KR20080068865A - Adhesive composition, circuit connecting material, connection structure of circuit connenctors, and semiconductor devices - Google Patents

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히다치 가세고교 가부시끼가이샤
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Abstract

An adhesive composition which contains an adhesive component comprising a thermoplastic resin, a radical-polymerizable compound, and a radical polymerization initiator, wherein the adhesive component exhibits a signal in the ESR measurement at 25°C.

Description

접착제 조성물, 회로 접속 재료, 회로 부재의 접속 구조 및 반도체 장치{ADHESIVE COMPOSITION, CIRCUIT CONNECTING MATERIAL, CONNECTION STRUCTURE OF CIRCUIT CONNENCTORS, AND SEMICONDUCTOR DEVICES}Adhesive composition, a circuit connection material, the connection structure of a circuit member, and a semiconductor device {ADHESIVE COMPOSITION, CIRCUIT CONNECTING MATERIAL, CONNECTION STRUCTURE OF CIRCUIT CONNENCTORS, AND SEMICONDUCTOR DEVICES}

본 발명은 접착제 조성물, 회로 접속 재료, 회로 부재의 접속 구조 및 반도체 장치에 관한 것이다. This invention relates to an adhesive composition, a circuit connection material, the connection structure of a circuit member, and a semiconductor device.

반도체 소자 및 액정 표시 소자에서 소자 중 여러 가지 부재를 결합시킬 목적으로 종래부터 여러 가지 접착제가 사용되고 있다. 접착제에 요구되는 특성은 접착성을 비롯하여 내열성, 고온 고습 상태에서의 신뢰성 등 다방면에 걸친다.BACKGROUND ART In the semiconductor device and the liquid crystal display device, various adhesives have been conventionally used for the purpose of bonding various members of the device. The properties required for the adhesive are multifaceted such as adhesiveness, heat resistance, reliability at high temperature and high humidity.

종래, 반도체 소자나 액정 표시 소자용의 접착제로는 접착성이 우수하고, 특히 고온 고습 조건하에서도 우수한 접착성을 나타내는 에폭시 수지 등의 열경화성 수지가 이용되고 있다(예를 들면, 특허 문헌 1 참조). 상기 접착제의 구성 성분으로는 에폭시 수지, 에폭시 수지와 반응성을 갖는 페놀 수지 등의 경화제, 에폭시 수지와 경화제와의 반응을 촉진하는 열잠재성 촉매가 일반적으로 이용되고 있다. 열잠재성 촉매는 접착제의 경화 온도 및 경화 속도를 결정하는 중요한 인자가 되고 있고, 실온에서의 저장 안정성 및 가열시 경화 속도의 관점에서 여러 가지 화합물이 이용되고 있다. 이러한 접착제는 통상 170 내지 250 ℃의 온도에서 1 내지 3 시간 동안 가열함으로써 경화되고, 이에 따라 접착성이 얻어진다. Conventionally, thermosetting resins, such as an epoxy resin which is excellent in adhesiveness and especially excellent in high temperature, high humidity conditions, are used as an adhesive agent for semiconductor elements and a liquid crystal display element (for example, refer patent document 1). . As a constituent of the adhesive, a curing agent such as an epoxy resin, a phenol resin having reactivity with the epoxy resin, and a thermal latent catalyst for promoting the reaction between the epoxy resin and the curing agent are generally used. The heat latent catalyst is an important factor in determining the curing temperature and curing rate of the adhesive, and various compounds are used in view of storage stability at room temperature and curing rate upon heating. Such an adhesive is usually cured by heating at a temperature of 170 to 250 ° C. for 1 to 3 hours, whereby adhesiveness is obtained.

최근 반도체 소자의 고집적화, 액정 소자의 고정밀화에 따라 소자간 및 배선간 피치의 협소화가 진행되고 있다. 이러한 반도체 소자 등에 상술한 접착제를 이용한 경우는, 경화시킬 때의 가열 온도가 높고, 또한 경화하는 속도가 느리기 때문에, 원하는 접속부뿐만 아니라 주변 부재까지 지나치게 가열되어, 주변 부재의 손상 등의 요인이 되는 경향이 있다. 또한 저비용화를 위해서는 작업 처리량을 향상시킬 필요가 있고, 저온(100 내지 170 ℃), 단시간(1 시간 이내), 환언하면 "저온 속경화(低溫速硬化)"에서의 접착이 요구되고 있다. 이 저온 속경화를 달성하기 위해서는, 활성화 에너지가 낮은 열잠재성 촉매를 사용할 필요가 있다. 그러나 활성화 에너지가 낮은 열잠재성 촉매는 실온 부근에서의 저장 안정성을 겸비하는 것이 매우 어렵다. Background Art In recent years, narrowing of the pitch between devices and wirings has been progressed due to high integration of semiconductor devices and high precision of liquid crystal devices. When the above-mentioned adhesive agent is used for such a semiconductor element, since the heating temperature at the time of hardening is high and the rate of hardening is slow, it tends to be excessively heated not only to a desired connection part but also to a peripheral member, and becomes a factor of damage to a peripheral member, etc. There is this. In addition, in order to reduce the cost, it is necessary to improve the throughput, and adhesion at low temperature (100 to 170 ° C), short time (within 1 hour), in other words, "low temperature fast curing" is required. In order to achieve this low temperature fast curing, it is necessary to use a heat latent catalyst having a low activation energy. However, heat latent catalysts with low activation energy are very difficult to combine storage stability near room temperature.

최근 아크릴레이트 유도체나 메타크릴레이트 유도체(이후, (메트)아크릴레이트 유도체라 함)와 라디칼 중합 개시제인 퍼옥시드를 병용한 라디칼 경화형 접착제가 주목받고 있다. 라디칼 경화는 반응 활성종인 라디칼이 반응성이 풍부하기 때문에, 단시간 경화가 가능하다(예를 들면, 특허 문헌 2, 3 참조). Recently, attention has been paid to radical curable adhesives that use an acrylate derivative or a methacrylate derivative (hereinafter referred to as a (meth) acrylate derivative) and a peroxide which is a radical polymerization initiator. Since radical hardening is reactive, the radical which is a reactive active species can be hardened for a short time (for example, refer patent document 2, 3).

특허 문헌 1: 일본 특허 공개 (평)01-113480호 공보 Patent Document 1: Japanese Patent Application Laid-Open No. 01-113480

특허 문헌 2: 일본 특허 공개 제2002-203427호 공보 Patent Document 2: Japanese Patent Laid-Open No. 2002-203427

특허 문헌 3: 국제 공개 제98/044067호 공보Patent Document 3: International Publication No. 98/044067

<발명이 해결하려는 과제>Problems to be Solved by the Invention

그러나 라디칼 경화형 접착제는 고반응성을 갖기 때문에, 경화 처리를 행할 때의 공정 마진이 좁아지는 경향이 있다. 예를 들면, 반도체 소자나 액정 표시 소자를 전기적으로 접속하기 위해서 상술한 라디칼 경화형의 접착제를 이용하는 경우, 그 경화물을 얻을 때의 온도나 시간 등의 공정 조건이 다소라도 변동하면 접착 강도, 접속 저항 등의 특성이 안정적으로 얻어지지 않는 경향이 있다. However, since radical curable adhesive has high reactivity, the process margin at the time of hardening process tends to become narrow. For example, when using the radical curable adhesive mentioned above for electrically connecting a semiconductor element or a liquid crystal display element, if process conditions, such as temperature and time at the time of obtaining the hardened | cured material, fluctuate somewhat, adhesive strength and connection resistance There exists a tendency for such characteristics not to be obtained stably.

그래서 본 발명은 상기 사정을 감안하여 이루어진 것으로, 저온에서 충분히 신속히 경화 처리를 행할 수 있고, 경화 처리를 행할 때의 공정 마진이 넓으며, 충분히 안정적인 특성(접착 강도나 접속 저항)을 갖는 접착제 조성물, 및 그것을 이용한 회로 접속 재료, 회로 부재의 접속 구조 및 반도체 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다. Then, this invention was made | formed in view of the said situation, The adhesive composition which can harden | cure quickly at low temperature sufficiently, the process margin at the time of hardening process is wide, and has sufficiently stable characteristics (adhesive strength and connection resistance), And a circuit connection material, a connection structure of a circuit member, and a semiconductor device using the same.

<발명을 해결하기 위한 수단>Means for Solving the Invention

본 발명은 열가소성 수지, 라디칼 중합성 화합물 및 라디칼 중합 개시제를 포함하는 접착제 성분을 함유하는 접착제 조성물이고, 상기 접착제 성분이 25 ℃에서의 ESR 측정에서 시그널을 갖는 접착제 조성물을 제공한다. The present invention provides an adhesive composition comprising an adhesive component comprising a thermoplastic resin, a radically polymerizable compound and a radical polymerization initiator, wherein the adhesive component has a signal at ESR measurement at 25 ° C.

이 접착제 조성물은 저온에서 충분히 신속히 경화 처리를 행할 수 있을 뿐만 아니라, 경화 처리를 행할 때의 공정 마진이 넓으며, 충분히 안정적인 접착 강도나 접속 저항 등의 특성을 얻을 수 있다. 본 발명의 접착제 조성물이 이러한 효과를 발휘하는 요인은 현재 시점에서 상세히 규명 되어 있지 않지만, 본 발명자들은 이하의 요인을 생각하고 있다. 단, 요인은 이것으로 한정되지 않는다. This adhesive composition can not only perform hardening process rapidly at low temperature, but also wide process margin at the time of hardening process, and can acquire characteristics, such as sufficient stable adhesive strength and connection resistance. Although the factor which exerts this effect of the adhesive composition of this invention is not fully elucidated at this time, the present inventors consider the following factors. However, the factor is not limited to this.

즉, 저온으로 단시간 경화가 가능해지는 요인은 주로 본 발명의 접착제 조성물이 열가소성 수지, 라디칼 중합성 화합물 및 라디칼 중합 개시제로 이루어지는 접착제 성분을 포함하는, 소위 라디칼 경화형 접착제 조성물이기 때문이다. 경화 처리를 행할 때의 공정 마진이 넓고, 안정적인 특성이 얻어지는 요인은 주로 본 발명의 접착제 조성물이 25 ℃에서의 ESR 측정에서 시그널을 갖고 있는 접착제 성분을 함유하기 때문이다. 즉, 본 발명에 따른 접착제 성분은 라디칼이 안정적으로 존재하기 때문이다. 그리고, 상기 구성을 일체 불가분하게 구비함으로써, 저온 단시간에서의 경화를 달성하면서, 경화 처리를 행할 때의 공정 마진이 넓고, 안정적인 특성을 충분히 높은 수준으로 높이고 있다고 본 발명자들은 추측하고 있다. That is, the factor which enables hardening for a short time at low temperature is mainly because the adhesive composition of this invention is what is called radical curable adhesive composition containing the adhesive component which consists of a thermoplastic resin, a radically polymerizable compound, and a radical polymerization initiator. The process margin at the time of hardening process is wide, and the reason a stable characteristic is obtained is mainly because the adhesive composition of this invention contains the adhesive component which has a signal in ESR measurement at 25 degreeC. That is, the adhesive component according to the present invention is because the radicals are stably present. And the present inventors speculate that by providing the above structure indispensably, the process margin at the time of hardening process is wide and stable property is raised to a high enough level, achieving hardening in low temperature short time.

상술한 바와 같이, 본 발명의 접착제 조성물을 이용하면 경화 처리를 단시간에 행할 수 있고, 또한 공정 마진을 넓힐 수 있다. 그 때문에, 본 발명의 접착제 조성물은 반도체 소자나 액정 소자 등의 소자간 및 배선간 피치가 협소화하였다고 해도, 원하는 접속부뿐만 아니라 주변 부재까지 가열하고, 주변 부재의 손상 등의 영향을 미치는 것을 방지할 수 있고, 작업 처리량을 향상시키는 것이 가능해진다. As mentioned above, when using the adhesive composition of this invention, hardening process can be performed in a short time and process margin can be expanded. Therefore, the adhesive composition of the present invention can prevent not only the desired connection portion but also the peripheral member from heating, even if the pitch between the elements such as the semiconductor element and the liquid crystal element is narrowed, and the influence of damage to the peripheral member or the like can be prevented. It is possible to improve the throughput.

또한, 본 발명의 접착성 조성물은 접착제 성분의 ESR 측정에서의 g값이 2.0000 내지 2.0100인 것이 바람직하다. 이러한 g값을 가짐으로써, 얻어지는 접착제 조성물은 더욱 경화 처리를 행할 때의 공정 마진을 넓힐 수 있다. In addition, the adhesive composition of the present invention preferably has a g value of 2.0000 to 2.0100 in the ESR measurement of the adhesive component. By having such a g value, the adhesive composition obtained can further widen the process margin at the time of hardening processing.

본 발명의 접착제 조성물은 상술한 접착제 성분이 안정 라디칼 화합물을 더욱 포함하는 것이 바람직하다. 여기서 "안정 라디칼 화합물"이란, ESR 측정으로 측정된 평형 상태에서의 스핀 밀도가 1016 spin/g 이상인 상태가 25 ℃에서 10 분 이상 계속되는 화합물을 말한다. 이에 따라, 접착제 조성물에서 라디칼이 한층 안정적으로 존재하기 때문에, 경화 처리를 행할 때의 공정 마진을 보다 넓힐 수 있다. In the adhesive composition of the present invention, it is preferable that the adhesive component described above further includes a stable radical compound. As used herein, the term "stable radical compound" refers to a compound having a spin density of 10 16 spin / g or more at 25 ° C for 10 minutes or more in an equilibrium state measured by ESR measurement. Thereby, since radical exists more stably in an adhesive composition, the process margin at the time of hardening processing can be expanded more.

또한, 상술한 안정 라디칼 화합물이 니트록시드 화합물인 것이 바람직하다. 이러한 화합물을 함유함으로써, 접착제 조성물은 그 경화 처리를 행할 때의 공정 마진을 보다 한층 넓힐 수 있다. Moreover, it is preferable that the stable radical compound mentioned above is a nitroxide compound. By containing such a compound, the adhesive composition can further widen the process margin at the time of performing the hardening process.

또한, 본 발명의 접착제 조성물은 열가소성 수지 100 질량부에 대하여 라디칼 중합성 화합물 50 내지 250 질량부, 라디칼 중합 개시제 0.05 내지 30 질량부 및 안정 라디칼 화합물 0.01 내지 10 질량부를 함유하는 것이 바람직하다. 본 발명의 접착제 조성물은, 그 구성 재료를 상기한 범위의 배합 비율로 함으로써, 본 발명의 효과를 보다 현저히 발휘할 수 있다. Moreover, it is preferable that the adhesive composition of this invention contains 50-250 mass parts of radically polymerizable compounds, 0.05-30 mass parts of radical polymerization initiators, and 0.01-10 mass parts of stable radical compounds with respect to 100 mass parts of thermoplastic resins. The adhesive composition of this invention can exhibit the effect of this invention more remarkably by making the structural material into the compounding ratio of the said range.

본 발명의 접착제 조성물은 도전성 입자를 추가로 함유하는 것이 바람직하다. 이러한 접착제 조성물은 자체 도전성을 용이하게 가질 수 있다. 그 때문에, 이 접착제 조성물은 회로 전극이나 반도체 등의 전기 공업이나 전자 공업의 분야에서 도전성 접착제로서 사용할 수 있게 된다. 또한, 이 경우 접착제 조성물이 도전성을 갖기 때문에, 경화 후의 접속 저항을 보다 낮게 하는 것이 가능해진다.It is preferable that the adhesive composition of this invention further contains electroconductive particle. Such adhesive compositions can easily have their own conductivity. Therefore, this adhesive composition can be used as a conductive adhesive in the fields of the electrical industry and the electronics industry, such as a circuit electrode and a semiconductor. In addition, in this case, since an adhesive composition has electroconductivity, it becomes possible to make connection resistance after hardening lower.

