KR20080077761A - 멤스기반 초소형 전기적 임팩터 - Google Patents

멤스기반 초소형 전기적 임팩터 Download PDF

Info

Publication number
KR20080077761A
KR20080077761A KR1020070017354A KR20070017354A KR20080077761A KR 20080077761 A KR20080077761 A KR 20080077761A KR 1020070017354 A KR1020070017354 A KR 1020070017354A KR 20070017354 A KR20070017354 A KR 20070017354A KR 20080077761 A KR20080077761 A KR 20080077761A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
particles
mems
nozzle
unit
impactor
Prior art date
Application number
KR1020070017354A
Other languages
English (en)
Other versions
KR100893371B1 (ko
Inventor
김용준
황정호
김용호
맹좌영
박동호
정일현
Original Assignee
연세대학교 산학협력단
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 연세대학교 산학협력단 filed Critical 연세대학교 산학협력단
Priority to KR1020070017354A priority Critical patent/KR100893371B1/ko
Publication of KR20080077761A publication Critical patent/KR20080077761A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR100893371B1 publication Critical patent/KR100893371B1/ko

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
    • G01N27/62—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating the ionisation of gases, e.g. aerosols; by investigating electric discharges, e.g. emission of cathode
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
    • B81C—PROCESSES OR APPARATUS SPECIALLY ADAPTED FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS
    • B81C1/00—Manufacture or treatment of devices or systems in or on a substrate
    • B81C1/00015—Manufacture or treatment of devices or systems in or on a substrate for manufacturing microsystems
    • B81C1/00134—Manufacture or treatment of devices or systems in or on a substrate for manufacturing microsystems comprising flexible or deformable structures
    • B81C1/0015—Cantilevers
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N15/00—Investigating characteristics of particles; Investigating permeability, pore-volume or surface-area of porous materials
    • G01N15/02—Investigating particle size or size distribution
    • G01N15/0266—Investigating particle size or size distribution with electrical classification
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
    • G01N27/62—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating the ionisation of gases, e.g. aerosols; by investigating electric discharges, e.g. emission of cathode
    • G01N27/622—Ion mobility spectrometry
    • G01N27/623—Ion mobility spectrometry combined with mass spectrometry
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
    • G01N27/62—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating the ionisation of gases, e.g. aerosols; by investigating electric discharges, e.g. emission of cathode
    • G01N27/68—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating the ionisation of gases, e.g. aerosols; by investigating electric discharges, e.g. emission of cathode using electric discharge to ionise a gas
    • G01N27/70—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating the ionisation of gases, e.g. aerosols; by investigating electric discharges, e.g. emission of cathode using electric discharge to ionise a gas and measuring current or voltage
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J49/00—Particle spectrometers or separator tubes
    • H01J49/0013—Miniaturised spectrometers, e.g. having smaller than usual scale, integrated conventional components
    • H01J49/0018—Microminiaturised spectrometers, e.g. chip-integrated devices, Micro-Electro-Mechanical Systems [MEMS]

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Electrochemistry (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Molecular Biology (AREA)
  • Dispersion Chemistry (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Other Investigation Or Analysis Of Materials By Electrical Means (AREA)

Abstract

본 발명은 멤스(MEMS)기반 초소형 전기적 임팩터에 관한 것으로, 최상층에 위치하며 입자를 유입하는 도입부와; 상기 도입부를 통해 유입된 입자를 유입하여 방전하는 방전부와; 상기 방전부를 통해 방전된 입자를 유입하여 각각의 입자가 가지는 스톡스(Stokes) 수에 따라 입자의 크기별로 유동 방향이 휘어지도록 하는 노즐; 및 상기 노즐을 통해 방출되는 입자의 충돌에 의한 전류를 측정하여 입자 크기에 따른 각각의 입자의 수를 측정하는 센싱부;를 포함하여 구성함으로써, 임팩터의 유동시 입자의 스톡스(Stokes) 수에 따른 크기별 입자의 정지거리가 달라지는 원리를 이용하여 입자를 크기별로 실시간 수 농도 측정하고, 여러 개의 코로나 방전 팁(tip)을 이용해 대면적, 높은 이온농도를 기반으로 입자당 하전량을 증대시켜 감도를 향상시킬 수 있다.
임팩터, 멤스(MEMS), 입자, 측정, 스톡스, 방전, 팁(tip), 노즐

