KR20080075257A - Method and apparatus for testing pattern of flat panel display - Google Patents

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KR20080075257A
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최만용
강기수
박정학
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한국표준과학연구원
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Abstract

A method and an apparatus for testing the pattern of a flat panel display are provided to provide two optical detectors at the same inclination angle with respect to a light irradiating direction to have the same light receiving angle. An apparatus for testing the pattern of a flat panel display includes a laser device(20), an optical detector(30), and a signal processing and analyzing unit(40). The laser device irradiates laser beam to two electrode patterns(2) provided on a glass substrate(1). The laser beam has a superior interference property and is irradiated in the form of a planar wave. The optical detector is installed at two opposite side surfaces of the laser device to detect interference laser beam reflected from two electrode patterns. The signal processing and analyzing unit processes an interference signal detected through the optical detector and analyzes the defect state of the electrode pattern.

Description

평판 디스플레이의 패턴 검사 장치 및 방법 {Method and Apparatus for Testing Pattern of Flat Panel Display} Apparatus and method for pattern inspection of flat panel display {Method and Apparatus for Testing Pattern of Flat Panel Display}

도 1은 본 발명에 따른 평판 디스플레이의 패턴 검사 장치를 도시한 구성도이고,1 is a block diagram showing a pattern inspection apparatus of a flat panel display according to the present invention,

도 2는 본 발명에 따른 평판 디스플레이의 패턴 검사 원리를 설명하기 위한 도면이다.2 is a view for explaining the pattern inspection principle of a flat panel display according to the present invention.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명><Explanation of symbols for the main parts of the drawings>

1 : 유리 기판 2 : 전극 패턴1: glass substrate 2: electrode pattern

10 : 이송부 20 : 레이저 장치10: transfer unit 20: laser device

30 : 광 검출기 40 : 신호처리 및 분석부30: light detector 40: signal processing and analysis unit

본 발명은 평판 디스플레이의 패턴 검사 장치 및 방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 레이저 장치와 그 양 측방에 일체 이동이 가능하도록 설치된 광 검 출기를 유리 기판에 형성된 전극 패턴의 경로를 따라 연속적으로 이동시키면서 상기 레이저 장치를 이용하여 유리 기판 위의 두 전극 패턴에 평면파 형태의 레이저 광을 조사하고, 상기 두 전극 패턴에서 반사되어 나오는 간섭된 레이저 광을 상기 광 검출기로 검출하여, 광 검출기를 통해 검출한 간섭신호의 변화로부터 두 전극 패턴의 일정한 간격 유지 여부를 검사할 수 있도록 구성함으로써, 레이저 광 간섭을 이용하여 기존의 CCD 카메라에 비해 보다 고분해능으로 더욱 신뢰성 있는 전극 패턴의 검사가 가능해지는 평판 디스플레이의 패턴 검사 장치 및 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a pattern inspection apparatus and method for a flat panel display, and more particularly, a laser device and a photo detector provided to be integrally movable on both sides thereof while continuously moving along a path of an electrode pattern formed on a glass substrate. The laser device irradiates planar wave-shaped laser light to two electrode patterns on the glass substrate using the laser device, detects the interfering laser light reflected from the two electrode patterns with the photo detector, and detects the interference through the photo detector. By inspecting whether the two electrode patterns are maintained at a constant interval from the signal change, the flat panel display pattern inspection enables laser beam interference to be used to inspect the electrode pattern more reliably with higher resolution than conventional CCD cameras. An apparatus and method are provided.

21세기 정보전자기술은 향후 초고속 정보통신기술과 컴퓨터에 의해 더욱 고속화되고 성장, 발전할 것이며, 이를 뒷받침하여 주는 핵심요소의 기술은 고부가가치를 갖는 반도체와 디스플레이 기술이다.In the 21st century, information and electronic technology will be further accelerated, grown and developed by high-speed information and communication technology and computers, and the key elements supporting this are high value-added semiconductor and display technology.

지금까지의 디스플레이에 대한 개념은 CRT(Cathode-Ray Tube) 일변도의 제한된 영역에 의미를 두어 왔으나, 정보화 사회의 발전과 함께 인간이 접할 수 있는 정보의 양이 방대해지고 또한 종류도 다양해짐에 따라 정보매체의 통합개념으로서 멀티미디어 개념이 대두되고 있다.Until now, the concept of display has been focused on the limited area of the CRT (Cathode-Ray Tube) univariate, but with the development of the information society, the amount of information that humans can access and the types of information become diverse and diverse. The concept of multimedia has emerged as an integrated concept of media.

이러한 멀티미디어 시대에 디스플레이가 중요시되는 것은 대부분의 정보전달이 인간의 시각적 기능을 통해서 이루어지고 기기의 사용환경이 다양화된다는데 있다.In this multimedia era, the importance of display is that most information is delivered through human visual functions and the environment for using the device is diversified.

