함께 제어기 및 가스/액체 매니폴드를 필요로 하며, 전체 장치는 캐비닛에 수용된다. 전구체 캐니스터용 특정 캐비닛은, 반응기에 인접하면서 공간이 매우 협소하고 제한된 크린룸(clean room)에 위치된다. 단일 전구체 증착 공정에 있어서 이러한 구성은 전적으로 기준에 부합된다.
그러나, 산업의 요구는 변하고 있다. 이러한 생산품을 증가시키기 위한 제조자의 요구에 따라, 점차 더 많은 액체 화학품들이 화학물 전달 시스템에 의해 전달 및 관리되고 있다. 또한, 증착 공정을 위한 다중 화합물 적층제(multi-compound laminate) 산업이 발전하고 있다. 다중 화합물 적층제를 증착시키기 위해, 둘 이상의 전구체가 단일 도구에 동시에 공급될 필요가 있을 수 있다. 복수의 전구체 각각은 독립적인 전달 장치를 필요로 하고, 이 장치는 유체 매니폴드 또는 각 전구체를 관리하기 위한 프로세서, 각 전구체를 수용할 수 있는 특정 캐비닛 및 유체 프로세서를 포함한다. 추가 전달 장치는 시스템이 차지하는 공간 및 비용을 증가시킨다. 반응기에 인접한 크린룸 내에 캐비닛 또는 다중 전구체 유체 프로세서를 위치시키는 것은 비현실적이고 바람직하지 않은데, 크린룸 내에 이용 가능한 공간은 협소하여 다중 전구체 프로세서로 인해 증가된 설치 공간을 수용할 수 없기 때문이다. 또한 전구체 프로세서를 크린룸으로부터 이격시키는 것은 비현실적이고 바람직하지 않으며, 이는 캐니스터로부터 나오는 유량을 상당히 감소시키기 때문이다. 캐니스터의 체적은 상대적으로 작기 때문에 (예를 들어, 1리터), 캐니스터와 도구 사이의 거리가 상당히 길다면 도구가 요구하는 적절한 유량을 제공할 수 없다. 그러므로, 특히 산업상 단일 도구에 다중 전구체를 공급해야 할 필요로 인해 현재의 화학물 전달 시스템에는 한계가 있다.
본 발명의 일 실시예에서, 제조 도구에 다중 전구체를 분배하기 위한 장치는 복수의 상호 연결된 서브매니폴드를 구비한 유체 매니폴드 및 복수의 탱크를 포함하며, 각 탱크는 상이한 전구체를 수용하고, 각 서브매니폴드는 탱크들 중 하나에 연결된다. 본 발명의 다른 실시예에서, 제조 도구에 다중 전구체를 분배하는 방법이 개시된다.
본 발명의 또 다른 실시예에서, 제조 도구에 다중 전구체를 분배하기 위한 시스템은 유체 매니폴드 및 복수의 탱크를 구비한 다중 전구체 분배기를 포함하며, 각 탱크는 상이한 전구체를 수용하고 유체 매니폴드의 상이한 서브매니폴드에 연결되며, 상기 서브매니폴드는 상호 연결되어 있으며, 제조 도구 유체 프로세서는 복수의 캐니스터를 구비하고, 각 캐니스터는 상이한 전구체를 수용하며, 제1 분배기 탱크는 동일한 전구체를 갖는 제1 도구 캐니스터와 소통하고, 제2 분배기 탱크는 동일한 전구체를 갖는 제2 도구 캐니스터와 소통한다. 다른 실시예에는 관련 시스템 방법이 개시되어 있다.
본 발명의 양호한 실시예를 더 자세히 설명하기 위해, 첨부된 도면이 참조될 것이다.
도1A 및 도1B는 본 발명의 실시예에 따른 다중 전구체 분배기의 개략도로서, 도1A는 분배기의 유체 매니폴드부를 도시하며, 도1B는 분배기의 화학물 탱크부를 도시한다.
도2는 본 발명의 실시예에 따른 보조 유닛의 개략도이다.
도3은 본 발명의 실시예에 따른 제조 도구의 유체 프로세서의 개략도이다.
도4A 내지 도4D는, 도1A 및 도1B의 다중 전구체 분배기와, 도2의 보조 유닛과, 도3의 제조 도구의 유체 프로세서를 포함하는 본 발명의 실시예에 따른 전체 시스템의 대체 실시예의 개략도이다.
특정 시스템의 구성 요소를 언급하기 위해 하기의 기재 및 청구항에 걸쳐 특정 용어가 사용된다. 본원은, 명칭이 다르나 기능은 동일한 구성 요소를 구분하지 않는다.
하기의 기재 및 청구항에서 "포함하다" 및 "구비하다"라는 용어는 제한 없이 사용되기 때문에, 이는 "포함하지만 제한되지 않는다"의 의미로 해석해야 한다. 또한, 본원에서 사용된 용어 "전구체(precursor)"는, 증착 공정을 통해 반도체 또는 기타 제조품에 가해진 층의 일부가 되는 반응 물질을 의미한다. 전구체는 반응성 및 독성 화합물로서, 보통의 또는 낮은 휘발성을 갖고 극소 농도의 산소와 수분에 매우 민감하다. 또한 본원에서, "전구체"라는 용어는 본원에 기재된 증착 공정에서 저장되고, 전달되고 사용되는 화학품을 언급하는데 더 일반적으로 사용된다. 본원에 기재된 다양한 구성 요소는 도관 또는 라인에 의해 연결되거나 이를 통해 소통하며, 용어 "도관" 또는 "라인"은 파이프, 튜브, 또는 가스 및 가스의 액상 대응물을 운반하기 위한 기타 수단을 포함할 수 있다.
