KR20080083958A - Gas scrubber - Google Patents

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Abstract

A gas scrubber is provided to prevent reduction of an exchanging period of an absorbent by preventing absorption of dust on a particular part. A canister(110) includes an absorbent(141) supported by a protective net(143). Flanges(113) are installed at upper and lower parts of the canister. An upper cap(120) includes an exhaust tube(127) for exhausting the gas cleaned by the absorbent, and a flange part(121) connected to the flange. A lower cap(130) includes an inflow tube(137) for receiving harmful gases, and a flange part(131) connected to the flange. A groove is formed in a circumferential direction of the flange part. An O-ring is formed at the inside and/or the outside of the groove. A protrusion is formed at the flange to be inserted into the groove. The O-ring is loaded on a loading groove which is formed at the inside and/or the outside of the protrusion.

Description

가스 스크러버{Gas Scrubber}Gas Scrubber

도 1은 종래 기술에 의한 가스 스크러버를 도시한 사시도이다.1 is a perspective view showing a gas scrubber according to the prior art.

도 2는 도 1에 도시한 종래 기술에 의한 가스 스크러버의 종단면도이다.2 is a longitudinal cross-sectional view of the gas scrubber according to the prior art shown in FIG.

도 3은 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 가스 스크러버의 개략적인 사시도이다.3 is a schematic perspective view of a gas scrubber according to a preferred embodiment of the present invention.

도 4는 도 3에 도시한 가스 스크러버의 개략적인 종단면도이다.4 is a schematic longitudinal cross-sectional view of the gas scrubber shown in FIG. 3.

도 5는 도 4의 'A'부를 확대 도시한 단면도이다.5 is an enlarged cross-sectional view of a portion 'A' of FIG. 4.

도 6은 도 4의 'B'부를 확대 도시한 단면도이다.6 is an enlarged cross-sectional view of part 'B' of FIG. 4.

도 7은 도 5의 변형 예를 도시한 단면도이다.FIG. 7 is a cross-sectional view illustrating a modified example of FIG. 5.

도 8은 도 6의 변형 예를 도시한 단면도이다.8 is a cross-sectional view illustrating a modified example of FIG. 6.

도 9는 도 4의 C-C선에 따르는 단면도이다.9 is a cross-sectional view taken along the line C-C in FIG.

도 10은 본 발명의 실시 예에 따르는 가스 스크러버의 이동수단을 개략적으로 도시한 부분 단면도이다.10 is a partial cross-sectional view schematically showing a moving means of the gas scrubber according to the embodiment of the present invention.

도 11은 다른 형태의 이동수단을 이루는 지지롤러부를 도시한 개략적인 사시도이다.Figure 11 is a schematic perspective view showing a support roller portion forming a moving means of another form.

*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명** Description of the symbols for the main parts of the drawings *

100 : 가스 스크러버 110 : 캐니스터(Canister)100 gas scrubber 110 canister (Canister)

113b : 안착홈 119 : 돌기113b: seating groove 119: protrusion

120 : 상부캡 121 : 플랜지부120: upper cap 121: flange

121a : 요홈 125 : 안내부121a: groove 125: guide

125a : 안내경사부 128 : 오링(O-ring)125a: guide slope 128: O-ring

130 : 하부캡 131 : 플랜지130: lower cap 131: flange

141 : 흡착제 143 : 보호망141: adsorbent 143: protection net

150 : 이동수단 151 : 안내지지부150: moving means 151: guide support

153 : 회전가이드 155 : 정지핀153: rotation guide 155: stop pin

156 : 지지체 157 : 회전부156: support 157: rotating part

158 : 회전핀 159 : 롤러158: rotary pin 159: roller

본 발명은 가스 스크러버에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 조립과 분해가 간편하고, 유해 가스의 분산이 확실하게 이루어지는 반도체 제조 공정 등에서 발생하는 가스 중 유해 가스나 분진을 흡착 처리하는 가스 스크러버에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a gas scrubber, and more particularly, to a gas scrubber for adsorbing harmful gas or dust in a gas generated in a semiconductor manufacturing process or the like, which is easy to assemble and disassemble and reliably disperse harmful gases.

반도체 제조 공정은 화학 증기 증착 공정, 저압 증기 화학 증착 공정, 플라즈마 강화 화학 증착 공정, 플라즈마 부식 공정 등으로 이루어진다. 그리고 상기와 같은 반도체 제조 공정에서는 소모되지 않고 배기 가스에 포함되어 발생하는 HCl, Cl2, HF 등과 같은 유해 가스, 분진 및/또는 증기는 작업자에게 심각한 영향을 미칠 수 있으며, 반도체 제조 공정에 사용되는 장치를 오염시키는 문제점도 발생한다.The semiconductor manufacturing process consists of a chemical vapor deposition process, a low pressure steam chemical vapor deposition process, a plasma enhanced chemical vapor deposition process, a plasma corrosion process, and the like. In addition, harmful gases such as HCl, Cl 2 and HF, dust and / or vapor generated in the exhaust gas without being consumed in the semiconductor manufacturing process as described above may seriously affect workers and may be used in the semiconductor manufacturing process. There is also a problem of fouling the device.

따라서 종래에 반도체 제조 공정에서 배출되는 상기와 같은 유해성 가스를 처리하기 위하여 고온의 환경에서 유해 가스를 열분해 하여 정화하는 연소식 처리법과, 흡착제를 이용하여 정화하는 방식의 건식처리법과, 유해 가스를 물과 접촉하도록 하여 포집한 후 오염된 물을 정화하는 방식의 습식처리법 및 상기 방법을 혼용한 처리법이 있다. Therefore, in order to treat the above hazardous gases discharged from the semiconductor manufacturing process, a combustion treatment method for pyrolyzing and purifying harmful gases in a high temperature environment, a dry treatment method for purifying using an adsorbent, and a harmful gas in water There is a wet treatment method in which the contaminated water is purified after being collected by contacting with the water and a treatment method in which the above method is mixed.

연소식 처리법은 히터를 이용한 간접가열방식과 LPG 등과 같은 연료가스를 연소시켜 유해 가스를 태우는 직접가열방식으로 구분되며, 고농도의 가스를 처리하는데 적합한 것으로 알려져 있으나, 고온의 환경을 조성하기 위해 히터를 사용하거나 LPG 등의 가스를 연소시킴에 따라 안전상의 문제와 더불어 경제성이 취약하다는 점이 문제점으로 지적되고 있다. Combustion treatment method is classified into indirect heating method using heater and direct heating method that burns harmful gas by burning fuel gas such as LPG, and is known to be suitable for treating high concentration of gas. It is pointed out that the use of or burn the gas of LPG, such as safety and economical weakness.

건식처리법 중에서 흡착제를 이용하는 방식은 알루미나, 소석회, 알루미나 실리케이트, 제올라이트 등의 무기 흡착제, 활성탄, 상기 무기 흡착제를 담체로 하여 알칼리 화합물이나 산성 화합물을 처리한 첨착 무기 흡착제 또는 금속으로 코팅 한 첨착 무기 흡착제, 상기 활성탄에 화학물질을 첨착한 첨착 활성탄을 흡착제로 사용하며, 상기에 기재한 무기 흡착제, 활성탄, 화합물이나 금속 첨착 무기 흡착제, 화학물질 첨착 활성탄을 다층 적층하여 사용하기도 한다.In the dry treatment method, the adsorbent is used as an inorganic adsorbent such as alumina, slaked lime, alumina silicate or zeolite, activated carbon, an impregnated inorganic adsorbent coated with metal or an impregnated inorganic adsorbent treated with an alkali compound or an acidic compound using the inorganic adsorbent as a carrier, Impregnated activated carbon impregnated with a chemical substance on the activated carbon is used as an adsorbent, and an inorganic adsorbent, activated carbon, a compound or metal-impregnated inorganic adsorbent, and a chemically impregnated activated carbon described above may be used as a multilayer stack.

