KR20080078381A - 댐퍼구조를 갖는 필터 유닛 - Google Patents

댐퍼구조를 갖는 필터 유닛 Download PDF

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Abstract

댐퍼구조를 갖는 필터 유닛을 제공한다. 상기 필터 유닛은 필터 프레임(filter frame)을 구비한다. 상기 필터 프레임 내부를 채우는 필터부재가 배치된다. 상기 필터 프레임 상부에 댐퍼 프레임(damper frame)이 배치된다. 상기 댐퍼 프레임 내부에 댐퍼 날개들이 장착된다. 상기 댐퍼 프레임 및 상기 필터 프레임을 관통하여 댐퍼 조절 스크류(screw)가 배치된다.
필터 프레임, 필터부재, 댐퍼 프레임, 댐퍼 날개, 댐퍼 조절 스크류, 필터 유닛

Description

댐퍼구조를 갖는 필터 유닛{ Filter unit having damper structure}
도 1 본 발명의 실시예들에 따른 필터 유닛의 분해사시도이다.
도 2는 도 1을 조립한 필터 유닛을 상측에서 바라본 사시도이다.
도 3은 도 1을 조립한 필터 유닛을 하측에서 바라본 사시도이다.
도 4a는 본 발명의 실시예들에 따른 필터 유닛이 100% 오픈된 상태의 사시도이다.
도 4b는 본 발명의 실시예들에 따른 필터 유닛의 공기유입 차단된 상태의 사시도이다.
도 5는 본 발명의 실시예들에 따른 필터 유닛들을 크린룸 천정에 배열한 사시도이다.
본 발명은 반도체 제조설비에 관한 것으로서, 상세하게는 댐퍼구조를 갖는 필터 유닛에 관한 것이다.
일반적으로, 반도체 장치의 제조라인은 반도체 장치의 고집적도와 함께 그 라인의 청정도가 증가되어져 왔다. 상기 반도체 장치의 제조라인의 청정도는 그 라 인에서 생산할 수 있는 공기 중의 오염물질의 크기를 관리하는 기준이며, 상기 반도체 장치의 고집적도는 오염물질의 크기의 관리 기준에 의해서 성사 여부가 가늠된다.
상기 반도체 장치의 제조라인의 청정도는 그 라인 밖의 대기압과는 다르게 유지된 크린 룸(Clean Room)을 사용해서 달성할 수 있는데, 상기 크린 룸은 공기 중의 미립자, 공기의 온습도, 실내압력 및 기류 등을 일정하게 유지하도록 제어한 공간을 말한다. 이때에, 상기 크린 룸의 청정도는 통상 그 룸에 공기를 단위 시간당 많이 유입시킬수록 증가되며, 상기 크린 룸으로의 공기의 유입은 공조시스템을 사용하여 그 룸 주변으로 공기를 순환시켜서 이루어진다.
상기 공조시스템은 개략적으로 크린 룸 주변의 공기의 흐름을 제어하는 팬( Fan), 공기의 오염물질을 거르는 필터(Filter) 및 그들을 연결하는 하나 이상의 배관들을 장착해서 그 룸의 청정도를 유지시키는 역할을 하는데, 상기 공조시스템은 그 시스템의 배치 효율성을 높이기 위해서 크린 룸의 천정면에 에프. 에프. 유닛(F FU; Fan Filter Unit)을 사용하는 것이 추세이다. 상기 에프. 에프. 유닛은 규격화된 작은 상자에 팬과 필터를 동시에 배치시켜서 크린 룸의 천정면에 탈착이 용이하도록 만든 것이다.
그러나, 초기 크린룸 설비 제작 후 필요에 따라 크린룸의 차압관리를 위해 필터 재배열이 요구되게 되는데 현재의 필터 재배열 작업 시 작업자가 크린룸 내부에서 지그를 필터 아래에 부착하여 리크 포인트(leak point)를 없앤 상태로 필터 상부에서 필터를 교환 또는 재배치를 진행하고 있어 2인 이상의 인력 손실(loss)이 크며, 또한, 작업 시 실수에 의한 크린룸 오염이 발생할 수 있다. 상기와 같이, 작업이 어려운 관계로 현재 임시방편으로 필터의 상부를 비닐등으로 막아서 사용하기도 한다.
그러나, 상기와 같이 비닐등으로 막아서 사용하는 경우에도 1인 이상의 작업자가 필터 상부 영역에 올라가서 필터 상부에 비닐을 덮는 작업을 일일이 해야 하는 번거로움 및 인력손실이 발생하고 있다.
따라서, 크린룸의 차압관리를 위해 필터 재배열 시 크린룸 오염 발생을 방지하고, 인력손실을 최소화할 수 있는 방안에 대한 연구가 절실히 요구되고 있다.