도1A 및 도1B를 참조하면, 벌크 다중 전구체 프로세서 또는 다중 분배기(10)가 개략적인 형태로 도시되어 있다. 다중 분배기(10)를 개략도에서 더 명확하게 나타내기 위해 유체 매니폴드부(도1A 참조)와 화학물 탱크부(도1B 참조)로 나누어 도시하였다. 다중 분배기(10)는 다수의 다양한 전구체를 동시에 취급할 수 있다. 예를 들어, 분배기는 2 내지 5개의 전구체를 취급할 수 있다. 또한 일부 실시예에서, 분배기는 용매, 더 많은 전구체 또는 다른 화학품을 취급한다. 전구체의 반응성 때문에, 전구체는 신뢰성 있는 비오염 전달 수단을 적절하게 사용할 필요가 있다. 다중 분배기(10)는, 예를 들어 도4A 내지 도4D를 참조하여 본원에 기재된 시스템과 같은 고순도 액체 전달 시스템에 사용될 수 있다.
다중 분배기(10)는 도1B에 도시된 바와 같이, 제1 벌크 소스 캐니스터 또는 모탱크(mother tank; 14) 및 제2 벌크 소스 캐니스터 또는 모탱크(16)를 수용하는 인클로져(enclosure; 12)를 포함한다. 제1 모탱크(14)는 제1 전구체를 수용하며 제2 모탱크(16)는 제2 전구체를 수용한다. 분배기(10)는 제조 공정에 필요한 다양한 전구체의 수에 따라 추가 탱크를 포함할 수 있다. 전구체 재료를 수용하기 위해, 본원에 교시된 대로 또한 당업자에게 공지된 바와 같이 모탱크(14, 16)가 구성된다. 또한 본원에 기재된 공정용으로 적당한 모탱크의 크기는 예를 들어, 15 내지 20 갤런(약 57 리터 내지 약 76 리터)의 범위이다.
도1A에 잘 도시된 바와 같이, 제1 모탱크(14)는 제1 화학물 블록 또는 전구체 서브매니폴드(18)에 연결되며 제2 모탱크(16)는 제2 화학물 블록 또는 전구체 서브매니폴드(22)에 연결된다. 화학물 블록(18)은 모탱크(14)와 관련되어 모탱 크(14)로부터 공정 라인 또는 도관(54)으로 액체 생성물을 보낸다. 동일하게, 화학물 블록(22)은 모탱크(16)와 관련되어, 모탱크(16)로부터 공정 라인(56)으로 액체 생성물을 보낸다. 또한 화학물 블록(18, 22)은 예를 들어, 가스의 가압/감압, 가스 세척 및 진공 세척, 용매 배수, 및 본원에 교시된 다른 공정 등 다양한 유지 공정 동안, 필요한 유체 전환을 수행한다.
또한 도1A를 참조하면, 제1 모탱크(14)는 제1 가스 블록 또는 서브매니폴드(24)에 연결되며, 제2 모탱크(16)는 제2 가스 블록 또는 서브매니폴드(26)에 연결된다. 가스 블록(24, 26)은 필요에 따라 간헐적으로 모탱크에 가압 가스를 제공하며, 모탱크로부터 화학품이 전달될 때 가스 압력의 정확한 설정치를 유지한다. 각각의 화학물 블록(18, 22) 및 가스 블록(24, 26)은 일련의 압력 조절기, 압력 센서, 체크 밸브, 셧오프(shut-off) 밸브, 오리피스 및 도1에 개략적으로 도시된 기타 장치들을 포함하며, 이는 통합해서 분배기 유체 매니폴드로 명명될 수 있다. 이러한 장치들 중 일부는 하기에 더 자세하게 기재된다. 그러나, 이러한 장치들 중 일부는 당업자에게 공지되어 있으며, 그 기재가 본원에 기재된 발명의 실시예를 명확하게 이해하는데 유용하지 않기 때문에 본원에서는 자세하게 기재하지 않았다. 또한, 압력 조절기, 밸브 및 오리피스의 다양한 조합체가 본원에 기재된 본 발명의 실시예와 함께 사용될 수 있다. 본 발명은 본원에 기재된 이러한 장치의 조합으로 제한되어서는 안되며, 당업자는 본 발명이 본원에 교시된 다른 조합을 포함한다는 것을 알 수 있을 것이다.
계속해서 도1A을 참조하면, 조절 및 필터링 가스 라인(28, 30)이 가스 블 록(24)에 연결된다. 또한 가스 블록(24)은 압력 조절기(36, 38), 방출 오리피스(40), 셧오프 밸브(42, 44, 46), 및 체크 밸브(48, 50, 52)를 포함한다. 모탱크(14)의 공정 압력은 압력 조절기(36, 38) 및 방출 오리피스(40)와는 별개로 독립적으로 설정되며, 셧오프 밸브(48, 50, 52)에 의해 자동적으로 균형 잡힌다. 다르게, 오리피스(40)는 모탱크에 요구되는 설정 압력의 범위 및 정밀도에 따라, 메터링 밸브(metering valve) 또는 질량 유량계(mass-flow-controller)로 대체될 수 있다. 가스 블록(24)의 하류에 대규모 구성 요소의 파손이 발생하면, 각각의 체크 밸브(48, 50)는 형성된 액체로 인한 임의의 잠재적 오염으로부터 공급 가스 라인(28, 30)을 격리시킨다. 체크 밸브(52)는 하류 화학물 블록(18)에서 기인하는 배출 흐름으로부터 발생할 수 있는 오염을 방지한다.
유사하게, 가스 라인(32, 34)은 가스 블록(26)에 연결되며, 가스 블록(26)은 가스 블록(24)과 관련하여 기재된 장치와 동일한 장치를 포함한다. 특히, 가스 블록(26)은 압력 조절기(66, 68), 방출 오리피스(70), 셧오프 밸브(72, 74, 76) 및 체크 밸브(78, 80, 82)를 더 포함한다. 이러한 일련의 장치는 가스 블록(24)에 대응되는 장치와 동일하게 작동한다. 또한, 본원에 기재된 가스 블록은 매니폴드(12)에 포함될 수 있으며, 이는 다중 분배기(10)에 포함된 모탱크의 수에 의존한다.