Description

멤스기반 초소형 전기적 임팩터{MEMS based electrical impactor}
도 1은 본 발명의 바람직한 실시 예에 의한 멤스기반 초소형 전기적 임팩터의 동작을 설명하기 위한 단면 구성도
도 2는 도 1에 도시된 방전부(charging part)를 개략적으로 나타낸 개략도
[ 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 ]
10 : 방전부(charging part)
11 : 첨탑(tip)
12 : 전극판
13 : 전원공급부
14 : 보호 레지스터(protection resistor)
20 : 노즐(Nozzle)
30 : 센싱부(Sensing part)
본 발명은 멤스(MEMS: Micro-Electro Mechanical System)기반 초소형 전기적 임팩터(impactor)에 관한 것으로, 특히 임팩터의 유동시 입자의 스톡스 수(Stokes Number)에 따른 크기별 입자의 정지거리가 달라지는 원리를 이용하여 입자를 크기별로 실시간 수 농도 측정하고, 여러 개의 코로나 방전 팁(tip)을 이용해 대면적, 높은 이온농도를 기반으로 입자당 하전량을 증대시켜 감도를 향상시킬 수 있는 멤스(MEMS)기반 초소형 전기적 임팩터에 관한 것이다.
근래에는 환경오염에 대한 관심이 높아지고, 환경오염입자 제거를 위한 공기청정장치 개발과 부유입자 샘플링, 분석, 측정 등에 관한 연구가 활발히 진행되고 있다. 따라서, 부유입자의 크기, 형태, 재질, 오염원 파악 등을 위한 입자의 샘플링 장치를 필요로 한다.
현재의 환경기준은 10㎛ 이상의 입자에 대해서만 규정하고 있으나 실제로는 그 이하의 미세입자들에 의한 피해가 더 크며, 미세입자에 대한 연구가 계속 진행되고 있다. 이와 같은 과정에서 부유입자를 조대(粗大) 입자와 미세(微細) 입자로 각각 샘플링할 필요가 있다.
종래에도 이와 같은 샘플링 작업이 가능하도록 필터 샘플러(Filler sampler), 셋팅 챔버(Settling chamber) 등이 있으나 이들은 모두 사용성이 복잡하고 포집 효율성이 낮은 단점이 있어 비교적 간단한 원리에 기초하여 간편한 사용성과 샘플링 효율성을 극대화할 수 있는 수단이 요구되었다.
또한, 대기 중의 부유 물질을 크기별로 실시간 수 농도 측정할 수 있고 장비 의 크기와 가격을 줄일 수 있는 감지 장비가 절실히 필요하였다.
따라서, 본 발명은 상기 문제점을 해결하기 위하여 이루어진 것으로, 본 발명의 제 1 목적은 임팩터의 유동시 입자의 스톡스 수(Stokes Number)에 따른 크기별 입자의 정지거리가 달라지는 원리를 이용하여 입자를 크기별로 실시간 수 농도 측정할 수 있는 멤스(MEMS)기반 초소형 전기적 임팩터를 제공하는 데 있다.
또한, 본 발명의 제 2 목적은 여러 개의 코로나 방전 팁(tip)을 이용해 대면적, 높은 이온농도를 기반으로 입자당 하전량을 증대시켜 감도를 향상시킬 수 있는 멤스(MEMS)기반 초소형 전기적 임팩터를 제공하는 데 있다.
또한, 본 발명의 제 3 목적은 대기 중 부유 물질의 크기에 따른 수 농도 실시간 감지 장비의 크기를 소형화하고 제품의 가격을 줄일 수 있는 멤스(MEMS)기반 초소형 전기적 임팩터를 제공하는 데 있다.
또한, 본 발명의 제 4 목적은 하나의 노즐을 사용하여 보다 많은 종류의 입자 크기를 분류할 수 있는 멤스(MEMS)기반 초소형 전기적 임팩터를 제공하는 데 있다.
또한, 본 발명의 제 5 목적은 단일 경계지름을 바탕으로 경계지름보다 크고 작은 입자 두 종류로 나뉘는 방식을 개선하여 센싱부에 따라 동시에 여러 크기의 입자를 측정할 수 있는 멤스(MEMS)기반 초소형 전기적 임팩터를 제공하는 데 있다.
