KR20080094996A - Liquid crystal display device and method for fabricating the same - Google Patents

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Abstract

An LCD(Liquid Crystal Display) device and a manufacturing method thereof are provided to prevent a protection film pressing stain by a cell gap holding member to improve the uniformity of a cell gap and liquid crystal distribution, thereby improving image quality. An LCD device includes a first substrate(100), a second substrate(170), at least one TFT(Thin Film Transistor), a first electrode(133), a cell gap holding member(185), a pad(133a), and a liquid crystal layer. The first substrate has plural pixel regions. The second substrate faces the first substrate. The at least one TFT is formed in the pixel regions. The first electrode is connected to the TFT and is formed in the pixel regions. The cell gap holding member is formed on the second substrate. The pad is formed on the first substrate and faces the cell gap holding member. The liquid crystal layer is interposed between the first and second substrates.

Description

액정 표시 장치 및 그 제조 방법{liquid crystal display device and method for fabricating the same}Liquid crystal display device and method for manufacturing the same

도 1은 본 발명의 제 1 실시예로서, 횡전계 방식 액정 표시 장치의 단위 화소를 확대하여 보여주는 평면도.1 is an enlarged plan view of a unit pixel of a transverse electric field type liquid crystal display device according to a first exemplary embodiment of the present invention.

도 2는 도 1에서 Ⅰ-Ⅰ'선을 따라 절단하여 보여주는 횡전계 방식 액정 표시 장치의 단면도.FIG. 2 is a cross-sectional view of a transverse electric field type liquid crystal display device taken along the line II ′ of FIG. 1.

도 3a는 본 발명에 따른 횡전계 방식 액정 표시 장치에서, 제 1 기판의 제조 공정을 보여주는 단면도.3A is a cross-sectional view illustrating a manufacturing process of a first substrate in a transverse electric field type liquid crystal display device according to the present invention.

도 3b는 본 발명에 따른 횡전계 방식 액정 표시 장치에서, 제 1 기판의 제조 공정을 보여주는 단면도.3B is a cross-sectional view illustrating a manufacturing process of a first substrate in a transverse electric field type liquid crystal display device according to the present invention.

도 3c는 본 발명에 따른 횡전계 방식 액정 표시 장치에서, 제 1 기판의 제조 공정을 보여주는 단면도.3C is a cross-sectional view illustrating a manufacturing process of a first substrate in a transverse electric field type liquid crystal display device according to the present invention.

도 3d는 본 발명에 따른 횡전계 방식 액정 표시 장치에서, 제 1 기판의 제조 공정을 보여주는 단면도.3D is a cross-sectional view illustrating a manufacturing process of a first substrate in a transverse electric field type liquid crystal display device according to the present invention.

도 4a는 본 발명에 따른 횡전계 방식 액정 표시 장치에서, 제 2 기판의 제조 공정을 보여주는 단면도.4A is a cross-sectional view illustrating a manufacturing process of a second substrate in a transverse electric field type liquid crystal display device according to the present invention.

도 4b는 본 발명에 따른 횡전계 방식 액정 표시 장치에서, 제 2 기판의 제조 공정을 보여주는 단면도.4B is a cross-sectional view illustrating a manufacturing process of a second substrate in a transverse electric field type liquid crystal display device according to the present invention.

도 4c는 본 발명에 따른 횡전계 방식 액정 표시 장치에서, 제 2 기판의 제조 공정을 보여주는 단면도.4C is a cross-sectional view illustrating a manufacturing process of a second substrate in a transverse electric field type liquid crystal display device according to the present invention.

도 4d는 본 발명에 따른 횡전계 방식 액정 표시 장치에서, 제 2 기판의 제조 공정을 보여주는 단면도.4D is a cross-sectional view illustrating a manufacturing process of a second substrate in a transverse electric field type liquid crystal display device according to the present invention.

도 5는 본 발명의 제 1 실시예로서, 액정 표시 장치의 단위 화소를 확대하여 보여주는 평면도.5 is an enlarged plan view of a unit pixel of a liquid crystal display according to a first exemplary embodiment of the present invention.

도 6은 도 5에서 Ⅱ-Ⅱ'선을 따라 절단하여 보여주는 액정 표시 장치의 단면도.FIG. 6 is a cross-sectional view of the liquid crystal display shown along the line II-II ′ of FIG. 5.

<도면의 주요부분에 대한 부호 설명><Description of Signs of Major Parts of Drawings>

100, 200 : 제 1 기판 133, 233 : 제 1 전극100, 200: first substrate 133, 233: first electrode

133a, 233a : 패드 170, 270 : 제 2 기판133a and 233a: pad 170 and 270: second substrate

185, 285 : 셀갭 유지 부재 185, 285: cell gap holding member

본 발명은 액정 표시 장치 및 그 제조 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a liquid crystal display device and a manufacturing method thereof.

정보화 사회가 발전함에 따라 표시 장치에 대한 요구도 다양한 형태로 점증하고 있으며, 이에 부응하여 근래에는 액정 표시 장치(Liquid Crystal Display Device: LCD), 플라즈마 표시 장치(Plasma Display Panel: PDP), 전기발광 표시 장치(Electro Luminescent Display), VFD(Vacuum Fluorescent Display) 등 여러 가지 평판 표시 장치가 연구되어 왔고, 일부는 이미 여러 장비에서 표시장치로 활용되고 있다.As the information society develops, the demand for display devices is increasing in various forms. In response, liquid crystal display devices (LCDs), plasma display panels (PDPs), and electroluminescent displays have been recently developed. Various flat panel display devices such as electroluminescent display (VL) and vacuum fluorescent display (VFD) have been studied, and some of them are already used as display devices in various devices.

그 중에, 현재 화질이 우수하고 경량, 박형, 저소비 전력의 장점으로 인하여 이동형 화상 표시장치의 용도로 CRT(Cathode Ray Tube)를 대체하면서 액정 표시 장치가 가장 많이 사용되고 있으며, 노트북 컴퓨터의 모니터와 같은 이동형의 용도 이외에도 방송신호를 수신하여 디스플레이하는 텔레비전, 및 컴퓨터의 모니터 등으로 다양하게 개발되고 있다.Among them, the liquid crystal display is the most widely used as a substitute for the CRT (Cathode Ray Tube) for the use of the mobile image display device because of the excellent image quality, light weight, thinness, and low power consumption. In addition to the use of the present invention, a variety of applications such as a television, a computer monitor, and the like for receiving and displaying broadcast signals have been developed.

이와 같이 액정표시장치가 일반적인 화면 표시 장치로서 다양한 부분에 사용되기 위해서는 경량, 박형, 저 소비전력의 특징을 유지하면서도 고정세, 고휘도, 대면적 등 고품위 화상을 얼마나 구현할 수 있는가에 발전의 관건이 걸려 있다고 할 수 있다.In order to use a liquid crystal display as a general screen display device in various parts, development of high quality images such as high definition, high brightness, and large area is required while maintaining the characteristics of light weight, thinness, and low power consumption. It can be said.

일반적인 액정 표시 장치는, 화상을 표시하는 액정 패널과 상기 액정 패널에 구동신호를 인가하기 위한 구동부로 크게 구분될 수 있으며, 상기 액정 패널은 일정 공간을 갖고 합착된 제 1 및 제 2 기판과, 상기 제 1, 제 2 기판 사이에 주입된 액정층으로 구성된다.A general liquid crystal display device may be largely divided into a liquid crystal panel displaying an image and a driving unit for applying a driving signal to the liquid crystal panel, wherein the liquid crystal panel includes first and second substrates bonded to each other with a predetermined space, and It consists of the liquid crystal layer injected between the 1st, 2nd board | substrate.

상기 제 1 기판 및 상기 제 2 기판 중 적어도 하나의 기판 상에는 일정한 셀 갭을 유지하기 위하여 셀갭 유지 부재가 형성되어 있다.A cell gap holding member is formed on at least one of the first substrate and the second substrate to maintain a constant cell gap.

상기 액정 패널에 누름과 같은 외부 자극을 주면 일방의 기판에 형성된 상기 셀갭 유지 부재가 타방의 기판을 누르게 된다.When an external stimulus such as pressing is applied to the liquid crystal panel, the cell gap holding member formed on one substrate presses the other substrate.

이 경우, 상기 타방의 기판에 형성된 보호막 등이 눌려져 셀갭 및 액정 분포의 불균일이 발생되는 문제점이 있다.In this case, there is a problem in that a protective film or the like formed on the other substrate is pressed and a nonuniformity of cell gap and liquid crystal distribution occurs.

본 발명은 셀갭 유지 부재에 의한 셀갭 불균일 현상을 방지할 수 있는 액정 표시 장치 및 그 제조 방법을 제공하는 데 목적이 있다.An object of the present invention is to provide a liquid crystal display device and a method for manufacturing the same, which can prevent cell gap non-uniformity caused by the cell gap holding member.

상기한 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 따른 액정 표시 장치는, 다수의 화소 영역을 갖는 제 1 기판, 상기 제 1 기판과 마주하는 제 2 기판, 상기 화소 영역에 형성된 적어도 하나 이상의 박막 트랜지스터, 상기 박막 트랜지스터와 연결되며 상기 화소 영역에 형성된 제 1 전극, 상기 제 2 기판 상에 형성된 셀갭 유지 부재, 상기 제 1 기판 상에 형성되며 상기 셀갭 유지 부재와 마주하는 패드 및 상기 제 1 기판과 상기 제 2 기판 사이에 개재된 액정층을 포함하는 것을 특징으로 한다.In order to achieve the above object, a liquid crystal display according to the present invention includes a first substrate having a plurality of pixel regions, a second substrate facing the first substrate, at least one thin film transistor formed in the pixel region, and the thin film. A first electrode formed in the pixel region, a cell gap retaining member formed on the second substrate, a pad formed on the first substrate and facing the cell gap retaining member, and the first and second substrates; It is characterized by including a liquid crystal layer interposed therebetween.

또한, 상기한 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 따른 액정 표시 장치의 제조 방법은, 제 1 기판 및 제 2 기판을 준비하는 단계, 상기 제 2 기판 상의 화소 영역 경계에 광 차단 패턴을 형성하는 단계, 상기 광 차단 패턴 상부에 셀갭 유지 부재를 형성하는 단계, 상기 제 1 기판 상에 게이트 배선 및 상기 게이트 배선에서 연장된 게이트 전극을 형성하는 단계, 상기 게이트 전극 상부에 반도체층을 형성하는 단계, 상기 게이트 배선과 교차하는 데이터 배선과, 상기 데이터 배선과 연결되어 상기 반도체층의 일단에 형성된 소스 전극과 상기 소스 전극과 이격되어 상기 반도체층의 채널 영역을 노출시키는 드레인 전극을 형성하는 단계, 상기 소스 및 드레인 전극이 형성된 상기 제 1 기판 상부에 제 1 보호막을 형성하는 단계, 상기 제 1 보호막 상에 제 2 보호막을 형성하는 단계, 상기 제 2 보호막 상에서 상기 드레인 전극과 연결된 제 1 전극 및 상기 셀갭 유지 부재와 대응하는 영역에 패드를 형성하는 단계 및 상기 제 1 기판 및 상기 제 2 기판을 합착하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.In addition, in order to achieve the above object, the manufacturing method of the liquid crystal display device according to the present invention comprises the steps of preparing a first substrate and a second substrate, forming a light blocking pattern on the boundary of the pixel region on the second substrate, Forming a cell gap holding member on the light blocking pattern, forming a gate wiring and a gate electrode extending from the gate wiring on the first substrate, forming a semiconductor layer on the gate electrode, and forming the gate Forming a data wire crossing the wire, a source electrode formed at one end of the semiconductor layer and a drain electrode spaced apart from the source electrode to expose a channel region of the semiconductor layer, the source and drain Forming a first passivation layer on the first substrate on which the electrode is formed, and a second passivation layer on the first passivation layer Forming a pad in a region corresponding to the first electrode and the cell gap retaining member connected to the drain electrode on the second passivation layer; and bonding the first substrate and the second substrate to each other. It is characterized by.

상기 액정 표시 장치에서 상기 셀갭 유지 부재에 의한 보호막의 눌림 얼룩을 방지하여 셀갭의 균일성 및 액정 분포의 균일성이 개선되므로 화질이 개선된다.In the liquid crystal display, since the unevenness of the protective film by the cell gap holding member is prevented, the uniformity of the cell gap and the uniformity of the liquid crystal distribution are improved, thereby improving image quality.