최근에는 반도체 고집적화와 고성능화에 따라서 고직접화 및 고성능화된 반도체를 뒷받침하기 위하여 고성능화된 반도체 장비를 요구하고 있다. 즉, 종래 반도체 제조 공정에서 허용되던 환경 조건 등이 반도체의 고직접화와 고성능화에 따라 더 엄격하게 적용되며, 따라서 새로운 환경 조건에 맞는 반도체 제조공정 장비가 요구된다.Recently, in order to support high-density and high-performance semiconductors in accordance with high integration and high-performance semiconductors, high-performance semiconductor equipment is required. In other words, the environmental conditions, which are permitted in the semiconductor manufacturing process, are more strictly applied according to the higher directivity and the higher performance of the semiconductor. Therefore, the semiconductor manufacturing process equipment that meets the new environmental conditions is required.

도 1은 반도체 공정 중에서 배출되는 유해성 가스를 흡착 제거하기 위한 종래 기술에 의한 가스 스크러버(1)를 도시한 것이며, 도 2는 도 1 가스 스크러버(1)의 종단면을 도시한 것이다.1 shows a gas scrubber 1 according to the prior art for adsorption and removal of harmful gases discharged in a semiconductor process, and FIG. 2 shows a longitudinal section of the gas scrubber 1 of FIG. 1.

도 1 및 도 2에 도시한 바와 같이 종래 기술에 의한 가스 스크러버(1)는 캐니스터(10)와 상부캡(20) 그리고 하부캡(30)이 플랜지(13, 21; 15, 31)로 연결되어 있으며, 캐니스터(10)와 상부캡(20) 그리고 하부캡(30)에 의하여 형성되는 내부 공간에는 보호망(43)이 이격되어 설치되고, 상기 보호망(43) 사이에 흡착 작용을 하는 흡착제(41)를 충진하여, 보호망(43)을 지나 흡착제(41)를 통과하는 배기 가스 중 상기와 같은 유해 가스를 흡착 제거한다.As shown in FIGS. 1 and 2, the gas scrubber 1 according to the related art has a canister 10, an upper cap 20, and a lower cap 30 connected to flanges 13, 21; 15, 31. The inner space formed by the canister 10, the upper cap 20, and the lower cap 30 is provided with a guard net spaced apart from each other, and an adsorbent 41 having an adsorption function between the guard net 43. Is filled to adsorb and remove such harmful gases from the exhaust gas passing through the protective net 43 and passing through the adsorbent 41.

상기 보호망(431) 사이에 충진되는 흡착제로는 알루미나, 소석회, 알루미나 실리케이트, 제올라이트 등의 무기흡착제, 활성탄, 또는 상기 무기흡착제를 담체로 하여 알칼리 화합물, 산성화합물 등을 처리한 첨착무기흡착제 또는 금속(알칼리 금 속, 전이금속 등)으로 코팅한 첨착무기흡착제, 활성탄에 화학물질을 첨착한 첨착활성탄을 흡착하려는 배출 가스의 성분에 따라 선택하여 사용하며, 상기와 같은 흡착제를 순차적으로 충진하여 사용하기도 한다.As the adsorbent filled between the protective nets 431, an inorganic adsorbent such as alumina, slaked lime, alumina silicate, zeolite, activated carbon, or an impregnated inorganic adsorbent or metal treated with an alkali compound, an acidic compound, or the like using the inorganic adsorbent as a carrier, It is selected and used according to the component of the exhaust gas to adsorb the impregnated inorganic adsorbent coated with alkali metal, transition metal, etc., the impregnated activated carbon impregnated with chemical substance on activated carbon, and it is also used by filling the adsorbents sequentially. .

상기 보호망(43)은 흡착제(41)를 이루는 흡착제의 휘산을 방지하기 위한 것으로, 정화하는 배출 가스의 유속에 영향을 주지 않을 정도의 메쉬(mesh) 크기를 갖도록 형성되며, 보호망(43)이 내부 공간에 안정적으로 설치되도록 하기 위하여 상기 보호망(43)을 지지하기 위한 지지대(14)가 형성된다.The guard net 43 is to prevent volatilization of the adsorbent constituting the adsorbent 41, and is formed to have a mesh size that does not affect the flow rate of the exhaust gas to be purified, and the guard net 43 is formed therein. A support 14 for supporting the protection net 43 is formed to be stably installed in the space.

상기 가스 스크러버(1)는 배출 가스가 유입되는 유입관(37)과, 유해 가스나 분진을 흡착한 배출 가스를 배출하는 배출관(27)을 구비한다. 그리고 상기 유입관(37)은 하부 연결관(81)과 플랜지(39, 83)로 연결되며, 상기 배출관(27)은 상부 연결관(85)과 플랜지(29, 87)로 연결된다. 그리고 상기 배출관(27)과 유입관(37)에는 도시하지 않은 밸브가 연결되어 유입 가스나 배출 가스의 차단이나 흐름을 제어할 수 있도록 하고 있다.The gas scrubber 1 includes an inlet pipe 37 through which the exhaust gas flows, and a discharge pipe 27 for discharging the exhaust gas adsorbing noxious gas or dust. The inlet pipe 37 is connected to the lower connection pipe 81 and the flanges 39 and 83, and the discharge pipe 27 is connected to the upper connection pipe 85 and the flanges 29 and 87. In addition, a valve (not shown) is connected to the discharge pipe 27 and the inlet pipe 37 to control the blocking or flow of the inlet gas or the discharge gas.

상기 상부캡(20)을 캐니스터(10)에 결합하는데 있어서, 도 1에 도시한 바와 같이 상부캡(20)의 플랜지부(21)에 원주 방향으로 소정 간격 이격하여 다수의 결합공(21a)을 형성하고, 마찬가지로 캐니스터(10)의 플랜지(13)에도 상기 결합공(21a)에 대응하는 결합공을 형성하며, 상기 결합공을 체결볼트(23)와 너트(25)로 결합하여 상부캡(20)과 캐니스터(10)를 결합한다. 마찬가지 방법으로 캐니스터(10)와 하부캡(30)도 결합한다. 상기 결합에 있어서 상부캡(20)의 플랜지부(21)와 캐니스터(10)의 플랜지(13) 사이에, 그리고 하부캡(30)의 플랜지부와 캐니스터(10)의 플 랜지(15) 사이에는 개스킷(도시하지 않음, Gasket) 등을 삽입하여, 유해 가스나 배기 가스가 실내로 유출되지 않도록 하고 있다.In coupling the upper cap 20 to the canister 10, as shown in FIG. 1, a plurality of coupling holes 21a are spaced apart from the flange portion 21 of the upper cap 20 in a circumferential direction. And forming a coupling hole corresponding to the coupling hole 21a in the flange 13 of the canister 10, and coupling the coupling hole with the fastening bolt 23 and the nut 25 to form the upper cap 20. ) And the canister 10. In the same manner, the canister 10 and the lower cap 30 are also coupled. In this coupling, between the flange portion 21 of the upper cap 20 and the flange 13 of the canister 10 and between the flange portion of the lower cap 30 and the flange 15 of the canister 10. A gasket (not shown) is inserted to prevent harmful gas or exhaust gas from leaking into the room.

상기 종래 기술에 의한 가스 스크러버(1)의 작용을 간단하게 살펴본다.The operation of the gas scrubber 1 according to the prior art will be briefly described.

도 2에 도시한 바와 같이 펌프(미도시) 등에 의하여 배출 가스가 유입관(37)을 통하여 가스 스크러버(1)로 유입되면, 배출 가스는 유입관(37), 보호망(43), 및 흡착제(41)를 통과하고, 배출관(27)을 통하여 배출된다. 배기 가스가 흡착제(41)를 통과할 때 배기 가스 내에 포함되는 유해 가스나 분진이 흡착제(41)에 흡착되어 제거된다. 도 2에서 화살표는 배기 가스의 이동 경로를 간략하게 나타낸 것이다.As shown in FIG. 2, when the discharge gas is introduced into the gas scrubber 1 through the inlet pipe 37 by a pump (not shown) or the like, the discharge gas is introduced into the inlet pipe 37, the protection net 43, and the adsorbent ( 41) and is discharged through the discharge pipe (27). When the exhaust gas passes through the adsorbent 41, noxious gas or dust contained in the exhaust gas is adsorbed by the adsorbent 41 and removed. The arrow in FIG. 2 briefly shows the movement path of the exhaust gas.