또한, 본 발명의 접착제 조성물은 열가소성 수지 100 질량부에 대하여 도전성 입자를 0.5 내지 30 질량부 함유하는 것이 바람직하다. 도전성 입자의 배합 비율을 상기 범위로 설정함으로써, 이러한 접착제 조성물은 도전성 입자에 의한 효과를 한층 발휘할 수 있다. 예를 들면, 회로 전극의 접속에 이용한 경우, 대향하는 회로 전극 사이에서 도전되지 않거나 또는 인접하는 회로 전극 사이에서 단락(쇼트)되는 것을 방지하는 이방 도전성을 구비할 수 있다. 또한, 도전성 입자를 상술한 배합 비율로 함유한 접착제 조성물은 전기적인 접속의 이방성을 한층 양호하게 나타내는 것도 가능해지고, 이방 도전성 접착제 조성물로서 사용할 수 있게 된다. Moreover, it is preferable that the adhesive composition of this invention contains 0.5-30 mass parts of electroconductive particle with respect to 100 mass parts of thermoplastic resins. By setting the compounding ratio of electroconductive particle in the said range, such an adhesive composition can exhibit the effect by electroconductive particle further. For example, when used for the connection of a circuit electrode, the anisotropic conductivity which prevents it from conducting between opposing circuit electrodes or short-circuiting (shorting) between adjacent circuit electrodes can be provided. Moreover, the adhesive composition which contained electroconductive particle in the above-mentioned compounding ratio can also show the anisotropy of an electrical connection more favorable, and can be used as an anisotropically conductive adhesive composition.

본 발명의 회로 접속 재료는 대향하는 회로 전극끼리 전기적으로 접속하기 위한 회로 접속 재료이며, 회로 접속 재료가 상술한 접착제 조성물을 함유하는 것이 바람직하다.The circuit connection material of this invention is a circuit connection material for electrically connecting opposed circuit electrodes, It is preferable that a circuit connection material contains the adhesive composition mentioned above.

이러한 회로 접속 재료는 대향하는 회로 전극끼리의 접착을 저온에서도 충분히 단시간에 행할 수 있고, 공정 마진을 넓히는 것도 가능해진다. 또한, 이러한 회로 접속 재료로부터 얻어지는 경화물은, 그 경화물을 얻을 때의 공정 온도나 시간이 변동하였다고 해도 접착 강도를 안정적인 것으로 할 수 있다. 또한, 회로 접속 재료의 경화물의 경시적인 접착 강도의 저하도 억제할 수 있다. 또한, 이 회로 접속 재료가 도전성 입자를 상기한 배합 비율로 함유하면 전기적인 접속의 이방성을 한층 양호하게 나타낼 수 있고, 회로 전극용의 이방 도전성 회로 접속 재료로서 이용하는 것도 가능하다. Such a circuit connection material can fully adhere | attach opposing circuit electrodes even in low temperature in a short time, and can also enlarge a process margin. Moreover, the hardened | cured material obtained from such a circuit connection material can make adhesive strength stable even if the process temperature and time at the time of obtaining the hardened | cured material changed. Moreover, the fall of the adhesive strength with time of the hardened | cured material of a circuit connection material can also be suppressed. Moreover, when this circuit connection material contains electroconductive particle in the said compounding ratio, the anisotropy of an electrical connection can be exhibited more favorable, and it can also use as an anisotropically conductive circuit connection material for circuit electrodes.

본 발명은 상술한 접착제 조성물을 필름상으로 형성하여 이루어지는 필름상 접착제를 제공한다. 또한, 본 발명은 상술한 회로 접속 재료를 필름상으로 형성하여 이루어지는 필름상 회로 접속재를 제공한다. 필름상으로 한 접착제 조성물 또는 회로 접속 재료는 취급성이 우수하기 때문에, 작업 처리량을 한층 향상시킬 수 있다. This invention provides the film adhesive formed by forming the above-mentioned adhesive composition into a film form. Moreover, this invention provides the film-form circuit connection material which forms the circuit connection material mentioned above in the film form. Since the adhesive composition or circuit connection material which made into a film is excellent in handleability, a throughput can be improved further.

본 발명은 제1 회로 기판의 주요면 상에 제1 회로 전극이 형성된 제1 회로 부재와, 제2 회로 기판의 주요면 상에 제2 회로 전극이 형성된 제2 회로 부재와, 제1 회로 기판의 주요면과 제2 회로 기판의 주요면 사이에 설치되고, 제1 회로 전극과 제2 회로 전극을 대향 배치시킨 상태로 전기적으로 접속하는 회로 접속 부재를 구비하고, 회로 접속 부재는 상술한 회로 접속 재료의 경화물인 회로 부재의 접속 구조를 제공한다. According to the present invention, a first circuit member having a first circuit electrode formed on a main surface of a first circuit board, a second circuit member having a second circuit electrode formed on a main surface of a second circuit board, and a first circuit board having It is provided between the main surface and the main surface of a 2nd circuit board, Comprising: The circuit connection member which electrically connects with the 1st circuit electrode and the 2nd circuit electrode arrange | positioned opposingly provided, The circuit connection member is the circuit connection material mentioned above. The connection structure of the circuit member which is a hardened | cured material of is provided.

이러한 회로 부재의 접속 구조는 전기적으로 접속한 회로 전극을 유효하게 이용할 수 있다. 즉, 제1 회로 전극과 제2 회로 전극을 전기적으로 접속할 수 있도록 상술한 회로 접속 재료를 이용하기 때문에, 본 발명의 접속 구조를 갖는 회로 부재는 품질의 변동이 적어, 충분히 안정적인 특성을 나타낼 수 있다. 또한, 회로 접속 재료의 경화물이 도전성 입자를 포함하는 경우는 접속 저항을 낮게 할 수 있다. 이 도전성 입자를 배합함으로써, 원하는 부재간의 선택적인 전기적 접속을 용이하게 가능하게 한다. 또한, 도전성 입자를 상기한 배합 비율로 함유하면 전기적인 접속의 이방성을 나타내고, 이방 도전성 회로 접속 재료로 하는 것도 가능하다. The connection structure of such a circuit member can utilize the electrically connected circuit electrode effectively. That is, since the circuit connection material mentioned above is used so that a 1st circuit electrode and a 2nd circuit electrode can be electrically connected, the circuit member which has the connection structure of this invention has few fluctuations in quality, and can exhibit a sufficiently stable characteristic. . Moreover, when hardened | cured material of a circuit connection material contains electroconductive particle, connection resistance can be made low. By mix | blending this electroconductive particle, selective electrical connection between a desired member is made easy. Moreover, when an electroconductive particle is contained by said mixture ratio, it shows the anisotropy of an electrical connection, and can also be set as an anisotropic conductive circuit connection material.

또한, 본 발명은 반도체 소자와, 반도체 소자를 탑재하는 기판과, 반도체 소자 및 기판 사이에 설치되고, 반도체 소자 및 기판을 전기적으로 접속하는 반도체 소자 접속 부재를 구비하고, 반도체 소자 접속 부재는 상술한 접착제 조성물의 경화물 또는 필름상 접착제인 반도체 장치를 제공한다. Moreover, this invention is provided with the semiconductor element, the board | substrate which mounts a semiconductor element, and the semiconductor element connection member provided between a semiconductor element and a board | substrate, and electrically connecting a semiconductor element and a board | substrate, The semiconductor element connection member mentioned above Provided is a semiconductor device which is a cured product of the adhesive composition or a film adhesive.

이러한 반도체 장치는 반도체 소자와 기판을 전기적으로 접속하는 접착제 조성물의 경화물이 상술한 접착제 조성물의 경화물이기 때문에, 품질의 변동이 적어, 충분히 안정적인 특성을 나타낼 수 있다. 또한, 접착제 조성물의 경화물이 도전성 입자를 포함하는 경우는 접속 저항을 낮게 할 수 있다. 이 도전성 입자를 배합함으로써, 대향하는 반도체 소자 및 기판 사이에서 도전성을 충분히 확보할 수 있다. Since the hardened | cured material of the adhesive composition which electrically connects a semiconductor element and a board | substrate is a hardened | cured material of the adhesive composition mentioned above, such a semiconductor device has little fluctuation | variation of a quality and can exhibit a sufficiently stable characteristic. Moreover, when hardened | cured material of an adhesive composition contains electroconductive particle, connection resistance can be made low. By mix | blending this electroconductive particle, electroconductivity can fully be ensured between the opposing semiconductor element and the board | substrate.

<발명의 효과>Effect of the Invention

본 발명에 따르면, 저온에서 충분히 신속히 경화 처리를 행할 수 있고, 경화 처리를 행할 때의 공정 마진이 넓으며, 충분히 안정적인 특성(접착 강도나 접속 저항)을 갖는 접착제 조성물, 및 그것을 이용한 회로 접속 재료, 회로 부재의 접속 구조 및 반도체 장치를 제공할 수 있다. ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the adhesive composition which can harden | cure quickly at low temperature, the process margin at the time of hardening process is wide, and has sufficiently stable characteristics (adhesive strength or connection resistance), and a circuit connection material using the same, The connection structure of a circuit member and a semiconductor device can be provided.

도 1은 본 발명의 회로 부재의 접속 구조의 한 실시 형태를 나타내는 부분 단면도이다. 1 is a partial cross-sectional view showing an embodiment of a connection structure of a circuit member of the present invention.

도 2는 회로 부재를 접속하는 일련의 공정도이다. 2 is a series of process diagrams for connecting circuit members.

도 3은 본 발명의 반도체 장치의 한 실시 형태를 나타내는 부분 단면도이다. 3 is a partial cross-sectional view showing one embodiment of a semiconductor device of the present invention.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 간단한 설명><Brief description of symbols for the main parts of the drawings>

1: 회로 부재의 접속 구조1: Connection structure of a circuit member

2: 반도체 장치2: semiconductor device

5: 접착제 성분5: adhesive components

7: 도전성 입자7: conductive particles

10: 회로 접속 부재10: circuit connection member

11: 절연성 물질11: insulating material

20: 제1 회로 부재20: first circuit member

21: 제1 회로 기판21: first circuit board

22: 제1 회로 전극22: first circuit electrode

30: 제2 회로 부재30: second circuit member

31: 제2 회로 기판31: second circuit board

32: 제2 회로 전극32: second circuit electrode

40: 필름상 회로 접속 부재40: film-like circuit connection member

50: 반도체 소자50: semiconductor device

60: 기판60: substrate

61: 회로 패턴61: circuit pattern

70: 밀봉재70: sealing material

80: 반도체 소자 접속 부재 80: semiconductor element connection member

<발명을 실시하기 위한 최선의 형태>Best Mode for Carrying Out the Invention

이하, 필요에 따라서 도면을 참조하면서 본 발명의 바람직한 실시 형태에 대해서 상세히 설명한다. 또한, 도면 중, 동일한 요소에는 동일한 부호를 부여하고, 중복하는 설명은 생략한다. 또한, 상하좌우 등의 위치 관계는 특별히 언급하지 않는 한, 도면에 나타내는 위치 관계에 기초하는 것으로 한다. 또한, 도면의 치수 비율은 도시한 비율로 한정되는 것은 아니다. 또한, 본 명세서에서의 "(메트)아크릴레이트"란, "아크릴레이트" 및 그것에 대응하는 "메타크릴레이트"를 의미한다. 마찬가지로 "(메트)아크릴"이란, "아크릴" 및 그것에 대응하는 "메타크릴"을 의미하고, "(메트)아크릴로일"은 "아크릴로일" 및 그것에 대응하는 "메타크릴로일"을 의미한다. EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, preferred embodiment of this invention is described in detail, referring drawings as needed. In addition, in drawing, the same code | symbol is attached | subjected to the same element, and the overlapping description is abbreviate | omitted. In addition, unless otherwise indicated, positional relationship, such as up, down, left, and right, shall be based on the positional relationship shown in drawing. In addition, the dimension ratio of drawing is not limited to the ratio of illustration. In addition, "(meth) acrylate" in this specification means "acrylate" and the "methacrylate" corresponding to it. Similarly, "(meth) acryl" means "acryl" and "methacryl" corresponding thereto, and "(meth) acryloyl" means "acryloyl" and "methacryloyl" corresponding thereto. do.

(접착제 조성물)(Adhesive Composition)

본 발명의 접착제 조성물은 열가소성 수지, 라디칼 중합성 화합물 및 라디칼 중합 개시제를 포함하는 접착제 성분을 함유하고, 이 접착제 성분이 25 ℃에서의 ESR 측정에서 시그널을 갖는 것이다. The adhesive composition of this invention contains the adhesive component containing a thermoplastic resin, a radically polymerizable compound, and a radical polymerization initiator, and this adhesive component has a signal in ESR measurement at 25 degreeC.

여기서 본 발명에 따른 열가소성 수지는 접착하는 대상물(이하, 단순히 "피착체"라 함)끼리의 접착을 강고한 것으로 하기 위해서 이용된다. Here, the thermoplastic resin which concerns on this invention is used in order to make the adhesion | attachment of the object (henceforth simply "adhered body") to adhere | attach to be firm.

본 발명에 이용되는 열가소성 수지로는 특별히 제한은 없고 공지된 것을 사용할 수 있다. 구체적으로는, 예를 들면 폴리아미드류, 페녹시 수지류, 폴리(메트)아크릴레이트류, 폴리이미드류, 폴리우레탄류, 폴리에스테르류, 폴리비닐부티랄류 등을 사용할 수 있다. 이들은 단독 또는 2종 이상을 혼합하여 사용할 수 있다. 또한, 이들 수지는 분자 내에 실록산 결합이나 불소 치환기가 포함될 수도 있다. 이들은 혼합하는 수지끼리 완전히 상용하거나, 또는 마이크로 상분리가 발생하여 백탁되는 상태이면 바람직하게 사용할 수 있다. There is no restriction | limiting in particular as thermoplastic resin used for this invention, A well-known thing can be used. Specifically, for example, polyamides, phenoxy resins, poly (meth) acrylates, polyimides, polyurethanes, polyesters, polyvinyl butyrals and the like can be used. These can be used individually or in mixture of 2 or more types. These resins may also contain siloxane bonds or fluorine substituents in the molecule. These resins can be suitably used as long as they are completely compatible with each other, or in a state in which microphase separation occurs and becomes cloudy.

또한, 상술한 열가소성 수지의 분자량은 특별히 제한은 없지만, 열가소성 수지의 분자량이 클수록 후술하는 필름을 용이하게 형성할 수 있고, 접착제로서의 유동성에 영향을 주는 용융 점도를 광범위하게 설정하는 것도 가능해진다. 용융 점도를 광범위하게 설정하는 것이 가능하면, 반도체 소자나 액정 소자 등의 접속에 이용한 경우, 소자간 및 배선간 피치가 협소화하였다고 해도, 주변 부재에 접착제가 부착하는 것을 한층 방지할 수 있고, 작업 처리량을 향상시키는 것이 가능해진다. 일반적인 중량 평균 분자량으로는 5000 내지 150000이 바람직하고, 10000 내지 80000이 특히 바람직하다. 중량 평균 분자량이 5000 미만이면 후술하는 필름으로서 사용하는 경우에 필름 형성성이 불충분해지는 경향이 있고, 중량 평균 분자량이 150000을 초과하면 다른 성분과의 상용성이 떨어지는 경향이 있다. Moreover, although the molecular weight of the thermoplastic resin mentioned above does not have a restriction | limiting in particular, The larger the molecular weight of a thermoplastic resin, the below-mentioned film can be formed easily, and it becomes also possible to set melt viscosity which affects the fluidity | liquidity as an adhesive agent extensively. If the melt viscosity can be set in a wide range, when it is used for connection of a semiconductor element, a liquid crystal element, etc., even if the pitch between elements and wiring is narrowed, it can further prevent the adhesive from adhering to the peripheral member, It becomes possible to improve. As a general weight average molecular weight, 5000-150000 are preferable and 10000-80000 are especially preferable. When using as a film mentioned later that a weight average molecular weight is less than 5000, there exists a tendency for film formability to become inadequate, and when a weight average molecular weight exceeds 150000, there exists a tendency for compatibility with other components to fall.