이하, 첨부한 도면을 참조로 하여 본 발명에 따른 액정 표시 장치에 대해서 구체적으로 설명한다.Hereinafter, a liquid crystal display according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

<제 1 실시예><First Embodiment>

도 1은 본 발명의 제 1 실시예로서, 횡전계 방식 액정 표시 장치의 단위 화소를 확대하여 보여주는 평면도이고, 도 2는 도 1에서 Ⅰ-Ⅰ'선을 따라 절단하여 보여주는 횡전계 방식 액정 표시 장치의 단면도이다.FIG. 1 is a plan view showing an enlarged unit pixel of a transverse electric field type liquid crystal display device according to a first embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a transverse electric field type liquid crystal display device cut along a line II ′ of FIG. 1. It is a cross section of.

도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 횡전계 방식 액정 표시 장치는 제 1 기판(100), 상기 제 1 기판(100)과 대향하는 제 2 기판(170) 및 상기 제 1 기판(100) 및 상기 제 2 기판(170) 사이에 개재된 액정층(190)을 포함한다.1 and 2, the transverse electric field type liquid crystal display device includes a first substrate 100, a second substrate 170 facing the first substrate 100, a first substrate 100, and The liquid crystal layer 190 is interposed between the second substrate 170.

상기 제 1 기판(100)과 상기 제 2 기판(170) 사이의 균일한 셀갭을 유지하기 위한 셀갭 유지 부재(185)가 상기 제 2 기판(170) 상에 형성되어 있다.A cell gap retention member 185 is formed on the second substrate 170 to maintain a uniform cell gap between the first substrate 100 and the second substrate 170.

상기 제 1 기판(100) 상에 상기 셀갭 유지 부재(185)와 대응하는 패드(133a)가 형성되어 있다.The pad 133a corresponding to the cell gap retaining member 185 is formed on the first substrate 100.

상기 셀갭 유지 부재(185)와 상기 패드(133a)는 서로 일대일 대응하며, 상기 패드(133a)의 면적이 상기 패드(133a)와 마주하는 상기 셀갭 유지 부재(185)의 일면의 면적보다 크다.The cell gap retaining member 185 and the pad 133a correspond one to one with each other, and an area of the pad 133a is larger than an area of one surface of the cell gap retaining member 185 facing the pad 133a.

상기 횡전계 방식 액정 표시 장치는 상기 제 1 기판(100) 상에 형성된 게이트 배선(101)과, 상기 제 1 기판(100) 상에 상기 게이트 배선(101)과 교차하여 화소 영역(P)을 정의하는 데이터 배선(121)과, 상기 화소 영역(P)에 적어도 하나 형성된 박막 트랜지스터(Thin Film Transistor : TFT)와, 상기 박막 트랜지스터(TFT)의 채널 영역을 덮으며 상기 제 1 기판(100) 전면에 형성된 제 1 보호막(151)과, 상기 제 1 보호막(151) 상에 형성된 제 2 보호막(153)을 포함한다.The transverse electric field type liquid crystal display device defines a pixel region P by crossing the gate wiring 101 formed on the first substrate 100 and the gate wiring 101 on the first substrate 100. Covering the data line 121, the at least one thin film transistor (TFT) formed in the pixel region P, and the channel region of the thin film transistor TFT and covering the entire surface of the first substrate 100. And a first passivation layer 151 formed thereon and a second passivation layer 153 formed on the first passivation layer 151.

상기 제 1 보호막(151) 및 상기 제 2 보호막(153)은 상기 드레인 전극(127)의 소정 영역을 노출시키는 제 1 콘택홀(141)을 갖는다.The first passivation layer 151 and the second passivation layer 153 have a first contact hole 141 exposing a predetermined region of the drain electrode 127.

상기 데이터 배선(121)의 일단에는 데이터 패드부(123)가 형성되어 있다.The data pad part 123 is formed at one end of the data line 121.

상기 데이터 패드부(123)는 상기 데이터 배선(121)이 연장된 데이터 하부 패드(121a)와 상기 데이터 하부 패드(121a)를 덮는 데이터 상부 패드(135)를 포함한다.The data pad unit 123 includes a data lower pad 121a from which the data line 121 extends and a data upper pad 135 covering the data lower pad 121a.

상기 데이터 하부 패드(121a)와 상기 데이터 상부 패드(135)는 상기 제 1 보호막(151) 또는 상기 제 2 보호막(153)에 형성된 제 2 콘택홀(143)을 통하여 전기적으로 연결된다.The data lower pad 121a and the data upper pad 135 are electrically connected to each other through a second contact hole 143 formed in the first passivation layer 151 or the second passivation layer 153.

상기 게이트 배선(101)의 일단에는 게이트 패드부(113)가 형성된다.The gate pad part 113 is formed at one end of the gate wiring 101.

상기 게이트 패드부(113)는 상기 게이트 배선(101)이 연장된 게이트 하부 패드(101a)와 상기 게이트 하부 패드(101a)를 덮는 게이트 상부 패드(137)를 포함한다.The gate pad 113 includes a gate lower pad 101a from which the gate wiring 101 extends, and a gate upper pad 137 covering the gate lower pad 101a.

상기 게이트 하부 패드(101a)와 상기 게이트 상부 패드(137)는 상기 제 1 보호막(151) 또는 상기 제 2 보호막(153)에 형성된 제 3 관통홀(145)을 통하여 서로 전기적으로 연결된다.The gate lower pad 101a and the gate upper pad 137 are electrically connected to each other through a third through hole 145 formed in the first passivation layer 151 or the second passivation layer 153.

상기 박막 트랜지스터(TFT)는 상기 게이트 배선(101)으로부터 신호를 인가받는 게이트 전극(103)과, 상기 게이트 전극(103)을 덮는 게이트 절연막(105)과, 상기 게이트 전극(103)의 위치에서 상기 게이트 절연막(105) 상에 형성된 반도체층(119)과, 상기 반도체층(119)의 일단과 다른 일단에 형성되어 서로 소정 간격 이격된 소스 전극(125) 및 드레인 전극(127)을 포함하여 이루어진다. 여기서, 상기 소스 전극(125)은 상기 데이터 배선(121)과 연결되어 데이터 신호를 인가받는다.The thin film transistor TFT may include a gate electrode 103 that receives a signal from the gate wiring 101, a gate insulating layer 105 covering the gate electrode 103, and the gate electrode 103 at the position of the gate electrode 103. The semiconductor layer 119 formed on the gate insulating layer 105 and the source electrode 125 and the drain electrode 127 are formed on one end and the other end of the semiconductor layer 119 spaced apart from each other by a predetermined interval. Here, the source electrode 125 is connected to the data line 121 to receive a data signal.

상기 소스 전극(125)은 '⊂' 형상의 홈을 갖도록 돌출되어 있고, 상기 드레인 전극(127)은 상기 '⊂' 형상의 홈 안쪽에 상기 소스 전극(125)과 소정간격 이격되어 삽입되어 있으며, 상기 소스 전극(125)과 드레인 전극(127) 사이에 채널 영역이 '⊂' 형상으로 형성되어 있다.The source electrode 125 protrudes to have a '⊂' shaped groove, and the drain electrode 127 is inserted into the '⊂' shaped groove spaced apart from the source electrode 125 by a predetermined interval. A channel region is formed in a '⊂' shape between the source electrode 125 and the drain electrode 127.

그러나, 상기 소스 전극(125) 및 드레인 전극(127)의 형상은 도시된 실시예에 한정되지 않으며, 상기 소스 전극(125) 및 드레인 전극(127)의 형상은 채널 길이 및 폭의 설계에 따라 다양하게 변형될 수 있음이 당연하다.However, the shape of the source electrode 125 and the drain electrode 127 is not limited to the illustrated embodiment, and the shape of the source electrode 125 and the drain electrode 127 may vary depending on the design of the channel length and width. Naturally, it can be modified.

상기 반도체층(119)은 비정질 실리콘으로 이루어진 액티브층(115)과 상기 소스 전극(125) 및 상기 드레인 전극(127)과 접촉되며 불순물이 이온 주입된 오믹 콘택층(117)으로 이루어질 수 있다.The semiconductor layer 119 may be formed of an active layer 115 made of amorphous silicon, an ohmic contact layer 117 contacted with the source electrode 125 and the drain electrode 127 and implanted with impurities.

상기 데이터 배선(121), 데이터 하부 패드(121a), 캐패시터 상부 전극(130)하부에는 반도체층 패턴(119a)이 더 형성될 수 있다.A semiconductor layer pattern 119a may be further formed below the data line 121, the data lower pad 121a, and the capacitor upper electrode 130.

상기 박막 트랜지스터(TFT)의 상기 드레인 전극(127)과 연결되어 화소 신호를 인가받는 제 1 전극(133)들이 형성되어 있으며, 상기 화소 영역에는 상기 제 1 전극(133)들과 교대로 배치된 제 2 전극(107)들이 형성되어 있다.First electrodes 133 are connected to the drain electrode 127 of the thin film transistor TFT to receive a pixel signal, and the first and second electrodes 133 are alternately disposed in the pixel region. 2 electrodes 107 are formed.

일반적으로, 상기 제 1 전극(133)은 화소 전극이라고 하며, 상기 제 2 전극(107)은 공통 전극이라고 한다.In general, the first electrode 133 is called a pixel electrode, and the second electrode 107 is called a common electrode.

상기 제 1 전극(133)들은 막대기 형상을 하고 있으며, 각각의 제 1 전극(133)들은 서로 연결되어 있다. 그러나, 상기 제 1 전극(133)들은 막대기 형상에 한정되어 형성되는 것은 아니고, 제 2 전극(107)들과의 사이에서 횡전계를 가지는 범위에서 꺽임 구조를 가지거나 굴곡을 가지거나 원형의 형상을 가질 수도 있다.The first electrodes 133 have a bar shape, and each of the first electrodes 133 is connected to each other. However, the first electrodes 133 are not limited to a bar shape and have a bending structure, a curved shape, or a circular shape in a range having a transverse electric field between the second electrodes 107. May have

상기 제 1 기판(100) 상에는 상기 게이트 배선(101)과 실질적으로 동일한 방향으로 형성된 공통 배선(109)이 형성되어 있다.The common wiring 109 is formed on the first substrate 100 in substantially the same direction as the gate wiring 101.

상기 제 2 전극(107)은 상기 공통 배선(109)과 연결되며, 상기 제 2 전 극(107)은 상기 공통 배선(109)으로부터 공통 신호를 인가받는다.The second electrode 107 is connected to the common wiring 109, and the second electrode 107 receives a common signal from the common wiring 109.

본 실시예에서는, 상기 제 2 전극(107)은 상기 공통 배선(109)에서 분기되어 상기 화소 영역에 형성되어 있으며, 상기 분기된 제 2 전극(107)들은 서로 소정 간격으로 배치되어 있다.In the present exemplary embodiment, the second electrode 107 is branched from the common wiring 109 to be formed in the pixel area, and the branched second electrodes 107 are disposed at predetermined intervals from each other.

상기 데이터 배선(121)과 상기 제 1 전극(133) 및 상기 제 2 전극(107) 중 적어도 어느 하나는 지그재그로 형성할 수 있다.At least one of the data line 121, the first electrode 133, and the second electrode 107 may be zigzag.

상기 게이트 배선(101)의 일부 상에는 캐패시터 전극(130)이 형성되어 있다.A capacitor electrode 130 is formed on a portion of the gate wiring 101.

상기 캐패시터 전극(130) 상에는 상기 제 1 전극(133)이 중첩되어 있다.The first electrode 133 is overlapped on the capacitor electrode 130.

상기 캐패시터 전극(130) 및 상기 제 1 전극(133) 사이에 형성된 상기 제 1 보호막(151) 및 상기 제 2 보호막(153)는 제 4 콘택홀(147)이 형성되어 있다.A fourth contact hole 147 is formed in the first passivation layer 151 and the second passivation layer 153 formed between the capacitor electrode 130 and the first electrode 133.

상기 캐패시터 전극(130)과 상기 제 1 전극(133)은 상기 제 4 콘택홀(147)을 통하여 전기적으로 접속된다.The capacitor electrode 130 and the first electrode 133 are electrically connected to each other through the fourth contact hole 147.

상기 캐패시터 전극(130)과 상기 게이트 배선(101) 사이에는 게이트 절연막(105)이 형성되어 스토리지 캐패시터(storage capacitor)를 형성한다.A gate insulating layer 105 is formed between the capacitor electrode 130 and the gate wiring 101 to form a storage capacitor.

상기 스토리지 캐패시터를 형성하는 구조는 여러가지가 있을 수 있으며, 도시된 실시예에 한정되지 않는다.The structure of forming the storage capacitor may be various, it is not limited to the illustrated embodiment.

상기 제 1 전극(133)을 이루는 재질은 산화 주석 인듐(indium-tin-oxide : ITO) , 산화 아연 인듐(indium-zinc-oxide : IZO)로 이루어지는 투명 도전성 금속 그룹으로부터 선택된 적어도 하나를 포함할 수 있다.The material constituting the first electrode 133 may include at least one selected from a group of transparent conductive metals consisting of indium tin oxide (ITO) and zinc indium oxide (IZO). have.