계속해서 도1A를 참조하면, 가스 블록(24)은 밸브(23)를 구비한 도관(20)을 통해 화학물 블록(18)에 연결된다. 화학물 블록(18)은 밸브(84, 86, 88, 90, 92, 94, 96) 및 오리피스(98) 그룹을 더 포함한다. 도1B에 도시된 바와 같이, 화학물 블록(18)과 모탱크(14) 사이에 밸브(99, 100, 102) 그룹이 배치된다. 모탱크(14)에 형성된 액체는 밸브(84, 88)가 정상적으로 폐쇄되었을 때 밸브(86, 99)가 정상적으로 개방된 라인(104)을 통해, 가스 블록(24)에 의해 개별적으로 가압된다. 밸브(84)는 라인(106)에 라인(104)을 연결함으로 라인(104)의 압력을 경감시키며, 그 후 라인(106)은 배출 라인(108)에 연결된다. 모탱크(14)에 형성된 액체는 밸브(100)가 개방되고 밸브(102)가 폐쇄됨에 따라 출구 라인(110)을 통해 배출되고, 개방 밸브(90)를 통해 공정 라인(54)으로 배출된다. 배출되는 동안 밸브(88, 92)는 폐쇄된다.
이때, 모탱크(14)에 형성된 액체가 거의 비게 된다. 모탱크의 거의 비워진 상태는 센서 지시계(51)로 도식적으로 도시된 액체 레벨 센서에 의해 감지된다. 사용되는 실제 센서는 외부 또는 내부 센서, 및 연속 또는 불연속 센서를 포함한다. 다른 액체 레벨 센서가 당업자에게 공지되어 있으며 본원에서 사용될 수 있다. 탱크(14)는 센서(53, 55)를 더 포함할 수 있다. 이렇게 배치된 센서(51, 53, 55)에서, 센서(53)는 "로우(LOW)" 센서로 작용하며, 이는 탱크(14)가 교체 또는 재충전될 수 있지만 바로 실행될 필요는 없다는 것을 지시한다. 필요하다면, 탱크(14)에 남아 있는 작은 전구체 공급원에 의해 도구 공정이 완성될 수 있다. 센서(51)는 "로우-로우(LOW-LOW)" 센서로 작용하며, 이는 탱크(14)가 충분한 전구체 공급물을 수용하지 않기 때문에 도구 공정이 중단되어야 함을 지시한다. 센서(55)는 "하이(HIGH)" 센서로 작용하며, 이는 탱크(14)가 가득 차 있음을 지시한다. 모탱크(16)는 로우-로우 센서(57), 로우 센서(59) 및 하이 센서(61)를 포함하는 유사 한 센서의 구성을 포함한다.
모탱크(14)를 재충전 및/또는 교체할 때, 화학물 블록(18)으로부터 탱크를 제거하는 교환 절차가 발생한다. 대기 상태로의 시스템 개방은 시스템에 남아있는 반응 전구체를 대기의 성분, 특히 산소 및 수증기에 노출시킨다. 그러므로, 시스템을 개방하기 전에 라인에 남은 잔여물은 세척되어야 한다. 대부분의 세척은 가스 및/또는 진공을 사용하여 수행될 수 있다. 이러한 전구체 잔여물은 이러한 방법으로는 제거되지 않기 때문에, 용매가 라인을 충분히 세척하기 위해 사용된다. 반응 전구체에 노출된 화학물 블록(18)의 특정 부분은 밸브(98, 100)가 폐쇄된 동안 밸브(92)를 통해, 또한 폐기물 라인(114)으로 이어지는 출구 라인(112)으로의 개방 밸브(102)를 통해 적절한 용매로 세척된다. 용매 세척은 본원의 다른 문단에 더 자세하게 개시되고 도시된 용매 탱크 및 매니폴드에 의해 지지된다. 또한, 폐기물 라인(114)은 배출 라인(108)과 소통할 수 있다. 폐기물 라인(114)은 밸브(116, 118)를 더 포함하고, 배출 라인(108)은 밸브(120)를 포함한다. 밸브(116)가 개방되고, 밸브(118, 120)가 폐쇄되면, 폐기물은 폐기물 탱크(도2 및 도4A 참조, 본원의 다른 문단에 더 자세하게 개시됨)로 이동한다. 다르게, 세척 가스는 밸브(88)를 통해 화학물 블록(18)에 유입되어 밸브(102)로 들어가고, 폐기물은 폐기물 탱크 또는 배출 라인(108)으로 이동한다. 폐기물이 개방 밸브(120)를 통해 배출 라인(108)으로 향하게 되면, 폐기물은 밸브(122)를 폐쇄함으로 진공 라인(124)으로 유도될 수 있다. 이러한 소기 공정 동안, 압력 센서(126)에 의해 잔여압이 모니터링된다.
모탱크(14)가 교환될 동안, 화학물 블록(18)에서 탱크가 해체되면 개방 밸브(86, 88)를 통해 흘러나온 비활성 기체가 유지된다. 오리피스(98)는 흘러나오는 가스의 흐름을 소정의 안정 유량으로 제한한다.
도1A 및 도1B를 참조하면, 제2 가스 블록(26), 제2 화학물 블록(22), 및 제2 모탱크(16)의 배치는 전술된 제1 가스 블록(24), 제1 화학물 블록(18), 및 제1 모탱크(14)의 배치와 거의 유사하다. 더 구체적으로, 밸브(25)를 구비한 도관(21)을 통해 가스 블록(26)이 화학물 블록(22)에 연결된다. 화학물 블록(22)은 밸브(134, 136, 138, 140, 142) 및 오리피스(144) 그룹을 더 포함한다. 화학물 블록(22)과 모탱크(16) 사이에 밸브(148, 150, 152) 그룹이 배치된다. 모탱크(16)에 형성된 액체는 전술된 바와 같이 가스 블록(26)에 의해 개별적으로 가압된다. 모탱크(16)에 형성된 액체는 출구 라인(154)을 통해 공정 라인(56)으로 배출된다. 라인(158)은 공통 라인(shared line; 106)과 연결된 후 공통 배출 라인(108)과 연결된다. 공통 라인(106)은 유체 프로세서(10)의 다양한 서브매니폴드가 단일의 공통 배출 라인(108)과 상호 연결되고 소통하게 한다. 추가 모탱크와 관련된 추가 서브매니폴드가 공통 라인(106)과 동일한 방식으로 연결될 수 있어서 공통 배출 라인(108) 역시 공통으로 사용될 수 있다.