또한, 본 발명의 제 6 목적은 코로나 방전기에 보호 레지스터(protection resister)을 설치하여 감도를 향상시킬 수 있는 멤스(MEMS)기반 초소형 전기적 임팩터를 제공하는 데 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 의한 멤스(MEMS)기반 초소형 전기적 임팩터는, 최상층에 위치하며 입자를 유입하는 도입부와; 상기 도입부를 통해 유입된 입자를 유입하여 방전하는 방전부와; 상기 방전부를 통해 방전된 입자를 유입하여 각각의 입자가 가지는 스톡스(Stokes) 수에 따라 입자의 크기별로 유동 방향이 휘어지도록 하는 노즐; 및 상기 노즐을 통해 방출되는 입자의 충돌에 의한 전류를 측정하여 입자 크기에 따른 각각의 입자의 수를 측정하는 센싱부;를 포함하여 구성된 것을 특징으로 한다.
상기 방전부는 제 1 바이어스 전압이 공급되는 복수 개의 첨탑; 및 상기 복수 개의 첨탑과 일정한 간격으로 각각 대응되고 제 2 바이어스 전압이 공급되는 복수 개의 전극판;을 포함하여 구성한다.
상기 복수 개의 첨탑과 전극판 사이에 전압이 가해지면 가속된 자유전자와 유입된 공기 분자가 충돌하여 공기 분자가 이온화되어 상기 첨탑 주변에 자유전자 구름이 형성되는 '코로나 방전'을 통해 입자가 하전되는 것을 특징으로 한다.
상기 복수 개의 첨탑 및 상기 제 1 바이어스 전압을 공급하는 전원공급원 사이에 바이어스 전압을 일정하게 하는 보호 레지스터을 각각 구성하여, 상기 방전부에서의 감도가 저하되는 현상을 방지한 것을 특징으로 한다.
상기 복수 개의 전극판 및 상기 제 2 바이어스 전압을 공급하는 전원공급원 사이에 바이어스 전압을 일정하게 하는 보호 레지스터을 각각 구성하여, 상기 방전부에서의 감도가 저하되는 현상을 방지한 것을 특징으로 한다.
상기 노즐로 유입된 입자는 각각의 입자가 가지는 스톡스(Stokes) 수에 따라 질량이 큰 입자는 수직 방향의 운동량이 크기 때문에 수직 유동을 유지하게 되고 질량이 작은 입자는 유동 방향에 따라 질량이 큰 입자보다 유동 방향이 휘어지게 되는 것을 특징으로 한다.
따라서, 임팩터의 유동시 입자의 스톡스 수에 따른 크기별 입자의 정지거리가 달라지는 원리를 이용하여 입자를 크기별로 실시간 수 농도 측정할 수 있다.
본 발명에 의한 초소형 임팩터는 대기 중에 부유하는 입자상 물질의 크기별 수 농도 측정 장비, 클린룸 및 실내 입자 수 농도 실시간 감지기기, 그리고 자동차 배기가스에 포함된 입자 측정기기 등에 사용할 수 있다. 더욱이, 각종 배기가스에 대한 규제가 강화면서 배기가스를 측정하는 분야에도 적용 가능하다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시 예에 대해 더욱 상세히 설명하기로 한다.
실시 예
도 1은 본 발명의 바람직한 실시 예에 의한 멤스기반 초소형 전기적 임팩터 의 동작을 설명하기 위한 단면 구성도이고, 도 2는 도 1에 도시된 방전부(charging part)를 개략적으로 나타낸 개략도이다.
본 발명에 의한 멤스기반 초소형 전기적 임팩터는 도 1에 도시된 바와 같이, 최상층에 위치하며 입자를 유입하는 도입부(1)와, 상기 도입부(1)를 통해 유입된 입자를 유입하여 방전하는 방전부(charging part)(10)와, 상기 방전부(10)를 통해 방전된 입자를 유입하여 각각의 입자가 가지는 스톡스(Stokes) 수에 따라 입자의 크기별로 유동 방향이 휘어지도록 하는 노즐(20)과, 상기 노즐(20)을 통해 방출되는 입자의 충돌에 의한 전류를 측정하여 입자 크기에 따른 각각의 입자의 수를 측정하는 센싱부(Sensing part)(30)를 포함하여 구성한다.
상기 방전부(10)는 도 2에 도시된 바와 같이, 제 1 바이어스 전압이 공급되는 복수 개의 첨탑(11)과, 상기 복수 개의 첨탑(11)과 일정한 간격으로 각각 대응되고 제 2 바이어스 전압이 공급되는 복수 개의 전극판(12)과, 상기 제 1 및 제 2 바이어스 전압을 공급하는 전원공급부(13)와, 상기 복수 개의 첨탑(11) 및 상기 제 1 바이어스 전압을 공급하는 전원공급원 사이에 각각 접속하여 바이어스 전압을 일정하게 공급하는 보호 레지스터(14)을 포함하여 구성한다. 이때, 상기 복수 개의 첨탑(11)은 그 일 측의 단부가 뿔 형상으로 뾰족하게 형성되어 있으며, 그 높이는 대략 0.1mm 정도이면 충분하며, 이에 특별히 한정되는 것은 아닌 것으로 필요에 따라 변경가능하다.