상기 게이트 배선(101), 상기 공통 배선(109) 및 제 2 전극(107)을 이루는 금속 재질은 구리(Cu), 알루미늄(Al), 알루미늄 합금(AlNd : Aluminum Neodymium), 몰리브덴(Mo), 크롬(Cr), 티타늄(Ti), 탄탈륨(Ta) 및 몰리브덴-텅스텐(MoW)으로 이루어지는 그룹으로부터 선택된 적어도 하나를 포함할 수 있다.Metal materials constituting the gate wiring 101, the common wiring 109, and the second electrode 107 include copper (Cu), aluminum (Al), aluminum alloy (AlNd: Aluminum Neodymium), molybdenum (Mo), and chromium. And at least one selected from the group consisting of (Cr), titanium (Ti), tantalum (Ta), and molybdenum-tungsten (MoW).

본 실시예에서는, 상기 공통 배선(109) 및 상기 제 2 전극(107)을 상기 게이트 배선(101)과 동일한 물질로 동일 층에서 형성하였으나, 본 발명은 이에 한정되는 것은 아니며, 상기 제 2 전극(107)은 상기 제 1 전극(133)과 동일한 물질로 동일한 층에서 형성될 수도 있다.In the present exemplary embodiment, the common wiring 109 and the second electrode 107 are formed of the same layer as the gate wiring 101, but the present invention is not limited thereto. 107 may be formed of the same material as the first electrode 133 in the same layer.

따라서, 상기 제 1 전극(133) 및 제 2 전극(107)은 산화 주석 인듐, 산화 아연 인듐, 구리, 알루미늄, 알루미늄 합금, 몰리브덴, 크롬, 티타늄, 탄탈륨 및 몰리브덴-텅스텐으로 이루어지는 그룹으로부터 선택된 적어도 하나를 포함할 수 있다.Thus, the first electrode 133 and the second electrode 107 is at least one selected from the group consisting of tin indium oxide, zinc indium oxide, copper, aluminum, aluminum alloy, molybdenum, chromium, titanium, tantalum and molybdenum-tungsten It may include.

상기 제 1 보호막(151)은 무기 절연막으로 이루어지며, 예를 들어, 실리콘 질화막 (SiNx)등의 실리콘 계열 절연 물질로 이루어진다.The first passivation layer 151 is made of an inorganic insulating layer, and is made of, for example, a silicon-based insulating material such as silicon nitride (SiNx).

상기 제 2 보호막(153)은 유기 절연막으로 이루어지며, 예를 들어, 포토 아크릴(photo acryle)등의 아크릴 계열 물질로 이루어진다.The second passivation layer 153 is made of an organic insulating layer, and is made of, for example, an acrylic material such as photo acryl.

상기 제 2 보호막(153)의 두께는 상기 제 1 보호막(151)의 두께보다 두껍다.The thickness of the second passivation layer 153 is thicker than the thickness of the first passivation layer 151.

상기 제 2 보호막(153)은 상기 게이트 패드부(113)와 상기 데이터 패드부(123)에는 형성되지 않는 것이 바람직하다.The second passivation layer 153 may not be formed in the gate pad part 113 and the data pad part 123.

상기 제 2 보호막(153)은 상기 데이터 패드부(123)의 데이터 하부 패드(121a)의 일부를 노출시키는 제 2 콘택홀(143)이 더 형성되어 있으며, 상기 게이 트 패드부(113)의 게이트 하부 패드(101a)의 일부를 노출시키는 제 3 콘택홀(145)이 상기 게이트 절연막(115)을 관통하여 형성되어 있다.The second passivation layer 153 further includes a second contact hole 143 exposing a portion of the data lower pad 121a of the data pad part 123, and a gate of the gate pad part 113. A third contact hole 145 is formed through the gate insulating layer 115 to expose a portion of the lower pad 101a.

상기 제 2 보호막(153) 상의 상기 화소 영역(P)에는 제 1 전극(133)이 형성되어 있으며, 상기 제 1 전극(133)은 상기 제 1 콘택홀(141)을 통하여 상기 드레인 전극(147)과 연결되며, 상기 제 1 전극(133)은 상기 화소 영역(P)에 소정 간격으로 배치되어 있다.A first electrode 133 is formed in the pixel region P on the second passivation layer 153, and the first electrode 133 is connected to the drain electrode 147 through the first contact hole 141. The first electrode 133 is disposed in the pixel region P at predetermined intervals.

상기 제 1 기판(100) 전면에는 제 1 배향막(181)이 형성되어 있다.A first alignment layer 181 is formed on the entire surface of the first substrate 100.

상기 제 1 기판(100)과 대향하는 제 2 기판(170)에는, 상기 화소 영역(P)의 경계에서 발생되는 빛샘을 차단하기 위한 광 차단 패턴(171)과, 상기 화소 영역(P)과 대응하여 형성된 적색(Red), 녹색(Green), 청색(Blue) 컬러 필터 패턴(173)들이 배치되어 있다.The second substrate 170 facing the first substrate 100 may include a light blocking pattern 171 for blocking light leakage generated at the boundary of the pixel region P, and the pixel region P. Red, green, and blue color filter patterns 173 formed by using the same are arranged.

예를 들어, 상기 광 차단 패턴(171)은 상기 게이트 배선(101), 상기 데이터 배선(121), 상기 박막 트랜지스터(TFT) 영역과 대응하여 형성되어 있다.For example, the light blocking pattern 171 is formed to correspond to the gate wiring 101, the data wiring 121, and the thin film transistor TFT area.

상기 제 2 기판(171) 전면에는 제 2 배향막(182)이 형성되어 있다.A second alignment layer 182 is formed on the entire surface of the second substrate 171.

그리고, 상기 제 1 기판(100)과 제 2 기판(170)은 패널 외곽을 따라 형성된 봉지 부재(sealant)에 의해 합착된다. In addition, the first substrate 100 and the second substrate 170 are bonded to each other by an encapsulation member formed along the outside of the panel.

상기 제 1 기판(100)과 상기 제 2 기판(170)이 일정 간격 이격될 수 있도록 상기 제 1 기판(100)과 상기 제 2 기판(170) 사이에 셀갭 유지 부재(185)가 형성되어 있다.A cell gap retaining member 185 is formed between the first substrate 100 and the second substrate 170 so that the first substrate 100 and the second substrate 170 are spaced apart from each other by a predetermined interval.

상기 셀갭 유지 부재(185)는 상기 제 2 기판(170) 상의 광 차단 패턴(171) 상부에 적어도 하나 이상 형성된다.At least one cell gap retaining member 185 is formed on the light blocking pattern 171 on the second substrate 170.

상기 셀갭 유지 부재(185)와 마주하도록 상기 제 1 기판(100) 상에는 패드(133a)가 형성되어 있다.The pad 133a is formed on the first substrate 100 to face the cell gap holding member 185.

상기 패드(133a)는 상기 셀갭 유지 부재(185)와 일대일 대응된다.The pad 133a corresponds one-to-one with the cell gap retaining member 185.

상기 패드(133a)는 상기 제 1 전극(133)과 동일한 물질로 형성될 수 있으며, 상기 패드는 상기 제 1 전극(133)과 동일한 두께로 동일층에 형성될 수도 있다.The pad 133a may be formed of the same material as the first electrode 133, and the pad may be formed on the same layer with the same thickness as that of the first electrode 133.

상기 패드(133a)의 형상을 여러가지일 수 있으며, 다각형 또는 원형일 수 있다.The pad 133a may have various shapes, and may be polygonal or circular.

상기 패드(133a)는 상기 제 1 전극(133) 또는 제 2 전극(107)과 이격될 수도 있고, 상기 패드는 상기 제 1 전극(133) 또는 제 2 전극(107)과 연결될 수도 있다.The pad 133a may be spaced apart from the first electrode 133 or the second electrode 107, and the pad may be connected to the first electrode 133 or the second electrode 107.

상기 제 2 전극(107)이 상기 제 2 보호막(153) 상에 형성될 경우 상기 패드(133a)는 상기 제 2 전극(107)과 동일한 물질로 형성될 수 있으며, 상기 패드(133a)는 상기 제 2 전극(107)과 동일한 두께로 동일층에 형성될 수도 있다.When the second electrode 107 is formed on the second passivation layer 153, the pad 133a may be formed of the same material as the second electrode 107, and the pad 133a may be formed of the first material. The same thickness as that of the two electrodes 107 may be formed in the same layer.

상기 셀갭 유지 부재(185)는 상기 제 2 기판(170)과 접촉하는 제 1 면(185a)의 면적보다 상기 제 1 기판(100)과 마주하는 제 2 면(185b)의 면적이 작다.The cell gap retaining member 185 has a smaller area of the second surface 185b facing the first substrate 100 than an area of the first surface 185a in contact with the second substrate 170.

즉, 상기 제 1 면(185a)의 폭(a)보다 상기 제 2 면(185b)의 폭(b)이 작다.That is, the width b of the second surface 185b is smaller than the width a of the first surface 185a.

상기 셀갭 유지 부재(185)는 하부에서 상부로 갈수록 폭이 작아지는 기둥 형상을 가진다.The cell gap retaining member 185 has a columnar shape in which the width decreases from the bottom to the top.

상기 셀갭 유지 부재(185)와 대응하는 상기 패드(133a)의 폭(c)은 상기 셀갭 유지 부재(185)의 제 2 면(185b)의 폭(b)보다 크다.The width c of the pad 133a corresponding to the cell gap holding member 185 is larger than the width b of the second surface 185b of the cell gap holding member 185.

상기 셀갭 유지 부재(185)의 제 2 면(185b)은 상기 패드(133a)의 중앙에 배치될 수 있다.The second surface 185b of the cell gap retaining member 185 may be disposed at the center of the pad 133a.

상기 제 1 기판(100)과 제 2 기판(170) 사이에는 액정층이 형성된다.The liquid crystal layer is formed between the first substrate 100 and the second substrate 170.

상기 제 1 기판(100)과 상기 제 2 기판(170)이 합착된 상태에서, 패널에 눌림과 같은 외부 자극이 주어지면 상기 셀갭 유지 부재(185)는 상기 패드(133a)를 누르게 된다.In a state where the first substrate 100 and the second substrate 170 are bonded together, the cell gap retaining member 185 presses the pad 133a when an external stimulus such as pressing is applied to the panel.

이때, 상기 패드(133a)는 상기 제 2 보호막(153) 상부에서 상기 셀갭 유지 부재(185)의 제 2 면(185b)보다 넓은 면적으로 이루어져 있으므로 상기 제 2 보호막(153)에 가해지는 압력이 분산될 수 있다.In this case, since the pad 133a has a larger area than the second surface 185b of the cell gap retaining member 185 on the second passivation layer 153, the pressure applied to the second passivation layer 153 is dispersed. Can be.

특히, 상기 제 2 보호막(153)은 포토 아크릴 등의 유기막으로 이루어지므로 상기 압력에 의해 눌림 자국이 발생되기가 쉽다. In particular, since the second protective film 153 is made of an organic film such as photoacrylic, it is easy to generate a pressing mark by the pressure.

이와 같은 눌림 자국은 셀갭 불균일 문제 및 액정 분포의 불균일을 초래해 화질 불량의 원인이 될 수도 있으나 본 실시예에 따른 패드(133a)는 상기 제 2 보호막(153)과 상기 셀갭 유지 부재(185)의 눌림 압력을 분산시켜 눌림 자국을 방지한다.Such pressing marks may cause cell gap non-uniformity and non-uniformity of liquid crystal distribution, which may cause poor image quality. However, the pad 133a of the present exemplary embodiment may be formed by the second protective layer 153 and the cell gap retaining member 185. Disperses the pressing pressure to prevent pressing marks.

이하, 본 발명의 제 1 실시예에 따른 횡전계 방식 액정 표시 장치를 제조하는 방법에 대해서 도 3a 내지 도 3d, 도 4a 내지 도 4d를 참조하여 순서대로 설명하도록 한다.Hereinafter, a method of manufacturing a transverse electric field type liquid crystal display device according to a first embodiment of the present invention will be described in order with reference to FIGS. 3A to 3D and 4A to 4D.

도 3a는 본 발명에 따른 횡전계 방식 액정 표시 장치에서, 제 1 기판의 제조 공정을 보여주는 단면도이며, 도 1의 Ⅰ-Ⅰ'선을 따라 절단한 단면도이다.3A is a cross-sectional view illustrating a manufacturing process of a first substrate in a transverse electric field type liquid crystal display device according to the present invention, and is a cross-sectional view taken along the line II ′ of FIG. 1.