분배기(10)에 포함된 임의의 추가 모탱크 및 전술된 모탱크(14)와 같은 모탱크(16)에 대해, 교환 및 라인 배출 절차가 반복될 수 있다. 출구 라인(156)은 모탱크(16)로부터 전술된 공통 폐기물 라인(114)으로 폐기물을 전달한다. 앞서와 같이 공통 폐기물 라인(114)은 분배기(10)의 다른 부분과 소통하고, 본원에 참조된 임의의 다양한 상호 연결 화학 서브매니폴드로부터 폐기물을 배출하기 위해 공통 라인을 제공한다.
유체 프로세서(10)의 일부 실시예에서, 가스 블록(24, 26)은 다중 화학물 블록을 지지하는 단일 공통 가스 블록에 결합될 수 있다. 도1A를 참조하면, 이러한 공통 가스 블록은, 대부분의 가스 블록(26)이 제거되어 라인(21)이 밸브(25)의 상부로부터 밸브(23)의 상부 라인(20)으로 연결되는 것을 제외하고는 가스 블록(24)과 유사하다. 유체 프로세서(10)가 더 많은 전구체를 공급하면, 화학물 블록용 가스 공급 라인은 공통 가스 블록의 주요 가스 공급 라인과 이러한 방식으로 연결될 것이다. 공통 가스 블록은 프로세서(10)용 공통 가스 가압 서브시스템을 갖춘다.
도2를 참조하면, 보조 모듈 또는 유닛(200)이 개략적으로 도시된다. 보조 모듈(200)은 분배기(10)로부터 일정 거리에 위치된 캐비닛(202)에 수용되거나, 다르게는 유닛(200)은 분배기(10)와 함께 동일한 인클로져 또는 캐비닛에 수용된다. 보조 유닛(200)은 용매 출구 라인(204)을 통해 분배기(10)와 소통한다. 일반적으로, 보조 유닛(200)은 가스 블록(206), 폐기물 탱크 서브매니폴드(210)가 합체된 폐기물 탱크(208), 및 용매 탱크 서브매니폴드(214)가 합체된 용매 탱크(212)를 포함한다. 가스 블록(206)은 전술된 가스 블록(24, 26)과 동일한 전반적인 구조 및 기능을 갖춘다. 그러므로, 보조 유닛(200)의 독립적인 특징을 자세하게 기재할 필요가 있을 때를 제외하고는 가스 블록(206)을 구체적으로 기재할 필요는 없다. 보조 유닛(200)의 기능 중 하나는 전술된 분배기(10)의 폐기물 특징부 및 용매 세척을 보조하는 것이다.
요구가 있을 때, 용매 탱크(212) 내의 용매는, 가스 블록(206)에서 개시되는 가스에 의해 밸브(216, 218)를 통해 용매 공급 라인(204)으로 가압된다. 용매는 공급 라인(204)을 통해 분배기(10)의 공통 용매 공급 라인(204)으로 이동하며(도1A 및 도4B 참조), 그 후 용매는 밸브(94)를 통해 공통 분배기 용매 라인(160)으로 또는 밸브(96)를 통해 도구 용매 공급 라인(204)으로 이동할 수 있다. 그러므로, 공통 용매 공급 라인(204)은 보조 유닛(200)이 분배기(10) 및 도구의 유체 프로세서(300)를 보조하게 허용한다. 분배기(10)에서, 공통 라인(160)은 분배기의 모든 화학물 블록을 보완한다.
압력 센서(220)에 의해 액체 용매 압력이 모니터링된다. 본원에 교시된 로우 레벨 센서(215) 및 로우-로우 레벨 센서(213)에 의해 용매 탱크(212)가 거의 비었을 때가 감지되면, 전술된 교환 절차와 유사한 교환이 일어난다. 액체 라인(222)에 참조되어 통상적으로 도시된 용매 탱크 서브매니폴드(214)의 액체 레그(liquid leg)는 세척 가스로 세척되고, 용매 탱크(212)가 연결 해제되기 전에 소기된다. 용매 탱크(212)가 연결 해제될 때, 가스 라인(224)에 참조되어 통상적으로 도시된 액체 레그와 가스 레그 모두에 비활성 가스가 흐른다. 새로운 용매 탱크가 부착된 후, 그리고 임의의 탱크 밸브가 개방되기 전, 대기 오염에 영향받은 라인을 제거하기 위해 라인(228)에서 액체 레그와 가스 레그 모두가 진공 세척된다.
예를 들어 세척 용매, 형성된 화학품, 또는 둘의 조합 등의 폐기물 액체를 다중 분배기(10) 및 증착 도구로부터 폐기물 탱크(208)까지 소통시키기 위해 공통 폐기물 라인(114)이 사용된다. 보조 유닛의 밸브(234, 236, 238)를 폐쇄할 동안 분배기(10)의 밸브(118, 116)(도1B 및 도4D) 및 보조 유닛(200)의 밸브(230, 232)(도2 및 도4A 참조)를 개방함으로 분배기 및 도구로부터 폐기물 및 세척 가스를 배출시키기 위해, 배출 라인(226)이 사용된다. 그러므로, 상호 연결된 분배기 모듈, 도구 모듈, 및 보조 모듈 사이에 공통 진공 서브시스템이 공유된다. 요구가 있을 때, 밸브(232, 236, 238)가 폐쇄될 동안 개방 밸브(230, 234) 및 진공 라인(228)을 통해 폐기물 라인(114)이 소기된다.