예를 들면, 개인휴대용이나 자동차, 항공기 등 이동성이 강조되는 환경에서 사용되는 기기의 경우에는 경박단소, 저소비전력 등이 중요한 인자가 될 것이며, 대중을 위한 정보전달 매체로 사용되는 경우에는 시야각이 넓은 대화면의 디스플레이 특성이 요구되고 있다.For example, in the case of a device used in an environment where mobility is emphasized, such as a personal portable device, an automobile, an aircraft, and the like, light and small and low power consumption may be important factors, and when used as an information transmission medium for the public, a wide viewing angle is used. Display characteristics of a large screen are required.

이러한 평판 디스플레이를 대표하는 품목으로는 LCD(Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Display Panel), ELD(Electro Luminescent Display), VFD(Vacuum Fluorescent Display), FED(field emission display) 등을 들 수 있으며, 이러한 제품들은 소비자 기호의 고급화에 따라 점차적으로 표시 화소의 크기를 줄이고 있는 추세이다.Representative items of such a flat panel display include a liquid crystal display (LCD), a plasma display panel (PDP), an electro luminescent display (ELD), a vacuum fluorescent display (VFD), a field emission display (FED), and the like. Products are gradually decreasing the size of display pixels in accordance with the advancement of consumer preferences.

그 중에 현재 화질이 우수하고 경량, 박형, 저소비 전력의 장점으로 인하여 이동형 화상표시장치의 용도로 CRT를 대체하면서 LCD가 가장 많이 사용되고 있으며, 노트북 컴퓨터의 모니터와 같은 이동형의 용도 이외에도 방송신호를 수신하여 디스플레이하는 텔레비전, 컴퓨터의 모니터 등으로 다양하게 개발되고 있다.Among them, LCD is the most widely used as a substitute for CRT for mobile image display device because of the excellent image quality, light weight, thinness and low power consumption, and it receives broadcast signal in addition to mobile type such as monitor of notebook computer. Various displays have been developed for displaying televisions and computer monitors.

이와 같이 LCD가 여러 분야에서 화면표시장치로서의 역할을 하기 위해 여러 가지 기술적인 발전이 이루어졌음에도 불구하고 화면표시장치로서 화상의 품질을 높이는 작업은 상기 장점과 배치되는 면이 많이 있다.As described above, although various technical developments have been made in order to play an LCD as a screen display device in many fields, the task of improving the image quality as a screen display device has many advantages and disadvantages.

또한 상기한 평판 디스플레이의 제조 공정상 상당한 정밀도를 요구하고 있으므로 제품의 불량 발생 확률이 높아지고 있다. In addition, since the manufacturing process of the flat panel display requires considerable precision, the probability of product defects is increased.

그런데, 디스플레이 장치에서 평판 디스플레이는 전체 가격의 대부분을 차지하고 있어 제품의 불량이 많을수록 제조자 측에서는 큰 손실을 입게 된다.However, in the display device, the flat panel display occupies most of the total price, so the more defective the product, the greater the loss to the manufacturer.

따라서, 상기와 같은 평판 디스플레이에 불량이 발생할 경우 불량이 발생한 부분을 즉시 수정하거나 폐기하여 추가 손실을 줄일 필요가 있다.Therefore, when a failure occurs in the flat panel display as described above, it is necessary to immediately correct or discard the defective portion to reduce additional loss.

평판 디스플레이, 예컨대 LCD에서는 화상을 표시하는 액정 패널과 상기 액정 패널에 구동신호를 인가하기 위한 구동부로 크게 구분될 수 있으며, 상기 액정 패널은 공간을 갖고 합착된 두 유리 기판과, 상기 두 유리 기판 사이에 주입된 액정층으로 구성된다.In a flat panel display such as an LCD, a liquid crystal panel displaying an image and a driving unit for applying a driving signal to the liquid crystal panel may be largely divided. The liquid crystal panel may include two glass substrates bonded together with a space and between the two glass substrates. It consists of a liquid crystal layer injected into.

여기서, 유리 기판에는 일정한 간격을 가지는 전극 패턴이 형성되어 있는데, 이때 전극 패턴의 간격 유지가 화질에 많은 영향을 주게 된다.Here, an electrode pattern having a predetermined interval is formed on the glass substrate. At this time, maintaining the interval of the electrode pattern greatly affects the image quality.

만약, 전극 패턴이 일정한 간격으로 유지되지 못하고 간격의 변화가 일정 수준 이상으로 발생한다면 불량으로 간주하여 수정 및 폐기해야만 추가적인 손실을 줄일 수 있다.If the electrode pattern is not maintained at regular intervals and a change in the interval occurs at a certain level or more, additional loss may be reduced only by correcting and discarding it as defective.

이에 따라 평판 디스플레이의 전극 패턴에 대한 검사가 필수적이며, 종래에는 비접촉식 CCD 카메라를 이용하는 간격 검사와, 접촉식 스캐닝 방식의 간격 검사가 수행되어 왔다.Accordingly, inspection of the electrode pattern of the flat panel display is essential, and conventionally, a gap inspection using a non-contact CCD camera and a gap inspection of a contact scanning method have been performed.

그런데, 고해상도의 패널 검사를 위해서는 비접촉식이면서 고분해능의 검사가 가능한 기술이 필요하나, 종래의 비접촉식 CCD 카메라를 이용하는 방식은 고분해능의 검사가 어렵다는 문제점이 있다. By the way, a high-resolution panel inspection requires a technique capable of non-contact and high resolution inspection, but the conventional method using a non-contact CCD camera has a problem that high resolution inspection is difficult.