또한, 본 명세서에서의 중량 평균 분자량은 이하의 조건에 따라서 겔 투과 크로마토그래피(GPC) 분석에 의해 하기 조건으로 측정하고, 표준 폴리스티렌의 검량선을 사용하여 환산함으로써 구해진다. In addition, the weight average molecular weight in this specification is measured by gel permeation chromatography (GPC) analysis on the following conditions according to the following conditions, and is calculated | required by converting using the analytical curve of a standard polystyrene.

(GPC 조건) (GPC condition)

사용 기기: 히다치 L-6000형((주) 히다치 세이사꾸쇼 제조, 상품명) Use apparatus: Hitachi L-6000 type (the Hitachi Seisakusho make, brand name)

검출기: L-3300RI((주) 히다치 세이사꾸쇼 제조, 상품명)Detector: L-3300RI (Hitachi Seisakusho Co., Ltd., brand name)

칼럼: 겔팩 GL-R420+겔팩 GL-R430+겔팩 GL-R440(합계 3개)(히다치 가세이 고교(주)제조, 상품명)Column: Gel Pack GL-R420 + Gel Pack GL-R430 + Gel Pack GL-R440 (3 in total) (Hitachi Kasei Kogyo Co., Ltd., brand name)

용리액: 테트라히드로푸란Eluent: tetrahydrofuran

측정 온도: 40 ℃ Measuring temperature: 40 ℃

유량: 1.75 ㎖/분Flow rate: 1.75 ml / min

본 발명에 이용하는 라디칼 중합성 화합물은 어떠한 에너지가 부여됨으로써라디칼이 발생하고, 그 라디칼이 연쇄 반응에 의해서 중합하여 중합체를 형성하는 성능을 갖는 화합물을 말한다. 이 라디칼 중합 반응은 일반적으로 양이온 중합이 나 음이온 중합보다도 신속히 반응이 진행된다. 따라서, 라디칼 중합성 화합물을 이용하는 본 발명에서는 비교적 단시간에서의 중합이 가능해진다. The radically polymerizable compound used for this invention refers to the compound which has the ability to generate | occur | produce a radical by providing some energy, and the radical superposes | polymerizes by a chain reaction and forms a polymer. The radical polymerization reaction generally proceeds faster than cationic polymerization or anionic polymerization. Therefore, in this invention using a radically polymerizable compound, superposition | polymerization in a comparatively short time becomes possible.

본 발명에서 이용하는 라디칼 중합성 화합물로는, (메트)아크릴기, (메트)아크릴로일기나 비닐기 등, 분자 내에 탄소-탄소 이중 결합을 갖는 화합물이면 특별히 제한 없이 공지된 것을 사용할 수 있다. 이 중에서도 (메트)아크릴로일기를 갖는 라디칼 중합성 화합물인 것이 바람직하다. As a radically polymerizable compound used by this invention, if it is a compound which has a carbon-carbon double bond in a molecule | numerator, such as a (meth) acryl group, a (meth) acryloyl group, and a vinyl group, a well-known thing can be used without a restriction | limiting in particular. Especially, it is preferable that it is a radically polymerizable compound which has a (meth) acryloyl group.

라디칼 중합성 화합물의 구체예로는, 예를 들면 에폭시(메트)아크릴레이트 올리고머, 우레탄(메트)아크릴레이트 올리고머, 폴리에테르(메트)아크릴레이트 올리고머, 폴리에스테르(메트)아크릴레이트 올리고머 등의 올리고머, 트리메틸올프로판트리(메트)아크릴레이트, 폴리에틸렌글리콜디(메트)아크릴레이트, 폴리알킬렌글리콜디(메트)아크릴레이트, 디시클로펜테닐(메트)아크릴레이트, 디시클로펜테닐옥시에틸(메트)아크릴레이트, 네오펜틸글리콜디(메트)아크릴레이트, 디펜타에리트리톨헥사(메트)아크릴레이트, 이소시아누르산 변성 2관능 (메트)아크릴레이트, 이소시아누르산 변성 3관능 (메트)아크릴레이트, 2,2'-디(메트)아크릴로일옥시디에틸포스페이트, 2-(메트)아크릴로일옥시에틸산포스페이트 등의 다관능 (메트)아크릴레이트 화합물을 들 수 있다. 이들 화합물은 필요에 따라서 단독 또는 2종 이상 혼합하여 이용할 수도 있다. As a specific example of a radically polymerizable compound, For example, oligomers, such as an epoxy (meth) acrylate oligomer, a urethane (meth) acrylate oligomer, a polyether (meth) acrylate oligomer, and a polyester (meth) acrylate oligomer, Trimethylolpropane tri (meth) acrylate, polyethylene glycol di (meth) acrylate, polyalkylene glycol di (meth) acrylate, dicyclopentenyl (meth) acrylate, dicyclopentenyloxyethyl (meth) acrylic Latex, neopentyl glycol di (meth) acrylate, dipentaerythritol hexa (meth) acrylate, isocyanuric acid modified bifunctional (meth) acrylate, isocyanuric acid modified trifunctional (meth) acrylate, 2 And polyfunctional (meth) acrylate compounds such as 2'-di (meth) acryloyloxydiethyl phosphate and 2- (meth) acryloyloxyethyl acid phosphate. have. These compounds can also be used individually or in mixture of 2 or more types as needed.

본 발명에 따른 라디칼 중합성 화합물은, 반응성기로서 (메트)아크릴로일기를 갖고 있으면 피착체의 재질을 선택하지 않고 강고한 접착을 할 수 있다. 이 피착체로는, 인쇄 배선판이나 폴리이미드 등의 유기 기재을 비롯하여 구리, 알루미늄 등의 금속이나 ITO(indium tin oxide), 질화규소(SiN), 이산화규소(SiO2) 등을 포함하는 재질로 이루어지는 기재를 들 수 있다. When the radically polymerizable compound which concerns on this invention has a (meth) acryloyl group as a reactive group, it can adhere firmly, without selecting the material of a to-be-adhered body. Examples of the adherend include substrates made of materials including organic substrates such as printed wiring boards and polyimides, metals such as copper and aluminum, indium tin oxide (ITO), silicon nitride (SiN), silicon dioxide (SiO 2 ), and the like. Can be.

본 발명의 접착제 조성물에서의 라디칼 중합성 화합물의 배합 비율은 열가소성 수지 100 질량부에 대하여 50 내지 250 질량부인 것이 바람직하고, 60 내지 150 질량부인 것이 보다 바람직하다. 라디칼 중합성 화합물의 배합 비율이 50 질량부 미만이면 접착제 조성물의 경화물의 내열성이 저하되는 경향이 있고, 250 질량부를 초과하면 접착제 조성물을 후술하는 필름으로서 사용하는 경우에 필름 형성성이 불충분해지는 경향이 있다. It is preferable that it is 50-250 mass parts with respect to 100 mass parts of thermoplastic resin, and, as for the compounding ratio of the radically polymerizable compound in the adhesive composition of this invention, it is more preferable that it is 60-150 mass parts. If the blending ratio of the radically polymerizable compound is less than 50 parts by mass, the heat resistance of the cured product of the adhesive composition tends to be lowered. If it exceeds 250 parts by mass, the film formability tends to be insufficient when the adhesive composition is used as a film to be described later. have.

또한, 본 발명의 접착제 조성물은 라디칼 중합 개시제를 포함한다. 라디칼 중합성 화합물은 일단 라디칼 중합 반응을 개시하면 연쇄 반응이 진행되고, 강고한 경화가 가능해지지만, 최초에 라디칼을 발생시키는 것이 비교적 곤란하다. 그 때문에, 본 발명에서는 접착제 조성물 중에, 라디칼을 비교적 용이하게 생성 가능한 라디칼 중합 개시제를 함유시킨다. Moreover, the adhesive composition of this invention contains a radical polymerization initiator. Once the radical polymerizable compound starts the radical polymerization reaction, the chain reaction proceeds and the hardening becomes possible, but it is relatively difficult to generate radicals at first. Therefore, in this invention, the adhesive composition contains the radical polymerization initiator which can produce | generate a radical easily.

본 발명에 따른 라디칼 중합 개시제는 종래부터 알려져 있는 과산화물이나 아조 화합물 등 공지된 화합물을 사용할 수 있다. 구체적으로는, 쿠밀퍼옥시네오데카노에이트, 1,1,3,3-테트라메틸부틸퍼옥시네오데카노에이트, 1-시클로헥실-1-메틸에틸퍼옥시네오데카노에이트, t-헥실퍼옥시네오데카노에이트, t-부틸퍼옥시네오데카노에이트, t-부틸퍼옥시피발레이트, 1,1,3,3-테트라메틸부틸퍼옥시-2-에틸헥사노에이트, 2,5-디메틸-2,5-디(2-에틸헥사노일퍼옥시)헥산, t-헥실퍼옥시-2-에틸헥 사노에이트, t-부틸퍼옥시-2-에틸헥사노에이트, t-부틸퍼옥시네오헵타노에이트, t-아밀퍼옥시-2-에틸헥사노에이트, 디-t-부틸퍼옥시헥사히드로테레프탈레이트, t-아밀퍼옥시-3,5,5-트리메틸헥사노에이트, 3-히드록시-1,1-디메틸부틸퍼옥시네오데카노에이트, 1,1,3,3-테트라메틸부틸퍼옥시-2-에틸헥사노에이트, t-아밀퍼옥시네오데카노에이트, t-아밀퍼옥시-2-에틸헥사노에이트, 2,2'-아조비스-2,4-디메틸발레로니트릴, 1,1'-아조비스(1-아세톡시-1-페닐에탄), 2,2'-아조비스이소부티로니트릴, 2,2'-아조비스(2-메틸부티로니트릴), 디메틸-2,2'-아조비스이소부티로니트릴, 4,4'-아조비스(4-시아노발레르산), 1,1'-아조비스(1-시클로헥산카르보니트릴), t-헥실퍼옥시이소프로필모노카르보네이트, t-부틸퍼옥시말레산, t-부틸퍼옥시-3,5,5-트리메틸헥사노에이트, t-부틸퍼옥시라우레이트, 2,5-디메틸-2,5-디(3-메틸벤조일퍼옥시)헥산, t-부틸퍼옥시-2-에틸헥실모노카르보네이트, t-헥실퍼옥시벤조에이트, 2,5-디메틸-2,5-디(벤조일퍼옥시)헥산, t-부틸퍼옥시벤조에이트, 디부틸퍼옥시트리메틸아디페이트, t-아밀퍼옥시노르말옥토에이트, t-아밀퍼옥시이소노나노에이트, t-아밀퍼옥시벤조에이트 등을 들 수 있다. 이들 화합물은 단독으로 이용하거나, 2종 이상을 혼합하여 이용할 수도 있다. As the radical polymerization initiator according to the present invention, conventionally known compounds such as peroxides and azo compounds can be used. Specifically, cumylperoxy neodecanoate, 1,1,3,3-tetramethylbutyl peroxy neodecanoate, 1-cyclohexyl-1-methylethylperoxy neodecanoate, t-hexyl fur Oxyneodecanoate, t-butylperoxy neodecanoate, t-butylperoxy pivalate, 1,1,3,3-tetramethylbutylperoxy-2-ethylhexanoate, 2,5-dimethyl -2,5-di (2-ethylhexanoylperoxy) hexane, t-hexylperoxy-2-ethylhexanoate, t-butylperoxy-2-ethylhexanoate, t-butylperoxy neohep Tanoate, t-amylperoxy-2-ethylhexanoate, di-t-butylperoxyhexahydroterephthalate, t-amylperoxy-3,5,5-trimethylhexanoate, 3-hydroxy- 1,1-dimethylbutyl peroxy neodecanoate, 1,1,3,3-tetramethylbutylperoxy-2-ethylhexanoate, t-amylperoxy neodecanoate, t-amylperoxy- 2-ethylhexanoate, 2,2'-azobis-2,4-dimethylvalle Nitrile, 1,1'-azobis (1-acetoxy-1-phenylethane), 2,2'-azobisisobutyronitrile, 2,2'-azobis (2-methylbutyronitrile), dimethyl -2,2'-azobisisobutyronitrile, 4,4'-azobis (4-cyanovaleric acid), 1,1'-azobis (1-cyclohexanecarbonitrile), t-hexyl peroxy Isopropyl monocarbonate, t-butylperoxymaleic acid, t-butylperoxy-3,5,5-trimethylhexanoate, t-butylperoxylaurate, 2,5-dimethyl-2,5- Di (3-methylbenzoylperoxy) hexane, t-butylperoxy-2-ethylhexyl monocarbonate, t-hexylperoxybenzoate, 2,5-dimethyl-2,5-di (benzoylperoxy) Hexane, t-butyl peroxy benzoate, dibutyl peroxy trimethyl adipate, t- amyl peroxy normal maltoate, t- amyl peroxy isononanoate, t- amyl peroxy benzoate, etc. are mentioned. These compounds may be used alone or in combination of two or more thereof.

이들 중에서도, 1 분간 반감기 온도가 90 내지 175 ℃이고, 또한 중량 평균 분자량이 180 내지 1000인 퍼옥시에스테르 유도체 또는 디아실퍼옥시드가 바람직하다. 여기서 "1 분간 반감기 온도"란, 반감기가 1 분이 되는 온도를 말하며, "반감기"란, 화합물의 농도가 초기값의 절반으로 감소하기까지의 시간을 말한다. 라디칼 중합 개시제의 1 분간 반감기 온도가 90 내지 175 ℃이면 본 발명의 접착제 조 성물로부터 얻어지는 경화물은 종래의 것에 비하여 우수한 접속 저항을 구비하는 것이 가능해진다. Among these, peroxy ester derivative or diacyl peroxide whose half life temperature is 90-175 degreeC for 1 minute, and 180-1000 of weight average molecular weight is preferable. The "half-life temperature for 1 minute" refers to the temperature at which the half-life becomes 1 minute, and the "half-life" refers to the time until the concentration of the compound decreases to half of the initial value. When the half-life temperature of the radical polymerization initiator for 1 minute is 90 to 175 ° C, the cured product obtained from the adhesive composition of the present invention can have excellent connection resistance as compared with the conventional one.

또한 본 발명의 접착제 조성물에서의 라디칼 중합 개시제의 배합 비율은 열가소성 수지 100 질량부에 대하여 0.05 내지 30 질량부인 것이 바람직하고, 0.1 내지 20 질량부인 것이 더욱 바람직하다. 라디칼 중합 개시제의 배합 비율이 0.05 질량부 미만이면 라디칼 중합의 중합 속도가 저하되는 경향이 있고, 접착제 조성물의 경화물이 경화 부족이 되는 경향이 있으며, 라디칼 중합 개시제의 배합 비율이 30 질량부를 초과하면 접착제 조성물의 저장 안정성이 저하되는 경향이 있다. Moreover, it is preferable that it is 0.05-30 mass parts with respect to 100 mass parts of thermoplastic resin, and, as for the compounding ratio of the radical polymerization initiator in the adhesive composition of this invention, it is more preferable that it is 0.1-20 mass parts. When the blending ratio of the radical polymerization initiator is less than 0.05 part by mass, the polymerization rate of the radical polymerization tends to decrease, the cured product of the adhesive composition tends to be insufficient in curing, and when the blending ratio of the radical polymerization initiator exceeds 30 parts by mass. There exists a tendency for the storage stability of an adhesive composition to fall.

또한, 본 발명에서 부여하는 에너지의 형태로는 특별히 한정되지 않지만, 열, 전자선, 감마선, 자외선, 적외선, 가시광, 마이크로파 등을 들 수 있다. Moreover, although it does not specifically limit as a form of the energy provided by this invention, Heat, an electron beam, a gamma ray, an ultraviolet-ray, an infrared ray, visible light, a microwave, etc. are mentioned.