분배기(10) 및 보조 유닛(200)의 다양한 부품 및 작동은 제어기에 의해 제어된다. 본원에 개시된 다양한 실시예와 함께 사용할 수 있는 제어기는 산업상 널리 이용되고 있기 때문에, 본원에서는 제어기를 따로 도시 또는 기재하지 않았다. 제어기는 다른 탱크 매니폴드 조합체와는 독립적으로 각각의 탱크 매니폴드 조합체[예를 들어, 모탱크(14) 및 화학물 블록(18)/가스 블록(24), 또는 용매 탱크(212) 및 매니폴드(214)/가스 블록(206)]를 제어하도록 구성된다. 그러므로 각 전구체는 다른 전구체와는 독립적으로 관리 및 분배되고, 제조 도구에 다양한 전구체를 제공하는 전체 공정은 유동적이다. 예를 들어, 하나의 전구체 또는 다중 전구체가 한번에 공급될 수 있다. 또한 하나 이상의 모탱크는 다른 모탱크가 전구체 재료를 공급할 동안 교환될 수 있다.
도3을 참조하면, 증착 또는 제조 도구용 화학물 공급 시스템 또는 유체 프로세서(300)가 개략적으로 도시되어 있다. 유체 프로세서(300)는 예를 들어, 하나 이상의 제조 또는 조립 설비일 수 있는 도구 인클로져(302)를 포함한다. 유체 프 로세서(300)는 화학물 매니폴드(308)가 합체된 제1 데이탱크(day tank; 306), 화학물 매니폴드(312)가 합체된 제2 데이탱크(310), 및 화학물 매니폴드(316)가 합체된 용매 데이탱크(314)를 더 포함한다. 프로세서(300)는 제조 공정 및 제조 공정에 필요한 전구체의 수를 만족시키는데 필요한 화학물 매니폴드 및 데이탱크 세트를 더 포함한다. 탱크(306, 310, 314)는 본원에 개시된 다른 탱크를 포함하여 본원에 교시된 바와 같이 구성된다. 탱크(306, 310, 314)의 크기는, 예를 들어, 모탱크(14, 16)보다 20 또는 30배 작은 크기(2리터보다 작은 크기)를 포함한 다양한 크기일 수 있다. 모탱크가 데이탱크보다 훨씬 클 수 있기 때문에, 모탱크는 소스 용기로, 데이탱크는 도우징 용기(dosing container)로 언급될 수도 있다.
전술된 다중 전구체 분배 유닛(10) 및 보조 유닛(200)은 도구의 유체 프로세서(300)를 보조하는데 사용된다. 데이탱크(306)와 매니폴드(308)의 조합체는 전구체 화학물 생산 라인(54)과 소통한다. 데이탱크(310)와 매니폴드(312)의 조합체는 전구체 화학물 생산 라인(56)과 소통한다. 용매 데이탱크(314)와 매니폴드(316)의 조합체는 공통 용매 공급 라인(204)과 소통하여 상호 연결된 분배기, 보조기, 도구 유닛 사이에 공통 용매 서브시스템을 제공한다. 공통 폐기물 라인(114)은 상기 세 개의 유닛들 사이의 공통 폐기물 서브시스템을 보조한다. 전술된 바와 같이, 공통 폐기물 라인(114)은 공통 진공 서브시스템을 제공하기 위해, 보조 유닛(200)의 배출 라인(266)과 진공 라인(228)과도 소통한다. 그러므로 다중 전구체를 필요로하는 도구의 유체 프로세서는 단일의 모듈식 적합 다중 전구체 분배기에 의해 공급된다. 전술된 구성에서, 또한 도구의 유체 프로세서 및 전구체는 독립적으로 또는 분배기와 함께 수용되는 단일 모듈 용매 및 폐기물 유닛에 의해서 지지된다.
통상적으로, 금속 유기 CVD 또는 원자층 증착 도구는 공정 챔버에 매우 근접해있는 도우징 캐니스터를 포함하여, 전구체 전달을 더 양호하게 제어한다. 본 발명의 전술된 실시예는 이러한 도구에 적합하며, 또한 과다한 고가의 도우징 캐니스터를 방지한다. 그러나, 일부 실시예에서, 분배기(10)는 도구의 유체 프로세서(300)의 도우징 캐니스터(306, 310, 314)를 포함하도록 구성된다. 분배기 인클로져(12)는, 본원에 개시된 공통 라인을 통해 용매, 폐기물, 진공, 및 일부 실시예에 있어서는 가압 가스 서브시스템을 공유하는 모듈식 통합 유체 프로세서를 제공하면서 외측 목표 프로세스 도구 또는 도구들을 연속적으로 보조하도록, 도3에 도시된 탱크 매니폴드 조합체를 포함하도록 구성된다.
블록 또는 서브매니폴드와, 분배기(10), 보조 유닛(200), 및 유체 프로세서(300)의 다양한 부품들 사이의 연결 라인은 본원에 개시된 화학품을 보유하도록 설계된다. 예를 들어, 라인은 고순도 스테인레스 스틸 관으로 제조될 수 있다. 본원에 개시된 셧오프 밸브는 예를 들어, 스프링이 없는 다이어프램 고순도 밸브일 수 있다.
도4A 내지 도4D를 참조하면, 다중 화학품용 통합 액체 전달 시스템(400)이 개략적으로 도시되어 있다. 도4A 내지 도4D는 완전 통합 시스템을 도시하였으며, 명확한 도시를 위해 분리된 도면에 도시하였다. 시스템(400)은 공통 용매 공급 라인(204) 및 공통 폐기물 라인(114)을 통해 모듈 보조 유닛(200)에 연결된 전술된 모듈 다중 분배기(10)(도4B 및 도4D 참조)를 포함한다. 또한 시스템은, 공통 용매 공급 라인(204), 제1 전구체 라인(54), 제2 전구체 라인(56), 및 공통 폐기물 라인(114)을 통해 분배기(10)에 연결된 도구의 유체 프로세서(300)(도4C 참조)를 포함한다. 분배기(10)는 도구에 인접한 크린룸(crean room)과 같이 프로세서(300)에 근접하여 위치될 수 있거나, 또는 프로세서로부터 상당한 거리에 위치될 수 있다. 데이탱크에 비해 대형인 화학물 탱크는 상당히 먼 거리에서도 액체 형성물의 유량이 유지되게 허용한다. 또한 프로세서(300)는 공통 용매 공급 라인(204) 및 공통 폐기물 라인(114)을 통해 보조 유닛(200)(도4A 참조)에 연결된다. 도구의 다른 부분은 당업자에게 공지되어 있으며 본원 실시예의 완전한 기재를 위해 요구되지 않기 때문에, 프로세서(300)는 전체 제조 도구(미도시)의 일부만을 도시하였다.