상기 센싱부내 센싱 파트의 갯수는 이에 한정하는 것은 아니나, 유량 및 노즐 사이즈 등에 따라 입자의 유동이 상이한 점을 감안하여 2개 이상 또는 복수개로 셋팅하는 것이 바람직하다.
여기서, 본 발명은 상기 복수 개의 전극판(12) 및 상기 제 2 바이어스 전압을 공급하는 전원공급원(13) 사이에 바이어스 전압을 일정하게 공급하는 보호 레지스터(미도시)을 각각 구성할 수도 있다.
상기 구성을 갖는 본 발명에 의한 멤스기반 초소형 전기적 임팩터의 동작을 설명하면 다음과 같다.
먼저, 상기 도입부(1)를 통해 유입된 입자는 상기 방전부(10)로 유입된다. 이때 상기 방전부(10)에서 상기 첨탑(11)과 상기 전극판(12) 사이에 높은 전압이 가해지면 자유전자는 매우 빠른 속도로 가속되고, 가속된 자유전자와 유입된 공기 분자가 충돌하여 공기 분자가 이온화됨으로써, 상기 첨탑(11) 주변에 자유전자 구름이 형성되는 '코로나 방전'을 통해 입자가 하전 된다.
이때, 상기 첨탑(11)과 상기 전원공급부(13) 사이에 보호 레지스터(14)을 각각 설치하여, 상기 복수 개의 첨탑(11)을 통해 동시에 방전 가능하도록 함으로써, 감도(sensitivity)를 향상시켰다.
상기 전원공급부(13)는 외부 임피던스가 감소하게 되면 내부 저항과 비례하여 전압이 나뉘어지는 특성이 있기 때문에, 상기 보호 레지스터(14)을 도 2에 도시 된 바와 같이, 각각의 첨탑(11)에 구성하여 상기 전원공급부(13)로부터 공급되는 바이어스 전압이 감소하지 않고 일정하게 유지되도록 하였다.
한편, 상기 방전부(10)에서 방전된 입자는 다시 노즐(20)로 유입된다.
상기 노즐(20)로 유입된 입자는 곡선 운동을 하게 되는데, 이때 각각의 입자가 가지는 스톡스(Stokes) 수에 따라 질량이 큰 입자는 수직 방향의 운동량이 크기 때문에 기존의 수직 유동에 대한 관성이 커서 최대한 수직 유동을 유지하게 되고, 질량이 작은 입자는 유동 방향에 따라 질량이 큰 입자보다 유동 방향이 휘어지게 된다(도 1 참조).
따라서, 상기 노즐(20)을 통과한 입자들은 최하층에 위치한 센싱부(30)에 입자의 크기 순으로 충돌하게 된다. 이때, 상기 센싱부(30)에서 전류를 측정하여 입자 크기에 따른 각각의 입자의 수를 측정할 수 있다.
본 발명은 대기 중에 부유하는 입자상 물질의 크기별 수 농도 측정 장비, 클린룸 및 실내 입자 수 농도 실시간 감지기기, 그리고 자동차 배기가스에 포함된 입자 측정기기 등에 사용할 수 있다. 더욱이, 각종 배기가스에 대한 규제가 강화하면서 배기가스를 측정하는 분야에 적용할 수 있다.
이상의 본 발명은 상기에 기술된 실시 예들에 의해 한정되지 않고, 당업자들에 의해 다양한 변형 및 변경을 가져올 수 있으며, 이는 첨부된 특허청구범위에서 정의되는 본 발명의 취지와 범위에 포함되는 것으로 보아야 할 것이다.
상술한 바와 같이, 본 발명에 의한 멤스(MEMS)기반 초소형 전기적 임팩터에 의하면, 임팩터의 유동시 입자의 스톡스(Stokes) 수에 따른 크기별 입자의 정지거리가 달라지는 원리를 이용하여 입자를 크기별로 실시간 수 농도 측정할 수 있다.
또한, 여러 개의 코로나 방전 팁(tip)을 이용해 대면적, 높은 이온농도를 기반으로 입자당 하전량을 증대시켜 감도를 향상시킬 수 있다.
또한, 대기 중 부유 물질의 크기에 따른 수 농도 실시간 감지 장비의 크기를 소형화하고 제품의 가격을 줄여 폭넓게 보급을 할 수 있다.
또한, 하나의 노즐을 사용하여 보다 많은 종류의 입자 크기를 분류할 수 있고, 단일 경계지름을 바탕으로 경계지름보다 크고 작은 입자 두 종류로 나뉘는 방식을 개선하여 센싱부에 따라 동시에 여러 크기의 입자를 측정할 수 있다.
또한, 코로나 방전기에 보호 레지스터(protection resister)을 설치하여 감도를 향상시킬 수 있다.