그리고 사용이 완료된 가스 스크러버(1)를 교체하고 흡착제(41)를 교환하는 경우에는, 상부연결관(85)과 하부연결관(81)에 연결되는 밸브를 잠그고, 상부연결관(85)과 배출관(27)의 플랜지(29, 87) 연결과 하부연결관(81)과 유입관(37)의 플랜지(39, 83) 연결을 해제하며, 가스 스크러버(1)를 교체한다. 교체된 가스 스크러버(1)는 상부캡(20)과 캐니스터(10), 그리고 하부캡(30)과 캐니스터(10)를 연결하는 체결볼트와 너트의 체결을 풀어서 내부 흡착제(41)나 보호망(43)을 교체한다. And when the used gas scrubber 1 is replaced and the adsorbent 41 is replaced, the valves connected to the upper connecting pipe 85 and the lower connecting pipe 81 are locked, and the upper connecting pipe 85 and the discharge pipe are closed. Disconnect the flanges 29 and 87 of (27) and the flanges 39 and 83 of the lower connector (81) and the inlet (37), and replace the gas scrubber (1). The replaced gas scrubber 1 loosens the fastening bolt and nut connecting the upper cap 20 and the canister 10, and the lower cap 30 and the canister 10, so that the internal adsorbent 41 or the protection net 43 is removed. )).

따라서 가스 스크러버(1)의 교체와, 내부에 설치되는 흡착체(41)나 보호망(43)의 교체에 많은 시간과 노동력이 소요된다. 그리고 제조에 있어서 부품 수가 다수 소요되므로 많은 제조 비용과 관리 비용이 소요되며, 내부로 유입된 유해 가스가 고르게 전 흡착제로 분산되지 못하는 문제점이 있었다.Therefore, a lot of time and labor are required for the replacement of the gas scrubber 1 and the replacement of the adsorbent 41 and the protection net 43 installed therein. In addition, since a large number of parts are required in manufacturing, a lot of manufacturing and management costs are required, and harmful gases introduced therein are not evenly dispersed in all the adsorbents.

본 발명은 상기와 같은 종래기술의 문제점을 해소하기 위한 것으로서, 교체에 소요되는 시간과 노력을 대폭 줄일 수 있으며, 교체 후 내부에 설치된 흡착제나 보호망을 간단하게 빠른 시간 내에 교체할 수 있으며, 와류가 발생하는 것을 억제하면서도 특정 부분에 분진 등이 다량 흡착되는 것을 방지하여 불균일한 흡착에 의한 흡착제의 교체 주기가 단축되는 것을 방지할 수 있는 가스 스크러버를 제공하는데 목적이 있는 것이다.The present invention is to solve the problems of the prior art as described above, can significantly reduce the time and effort required for replacement, and can easily replace the adsorbent or protection net installed therein within a short time after replacement, the vortex It is an object of the present invention to provide a gas scrubber that can prevent occurrence of a large amount of dust and the like on a specific portion while preventing occurrence of the adsorbent, thereby shortening the replacement cycle of the adsorbent due to uneven adsorption.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따르는 가스 스크러버는 보호망에 의하여 지지되는 흡착제가 내부에 설치되며 상하부에 플랜지를 구비하는 캐니스터와; 상기 캐니스터의 상부로 설치되며 상기 흡착제에 의하여 정화된 가스가 배출되는 배출관과, 상기 캐니스터의 플랜지에 연결되는 플랜지부를 구비하는 상부캡과; 상기 캐니스터의 하부로 설치되며 유해 가스가 유입되는 유입관과, 상기 캐니스터의 플랜지에 연결되는 플랜지부를 구비하는 하부캡으로 이루어지며; 상기 상부캡의 플랜지부에는 원주방향으로 요홈이 형성되며, 상기 요홈의 내측 및/또는 외측으로 오링을 구비하며; 상기 플랜지는 원주방향으로 형성되어 상기 요홈에 삽입되는 돌기를 구비하며, 상기 돌기의 내측 및/또는 외측으로 상기 오링이 안착하는 안착홈이 형성되는 것을 특징으로 한다.Gas scrubber according to the present invention for achieving the above object is a canister having an adsorbent supported by a protective net is installed inside and having a flange on the upper and lower; An upper cap installed at an upper portion of the canister and having a discharge pipe through which the gas purified by the adsorbent is discharged, and a flange portion connected to the flange of the canister; A lower cap installed below the canister and including an inlet pipe through which harmful gas is introduced, and a flange portion connected to the flange of the canister; The flange portion of the upper cap is formed with a groove in the circumferential direction, and has an O-ring inside and / or outside of the groove; The flange has a protrusion formed in the circumferential direction and inserted into the recess, and a seating groove in which the O-ring is seated is formed inside and / or outside of the protrusion.

상기 캐니스터의 플랜지에는 원주 방향으로 요홈이 형성되며, 상기 요홈의 내측 및/또는 외측으로 오링을 구비하며; 상기 하부캡의 플랜지부에는 원주방향으 로 형성되어 상기 요홈에 삽입되는 돌기를 구비하며, 상기 돌기의 내측 및/또는 외측으로 상기 오링이 안착하는 안착홈이 형성되는 것을 특징으로 한다.Grooves are formed in the flange of the canister in a circumferential direction and have an O-ring inside and / or outside of the grooves; The flange portion of the lower cap is provided in the circumferential direction is provided with a projection inserted into the groove, characterized in that the seating groove is formed in which the O-ring is seated to the inside and / or the outside of the projection.

그리고 상기 플랜지 및/또는 플랜지부에는 원주 방향으로 소정 간격 이격되어 분리홈이 형성되는 것을 특징으로 하며,And the flange and / or the flange portion is characterized in that the separation groove is formed spaced apart a predetermined interval in the circumferential direction,

상기 플랜지 및/또는 플랜지부에는 원주 방향으로 소정 간격 이격되어 복수의 분리홈이 형성되며, 상기 플랜지 및/또는 플랜지부에는 원주 방향으로 소정 간격 이격되어 복수의 분리홈이 형성되는 것을 특징으로 한다.The flange and / or the flange portion is a plurality of separation grooves are formed spaced apart in the circumferential direction, the flange and / or the flange portion is characterized in that a plurality of separation grooves are formed spaced apart in the circumferential direction.

상기 상판의 플랜지부는 원주 방향으로 형성되며 내측으로 소정의 각도로 경사진 경사안내부를 구비하는 안내부를 포함하며, 상기 캐니스터의 플랜지는 외주면으로 상기 경사안내부에 대응하는 경사부를 포함하는 것을 특징으로 한다.The flange portion of the upper plate is formed in the circumferential direction and includes a guide portion having an inclined guide portion inclined at a predetermined angle inward, the flange of the canister is characterized in that it comprises an inclined portion corresponding to the inclined guide portion to the outer peripheral surface .

상기에 있어서, 상판의 플랜지부는 원주 방향으로 형성되며 내측으로 소정의 각도로 경사진 경사안내부를 구비하는 안내부를 포함하며; 상기 캐니스터의 플랜지는 외주면으로 상기 경사안내부에 대응하는 경사부를 포함하며; 상기 캐니스터의 플랜지는 내측으로 소정의 각도로 경사진 안내경사부를 구비하는 안내부를 포함하며; 상기 하부캡의 플랜지부는 외주면으로 플랜지의 내측으로 소정의 각도로 경사진 안내경사부에 대응하는 경사부를 포함하는 것을 특징으로 한다.In the above, the flange portion of the upper plate includes a guide portion formed in the circumferential direction and having an inclined guide portion inclined at a predetermined angle inwardly; A flange of the canister includes an inclined portion corresponding to the inclined guide portion on an outer circumferential surface; The flange of the canister includes a guide having a guide inclined portion inclined at an angle inwardly; The flange portion of the lower cap is characterized in that it comprises an inclined portion corresponding to the guide inclined portion inclined at a predetermined angle toward the inside of the flange to the outer peripheral surface.

