KR20080083855A - 다단 구조의 가변형 입경 분리기 - Google Patents

다단 구조의 가변형 입경 분리기 Download PDF

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Abstract

본 발명에 따른 다단 구조의 가변형 입경 분리기는, 입구와 출구가 형성된 하우징, 상기 하우징 내측에 설치되고, 노즐 구멍이 형성된 가속 노즐 및 상기 가속 노즐 후단에 설치되어 상기 노즐 구멍을 통해서 이동하는 기체 중에 포함되는 입자들이 선택적으로 부착되는 충돌판을 포함하고, 상기 가속 노즐은 적어도 두 개가 간격을 두고 배치되고, 상기 충돌판은 상기 가속 노즐 각각의 후단에 배치되며, 상기 가속 노즐과 상기 충돌판 사이 적어도 한 부분에 전기장을 형성시킴으로써 상기 충돌판에 부착되는 입자의 크기를 조절한다.
가변형, 입경, 분리기, 충돌판, 입자, 가속 노즐, 전기장

Description

다단 구조의 가변형 입경 분리기{VARIABLE GRAIN SIZE SEPARATOR HAVING MULTI STEP STRUCTURE}
도 1은 본 발명의 한 실시예에 따른 다단 구조의 가변형 입경 분리기의 단면도이다.
도 2는 본 발명의 한 실시예에 따른 다단 구조의 가변형 입경 분리기의 가속 노즐에 부착된 제1 전극의 저면도이다.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
100: 입구 105: 이온화 장치
110: 하우징 115a, 115b, 115c: 충돌판
120: 유통홀 125: 절연체
135: 출구 140a, 140b, 140c: 하전입자
145: 진공 펌프 155: 전류 측정기
165, 185: 전원부 170a, 170b, 170c: 전극
175a, 175b, 175c: 가속 노즐 180: 노즐 구멍
190: 와이어 전극 200: 센터
본 발명은 입경 분리기에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 기체 중 부유 입자의 직경을 선별하여 측정하기 위해서 여러 개의 충돌판과 가속 노즐을 구비한 다단 구조의 입경 분리기에 관한 것이다.
자동차의 배기기체나 기체 중에는 미세 입자(Particulate matter: PM)들이 포함되어 있으며, 이러한 입자 중 미세한 것들은 인체의 호흡기에 쉽게 축적되어 호흡기 질환을 야기할 뿐만 아니라 대도시에 스모그의 주원인이 되고 있다.
여러 나라에서는 이러한 미세 입자를 규제하기 위한 환경규제를 마련하고 있으며, 입자의 크기가 인체에 가해지는 위험성을 결정하는 중요한 변수로 인식되고 있다. 특히 기체 중에 포함되는 입자상 물질들에 대한 질량규제에서 크기별 개수 농도에 대한 규제로 전환되고 있다. 이러한 추세에 발맞추어 입자를 측정하는 기술과 측정장치가 요구된다.
한편, 종래의 충돌판형 입경 분리기는 가속 노즐에 형성된 유통홀의 직경, 가속 노즐과 충돌판 사이의 거리에 의해서 분리되는 입경이 정해져 있다. 또한, 충돌판에 부착되는 입자의 입경을 변경하기 위해서는 유입유량을 조절해야 하는 방법이 있으나, 이 경우 유량 조절 범위에 한계가 있을 뿐만 아니라, 유량 조절 후 측정 장비 내의 유동을 안정화시키는데 많은 시간이 소요되는 문제점이 있다.
본 발명은 가속 노즐과 충돌판 사이에 전기장을 인가하고, 이러한 전기장의 크기를 조절함으로써 충돌판에 부착되는 입자의 입도를 조절하는 다단 구조의 가변 형 입경 분리기를 제공한다.
본 발명에 따른 다단 구조의 가변형 입경 분리기는, 입구와 출구가 형성된 하우징, 상기 하우징 내측에 설치되고 노즐 구멍이 형성된 가속 노즐 및 상기 가속 노즐 후단에 설치되어 상기 노즐 구멍을 통해서 이동하는 기체 중에 포함되는 입자들이 선택적으로 부착되는 충돌판을 포함하고, 상기 가속 노즐은 적어도 두 개가 간격을 두고 배치되고, 상기 충돌판은 상기 가속 노즐 각각의 후단에 배치되며, 상기 가속 노즐과 상기 충돌판 사이 적어도 한 부분에 전기장을 형성시킴으로써 상기 충돌판에 부착되는 입자의 크기를 조절한다.