본 발명에 따른 접착제 성분은 상술한 열가소성 수지, 라디칼 중합성 화합물 및 라디칼 중합 개시제를 포함하고 있고, 또한 25 ℃에서의 ESR 측정에서 시그널을 갖고 있다. The adhesive component which concerns on this invention contains the above-mentioned thermoplastic resin, a radically polymerizable compound, and a radical polymerization initiator, and has a signal by ESR measurement at 25 degreeC.

ESR란 전자 스핀 공명(Electron Spin Resonance)의 약칭이고, 이 측정에 의해서 시료 중에 존재하는 라디칼종을 검출하는 것이 가능하다. ESR is an abbreviation of Electron Spin Resonance, and it is possible to detect radical species present in a sample by this measurement.

본 발명에서의 "ESR 측정의 시그널을 갖는다"란, 스핀 밀도로 1.0×1016 spins/g 이상의 시그널 강도를 갖는 것을 가리킨다. 스핀 밀도는 농도를 알고 있는 4-히드록시-2,2,6,6-테트라메틸피페리딘-1-옥실을 표준 시료로 했을 때의 신호 강도와의 비교에 의해서 얻을 수 있다. In the present invention, "having a signal of ESR measurement" refers to having a signal intensity of 1.0 × 10 16 spins / g or more in spin density. Spin density can be obtained by comparison with signal intensity when 4-hydroxy-2,2,6,6-tetramethylpiperidine-1-oxyl having a known concentration is used as a standard sample.

본 명세서에서의 ESR의 시그널은 하기의 조건으로 측정함으로써 구해진다.The signal of ESR in this specification is calculated | required by measuring on condition of the following.

사용 기기: ESP350(BRUKER사 제조, 상품명)Equipment used: ESP350 (BRUKER company make, brand name)

마이크로파 주파수 카운터: HP5351B(HEWLETT PACKARD사 제조, 상품명)Microwave frequency counter: HP5351B (manufactured by HEWLETT PACKARD, brand name)

가우스미터: ER035M(BRUKER사 제조, 상품명)Gauss meter: ER035M (BRUKER company make, brand name)

중심 자장: 3490 G 부근Center magnetic field: around 3490 G

자장 소인(掃引) 범위: 200 G Magnetic field stamp range: 200 G

변조: 100 kHz, 1 G Modulation: 100 kHz, 1 G

마이크로파: 9.8 GHz, 1 mW Microwave: 9.8 GHz, 1 mW

소인 시간: 83.886 s×4 times Draft Time: 83.886 s × 4 times

시상수: 327.68 ms Time constant: 327.68 ms

캐비티: TM100, 원통형Cavity: TM 100 , Cylindrical

ESR 측정에서는, 시료는 형상이나 상 상태(고체, 액체, 기체)의 제약을 받지 않고, 필름상 그대로도 ESR 측정 가능하다. 그러나 필름상의 시료로는 그 중 라디칼이 자장에 대하여 이방성을 나타내고, 폭이 넓고 비대칭인 시그널을 나타낸다. 그래서 본 발명에서는 시료를 용매에 녹인 용액으로 ESR 측정을 행한다. 이용하는 용매는 시료가 가용되면 특별히 한정되지 않지만, 클로로포름이 바람직하고, 본 발명에서는 클로로포름을 사용한다. In ESR measurement, ESR measurement is possible even as a film form, without being restrict | limited by a shape and phase state (solid, liquid, gas). However, as a sample on a film, radicals show anisotropy with respect to a magnetic field, and show a wide and asymmetrical signal. Therefore, in the present invention, ESR measurement is performed with a solution in which a sample is dissolved in a solvent. The solvent to be used is not particularly limited as long as a sample is available, but chloroform is preferable, and chloroform is used in the present invention.

또한, 시료가 용해된 용액은 필요에 따라서 입자나 충전재 등의 불용물을 여과하여, 여과액만을 측정할 수도 있다. 측정 온도는 상온일 수도 있지만, 필름상 으로 ESR을 측정할 때는, 해석을 용이하게 하기 때문에 저온에서 측정할 수도 있다. 본 발명에서는 25 ℃에서 ESR을 측정한다. In addition, in the solution in which the sample is dissolved, insoluble materials such as particles and fillers may be filtered, and only the filtrate may be measured. Although the measurement temperature may be room temperature, when measuring ESR in a film form, since it makes analysis easy, it can also measure at low temperature. In the present invention, ESR is measured at 25 ° C.

접착제 조성물이 접착제 성분에 추가로 도전성 입자도 함유하고 있는 경우, 접착제 성분 자체가 ESR 측정에서 시그널을 갖고 있는 것이 바람직하다. 도전성 입자에 사용되는 금속 성분에 기초하여, ESR 측정으로 시그널을 갖는 경우가 있지만, 이러한 경우, 본 발명의 효과를 얻기 어렵다. When the adhesive composition contains conductive particles in addition to the adhesive component, it is preferable that the adhesive component itself has a signal in the ESR measurement. Based on the metal component used for electroconductive particle, although there may be a signal by ESR measurement, in this case, the effect of this invention is hard to be acquired.

이러한 ESR의 시그널을 갖는 접착제 성분을 포함하는 접착제 조성물은, 그 중에 포함된 라디칼이 안정적으로 존재하는 것을 나타낸다. 일반적으로 라디칼 중합은 성장 라디칼이 높은 반응성을 갖기 때문에 중합 속도를 제어하는 것이 어렵다고 한다. 그러나 접착제 조성물이 안정적으로 존재하는 라디칼(이하, "안정 라디칼"이라 함)을 포함하는 경우, 라디칼 중합의 진행 속도를 제어할 수 있다. 안정 라디칼 화합물은 안정적라고는 해도 라디칼 화합물이기 때문에, 개시 라디칼종 또는 중합 말단 라디칼과 매우 높은 반응성을 갖고 있다. 그 때문에, 안정 라디칼은 라디칼 중합 개시제로부터 발생하는 라디칼을 거의 완전히 트랩한다. 이에 따라, 안정 라디칼 잔존시에는 라디칼 중합의 개시 및 진행을 완전히 억제하고, 안정 라디칼이 완전히 소비된 후에 라디칼 중합이 진행된다. 그 결과, 가열 압착 개시로부터 경화 개시까지 사이의 접착제 조성물의 유동하는 시간을 확보할 수 있고, 공정 마진을 넓힐 수 있다. 현재 시점에서 안정 라디칼에 의한 작용은 상술한 바와 같다고 추측되지만 작용은 이것으로 한정되지 않는다. The adhesive composition containing the adhesive component which has such a signal of ESR shows that the radical contained in it exists stably. In general, radical polymerization is said to be difficult to control the polymerization rate because the growing radical has a high reactivity. However, when the adhesive composition contains radicals stably present (hereinafter referred to as "stable radicals"), the rate of progress of radical polymerization can be controlled. Since the stable radical compound is a radical compound even though it is stable, it has a very high reactivity with the starting radical species or the polymerization terminal radical. Therefore, stable radicals almost completely trap radicals generated from radical polymerization initiators. Accordingly, in the case of stable radicals, the initiation and progress of radical polymerization are completely suppressed, and radical polymerization proceeds after the stable radicals are completely consumed. As a result, the flow time of the adhesive composition from the start of heat compression bonding to the start of curing can be ensured, and the process margin can be widened. The action by the stable radical at the present time is assumed to be as described above, but the action is not limited to this.

접착제 조성물 중 접착제 성분은 ESR 측정에서의 g값이 2.0000 내지 2.0100 인 것이 바람직하다. 이 g값은 하기 수학식 A로 구해진다. The adhesive component in the adhesive composition preferably has a g value of 2.0000 to 2.0100 in the ESR measurement. This g value is calculated | required by following formula (A).

g=hυ/βHg = hυ / βH

식 중, h는 프랭크 상수(6.6261×10-34 Js), υ는 마이크로파 주파수(Hz), β는 보어 마그네톤(9.2740×10-24 J/T), H는 공명 자장(T)을 나타낸다. In the formula, h denotes a Frank constant (6.6261 x 10 -34 Js), υ denotes a microwave frequency (Hz), β denotes a boer magnetone (9.2740 x 10 -24 J / T), and H denotes a resonance magnetic field (T).

또한, ESR의 시그널은 핵 스핀, 또는 라디칼 사이의 상호 작용에 기초하여 분열된 시그널을 제공하는 경우가 있다. 그 때에는 분열된 시그널의 중심을 공명 자장으로 한다. 또한, 폭이 넓은 시그널이나 복잡한 시그널을 제공한 경우는, 가장 저자장측의 시그널 및 가장 고자장측의 시그널 사이의 중심을 시그널의 중심으로 하고, 그것을 공명 자장으로 한다. In addition, the signal of the ESR may provide a split signal based on nuclear spin or interaction between radicals. At that time, the center of the split signal is the resonance magnetic field. In addition, when a wide signal or a complex signal is provided, the center of the signal between the signal on the low magnetic field side and the signal on the highest magnetic field side is the center of the signal, and the resonance field is used.

ESR 측정에서 g값이 2.0000 내지 2.0100인 것은 접착제 성분이 일반적으로 유기 화합물의 π 전자계 라디칼종을 포함하는 것을 나타낸다. 본 발명의 접착제 조성물은 이러한 라디칼종을 가짐으로써, 공정 마진을 넓히는 효과를 한층 유효하게 발휘할 수 있다. g값이 2.0040 내지 2.0090이면 더욱 효과적으로 공정 마진을 넓힐 수 있기 때문에 바람직하다. The g value of 2.0000 to 2.0100 in the ESR measurement indicates that the adhesive component generally comprises the π electron radical species of the organic compound. By having such radical species, the adhesive composition of this invention can exhibit the effect of widening process margin more effectively. A g value of 2.0040 to 2.0090 is preferable because the process margin can be expanded more effectively.

접착제 성분이 상술한 바와 같은 g값을 갖기 위해서는, 전이 금속이나 강자성체, 안정적인 유기 화합물의 라디칼종을 첨가하는 방법 등을 들 수 있지만, 본 발명의 접착제 조성물로는 안정 라디칼 화합물을 첨가하는 것이 가장 바람직하다. In order for the adhesive component to have a g value as described above, a method of adding a radical metal of a transition metal, a ferromagnetic substance or a stable organic compound, etc. may be mentioned. However, as the adhesive composition of the present invention, it is most preferable to add a stable radical compound. Do.

본 발명에 이용되는 안정 라디칼 화합물로는, π 전자계 라디칼종을 갖는 유기 화합물이면 특별히 제한은 없이 공지된 것을 사용할 수 있다. 안정 라디칼 화합물로는 아미녹실기(>N-O·)를 갖는 니트록시드 화합물을 들 수 있다. 그 구체예로는, 예를 들면 하기 화학식 B로 표시되는 니트록시드 화합물을 들 수 있다. As a stable radical compound used for this invention, if it is an organic compound which has (pi) electron radical species, a well-known thing can be used without a restriction | limiting in particular. As a stable radical compound, the nitroxide compound which has an aminoxyl group (> N-O *) is mentioned. As the specific example, the nitroxide compound represented by following General formula (B) is mentioned, for example.

Figure 112008034955873-PCT00001
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식 중, R1은 수소 원자, 수산기, 아미노기, 카르복실기, 시아노기, 티오이소시아네이트기, 탄소수 1 내지 10의 알킬기, 아릴기, 탄소수 1 내지 20의 알콕시기, 에스테르기, 또는 아미드기를 나타내고, X1, X2, X3 및 X4는 각각 독립적으로 수소 원자 또는 탄소수 1 내지 5의 알킬기를 나타낸다. In the formula, R 1 represents a hydrogen atom, a hydroxyl group, an amino group, a carboxyl group, a cyano group, a thioisocyanate group, an alkyl group having 1 to 10 carbon atoms, an aryl group, an alkoxy group having 1 to 20 carbon atoms, an ester group, or an amide group, and X 1 , X 2 , X 3 and X 4 each independently represent a hydrogen atom or an alkyl group having 1 to 5 carbon atoms.

보다 구체적으로는, 니트록시드 화합물로서 하기 화학식 (1) 내지 (16)으로 표시되는 화합물을 들 수 있다. 또한 폴리아민, 폴리에스테르, 폴리아크릴레이트 등의 측쇄에 상기 화학식 B로 표시되는 화합물로부터 R1 또는 X4를 이탈하여 이루어지는 1가의 기를 치환기로서 도입한 중합체를 들 수 있다. More specifically, the compound represented by following General formula (1)-(16) is mentioned as a nitroxide compound. Moreover, the polymer which introduce | transduced the monovalent group formed by leaving R <1> or X <4> as a substituent from the compound represented by the said Formula (B) to side chains, such as a polyamine, polyester, and polyacrylate, is mentioned.

Figure 112008034955873-PCT00002
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상술한 안정 라디칼 화합물은 1종을 단독으로, 또는 2종 이상을 조합하여 이용된다. The stable radical compound mentioned above is used individually by 1 type or in combination of 2 or more type.

안정 라디칼 화합물의 배합 비율은 열가소성 수지 100 질량부에 대하여 0.01 내지 10 질량부가 바람직하고, 0.02 내지 0.5 질량부가 보다 바람직하다. 이 배합 비율이 0.01 질량부 미만이면 안정 라디칼 화합물에 의한 상기 효과를 발휘하기 어려워지고, 또한 10 질량부를 초과하면 접착제 조성물의 경화성이 저하되는 경향이 있다. 0.01-10 mass parts is preferable with respect to 100 mass parts of thermoplastic resin, and, as for the compounding ratio of a stable radical compound, 0.02-0.5 mass part is more preferable. When this compounding ratio is less than 0.01 mass part, it becomes difficult to exhibit the said effect by a stable radical compound, and when it exceeds 10 mass parts, there exists a tendency for sclerosis | hardenability of an adhesive composition to fall.

본 발명의 접착제 조성물은 도전성 입자를 함유하는 것이 바람직하다. 도전성 입자를 함유함으로써, 그 접착제 조성물에 도전성을 부여할 수 있다. 이에 따 라, 본 발명의 접착제 조성물은 회로 전극이나 반도체 등의 전기 공업이나 전자 공업의 분야에서 도전성 접착제로서 이용하는 것이 가능해진다. It is preferable that the adhesive composition of this invention contains electroconductive particle. By containing electroconductive particle, electroconductivity can be provided to this adhesive composition. Accordingly, the adhesive composition of the present invention can be used as a conductive adhesive in the fields of the electrical industry and the electronics industry such as circuit electrodes and semiconductors.

본 발명에 이용하는 도전성 입자는 전기적 접속을 얻을 수 있는 도전성을 갖는 것이면 특별히 제한되지 않는다. 이 도전성 입자로는, 예를 들면 Au, Ag, Ni, Cu 및 땜납 등의 금속, 또는 카본 등을 들 수 있다. 또한, 비도전성의 유리, 세라믹, 플라스틱 등을 핵으로 하고, 이 핵에 상기 금속 입자나 카본을 피복한 것일 수도 있다. 이 중에서도 금속 자체가 열용융성의 금속인 경우, 또는 플라스틱을 핵으로 하고, 금속 또는 카본으로 피복한 것인 경우가 바람직하다. 이들 경우, 접착제 조성물의 경화물을 가열이나 가압에 의해 변형시키는 것이 한층 용이해지기 때문에, 전극끼리를 전기적으로 접속할 때에 전극과 접착제 조성물과의 접촉 면적을 증가시키고 전극 사이의 도전성을 향상시킬 수 있다. The electroconductive particle used for this invention will not be restrict | limited in particular, if it has electroconductivity which can acquire an electrical connection. As this electroconductive particle, metals, such as Au, Ag, Ni, Cu, and a solder, carbon etc. are mentioned, for example. In addition, a non-conductive glass, ceramic, plastic, or the like may be used as a core, and the core may be coated with the metal particles or carbon. Among these, it is preferable that the metal itself is a heat-melt metal, or a case in which plastic is used as a core and coated with metal or carbon. In these cases, since it becomes easier to deform the hardened | cured material of an adhesive composition by heating or pressurization, when contacting electrically between electrodes, the contact area of an electrode and an adhesive composition can be increased, and the electroconductivity between electrodes can be improved. .