상기에 있어서, 가스 스크러버는 하부캡의 하부로 설치되는 이동수단을 구비하며, 상기 이동수단은 하부캡의 하부로 고정 설치되며 내측으로 암나사부가 형성된 원통형상의 안내지지부와; 상기 안내지지부에 설치되어 안내지지부의 내측으로 소정 높이 돌출되는 정지핀과; 소정 범위에 수나사부가 형성되어 상기 안내부에 나 사 결합하는 회전 가이드와; 상기 회전 가이드에 회전 가능하게 삽입되는 회전부와; 상기 회전부로부터 돌출되며 회전핀을 구비하여 롤러를 회전 가능하게 지지하는 지지체와; 상기 지지체의 회전핀에 회전 가능하게 설치되는 롤러로 이루어지는 것을 특징으로 한다.In the above, the gas scrubber is provided with a moving means is installed to the lower portion of the lower cap, the moving means is fixed to the lower portion of the lower cap and the cylindrical guide support formed in the inner thread portion; A stop pin installed in the guide support and protruding a predetermined height into the guide support; A rotation guide having a male screw portion formed in a predetermined range and screwed to the guide portion; A rotating part rotatably inserted into the rotating guide; A support projecting from the rotation part and having a rotation pin to rotatably support the roller; Characterized in that consisting of a roller rotatably installed on the rotary pin of the support.

상기에 있어서, 상기 가스 스크러버는 다수의 통공이 형성되며 소정 간격으로 이격하여 상하로 설치되는 복수의 원형 타공판을 더 포함하며 상기 타공판의 지름은 상부로 갈수록 증가하는 것을 특징으로 한다.In the above, the gas scrubber further comprises a plurality of circular perforated plate is formed up and down spaced at a predetermined interval and a plurality of through holes and the diameter of the perforated plate is characterized in that it increases toward the top.

그리고 상기에 있어서, 가스 스크러버는 이동수단을 구비하며, 상기 이동수단은 캐니스터에 고정 설치되며 포켓부를 구비하는 지지캡과; 상기 지지캡의 포켓부에 삽입 고정되는 삽입패널과, 상기 삽입패널에서 연장되며 절곡된 지지체와, 상기 지지체의 말단에 결합된 지지롤러로 이루어지는 지지롤러부를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.And in the above, the gas scrubber is provided with a moving means, the moving means is fixed to the canister and the support cap having a pocket portion; It characterized in that it comprises an insertion panel is inserted and fixed to the pocket portion of the support cap, a support roller extending from the insertion panel and a support roller consisting of a support roller coupled to the end of the support.

이하, 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예에 따르는 가스 스크러버를 상세히 설명한다. 상세한 설명에 있어서 종래 기술과 동일한 내용에 대해서는 그 기재를 생략하며, 동일한 작용을 하는 구성에 대해서는 동일한 명칭을 사용한다. Hereinafter, a gas scrubber according to a preferred embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. In the detailed description, the same description as in the prior art is omitted, and the same name is used for the configuration having the same function.

도 3은 본 발명의 바람직한 실시 예에 따르는 가스 스크러버(100)를 도시한 개략적이 사시도이며, 도 4는 도 3에 도시한 가스 스크러버(100)의 개략적인 단면도이며, 도 5는 도 4의 'A'부를 확대 도시한 것이며, 도 6은 도 4의 'B'부를 확대 도시한 것이며, 도 7은 도 5의 변형 예이며, 도 8은 도 6의 변형 예이며, 도 9는 도 4의 C-C선에 따르는 단면도이며, 도 10은 이동 수단을 도시한 단면도이다.3 is a schematic perspective view of a gas scrubber 100 according to a preferred embodiment of the present invention, Figure 4 is a schematic cross-sectional view of the gas scrubber 100 shown in Figure 3, Figure 5 ' FIG. 6 is an enlarged view of the 'B' part of FIG. 4, FIG. 7 is a modified example of FIG. 5, FIG. 8 is a modified example of FIG. 6, and FIG. 9 is a CC of FIG. 4. It is sectional drawing along a line, and FIG. 10 is sectional drawing which shows a moving means.

본 발명의 바람직한 실시 예에 따르는 가스 스크러버(100)는 도 3 및 도 4에 도시한 바와 같이 상, 하로 플랜지(113, 115)를 구비하며, 내측으로 보호망(143)에 의하여 지지되는 하나 이상의 흡착제(141)가 설치되는 원통 형상의 캐니스터(110)와; 상기 캐니스터(110)의 상부로 설치되는 상부캡(120)과; 상기 캐니스터(110)의 하부로 설치되는 하부캡(130)을 포함하여 구성된다.Gas scrubber 100 according to a preferred embodiment of the present invention has a flange 113, 115 up and down as shown in Figures 3 and 4, at least one adsorbent supported by the guard net 143 inward A cylindrical canister 110 to which 141 is installed; An upper cap 120 installed above the canister 110; It is configured to include a lower cap 130 is installed to the lower portion of the canister 110.

상기 상부캡(120)은 유해 가스가 제거된 배출 가스를 배출하는 배출관(127)을 구비하며, 상기 배출관(127)은 상부연결관(185)과 플랜지(129, 187)로 연결된다. 그리고 하부캡(130)은 유해 가스가 유입되는 유입관(137)을 구비하며, 상기 유입관(137)은 하부연결관(181)과 플랜지(139, 183)로 연결된다. 상기 플랜지(129, 187; 139, 183)의 연결에는 도시하지 않은 클램프를 사용하는 것도 가능하다.The upper cap 120 includes a discharge pipe 127 for discharging the discharge gas from which noxious gas is removed, and the discharge pipe 127 is connected to the upper connection pipe 185 and the flanges 129 and 187. The lower cap 130 has an inlet pipe 137 through which harmful gas is introduced, and the inlet pipe 137 is connected to the lower connection pipe 181 and the flanges 139 and 183. It is also possible to use a clamp (not shown) for the connection of the flanges (129, 187; 139, 183).

도 4 및 도 5에 도시한 바와 같이, 상기 상부캡(120)의 플랜지부(121)에는 원주 방향으로 복수의 요홈(121a)이 형성되며, 상기 요홈(121a)의 내측 및/또는 외측으로 고무와 같은 탄성체로 제조되는 오링(128, O-ring)을 구비한다. 그리고 상기 플랜지부(121)와 맞닿는 캐니스터(110)의 플랜지(113)는 상기 요홈(121a)에 대응하며 원주 방향으로 형성된 복수의 돌기(119)를 구비하며, 상기 돌기(119)의 내측 및/또는 외측으로 상기 오링(128)이 안착하는 안착홈(113b)이 형성된다. 그리 고 상기 플랜지(113)의 외측으로 원주 방향으로 소정 간격 이격하여 복수의 분리홈(113a)이 형성된다. 상기 분리홈(113a)으로 도시하지 않은 공구를 삽입하고 가압하여 플랜지부(121)와 플랜지(113)를 용이하게 분리할 수 있게 된다. 상기에서 플랜지(113)에 요홈을 형성하고, 상기 플랜지부(121)에 돌기를 구비하는 것도 가능하다.4 and 5, a plurality of grooves 121a are formed in the flange portion 121 of the upper cap 120 in the circumferential direction, and rubber inwards and / or outside of the grooves 121a. O-ring (128, made of an elastic body such as) is provided. And the flange 113 of the canister 110 in contact with the flange portion 121 has a plurality of protrusions 119 corresponding to the groove 121a and formed in the circumferential direction, the inside of the protrusion 119 and / Or the mounting groove 113b is formed to the outside of the O-ring 128 is formed. Then, a plurality of separation grooves 113a are formed to be spaced apart from each other in the circumferential direction by the outer side of the flange 113. By inserting and pressing a tool (not shown) into the separation groove 113a, the flange 121 and the flange 113 can be easily separated. In the above, it is also possible to form a groove in the flange 113, and to provide a protrusion in the flange portion 121.

상부캡(120)과 캐니스터(110)의 결합을 용이하도록 하기 위하여, 도 7에 도시한 바와 같이, 플랜지부(121)의 외주면 외측으로 안내부(125)를 구비하는 것이 바람직하다. 상기 안내부(125)의 하방으로는 소정 각도 경사지게 형성되는 경사안내부(125a)가 형성된다. 그리고 상기 캐니스터(110)의 플랜지(113)에는 상기 경사안내부(125a)에 대응하는 경사부(112)를 구비하도록 하며, 경사부(112) 외측으로 원주 방향으로 소정 간격 이격하여 형성되는 복수의 분리홈(113a)을 구비한다.In order to facilitate coupling of the upper cap 120 and the canister 110, as shown in FIG. 7, the guide part 125 may be provided outside the outer circumferential surface of the flange part 121. Below the guide portion 125, the inclined guide portion 125a is formed to be inclined at a predetermined angle. In addition, the flange 113 of the canister 110 is provided with an inclined portion 112 corresponding to the inclined guide portion 125a, and a plurality of formed in the circumferential direction spaced apart from the inclined portion 112. The separating groove 113a is provided.