또한, 본 발명의 실시예에서, 상기 가속 노즐과 상기 충돌판 사이에 전극이 형성되고, 상기 전극으로 전압이 인가됨으로써 전기장이 형성되고, 상기 전극은 상기 가속 노즐의 일측면에 인접하여 형성될 수 있다. 또한, 상기 전극은 상기 하우징의 내측 면과 상기 노즐 구멍 사이 공간에 설치되고, 상기 전극은 상기 노즐 구멍의 중심을 원점으로 하는 원형의 링 형상의 구조를 가질 수 있다.
또한, 본 발명의 실시예에서, 전원부에서 공급되는 전기 에너지를 이용하여 상기 하우징 내부를 흐르는 기체에 포함된 입자들을 하전시키는 이온화 장치를 더욱 포함할 수 있다.
또한, 본 발명의 실시예에서, 상기 가속 노즐은, 제1 가속 노즐 및 상기 제1 가속 노즐의 후단부에 설치된 제2 가속 노즐을 포함하고, 상기 충돌판은, 상기 제1 가속 노즐에 대응하는 제1 충돌판 및 상기 제2 가속 노즐에 대응하는 제2 충돌판을 포함하고, 상기 전극은, 상기 제1 충돌판에 대응하는 제1 전극 및 상기 제2 충돌판에 대응하는 제2 전극을 포함하고, 상기 제1 전극은 제1 전원부와 연결되고, 상기 제2 전극은 제2 전원부와 연결될 수 있다.
또한, 본 발명의 실시예에서, 상기 제1 전극에 인가되는 전압의 크기와 상기 제2 전극에 인가되는 전압의 크기가 서로 다를 수 있고, 상기 제1 전극과 상기 제2 전극에는 각각 서로 다른 극성의 전압이 인가될 수 있다.
이하, 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다.
도면에서 본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 동일 또는 유사한 구성요소에 대해서는 동일한 참조부호를 붙였다.
이하, 첨부한 도면을 참고로 하여, 본 발명의 실시예에 따른 다단 구조의 가변형 입경 분리기에 대해 상세히 설명한다.
도 1은 본 발명의 한 실시예에 따른 다단 구조의 가변형 입경 분리기의 단면도이다.
도 1에 도시한 바와 같이, 다단 구조의 가변형 입경 분리기는, 상부 측에 입구(100)가 형성되고 하부 측에 출구(135)가 형성되며 입구(100)에서 출구(135) 방향으로 기체가 흐르는 공간을 제공하는 하우징(110) 및 하우징(110) 내부 입 구(100) 측에 설치되어 기체 중 부유 입자들을 이온화시키는 이온화 장치(105)를 포함한다.
또한, 다단 구조의 가변형 입경 분리기는, 이온화 장치(105) 후단에 설정된 간격을 두고 설치되되 가운데 부분에 형성된 노즐 구멍(180a, 180b, 180c)을 통하여 기체가 가속되는 가속 노즐들(175a, 175b, 175c), 각 가속 노즐들(175a, 175b, 175c) 후단부에 위치한 절연체(125a, 125b, 125c)에 장착되고 상부 면이 가속 노즐들(175a, 175b, 175c)과 마주하는 충돌판들(115a, 115b, 115c) 및 가속 노즐들(175a, 175b, 175c) 하부 면에 장착되는 전극들(170a, 170b, 170c)을 포함한다.
하우징(110)의 출구(135)는 진공 펌프(145)와 연결되어 있고, 진공 펌프(145)는 하우징(110)을 통하여 기체를 흡입한다. 이온화 장치(105)는 전원부(185)와 연결되어 있으며, 이러한 전원부(185)에 의해서 설정치의 전압이 인가되면, 와이어 전극(190)에 방전이 발생한다. 특히 기체 중의 입자들은 이러한 방전이 형성되는 공간을 통과하면서 전하를 포함하게 된다.