따라서, 본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 발명한 것으로서, 레이저 장치와 그 양 측방에 일체 이동이 가능하도록 설치된 광 검출기를 유리 기판에 형성된 전극 패턴의 경로를 따라 연속적으로 이동시키면서 상기 레이저 장치 를 이용하여 유리 기판 위의 두 전극 패턴에 평면파 형태의 레이저 광을 조사하고, 상기 두 전극 패턴에서 반사되어 나오는 간섭된 레이저 광을 상기 광 검출기로 검출하여, 광 검출기를 통해 검출한 간섭신호의 변화로부터 두 전극 패턴의 일정한 간격 유지 여부를 검사할 수 있도록 구성함으로써, 레이저 광 간섭을 이용하여 기존의 CCD 카메라에 비해 보다 고분해능으로 더욱 신뢰성 있는 전극 패턴의 검사가 가능해지는 평판 디스플레이의 패턴 검사 장치 및 방법을 제공하는데 그 목적이 있다.Therefore, the present invention has been invented to solve the above problems, the laser device while continuously moving the laser device and the photo detector provided to be integrally moved to both sides along the path of the electrode pattern formed on the glass substrate, the laser device Irradiation of planar wave-shaped laser light to two electrode patterns on a glass substrate using the light emitting device, and detecting the interfering laser light reflected from the two electrode patterns with the photo detector, the change of the interference signal detected through the photo detector And a method of inspecting a flat panel display, which is capable of inspecting whether the two electrode patterns are kept at a constant interval from the laser beam interference, so that the inspection of the electrode pattern can be performed more reliably with higher resolution than a conventional CCD camera. The purpose is to provide.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명을 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

본 발명은, 전극 패턴이 소정 간격으로 형성된 평판 디스플레이의 유리 기판에 대해 전극 패턴의 이상 유무를 검사하기 위한 패턴 검사 장치에 있어서, 상기 유리 기판의 상측에서 간섭성이 우수한 레이저 광을 평면파 형태로 유리 기판 위의 두 전극 패턴에 수직 하향 조사하는 레이저 장치와; 상기 레이저 장치의 양 측방에 각각 설치되어 상기 두 전극 패턴에서 반사되어 나오는 간섭된 레이저 광을 검출하는 광 검출기와; 상기 광 검출기로부터 입력되는 레이저 광의 간섭신호를 처리하고 그로부터 전극 패턴의 불량 여부를 분석하여 그 결과를 저장 및 표시하는 신호처리 및 분석부;를 포함하는 것을 특징으로 한다.The present invention provides a pattern inspection apparatus for inspecting an abnormality of an electrode pattern with respect to a glass substrate of a flat panel display having electrode patterns formed at predetermined intervals, wherein the laser beam having excellent coherence is formed in a plane wave form on the upper side of the glass substrate. A laser device for vertically irradiating the two electrode patterns on the substrate; Photodetectors provided at both sides of the laser device to detect interfering laser light reflected from the two electrode patterns; And a signal processing and analyzing unit for processing the interference signal of the laser light input from the photo detector, and analyzing the defect of the electrode pattern therefrom and storing and displaying the result thereof.

여기서, 상기 레이저 장치는 구동수단에 의해 수평 이동하도록 된 이송부에 설치되어 전극 패턴의 경로를 따라 수평 이동하면서 연속적으로 레이저 광을 하향 조사하고, 상기 광 검출기는 상기 이송부에 연결 설치되어 전극 패턴의 경로를 따라 레이저 장치와 일체로 수평 이동하면서 레이저 광 검출과 신호처리 및 분석부로의 간섭신호 출력을 연속적으로 수행하는 것을 특징으로 한다.Here, the laser device is installed in the conveying unit to be horizontally moved by the driving means is irradiated downward laser light continuously while moving horizontally along the path of the electrode pattern, the photo detector is connected to the conveying unit is installed in the path of the electrode pattern In accordance with the horizontal movement integrally with the laser device is characterized in that the laser signal detection and signal processing and output the interference signal to the analysis unit continuously.

또한 상기 신호처리 및 분석부는 양 측방의 두 광 검출기로부터 입력되는 간섭신호의 변화로부터 두 전극 패턴의 일정한 간격 유지 여부를 분석하되, 간섭신호의 변화가 일정 수준 이상이 될 경우 간격 유지 불량으로 판정하는 것을 특징으로 한다.In addition, the signal processing and analysis unit analyzes whether or not to maintain a constant interval between the two electrode patterns from the change of the interference signal input from the two photo detectors on both sides, if the change of the interference signal is a certain level or more to determine that the gap is poor It is characterized by.

또한 상기 레이저 장치를 중심으로 배치되는 상기 양 측방의 두 광 검출기는 레이저 광 조사방향을 기준으로 동일 경사각 위치에 배치되어 동일 수신각도를 가지도록 설치되고, 또한 유리 기판으로부터 동일 높이에 설치되는 것을 특징으로 한다.In addition, the two photodetectors on both sides arranged around the laser device are disposed at the same inclination angle position with respect to the laser light irradiation direction to have the same reception angle, and are also installed at the same height from the glass substrate. It is done.