작동시, 통합 시스템(400)은 알고리즘을 갖는 제어기(미도시)에 의해 제어되며, 상기 제어기는 일부 유닛들 사이의 소통을 관리하고 통합 시스템을 완성시킨다. 전술된 바와 같이, 시스템의 일부 유닛은 다양한 공통 구성 요소를 통해 소통한다. 공통 구성 요소를 갖는 제어기 및 다른 유닛들의 임의의 조합은, 통합 시스템이 모듈 도구로서 이행되게 허용한다. 제어기는 본원에 교시된 임의의 다양한 제어기일 수 있으며, 예를 들어, 분배기(10) 또는 유체 프로세서(300)를 포함하여 다양한 위치에 위치될 수 있다. 제어기가 도구의 유체 프로세서(300) 내에 또는 그 부근에 위치되면, 사용자가 분배기(10)의 탱크를 교환하도록 그렇지 않으면 분배기(10) 또는 보조 유닛(200)을 인터페이스 연결하도록 인터페이스가 분배기(10) 내에 위치된다. 제어기는, 전술된 바와 같이 탱크가 서로 독립적으로 작동되는 방식으로 시스템(400)의 다양한 서브시스템과 소통하도록 구성된다. 다르게, 도구 및 분배기에 분리 제어기가 사용된다면, 제어기가 서로 소통하여 도구는 화학물 탱크가 교환될 때를 판단하고 분배기는 도구가 전구체를 필요로 할 때를 판단한다.
제어 알고리즘의 일부는 재충전 알고리즘이며, 재충전 알고리즘은 도구 프로세서에 위치된 용매 데이탱크(314) 및 전구체 데이탱크(306, 310)를 개별적으로 재충전하도록 지시한다. 분배기(10)의 모탱크(14, 16)는 전구체를 공급하며, 보조 유닛(200)의 용매 공급 탱크(212)는 공정 용매를 공급한다. 각 데이탱크에 설치된 적절한 액체 레벨 제어 센서에 의해 각 데이탱크의 재충전이 개시된다. 예를 들어, 제어 센서는 본원에 개시된 다른 센서와 일치되는 로우 레벨 지시계일 수 있다. 재충전 흐름은 모탱크들의 설정 압력과 각각에 대응되는 데이탱크의 설정 압력 사이의 압력 차이에 의해 유지되며 이 둘 모두는 자동적으로 제어된다. 소정의 델타 압력은 자동적으로 선택되어 빠르게 재충전되는 반면, 데이탱크의 압력은, 특히 형성된 화학품이 데이탱크로부터 도구의 공정 라인으로 (그리고 도구의 사출 시스템으로) 동시에 배출될 때, 동요되지 않는다.
하이 화학물 레벨 지시계와 같은 데이탱크 액체 레벨 지시계가 데이탱크가 충전되었다는 신호를 보내면 재충전이 중단된다. 데이탱크 센서는 예를 들어, 부력, 초음파, 캐패시턴스, 및 다양한 압력과 같은 내부 센서, 및 초음파 및 광학과 같은 외부 센서를 포함한다. 데이탱크 센서는 연속적 또는 불연속적일 수 있다.
모탱크에 남아있는 전구체 또는 용매의 양은 제어기 알고리즘에 의해서도 모니터링된다. 모탱크는 연속적 또는 불연속적으로 모니터링될 수 있다. 모탱크는 예를 들어, 중량 계측 센서 및 초음파 센서와 같은 외부 센서를 포함한다. 모탱크 센서가 "로우"라는 신호를 보내면, 탱크 교환 절차가 개시된다. 이러한 절차는 당업자에게 공지된 절차 및 본원에 교시된 절차를 포함한다.
폐기물 탱크(208)의 폐기물 레벨은 제어기 및 폐기물 탱크 레벨 제어 센서(209, 211)에 의해 모니터링된다. 상기 폐기물 탱크 센서는 본원에 교시된다. 폐기물 탱크 센서가 "하이" 레벨을 지시하면, 당업자에게 공지된 원리에 따라 또한 본원에 교시된 바와 같이 폐기물 탱크 교환 절차가 진행된다.
본원에 개시된 다중 분배기(10)의 실시예는, 목표 공정 도구에 다중 전구체를 연속적으로 공급하기 위해 모듈 통합 다중 화학 유체 프로세서를 제공한다. 또한 본원에 개시된 바와 같이, 분배기(10)는 도구의 유체 프로세서에 전구체를 저장 및 전달하기 위한 시스템을 제공하기 위해 다른 모듈과 결합할 수 있으며, 제조 도구는 다중 화합물 적층제를 증착시키기 위해 다중 전구체를 성공적으로 또한 연속적으로 수용할 수 있다.
전술된 기재는 본 발명의 다양한 실시예 및 원리를 예시적으로 나타낸 기재이다. 본 발명의 양호한 실시예 및 이를 사용하는 방법이 도시 및 개시되어 있으며, 본 발명의 범위 내에서 당업자에 의해 본 발명이 수정될 수 있다. 본원에 개시된 실시예는 예시적일 뿐이며 제한되지 않는다. 본 발명의 다양한 변경 및 수정과, 본원에 개시된 장치 및 방법이 본 발명의 범위 내에서 가능할 수 있다. 따라서, 본 발명의 보호 범위는 전술된 기재로 제한되지 않으며, 첨부된 청구항에 의해서만 제한되며, 이러한 보호 범위는 청구항 내용의 모든 등가물을 포함한다.