도 1 및 도 3a에 도시된 바와 같이, 제 1 기판(100) 상에 일 방향으로 게이트 배선(101), 상기 게이트 배선(101)과 동일한 방향으로 공통 배선(109)이 형성되어 있다.As shown in FIGS. 1 and 3A, the gate wiring 101 and the common wiring 109 are formed in one direction on the first substrate 100 in the same direction as the gate wiring 101.

상기 게이트 배선(101)의 일부에서 돌출되어 상기 게이트 전극(103)이 형성되어 있고, 상기 공통 배선(109)에서 화소 영역(P)으로 적어도 하나 이상 분기되어 제 2 전극(107)들이 형성되어 있다.The gate electrode 103 protrudes from a portion of the gate line 101, and at least one branch from the common line 109 to the pixel region P forms the second electrodes 107. .

상기 게이트 전극(103)은 상기 게이트 배선(101)에서 반드시 돌출되어 형성되는 것은 아니며, 상기 게이트 배선(101)으로부터 게이트 신호를 인가받을 수 있는 부분 또는 영역으로도 충분하다.The gate electrode 103 is not necessarily protruded from the gate wiring 101, and may be a portion or an area capable of receiving a gate signal from the gate wiring 101.

상기 게이트 배선(101), 상기 공통 배선(109) 및 제 2 전극(107)을 이루는 재질은 구리(Cu), 알루미늄(Al), 알루미늄 합금(AlNd : Aluminum Neodymium), 몰리브덴(Mo), 크롬(Cr), 티타늄(Ti), 탄탈륨(Ta) 및 몰리브덴-텅스텐(MoW)으로 이루어지는 그룹으로부터 선택된 적어도 하나를 포함할 수 있다.Materials forming the gate wiring 101, the common wiring 109, and the second electrode 107 include copper (Cu), aluminum (Al), aluminum alloy (AlNd: Aluminum Neodymium), molybdenum (Mo), and chromium ( At least one selected from the group consisting of Cr), titanium (Ti), tantalum (Ta), and molybdenum-tungsten (MoW).

상기 게이트 배선(101), 상기 공통 배선(109) 및 제 2 전극(107)은 단일층의 금속 배선으로 이루질 수 있을 뿐만 아니라, 2중 또는 3중 또는 그 이상의 다층 금속 배선으로 이루어질 수도 있다.The gate wiring 101, the common wiring 109, and the second electrode 107 may not only be formed of a single layer of metal wiring, but also may be formed of double, triple, or more multilayer metal wiring.

이어, 상기 제 1 기판(100) 전면에 실리콘 질화물(SiNx) 또는 실리콘 산화물(SiOx) 등의 무기 절연 물질을 예를 들어, PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) 방법으로 증착하여 게이트 절연막(105)을 형성한다.Subsequently, an inorganic insulating material such as silicon nitride (SiNx) or silicon oxide (SiOx) is deposited on the entire surface of the first substrate 100 by, for example, a plasma enhanced chemical vapor deposition (PECVD) method to deposit the gate insulating layer 105. Form.

상기 게이트 전극(103) 위치에서 상기 게이트 절연막(105) 상에 반도체 층(119)을 형성한다.The semiconductor layer 119 is formed on the gate insulating layer 105 at the gate electrode 103 position.

상기 게이트 절연막(105) 상에 비정질 실리콘층과 불순물이 주입된 비정질 실리콘층을 연속으로 증착하고 패터닝하여 상기 게이트 전극(103) 상부에 상기 반도체층(119)을 형성한다.The semiconductor layer 119 is formed on the gate electrode 103 by sequentially depositing and patterning an amorphous silicon layer and an amorphous silicon layer into which impurities are implanted on the gate insulating layer 105.

이후, 상기 반도체층(119)이 형성된 상기 게이트 절연막(105) 상에 데이터 배선 형성 금속층을 증착하고 패터닝하여 상기 게이트 배선(101)과 교차하는 데이터 배선(121), 상기 데이터 배선(121)과 연결되어 상기 반도체층(119)의 일측과 중첩된 소스 전극(125), 상기 소스 전극(125)과 이격되어 상기 반도체층(119)의 타측과 중첩된 드레인 전극(127)을 형성한다.Thereafter, a data line forming metal layer is deposited and patterned on the gate insulating layer 105 on which the semiconductor layer 119 is formed to connect the data line 121 and the data line 121 crossing the gate line 101. The source electrode 125 overlaps with one side of the semiconductor layer 119, and the drain electrode 127 overlaps with the other side of the semiconductor layer 119 to be spaced apart from the source electrode 125.

상기 게이트 배선(101) 상부에 캐패시터 전극(130)이 형성될 수 있다.The capacitor electrode 130 may be formed on the gate wiring 101.

상기 소스 전극(125) 및 상기 드레인 전극(127) 사이에서 노출된 상기 반도체층(119)의 불순물이 주입된 비정질 실리콘층을 식각하여 액티브층(115) 및 오믹 콘택층(117)으로 이루어진 반도체층 패턴을 형성한다.A semiconductor layer including an active layer 115 and an ohmic contact layer 117 by etching an amorphous silicon layer into which impurities of the semiconductor layer 119 exposed between the source electrode 125 and the drain electrode 127 are implanted. Form a pattern.

한편, 상기 반도체층(119), 소스 전극(125) 및 드레인 전극(127)을 형성하는데 방법에 있어서, 상기와 같이 두번의 포토리소그래피(photolithography) 공정으로 상기 반도체층(119)과 상기 소스 및 드레인 전극(125, 127)을 형성할 수도 있으나, 한번의 포토리소그래피 공정으로 상기 반도체층(119), 소스 전극(125) 및 드레인 전극(127)을 일괄 형성할 수도 있다. 이에 대해 아래에서 설명하도록 한다.Meanwhile, in the method of forming the semiconductor layer 119, the source electrode 125, and the drain electrode 127, the semiconductor layer 119, the source, and the drain are subjected to two photolithography processes as described above. The electrodes 125 and 127 may be formed, but the semiconductor layer 119, the source electrode 125, and the drain electrode 127 may be collectively formed in one photolithography process. This will be described below.

상기 게이트 절연막(105) 상에 비정질 실리콘층과 불순물이 주입된 비정질 실리콘층 및 데이터 배선 형성 금속층을 연속하여 형성한다.An amorphous silicon layer, an amorphous silicon layer implanted with impurities, and a data line forming metal layer are sequentially formed on the gate insulating layer 105.

그리고, 상기 게이트 전극(103) 상부에 상기 비정질 실리콘층과 불순물이 주입된 비정질 실리콘층으로 이루어진 반도체층(119)이 형성되고, 상기 제 1 기판(100) 상에 상기 게이트 배선(101)과 교차하는 방향으로 데이터 배선(121)을 동시에 형성한다.In addition, a semiconductor layer 119 including an amorphous silicon layer and an amorphous silicon layer into which impurities are implanted is formed on the gate electrode 103, and intersects with the gate wiring 101 on the first substrate 100. The data line 121 is formed at the same time in the direction.

이를 위하여 상기 제 2 공정은 회절 마스크 또는 하프-톤 마스크(half-tone mask) 공정을 사용하며, 회절 마스크 공정 또는 하프-톤 마스크 공정에 대해서 구체적으로 설명하면 다음과 같다.To this end, the second process uses a diffraction mask or a half-tone mask process, and the diffraction mask process or the half-tone mask process will be described in detail as follows.

상기 비정질 실리콘층과 불순물이 주입된 비정질 실리콘층 및 데이터 배선 형성 금속층이 순차적으로 적층된 기판 상에 포토 레지스트막을 형성한 다음 회절 마스크 또는 하프-톤 마스크를 제 1 기판(100) 상부에 정렬시킨다.A photoresist film is formed on the substrate in which the amorphous silicon layer, the amorphous silicon layer into which the impurities are implanted, and the data line forming metal layer are sequentially stacked, and then a diffraction mask or a half-tone mask is aligned on the first substrate 100.

상기 포토 레지스트막은 파지티브 포토 레지스트(positive photo resist) 물질 또는 네거티브 포토 레지스트(negative photo resist) 물질 중에서 선택적으로 사용할 수 있다. 상기 파지티브 포토 레지스트 물질은 빛을 받은 부분의 크로스 링크(cross link)가 깨져 현상액에 의해 제거되는 물질이고, 상기 네거티브 포토 레지스트 물질은 빛을 받은 부분에 크로스 링크가 생성되어 빛을 받지 않은 부분이 현상액에 의해 제거되는 물질이다. The photoresist film may be selectively used among a positive photoresist material or a negative photoresist material. The positive photoresist material is a material in which a cross link of the lighted portion is broken and is removed by a developer. It is a substance removed by the developer.

상기 포토 레지스트막 상에는 상기 회절 마스크 또는 하프-톤 마스크가 소정 간격 이격되어 배치되며, 상기 포토 마스크 상으로 광 예를 들어, 자외선 등이 조사된다.The diffraction mask or the half-tone mask is disposed on the photoresist film at predetermined intervals, and light, for example, ultraviolet rays or the like, is irradiated onto the photomask.

상기 회절 마스크 또는 하프-톤 마스크는 조사되는 광을 투과 또는 차단하여 광량을 조절할 수 있도록 패턴이 형성되어 있으며, 상기 회절 마스크 또는 하프-톤 마스크는 광 차단부, 광 투과부 및 광 부분투과부로 이루어진다.The diffraction mask or half-tone mask has a pattern formed to transmit or block irradiated light to adjust the amount of light, and the diffraction mask or half-tone mask includes a light blocking part, a light transmitting part, and a light partial transmitting part.

상기 회절 마스크 또는 하프-톤 마스크의 광 차단부는 상기 회절 마스크 또는 하프-톤 마스크로 조사되는 광을 차단할 수 있는 물질이 형성되어 있으며, 상기 광 투과부는 상기 회절 마스크 또는 하프-톤 마스크로 조사되는 광을 전부 투과할 수 있는 투명 물질이 형성되거나 개구되어 형성된다.The light blocking portion of the diffraction mask or the half-tone mask is formed of a material capable of blocking the light irradiated with the diffraction mask or the half-tone mask, and the light transmitting portion is light irradiated with the diffraction mask or the half-tone mask. A transparent material capable of penetrating all of them is formed or opened.

상기 회절 마스크 또는 하프-톤 마스크의 광 부분투과부는 상기 회절 마스크 또는 하프-톤 마스크로 조사되는 광의 일부만을 투과시킬 수 있도록 차단 패턴에 슬릿이 형성되거나, 광의 일부만 투과시키는 물질이 패턴되어 형성될 수 있다.The light partial transmissive portion of the diffraction mask or the half-tone mask may be formed by forming a slit in the blocking pattern so as to transmit only a portion of the light irradiated by the diffraction mask or the half-tone mask, or by patterning a material that transmits only a portion of the light. have.

상기와 같이 형성된 회절 마스크 또는 하프-톤 마스크는 상기 제 1 기판(100) 전면에 배치되고, 상기 회절 마스크 또는 하프-톤 마스크 상으로 빛을 조사하면, 상기 회절 마스크 또는 하프-톤 마스크를 투과한 광은 상기 포토 레지스트막 상으로 전달된다.The diffraction mask or half-tone mask formed as described above is disposed on the entire surface of the first substrate 100, and when light is irradiated onto the diffraction mask or half-tone mask, the diffraction mask or half-tone mask passes through the diffraction mask or half-tone mask. Light is transferred onto the photoresist film.

이후, 상기 포토 레지스트막을 현상액에 담구거나 분사하여 현상하면, 단차가 있는 포토 레지스트 패턴이 형성되며, 포토 레지스트 패턴은 상기 광 차단부와 대응되는 영역은 현상되지 않고 남아있으며, 상기 광 투과부와 대응되는 영역은 현상에 의해 제거되어 상기 데이터 배선 형성 금속층을 노출시키며, 상기 광 부분투과부와 대응되는 영역은 일부만 제거된다.Subsequently, when the photoresist film is developed by immersing or spraying the developer, a stepped photoresist pattern is formed, and a region corresponding to the light blocking part remains undeveloped and corresponds to the light transmitting part. A region is removed by development to expose the data line forming metal layer, and only a portion of the region corresponding to the light partial transmissive portion is removed.

상기 포토 레지스트 패턴을 마스크로 노출된 부분의 데이트 배선 형성 금속층과 반도체층을 식각하여 상기 게이트 절연막(105)을 노출시키고, 상기 포토 레지 스트 패턴을 애슁(ashing)하여 상기 광 부분투과부와 대응되는 영역의 포토 레지스트 패턴을 제거하여 이를 마스크로 상기 노출된 부분의 데이터 배선 형성 금속층 및 불순물이 주입된 비정질 실리콘층을 식각하여 데이터 배선(121), 데이터 하부 패드, 소스 전극(125) 및 드레인 전극(127)을 형성할 뿐 아니라 액티브층(115) 및 오믹 콘택층(117) 가지는 반도체층(119)을 형성할 수 있다.A region in which the gate insulating layer 105 is exposed by etching the metallization layer and the semiconductor layer of the portion where the photoresist pattern is exposed using the mask is exposed, and the photoresist pattern is ashed to correspond to the light partial transmissive portion. The photoresist pattern of the data line 121, the data lower pad, the source electrode 125, and the drain electrode 127 are etched by removing the photoresist pattern and etching the metal layer and the amorphous silicon layer into which the impurities are implanted. ) May be formed, as well as the semiconductor layer 119 having the active layer 115 and the ohmic contact layer 117.