한편, 본 발명은, 전극 패턴이 소정 간격으로 형성된 평판 디스플레이의 유리 기판에 대해 전극 패턴의 이상 유무를 검사하는 패턴 검사 방법에 있어서, 상기 유리 기판의 상측에서 레이저 장치를 이용해 간섭성이 우수한 레이저 광을 평면파 형태로 유리 기판 위의 두 전극 패턴에 수직 하향 조사하는 단계와; 상기 레이저 장치의 양 측방에 각각 설치된 광 검출기가 상기 두 전극 패턴에서 반사되어 나오는 간섭된 레이저 광을 검출하는 단계와; 신호처리 및 분석부가 상기 광 검출기로부터 입력되는 레이저 광의 간섭신호를 처리하고 그로부터 전극 패턴의 불량 여부를 분석하여 그 결과를 저장 및 표시하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 한다.On the other hand, this invention is the pattern inspection method which examines the abnormality of an electrode pattern with respect to the glass substrate of the flat panel display in which an electrode pattern was formed in predetermined space | interval, The laser beam which was excellent in coherence using a laser apparatus on the upper side of the said glass substrate. Irradiating vertically downward on the two electrode patterns on the glass substrate in a plane wave form; Detecting the interfering laser light reflected from the two electrode patterns by photo detectors respectively provided at both sides of the laser device; And a signal processing and analyzing unit processing the interference signal of the laser light input from the photo detector, and analyzing and analyzing the defect of the electrode pattern therefrom, and storing and displaying the result.

여기서, 상기 레이저 장치를 구동수단에 의해 수평 이동하도록 된 이송부에 설치하여 전극 패턴의 경로를 따라 수평 이동시키면서 연속적으로 레이저 광을 하향 조사하고, 상기 광 검출기를 전극 패턴의 경로를 따라 레이저 장치와 일체로 수평 이동시키면서 레이저 광 검출과 신호처리 및 분석부로의 간섭신호 출력을 연속적으로 수행하는 것을 특징으로 한다.Here, the laser device is installed in the conveying unit which is horizontally moved by the driving means, continuously irradiating the laser light downward while horizontally moving along the path of the electrode pattern, and the photo detector is integrated with the laser device along the path of the electrode pattern. It is characterized by continuously performing the laser light detection and the interference signal output to the signal processing and analysis unit while moving horizontally.

또한 상기 신호처리 및 분석부가 양 측방의 두 광 검출기로부터 입력되는 간섭신호의 변화로부터 두 전극 패턴의 일정한 간격 유지 여부를 분석하되, 간섭신호의 변화가 일정 수준 이상이 될 경우 간격 유지 불량으로 판정하는 것을 특징으로 한다.In addition, the signal processing and analysis unit analyzes whether to maintain a constant interval between the two electrode patterns from the change in the interference signal input from the two photo detectors on both sides, but if the change in the interference signal is more than a predetermined level to determine that the gap is poor It is characterized by.

또한 상기 레이저 장치를 중심으로 배치되는 상기 양 측방의 두 광 검출기를 레이저 광 조사방향을 기준으로 동일 경사각 위치에 배치하여 동일 수신각도를 가지도록 설치하고, 또한 유리 기판으로부터 동일 높이에 설치하는 것을 특징으로 한다.In addition, the two photo detectors on both sides arranged around the laser device are installed at the same inclination angle position with respect to the laser light irradiation direction to have the same reception angle, and is installed at the same height from the glass substrate. It is done.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명에 대해 더욱 상세히 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to the accompanying drawings.

본 발명은 평판 디스플레이의 패널에서 일정한 간격을 유지하여야 하는 전극 패턴의 간격을 검사하기 위하여 레이저 광의 간섭현상을 이용하는 패턴 검사 장치와 방법에 관한 것이다. The present invention relates to a pattern inspection apparatus and method using an interference phenomenon of laser light to inspect the interval of the electrode pattern to maintain a constant interval in the panel of the flat panel display.

첨부한 도 1은 본 발명에 따른 평판 디스플레이의 패턴 검사 장치를 도시한 구성도이고, 도 2는 본 발명에 따른 평판 디스플레이의 패턴 검사 원리를 설명하기 위한 도면이다.1 is a block diagram illustrating a pattern inspection apparatus of a flat panel display according to the present invention, and FIG. 2 is a view for explaining the principle of pattern inspection of a flat panel display according to the present invention.