상기 상부캡(120)에 캐니스터(110)를 결합하는데 있어서, 상기 경사안내부(125a)가 경사부(112)를 안내하여 요홈(121a) 내로 돌기(119)가 정확하게 삽입되도록 할 수 있으므로, 상부캡(120)과 캐니스터(110)의 결합을 용이하고 보다 신속하게 할 수 있다.In coupling the canister 110 to the upper cap 120, the inclined guide portion 125a guides the inclined portion 112 so that the protrusion 119 can be accurately inserted into the recess 121a. The coupling of the cap 120 and the canister 110 can be made easier and faster.

도 5 및 도 8에 도시한 바와 같이 상기 캐니스터(110)의 플랜지(115)에는 원주 방향으로 복수의 요홈(115a)이 형성되며, 상기 요홈(115a)의 내측 및/또는 외측으로 고무와 같은 탄성체로 제조되는 오링(118, O-ring)을 구비한다. 그리고 상기 플랜지(115)와 맞닿는 하부캡(130)의 플랜지(131)는 상기 요홈(115a)에 대응하며 원주 방향으로 형성된 복수의 돌기(134)를 구비하며, 상기 돌기(134)의 내측 및/또 는 외측으로 상기 오링(118)이 안착하는 안착홈(131b)이 형성된다. 그리고 상기 플랜지부(131)의 외측으로 원주 방향으로 소정 간격 이격하여 복수의 분리홈(131a)이 형성된다. 상기 분리홈(131a)으로 도시하지 않은 공구를 삽입하고 가압하여 플랜지부(131)와 플랜지(115)를 용이하게 분리할 수 있게 된다. 상기에서 플랜지(115)에 요홈을 형성하고, 상기 플랜지부(131)에 돌기를 구비하는 것도 가능하다.5 and 8, a plurality of recesses 115a are formed in the flange 115 of the canister 110 in the circumferential direction, and an elastic body such as rubber is formed inside and / or outside of the recess 115a. O-rings (118, O-ring) is made of. And the flange 131 of the lower cap 130 in contact with the flange 115 has a plurality of protrusions 134 corresponding to the groove 115a and formed in the circumferential direction, the inside of the protrusion 134 and / Or it is formed in the outer groove (131b) is seated on the O-ring 118. A plurality of separation grooves 131a are formed to be spaced apart from the flange portion 131 by a predetermined interval in the circumferential direction. By inserting and pressing a tool (not shown) into the separation groove 131a, the flange 131 and the flange 115 can be easily separated. In the above, it is also possible to form a recess in the flange 115 and to provide a protrusion in the flange portion 131.

상기 플랜지(115)와 플랜부(131)의 결합에 있어서도, 도 8에 도시한 바와 같이 플랜지(115)의 반경 방향으로 연장된 안내부(116)를 구비하고, 상기 안내부(116)의 하방으로 안내경사부(116a)가 형성되며, 상기 플랜지부(131)에는 상기 안내경사부(116a)에 대응하는 경사부(132)를 구비하는 것이 바람직하다.Also in the coupling | bonding of the said flange 115 and the plan part 131, as shown in FIG. 8, the guide part 116 extended in the radial direction of the flange 115 is provided, and below the said guide part 116. The guide inclined portion 116a is formed, and the flange portion 131 is preferably provided with an inclined portion 132 corresponding to the guide inclined portion 116a.

본 발명의 바람직한 실시 예에 따르는 가스 스크러버(100) 내로 설치되는 흡착제(141)는 도 4에 도시한 바와 같이 소정 간격 이격하여 다층으로 설치하는 것도 가능하며, 단층으로 설치하는 것도 가능하다. 그리고 도 4 및 도 9에 도시한 바와 같이 상기 흡착체(141)의 하부로는 유입관(137)을 통하여 유입되는 유해 가스가 흡착제(141)에 고르게 퍼져 통과하도록 하기 위하여 다층으로 소정 간격 이격하여 상하로 설치되는 타공판(160)을 구비한다. 상기 타공판(160)에는 복수의 관통 구멍(160a)이 형성된다.As shown in FIG. 4, the adsorbent 141 installed in the gas scrubber 100 according to the preferred embodiment of the present invention may be installed in multiple layers at predetermined intervals, or may be installed in a single layer. As shown in FIGS. 4 and 9, the lower part of the adsorbent 141 is spaced apart at a predetermined interval in a multi-layer so that the harmful gas flowing through the inlet pipe 137 is evenly spread through the adsorbent 141. The perforated plate 160 is installed up and down. A plurality of through holes 160a are formed in the perforated plate 160.

상하로 설치되는 상기 복수의 타공판(160)은 하측의 타공판(161)의 지름을 작게 형성하며, 상부로 설치될수록 그 지름을 점차로 증가하도록 설치한다. 상기와 같이 타공판(160; 161, 163, 165, 167))의 지름을 상부로 갈수록 크게 함으로써 타공판(160)에 의한 갑작스런 흐름 저항의 증가를 방지할 수 있으며, 와류 현상을 방지할 수 있게 된다.The plurality of perforated plates 160 installed up and down forms a smaller diameter of the perforated plate 161 at the lower side, and is installed to gradually increase its diameter as it is installed upward. By increasing the diameter of the perforated plate 160 (161; 163, 165, 167) to the upper portion as described above, it is possible to prevent the sudden increase in flow resistance caused by the perforated plate 160, it is possible to prevent the vortex phenomenon.

본 발명에 따르는 가스 스크러버(100)는 도 3 및 도 10에 도시한 바와 같이 하부캡(130)의 하부로 설치되는 이동수단(150)을 구비한다. 상기 이동수단(150)은 하부캡(130)의 하부로 고정 설치되며 내측으로 암나사부(151a)가 형성된 안내지지부(151)와; 상기 안내지지부(151)의 내측으로 설치되며 상기 암나사부(151a)와 대응하는 수나사부(153a)가 형성된 회전가이드(153)와; 상기 회전가이드(153)에 회전 가능하게 연결되며 하방으로 연장되는 지지체(156)를 구비하는 회전부((157)와; 상기 지지체(156)에 구비되는 회전핀(158)에 회전 가능하게 설치되는 롤러(159)로 이루어진다. 상기 안내지지부(151)에는 내측으로 소정 높이 돌출되게 측방으로 정지핀(155)이 설치된다. 상기 회전가이드(153)는 안내지지부(151)와 나사 결합되어 상하로 이동 가능하므로 이동수단(150)의 높이를 조정할 수 있으며, 상기 정지핀(155)에 의하여 수나사부(153a)의 회전이 방지되므로 회전가이드(153)가 안내지지부(151)로부터 이탈하는 것을 방지할 수 있다.Gas scrubber 100 according to the present invention has a moving means 150 is installed to the lower portion of the lower cap 130 as shown in FIG. The moving means 150 is fixed to the lower portion of the lower cap 130 and the guide support 151 is formed with an internal threaded portion (151a); A rotation guide 153 installed inside the guide support 151 and having a male screw portion 153a corresponding to the female screw portion 151a; A rotation part 157 rotatably connected to the rotation guide 153 and having a support 156 extending downward; a roller rotatably installed on the rotation pin 158 provided on the support 156. 159. The guide support 151 is provided with a stop pin 155 laterally to protrude a predetermined height inwardly.The rotation guide 153 is screwed with the guide support 151 and is movable up and down. Therefore, the height of the movement means 150 can be adjusted, and the rotation of the male screw portion 153a is prevented by the stop pin 155, thereby preventing the rotation guide 153 from being separated from the guide support portion 151. .

상기 이동수단(150)은 하부캡(130)에 직접 고정 설치되는 것도 가능하며, 도 3에 도시한 바와 같이 하부캡(130)의 하부로 별도의 하판(170)을 구비하고, 상기 하판(170)에 설치볼트(173) 등을 이용하여 고정 설치하는 것도 가능하다. The moving means 150 may be directly fixed to the lower cap 130, it is provided with a separate lower plate 170 as the lower cap 130, as shown in Figure 3, the lower plate 170 ) Can be fixedly installed using mounting bolts 173 or the like.