상기 회절 마스크 또는 하프-톤 마스크를 이용한 마스크 공정으로 반도체층(119) 및 데이터 배선(121)을 형성할 경우, 상기 데이터 배선(119) 하부에 반도체층 패턴(119)이 필수적으로 형성되게 되므로, 상기 데이터 배선(121), 상기 데이터 하부 패드(121a) 아래에는 반도체층 패턴(119)이 형성되어 있다.When the semiconductor layer 119 and the data line 121 are formed by the mask process using the diffraction mask or the half-tone mask, the semiconductor layer pattern 119 is essentially formed under the data line 119. The semiconductor layer pattern 119 is formed under the data line 121 and the data lower pad 121a.

이로써, 상기 게이트 배선(101)과 데이터 배선(121)은 상기 게이트 절연막(105)을 사이에 두고 서로 교차하면서 화소 영역(P)을 정의한다.As a result, the gate wiring 101 and the data wiring 121 define the pixel region P while crossing each other with the gate insulating layer 105 interposed therebetween.

상기 데이터 배선(121)으로부터 분기된 소스 전극(125)은 상기 게이트 전극(103) 상부의 상기 반도체층(119) 일단으로 연장되어 형성되고, 상기 반도체층(119)의 다른 일단에는 상기 소스 전극(125)과 이격하여 드레인 전극(127)이 형성된다.The source electrode 125 branched from the data line 121 extends to one end of the semiconductor layer 119 above the gate electrode 103, and the other end of the semiconductor layer 119 is formed on the source electrode ( A drain electrode 127 is formed spaced apart from the 125.

상기 게이트 전극(103), 반도체층(119), 소스 전극(125) 및 드레인 전극(127)은 박막 트랜지스터(TFT)를 형성한다.The gate electrode 103, the semiconductor layer 119, the source electrode 125, and the drain electrode 127 form a thin film transistor TFT.

도 3b는 본 발명에 따른 횡전계 방식 액정 표시 장치에서, 제 1 기판의 제조 공정을 보여주는 단면도이며, 도 1의 Ⅰ-Ⅰ'선을 따라 절단한 단면도이다.3B is a cross-sectional view illustrating a manufacturing process of a first substrate in a transverse electric field type liquid crystal display device according to the present invention, and is a cross-sectional view taken along the line II ′ of FIG. 1.

도 1 및 도 3b에 도시된 바와 같이, 상기 박막 트랜지스터(TFT)가 형성된 상 기 제 1 기판(100) 상에 제 1 보호막(151) 및 제 2 보호막(153)을 연속으로 형성한다.As shown in FIGS. 1 and 3B, the first passivation layer 151 and the second passivation layer 153 are successively formed on the first substrate 100 on which the thin film transistor TFT is formed.

상기 제 1 보호막(151)은 무기 절연 물질로서 예를 들어, 실리콘 질화막 등의 실리콘 계열 절연 물질로 이루어진다.The first passivation layer 151 is made of an inorganic insulating material, for example, a silicon-based insulating material such as a silicon nitride film.

상기 제 1 보호막(151)은 상기 박막 트랜지스터(TFT)의 소스 및 드레인 전극(125, 127) 사이에 노출된 액티브층(115)을 덮는다.The first passivation layer 151 covers the active layer 115 exposed between the source and drain electrodes 125 and 127 of the thin film transistor TFT.

상기 제 1 보호막(151) 상에 형성된 상기 제 2 보호막(153)은 유기 절연 물질로서, 예를 들어, 포토 아크릴 등의 아크릴 계열 물질로 이루어진다.The second passivation layer 153 formed on the first passivation layer 151 is an organic insulating material, and is made of, for example, an acryl-based material such as photoacryl.

상기 포토 아크릴은 감광성 절연물질로서, 상기 제 2 보호막(153)을 패터닝하여 위하여 별도의 감광성 막을 형성할 필요가 없다.The photoacryl is a photosensitive insulating material, and there is no need to form a separate photosensitive film in order to pattern the second protective film 153.

상기 제 2 보호막(153)은 1 ~ 3 ㎛ 의 두께로 형성한다.The second passivation layer 153 is formed to a thickness of 1 ~ 3 ㎛.

상기 제 2 보호막(153) 상에 선택적으로 노광 및 현상하여, 상기 제 2 보호막(153)에 제 1 내지 제 4 콘택홀들(141, 143, 145, 147)을 형성한다.By selectively exposing and developing on the second passivation layer 153, first to fourth contact holes 141, 143, 145, and 147 are formed in the second passivation layer 153.

이후, 상기 제 1 내지 제 4 콘택홀들(141, 143, 145, 147)에 의해 노출된 상기 제 1 보호막(151)을 식각한다.Thereafter, the first passivation layer 151 exposed by the first to fourth contact holes 141, 143, 145, and 147 is etched.

상기 제 1 콘택홀(141)은 상기 드레인 전극(127)의 일부를 노출시킨다.The first contact hole 141 exposes a portion of the drain electrode 127.

상기 제 2 콘택홀(143)은 상기 데이터 하부 패드(121a)의 일부를 노출시킨다.The second contact hole 143 exposes a portion of the data lower pad 121a.

상기 제 3 콘택홀(145) 상기 게이트 패드(113)의 게이트 절연막(105)을 노출시킨다.The gate insulating layer 105 of the third contact hole 145 and the gate pad 113 is exposed.

상기 제 4 콘택홀(147)은 상기 캐패시터 전극(130)의 일부를 노출시킨다.The fourth contact hole 147 exposes a portion of the capacitor electrode 130.

이후, 상기 제 3 콘택홀(145)에 의해 노출된 상기 게이트 절연막(105)을 더 식각하여 상기 제 3 콘택홀(145)은 상기 게이트 하부 패드(101a)를 드러낸다.Thereafter, the gate insulating layer 105 exposed by the third contact hole 145 is further etched so that the third contact hole 145 exposes the gate lower pad 101a.

도 3c는 본 발명에 따른 횡전계 방식 액정 표시 장치에서, 제 1 기판의 제조 공정을 보여주는 단면도이며, 도 1의 Ⅰ-Ⅰ'선을 따라 절단한 단면도이다.3C is a cross-sectional view illustrating a manufacturing process of a first substrate in a transverse electric field type liquid crystal display device according to the present invention, and is a cross-sectional view taken along the line II ′ of FIG. 1.

도 1 및 도 3c에 도시된 바와 같이, 상기 제 2 보호막(153) 상에 투명한 도전성 금속을 증착하고 패터닝하여 상기 제 1 콘택홀(141)을 통하여 상기 드레인 전극(127)과 접속되는 제 1 전극(133)이 형성된다. 그리고, 상기 박막 트랜지스터(TFT) 영역, 상기 게이트 배선(101), 상기 데이터 배선(121) 및 상기 캐패시터 전극(130) 중 적어도 어느 하나의 상부에 패드(133a)를 형성한다.1 and 3C, a first electrode connected to the drain electrode 127 through the first contact hole 141 by depositing and patterning a transparent conductive metal on the second passivation layer 153. 133 is formed. The pad 133a is formed on at least one of the thin film transistor (TFT) region, the gate wiring 101, the data wiring 121, and the capacitor electrode 130.

그리고, 상기 데이터 하부 패드(121a) 상부에 데이터 상부 패드(135), 상기 게이트 하부 패드(101a) 상부에 게이트 상부 패드(137)를 형성한다.A data upper pad 135 is formed on the data lower pad 121a and a gate upper pad 137 is formed on the gate lower pad 101a.

상기 데이터 상부 패드(135)는 상기 제 2 콘택홀(143)을 통하여 상기 데이터 하부 패드(121a)와 접속한다.The data upper pad 135 is connected to the data lower pad 121a through the second contact hole 143.

상기 게이트 상부 패드(137)는 상기 제 3 콘택홀(145)을 통하여 상기 게이트 하부 패드(101a)와 접속한다.The gate upper pad 137 is connected to the gate lower pad 101a through the third contact hole 145.

상기 제 1 전극(133)은 상기 제 4 콘택홀(147)을 통하여 상기 캐패시터 전극(130)과 접속한다.The first electrode 133 is connected to the capacitor electrode 130 through the fourth contact hole 147.

상기 투명한 도전성 금속은 제 1 전극(133)을 이루는 재질은 산화 주석 인듐(indium-tin-oxide : ITO) , 산화 아연 인듐(indium-zinc-oxide : IZO)로 이루어 지는 투명 도전성 금속 그룹으로부터 선택된 적어도 하나를 포함할 수 있다.The transparent conductive metal may include at least one selected from the group of transparent conductive metals formed of tin indium oxide (ITO) or zinc indium oxide (IZO). It may include one.

도 3d는 본 발명에 따른 횡전계 방식 액정 표시 장치에서, 제 1 기판의 제조 공정을 보여주는 단면도이며, 도 1의 Ⅰ-Ⅰ'선을 따라 절단한 단면도이다.3D is a cross-sectional view illustrating a manufacturing process of a first substrate in a transverse electric field liquid crystal display according to the present invention, and is a cross-sectional view taken along the line II ′ of FIG. 1.

도 1 및 도 3d에 도시된 바와 같이, 앞서 도시하여 설명한 도 3a 내지 도 3c의 순서대로 제조된 상기 제 1 기판(100)의 전면에 제 1 배향막(181)을 형성한다.As shown in FIGS. 1 and 3D, a first alignment layer 181 is formed on the entire surface of the first substrate 100 manufactured in the order of FIGS. 3A to 3C described above.

상기 제 1 배향막(181)은 액정 분자의 배향을 위한 것이다.The first alignment layer 181 is for alignment of liquid crystal molecules.

상기 배향막의 형성 공정은 크게 고분자 박막을 도포하는 공정과 배향막을 일정한 방향으로 배열시키는 공정으로 이루어진다.The formation process of the alignment film is largely made of a process of applying a polymer thin film and a process of arranging the alignment film in a predetermined direction.

상기 제 1 배향막(181)에는 일반적으로 폴리이미드(polyimide) 계열의 유기물질이 주로 사용되고, 상기 배향막을 배열시키는 방법으로는 주로 러빙(rubbing) 방법이 이용되고 있다.Generally, a polyimide-based organic material is mainly used for the first alignment layer 181, and a rubbing method is mainly used as a method of arranging the alignment layer.

이와 같은 러빙 방법은 먼저 기판 위에 폴리이미드 계열의 유기 물질을 도포하고, 60 ~ 80℃ 정도의 온도에서 용제를 날리고 정렬시킨 후, 80 ~ 200℃ 정도의 온도에서 경화시켜 폴리이미드 배향막을 형성한 후, 벨벳(velvet) 등으로 만들어진 러빙포를 이용하여 상기 배향막을 일정한 방향으로 문질러 줌으로써 배향 방향을 형성시키는 방법이다.In such a rubbing method, a polyimide-based organic material is first applied onto a substrate, the solvent is blown and aligned at a temperature of about 60 to 80 ° C., and then cured at a temperature of about 80 to 200 ° C. to form a polyimide alignment layer. It is a method of forming the orientation direction by rubbing the alignment layer in a predetermined direction using a rubbing cloth made of velvet or the like.

상기 배향막을 일정한 방향으로 배열시키는 공정은 상기 러빙 공정뿐 아니라 광 조사 배향법, 이온빔 조사 배향법 등의 넌-러빙(non-rubbing) 공정도 가능하다.The step of arranging the alignment layer in a predetermined direction may include a non-rubbing process such as a light irradiation alignment method and an ion beam irradiation alignment method as well as the rubbing process.

상기 배향막을 배열시키는 공정은 러빙법과 넌-러빙 법을 연속으로 수행할 수도 있으며, 이는 배향 특성을 더욱 향상시킨다.The process of arranging the alignment film may also perform the rubbing method and the non-rubbing method continuously, which further improves the orientation characteristic.

도 4a는 본 발명에 따른 횡전계 방식 액정 표시 장치에서, 제 2 기판의 제조 공정을 보여주는 단면도이고, 도 1의 Ⅰ-Ⅰ'선을 따라 절단한 단면도이다.4A is a cross-sectional view illustrating a manufacturing process of a second substrate in a transverse electric field type liquid crystal display device according to the present invention, and is a cross-sectional view taken along the line II ′ of FIG. 1.