또한, 본 발명의 접착제 조성물은 상술한 도전성 입자의 표면을 고분자 수지로 피복한 층상 입자를 함유할 수도 있다. 층상 입자의 상태에서 도전성 입자를 접착제 조성물에 첨가하면 도전성 입자의 배합량을 증가시킨 경우에도 수지로 피복되어 있기 때문에 도전성 입자끼리의 접촉에 의해서 단락이 발생하는 것을 한층 억제하고, 전극 회로간의 절연성도 향상시킬 수 있다. 또한, 이들 도전성 입자나 층상 입자는 1종을 단독으로 또는 2종 이상을 혼합하여 이용할 수도 있다. Moreover, the adhesive composition of this invention may contain the layered particle | grains which coat | covered the surface of the electroconductive particle mentioned above with the polymeric resin. When the conductive particles are added to the adhesive composition in the state of the layered particles, even when the compounding amount of the conductive particles is increased, the conductive particles are coated with the resin, which further suppresses the occurrence of a short circuit due to the contact between the conductive particles and improves the insulation between the electrode circuits. You can. In addition, these electroconductive particle and layered particle can also be used individually by 1 type or in mixture of 2 or more types.

도전성 입자의 평균 입경은 분산성 및 도전성의 관점에서 1 내지 18 ㎛인 것이 바람직하다. 또한, 도전성 입자의 배합 비율은 열가소성 수지 100 질량부에 대하여 0.5 내지 30 질량부인 것이 바람직하다. 또한, 이 도전성 입자의 배합 비율 은 접착제 조성물 100 부피％에 대하여 0.1 내지 30 부피％인 것이 바람직하고, 0.1 내지 10 부피％인 것이 더욱 바람직하다. 도전성 입자의 배합 비율이 0.1 부피％ 미만이면 도전성이 충분히 얻어지지 않는 경향이 있고, 30 부피％를 초과하면 회로의 단락이 발생하는 경향이 있다. 또한, 도전성 입자의 배합 비율(부피％)은 23 ℃에서의 접착제 조성물을 경화시키기 전의 각 성분의 부피에 기초하여 결정된다. 각 성분의 부피는 비중을 이용하여 중량으로부터 부피로 환산하는 방법이나, 그 성분을 잘 용해시키는 적당한 용매(물, 알코올 등)를 넣은 메스실린더 등의 용기에 그 성분을 투입하고, 증가한 부피로부터 산출하는 방법에 의해서 구할 수 있다. It is preferable that the average particle diameter of electroconductive particle is 1-18 micrometers from a viewpoint of dispersibility and electroconductivity. Moreover, it is preferable that the compounding ratio of electroconductive particle is 0.5-30 mass parts with respect to 100 mass parts of thermoplastic resins. Moreover, it is preferable that it is 0.1-30 volume% with respect to 100 volume% of adhesive compositions, and, as for the compounding ratio of this electroconductive particle, it is more preferable that it is 0.1-10 volume%. When the compounding ratio of electroconductive particle is less than 0.1 volume%, electroconductivity will not be fully acquired, and when it exceeds 30 volume%, there exists a tendency for the short circuit of a circuit to generate | occur | produce. In addition, the compounding ratio (vol%) of electroconductive particle is determined based on the volume of each component before hardening adhesive composition at 23 degreeC. The volume of each component is calculated by increasing the volume into a volume such as a method of converting from weight to volume using a specific gravity, or a container such as a measuring cylinder containing a suitable solvent (water, alcohol, etc.) to dissolve the component well. It can be obtained by the method.

또한, 본 발명의 접착제 조성물에는 커플링제 및 밀착성 향상제, 레벨링제 등의 접착 보조제를 적절하게 첨가할 수도 있다. 이에 따라, 본 발명의 효과를 보다 현저히 발휘할 수 있고, 더욱 양호한 밀착성이나 취급성을 부여할 수 있게 된다. 구체적으로는 알콕시실란 유도체나 실라잔 유도체를 들 수 있다. 이들 중에서도, 하기 화학식 C로 표시되는 화합물을 첨가하는 것이 바람직하다. Moreover, you may add suitably adhesive adjuvant, such as a coupling agent, an adhesion improving agent, and a leveling agent, to the adhesive composition of this invention. Thereby, the effect of this invention can be exhibited more remarkably, and more favorable adhesiveness and handleability can be provided. Specifically, an alkoxysilane derivative and a silazane derivative are mentioned. Among these, it is preferable to add the compound represented by following formula (C).

Figure 112008034955873-PCT00003
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식 중, R6, R7 및 R8은 각각 독립적으로 수소 원자, 탄소수 1 내지 5의 알킬기, 탄소수 1 내지 5의 알콕시기, 탄소수 1 내지 5의 알콕시카르보닐기, 또는 아릴 기를 나타내고, R9는 수소 원자 또는 메틸기를 나타내며, p는 1 내지 10의 정수를 나타낸다. In the formula, R 6 , R 7 and R 8 each independently represent a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 5 carbon atoms, an alkoxy group having 1 to 5 carbon atoms, an alkoxycarbonyl group having 1 to 5 carbon atoms, or an aryl group, and R 9 represents hydrogen An atom or a methyl group is represented and p represents the integer of 1-10.

또한, 이 화학식 C에서 R6이 탄소수 1 내지 5의 알킬기 또는 아릴기이고, R7 및 R8이 각각 독립적으로 탄소수 1 내지 3의 알콕시기이며, p가 2 내지 4이면 접착성 및 접속 저항에 의해 한층 우수하기 때문에 바람직하다. 또한, 화학식 C로 표시되는 화합물은 1종을 단독으로 이용하거나, 2종 이상을 혼합하여 이용할 수도 있다. In the general formula (C), when R 6 is an alkyl group or an aryl group having 1 to 5 carbon atoms, R 7 and R 8 are each independently an alkoxy group having 1 to 3 carbon atoms, and p is 2 to 4 to provide adhesion and connection resistance. It is preferable because it is further excellent. In addition, the compound represented by general formula C may be used individually by 1 type, or may mix and use 2 or more types.

또한, 접착 보조제는 인산에스테르 유도체일 수도 있다. 이 인산에스테르 유도체로는, 구체적으로는 하기 화학식 D로 표시되는 화합물이 바람직하다. In addition, the adhesion aid may be a phosphate ester derivative. As this phosphate ester derivative, the compound specifically, represented by following formula (D) is preferable.

Figure 112008034955873-PCT00004
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식 중, R2는 수소 원자 또는 메틸기를 나타내고, n은 1 내지 10의 정수를 나타내며, m은 1 또는 2를 나타낸다. 이들 접착 보조제는 1종을 단독으로 이용하거나, 2종 이상의 화합물을 혼합하여 이용할 수도 있다. In the formula, R 2 represents a hydrogen atom or a methyl group, n represents an integer of 1 to 10, and m represents 1 or 2. These adhesion aids may be used individually by 1 type, or may mix and use 2 or more types of compounds.

본 발명의 접착제 조성물은 그 밖에도 사용 목적에 따라서 별도의 재료를 첨가할 수 있다. 예를 들면, 접착제의 가교율을 향상시키는 접착성 향상제를 병용할 수도 있다. 이 경우, 접착 강도를 한층 높일 수 있다. 즉, (메트)아크릴로일기를 갖는 라디칼 중합성 화합물에 추가로, 알릴기, 말레이미드기, 비닐기 등의 라디칼 중합 가능한 관능기를 갖는 화합물을 첨가할 수도 있다. 구체적으로는, N-비닐이미다졸, N-비닐피리딘, N-비닐피롤리돈, N-비닐포름아미드, N-비닐카프로락탐, 4,4'-비닐리덴비스(N,N-디메틸아닐린), N-비닐아세트아미드, N,N-디메틸아크릴아미드, N-이소프로필아크릴아미드, N,N-디에틸아크릴아미드 등을 들 수 있다. 또한,이들 접착성 향상제는 1종을 단독으로 이용하거나, 2종 이상을 혼합하여 이용할 수도 있다. In addition, the adhesive composition of this invention can add another material according to a use purpose. For example, the adhesive improver which improves the crosslinking rate of an adhesive agent can also be used together. In this case, the adhesive strength can be further increased. That is, the compound which has radically polymerizable functional groups, such as an allyl group, a maleimide group, and a vinyl group, can also be added to the radically polymerizable compound which has a (meth) acryloyl group. Specifically, N-vinylimidazole, N-vinylpyridine, N-vinylpyrrolidone, N-vinylformamide, N-vinyl caprolactam, 4,4'-vinylidenebis (N, N-dimethylaniline ), N-vinylacetamide, N, N-dimethyl acrylamide, N-isopropyl acrylamide, N, N-diethyl acrylamide, etc. are mentioned. In addition, these adhesive improving agents may be used individually by 1 type, or may mix and use 2 or more types.

본 발명의 접착제 조성물은 단관능 (메트)아크릴레이트 등의 유동성 향상제를 병용할 수도 있다. 이에 따라, 접속시의 접착제 조성물의 유동성을 보다 향상시킬 수 있다. 구체적으로는, 펜타에리트리톨(메트)아크릴레이트, 2-시아노에틸(메트)아크릴레이트, 시클로헥실(메트)아크릴레이트, 디시클로펜테닐(메트)아크릴레이트, 디시클로펜테닐옥시에틸(메트)아크릴레이트, 2-(2-에톡시에톡시)에틸(메트)아크릴레이트, 2-에톡시에틸(메트)아크릴레이트, 2-에틸헥실(메트)아크릴레이트, n-헥실(메트)아크릴레이트, 2-히드록시에틸(메트)아크릴레이트, 히드록시프로필(메트)아크릴레이트, 이소보르닐(메트)아크릴레이트, 이소데실(메트)아크릴레이트, 이소옥틸(메트)아크릴레이트, n-라우릴(메트)아크릴레이트, 2-메톡시에틸(메트)아크릴레이트, 2-페녹시에틸(메트)아크릴레이트, 테트라히드로푸르푸릴(메트)아크릴레이트, 2-(메트)아크릴로일옥시에틸포스페이트, N,N-디메틸아미노에틸(메트)아크릴레이트, N,N-디메틸아미노에틸(메트)아크릴레이트, N,N-디메틸아미노프로필(메트)아크릴레이트, N,N-디메틸아미노프로필(메트)아크릴레이트, (메트)아크릴로 일모르폴린을 들 수 있다. 또한, 이들 유동성 향상제는 1종을 단독으로 이용하거나, 2종 이상을 혼합하여 이용할 수도 있다. The adhesive composition of this invention can also use together fluidity improving agents, such as monofunctional (meth) acrylate. Thereby, the fluidity | liquidity of the adhesive composition at the time of connection can be improved more. Specifically, pentaerythritol (meth) acrylate, 2-cyanoethyl (meth) acrylate, cyclohexyl (meth) acrylate, dicyclopentenyl (meth) acrylate, dicyclopentenyloxyethyl (meth ) Acrylate, 2- (2-ethoxyethoxy) ethyl (meth) acrylate, 2-ethoxyethyl (meth) acrylate, 2-ethylhexyl (meth) acrylate, n-hexyl (meth) acrylate , 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, hydroxypropyl (meth) acrylate, isobornyl (meth) acrylate, isodecyl (meth) acrylate, isooctyl (meth) acrylate, n-lauryl (Meth) acrylate, 2-methoxyethyl (meth) acrylate, 2-phenoxyethyl (meth) acrylate, tetrahydrofurfuryl (meth) acrylate, 2- (meth) acryloyloxyethyl phosphate, N, N-dimethylaminoethyl (meth) acrylate, N, N-dimethylaminoethyl (meth ) Acrylate, N, N-dimethylaminopropyl (meth) acrylate, N, N-dimethylaminopropyl (meth) acrylate, and (meth) acryloyl morpholine are mentioned. In addition, these fluidity improving agents may be used individually by 1 type, or may mix and use 2 or more types.

또한, 본 발명의 접착제 조성물은 응력 완화 및 접착성을 향상시키는 고무계의 재료를 병용할 수도 있다. 구체적으로는, 폴리이소프렌, 폴리부타디엔, 카르복실기 말단 폴리부타디엔, 수산기 말단 폴리부타디엔, 1,2-폴리부타디엔, 카르복실기 말단 1,2-폴리부타디엔, 수산기 말단 1,2-폴리부타디엔, 아크릴 고무, 스티렌-부타디엔 고무, 수산기 말단 스티렌-부타디엔 고무, 아크릴로니트릴-부타디엔 고무, 카르복실기, 수산기, (메트)아크릴로일기 또는 모르폴린기를 중합체 말단에 함유하는 아크릴로니트릴-부타디엔 고무, 카르복실화니트릴 고무, 수산기 말단 폴리(옥시프로필렌), 알콕시실릴기 말단 폴리(옥시프로필렌), 폴리(옥시테트라메틸렌)글리콜, 폴리올레핀글리콜, 폴리-ε-카프로락톤을 들 수 있다. Moreover, the adhesive composition of this invention can also use together the rubber-based material which improves stress relaxation and adhesiveness. Specifically, polyisoprene, polybutadiene, carboxyl terminal polybutadiene, hydroxyl group polybutadiene, 1,2-polybutadiene, carboxyl terminal 1,2-polybutadiene, hydroxyl group terminal 1,2-polybutadiene, acrylic rubber, styrene- Butadiene rubber, hydroxyl group styrene-butadiene rubber, acrylonitrile-butadiene rubber, carboxyl group, hydroxyl group, acrylonitrile-butadiene rubber containing a (meth) acryloyl group or morpholine group at the polymer terminal, carboxylated nitrile rubber, hydroxyl group Terminal poly (oxypropylene), alkoxysilyl group terminal poly (oxypropylene), poly (oxytetramethylene) glycol, polyolefin glycol, poly-ε-caprolactone.

상술한 고무계의 재료는 접착성 향상의 관점에서 극성이 높은 관능기인 시아노기, 카르복실기를 측쇄 또는 말단에 포함하는 고무계의 재료인 것이 바람직하고, 추가로 유동성 향상의 관점에서 액상인 것이 보다 바람직하다. 구체적으로는, 액상 아크릴로니트릴-부타디엔 고무, 카르복실기, 수산기, (메트)아크릴로일기 또는 모르폴린기를 중합체 말단에 함유하는 액상 아크릴로니트릴-부타디엔 고무, 액상 카르복실화니트릴 고무를 들 수 있고, 극성기인 아크릴로니트릴 함유량이 이들 고무계 재료 전체의 10 내지 60 질량％인 것이 더욱 바람직하다. 또한, 이들 고무계 재료는 1종을 단독으로 이용하거나, 2종 이상을 혼합하여 이용할 수도 있다. The above-mentioned rubber-based material is preferably a rubber-based material containing a cyano group and a carboxyl group, which are highly polar functional groups, in the side chain or the terminal from the viewpoint of adhesion improvement, and more preferably a liquid phase from the viewpoint of fluidity improvement. Specific examples thereof include liquid acrylonitrile-butadiene rubber and liquid carboxylated nitrile rubber containing a liquid acrylonitrile-butadiene rubber, a carboxyl group, a hydroxyl group, a (meth) acryloyl group or a morpholine group at the polymer terminal. It is more preferable that acrylonitrile content which is a polar group is 10-60 mass% of all these rubber-type materials. In addition, these rubber type materials may be used individually by 1 type, or may mix and use 2 or more types.

또한, 본 발명의 접착제 조성물은 t-부틸피로카테콜, t-부틸페놀, p-메톡시 페놀 등으로 대표되는 중합 금지제 등의 첨가제를 병용할 수도 있다. 이에 따라, 접착제 조성물의 저장 안정성이 더욱 높아지게 된다. Moreover, the adhesive composition of this invention can also use together additives, such as a polymerization inhibitor represented by t-butyl pyrocatechol, t-butylphenol, p-methoxy phenol. As a result, the storage stability of the adhesive composition becomes higher.