Claims (4)

  1. 최상층에 위치하며 입자를 유입하는 도입부와;
    상기 도입부를 통해 유입된 입자를 유입하여 방전하는 방전부와;
    상기 방전부를 통해 방전된 입자를 유입하여 각각의 입자가 가지는 스톡스(Stokes) 수에 따라 입자의 크기별로 유동 방향이 휘어지도록 하는 노즐; 및
    상기 노즐을 통해 방출되는 입자의 충돌에 의한 전류를 측정하는 센싱부;를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 멤스(MEMS)기반 초소형 전기적 임팩터.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 방전부는
    제 1 바이어스 전압이 공급되는 복수 개의 첨탑; 및
    상기 복수 개의 첨탑과 일정한 간격으로 각각 대응되고 제 2 바이어스 전압이 공급되는 복수 개의 전극판;을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 멤스(MEMS)기반 초소형 전기적 임팩터.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 복수 개의 첨탑 및 상기 제 1 바이어스 전압을 공급하는 전원공급원 사이에 바이어스 전압을 일정하게 하는 보호 레지스터를 각각 구성하는 것을 특징으로 하는 멤스(MEMS)기반 초소형 전기적 임팩터.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 센싱부는 노즐로 유입된 입자의 유동 방향을 따라 질량이 큰 입자부터 질량이 작은 입자까지 크기별로 충돌하는 입자의 수를 측정하는 것을 특징으로 하는 멤스(MEMS)기반 초소형 전기적 임팩터.
KR1020070017354A 2007-02-21 2007-02-21 멤스기반 초소형 전기적 임팩터 KR100893371B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020070017354A KR100893371B1 (ko) 2007-02-21 2007-02-21 멤스기반 초소형 전기적 임팩터