각 절연체(125a, 125b, 125c)의 가운데 부분에 충돌판들(115a, 115b, 115c)이 장착되고, 각 절연체(125a, 125b, 125c)의 가장 자리에는 기체가 통하는 유통홀(120a, 120b, 120c)이 형성된다. 절연체(125a, 125b, 125c)에 장착된 충돌판들(115a, 115b, 115c)의 상부 면은 기체의 흐름 방향과는 대략 수직하게 형성될 수 있다.
한편, 이온화 장치(105)를 통과한 기체는 가속 노즐들(175a, 175b, 175c)의 가운데 부분에 형성된 노즐 구멍(180a, 180b, 180c)을 통과하면서 가속되고, 기체 속에 놓인 하전된 입자들은 관성에 의해서 충돌판들(115a, 115b, 115c)의 상부 면으로 이동한다.
입자들 중 일부는 충돌판(115a, 115b, 115c)에 부착되고, 다른 일부는 유통홀(120a, 120b, 120c)을 통하여 이동한다. 이때 충돌판(115a, 115b, 115c)에 충돌하는 하전된 입자의 입경은 가속 노즐들(175a, 175b, 175c)의 직경 및 가속 노즐들(175a, 175b, 175c)과 충돌판들(115a, 115b, 115c) 사이의 거리에 따라서 변한다. 특히 입경이 커서 질량이 큰 입자들은 관성이 크기 때문에 충돌판(115a, 115b, 115c)에 부착되기 쉽고, 입경이 작은 입자들은 기체를 따라서 유통홀(120a, 120b, 120c)을 통과한다.
충돌판들(115a, 115b, 115c)은 가속 노즐들(175a, 175b, 175c)을 통과한 기체 속의 입자 중 소정 입경 이상의 입자들이 충돌되어 부착되는 전도성 재질(예를 들어 Cu)로 제작되고, 이러한 충돌판들(115a, 115b, 115c)은 각각 도선을 통해서 전류 측정기(155)에 연결된다. 이러한 전류 측정기(155)는 충돌판들(115a, 115b, 115c)에 부착되는 하전된 입자들의 전류량을 측정하게 된다. 이렇게 전류 측정기(155)에서 측정된 데이터는 기체 중의 입자의 농도(개수/m3)를 가늠하는 수치로 활용된다.
일반적인 입경 분리기는 가속 노즐들(175a, 175b, 175c)에 형성된 노즐 구멍(180a, 180b, 180c)의 직경, 가속 노즐들(175a, 175b, 175c)과 충돌판들(115a, 115b, 115c) 사이의 거리를 조절함에 의해서 충돌판들(115a, 115b, 115c)에 부착되 는 입자의 직경을 변경해야 하는 번거로움이 있으나, 본 발명의 실시예에서는 입경 분리기의 구조를 변경시키지 않고 충돌판들(115a, 115b, 115c)에 부착되는 입자의 입경을 조절한다.
이러한 기술적인 목적을 달성하기 위해서, 본 발명의 실시예에서는 가속 노즐들(175a, 175b, 175c)과 충돌판들(115a, 115b, 115c) 사이에 각각 전기장을 형성한다.
전기장을 형성하는 방법은 여러 가지가 있으나, 본 발명의 실시예에서는 가속 노즐들(175a, 175b, 175c)의 하부 면에 전극들(170a, 170b, 170c)이 각각 설치되고, 이러한 전극들(170a, 170b, 170c)은 도선을 통하여 전원부와 연결된다.
본 발명의 실시예에서 전류 측정기(155)와 연결된 충돌판들(115a, 115b, 115c)은 충돌판들(115a, 115b, 115c)에 부착된 입자들의 하전량을 측정하는 전류 검출부로서의 기능과, 전극들(170a, 170b, 170c)과 함께 전기장을 형성하기 위한 역할도 함께 수행한다.
가속 노즐들(175a, 175b, 175c)을 통과하는 입자들이 전기장의 영향을 받지 못하도록 하기 위해서 전극들(170a, 170b, 170c)은 가속 노즐들(175a, 175b, 175c)의 상부 면에 위치하지 않고 하부 측에 위치하는 것이 바람직하다.
도 1에 도시한 바와 같이 이온화 장치(105)를 통과한 하전입자(140)는 서로 다른 크기의 제1 하전입자(140a), 제2 하전입자(140b) 및 제3 하전입자(140c)를 포함한다. 또한, 세 개의 하전입자(140) 중에서 제1 하전입자(140a)의 입경이 가장 크고, 제3 하전입자(140c)의 입경이 가장 작다.