도 1 및 도 4a에 도시된 바와 같이, 제 2 기판(170) 상의 전면에 크롬(Cr) 또는 광 차단 물질을 형성하고 패터닝하여 광 차단 패턴(171)을 형성한다.1 and 4A, the light blocking pattern 171 is formed by forming and patterning a chromium (Cr) or a light blocking material on the entire surface of the second substrate 170.

상기 광 차단 패턴(171)은 상기 화소 영역(P)과 대응하는 영역의 경계에 형성된다.The light blocking pattern 171 is formed at a boundary between an area corresponding to the pixel area P and the light blocking pattern 171.

예를 들어, 상기 광 차단 패턴(171)은 상기 제 1 기판(100) 상에 형성된 박막 트랜지스터(TFT), 게이트 배선(101), 데이터 배선(121), 캐패시터 전극(130)과 대응하는 영역에 형성되어 빛샘 등을 차단한다.For example, the light blocking pattern 171 may be formed in a region corresponding to the thin film transistor TFT, the gate wiring 101, the data wiring 121, and the capacitor electrode 130 formed on the first substrate 100. Formed to block light leakage.

도 4b는 본 발명에 따른 횡전계 방식 액정 표시 장치에서, 제 2 기판의 제조 공정을 보여주는 단면도이고, 도 1의 Ⅰ-Ⅰ'선을 따라 절단한 단면도이다.4B is a cross-sectional view illustrating a manufacturing process of a second substrate in the transverse electric field type liquid crystal display device according to the present invention, and is a cross-sectional view taken along the line II ′ of FIG. 1.

도 1 및 도 4b에 도시된 바와 같이, 상기 광 차단 패턴(171)이 형성된 상기 제 2 기판(170) 상에 컬러 필터 패턴(173)을 형성한다.As shown in FIGS. 1 and 4B, a color filter pattern 173 is formed on the second substrate 170 on which the light blocking pattern 171 is formed.

상기 광 차단 패턴(171)은 상기 화소 영역(P)의 경계를 따라 격자 형태로 형성되어 있으며, 상기 컬러 필터 패턴(173)은 상기 격자에 의해 구획된 영역 내에 형성된다.The light blocking pattern 171 is formed in a lattice form along the boundary of the pixel region P, and the color filter pattern 173 is formed in a region partitioned by the lattice.

상기 컬러 필터 패턴(173)은 각 화소 영역(P)과 대응하여 적색, 녹색, 청색 컬러 필터 패턴들이 있다.The color filter pattern 173 includes red, green, and blue color filter patterns corresponding to each pixel area P. FIG.

에를 들어, 상기 제 2 기판(170) 상에 적색 컬러 레진을 도포한 다음 패터닝하여 적색 컬러 필터 패턴을 형성한다. 이후, 상기 적색 컬러 필터 패턴이 형성된 상기 제 2 기판(170) 상에 녹색 컬러 레진을 도포한 다음 패터닝하여 녹색 컬러 필터 패턴을 형성한다. 이후, 상기 적색 및 녹색 컬러 필터 패턴이 형성된 상기 제 2 기판(170) 상에 청색 컬러 레진을 도포한 다음 패터닝하여 청색 컬러 필터 패턴을 형성한다.For example, a red color resin is coated on the second substrate 170 and then patterned to form a red color filter pattern. Thereafter, a green color resin is coated on the second substrate 170 on which the red color filter pattern is formed, and then patterned to form a green color filter pattern. Thereafter, a blue color resin is coated on the second substrate 170 on which the red and green color filter patterns are formed, and then patterned to form a blue color filter pattern.

이후, 상기 광 차단 패턴(171)과 상기 컬러 필터 패턴(173)들이 형성된 상기 제 2 기판(170) 전면에 오버코트층을 형성하여 상기 제 2 기판(170)이 단차 없이 평평한 면을 가지도록 할 수도 있다. 상기 오버코트층 형성 공정은 필수 공정은 아니며 필요에 따라 선택할 수 있다.Subsequently, an overcoat layer may be formed on the entire surface of the second substrate 170 on which the light blocking pattern 171 and the color filter patterns 173 are formed so that the second substrate 170 may have a flat surface without a step. have. The overcoat layer forming process is not an essential process and can be selected as necessary.

도 4c는 본 발명에 따른 횡전계 방식 액정 표시 장치에서, 제 2 기판의 제조 공정을 보여주는 단면도이고, 도 1의 Ⅰ-Ⅰ'선을 따라 절단한 단면도이다.4C is a cross-sectional view illustrating a manufacturing process of a second substrate in a transverse electric field liquid crystal display according to the present invention, and is a cross-sectional view taken along the line II ′ of FIG. 1.

도 1 및 도 4c에 도시된 바와 같이, 상기 광 차단 패턴(171) 및 상기 컬러 필터 패턴(173)이 형성된 제 2 기판(170) 상에 제 2 배향막(182)이 형성된다.As shown in FIGS. 1 and 4C, a second alignment layer 182 is formed on the second substrate 170 on which the light blocking pattern 171 and the color filter pattern 173 are formed.

상기 제 2 배향막(182)은 상기 제 1 배향막(181) 형성 공정과 동일하다.The second alignment layer 182 is the same as the process of forming the first alignment layer 181.

상기 제 2 배향막(182)의 배열 방향은 상기 제 1 배향막(181)의 배열 방향과 동일할 수도 있고, 서로 다를 수도 있다.The arrangement direction of the second alignment layer 182 may be the same as or different from the arrangement direction of the first alignment layer 181.

예를 들어, 본 실시예인 횡전계 방식 액정 표시 장치는 상기 제 1 배향막 및 상기 제 2 배향막의 배열 방향이 동일하다.For example, in the transverse electric field type liquid crystal display device according to the present embodiment, the arrangement directions of the first alignment layer and the second alignment layer are the same.

도 4d는 본 발명에 따른 횡전계 방식 액정 표시 장치에서, 제 2 기판의 제조 공정을 보여주는 단면도이고, 도 1의 Ⅰ-Ⅰ'선을 따라 절단한 단면도이다.4D is a cross-sectional view illustrating a manufacturing process of a second substrate in a transverse electric field liquid crystal display according to the present invention, and is a cross-sectional view taken along the line II ′ of FIG. 1.

도 1 및 도 4d에 도시된 바와 같이, 상기 제 2 기판(170) 상에 감광성 막을 도포하고, 상기 감광성 막을 부분적으로 노광하고 현상하여 셀갭 유지 부재(185)를 형성한다.1 and 4D, a photosensitive film is coated on the second substrate 170, the photosensitive film is partially exposed and developed to form a cell gap retaining member 185.

상기 감광성 막은 2 ~ 4 ㎛ 의 두께로 형성한다.The photosensitive film is formed to a thickness of 2 to 4 ㎛.

상기 셀갭 유지 부재(185)는 상기 제 2 기판(170)과 접촉하는 제 1 면(185a)의 면적보다 상기 제 1 기판(100)과 마주하는 제 2 면(185b)의 면적이 작다.The cell gap retaining member 185 has a smaller area of the second surface 185b facing the first substrate 100 than an area of the first surface 185a in contact with the second substrate 170.

즉, 상기 제 1 면(185a)의 폭(a)보다 상기 제 2 면(185b)의 폭(b)이 작다.That is, the width b of the second surface 185b is smaller than the width a of the first surface 185a.

상기 제 2 면(185b)의 폭(b)은 5 ~ 30 ㎛인 것을 특징으로 한다.The width b of the second surface 185b is 5 to 30 μm.

상기 제 1 면(185a)의 폭(a)은 상기 제 2 면(185b)의 폭의 2배 내지 2.5배인 것을 특징으로 한다.Width (a) of the first surface (185a) is characterized in that 2 to 2.5 times the width of the second surface (185b).

상기 셀갭 유지 부재(185)는 하부에서 상부로 갈수록 폭이 작아지는 기둥 형상을 가진다.The cell gap retaining member 185 has a columnar shape in which the width decreases from the bottom to the top.

상기 셀갭 유지 부재(185)와 대응하는 상기 패드(133a)의 폭(c)은 상기 셀갭 유지 부재(185)의 제 2 면(185b)의 폭(b)보다 크다.The width c of the pad 133a corresponding to the cell gap holding member 185 is larger than the width b of the second surface 185b of the cell gap holding member 185.

상기 셀갭 유지 부재(185)는 상기 제 1 기판(100) 상에 형성된 패드(133a)와 일대일 대응하도록 형성한다.The cell gap maintaining member 185 is formed to have a one-to-one correspondence with the pad 133a formed on the first substrate 100.

상기 제 1 기판(100) 및 상기 제 2 기판(170) 중 어느 한 기판의 외곽 둘레를 따라 봉지 부재를 형성한다.An encapsulation member is formed along an outer periphery of one of the first substrate 100 and the second substrate 170.

<제 2 실시예>Second Embodiment

도 5는 본 발명의 제 1 실시예로서, 액정 표시 장치의 단위 화소를 확대하여 보여주는 평면도이고, 도 6은 도 5에서 Ⅱ-Ⅱ'선을 따라 절단하여 보여주는 액정 표시 장치의 단면도이다.FIG. 5 is a plan view illustrating an enlarged unit pixel of a liquid crystal display according to a first exemplary embodiment of the present invention, and FIG. 6 is a cross-sectional view of the liquid crystal display shown along the line II-II ′ of FIG. 5.

도 5 및 도 6에 도시된 바와 같이, 액정 표시 장치는 제 1 기판(200), 상기 제 1 기판(200)과 대향하는 제 2 기판(270) 및 상기 제 1 기판(200) 및 상기 제 2 기판(270) 사이에 개재된 액정층(290)을 포함한다.5 and 6, the liquid crystal display device includes a first substrate 200, a second substrate 270 facing the first substrate 200, and the first substrate 200 and the second substrate. The liquid crystal layer 290 is interposed between the substrate 270.

상기 제 1 기판(200)과 상기 제 2 기판(270) 사이의 균일한 셀갭을 유지하기 위한 셀갭 유지 부재(285)가 상기 제 2 기판(270) 상에 형성되어 있다.A cell gap holding member 285 is formed on the second substrate 270 to maintain a uniform cell gap between the first substrate 200 and the second substrate 270.

상기 제 1 기판(200) 상에 상기 셀갭 유지 부재(285)와 대응하는 패드(233a)가 형성되어 있다.The pad 233a corresponding to the cell gap retaining member 285 is formed on the first substrate 200.

상기 셀갭 유지 부재(285)와 상기 패드(233a)는 서로 일대일 대응하며, 상기 패드의 면적이 상기 패드와 마주하는 상기 셀갭 유지 부재의 일면의 면적보다 크다.The cell gap retaining member 285 and the pad 233a correspond one to one with each other, and an area of the pad is larger than an area of one surface of the cell gap retaining member facing the pad.

상기 액정 표시 장치는 상기 제 1 기판(200) 상에 형성된 게이트 배선(201)과, 상기 제 1 기판(200) 상에 상기 게이트 배선(201)과 교차하여 화소 영역(P)을 정의하는 데이터 배선(221)과, 상기 화소 영역(P)에 적어도 하나 형성된 박막 트랜지스터(TFT)와, 상기 박막 트랜지스터(TFT)의 채널 영역을 덮으며 상기 제 1 기판(200) 전면에 형성된 제 1 보호막(251)과, 상기 제 1 보호막(251) 상에 형성된 제 2 보호막(253)을 포함한다.The liquid crystal display includes a gate wiring 201 formed on the first substrate 200 and a data wiring defining the pixel region P by crossing the gate wiring 201 on the first substrate 200. 221, at least one thin film transistor TFT formed in the pixel region P, and a first passivation layer 251 formed over the first substrate 200 to cover the channel region of the thin film transistor TFT. And a second passivation layer 253 formed on the first passivation layer 251.

상기 제 1 보호막(251)은 무기 절연막으로 이루어지며, 예를 들어, 실리콘 질화막 (SiNx)등의 실리콘 계열 절연 물질로 이루어진다.The first passivation layer 251 is made of an inorganic insulating layer, and is made of, for example, a silicon-based insulating material such as silicon nitride (SiNx).

상기 제 2 보호막(253)은 유기 절연막으로 이루어지며, 예를 들어, 포토 아크릴(photo acryle)등의 아크릴 계열 물질로 이루어진다.The second passivation layer 253 is formed of an organic insulating layer, and is made of, for example, an acrylic material such as photo acryl.

상기 제 2 보호막(253)의 두께는 상기 제 1 보호막(251)의 두께보다 두껍다.The thickness of the second passivation layer 253 is greater than the thickness of the first passivation layer 251.

상기 제 2 보호막(253)은 상기 게이트 패드부(213)와 상기 데이터 패드부(223)에는 형성되지 않는 것이 바람직하다.The second passivation layer 253 may not be formed in the gate pad part 213 and the data pad part 223.