도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 평판 디스플레이의 패턴 검사 장치는, 전극 패턴(2)이 소정 간격으로 형성된 유리 기판(1)의 상측에서 간섭성이 우수한 레이저 광을 평면파 형태로 상기 유리 기판(1) 위의 두 전극 패턴(2)에 수직 하향으로 조사하는 레이저 장치(20)와, 상기 레이저 장치(20)의 양 측방으로 각각 설치되어 상기 두 전극 패턴(2)에서 반사되어 나오는 간섭된 레이저 광을 검출하는 광 검출기(30)와, 상기 광 검출기(30)를 통해 검출된 간섭신호를 처리하고 그로부터 전극 패턴(2)의 불량 여부를 분석하여 그 결과를 저장 및 표시하는 신호처리 및 분석부(40)를 포함하여 구성된다.As shown, the pattern inspection apparatus of the flat panel display according to the present invention, the glass substrate (1) in the form of a plane wave the laser light excellent in the interference on the upper side of the glass substrate (1) in which the electrode pattern (2) is formed at a predetermined interval. The laser device 20 irradiating vertically downward on the two electrode patterns 2 and the interfering laser light reflected from the two electrode patterns 2 are respectively installed on both sides of the laser device 20. And a signal processing and analysis unit for processing the interference signal detected through the photodetector 30 and analyzing whether the electrode pattern 2 is defective therefrom and storing and displaying the result thereof. 40).

우선, 전극 패턴(2)이 형성된 유리 기판(1)의 상측으로 배치되는 레이저 장치(20)는 간섭성이 우수한 레이저 광을 소정 간격의 전극 패턴(2)이 형성된 하측의 유리 기판(1) 위로 수직 조사하도록 설치되며, 이때 레이저 광을 광 확산 및 평면파 유지 장치(21)를 통해 확산 시준화(collimation)하여 평면파 형태로 조사한다.First, the laser device 20 disposed above the glass substrate 1 on which the electrode pattern 2 is formed has a laser beam excellent in coherence on the lower glass substrate 1 on which the electrode pattern 2 at predetermined intervals is formed. It is installed so as to vertically irradiate, in which the laser light is diffuse collimated through the light diffusion and plane wave holding device 21 to irradiate the plane wave form.

또한 상기 레이저 장치(20)는 평면파 레이저 광을 유리 기판(1) 위에 소정 간격으로 형성된 두 전극 패턴(2)으로 조사하도록 구성된다. In addition, the laser device 20 is configured to irradiate the plane wave laser light to the two electrode patterns 2 formed at predetermined intervals on the glass substrate 1.

상기 레이저 장치(20)에서 수직 하향으로 조사된 평면파 레이저 광은 두 전극 패턴(2)에서 반사되어 서로 간섭을 하게 되는데, 이때 레이저 광이 두 전극 패턴(2)에서 반사된 뒤 좌우 양 측방 동일 각도로 배치된 두 광 검출기(30)에서 검출되는 바, 두 광 검출기(30)는 두 전극 패턴(2)에서 반사되어 나오는 간섭된 신호, 즉 반사된 레이저 광의 간섭신호를 검출하게 된다.The plane wave laser light irradiated vertically downward from the laser device 20 is reflected from the two electrode patterns 2 to interfere with each other. At this time, the laser light is reflected from the two electrode patterns 2 and then the same angle on both the left and right sides. As detected by the two photo detectors 30 arranged in the two photo detectors 30, the two photo detectors 30 detect an interference signal reflected from the two electrode patterns 2, that is, an interference signal of the reflected laser light.

상기 두 광 검출기(30)는 레이저 장치(20)를 중심으로 양 측방에 동일한 수 신각도 및 높이로 설치되는데, 레이저 장치(20)의 양 측방에서 레이저 광이 조사되는 수직방향에 대해 동일 경사각 방향으로 배치되고, 또한 유리 기판(1)으로부터 동일한 높이로 설치된다. The two photo detectors 30 are installed at the same receiving angle and height on both sides of the laser apparatus 20, and have the same inclination angle with respect to the vertical direction in which the laser light is irradiated from both sides of the laser apparatus 20. It is arrange | positioned at and is installed in the same height from the glass substrate 1.

그리고, 본 발명의 패턴 검사 장치에서 레이저 장치(20)와 두 광 검출기(30)는 연속적인 검사를 위해 전극 패턴(2)의 경로를 따라 함께 이동하도록 구성되며, 이와 같이 전극 패턴(2)의 경로를 따라 이동하면서 두 광 검출기(30)는 레이저 장치(20)로부터 조사된 뒤 전극 패턴(2)을 통해 반사되는 간섭된 레이저 광을 연속적으로 수신받게 된다.In the pattern inspection apparatus of the present invention, the laser device 20 and the two photo detectors 30 are configured to move together along the path of the electrode pattern 2 for continuous inspection. Moving along the path, the two photo detectors 30 are continuously received with the interfered laser light that is irradiated from the laser device 20 and then reflected through the electrode pattern 2.