본 발명의 특징 중 하나는, 전극들(170a, 170b, 170c)에 인가되는 전압의 크기에 따라서 충돌판들(115a, 115b, 115c)에 부착되는 하전입자(140)들의 입경이 달라진다는 것이다.
도 1에 도시한 바와 같이, 제1 전극(175a)에는 제1 전압(V1)이 인가되고, 제2 전극(175b)에는 제2 전압(V2)이 인가되며, 제3 전극(175c)에는 제3 전압(V3)이 인가된다. 본 실시예에서, 이들 전압의 크기를 비교하면 V1 < V2 < V3의 관계를 가지도록 할 수 있다.
본 발명의 실시예에서, 제1 하전입자(140a)는 제1 충돌판(115a)에 부착되고, 제2 하전입자(140b)는 제2 충돌판(115b)에 부착되며, 제3 하전입자(140c)는 제3 충돌판(115c)에 부착된다.
좀 더 상세하게 설명하면, 제1 전압(V1)이 인가된 제1 전극(170a)에 의해서 형성된 전기장은 제1 가속 노즐(175a)을 통과한 하전입자들(140a, 140b, 140c)에게 영향을 준다. 특히 양(+)의 전하를 띠는 하전입자들(140a, 140b, 140c)과 양(+)의 전압이 인가되는 제1 전극(170a) 사이에는 척력(밀어내는 힘)이 작용한다. 하지만, 제1 전극(170a)에 인가되는 척력이 크지 않기 때문에 관성이 작은 제2 및 제3 하전입자들(140b, 140c)은 유통홀(120)을 따라서 이동하고, 관성이 큰 제1 하전입자(140a)(입경이 큰 입자)는 관성에 의해서 제1 충돌판(115a)에 부착된다.
반면에 제2 전극(170b)에는 제1 전압(V1) 보다 큰 제2 전압(V2)이 인가되기 때문에 전극(170a)이 하전입자들(140a, 140b, 140c)을 밀어내는 힘보다 제2 전극(170b)이 제2 및 제3 하전입자들(140b, 140c)을 밀어내는 힘(척력)이 좀 더 크다. 따라서 제3 하전입자(140c)보다 입경이 큰 제2 하전입자(140b)는 제2 충돌판(115b)에 부착되고 입경이 가장 작은 제3 하전입자(140c)는 기류를 따라서 다시 이동하게 된다.
또한 제3 전극(170c)에는 제2 전압(V2) 보다 큰 제3 전압(V3)가 인가되기 때문에 제2 전극(170b)이 제2 및 제3 하전입자들(140b, 140c)을 밀어내는 힘보다 큰 힘이 제3 하전입자(140c)에 가해지기 때문에 제3 하전입자(140c)는 제3 충돌판(115c)에 부착된다.
본 발명의 실시예에서는, 전극들(170a, 170b, 170c)에 모두 전압이 인가되지만, 다른 실시예에서는 이들 중 적어도 하나의 전극에는 전압이 인가되지 않을 수 있다. 또한 본 발명의 실시예에서는 전극들(170a, 170b, 170c)에 양(+)의 전압이 인가되지만, 다른 실시예에서는 이들 중 적어도 하나의 전극에는 음(-)의 전압이 인가될 수 있다. 또한 본 발명의 다른 실시예에서, 전극들(170a, 170b, 170c) 중 적어도 하나의 전극에는 전압이 인가되지 않을 수 있다.
본 발명의 실시예에서는, 이온화 장치(105)를 통과한 입자들이 양(+)의 전하를 띠고 있는 경우를 설명하였지만, 다른 실시예에서는 음(-)의 전하를 띤 입자의 분리도 가능하며, 양(+)의 전하를 띠는 입자들과 음(-)의 전하를 띠는 입자들이 함께 기류 속에 섞여 있는 경우에도 분리 가능하다.