본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 크린룸의 차압관리를 위해 필터 재배열 시 크린룸 오염 발생을 방지하고, 인력손실을 최소화하기에 적합한 댐퍼구조를 갖는 필터 유닛을 제공하는 것이다.
본 발명의 일 양태에 따르면, 댐퍼구조를 갖는 필터 유닛을 제공한다. 상기 필터 유닛은 필터 프레임(filter frame)을 구비한다. 상기 필터 프레임 내부를 채우는 필터부재가 배치된다. 상기 필터 프레임 상부에 댐퍼 프레임(damper frame)이 배치된다. 상기 댐퍼 프레임 내부에 댐퍼 날개들이 장착된다. 상기 댐퍼 프레임 및 상기 필터 프레임을 관통하여 댐퍼 조절 스크류(screw)가 배치된다.
본 발명의 몇몇 실시예들에서, 상기 필터 프레임 하부에 댐퍼 오픈량(open ratio) 표시장치가 배치될 수 있다. 상기 댐퍼 오픈량(open ratio) 표시장치는 상 기 댐퍼 조절 스크류와 연계되어 작동될 수 있다. 상기 댐퍼 오픈량(open ratio) 표시장치는 디지털방식 또는 아날로그 방식일 수 있다.
다른 실시예들에서, 상기 댐퍼 조절 스크류는 상기 댐퍼 날개들의 각도를 조절할 수 있다.
또 다른 실시예들에서, 상기 댐퍼 날개들은 상기 댐퍼 프레임을 기준으로 0도 내지 180도로 회전할 수 있다. 상기 댐퍼 날개들은 0도 또는 180도일 경우, 상기 필터부재에 공기 유입이 차단될 수 있다. 상기 댐퍼 날개들은 90도일 경우, 상기 필터부재에 공기 유입이 100% 오픈될 수 있다. 상기 댐퍼 날개들은 45도 또는 135도일 경우, 상기 필터부재에 공기 유입이 50% 오픈될 수 있다.
또 다른 실시예들에서, 상기 필터 프레임(filter frame) 및 상기 필터부재는 필터부(filter part)를 구성할 수 있다.
또 다른 실시예들에서, 상기 댐퍼 프레임(damper frame), 상기 댐퍼 날개들 및 상기 댐퍼 조절 스크류(screw)는 댐퍼부(damper part)를 구성할 수 있다.
이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예들을 상세히 설명한다. 그러나, 본 발명은 여기서 설명 되어지는 실시예들에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화될 수도 있다. 오히려, 여기서 소개되는 실시예들은 개시된 내용이 철저하고 완전해질 수 있도록 그리고 당 업자에게 본 발명의 사상이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위해 제공되어지는 것이다. 도면들에 있어서, 층 및 영역들의 두께는 명확성을 기하여 위하여 과장 되어진 것이다. 명세서 전체에 걸쳐서 동일한 참조번호들은 동일한 구성요소들을 나타낸다.
도 1 내지 도 3은 본 발명의 실시예들에 따른 댐퍼구조를 갖는 필터 유닛을 설명하기 위한 사시도들이다. 구체적으로, 도 1 본 발명의 실시예들에 따른 필터 유닛의 분해사시도이며, 도 2는 도1을 조립한 필터 유닛을 상측에서 바라본 사시도이고, 도 3은 도 1을 조립한 필터 유닛을 하측에서 바라본 사시도이다.
도 4a는 본 발명의 실시예들에 따른 필터 유닛이 100% 오픈된 상태의 사시도이고, 도 4b는 본 발명의 실시예들에 따른 필터 유닛의 공기유입 차단된 상태의 사시도이다.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 상기 필터 유닛은 필터 프레임(filter frame;100)을 구비한다. 상기 필터 프레임(100) 내부를 채우는 필터부재(110)가 배치된다. 상기 필터 프레임(100) 및 상기 필터부재(110)는 필터부(filter part)를 구성할 수 있다. 상기 필터 프레임(100) 상부에 댐퍼 프레임(damper frame;140)이 배치된다. 상기 댐퍼 프레임(140) 내부에 댐퍼 날개들(130)이 장착된다. 상기 댐퍼 프레임(140) 및 상기 필터 프레임(100)을 관통하여 댐퍼 조절 스크류(150)가 배치된다. 상기 댐퍼 프레임(140), 상기 댐퍼 날개들(130) 및 상기 댐퍼 조절 스크류(150)는 댐퍼부(damper part)를 구성할 수 있다.