본 발명에 따르는 가스 스크러버(100)는 도 3 및 도 11에 도시한 바와 같이 캐니스터(110)에 구비되는 다른 형태의 이동수단을 구비하는 것이 가능하다. 캐니스터(110)에 구비되는 이동수단은 캐니스터(110)에 고정되는 포켓부(193)을 구비하 는 지지캡(191)과, 상기 지지캡(191)에 삽입되는 지지롤러부로 이루어진다. 상기 지지롤러부는 지지캡(191)의 포켓부(193)에 삽입되는 삽입패널(192)과, 상기 삽입패널(192)으로부터 연장되며 굴곡되어 형성되는 지지체(194)와, 상기 지지체(194)의 말단에 고정되는 회전롤러(196)로 이루어진다. 상기 지지롤러부는 지지캡(191)에 삽입되어 착탈 가능하게 캐니스터(110)에 고정될 수도 있고, 지지캡(191)의 매개없이 바로 캐니스터(110)에 고정 설치되는 것도 가능하다. 상기 지지캡(191)은 캐니스터(110)를 안정적으로 이동시키기 위하여 3개 이상 설치하는 것이 바람직하다. The gas scrubber 100 according to the present invention may be provided with other forms of moving means provided in the canister 110 as shown in FIGS. 3 and 11. The moving means provided in the canister 110 includes a support cap 191 having a pocket portion 193 fixed to the canister 110, and a support roller portion inserted into the support cap 191. The support roller part includes an insertion panel 192 inserted into the pocket 193 of the support cap 191, a support 194 extending and bent from the insertion panel 192, and the support 194. It consists of a rotating roller 196 fixed to the end. The support roller part may be inserted into the support cap 191 to be detachably fixed to the canister 110, or may be directly fixed to the canister 110 without the support cap 191. The support cap 191 is preferably installed at least three to move the canister 110 in a stable manner.

도 3 및 도 10에서 미설명 부호 171은 하판(170)을 지지하는 격벽을, 152는 안내지지부(151)를 지지하는 격벽, 195는 지지캡(191)을 캐니스터(110)에 고정하기 위한 고정 수단인 나사 못이나 볼트를 도시한 것이다.In FIG. 3 and FIG. 10, reference numeral 171 denotes a partition wall supporting the lower plate 170, 152 partition wall supporting the guide support part 151, and 195 fixing the support cap 191 to the canister 110. It shows a screw nail or bolt as a means.

본 발명의 바람직한 실시 예에 따르는 가스 스크러버(100)의 교체 및 내부에 설치된 흡착제(141)의 교체에 대하여 설명한다.The replacement of the gas scrubber 100 and the replacement of the adsorbent 141 installed therein according to the preferred embodiment of the present invention will be described.

도 3에 도시한 바와 같이 설치되어 사용되는 가스 스크러버(100)의 교체 주기가 되어 교체하는 경우, 상부연결관(185)과 하부연결관(181)에 각각 연결 설치된 밸브를 차단하고, 플랜지(129, 187; 139, 183)의 연결을 해제하고, 가스 스크러버(100)를 분리한다. 그리고 새로운 가스 스크러버(100)를 플랜지(129, 187; 139, 183) 연결하고, 밸브를 열어서 유해 가스를 통과시킨다. 분리된 가스 스크러버(100)는 분리홈(113a)에 '-'자 드라이버와 같은 공구를 삽입하고 가압하면서 쐐기 작용을 하도록 하여 캐니스터(110)로부터 상부캡(120)을 분리한다. 그리고 마 찬가지로 분리홈(131a)에도 공구를 삽입하여 가압하면서 캐니스터(110)와 하부캡(130)을 분리하고, 내부에 설치된 흡착제(141)와 보호망(143)을 교체하며, 돌기(119, 134)를 각각 요홈(121a, 115a)에 삽입함으로써 다시 상부캡(120)과 하부캡(130)을 캐니스터(110)에 조립한다.In the case of replacing the gas scrubber 100 installed and used as shown in FIG. 3 to replace the replacement cycle, the valves connected to the upper connection pipe 185 and the lower connection pipe 181 are respectively cut off, and the flange 129 187, 139 and 183 are disconnected and the gas scrubber 100 is separated. The new gas scrubber 100 is connected to the flanges 129 and 187 and 139 and 183, and the valve is opened to pass harmful gas. The separated gas scrubber 100 separates the upper cap 120 from the canister 110 by inserting a tool such as a '-' screwdriver into the separation groove 113a and performing a wedge action while pressing. Likewise, the canister 110 and the lower cap 130 are separated while the tool is inserted into the separation groove 131a and pressurized, and the adsorbent 141 and the protection net 143 installed therein are replaced, and the protrusions 119 and 134. ) To the grooves 121a and 115a, respectively, to assemble the upper cap 120 and the lower cap 130 to the canister 110.

본 발명에 따르는 가스 스크러버(100)는 캐니스터(110), 상부캡(120) 및 하부캡(130)이 볼트로 결합되어 있지 않으므로 상기와 같이 간단하게 캐니스터(110)로부터 상부캡(120)과 하부캡(130)을 분리할 수 있게 된다.In the gas scrubber 100 according to the present invention, the canister 110, the upper cap 120, and the lower cap 130 are not bolted together, and thus, the upper cap 120 and the lower portion of the canister 110 are simply as described above. Cap 130 can be removed.

사용을 완료한 가스 스크러버(100)를 교체하는 다른 예에 대하여 도 3 및 도 10을 참조하여 설명하면, 상부연결관(185)과 하부연결관(181)에 연결된 밸브를 잠그고, 하부연결관(181)의 플랜지(139, 183) 연결을 해제하고, 도 5에 도시된 회전가이드(153)를 회전하여 롤러(159)를 지면으로부터 분리되도록 한다. 그리고 분리홈(113a)에 공구 등을 삽입하고 가압하여 플랜지부(121)와 플랜지(113)의 연결이 분리되도록 한다. 그리고 새로운 가스 스크러버(100)를 도 3에 도시한 설치 위치로 이송하고, 가스 스크러버(100)의 하판(171)을 상부로 가압하고 플랜지부(121)의 요홈(121a)에 돌기(119)가 삽입되도록 하여 상부캡(120)에 캐니스터(110)를 결합하고, 이동수단(150)의 회전가이드(153)를 회전시켜 롤러(159)가 지면과 적당한 높이에서 접촉되도록 한다. 그리고 유입관(137)과 하부연결관(181)을 플랜지(139, 183) 연결한다. 상기 연결이 완료된 후 밸브를 열어서 가스 스크러버(100)를 통과하여 유해 가스가 통과되도록 한다.Another example of replacing the used gas scrubber 100 will be described with reference to FIGS. 3 and 10, and the valves connected to the upper connection pipe 185 and the lower connection pipe 181 are locked, and the lower connection pipe ( The flanges 139 and 183 of the 181 are disconnected, and the rotation guide 153 shown in FIG. 5 is rotated to separate the roller 159 from the ground. Then, the tool is inserted into the separation groove 113a and pressurized to separate the connection between the flange part 121 and the flange 113. Then, the new gas scrubber 100 is transferred to the installation position shown in FIG. 3, the lower plate 171 of the gas scrubber 100 is pressed upward, and the protrusion 119 is formed in the groove 121a of the flange portion 121. The canister 110 is coupled to the upper cap 120 by being inserted, and the rotation guide 153 of the moving unit 150 is rotated so that the roller 159 contacts the ground at an appropriate height. And the inlet pipe 137 and the lower connecting pipe 181 connects the flanges (139, 183). After the connection is completed, the valve is opened to allow the harmful gas to pass through the gas scrubber 100.