상기와 같이 레이저 장치(20)와 두 광 검출기(30)가 전극 패턴(2)의 경로를 따라 함께 이동하도록 하기 위해서는 레이저 장치(20)와 두 광 검출기(30)가 하나의 이송부(10)에 장착되어야 하는 바, 레이저 장치(20)가 고정 장착된 이송부(10)에 두 광 검출기(30) 역시 연결부재(31)로 연결 고정되도록 하여, 이송부(10)가 구동수단(도시하지 않음)에 의해 정해진 전극 패턴(2)의 경로를 따라 이동하는 경우 중앙의 레이저 장치(20)와 양 측방의 광 검출기(30)가 전극 패턴(2)의 경로를 따라 일체로 이동하도록 한다.In order to move the laser device 20 and the two photo detectors 30 together along the path of the electrode pattern 2 as described above, the laser device 20 and the two photo detectors 30 are connected to one transfer unit 10. Bars should be mounted, so that the two photo detectors 30 are also connected to and fixed by the connecting member 31 to the conveying unit 10 to which the laser device 20 is fixedly mounted, so that the conveying unit 10 is connected to the driving means (not shown). When moving along the path of the electrode pattern 2 defined by the laser device 20 and the photo detectors 30 on both sides to move along the path of the electrode pattern (2) integrally.

상기 이송부(10) 및 구동수단은 이송부(10)를 수평으로 직선 이동시키기 위한 공지의 선형구동수단(추가적으로 수직 이동도 가능한 것이 될 수 있음) 및 이에 일체 고정된 이송부(10)가 될 수 있으며, 필요에 따라 이송수단에서 이송부(10)를 회전시킬 수 있는 회전수단을 구비하여 레이저 장치(20) 및 광 검출기(30)가 회전이 가능하도록 하는 것도 실시 가능하다.The transfer unit 10 and the driving means may be a known linear driving means (which may additionally be capable of vertical movement) and a transfer unit 10 fixed thereto to linearly move the transfer unit 10 horizontally. If necessary, the laser device 20 and the photo detector 30 may be rotatable by providing a rotation means capable of rotating the transfer part 10 in the transfer means.

또는 광 검출기(30)를 레이저 장치(20)를 중심으로 동일한 수신각도 및 높이로 사방에 배치하여 4개의 광 검출기(30)로부터 전송되는 간섭신호를 신호처리 및 분석부(40)가 처리하여 일정 패턴 간격 유지 여부를 검사하도록 장치를 구성할 수도 있다.Alternatively, the photodetector 30 is arranged at four sides of the laser device 20 at the same reception angle and height, and the signal processing and analysis unit 40 processes the interference signals transmitted from the four photodetectors 30 to a predetermined level. The device may be configured to check whether the pattern interval is maintained.

레이저 장치(20)가 정해진 경로를 따라 이동하면서 레이저 광을 조사하게 되면, 레이저 장치(20)와 함께 일치 이동하는 두 광 검출기(30)는 전극 패턴(2)에서 반사되는 간섭된 레이저 광을 수신하게 되는 바, 상기 두 광 검출기(30)가 검출하게 되는 간섭신호는 영(Young)의 간섭이론에 따라 전극 패턴(2)의 간격 변화에 비례하여 변하게 되며, 광 검출기(30)를 통해 검출한 간섭신호를 토대로 신호처리 및 분석부(40)에서는 전극 패턴(2)의 간격이 일정한가를 분석하게 된다. When the laser device 20 is irradiated with laser light while moving along a predetermined path, the two light detectors 30 co-moving with the laser device 20 receive the interfered laser light reflected from the electrode pattern 2. The interference signal detected by the two photodetectors 30 is changed in proportion to the change in the interval of the electrode pattern 2 according to the Young's interference theory, and is detected by the photodetector 30. Based on the interference signal, the signal processing and analysis unit 40 analyzes whether the interval of the electrode pattern 2 is constant.

즉, 전극 패턴(2)이 정해진 간격으로 일정하다면 광 검출기(30)에서는 영의 간섭이론에 따라 항상 일정한 간섭신호가 검출되어야 하는 바, 신호처리 및 분석부(40)에서는 광 검출기(30)로부터 전송되는 간섭신호를 처리 및 분석하여 일정 수준 이상으로 간섭신호의 변화가 발생하게 되면 전극 패턴(2)의 간격이 일정하지 못한 불량상태로 판단하게 된다.That is, if the electrode pattern 2 is constant at a predetermined interval, the constant interference signal should always be detected in the photodetector 30 according to the zero interference theory. In the signal processing and analysis unit 40, the photodetector 30 is separated from the photodetector 30. When the interference signal is changed to a predetermined level or more by processing and analyzing the transmitted interference signal, it is determined that the interval between the electrode patterns 2 is inconsistent.

도 2를 참조하여 설명하면, 전극 패턴(2)으로부터의 높이 D 및 수신각도, 즉 레이저 조사각도를 기준으로 하는 설치각도 θ의 위치에 설치된 광 검출기(30)에서는 두 전극 패턴(2)의 간격이 d로 일정할 때 영의 간섭실험 조건으로부터 항상 일정한 간섭신호를 검출하게 된다.Referring to FIG. 2, the distance between the two electrode patterns 2 in the photodetector 30 installed at the height D and the receiving angle from the electrode pattern 2, that is, the installation angle θ based on the laser irradiation angle When this d is constant, a constant interference signal is always detected from the zero interference test condition.

그러나, 패턴 간격 d가 오류에 의해 일정하게 유지되지 못하고 패턴 간격이 변화할 경우에는 패턴 간격의 변화에 비례하여 변화하는 간섭신호를 검출하게 된다.However, when the pattern interval d is not kept constant due to an error and the pattern interval is changed, an interference signal that changes in proportion to the change in the pattern interval is detected.