상기 필터 프레임(100) 하부에 댐퍼 오픈량(open ratio) 표시장치(160)가 배치될 수 있다. 상기 댐퍼 오픈량(open ratio) 표시장치(160)는 상기 댐퍼 조절 스크류(150)와 연계되어 작동될 수 있다. 상기 댐퍼 오픈량(open ratio) 표시장치(160)는 디지털방식 또는 아날로그 방식일 수 있다.
상기 댐퍼 조절 스크류(150)는 상기 댐퍼 날개들(130)의 각도를 조절할 수 있다. 상기 댐퍼 조절 스크류(150)는 상하부로 조절되거나 회전방식으로 조절될 수 있다. 상기 댐퍼 날개들(130)은 상기 댐퍼 프레임(140)을 기준으로 0도 내지 180도로 회전할 수 있다. 바람직하게는, 상기 댐퍼 날개들(130)은 0도 내지 90도로 회전할 수 있다.
도 4a에 도시된 바와 같이, 상기 댐퍼 날개들(130)이 상기 댐퍼 프레임(140)을 기준으로 90도일 경우, 상기 필터부재에 공기 유입이 100% 오픈될 수 있다. 또는 도 4b에 도시된 바와 같이, 상기 댐퍼 날개(130)들이 상기 댐퍼 프레임(140)을 기준으로 0도 또는 180도일 경우, 상기 필터부재에 공기 유입이 차단될 수 있다. 또는 이와 달리, 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 댐퍼 날개들(130)이 상기 댐퍼 프레임(140)을 기준으로 45도 또는 135도일 경우, 상기 필터부재에 공기 유입이 50% 오픈될 수 있다.
따라서, 상기 댐퍼 조절 스크류(150)를 통해 상기 댐퍼 날개들(130)의 각도를 조절함으로써 상기 필터부재의 공기 유입량을 조절할 수 있다. 다시 말해, 상기 필터유닛의 풍량 조절이 가능해진다.
도 5는 본 발명의 실시예들에 따른 필터 유닛들을 크린룸 천정에 배열한 사시도이다.
도 5를 참조하면, 도 1 내지 도 3에서 설명한 바와 동일한 필터 유닛들을 배열하고, 상기 필터 유닛들의 댐퍼부를 조절하여 상기 필터 유닛들 각각의 차압을 조절할 수 있게 된다. 참조부호 A는 도 4a에 도시된 바와 같이 댐퍼 날개(130)가 댐퍼 프레임(140)을 기준으로 90도인 상태의 필터 유닛(A)을 나타낸다. 따라서, 상 기 필터 유닛(A)의 필터부재에 공기 유입이 100% 오픈될 수 있다.
참조부호 B는 도 2에 도시된 바와 같이, 댐퍼 날개들(130)이 댐퍼 프레임(140)을 기준으로 45도인 상태의 필터 유닛(B)을 나타낸다. 따라서, 상기 필터 유닛(B)의 필터부재에 공기 유입이 50% 오픈될 수 있다. 또한, 참조부호 C는 도 4b에 도시된 바와 같이, 댐퍼 날개(130)들이 댐퍼 프레임(140)을 기준으로 0도인 상태의 필터 유닛(C)을 나타낸다. 따라서, 상기 필터 유닛(C)의 필터부재에 공기 유입이 차단된다.
상술한 바와 같이, 크린룸의 차압관리를 위해 필터 유닛들의 풍량조절이 요구되는 경우, 상기 크린룸 천정에 배치된 필터 유닛들(A,B,C)의 댐퍼부를 크린룸 내에서 댐퍼 조절 스크류를 이용하여 조절함으로써 필터 유닛들의 풍량을 간편하게 조절할 수 있게 되어 인력손실을 줄일 수 있게 되며 또한, 크린룸 오염 발생 가능성이 없으므로 안전하게 조절할 수 있게 된다.
상술한 바와 같이, 크린룸의 차압관리를 위해 필터 유닛들의 풍량조절이 요구되는 경우, 상기 크린룸 천정에 배치된 댐퍼 구조를 갖는 필터 유닛들의 댐퍼날개를 크린룸 내에서 댐퍼 조절 스크류를 이용하여 0도 내지 180도로 조절하여 완전히 닫히도록 하거나 일부 오픈 또는 100% 오픈하도록 함으로써 필터 유닛들의 풍량을 간편하게 조절할 수 있게 되어 인력손실을 줄일 수 있게 된다. 또한, 크린룸 내에서 댐퍼 조절 스크류를 이용하여 조절하므로 종래의 작업자의 실수에 의한 오염 발생 가능성이 없으므로 안전하게 조절할 수 있게 된다.