입자가 음(-)의 전하는 띠고, 전극들(170a, 170b, 170c)이 양(+)극이면, 전극들(170a, 170b, 170c)은 음(-)전하를 띠는 입자를 끌어당기게 된다. 특히 입경이 작은 입자들이 전극들(170a, 170b, 170c)의 끌어당기는 힘에 의해서 영향을 많이 받아서 입경이 작은 입자들은 충돌판들(115a, 115b, 115c)에 잘 부착되지 않는다. 따라서 이러한 경우 충돌판들(115a, 115b, 115c)에 부착되는 입자의 입경은 커진다.
전술한 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따라서 전기장의 강도에 따라서 충돌판들(115a, 115b, 115c)에 부착되는 입자의 입경이 조절된다. 전기장의 강도는 전극들(170a, 170b, 170c)의 설치 위치와 전극들(170a, 170b, 170c)에 가해지는 전압의 크기에 따라서 달라질 수 있다.
입자의 크기가 작은 경우, 전극들(170a, 170b, 170c)에 인가되는 전압의 작은 변화에도 충돌차이가 많이 발생하게 되고, 입자의 크기가 큰 경우, 전극들(170a, 170b, 170c)에 인가되는 전압의 크기 변화가 커져야 한다. 본 발명의 실시예에서는 충돌판들(115a, 115b, 115c)에 부착되는 입자상 물질의 입경을 0.1nm 내지 1nm 범위 내에서 조절할 수 있어서, 기체 중 혹은 기체에 함유된 입자의 크기와 밀도를 정밀하게 판단할 수 있다.
각 단의 충돌판(115a, 115b, 115c)에 부착되는 입경을 조절함으로써 넓은 범위의 입경 분포를 가지는 입자들의 입경을 실시간으로 측정할 수 있으며, 각 단의 전극(170a, 170b, 170c)에 인가되는 전압을 조절함으로써 각 단에 부착되는 입경의 차이를 정밀하게 제어할 수 있다.
도 2는 본 발명의 한 실시예에 따른 다단 구조의 가변형 입경 분리기의 가속 노즐에 부착된 제1 전극의 저면도이다.
도 2에 도시한 바와 같이, 제1 가속 노즐(175a)에는 제1 노즐 구멍(180a)이 형성되고, 이러한 제1 노즐 구멍(180a)은 제1 가속 노즐(175a)의 센터(200)를 중심으로 형성된다. 또한 제1 전극(170a)은 제1 가속 노즐(175a)의 센터(200)를 원점으로 하는 원형으로 형성되고, 제1 노즐 구멍(180a)에 바로 인접한 주위에는 전극(170)이 형성되지 않는다.
특히 제1 전극(170a)이 제1 노즐 구멍(180a)을 통과하는 입자에 주는 영향을 최소화하기 위해서, 제1 전극(170a)은 제1 노즐 구멍(180a) 주위에 형성되지 않는 것이 바람직하다.
한편, 제2 가속노즐(175b)에 부착된 제2 전극(170b)과 제3 가속노즐(175c)에 부착된 제3 전극(170c)의 구조도 상기 제1 가속노즐(175a)에 부착된 제1 전극(170a)과 유사하게 형성될 수 있다.
가속 노즐과 충돌판이 한 개씩 구비된 가변형 입경 분리기의 경우, 측정할 수 있는 입자의 입경의 범위를 확장시키는 데 제한이 있을 뿐만 아니라 입경의 범위를 늘리기 위해서 전극에 과도한 전압이 인가될 수 있다. 이러한 경우 전류 측정기나 절연체에 악영향을 줄 수 있다.
하지만, 본 발명의 실시예에서는 가속 노즐과 충돌판이 다단계로 형성되고, 각 단계에 설치된 전극(170a, 170b, 170c)을 이용하여 적절한 전기장을 형성함으로써 측정할 수 있는 입경의 범위를 쉽게 늘릴 수 있다. 특히 각 단계별로 전 극(170a, 170b, 170c)에 인가되는 전압의 세기를 미세하게 조정함으로써 매우 미세한 입자의 입경 범위에 대한 입자의 수 농도를 측정할 수 있다.
이상, 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 설명하였다. 하지만, 본 발명은 이에 한정되는 것이 아니고 특허청구범위와 발명의 상세한 설명 및 첨부한 도면의 범위 안에서 여러 가지로 변형하여 실시하는 것이 가능하고 이 또한 본 발명의 범위에 속한다.