상기 가스 스크러버(100)의 교체 및 가스 스크러버(100) 내부에 설치된 흡착 제(141)를 교체하기 위하여 가스 스크러버(100)를 분해하고 다시 조립하는 과정에서 상기 분리홈(113a, 131a)에 의하여 가스 스크러버(100)를 간편하고 신속하게 분해할 수 있으며, 또한 상부캡(120)과 플랜지(115)가 각각 경사안내부(125a)와 안내경사부(116a)가 형성된 안내부(125, 116)를 구비하여 상기 안내부(125, 116)가 각각 플랜지(113)와 하부캡(130)을 안내함으로써 요홈으로 돌기가 안정되게 삽입되도록 함으로써 가스 스크러버(100)의 설치 및 조립이 용이해진다.In order to replace the gas scrubber 100 and to replace the adsorbent 141 installed in the gas scrubber 100, the gas is removed by the separation grooves 113a and 131a in the process of disassembling and reassembling the gas scrubber 100. The scrubber 100 can be disassembled easily and quickly, and the upper cap 120 and the flange 115 may each of the guide portions 125 and 116 having the inclined guide portion 125a and the guide inclined portion 116a. The guide parts 125 and 116 guide the flanges 113 and the lower cap 130, respectively, so that the protrusions are stably inserted into the grooves, thereby facilitating the installation and assembly of the gas scrubber 100.

사용을 완료한 가스 스크러버(100)를 교체하는 또 다른 예에 대하여 도 3 및 도 11을 참조하여 설명하면, 상부연결관(185)과 하부연결관(181)에 연결된 밸브를 잠그고, 캐니스터(110)에 3개 이상 설치된 각 지지캡(191)에 지지롤러부의 삽입패널(192)를 삽입하여 캐니스터(110)를 이동 가능한 상태로 한다. Another example of replacing the used gas scrubber 100 will be described with reference to FIGS. 3 and 11, and lock the valve connected to the upper connection pipe 185 and the lower connection pipe 181, and the canister 110. 3) Insert the support roller portion insertion panel 192 into each support cap 191 installed in three or more to make the canister 110 movable.

그리고 분리홈(113a)에 공구 등을 삽입하고 가압하여 플랜지부(121)와 플랜지(113)의 연결이 분리되도록 하여 캐니스터(110)으로부터 상부캡(120)을 분리한다. 캐니스터(110)로부터 상부캡(120)을 분리하고 난 후 캐니스터(110)와 상부캡(120) 내부에 잔류하는 배출 가스가 외부로 누출되는 것을 방지하기 위하여 캐니스터(110)의 상부와 상부캡(120)의 하부를 미리 준비한 캡(도시하지 않음)으로 밀봉하는 것이 바람직하다. 또 다른 분리홈(131a)에 공구 등을 삽입하고 가압하여 플랜지부(131)와 플랜지(115)가 분리되도록 하여 하부캡(130)으로부터 캐니스터(110)를 분리한다. 이때도 캐니스터(110)의 하부와 하부캡(130)의 상부를 밀봉하는 것이 바람직하다. 상기와 같이 사용한 캐니스터(110)를 분리하고, 새로운 캐니스터(110)를 상기의 역순으로 하부캡(130)과 상부캡(120) 사이에 설치한다. 상 부캐(120) 및 하부캡(130)을 캐니스터(110)와 결합할 때 플랜지부(121)와 플랜지(113)를, 그리고 플랜지부(131)와 플랜지(113)를 원주 방향으로 따라 상하에서 가압하여 결합하는 것이 가능하다. 상기 연결이 완료된 후 밸브를 열어서 가스 스크러버(100)를 통과하여 유해 가스가 통과되도록 한다. 따라서 본 발명에 따르는 가스 스크러버(100)는 상부캡(120)과 하부캡(130)의 교체 주기를 캐니스터(110)의 교체 주기와 달리하여 용이하게 교체하는 것이 가능하다. 물론, 상기와 같은 이동수단에 의해서도 캐니스터(110), 상부캡(120) 및 하부캡(130)을 일체로 분리하는 것도 가능하다. The upper cap 120 is separated from the canister 110 by inserting a tool or the like into the separation groove 113a to press the flange 121 and the flange 113 to be separated from each other. After separating the upper cap 120 from the canister 110, the upper cap and the upper cap of the canister 110 to prevent the discharge gas remaining in the canister 110 and the upper cap 120 to leak to the outside ( It is preferable to seal the lower portion of 120 with a cap (not shown) prepared in advance. The canister 110 is separated from the lower cap 130 by inserting a tool or the like into another separation groove 131a and pressing the flange 131 and the flange 115. At this time, it is preferable to seal the lower portion of the canister 110 and the upper portion of the lower cap 130. The canister 110 used as described above is separated and a new canister 110 is installed between the lower cap 130 and the upper cap 120 in the reverse order. When the upper buccal 120 and the lower cap 130 are combined with the canister 110, the flange portion 121 and the flange 113, and the flange portion 131 and the flange 113 in the circumferential direction up and down It is possible to combine by pressing. After the connection is completed, the valve is opened to allow the harmful gas to pass through the gas scrubber 100. Therefore, the gas scrubber 100 according to the present invention can be easily replaced by changing the replacement cycle of the upper cap 120 and the lower cap 130 different from the replacement cycle of the canister 110. Of course, it is also possible to integrally separate the canister 110, the upper cap 120 and the lower cap 130 by the moving means as described above.

이상에서 본 발명은 특정의 실시 예와 관련하여 도시 및 설명하였지만, 첨부된 특허청구범위에 의해 나타난 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 한도 내에서 다양한 변경, 개조 및 변화가 가능하다는 것을 당업계에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구나 쉽게 알 수 있을 것이다. While the invention has been shown and described with respect to specific embodiments thereof, it is conventional in the art that various changes, modifications and variations are possible without departing from the spirit and scope of the invention as indicated by the appended claims. Anyone who knows the knowledge of is easy to know.

이상에서 설명한 바와 같은 본 발명에 따르는 가스 스크러버는 설치와 교체하는데 소요되는 시간이 대폭 단축되며, 교체된 가스 스크러버의 내부 흡착제를 교체하기 위하여 가스 스크러버를 용이하고 간단하게 분해하고 조립할 수 있으므로 흡착제 교체에 소요되는 시간과 노력이 대폭 단축되며, 제조에 소요되는 부품의 수도 현저하게 감소하므로 제작 비용이 절감되고 제작에 소요되는 시간도 대폭 단축되는 한편, 하부로 다층 적층되는 다수의 타공판을 구비함으로써 유해 가스를 고르 게 분산시킬 수 있어 전 흡착제를 통하여 균일하게 유해 가스를 통과시킬 수 있으며, 다수의 타공판 지름을 서로 달리함으로써 타공판에 의한 흐름 저항이나 와류 발생을 최소화할 수 있는 효과가 있다. The gas scrubber according to the present invention as described above is greatly shortened the time required for installation and replacement, so that the gas scrubber can be easily and simply disassembled and assembled to replace the internal adsorbent of the replaced gas scrubber. Significantly reduce the time and effort required, and significantly reduce the number of parts required for manufacturing, thereby reducing manufacturing costs and significantly reducing the time required for manufacturing, while also providing a number of perforated plates stacked on the bottom of the harmful gas Since it can be evenly distributed through the adsorbent through the harmful gas uniformly, by varying the diameter of the plurality of perforated plate has the effect of minimizing the flow resistance or vortex generation by the perforated plate.

Claims (9)