이와 같이 광 간섭신호의 변화를 읽어 패턴의 간격 변화를 실시간으로 검사할 수 있게 된다.In this way, the change in the optical interference signal can be read to inspect the change in the spacing of the pattern in real time.

이와 함께 표면에서 반사되는 간섭무늬의 위상정밀도를 측정하여 패턴 표면의 기울기, 표면거칠기 상태도 검사할 수 있게 된다.In addition, by measuring the phase precision of the interference fringe reflected from the surface, it is possible to check the inclination and surface roughness of the pattern surface.

이와 같이 하여, 본 발명의 패턴 검사 장치는 전극 패턴(2)에서 반사되는 간섭신호를 이용하여 패턴 간격을 검사하게 되므로 기존의 패턴 간격을 검사하기 위해 사용되었던 CCD 카메라 방식에 비해 검출 분해능을 레이저 파장의 1/4 이하로 개선할 수 있게 된다. In this manner, the pattern inspection apparatus of the present invention inspects the pattern spacing using the interference signal reflected from the electrode pattern 2, so that the detection resolution is compared with the CCD camera method used to inspect the pattern spacing. It can be improved to less than 1/4 of.

이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명에 따른 평판 디스플레이의 패턴 검사 장치 및 방법에 의하면, 레이저 장치와 그 양 측방에 일체 이동이 가능하도록 설치된 광 검출기를 유리 기판에 형성된 전극 패턴의 경로를 따라 연속적으로 이동시키면서 상기 레이저 장치를 이용하여 유리 기판 위의 두 전극 패턴에 평면파 형태의 레이저 광을 조사하고, 상기 두 전극 패턴에서 반사되어 나오는 간섭된 레이저 광을 상기 광 검출기로 검출하여, 광 검출기를 통해 검출한 간섭신호의 변화로부터 두 전극 패턴의 일정한 간격 유지 여부를 검사할 수 있도록 구성함으로써, 레이저 광 간섭을 이용하여 기존의 CCD 카메라에 비해 보다 고분해능으로 더욱 신뢰성 있 는 전극 패턴의 검사가 가능해지는 효과가 있게 된다.As described above, according to the pattern inspection apparatus and method of the flat panel display according to the present invention, the laser device and the photo detector provided to enable integral movement on both sides thereof are continuously moved along the path of the electrode pattern formed on the glass substrate. While irradiating planar wave-shaped laser light to two electrode patterns on a glass substrate using the laser device, the interfering laser light reflected from the two electrode patterns is detected by the photo detector, and then detected through the photo detector. By configuring the two electrode patterns to maintain a constant gap from the interference signal change, laser light interference can be used to inspect the electrode patterns more reliably with higher resolution than conventional CCD cameras. do.

Claims (8)