본 발명에 따른 다단 구조의 가변형 입경 분리기에 의하면, 복수 개의 가속 노즐과 충돌판 사이 적어도 한 부분에 전기장을 형성시킴으로써 충돌판에 부착되는 입자의 입경을 간단한 방법으로 조절할 수 있다.
즉, 가속 노즐과 충돌판 사이에 전극이 배치되고, 이러한 전극에 전압을 인가함으로써 구조의 변경을 고려하지 않고도 충돌판에 부착되는 입자의 입경을 조절할 수 있다.
그리고 가속 노즐의 노즐 구멍의 중심부를 원점으로 하는 원형의 링 형상으로 형성됨으로써 기류 속에 있는 입자들에게 균일한 전기적 힘의 영향을 줄 수 있다.
전극들 중에서 적어도 하나에는 양(+)의 전압 또는 음(-)의 전압이 인가되고, 적어도 다른 하나에는 전압이 인가되지 않음으로써 충돌판에 부착되는 입자의 크기를 조절할 수 있을 뿐만 아니라, 전극들 중에서 적어도 하나에는 양(+)의 전압이 인가되고, 적어도 다른 하나에는 음(-)의 전압이 인가됨으로써 충돌판에 부착되 는 입자의 크기를 조절할 수 있다.

Claims (9)

  1. 입구와 출구가 형성된 하우징;
    상기 하우징 내측에 설치되고 노즐 구멍이 형성된 가속 노즐; 및
    상기 가속 노즐 후단에 설치되어 상기 노즐 구멍을 통해서 이동하는 기체 중에 포함되는 입자들이 선택적으로 부착되는 충돌판을 포함하고,
    상기 가속 노즐은 적어도 두 개가 간격을 두고 배치되고,
    상기 충돌판은 상기 가속 노즐 각각의 후단에 배치되며,
    상기 가속 노즐과 상기 충돌판 사이 적어도 한 부분에 전기장을 형성시킴으로써 상기 충돌판에 부착되는 입자의 크기를 조절하는 다단 구조의 가변형 입경 분리기.
  2. 제1 항에 있어서,
    상기 가속 노즐과 상기 충돌판 사이에 전극이 형성되고, 상기 전극으로 전압이 인가됨으로써 전기장이 형성되는 다단 구조의 가변형 입경 분리기.
  3. 제2 항에 있어서,
    상기 전극은 상기 가속 노즐의 일측면에 인접하여 형성되는 다단 구조의 가변형 입경 분리기.
  4. 제2 항에 있어서,
    상기 전극은 상기 하우징의 내측 면과 상기 노즐 구멍 사이 공간에 설치되는 다단 구조의 가변형 입경 분리기.
  5. 제2 항에 있어서,
    상기 전극은 상기 노즐 구멍의 중심을 원점으로 하는 원형의 링 형상의 구조를 갖는 다단 구조의 가변형 입경 분리기.
  6. 제1 항에 있어서,
    전원부에서 공급되는 전기 에너지를 이용하여 상기 하우징 내부를 흐르는 기체에 포함된 입자들을 하전시키는 이온화 장치를 더욱 포함하는 다단 구조의 가변형 입경 분리기.
  7. 제1 항에 있어서,
    상기 가속 노즐은,
    제1 가속 노즐; 및
    상기 제1 가속 노즐의 후단부에 설치된 제2 가속 노즐을 포함하고,
    상기 충돌판은,
    상기 제1 가속 노즐에 대응하는 제1 충돌판; 및
    상기 제2 가속 노즐에 대응하는 제2 충돌판을 포함하고,
    상기 전극은,
    상기 제1 충돌판에 대응하는 제1 전극; 및
    상기 제2 충돌판에 대응하는 제2 전극을 포함하고,
    상기 제1 전극은 제1 전원부와 연결되고, 상기 제2 전극은 제2 전원부와 연결되는 다단 구조의 가변형 입경 분리기.
  8. 제7 항에 있어서,
    상기 제1 전극에 인가되는 전압의 크기와 상기 제2 전극에 인가되는 전압의 크기가 서로 다른 다단 구조의 가변형 입경 분리기.
  9. 제7 항에 있어서,
    상기 제1 전극과 상기 제2 전극에는 각각 서로 다른 극성의 전압이 인가되는 다단 구조의 가변형 입경 분리기.
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