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020070017354A KR100893371B1 (ko) 2007-02-21 2007-02-21 멤스기반 초소형 전기적 임팩터

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20080077761A true KR20080077761A (ko) 2008-08-26
KR100893371B1 KR100893371B1 (ko) 2009-04-17

Family

ID=39880192

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020070017354A KR100893371B1 (ko) 2007-02-21 2007-02-21 멤스기반 초소형 전기적 임팩터

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR100893371B1 (ko)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20220041971A (ko) * 2020-09-25 2022-04-04 연세대학교 산학협력단 매미날개구조 생체모방 나노스파이크 충돌판이 적용된 전기적 임팩터

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101776734B1 (ko) 2016-04-18 2017-09-08 현대자동차 주식회사 입자상 물질 센서 유닛

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004214293A (ja) 2002-12-27 2004-07-29 National Institute Of Advanced Industrial & Technology 粒子検出器
KR100501873B1 (ko) * 2003-01-14 2005-07-20 한국과학기술연구원 조대입자 측정용 임팩터장치
KR200378620Y1 (ko) * 2004-12-31 2005-03-18 광주과학기술원 대기중 부유 입자상 물질의 실시간 측정 장치

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20220041971A (ko) * 2020-09-25 2022-04-04 연세대학교 산학협력단 매미날개구조 생체모방 나노스파이크 충돌판이 적용된 전기적 임팩터

Also Published As

Publication number Publication date
KR100893371B1 (ko) 2009-04-17

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6505082B2 (ja) 微粒子の個数計測器
CN103752410B (zh) 一种颗粒物荷电量测量装置及方法
CN104170190B (zh) 产生已知气流的装置和过程及使用该装置在已知气流中测量颗粒浓度
CA2317830C (en) Particle concentrator
KR101528773B1 (ko) 대기중의 바이오 입자 및 넌바이오 입자 실시간 검출장치 및 이를 이용한 검출방법
Flagan Opposed migration aerosol classifier (OMAC)
Intra et al. An electrostatic sensor for the continuous monitoring of particulate air pollution
Ngo et al. Measurement of PM 2.5 mass concentration using an electrostatic particle concentrator-based quartz crystal microbalance
JP2004507757A (ja) エアロゾル粒子の粒径分布を測定するための装置
KR100893371B1 (ko) 멤스기반 초소형 전기적 임팩터
KR102024565B1 (ko) 먼지 측정 장치 및 방법
JP2008128739A (ja) 微小粒子の粒子数計測方法及び装置
Mizeraczyk et al. Recent progress in experimental studies of electro-hydrodynamic flow in electrostatic precipitators
KR200378620Y1 (ko) 대기중 부유 입자상 물질의 실시간 측정 장치
TW202024601A (zh) 粒狀物感測裝置
Nouri et al. Effect of relative humidity on the collection efficiency of a wire-to-plane electrostatic precipitator
Chang et al. Bipolar precharger for hybrid electrostatic filtration systems
JP2007127427A (ja) 微粒子捕集装置及び微粒子捕集方法
Li et al. Theory and application of cyclone with impulse electrostatic excitation for cleaning molecular gas
Hyun et al. Design and performance evaluation of a PN1 sensor for real-time measurement of indoor aerosol size distribution
Intra et al. Use of electrostatic precipitation for excess ion trapping in an electrical aerosol detector
JP2007278912A (ja) 微小粒子の粒径別捕集方法及び微小粒子の粒径別捕集装置
CN105425062B (zh) 一种电滤装备性能检测系统
De Ferron et al. Optimizing the operation of an electrostatic precipitator by developing a multipoint electrode supplied by a hybrid generator
CN117147391B (zh) 施药飘移监测装置及方法

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20130405

Year of fee payment: 5

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20140407

Year of fee payment: 6

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20160519

Year of fee payment: 8

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20170221

Year of fee payment: 9

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20180404

Year of fee payment: 10

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20190408

Year of fee payment: 11