본 발명의 접착제 조성물은 상온에서 액상인 경우에는 페이스트상으로 사용할 수 있다. 상온에서 고체인 경우에는, 가열하여 페이스트화하는 것 이외에, 용제를 사용하여 페이스트화할 수도 있다. 사용할 수 있는 용제로는 접착제 조성물과 반응하지 않고, 또한 충분한 용해성을 나타내는 것이면 특별히 제한은 없지만, 상압에서의 비점이 50 내지 150 ℃인 것이 바람직하다. 비점이 50 ℃ 미만이면 실온에서 용이하게 용제가 휘발하여 후술하는 필름을 제조할 때의 작업성이 악화되는 경향이 있다. 또한, 비점이 150 ℃를 초과하면 용제를 휘발시키는 것이 어렵고, 접착 후에 충분한 접착 강도가 얻어지지 않는 경향이 있다. The adhesive composition of the present invention can be used as a paste in the case of a liquid at room temperature. In the case of a solid at normal temperature, in addition to heating and pasting, it can also paste using a solvent. The solvent that can be used is not particularly limited as long as it does not react with the adhesive composition and exhibits sufficient solubility, but the boiling point at atmospheric pressure is preferably 50 to 150 ° C. If a boiling point is less than 50 degreeC, a solvent will volatilize easily at room temperature, and there exists a tendency for the workability at the time of manufacturing the film mentioned later to deteriorate. Moreover, when a boiling point exceeds 150 degreeC, it is difficult to volatilize a solvent and there exists a tendency for sufficient adhesive strength to not be obtained after adhesion.

본 발명의 접착제 조성물은 필름상으로 한 후 이용하는 것도 가능하다. 이 필름상 접착제는, 접착제 조성물에 용제 등을 가한 혼합액을 불소 수지 필름, 폴리에틸렌테레프탈레이트 필름, 이형지 등의 박리성 기재 상에 도포하고, 또는 부직포 등의 기재에 상기 혼합액을 함침시켜 박리성 기재 상에 올려 놓고, 용제 등을 제거함으로써 얻을 수 있다. 이와 같이 접착제 조성물을 필름상으로 하면 취급성이 우수하여 한층 편리하다. The adhesive composition of the present invention can also be used after the film is formed. This film adhesive is apply | coated to the peelable base materials, such as a fluororesin film, a polyethylene terephthalate film, a release paper, etc., and the liquid mixture which added the solvent etc. to the adhesive composition, or impregnated the said mixed solution to base materials, such as a nonwoven fabric, on a peelable base material It is possible to obtain by placing on the substrate and removing the solvent and the like. Thus, when an adhesive composition is made into a film form, it is excellent in handleability and is more convenient.

또한, 본 발명의 접착제 조성물에 도전성 입자를 첨가하여 필름을 제조하면 이방 도전성 필름으로 할 수 있다. 이 이방 도전성 필름은, 예를 들면 기판 상의 대항하는 전극 사이에 올려 놓고, 가열 가압함으로써 양 전극을 접착할 수 있을 뿐만 아니라, 전기적으로 접속할 수 있다. 여기서 전극을 형성하는 기판으로는 반도 체, 유리, 세라믹 등의 무기질, 폴리이미드, 폴리카르보네이트 등의 유기물, 유리/에폭시 등의 이들 복합의 각 조합을 적용할 수 있다. Moreover, if an electroconductive particle is added to the adhesive composition of this invention and a film is manufactured, it can be set as an anisotropic conductive film. The anisotropic conductive film can be electrically connected to both electrodes, for example, by placing them between opposing electrodes on a substrate and heating and pressing them. Here, as the substrate for forming the electrode, each combination of these composites, such as inorganic materials such as semiconductors, glass and ceramics, organic materials such as polyimide and polycarbonate, and glass / epoxy, can be used.

또한, 본 발명의 접착제 조성물은 가열 및 가압을 병용하여 접착시킬 수 있다. 가열 온도는 특별히 제한은 받지 않지만, 50 내지 190 ℃의 온도가 바람직하다. 압력은 피착체에 손상을 제공하지 않는 범위이면 좋고, 일반적으로는 0.1 내지 10 MPa가 바람직하다. 이들 가열 및 가압은 0.5 초 내지 120 초간의 범위에서 행하는 것이 바람직하다. Moreover, the adhesive composition of this invention can be bonded together using heating and pressurization. Although heating temperature in particular is not restrict | limited, The temperature of 50-190 degreeC is preferable. The pressure may be in a range that does not cause damage to the adherend, and generally 0.1 to 10 MPa is preferable. It is preferable to perform these heating and pressurization in the range for 0.5 second-120 second.

본 발명에 의해 저온에서 충분히 신속히 경화 처리를 행할 수 있고, 경화 처리를 행할 때의 공정 마진이 넓으며, 충분히 안정적인 특성(접착 강도나 접속 저항)을 갖는 접착제 조성물이 제공 가능해진다. ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, hardening process can be performed quickly at low temperature, the process margin at the time of hardening process is wide, and the adhesive composition which has a sufficiently stable characteristic (adhesive strength or connection resistance) can be provided.

또한, 본 발명의 접착제 조성물은 저온에서 충분히 신속히 경화 처리를 행할 수 있고, 경화 처리를 행할 때의 공정 마진이 넓으며, 충분히 안정적인 특성(접착 강도나 접속 저항)를 갖기 때문에, 바람직하게 회로 접속 재료로서 사용할 수 있다. 예를 들면, 제1 회로 부재의 회로 전극과 제2 회로 부재의 회로 전극을 전기적으로 접속할 때에, 이들 회로 부재를 대향 배치한 상태에서 본 발명의 접착제 조성물을 한쪽 회로 전극에 부여하고, 다른쪽의 회로 전극과 라디칼 중합 반응에 의해 전기적으로 접속시킬 수 있다. 이와 같이 접착제 조성물을 회로 접속 재료로서 이용하면 전기적으로 접속을 단시간에 행할 수 있고, 접속을 행할 때의 공정 온도나 시간이 변동하였다고 해도 접착 강도나 접속 저항 등의 특성을 안정적인 것으로 할 수 있다. 또한, 회로 접속 재료의 경화물의 경시적인 특성 저하도 억제할 수 있다. 또한, 이 회로 접속 재료가 도전성 입자를 함유하면 전기적인 접속의 이방성을 나타낼 수 있고, 회로 전극용의 이방 도전성 회로 접속 재료로서 이용하는 것도 가능하다. Moreover, since the adhesive composition of this invention can harden | cure quickly and rapidly at low temperature, the process margin at the time of hardening process is wide, and it has sufficiently stable characteristics (adhesive strength and connection resistance), Preferably it is a circuit connection material. Can be used as For example, when electrically connecting the circuit electrode of a 1st circuit member and the circuit electrode of a 2nd circuit member, the adhesive composition of this invention is provided to one circuit electrode in the state which arrange | positioned these circuit members, and the other It can be electrically connected with a circuit electrode by radical polymerization reaction. Thus, when an adhesive composition is used as a circuit connection material, it can connect electrically in a short time, and even if the process temperature and time at the time of connecting are fluctuate | varied, characteristics, such as adhesive strength and connection resistance, can be made stable. Moreover, the fall of the characteristic with time of the hardened | cured material of a circuit connection material can also be suppressed. Moreover, when this circuit connection material contains electroconductive particle, it can show the anisotropy of an electrical connection, and it can also use as an anisotropically conductive circuit connection material for circuit electrodes.

상술한 회로 접속 재료는 열팽창 계수가 상이한 이종의 피착체의 회로 접속 재료로서도 사용할 수 있다. 구체적으로는, 이방 도전 접착제, 은 페이스트, 은 필름 등으로 대표되는 회로 접속 재료, CSP용 엘라스토머, CSP용 언더필재, LOC 테이프 등으로 대표되는 반도체 소자 접착 재료로서 사용할 수 있다. The circuit connection material mentioned above can also be used as a circuit connection material of the heterogeneous to-be-adhered body from which a thermal expansion coefficient differs. Specifically, it can be used as a semiconductor element adhesive material represented by a circuit connection material represented by an anisotropic conductive adhesive, a silver paste, a silver film, etc., an elastomer for CSP, an underfill material for CSP, a LOC tape, and the like.

(회로 부재의 접속 구조)(Connection structure of a circuit member)

이어서, 본 발명의 회로 부재의 접속 구조의 바람직한 실시 형태에 대해서 설명한다. 도 1은, 본 발명의 회로 부재의 접속 구조의 한 실시 형태를 나타내는 개략 단면도이다. 도 1에 도시한 바와 같이, 본 실시 형태의 회로 부재의 접속 구조 (1)은 서로 대향하는 제1 회로 부재 (20) 및 제2 회로 부재 (30)을 구비하고 있고, 제1 회로 부재 (20)과 제2 회로 부재 (30) 사이에는 이들을 전기적으로 접속하는 회로 접속 부재 (10)이 설치되어 있다. 제1 회로 부재 (20)은 제1 회로 기판 (21)과, 회로 기판 (21)의 주요면 (21a) 상에 형성되는 제1 회로 전극 (22)를 구비하고 있다. 또한, 회로 기판 (21)의 주요면 (21a) 상에는, 경우에 따라 절연층(도시하지 않음)이 형성되어 있을 수도 있다.Next, preferable embodiment of the connection structure of the circuit member of this invention is described. 1 is a schematic cross-sectional view showing an embodiment of a connection structure of a circuit member of the present invention. As shown in FIG. 1, the connection structure 1 of the circuit member of this embodiment is provided with the 1st circuit member 20 and the 2nd circuit member 30 which mutually oppose, and the 1st circuit member 20 ) And the second circuit member 30 are provided with a circuit connecting member 10 for electrically connecting them. The 1st circuit member 20 is equipped with the 1st circuit board 21 and the 1st circuit electrode 22 formed on the main surface 21a of the circuit board 21. As shown in FIG. In addition, an insulating layer (not shown) may be formed on the main surface 21a of the circuit board 21 in some cases.

한편, 제2 회로 부재 (30)은 제2 회로 기판 (31)과, 제2 회로 기판 (31)의 주요면 (31a) 상에 형성되는 제2 회로 전극 (32)를 구비하고 있다. 또한, 회로 기판 (31)의 주요면 (31a) 상에도 경우에 따라 절연층(도시하지 않음)이 형성되어 있 을 수도 있다.On the other hand, the second circuit member 30 includes the second circuit board 31 and the second circuit electrode 32 formed on the main surface 31a of the second circuit board 31. In addition, an insulating layer (not shown) may be formed on the main surface 31a of the circuit board 31 in some cases.

제1 회로 부재 (20) 및 제2 회로 부재 (30)으로는 전기적 접속을 필요로 하는 전극이 형성되어 있는 것이면 특별히 제한되지 않는다. 구체적으로는, 액정 디스플레이에 이용되고 있는 ITO 등으로 전극이 형성되어 있는 유리 또는 플라스틱 기판, 인쇄 배선판, 세라믹 배선판, 연성 배선판, 반도체 실리콘칩 등을 들 수 있고, 이들은 필요에 따라서 조합하여 이용할 수 있다. 이와 같이, 본 실시 형태로는 인쇄 배선판이나 폴리이미드 등의 유기물을 포함하는 재질을 비롯하여 구리, 알루미늄 등의 금속이나 ITO(indium tin oxide), 질화규소(SiNx), 이산화규소(SiO2) 등의 무기 재질과 같이 다종 다양한 표면 상태를 갖는 회로 부재를 사용할 수 있다. The first circuit member 20 and the second circuit member 30 are not particularly limited as long as an electrode that requires electrical connection is formed. Specifically, glass or plastic substrates, printed wiring boards, ceramic wiring boards, flexible wiring boards, semiconductor silicon chips, etc., on which electrodes are formed of ITO or the like used in liquid crystal displays, may be used, and these may be used in combination as necessary. . As described above, the present embodiment includes a material containing organic substances such as printed wiring boards and polyimides, as well as metals such as copper and aluminum, indium tin oxide (ITO), silicon nitride (SiN x ), and silicon dioxide (SiO 2 ). Like inorganic materials, circuit members having various surface states can be used.

회로 접속 부재 (10)은 절연성 물질 (11) 및 도전성 입자 (7)을 함유하고 있다. 도전성 입자 (7)은 대향하는 제1 회로 전극 (22)와 제2 회로 전극 (32) 사이뿐만 아니라, 주요면 (21a)와 (31a) 사이에도 배치되어 있다. 본 실시 형태의 회로 부재의 접속 구조 (1)에서는, 제1 회로 전극 (22)와 제2 회로 전극 (32)가 도전성 입자 (7)을 통해 전기적으로 접속되어 있다. 이 때문에, 제1 회로 전극 (22) 및 제2 회로 전극 (32) 사이의 접속 저항이 충분히 감소된다. 따라서, 제1 회로 전극 (22) 및 제2 회로 전극 (32) 사이의 전류의 흐름을 원활하게 할 수 있고, 회로가 가진 기능을 충분히 발휘할 수 있다. 또한, 이 도전성 입자 (7)을 상술한 배합 비율로 함으로써 전기적인 접속의 이방성을 나타내는 것도 가능하다. The circuit connection member 10 contains the insulating material 11 and the electroconductive particle 7. The electroconductive particle 7 is arrange | positioned not only between the opposing 1st circuit electrode 22 and the 2nd circuit electrode 32, but also between the main surface 21a and 31a. In the connection structure 1 of the circuit member of this embodiment, the 1st circuit electrode 22 and the 2nd circuit electrode 32 are electrically connected through the electroconductive particle 7. For this reason, the connection resistance between the 1st circuit electrode 22 and the 2nd circuit electrode 32 is reduced sufficiently. Therefore, the flow of electric current between the 1st circuit electrode 22 and the 2nd circuit electrode 32 can be made smooth, and the function which a circuit has can fully be exhibited. Moreover, it is also possible to show the anisotropy of electrical connection by making this electroconductive particle 7 into the compounding ratio mentioned above.

또한, 회로 접속 부재 (10)이 도전성 입자 (7)을 함유하지 않은 경우에는, 제1 회로 전극 (22) 및 제2 회로 전극 (32) 사이에 원하는 양의 전류가 흐르도록 이들을 직접 접촉시키거나 또는 충분히 가까이 함으로써 전기적으로 접속시킨다. In addition, when the circuit connection member 10 does not contain the electroconductive particle 7, it contacts directly so that a desired amount of electric current may flow between the 1st circuit electrode 22 and the 2nd circuit electrode 32, or Or electrically connected by making it close enough.

회로 접속 부재 (10)은 상기 접착제 조성물을 포함하는 회로 접속 재료의 경화물에 의해 구성되어 있기 때문에, 제1 회로 부재 (20) 또는 제2 회로 부재 (30)에 대한 회로 접속 부재 (10)의 접착 강도가 충분히 높아지고, 또한 접속 저항이 충분히 낮아지며, 이 상태를 장기간에 걸쳐 지속시킬 수 있다. 따라서, 제1 회로 전극 (22) 및 제2 회로 전극 (32) 사이의 전기 특성의 장기 신뢰성을 충분히 높이는 것이 가능해진다. Since the circuit connection member 10 is comprised by the hardened | cured material of the circuit connection material containing the said adhesive composition, of the circuit connection member 10 with respect to the 1st circuit member 20 or the 2nd circuit member 30, Adhesive strength becomes high enough, connection resistance becomes low enough, and this state can be sustained for a long time. Thus, it becomes possible to sufficiently increase the long-term reliability of the electrical characteristics between the first circuit electrode 22 and the second circuit electrode 32.

(회로 부재의 접속 구조의 제조 방법)(Manufacturing method of connection structure of circuit member)

이어서, 상술한 회로 부재의 접속 구조의 제조 방법에 대해서, 그 공정도인 도 2를 참조로 하면서 설명한다. Next, the manufacturing method of the connection structure of the circuit member mentioned above is demonstrated, referring FIG. 2 which is the process diagram.