Claims (38)

  1. 제조 도구에 다중 전구체를 분배하기 위한 장치이며,
    복수의 상호 연결된 서브매니폴드를 갖춘 유체 매니폴드와,
    상이한 전구체를 각각 수용하는 복수의 탱크를 포함하며,
    상기 서브매니폴드 각각은 상기 탱크들 중 하나에 연결되는 다중 전구체 분배 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 유체 매니폴드는 상기 복수의 탱크 각각에 연결된 전구체 서브매니폴드를 더 포함하며, 상기 전구체 서브매니폴드는 상호 연결되어 있는 다중 전구체 분배 장치.
  3. 제2항에 있어서, 상기 전구체 서브매니폴드는 공통 용매 공급 라인과 공통 폐기물 라인 중 적어도 임의의 하나에 의해 상호 연결되는 다중 전구체 분배 장치.
  4. 제2항에 있어서, 상기 유체 매니폴드는 상기 전구체 서브매니폴드 각각에 연결된 가압 가스 서브매니폴드를 더 포함하며, 상기 가압 가스 서브매니폴드는 상호 연결되어 있는 다중 전구체 분배 장치.
  5. 제4항에 있어서, 상기 가압 가스 서브매니폴드는 적어도 공통 배출 라인에 의해 상호 연결되는 다중 전구체 분배 장치.
  6. 제2항에 있어서, 상기 유체 매니폴드는 상기 전구체 서브매니폴드 각각에 연결된 단일 가압 가스 서브매니폴드를 더 포함하는 다중 전구체 분배 장치.
  7. 제1항에 있어서, 상기 복수의 탱크는 제조 도구의 유체 프로세서의 도우징 캐니스터보다는 사실상 큰 소스 용기를 포함하는 다중 전구체 분배 장치.
  8. 제1항에 있어서, 상기 상호 연결된 서브매니폴드로부터 폐기물을 수용하기 위한 폐기물 탱크와 상기 상호 연결된 서브매니폴드에 용매를 공급하기 위한 용매 탱크를 구비한 보조 유닛을 더 포함하는 다중 전구체 분배 장치.
  9. 제8항에 있어서, 상기 폐기물 탱크는 또한 상기 상호 연결된 서브매니폴드들과 공유하는 폐기물 라인을 통해 제조 도구의 유체 프로세서로부터 폐기물을 수용하며, 상기 용매 탱크는 또한 상기 상호 연결된 서브매니폴드와 공유하는 용매 공급 라인을 통해 상기 유체 프로세서에 용매를 공급하는 다중 전구체 분배 장치.
  10. 제1항에 있어서, 상기 탱크 각각은 적어도 하나의 레벨 센서를 포함하는 다중 전구체 분배 장치.
  11. 제10항에 있어서, 상기 탱크 각각은 로우 센서, 로우-로우 센서 및 하이 센서를 포함하는 복수의 액체 레벨 센서를 포함하는 다중 전구체 분배 장치.
  12. 제1항에 있어서, 상기 유체 매니폴드 및 각각의 상기 복수의 탱크와 소통하는 제어기를 더 포함하는 다중 전구체 분배 장치.
  13. 제12항에 있어서, 상기 제어기는, 상기 탱크 각각이 나머지 탱크들과 독립적으로 작동할 수 있도록 각각의 서브매니폴드 및 탱크의 조합체와 소통하는 다중 전구체 분배 장치.
  14. 제조 도구에 다중 전구체를 분배하는 방법이며,
    유체 매니폴드 및 상이한 전구체를 각각 수용하는 복수의 탱크를 제공하는 단계로서, 상기 유체 매니폴드는 복수의 상호 연결된 서브매니폴드를 더 포함하고, 상기 서브매니폴드 각각은 상기 탱크들 중 하나에 연결되는, 유체 매니폴드 및 복수의 탱크 제공 단계와,
    제조 도구의 유체 프로세서의 로우 전구체 레벨을 감지하는 단계와,
    나머지 탱크들과는 독립적으로 상기 탱크들 중 하나로부터 전구체를 분배하는 단계를 포함하는 다중 전구체 분배 방법.
  15. 제14항에 있어서, 공통 라인을 통해 상기 상호 연결된 서브매니폴드로부터 유체를 세척하는 단계를 더 포함하는 다중 전구체 분배 방법.
  16. 제14항에 있어서, 공통 공급 라인을 통해 상기 상호 연결된 서브매니폴드에 유체를 공급하는 단계를 더 포함하는 다중 전구체 분배 방법.
  17. 제15항에 있어서, 복수의 상호 연결된 가압 가스 서브매니폴드로부터 공통 배출 라인으로 폐기물 가스를 소통하는 단계와,
    공통 폐기물 라인을 통해 복수의 상호 연결된 전구체 서브매니폴드로부터 보조 유닛으로 폐기물 액체를 소통하는 단계를 더 포함하는 다중 전구체 분배 방법.
  18. 제16항에 있어서, 공통 용매 라인을 통해 보조 유닛으로부터 복수의 상호 연결된 전구체 서브매니폴드로 용매를 공급하는 단계를 더 포함하는 다중 전구체 분배 방법.
  19. 제14항에 있어서, 공통 폐기물 라인을 통해 제조 도구의 상기 유체 프로세서로부터 보조 유닛으로 상기 유체 매니폴드로 폐기물을 소통하는 단계를 더 포함하는 다중 전구체 분배 방법.
  20. 제19항에 있어서, 상기 폐기물의 하이 레벨을 감지하고 폐기물 탱크를 교환하는 단계를 더 포함하는 다중 전구체 분배 방법.
  21. 제14항에 있어서, 공통 용매 라인을 통해 보조 유닛으로부터 상기 유체 매니폴드와 제조 도구의 상기 유체 프로세서 중 임의의 하나에 용매를 공급하는 단계를 더 포함하는 다중 전구체 분배 방법.
  22. 제14항에 있어서, 상기 탱크들 중 적어도 하나에서 로우 레벨을 감지하고 상기 로우 레벨 탱크를 교환하는 단계를 더 포함하는 다중 전구체 분배 방법.