상기 제 2 보호막(253)은 상기 데이터 패드부(223)의 데이터 하부 패드(221a)의 일부를 노출시키는 제 2 콘택홀(243)이 더 형성되어 있으며, 상기 게이트 패드부(213)의 게이트 하부 패드(201a)의 일부를 노출시키는 제 3 콘택홀(245)이 상기 게이트 절연막(205)을 관통하여 형성되어 있다.The second passivation layer 253 further includes a second contact hole 243 exposing a portion of the data lower pad 221a of the data pad unit 223, and a lower portion of the gate pad 213 of the gate pad 213. A third contact hole 245 exposing a portion of the pad 201a is formed through the gate insulating film 205.

상기 제 1 보호막(251) 및 상기 제 2 보호막(253)은 상기 드레인 전극(227)을 소정 노출시키는 제 1 콘택홀(241)을 갖는다.The first passivation layer 251 and the second passivation layer 253 have a first contact hole 241 that exposes the drain electrode 227.

상기 데이터 배선(221)의 일단에는 데이터 패드부(223)가 형성되어 있다.The data pad part 223 is formed at one end of the data line 221.

상기 데이터 패드부(223)는 상기 데이터 배선(221)이 연장된 데이터 하부 패드(221a)와 상기 데이터 하부 패드를 덮는 데이터 상부 패드를 포함한다.The data pad unit 223 may include a data lower pad 221a from which the data line 221 extends and a data upper pad covering the data lower pad.

상기 데이터 하부 패드(221a)와 상기 데이터 상부 패드(235)는 상기 제 1 보호막(251) 또는 상기 제 2 보호막(253)에 형성된 제 2 콘택홀(243)을 통하여 전기적으로 연결된다.The data lower pad 221a and the data upper pad 235 are electrically connected to each other through a second contact hole 243 formed in the first passivation layer 251 or the second passivation layer 253.

상기 게이트 배선(201)의 일단에는 게이트 패드부(213)가 형성된다.The gate pad part 213 is formed at one end of the gate wiring 201.

상기 게이트 패드부(213)는 상기 게이트 배선(201)이 연장된 게이트 하부 패드(201a)와 상기 게이트 하부 패드(201a)를 덮는 게이트 상부 패드(237)를 포함한 다.The gate pad part 213 includes a gate lower pad 201 a from which the gate wiring 201 extends and a gate upper pad 237 covering the gate lower pad 201 a.

상기 게이트 하부 패드(201a)와 상기 게이트 상부 패드(237)는 상기 제 1 보호막(251) 또는 상기 제 2 보호막(253)에 형성된 제 3 관통홀(245)을 통하여 서로 전기적으로 연결된다.The gate lower pad 201a and the gate upper pad 237 are electrically connected to each other through a third through hole 245 formed in the first passivation layer 251 or the second passivation layer 253.

상기 박막 트랜지스터(TFT)는 상기 게이트 배선(201)으로부터 신호를 인가받는 게이트 전극(203)과, 상기 게이트 전극(203)을 덮는 게이트 절연막(205)과, 상기 게이트 전극(203)의 위치에서 상기 게이트 절연막(205) 상에 형성된 반도체층(219)과, 상기 반도체층(219)의 일단과 다른 일단에 형성되어 서로 소정 간격 이격된 소스 전극(225) 및 드레인 전극(227)을 포함하여 이루어진다. 여기서, 상기 소스 전극(225)은 상기 데이터 배선(221)과 연결되어 데이터 신호를 인가받는다.The thin film transistor TFT may include a gate electrode 203 that receives a signal from the gate wiring 201, a gate insulating film 205 covering the gate electrode 203, and the gate electrode 203 at the position of the gate electrode 203. The semiconductor layer 219 is formed on the gate insulating layer 205 and the source electrode 225 and the drain electrode 227 which are formed at one end of the semiconductor layer 219 and the other end of the semiconductor layer 219 are spaced apart from each other by a predetermined interval. Here, the source electrode 225 is connected to the data line 221 to receive a data signal.

상기 소스 전극(225)은 '⊂' 형상의 홈을 갖도록 돌출되어 있고, 상기 드레인 전극(227)은 상기 '⊂' 형상의 홈 안쪽에 상기 소스 전극(225)과 소정간격 이격되어 삽입되어 있으며, 상기 소스 전극(225)과 드레인 전극(227) 사이에 채널 영역이 '⊂' 형상으로 형성되어 있다.The source electrode 225 protrudes to have a '⊂' shaped groove, and the drain electrode 227 is inserted into the '⊂' shaped groove spaced apart from the source electrode 225 by a predetermined interval. A channel region is formed in a '전극' shape between the source electrode 225 and the drain electrode 227.

그러나, 상기 소스 전극(225) 및 드레인 전극(227)의 형상은 도시된 실시예에 한정되지 않으며, 상기 소스 전극(225) 및 드레인 전극(227)의 형상은 채널 길이 및 폭의 설계에 따라 다양하게 변형될 수 있음이 당연하다.However, the shape of the source electrode 225 and the drain electrode 227 is not limited to the illustrated embodiment, the shape of the source electrode 225 and the drain electrode 227 varies depending on the design of the channel length and width Naturally, it can be modified.

상기 반도체층(219)은 비정질 실리콘으로 이루어진 액티브층(215)과 상기 소스 전극(225) 및 상기 드레인 전극(227)과 접촉되며 불순물이 이온 주입된 오믹 콘택층(217)으로 이루어질 수 있다.The semiconductor layer 219 may be formed of an active layer 215 made of amorphous silicon, an ohmic contact layer 217 in contact with the source electrode 225 and the drain electrode 227 and implanted with impurities.

상기 데이터 배선(221), 데이터 하부 패드(221a), 캐패시터 상부 전극(230)하부에는 반도체층 패턴(219a)이 더 형성될 수 있다.A semiconductor layer pattern 219a may be further formed below the data line 221, the data lower pad 221a, and the capacitor upper electrode 230.

상기 박막 트랜지스터의 상기 드레인 전극(227)과 연결되어 화소 신호를 인가받는 제 1 전극(233)들이 상기 화소 영역에 형성되어 있다.First electrodes 233 connected to the drain electrode 227 of the thin film transistor and receiving a pixel signal are formed in the pixel area.

상기 제 1 전극(233)을 이루는 재질은 산화 주석 인듐(indium-tin-oxide : ITO) 및 산화 아연 인듐(indium-zinc-oxide : IZO)로 이루어지는 투명 도전성 금속 그룹으로부터 선택된 적어도 하나를 포함할 수 있다.The material constituting the first electrode 233 may include at least one selected from a group of transparent conductive metals consisting of indium-tin-oxide (ITO) and zinc indium-zinc-oxide (IZO). have.

상기 게이트 배선(201)을 이루는 금속 재질은 구리(Cu), 알루미늄(Al), 알루미늄 합금(AlNd : Aluminum Neodymium), 몰리브덴(Mo), 크롬(Cr), 티타늄(Ti), 탄탈륨(Ta) 및 몰리브덴-텅스텐(MoW)으로 이루어지는 그룹으로부터 선택된 적어도 하나를 포함할 수 있다.Metal materials constituting the gate wiring 201 include copper (Cu), aluminum (Al), aluminum alloy (AlNd: Aluminum Neodymium), molybdenum (Mo), chromium (Cr), titanium (Ti), tantalum (Ta), and the like. It may comprise at least one selected from the group consisting of molybdenum-tungsten (MoW).

상기 제 1 기판(200) 상에는 제 1 배향막(281)이 형성되어 있다.A first alignment layer 281 is formed on the first substrate 200.

상기 제 1 기판(200)과 대향하는 제 2 기판(270)에는, 상기 화소 영역(P)의 경계에서 발생되는 빛샘을 차단하기 위한 광 차단 패턴(271)과, 상기 화소 영역(P)과 대응하여 형성된 적색(Red), 녹색(Green), 청색(Blue) 컬러 필터 패턴(273)들이 배치되어 있다.The second substrate 270 facing the first substrate 200 may include a light blocking pattern 271 for blocking light leakage generated at the boundary of the pixel region P, and the pixel region P. Red, green, and blue color filter patterns 273 formed by using the same are disposed.

예를 들어, 상기 광 차단 패턴(271)은 상기 게이트 배선(201), 상기 데이터 배선(221), 상기 박막 트랜지스터(TFT) 영역과 대응하여 형성되어 있다.For example, the light blocking pattern 271 is formed to correspond to the gate wiring 201, the data wiring 221, and the thin film transistor TFT area.

상기 광 차단 패턴(271) 및 상기 컬러 필터 패턴(273)들이 형성된 상기 제 2 기판(270) 상의 전면에는 제 2 전극(277)이 형성되어 있다.A second electrode 277 is formed on an entire surface of the second substrate 270 on which the light blocking pattern 271 and the color filter patterns 273 are formed.

상기 제 2 전극(277)을 이루는 재질은 산화 주석 인듐(indium-tin-oxide : ITO) 및 산화 아연 인듐(indium-zinc-oxide : IZO)로 이루어지는 투명 도전성 금속 그룹으로부터 선택된 적어도 하나를 포함할 수 있다.The material constituting the second electrode 277 may include at least one selected from a group of transparent conductive metals consisting of indium tin oxide (ITO) and zinc indium oxide (IZO). have.

상기 제 2 전극(277) 상에는 제 2 배향막(282)이 형성된다.A second alignment layer 282 is formed on the second electrode 277.

그리고, 상기 제 1 기판(200)과 제 2 기판(270)은 패널 외곽을 따라 형성된 봉지 부재(sealant)에 의해 합착된다. In addition, the first substrate 200 and the second substrate 270 are bonded to each other by an encapsulation member formed along the outside of the panel.

상기 제 1 기판(200)과 상기 제 2 기판(270)이 일정 간격 이격될 수 있도록 상기 제 1 기판(200)과 상기 제 2 기판(270) 사이에 셀갭 유지 부재(285)가 형성되어 있다.A cell gap retaining member 285 is formed between the first substrate 200 and the second substrate 270 so that the first substrate 200 and the second substrate 270 may be spaced apart from each other by a predetermined interval.

상기 셀갭 유지 부재(285)는 상기 제 2 기판(200) 상의 광 차단 패턴(271) 상부에 적어도 하나 이상 형성된다.At least one cell gap retention member 285 is formed on the light blocking pattern 271 on the second substrate 200.

상기 셀갭 유지 부재(285)와 마주하도록 상기 제 1 기판(200) 상에는 패드(233a)가 형성되어 있다.The pad 233a is formed on the first substrate 200 so as to face the cell gap holding member 285.

상기 패드(233a)는 상기 셀갭 유지 부재(285)와 일대일 대응된다.The pad 233a corresponds one-to-one with the cell gap retaining member 285.

상기 패드(233a)는 상기 제 1 전극(233)과 동일한 물질로 형성될 수 있으며, 상기 패드는 상기 제 1 전극(233)과 동일한 두께로 동일층에 형성될 수도 있다.The pad 233a may be formed of the same material as the first electrode 233, and the pad may be formed on the same layer with the same thickness as the first electrode 233.

상기 패드(233a)의 형상을 여러가지일 수 있으며, 다각형 또는 원형일 수 있다.The pad 233a may have various shapes, and may be polygonal or circular.

상기 패드(233a)는 상기 제 1 전극(233)과 이격될 수도 있고, 연결될 수도 있다.The pad 233a may be spaced apart from or connected to the first electrode 233.

상기 셀갭 유지 부재(285)는 상기 제 2 기판(270)과 접촉하는 제 1 면(285a)의 면적보다 상기 제 1 기판(200)과 마주하는 제 2 면(285b)의 면적이 작다.The cell gap retaining member 285 has a smaller area of the second surface 285b facing the first substrate 200 than an area of the first surface 285a in contact with the second substrate 270.

즉, 상기 제 1 면(285a)의 폭보다 상기 제 2 면(285b)의 폭이 작다.That is, the width of the second surface 285b is smaller than the width of the first surface 285a.

상기 제 2 면(285b)의 폭은 5 ~ 30 ㎛인 것을 특징으로 한다.The second surface 285b has a width of 5 to 30 μm.

상기 제 1 면(285a)의 폭은 상기 제 2 면(285b)의 폭의 2배 내지 2.5배인 것을 특징으로 한다.The width of the first surface 285a is two to 2.5 times the width of the second surface 285b.

상기 셀갭 유지 부재는 (285)하부에서 상부로 갈수록 폭이 작아지는 기둥 형상을 가진다.The cell gap retaining member has a columnar shape in which the width decreases from the lower portion to the upper portion of the cell gap holding member.

상기 셀갭 유지 부재(285)와 대응하는 상기 패드(233a)의 폭은 상기 셀갭 유지 부재(285)의 제 2 면(285b)의 폭보다 크다.The width of the pad 233a corresponding to the cell gap retaining member 285 is greater than the width of the second surface 285b of the cell gap retaining member 285.