우선, 상술한 제1 회로 부재 (20)과, 필름상 회로 접속 재료 (40)을 준비한다(도 2(a) 참조). 필름상 회로 접속 재료 (40)은 회로 접속 재료를 필름상으로 성형하여 이루어지는 것이다. 회로 접속 재료는 접착제 조성물 (5)와, 도전성 입자 (7)을 함유한다. 여기서 접착제 조성물 (5)에는 상술한 본 발명에 따른 접착제 조성물이 이용된다. 또한, 회로 접속 재료가 도전성 입자 (7)을 함유하지 않는 경우에도, 그 회로 접속 재료는 절연성 접착제로서 이방 도전성 접착에 사용할 수 있고, 특히 NCP(Non-Conductive Paste)라 불리는 경우도 있다. 또한, 회로 접속 재료가 도전성 입자 (7)을 함유하는 경우에는, 그 회로 접속 재료는 ACP(Anisotropic Conductive Paste)라 하는 경우도 있다. First, the 1st circuit member 20 mentioned above and the film-form circuit connection material 40 are prepared (refer FIG. 2 (a)). The film-form circuit connection material 40 is a thing formed by shape | molding a circuit connection material in a film form. The circuit connection material contains the adhesive composition 5 and the electroconductive particle 7. The adhesive composition according to the present invention described above is used for the adhesive composition (5) here. Moreover, even when a circuit connection material does not contain the electroconductive particle 7, this circuit connection material can be used for anisotropically conductive adhesion as an insulating adhesive agent, and especially may be called NCP (Non-Conductive Paste). In addition, when a circuit connection material contains electroconductive particle 7, the circuit connection material may be called ACP (Anisotropic Conductive Paste).

필름상 회로 접속 재료 (40)의 두께는 10 내지 50 ㎛인 것이 바람직하다. 필름상 회로 접속 재료 (40)의 두께가 10 ㎛ 미만이면 회로 전극 (22), (32) 사이에 회로 접속 재료가 충전 부족이 되는 경향이 있다. 한편, 50 ㎛를 초과하면 회로 전극 (22), (32) 사이의 접착제 조성물을 충분히 배제할 수 없게 되고, 회로 전극 (22), (32) 사이의 도전통로의 확보가 곤란해지는 경향이 있다. It is preferable that the thickness of the film-form circuit connection material 40 is 10-50 micrometers. When the thickness of the film-form circuit connection material 40 is less than 10 micrometers, there exists a tendency for a circuit connection material to become inadequate between circuit electrodes 22 and 32. On the other hand, when it exceeds 50 micrometers, the adhesive composition between the circuit electrodes 22 and 32 cannot fully be excluded, and it exists in the tendency which becomes difficult to ensure the electrically conductive path | route between the circuit electrodes 22 and 32. FIG.

이어서, 필름상 회로 접속 재료 (40)을 제1 회로 부재 (20)의 회로 전극 (22)가 형성되어 있는 면 상에 올려 놓는다. 또한, 필름상 회로 접속 재료 (40)이 지지체(도시하지 않음) 상에 부착되어 있는 경우에는, 필름상 회로 접속 재료 (40)측을 제1 회로 부재 (20)에 향하도록 하여, 제1 회로 부재 (20) 상에 올려 놓는다. 이 때, 필름상 회로 접속 재료 (40)은 필름상이고, 취급이 용이하다. 이 때문에, 제1 회로 부재 (20)과 제2 회로 부재 (30) 사이에 필름상 회로 접속 재료 (40)을 용이하게 끼울 수 있고, 제1 회로 부재 (20)과 제2 회로 부재 (30)과의 접속 작업을 용이하게 행할 수 있다. Next, the film-form circuit connection material 40 is mounted on the surface in which the circuit electrode 22 of the 1st circuit member 20 is formed. In addition, when the film-form circuit connection material 40 is affixed on the support body (not shown), the 1st circuit is made so that the film-form circuit connection material 40 side may face the 1st circuit member 20. FIG. It is put on the member 20. At this time, the film-form circuit connection material 40 is a film form, and handling is easy. For this reason, the film-form circuit connection material 40 can be easily pinched | interposed between the 1st circuit member 20 and the 2nd circuit member 30, and the 1st circuit member 20 and the 2nd circuit member 30 are easy to insert. The connection work with can be easily performed.

그리고, 필름상 회로 접속 재료 (40)을 도 2(a)의 화살표 A 및 B 방향으로 가압하고, 필름상 회로 접속 재료 (40)을 제1 회로 부재 (20)에 가접속한다(도 2(b) 참조). 이 때, 가열하면서 가압할 수도 있다. 단, 가열 온도는 필름상 회로 접속 재료 (40) 중 접착제 조성물이 경화하지 않는 온도, 즉 라디칼 중합 개시제가 라디칼을 발생하는 온도보다도 낮은 온도로 한다. And the film-form circuit connection material 40 is pressed in the arrow A and B direction of FIG. 2 (a), and the film-form circuit connection material 40 is temporarily connected to the 1st circuit member 20 (FIG. 2 ( b)). At this time, it may pressurize while heating. However, heating temperature shall be temperature lower than the temperature which adhesive composition does not harden in the film-form circuit connection material 40, ie, the temperature which a radical polymerization initiator generate | occur | produces a radical.

계속해서, 도 2(c)에 도시한 바와 같이, 제2 회로 부재 (30)을 제2 회로 전 극을 제1 회로 부재 (20)에 향하도록 하여 필름상 회로 접속 재료 (40) 상에 올려 놓는다. 또한, 필름상 회로 접속 재료 (40)이 지지체(도시하지 않음) 상에 부착되어 있는 경우에는, 지지체를 박리한 후 제2 회로 부재 (30)을 필름상 회로 접속 재료 (40) 상에 올려 놓는다. Subsequently, as shown in FIG. 2 (c), the second circuit member 30 is placed on the film-form circuit connection material 40 with the second circuit electrode facing the first circuit member 20. Release. In addition, when the film-form circuit connection material 40 is stuck on a support body (not shown), after peeling a support body, the 2nd circuit member 30 is mounted on the film-form circuit connection material 40. FIG. .

그리고 필름상 회로 접속 재료 (40)을 가열하면서, 도 2(c)의 화살표 A 및 B 방향으로 제1 및 제2 회로 부재 (20), (30)을 통해 가압한다. 이 때의 가열 온도는 라디칼 중합 개시제가 라디칼을 발생 가능한 온도로 한다. 이에 따라, 라디칼 중합 개시제에서 라디칼이 발생하고, 라디칼 중합성 화합물의 중합이 개시된다. 이와 같이 해서 필름상 회로 접속 재료 (40)이 경화 처리되고, 본 접속이 행해지고, 도 1에 도시한 바와 같은 회로 부재의 접속 구조가 얻어진다. And while heating the film-form circuit connection material 40, it presses through the 1st and 2nd circuit members 20 and 30 in the arrow A and B direction of FIG.2 (c). The heating temperature at this time is a temperature at which the radical polymerization initiator can generate radicals. Thereby, radicals generate | occur | produce in a radical polymerization initiator and superposition | polymerization of a radically polymerizable compound is started. Thus, the film-form circuit connection material 40 is hardened | cured, this connection is performed and the connection structure of the circuit member as shown in FIG. 1 is obtained.

가열 온도는, 예를 들면 90 내지 200 ℃로 하고, 접속 시간은 예를 들면 1 초 내지 10 분으로 한다. 이들 조건은 사용하는 용도, 접착제 조성물, 회로 부재에 의해서 적절하게 선택되고, 필요에 따라서 후경화를 행할 수도 있다. Heating temperature is made into 90 to 200 degreeC, for example, and connection time is made into 1 second-10 minutes, for example. These conditions are suitably selected by the use, adhesive composition, and circuit member to be used, and can also postcure as needed.

상기한 바와 같이 하여 회로 부재의 접속 구조를 제조하면, 얻어지는 회로 부재의 접속 구조에서 도전성 입자 (7)을 대향하는 회로 전극 (22), (32)의 쌍방에 접촉시키는 것이 가능해지고, 회로 전극 (22), (32) 사이의 접속 저항을 충분히 감소시킬 수 있다. When the connection structure of a circuit member is manufactured as mentioned above, in the connection structure of the circuit member obtained, it becomes possible to make contact with both the circuit electrodes 22 and 32 which oppose the electroconductive particle 7, and a circuit electrode ( The connection resistance between 22 and 32 can be sufficiently reduced.

또한, 필름상 회로 접속 재료 (40)의 가열에 의해 회로 전극 (22)와 회로 전극 (32) 사이의 거리를 충분히 작게 한 상태에서 접착제 조성물 (5)가 경화하여 절연성 물질 (11)이 되고, 제1 회로 부재 (20)과 제2 회로 부재 (30)이 회로 접속 부 재 (10)을 통해 견고하게 접속된다. 즉, 얻어지는 회로 부재의 접속 구조에서는 회로 접속 부재 (10)은 상기 접착제 조성물을 포함하는 회로 접속 재료의 경화물에 의해 구성되어 있기 때문에, 회로 부재 (20) 또는 (30)에 대한 회로 접속 부재 (10)의 접착 강도가 충분히 높아지고, 또한 회로 전극 (22), (32) 사이의 접속 저항을 충분히 감소시킬 수 있다. 또한, 이 회로 부재의 접속 구조는 그러한 상태를 장기간에 걸쳐 지속할 수 있다. 따라서, 얻어지는 회로 부재의 접속 구조는 회로 전극 (22), (32) 사이의 거리의 경시적 변화가 충분히 방지되고, 회로 전극 (22), (32) 사이의 전기 특성의 장기 신뢰성이 우수하다. Moreover, the adhesive composition 5 hardens | cures and becomes the insulating material 11 in the state which made the distance between the circuit electrode 22 and the circuit electrode 32 small enough by the heating of the film-form circuit connection material 40, The first circuit member 20 and the second circuit member 30 are firmly connected through the circuit connecting member 10. That is, in the connection structure of the circuit member obtained, since the circuit connection member 10 is comprised by the hardened | cured material of the circuit connection material containing the said adhesive composition, the circuit connection member with respect to the circuit member 20 or 30 ( The adhesive strength of 10 is sufficiently high, and the connection resistance between the circuit electrodes 22 and 32 can be sufficiently reduced. In addition, the connection structure of this circuit member can sustain such a state for a long time. Therefore, as for the connection structure of the circuit member obtained, the time-dependent change of the distance between the circuit electrodes 22 and 32 is fully prevented, and the long-term reliability of the electrical characteristics between the circuit electrodes 22 and 32 is excellent.

또한, 접착제 조성물 (5)는 적어도 가열에 의해 라디칼을 발생하는 라디칼 중합 개시제를 포함하는 것일 수도 있고, 이 라디칼 중합 개시제 대신에 광 조사만으로 라디칼을 발생하는 라디칼 중합 개시제를 이용할 수도 있다. 이 경우, 필름상 회로 접속 재료 (40)의 경화 처리시에 가열 대신에 광 조사를 행할 수 있다. 이 외에도, 필요에 따라서 초음파, 전자파 등에 의해 라디칼을 발생하는 라디칼 중합 개시제를 이용할 수도 있다. 또한, 접착제 조성물 (5)에서의 경화성 성분으로서 에폭시 수지 및 잠재성 경화제를 이용할 수도 있다. In addition, the adhesive composition (5) may contain the radical polymerization initiator which generate | occur | produces a radical at least by heating, and may use the radical polymerization initiator which generate | occur | produces a radical only by light irradiation instead of this radical polymerization initiator. In this case, light irradiation can be performed instead of heating at the time of the hardening process of the film-form circuit connection material 40. In addition, a radical polymerization initiator that generates radicals by ultrasonic waves, electromagnetic waves, or the like may be used as necessary. Moreover, an epoxy resin and a latent hardener can also be used as a curable component in adhesive composition (5).

또한, 상기 실시 형태에서는 필름상 회로 접속 재료 (40)을 이용하여 회로 부재의 접속 구조를 제조하고 있지만, 필름상 회로 접속 재료 (40) 대신에 필름상으로 형성되어 있지 않은 회로 접속 재료를 이용할 수도 있다. 이 경우에도, 회로 접속 재료를 용매에 용해시키고, 그 용액을 제1 회로 부재 (20) 또는 제2 회로 부재 (30) 중 어느 하나에 도포하여 건조시키면 제1 및 제2 회로 부재 (20), (30) 사 이에 회로 접속 재료를 끼울 수 있다. In addition, in the said embodiment, although the connection structure of a circuit member is manufactured using the film-form circuit connection material 40, you may use the circuit connection material which is not formed in the film form instead of the film-form circuit connection material 40. have. Also in this case, if the circuit connection material is dissolved in a solvent and the solution is applied to either the first circuit member 20 or the second circuit member 30 and dried, the first and second circuit members 20, A circuit connection material may be sandwiched between (30).

또한, 도전성 입자 (7) 대신에 다른 도전 재료를 이용할 수도 있다. 다른 도전 재료로는 입자상, 또는 단섬유상의 카본, Au 도금 Ni선 등의 금속선조 등을 들 수 있다. In addition, other conductive materials may be used instead of the conductive particles 7. As another electrically-conductive material, metal-like wire | gum etc., such as carbon or Au plating Ni wire of particulate form or short fiber, are mentioned.

(반도체 장치)(Semiconductor device)

이어서, 본 발명의 반도체 장치의 실시 형태에 대해서 설명한다. 도 3은, 본 발명의 반도체 장치의 한 실시 형태를 나타내는 개략 단면도이다. 도 3에 도시한 바와 같이, 본 실시 형태의 반도체 장치 (2)는 반도체 소자 (50)과, 반도체의 지지 부재가 되는 기판 (60)을 구비하고 있고, 반도체 소자 (50) 및 기판 (60) 사이에는, 이들을 전기적으로 접속하는 반도체 소자 접속 부재 (80)이 설치되어 있다. 또한, 반도체 소자 접속 부재 (80)은 기판 (60)의 주요면 (60a) 상에 적층되고, 반도체 소자 (50)은 추가로 그 반도체 소자 접속 부재 (80) 상에 적층되어 있다. Next, embodiment of the semiconductor device of this invention is described. 3 is a schematic cross-sectional view showing an embodiment of the semiconductor device of the present invention. As shown in FIG. 3, the semiconductor device 2 of this embodiment is equipped with the semiconductor element 50 and the board | substrate 60 used as a support member of a semiconductor, The semiconductor element 50 and the board | substrate 60 are shown. The semiconductor element connection member 80 which electrically connects these is provided in between. In addition, the semiconductor element connection member 80 is laminated | stacked on the main surface 60a of the board | substrate 60, and the semiconductor element 50 is laminated | stacked further on the semiconductor element connection member 80 further.

기판 (60)은 회로 패턴 (61)을 구비하고 있고, 회로 패턴 (61)은 기판 (60)의 주요면 (60a) 상에서 반도체 접속 부재 (80)을 통해 또는 직접 반도체 소자 (50)과 전기적으로 접속되어 있다. 그리고, 이들이 밀봉재 (70)에 의해 밀봉되고, 반도체 장치 (2)가 형성된다. The substrate 60 has a circuit pattern 61, which is electrically connected to the semiconductor element 50 or directly through the semiconductor connection member 80 on the main surface 60a of the substrate 60. Connected. And these are sealed by the sealing material 70, and the semiconductor device 2 is formed.

반도체 소자 (50)의 재료로는 특별히 제한되지 않지만, 실리콘, 게르마늄의 4족의 반도체 소자, GaAs, InP, GaP, InGaAs, InGaAsP, AlGaAs, InAs, GaInP, AlInP, AlGaInP, GaNAs, GaNP, GaInNAs, GaInNP, GaSb, InSb, GaN, AlN, InGaN, InNAsP 등의 III-V족 화합물 반도체 소자, HgTe, HgCdTe, CdMnTe, CdS, CdSe, MgSe, MgS, ZnSe, ZeTe 등의 II-V1족 화합물 반도체 소자, 그리고 CuInSe(ClS) 등의 여러 가지 것을 사용할 수 있다. Although it does not restrict | limit especially as a material of the semiconductor element 50, The semiconductor element of group 4 of silicon and germanium, GaAs, InP, GaP, InGaAs, InGaAsP, AlGaAs, InAs, GaInP, AlInP, AlGaInP, GaNAs, GaNP, GaInNAs, Group III-V compound semiconductor devices such as GaInNP, GaSb, InSb, GaN, AlN, InGaN, InNAsP, II-V1 compound semiconductor devices such as HgTe, HgCdTe, CdMnTe, CdS, CdSe, MgSe, MgS, ZnSe, ZeTe, etc. And various things, such as CuInSe (ClS), can be used.