전극 패턴이 소정 간격으로 형성된 평판 디스플레이의 유리 기판에 대해 전극 패턴의 이상 유무를 검사하기 위한 패턴 검사 장치에 있어서,In the pattern inspection apparatus for inspecting the abnormality of an electrode pattern with respect to the glass substrate of a flat panel display in which an electrode pattern was formed in predetermined space, 상기 유리 기판의 상측에서 간섭성이 우수한 레이저 광을 평면파 형태로 유리 기판 위의 두 전극 패턴에 수직 하향 조사하는 레이저 장치와; A laser device for vertically irradiating the laser light having excellent coherence on the upper side of the glass substrate to the two electrode patterns on the glass substrate in a plane wave form; 상기 레이저 장치의 양 측방에 각각 설치되어 상기 두 전극 패턴에서 반사되어 나오는 간섭된 레이저 광을 검출하는 광 검출기와;Photodetectors provided at both sides of the laser device to detect interfering laser light reflected from the two electrode patterns; 상기 광 검출기로부터 입력되는 레이저 광의 간섭신호를 처리하고 그로부터 전극 패턴의 불량 여부를 분석하여 그 결과를 저장 및 표시하는 신호처리 및 분석부;A signal processing and analyzing unit for processing an interference signal of the laser light input from the photo detector and analyzing the defect of the electrode pattern therefrom to store and display the result; 를 포함하는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이의 패턴 검사 장치.Pattern inspection apparatus for a flat panel display comprising a. 청구항 1에 있어서,The method according to claim 1, 상기 레이저 장치는 구동수단에 의해 수평 이동하도록 된 이송부에 설치되어 전극 패턴의 경로를 따라 수평 이동하면서 연속적으로 레이저 광을 하향 조사하고, 상기 광 검출기는 상기 이송부에 연결 설치되어 전극 패턴의 경로를 따라 레이저 장치와 일체로 수평 이동하면서 레이저 광 검출과 신호처리 및 분석부로의 간섭신호 출력을 연속적으로 수행하는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이의 패턴 검사 장치.The laser device is installed in the conveying unit to be horizontally moved by the driving means and continuously irradiates the laser light downward while horizontally moving along the path of the electrode pattern, the photo detector is connected to the conveying unit is installed along the path of the electrode pattern A pattern inspection apparatus for a flat panel display, characterized by continuously performing laser light detection and signal output to the signal processing and analysis unit continuously while moving horizontally with the laser device. 청구항 2에 있어서,The method according to claim 2, 상기 신호처리 및 분석부는 양 측방의 두 광 검출기로부터 입력되는 간섭신호의 변화로부터 두 전극 패턴의 일정한 간격 유지 여부를 분석하되, 간섭신호의 변화가 일정 수준 이상이 될 경우 간격 유지 불량으로 판정하는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이의 패턴 검사 장치.The signal processing and analyzing unit analyzes whether the two electrode patterns maintain a constant gap from the change of the interference signal input from the two photodetectors on both sides, and determines that the gap maintenance is poor when the change of the interference signal becomes above a certain level. A pattern inspection apparatus for a flat panel display. 청구항 1에 있어서,The method according to claim 1, 상기 레이저 장치를 중심으로 배치되는 상기 양 측방의 두 광 검출기는 레이저 광 조사방향을 기준으로 동일 경사각 위치에 배치되어 동일 수신각도를 가지도록 설치되고, 또한 유리 기판으로부터 동일 높이에 설치되는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이의 패턴 검사 장치.The two photodetectors on both sides arranged around the laser device are disposed at the same inclination angle position with respect to the laser light irradiation direction to have the same reception angle, and are installed at the same height from the glass substrate. Pattern inspection device for flat panel displays. 전극 패턴이 소정 간격으로 형성된 평판 디스플레이의 유리 기판에 대해 전극 패턴의 이상 유무를 검사하는 패턴 검사 방법에 있어서,In the pattern inspection method which inspects the presence or absence of an abnormality of an electrode pattern with respect to the glass substrate of a flat panel display in which an electrode pattern was formed at predetermined spaces, 상기 유리 기판의 상측에서 레이저 장치를 이용해 간섭성이 우수한 레이저 광을 평면파 형태로 유리 기판 위의 두 전극 패턴에 수직 하향 조사하는 단계와; Irradiating laser beams having excellent coherence on the upper side of the glass substrate in a plane wave shape to the two electrode patterns on the glass substrate in a vertical downward direction; 상기 레이저 장치의 양 측방에 각각 설치된 광 검출기가 상기 두 전극 패턴에서 반사되어 나오는 간섭된 레이저 광을 검출하는 단계와;Detecting the interfering laser light reflected from the two electrode patterns by photo detectors respectively provided at both sides of the laser device; 신호처리 및 분석부가 상기 광 검출기로부터 입력되는 레이저 광의 간섭신호를 처리하고 그로부터 전극 패턴의 불량 여부를 분석하여 그 결과를 저장 및 표시하는 단계;A signal processing and analyzing unit processing the interference signal of the laser light input from the photo detector, analyzing therefrom whether the electrode pattern is defective, and storing and displaying the result; 를 포함하는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이의 패턴 검사 방법.Pattern inspection method of a flat panel display comprising a. 청구항 5에 있어서,The method according to claim 5, 상기 레이저 장치를 구동수단에 의해 수평 이동하도록 된 이송부에 설치하여 전극 패턴의 경로를 따라 수평 이동시키면서 연속적으로 레이저 광을 하향 조사하고, 상기 광 검출기를 전극 패턴의 경로를 따라 레이저 장치와 일체로 수평 이동시키면서 레이저 광 검출과 신호처리 및 분석부로의 간섭신호 출력을 연속적으로 수행하는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이의 패턴 검사 방법.The laser device is installed in a conveying unit which is horizontally moved by a driving means, and continuously irradiates the laser light downward while horizontally moving along the path of the electrode pattern, and the light detector is integrally horizontal with the laser device along the path of the electrode pattern. A pattern inspection method for a flat panel display, characterized by continuously performing laser light detection and signal output to the signal processing and analysis unit while moving. 청구항 6에 있어서,The method according to claim 6, 상기 신호처리 및 분석부가 양 측방의 두 광 검출기로부터 입력되는 간섭신호의 변화로부터 두 전극 패턴의 일정한 간격 유지 여부를 분석하되, 간섭신호의 변화가 일정 수준 이상이 될 경우 간격 유지 불량으로 판정하는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이의 패턴 검사 방법.The signal processing and analyzing unit analyzes whether the two electrode patterns maintain a constant gap from the change of the interference signal input from the two photodetectors on both sides, and if the change of the interference signal is more than a predetermined level, it is determined that the gap maintenance is poor. The pattern inspection method of the flat panel display characterized by the above-mentioned. 청구항 5에 있어서,The method according to claim 5, 상기 레이저 장치를 중심으로 배치되는 상기 양 측방의 두 광 검출기를 레이저 광 조사방향을 기준으로 동일 경사각 위치에 배치하여 동일 수신각도를 가지도록 설치하고, 또한 유리 기판으로부터 동일 높이에 설치하는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이의 패턴 검사 방법.The two photodetectors on both sides arranged around the laser device are disposed at the same inclination angle position with respect to the laser light irradiation direction to have the same reception angle, and are installed at the same height from the glass substrate. Pattern inspection method of flat panel display.
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