  23. 제22항에 있어서, 상기 로우 레벨 탱크를 교환하기 전에 상기 로우 레벨 탱크의 서브매니폴드를 보조 유닛으로부터의 용매로 세척하는 단계를 더 포함하는 다중 전구체 분배 방법.
  24. 제14항에 있어서, 상기 복수의 상이한 전구체를 제조 도구의 상기 유체 프로세서에 공급하기 위해 상기 유체 매니폴드 및 상기 탱크를 연속적으로 제어하는 단계를 더 포함하는 다중 전구체 분배 방법.
  25. 제조 도구에 다중 전구체를 분배하기 위한 시스템이며,
    유체 매니폴드 및 복수의 탱크를 구비한 다중 전구체 분배기와,
    상이한 전구체를 각각 수용하는 복수의 캐니스터를 갖춘 제조 도구 유체 프로세서를 포함하며,
    상기 각각의 탱크는 상이한 전구체를 수용하고 상기 유체 매니폴드의 상이한 서브매니폴드에 연결되며, 상기 서브매니폴드는 상호 연결되고,
    제1 분배기 탱크는 동일한 전구체를 구비한 제1 도구 캐니스터와 소통하고,
    제2 분배기 탱크는 동일한 전구체를 구비한 제2 도구 캐니스터와 소통하는 다중 전구체 분배 시스템.
  26. 제25항에 있어서, 상기 서브매니폴드는 공통 배출 라인, 공통 폐기물 라인, 및 공통 용매 라인 중 임의의 하나에 의해 상호 연결되는 다중 전구체 분배 시스템.
  27. 제25항에 있어서, 상기 제1 분배기 탱크 및 공통 폐기물 라인에 연결된 제1 서브매니폴드와,
    상기 제2 분배기 탱크 및 상기 공통 폐기물 라인에 연결된 제2 서브매니폴드를 더 포함하며,
    상기 제1 및 제2 서브매니폴드는 가압 가스를 상기 분배기 탱크에 소통시키고, 상기 분배기 탱크로부터 전구체를 수용하고, 상기 폐기물을 공통 폐기물 라인에 소통시키는 다중 전구체 분배 시스템.
  28. 제27항에 있어서, 상기 제1 서브매니폴와 제2 서브매니폴드 모두에 연결된 공통 용매 라인을 더 포함하는 다중 전구체 분배 시스템.
  29. 제27항에 있어서, 상기 제1 및 제2 서브매니폴드 각각에 연결된 가압 가스 서브매니폴드를 더 포함하고, 상기 가압 가스 서브매니폴드는 공통 배출 라인에 의해 상호 연결되는 다중 전구체 분배 시스템.
  30. 제25항에 있어서, 보조 유닛을 더 포함하며, 상기 보조 유닛은,
    상기 상호 연결된 서브매니폴드와 공유하는 폐기물 라인을 통해 상기 제조 도구 유체 프로세서 및 상기 분배기로부터 폐기물을 수용하는 폐기물 탱크, 또는
    상기 상호 연결된 서브매니폴드와 공유하는 용매 라인을 통해 상기 제조 도구 유체 프로세서 및 상기 분배기에 용매를 공급하는 용매 탱크를 포함하는 다중 전구체 분배 시스템.
  31. 제25항에 있어서, 상기 모든 탱크 상의 적어도 하나의 레벨 센서와,
    상기 탱크들 각각이 나머지 탱크들과는 독립적으로 작동하도록 상기 모든 센서와 소통하는 제어기를 더 포함하는 다중 전구체 분배 시스템.
  32. 제조 도구에 다중 전구체를 분배하는 방법이며,
    다중 전구체 캐니스터를 구비한 유체 프로세서를 갖는 제조 도구를 제공하는 단계와,
    상기 도구에 연결된 다중 전구체 분배기를 제공하는 단계로서, 상기 분배기 는 상호 연결된 서브매니폴드를 갖춘 유체 매니폴드와 복수의 탱크를 구비하는, 다중 전구체 분배기 제공 단계와,
    제조 도구의 로우 전구체 레벨을 감지하는 단계와,
    상기 분배기로부터 상기 도구로 제1 전구체를 분배하는 단계와,
    상기 분배기로부터 상기 도구로 제2 전구체를 더 분배하는 단계를 포함하는 다중 전구체 분배 방법.
  33. 제32항에 있어서, 상기 분배기로부터 상기 도구에 복수의 전구체를 연속적으로 분배하고, 나머지 전구체들과는 독립적으로 각각의 전구체를 분배하는 단계를 더 포함하는 다중 전구체 분배 방법.
  34. 제33항에 있어서, 상기 분배기로부터 상기 도구에 제1 전구체를 분배함과 동시에, 상기 분배기로부터 상기 제2 전구체를 수용한 탱크를 연결 해제하는 단계와,
    상기 탱크를 교환하는 단계를 더 포함하는 다중 전구체 분배 방법.
  35. 제32항에 있어서, 공통 라인을 통해 상기 상호 연결된 서브매니폴드로부터 유체를 세척하는 단계를 더 포함하는 다중 전구체 분배 방법.
  36. 제35항에 있어서, 공통 배출 라인을 통해 복수의 상호 연결된 가압 가스 서브매니폴드로부터 폐기물 가스를 소통하는 단계와,
    공통 폐기물 라인을 통해 복수의 상호 연결된 전구체 서브매니폴드 및 상기 도구로부터 보조 유닛으로 폐기물 액체를 소통하는 단계를 더 포함하는 다중 전구체 분배 방법.
  37. 제32항에 있어서, 공통 라인을 통해 상기 상호 연결된 서브매니폴드에 유체를 공급하는 단계를 더 포함하는 다중 전구체 분배 방법.
  38. 제37항에 있어서, 공통 용매 공급 라인을 통해 보조 유닛으로부터 복수의 상호 연결된 전구체 서브매니폴드 및 상기 도구에 용매를 소통하는 단계를 더 포함하는 다중 전구체 분배 방법.
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