보호망(143)에 의하여 지지되는 흡착제(141)가 내부에 설치되며 상하부에 플랜지(113, 115)를 구비하는 캐니스터(110)와; 상기 캐니스터(110)의 상부로 설치되며 상기 흡착제(141)에 의하여 정화된 가스가 배출되는 배출관(127)과, 상기 캐니스터(110)의 플랜지(113)에 연결되는 플랜지부(121)를 구비하는 상부캡(120)과; 상기 캐니스터(110)의 하부로 설치되며 유해 가스가 유입되는 유입관(137)과, 상기 캐니스터(110)의 플랜지(115)에 연결되는 플랜지부(131)를 구비하는 하부캡(130)으로 이루어지며; A canister 110 having an adsorbent 141 supported by the protection net 143 therein and having flanges 113 and 115 at upper and lower sides thereof; Is provided above the canister 110 and provided with a discharge pipe 127 for discharging the gas purified by the adsorbent 141, and a flange portion 121 connected to the flange 113 of the canister 110 An upper cap 120; The lower cap 130 is installed below the canister 110 and includes an inlet pipe 137 through which harmful gas is introduced and a flange portion 131 connected to the flange 115 of the canister 110. ; 상기 상부캡(120)의 플랜지부(121)에는 원주방향으로 요홈(121a)이 형성되며, 상기 요홈(121a)의 내측 및/또는 외측으로 오링(128)을 구비하며; 상기 플랜지(113)는 원주방향으로 형성되어 상기 요홈(121a)에 삽입되는 돌기(119)를 구비하며, 상기 돌기(119)의 내측 및/또는 외측으로 상기 오링(128)이 안착하는 안착홈(113b)이 형성되는 것을 특징으로 하는 가스 스크러버(100).The flange portion 121 of the upper cap 120 is formed with a groove 121a in the circumferential direction, and has an O-ring 128 inwardly and / or outwardly of the groove 121a; The flange 113 has a protrusion 119 formed in the circumferential direction and inserted into the recess 121a, and a seating groove in which the O-ring 128 rests inside and / or outside the protrusion 119. Gas scrubber 100, characterized in that 113b) is formed. 제1 항에 있어서, 상기 캐니스터(110)의 플랜지(115)에는 원주 방향으로 요홈(115a)이 형성되며, 상기 요홈(115a)의 내측 및/또는 외측으로 오링(118)을 구비하며; 상기 하부캡(130)의 플랜지부(131)에는 원주방향으로 형성되어 상기 요홈(115a)에 삽입되는 돌기(134)를 구비하며, 상기 돌기(134)의 내측 및/또는 외측으로 상기 오링(118)이 안착하는 안착홈(131b)이 형성되는 것을 특징으로 하는 가 스 스크러버(100).The flange (115) of the canister (110) has a groove (115a) formed in the circumferential direction, and has an o-ring (118) to the inside and / or outside of the groove (115a); The flange 131 of the lower cap 130 has a protrusion 134 formed in the circumferential direction and inserted into the groove 115a, and the O-ring 118 toward the inside and / or outside of the protrusion 134. ) Gas scrubber 100, characterized in that the seating groove (131b) is formed. 제1 항에 있어서, 상기 플랜지(113) 및/또는 플랜지부(121)에는 원주 방향으로 소정 간격 이격되어 분리홈이 형성되는 것을 특징으로 하는 가스 스크러버(100).The gas scrubber (100) according to claim 1, wherein the flange (113) and / or the flange portion (121) are separated by a predetermined interval in the circumferential direction. 제2 항에 있어서, 상기 플랜지(113) 및/또는 플랜지부(121)에는 원주 방향으로 소정 간격 이격되어 복수의 분리홈이 형성되며, 상기 플랜지(115) 및/또는 플랜지부(131)에는 원주 방향으로 소정 간격 이격되어 복수의 분리홈이 형성되는 것을 특징으로 하는 가스 스크러버(100).According to claim 2, The flange 113 and / or the flange portion 121 is formed in the circumferential direction spaced apart a plurality of separation grooves, the flange 115 and / or the flange portion 131 is a circumference The gas scrubber 100, characterized in that a plurality of separation grooves are formed spaced apart in the direction. 제1 항에 있어서, 상판(120)의 플랜지부(121)는 원주 방향으로 형성되며 내측으로 소정의 각도로 경사진 경사안내부(125a)를 구비하는 안내부(125)를 포함하며, 상기 캐니스터(110)의 플랜지(113)는 외주면으로 상기 경사안내부(125a)에 대응하는 경사부(112)를 포함하는 것을 특징으로 하는 가스 스크러버(100).The canister of claim 1, wherein the flange portion 121 of the upper plate 120 includes a guide portion 125 formed in the circumferential direction and having an inclined guide portion 125a inclined at a predetermined angle inwardly. Flange 113 of the gas (110) is a gas scrubber (100) characterized in that it comprises an inclined portion (112) corresponding to the inclined guide portion (125a) to the outer peripheral surface. 제2 항에 있어서, 상기 상판(120)의 플랜지부(121)는 원주 방향으로 형성되며 내측으로 소정의 각도로 경사진 경사안내부(125a)를 구비하는 안내부(125)를 포함하며; 상기 캐니스터(110)의 플랜지(113)는 외주면으로 상기 경사안내부(125a)에 대응하는 경사부(112)를 포함하며; 상기 캐니스터(110)의 플랜지(115)는 내측으로 소정의 각도로 경사진 안내경사부(116a)를 구비하는 안내부(116)를 포함하며; 상기 하부캡(130)의 플랜지부(131)는 외주면으로 플랜지(115)의 내측으로 소정의 각도로 경사진 안내경사부(116a)에 대응하는 경사부(132)를 포함하는 것을 특징으로 하는 가스 스크러버(100).According to claim 2, The flange portion 121 of the upper plate 120 includes a guide portion 125 is formed in the circumferential direction and having an inclined guide portion (125a) inclined at a predetermined angle inwardly; The flange 113 of the canister 110 includes an inclined portion 112 corresponding to the inclined guide portion 125a on an outer circumferential surface thereof; The flange 115 of the canister 110 includes a guide portion 116 having a guide inclined portion 116a that is inclined at a predetermined angle inwardly; The flange portion 131 of the lower cap 130 is characterized in that it comprises an inclined portion 132 corresponding to the guide inclined portion 116a inclined at a predetermined angle to the inside of the flange 115 to the outer peripheral surface Scrubber 100. 제1 항 내지 제6 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 가스 스크러버(100)는 하부캡(130)의 하부로 설치되는 이동수단(150)을 구비하며, 상기 이동수단(150)은 하부캡(130)의 하부로 고정 설치되며 내측으로 암나사부(151a)가 형성된 원통 형상의 안내지지부(151)와; 상기 안내지지부(151)에 설치되어 안내지지부(151)의 내측으로 소정 높이 돌출되는 정지핀(155)과; 소정 범위에 수나사부(153a)가 형성되어 상기 안내부(151)에 나사 결합하는 회전 가이드(153)와; 상기 회전 가이드(153)에 회전 가능하게 삽입되는 회전부(157)와; 상기 회전부(157)로부터 돌출되며 회전핀(158)을 구비하여 롤러(159)를 회전 가능하게 지지하는 지지체(156)와; 상기 지지체(156)의 회전핀(158)에 회전 가능하게 설치되는 롤러(159)로 이루어지는 것을 특징으로 하는 가스 스크러버(100).According to any one of claims 1 to 6, wherein the gas scrubber 100 is provided with a moving means 150 is installed below the lower cap 130, the moving means 150 is a lower cap ( A cylindrical guide support 151 fixedly installed at the lower portion of the 130 and having an internal thread portion 151 a formed therein; A stop pin 155 installed at the guide support 151 and protruding a predetermined height into the guide support 151; A rotational guide 153 having a male screw portion 153a formed in a predetermined range and screwed to the guide portion 151; A rotation part 157 rotatably inserted into the rotation guide 153; A support 156 protruding from the rotation part 157 and having a rotation pin 158 to rotatably support the roller 159; Gas scrubber 100, characterized in that consisting of a roller 159 is rotatably installed on the rotary pin 158 of the support 156. 제1 항 내지 제6 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 가스 스크러버(100)는 다수의 통공이 형성되며 소정 간격으로 이격하여 상하로 설치되며 상부로 갈수록 지름이 증가하는 복수의 타공판을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 가스 스크러버(100).According to any one of claims 1 to 6, The gas scrubber 100 is formed with a plurality of through-holes are spaced apart at a predetermined interval and installed up and down and further comprises a plurality of perforated plate which increases in diameter toward the top Gas scrubber 100, characterized in that. 제1 항 내지 제6 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 가스 스크러버(100)는 이동수단을 구비하며, 상기 이동수단은 캐니스터(110)에 고정 설치되며 포켓부(193)를 구비하는 지지캡(191)과; 상기 지지캡(191)의 포켓부(193)에 삽입 고정되는 삽입패널(192)과, 상기 삽입패널(192)에서 연장되며 절곡된 지지체(194)와, 상기 지지체(194)의 말단에 결합된 지지롤러(196)로 이루어지는 지지롤러부를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 가스 스크러버(100).According to any one of claims 1 to 6, wherein the gas scrubber 100 is provided with a moving means, the moving means is fixed to the canister 110, the support cap having a pocket 193 ( 191); An insertion panel 192 inserted into and fixed to the pocket portion 193 of the support cap 191, a support 194 extending and bent from the insertion panel 192, and coupled to an end of the support 194. Gas scrubber 100, characterized in that it comprises a support roller consisting of a support roller (196).
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