Claims (11)

  1. 필터 프레임(filter frame);
    상기 필터 프레임 내부를 채우는 필터부재;
    상기 필터 프레임 상부에 배치된 댐퍼 프레임(damper frame);
    상기 댐퍼 프레임 내부에 장착된 댐퍼 날개들; 및
    상기 댐퍼 프레임 및 상기 필터 프레임을 관통하여 배치된 댐퍼 조절 스크류(screw)를 포함하는 필터 유닛.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 필터 프레임 하부에 배치된 댐퍼 오픈량(open ratio) 표시장치를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 필터 유닛.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 댐퍼 오픈량(open ratio) 표시장치는 상기 댐퍼 조절 스크류와 연계되어 작동되는 것을 특징으로 하는 필터 유닛.
  4. 제 2 항에 있어서,
    상기 댐퍼 오픈량(open ratio) 표시장치는 디지털방식 또는 아날로그 방식인 것을 특징으로 하는 필터 유닛.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 댐퍼 조절 스크류는 상기 댐퍼 날개의 각도를 조절하는 것을 특징으로 하는 필터 유닛.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 댐퍼 날개들은 상기 댐퍼 프레임을 기준으로 0도 내지 180도로 회전하는 것을 특징으로 하는 필터 유닛.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 댐퍼 날개들이 0도 또는 180도일 경우, 상기 필터부재에 공기 유입이 차단되는 것을 특징으로 하는 필터 유닛.
  8. 제 6 항에 있어서,
    상기 댐퍼 날개들이 90도일 경우, 상기 필터부재에 공기 유입이 100% 오픈되는 것을 특징으로 하는 필터 유닛.
  9. 제 6 항에 있어서,
    상기 댐퍼 날개들이 45도 또는 135도일 경우, 상기 필터부재에 공기 유입이 50% 오픈되는 것을 특징으로 하는 필터 유닛.
  10. 제 1 항에 있어서,
    상기 필터 프레임(filter frame) 및 상기 필터부재는 필터부(filter part)를 구성하는 것을 특징으로 하는 필터 유닛.
  11. 제 1 항에 있어서,
    상기 댐퍼 프레임(damper frame), 상기 댐퍼 날개들 및 상기 댐퍼 조절 스크류(screw)는 댐퍼부(damper part)를 구성하는 것을 특징으로 하는 필터 유닛.
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