상기 셀갭 유지 부재(285)의 제 2 면(285b)은 상기 패드(233a)의 중앙에 배치될 수 있다.The second surface 285b of the cell gap retaining member 285 may be disposed at the center of the pad 233a.

상기 제 1 기판(200)과 제 2 기판(270) 사이에는 액정층(290)이 형성된다.The liquid crystal layer 290 is formed between the first substrate 200 and the second substrate 270.

상기 제 1 기판(200)과 상기 제 2 기판(270)이 합착된 상태에서, 패널에 눌림과 같은 외부 자극이 주어지면 상기 셀갭 유지 부재(285)는 상기 패드(233a)를 누르게 된다.In a state where the first substrate 200 and the second substrate 270 are bonded together, the cell gap retaining member 285 presses the pad 233a when an external stimulus such as pressing is applied to the panel.

이때, 상기 패드(233a)는 상기 제 2 보호막(285) 상부에서 상기 셀갭 유지 부재(285)의 제 2 면(285b)보다 넓은 면적으로 이루어져 있으므로 상기 제 2 보호막(253)에 가해지는 압력이 분산될 수 있다.In this case, since the pad 233a has a larger area than the second surface 285b of the cell gap retaining member 285 on the second passivation layer 285, the pressure applied to the second passivation layer 253 is dispersed. Can be.

특히, 상기 제 2 보호막(253)은 포토 아크릴 등의 유기막으로 이루어지므로 상기 압력에 의해 눌림 자국이 발생되기가 쉬우나, 본 실시예에 따른 패드(233a)는 상기 제 2 보호막(253)과 상기 셀갭 유지 부재(285)의 눌림 압력을 분산시켜 눌림 자국을 방지한다.In particular, since the second passivation layer 253 is formed of an organic layer such as photoacrylic, it is easy to generate a pressing mark due to the pressure. However, the pad 233a according to the present embodiment may be formed of the second passivation layer 253 and the second passivation layer 253. The pressing pressure of the cell gap holding member 285 is dispersed to prevent the pressing marks.

상기 셀갭 유지 부재(285)에 의한 보호막 눌림 얼룩을 방지하여 셀갭의 균일성 및 액정 분포의 균일성이 개선되는 효과가 있다.By preventing the pressing of the protective film by the cell gap holding member 285, the uniformity of the cell gap and the uniformity of the liquid crystal distribution may be improved.

본 발명을 구체적인 실시예들을 통하여 상세히 설명하였으나, 이는 본 발명을 구체적으로 설명하기 위한 것으로, 본 발명에 따른 액정 표시 장치 및 그의 제조 방법은 이에 한정되지 않으며, 다양한 변형이나 개량이 가능하다.Although the present invention has been described in detail through specific embodiments, it is intended to describe the present invention in detail, and the liquid crystal display and the manufacturing method thereof according to the present invention are not limited thereto, and various modifications and improvements are possible.

본 발명은 액정 표시 장치에서 셀갭 유지 부재에 의한 보호막 눌림 얼룩을 방지하여 셀갭의 균일성 및 액정 분포의 균일성이 개선되므로 화질이 개선되는 제 1의 효과가 있다.The present invention has a first effect of improving image quality because the uniformity of the cell gap and the uniformity of the liquid crystal distribution are improved by preventing the protective film from being pressed by the cell gap holding member in the liquid crystal display.

본 발명은 셀갭 유지 부재와 대응하는 마주하는 패드를 형성하여 상기 패드가 눌림 압력을 분산시키며 상기 패드는 화소 전극 형성시 더미 패턴으로 형성함으로써 공정이 간단한 제 2의 효과가 있다.According to the present invention, a pad corresponding to a cell gap retaining member is formed to disperse the pressing pressure of the pad, and the pad is formed in a dummy pattern when forming a pixel electrode.

Claims (23)

다수의 화소 영역을 갖는 제 1 기판;A first substrate having a plurality of pixel regions; 상기 제 1 기판과 마주하는 제 2 기판;A second substrate facing the first substrate; 상기 화소 영역에 형성된 적어도 하나 이상의 박막 트랜지스터;At least one thin film transistor formed in the pixel region; 상기 박막 트랜지스터와 연결되며 상기 화소 영역에 형성된 제 1 전극;A first electrode connected to the thin film transistor and formed in the pixel area; 상기 제 2 기판 상에 형성된 셀갭 유지 부재;A cell gap retaining member formed on the second substrate; 상기 제 1 기판 상에 형성되며 상기 셀갭 유지 부재와 마주하는 패드; 및A pad formed on the first substrate and facing the cell gap retaining member; And 상기 제 1 기판과 상기 제 2 기판 사이에 개재된 액정층을 포함하는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치.And a liquid crystal layer interposed between the first substrate and the second substrate. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 박막 트랜지스터가 형성된 상기 제 1 기판 상에 제 1 보호막이 형성된 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치.And a first passivation layer is formed on the first substrate on which the thin film transistor is formed. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 박막 트랜지스터가 형성된 상기 제 1 기판 상에 형성된 제 1 보호막;A first passivation layer formed on the first substrate on which the thin film transistor is formed; 상기 제 1 보호막 상에 형성된 제 2 보호막을 더 포함하는 것을 특징으로 하 는 액정 표시 장치.And a second passivation layer formed on the first passivation layer. 제 3 항에 있어서,The method of claim 3, wherein 상기 제 1 보호막은 무기 절연 물질로 이루어진 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치.And the first passivation layer is made of an inorganic insulating material. 제 3 항에 있어서,The method of claim 3, wherein 상기 제 2 보호막은 유기 절연 물질로 이루어진 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치.The second passivation layer is formed of an organic insulating material. 제 5 항에 있어서,The method of claim 5, wherein 상기 유기 절연 물질은 포토 아크릴인 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치.And the organic insulating material is photoacrylic. 제 3 항에 있어서,The method of claim 3, wherein 상기 제 2 보호막의 두께는 2 ~ 4 ㎛ 인 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치.The thickness of the second protective film is 2 to 4 ㎛ characterized in that the liquid crystal display device. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 제 2 기판 상에 형성되며 상기 화소 영역과 대응하는 컬러 필터 패턴;A color filter pattern formed on the second substrate and corresponding to the pixel area; 상기 화소 영역의 경계와 대응하는 광 차단 패턴;A light blocking pattern corresponding to a boundary of the pixel area; 상기 제 2 기판 상에 형성된 제 2 전극; 및A second electrode formed on the second substrate; And 상기 제 2 전극 상에 형성된 제 2 배향막을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치.And a second alignment layer formed on the second electrode. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 제 1 기판 상의 화소 영역에 형성되며 상기 제 1 전극과 교대로 배치된 제 2 전극;A second electrode formed in the pixel area on the first substrate and disposed alternately with the first electrode; 상기 2 기판 상에 형성되며 상기 화소 영역과 대응하는 컬러 필터 패턴;A color filter pattern formed on the second substrate and corresponding to the pixel area; 상기 제 2 기판 상에 형성되며 상기 화소 영역의 경계와 대응하는 광 차단 패턴; 및A light blocking pattern formed on the second substrate and corresponding to a boundary of the pixel area; And 상기 제 2 기판 상에 형성된 제 2 배향막을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치.And a second alignment layer formed on the second substrate. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 패드가 형성된 상기 제 1 기판 상에 제 1 배향막을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치.And a first alignment layer on the first substrate on which the pad is formed. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 패드는 상기 제 1 전극과 이격되어 형성된 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치.And the pad is spaced apart from the first electrode. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 패드는 상기 제 1 전극과 연결된 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치.And the pad is connected to the first electrode. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 패드는 상기 제 1 전극과 동일층, 동일 물질로 형성된 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치.And the pad is formed of the same layer and the same material as the first electrode. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 셀갭 유지 부재는 상기 제 2 기판과 접촉된 제 1면의 면적이 상기 제 1 기판과 마주하는 제 2 면의 면적보다 큰 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치. And the cell gap holding member has an area of a first surface in contact with the second substrate being larger than an area of a second surface facing the first substrate. 제 14 항에 있어서,The method of claim 14, 상기 제 1 면의 폭은 상기 제 2 면의 폭의 2배 ~ 2.5배인 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치.The width of the first surface is 2 to 2.5 times the width of the second surface of the liquid crystal display device. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 패드는 상기 패드와 마주하는 상기 셀갭 유지 부재의 제 2 면의 면적보다 큰 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치.And the pad is larger than an area of the second surface of the cell gap retaining member facing the pad. 제 14항에 있어서,The method of claim 14, 상기 제 2 면의 폭은 5 ~ 30 ㎛인 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치.The width of the second surface is 5 ~ 30 ㎛ characterized in that the liquid crystal display device. 제 1 기판 및 제 2 기판을 준비하는 단계;Preparing a first substrate and a second substrate; 상기 제 2 기판 상의 화소 영역 경계에 광 차단 패턴을 형성하는 단계;Forming a light blocking pattern on a boundary of a pixel region on the second substrate; 상기 광 차단 패턴 상부에 셀갭 유지 부재를 형성하는 단계;Forming a cell gap retaining member on the light blocking pattern; 상기 제 1 기판 상에 게이트 배선 및 상기 게이트 배선에서 연장된 게이트 전극을 형성하는 단계;Forming a gate wiring and a gate electrode extending from the gate wiring on the first substrate; 상기 게이트 전극 상부에 반도체층을 형성하는 단계;Forming a semiconductor layer on the gate electrode; 상기 게이트 배선과 교차하는 데이터 배선과, 상기 데이터 배선과 연결되어 상기 반도체층의 일단에 형성된 소스 전극과 상기 소스 전극과 이격되어 상기 반도체층의 채널 영역을 노출시키는 드레인 전극을 형성하는 단계;Forming a data line crossing the gate line, a source electrode connected to the data line and a drain electrode spaced apart from the source electrode to expose a channel region of the semiconductor layer; 상기 소스 및 드레인 전극이 형성된 상기 제 1 기판 상부에 제 1 보호막을 형성하는 단계;Forming a first passivation layer on the first substrate on which the source and drain electrodes are formed; 상기 제 1 보호막 상에 제 2 보호막을 형성하는 단계;Forming a second passivation layer on the first passivation layer; 상기 제 2 보호막 상에서 상기 드레인 전극과 연결된 제 1 전극 및 상기 셀갭 유지 부재와 대응하는 영역에 패드를 형성하는 단계; 및Forming a pad on the second passivation layer in a region corresponding to the first electrode connected to the drain electrode and the cell gap retaining member; And 상기 제 1 기판 및 상기 제 2 기판을 합착하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치의 제조 방법.And bonding the first substrate and the second substrate to each other. 제 18항에 있어서,The method of claim 18, 상기 제 1 전극 및 상기 패드를 형성하는 단계에 있어서,In the forming of the first electrode and the pad, 상기 제 2 보호막 상에 금속층을 형성하는 단계;Forming a metal layer on the second passivation layer; 상기 금속층 상에 포토 레지스트 패턴을 형성하는 단계; 및Forming a photoresist pattern on the metal layer; And 상기 포토 레지스트 패턴을 마스크로 상기 금속층을 식각하여 상기 제 1 전극 및 상기 패드를 형성하는 단계로 이루어지는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치의 제조 방법.And etching the metal layer using the photoresist pattern as a mask to form the first electrode and the pad. 제 18항에 있어서,The method of claim 18, 상기 게이트 배선 및 상기 게이트 전극을 형성하는 단계에 있어서,In the forming of the gate wiring and the gate electrode, 상기 게이트 배선과 동일한 방향으로 공통 배선을 형성하고, 상기 공통 배선에서 분기되어 상기 제 1 전극과 교대로 배치된 제 2 전극을 형성하는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치의 제조 방법.And forming a common wiring in the same direction as the gate wiring, and forming a second electrode branched from the common wiring and arranged alternately with the first electrode. 제 18항에 있어서,The method of claim 18, 상기 제 2 보호막은 포토 아크릴인 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치의 제조 방법.And said second protective film is photoacrylic. 제 18 항에 있어서,The method of claim 18, 상기 제 1 전극 및 상기 패드를 형성하는 단계 이후에,After the forming of the first electrode and the pad, 상기 제 1 기판 전면에 제 1 배향막을 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특 징으로 하는 액정 표시 장치의 제조 방법.And forming a first alignment layer over the entire surface of the first substrate. 제 18 항에 있어서,The method of claim 18, 상기 셀갭 유지 부재를 형성하는 단계 이전에,Prior to forming the cell gap retaining member, 상기 제 2 기판 전면에 제 2 배향막을 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징을 하는 액정 표시 장치의 제조 방법.And forming a second alignment layer on the entire surface of the second substrate.
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