반도체 소자 접속 부재 (80)은 절연성 물질 (11) 및 도전성 입자 (7)을 함유하고 있다. 도전성 입자 (7)은, 반도체 소자 (50)과 회로 패턴 (61) 사이뿐만 아니라, 반도체 소자 (50)과 주요면 (60a) 사이에도 배치되어 있다. 본 실시 형태의 반도체 장치 (2)에서는, 반도체 소자 (50)과 회로 패턴 (61)이 도전성 입자 (7)을 통해 전기적으로 접속되어 있다. 이 때문에, 반도체 소자 (50) 및 회로 패턴 (61) 사이의 접속 저항이 충분히 감소된다. 따라서, 반도체 소자 (50) 및 회로 패턴 (61) 사이의 전류의 흐름을 원활하게 할 수 있고, 반도체가 갖는 기능을 충분히 발휘할 수 있다. 또한, 이 도전성 입자 (7)을 상술한 배합 비율로 함으로써 전기적인 접속의 이방성을 나타내는 것도 가능하다. The semiconductor element connection member 80 contains the insulating material 11 and the electroconductive particle 7. The electroconductive particle 7 is arrange | positioned not only between the semiconductor element 50 and the circuit pattern 61, but also between the semiconductor element 50 and the main surface 60a. In the semiconductor device 2 of this embodiment, the semiconductor element 50 and the circuit pattern 61 are electrically connected through the electroconductive particle 7. For this reason, the connection resistance between the semiconductor element 50 and the circuit pattern 61 is fully reduced. Therefore, the flow of electric current between the semiconductor element 50 and the circuit pattern 61 can be made smooth, and the function which a semiconductor has can fully be exhibited. Moreover, it is also possible to show the anisotropy of electrical connection by making this electroconductive particle 7 into the compounding ratio mentioned above.

또한, 반도체 소자 접속 부재 (80)이 도전성 입자 (7)을 함유하지 않은 경우에는, 반도체 소자 (50)과 회로 패턴 (61)을 원하는 양의 전류가 흐르도록 직접 접촉시키거나 또는 충분히 가까이 함으로써 전기적으로 접속된다. In addition, when the semiconductor element connection member 80 does not contain the electroconductive particle 7, electrical contact is made by making the semiconductor element 50 and the circuit pattern 61 directly contact or close enough so that a desired amount of electric current may flow. Is connected.

반도체 소자 접속 부재 (80)은 상기 접착제 조성물을 포함하는 접착제 조성물의 경화물에 의해 구성되어 있다. 이에 따라, 반도체 소자 (50) 및 기판 (60)에 대한 반도체 소자 접속 부재 (40)의 접착 강도가 충분히 높아지고, 또한 반도체 소자 (50) 및 회로 패턴 (61) 사이의 접속 저항을 충분히 감소시킬 수 있다. 그리고, 이 상태를 장기간에 걸쳐 지속시킬 수 있다. 따라서, 반도체 소자 (50) 및 기 판 (60) 사이의 전기 특성의 장기 신뢰성을 충분히 높이는 것이 가능해진다. The semiconductor element connection member 80 is comprised by the hardened | cured material of the adhesive composition containing the said adhesive composition. Thereby, the adhesive strength of the semiconductor element connection member 40 with respect to the semiconductor element 50 and the board | substrate 60 becomes high enough, and the connection resistance between the semiconductor element 50 and the circuit pattern 61 can fully be reduced. have. And this state can be continued over a long period of time. Thus, it becomes possible to sufficiently increase the long-term reliability of the electrical characteristics between the semiconductor element 50 and the substrate 60.

(반도체 장치의 제조 방법)(Manufacturing Method of Semiconductor Device)

이어서, 상술한 반도체 장치의 제조 방법에 대해서 설명한다. Next, the manufacturing method of the semiconductor device mentioned above is demonstrated.

우선, 회로 패턴 (61)을 형성한 기판 (60)과, 필름상 반도체 소자 접속 재료를 준비한다. 필름상 반도체 소자 접속 재료는, 반도체 소자 접속 재료를 필름상으로 성형하여 이루어지는 것이다. 반도체 소자 접속 재료는 접착제 조성물 (5)와, 도전성 입자 (7)을 함유한다. 여기서 접착제 조성물 (5)에는 상술한 본 발명에 따른 접착제 조성물이 이용된다. 또한, 반도체 소자 접속 재료가 도전성 입자 (7)을 함유하지 않는 경우에도, 그 반도체 소자 접속 재료는 절연성 접착제로서 이방 도전성 접착에 사용할 수 있고, 특히 NCP(Non-Conductive Paste)라고도 한다. 또한, 반도체 소자 접속 재료가 도전성 입자 (7)을 함유하는 경우에는, 그 반도체 소자 접속 재료는 ACP(Anisotropic Conductive Paste)라고도 한다. First, the board | substrate 60 in which the circuit pattern 61 was formed, and the film-form semiconductor element connection material are prepared. A film-form semiconductor element connection material is formed by shape | molding a semiconductor element connection material in a film form. The semiconductor element connection material contains the adhesive composition 5 and the electroconductive particle 7. The adhesive composition according to the present invention described above is used for the adhesive composition (5) here. In addition, even when a semiconductor element connection material does not contain the electroconductive particle 7, this semiconductor element connection material can be used for anisotropic conductive adhesion as an insulating adhesive agent, and is also especially called non-conductive paste (NCP). In addition, when a semiconductor element connection material contains electroconductive particle 7, the semiconductor element connection material is also called ACP (Anisotropic Conductive Paste).

필름상 반도체 소자 접속 재료의 두께는 10 내지 50 ㎛인 것이 바람직하다. 필름상 반도체 소자 접속 재료의 두께가 10 ㎛ 미만이면 회로 패턴 (61)과 반도체 소자 (50) 사이에 반도체 소자 접속 재료가 충전 부족이 되는 경향이 있다. 한편, 50 ㎛를 초과하면 회로 패턴 (61)과 반도체 소자 (50) 사이의 접착제 조성물을 충분히 배제할 수 없게 되고, 회로 패턴 (61)과 반도체 소자 (50) 사이의 도전통로의 확보가 곤란해지는 경향이 있다. It is preferable that the thickness of a film-form semiconductor element connection material is 10-50 micrometers. If the thickness of the film-like semiconductor element connection material is less than 10 µm, the semiconductor element connection material tends to be insufficient in filling between the circuit pattern 61 and the semiconductor element 50. On the other hand, when it exceeds 50 micrometers, the adhesive composition between the circuit pattern 61 and the semiconductor element 50 cannot fully be excluded, and securing of the electrically conductive path | route between the circuit pattern 61 and the semiconductor element 50 will become difficult. There is a tendency.

이어서, 필름상 반도체 소자 접속 재료를 기판 (60)의 회로 패턴 (61)이 형성되어 있는 면 상에 올려 놓는다. 또한, 필름상 반도체 소자 접속 재료가 지지 체(도시하지 않음) 상에 부착되어 있는 경우에는, 필름상 반도체 소자 접속 재료측을 기판 (60)에 향하도록 하여 기판 (60) 상에 올려 놓는다. 이 때, 필름상 반도체 소자 접속 재료는 필름상이고, 취급이 용이하다. 이 때문에, 기판 (60)과 반도체 소자 (50) 사이에 필름상 반도체 소자 접속 재료를 용이하게 끼울 수 있고, 기판 (60)과 반도체 소자 (50)과의 접속 작업을 용이하게 행할 수 있다. Next, the film-form semiconductor element connection material is mounted on the surface in which the circuit pattern 61 of the board | substrate 60 is formed. In addition, when the film-form semiconductor element connection material is affixed on the support body (not shown), it is mounted on the board | substrate 60 so that the film-form semiconductor element connection material side may face the board | substrate 60. As shown in FIG. At this time, the film-form semiconductor element connection material is a film form, and handling is easy. For this reason, a film-form semiconductor element connection material can be easily pinched | interposed between the board | substrate 60 and the semiconductor element 50, and the connection work of the board | substrate 60 and the semiconductor element 50 can be performed easily.

그리고 필름상 반도체 소자 접속 재료를 가압하고, 필름상 반도체 소자 접속 재료를 기판 (60)에 가접속한다. 이 때, 가열하면서 가압할 수도 있다. 단, 가열 온도는 필름상 반도체 소자 접속 재료 중 접착제 조성물이 경화하지 않는 온도, 즉 라디칼 중합 개시제가 라디칼을 발생하는 온도보다도 낮은 온도로 한다. Then, the film-like semiconductor element connection material is pressed, and the film-like semiconductor element connection material is temporarily connected to the substrate 60. At this time, it may pressurize while heating. However, heating temperature shall be temperature lower than the temperature which adhesive composition does not harden in a film-form semiconductor element connection material, ie, the temperature which a radical polymerization initiator produces | generates a radical.

계속해서, 반도체 소자 (50)을 필름상 반도체 소자 접속 재료 상에 올려 놓는다. 또한, 필름상 반도체 소자 접속 재료가 지지체(도시하지 않음) 상에 부착되어 있는 경우에는, 지지체를 박리한 후 반도체 소자 (50)을 필름상 반도체 소자 접속 재료 상에 올려 놓는다. Subsequently, the semiconductor element 50 is mounted on the film-form semiconductor element connection material. In addition, when the film-form semiconductor element connection material is affixed on a support body (not shown), after peeling a support body, the semiconductor element 50 is mounted on a film-form semiconductor element connection material.

그리고, 필름상 반도체 소자 접속 재료를 가열하면서 기판 (60) 및 반도체 소자 (50)을 통해 가압한다. 이 때의 가열 온도는 라디칼 중합 개시제가 라디칼을 발생 가능한 온도로 한다. 이에 따라, 라디칼 중합 개시제에서 라디칼이 발생하고, 라디칼 중합성 화합물의 중합이 개시된다. 이와 같이 해서 필름상 반도체 소자 접속 재료가 경화 처리되고, 본 접속이 행해진다. And it pressurizes through the board | substrate 60 and the semiconductor element 50, heating a film-form semiconductor element connection material. The heating temperature at this time is a temperature at which the radical polymerization initiator can generate radicals. Thereby, radicals generate | occur | produce in a radical polymerization initiator and superposition | polymerization of a radically polymerizable compound is started. In this way, a film-form semiconductor element connection material is hardened and this connection is performed.

가열 온도는 예를 들면 90 내지 200 ℃로 하고, 접속 시간은 예를 들면 1 초 내지 10 분으로 한다. 이들 조건은 사용하는 용도, 접착제 조성물, 기판에 의해서 적절하게 선택되고, 필요에 따라서 후경화를 행할 수도 있다. Heating temperature is made into 90 to 200 degreeC, for example, and connection time is made into 1 second-10 minutes, for example. These conditions are suitably selected according to the use, adhesive composition, and board | substrate to be used, and can also postcure as needed.

이어서, 필요에 따라서 반도체 소자를 수지 밀봉한다. 이 때, 수지 밀봉재를 기판의 표면에 형성하지만, 기판의 표면과는 반대측의 면에도 수지 밀봉재를 형성할 수도 있다. 이에 따라 도 3에 도시한 바와 같은 반도체 장치가 얻어진다. Next, the semiconductor element is resin-sealed as needed. At this time, the resin sealing material is formed on the surface of the substrate, but the resin sealing material may be formed on the surface on the side opposite to the surface of the substrate. As a result, a semiconductor device as shown in FIG. 3 is obtained.

상기한 바와 같이 하여 반도체 장치를 제조하면 얻어지는 반도체 장치에서 도전성 입자 (7)을 대향하는 회로 패턴 (61)과 반도체 소자 (50)의 쌍방에 접촉시키는 것이 가능해지고, 회로 패턴 (61)과 반도체 소자 (50) 사이의 접속 저항을 충분히 감소시킬 수 있다. When manufacturing a semiconductor device as mentioned above, in the semiconductor device obtained, it becomes possible to contact both the circuit pattern 61 and the semiconductor element 50 which oppose the electroconductive particle 7, and the circuit pattern 61 and a semiconductor element The connection resistance between the 50 can be sufficiently reduced.

또한, 필름상 반도체 소자 접속 재료의 가열에 의해 회로 패턴 (61)과 반도체 소자 (50) 사이의 거리를 충분히 작게 한 상태에서 접착제 조성물 (5)가 경화하여 절연성 물질 (11)이 되고, 기판 (60)과 반도체 소자 (50)이 반도체 소자 접속 부재 (80)을 통해 견고하게 접속된다. 즉, 얻어지는 반도체 장치에서는 반도체 소자 접속 부재 (80)은 상기 접착제 조성물을 포함하는 반도체 소자 접속 재료의 경화물에 의해 구성되어 있기 때문에, 기판 (50) 또는 반도체 소자 (50)에 대한 반도체 소자 접속 부재 (80)의 접착 강도가 충분히 높아지고, 또한 반도체 소자 (50) 및 회로 패턴 (61) 사이의 접속 저항이 충분히 감소된다. 또한, 이 반도체 장치에서는 이러한 상태가 장기간에 걸쳐 지속된다. 따라서, 얻어지는 반도체 장치는 회로 패턴 (61), 반도체 소자 (50) 사이의 거리의 경시적 변화가 충분히 방지되고, 회로 패턴 (61), 반도체 소자 (50) 사이의 전기 특성의 장기 신뢰성이 우수하다. Moreover, the adhesive composition 5 hardens | cures and becomes the insulating material 11 in the state which made the distance between the circuit pattern 61 and the semiconductor element 50 small enough by the heating of a film-form semiconductor element connection material, and a board | substrate ( 60 and the semiconductor element 50 are firmly connected through the semiconductor element connection member 80. That is, in the semiconductor device obtained, since the semiconductor element connection member 80 is comprised by the hardened | cured material of the semiconductor element connection material containing the said adhesive composition, the semiconductor element connection member with respect to the board | substrate 50 or the semiconductor element 50 is carried out. The adhesive strength of the 80 is sufficiently high, and the connection resistance between the semiconductor element 50 and the circuit pattern 61 is sufficiently reduced. In addition, in this semiconductor device, such a state lasts for a long time. Therefore, the obtained semiconductor device is sufficiently prevented with the time-dependent change of the distance between the circuit pattern 61 and the semiconductor element 50, and is excellent in the long-term reliability of the electrical characteristics between the circuit pattern 61 and the semiconductor element 50. .

또한, 상기 실시 형태에서는 접착제 조성물 (5)로서, 적어도 가열에 의해 라 디칼을 발생하는 라디칼 중합 개시제를 포함하는 것이 이용되고 있지만, 이 라디칼 중합 개시제 대신에 광 조사만으로 라디칼을 발생하는 라디칼 중합 개시제를 이용할 수도 있다. 이 경우, 필름상 반도체 소자 접속 재료의 경화 처리시에, 가열 대신에 광 조사를 행할 수 있다. 이 외에도, 필요에 따라서 초음파, 전자파 등에 의해 라디칼을 발생하는 라디칼 중합 개시제를 이용할 수도 있다. 또한, 접착제 조성물 (5)에서의 경화성 성분으로서 에폭시 수지 및 잠재성 경화제를 이용할 수도 있다. In addition, although the thing containing the radical polymerization initiator which generate | occur | produces a radical at least as heating is used as said adhesive composition (5) in the said embodiment, the radical polymerization initiator which generate | occur | produces a radical only by light irradiation instead of this radical polymerization initiator is used. It can also be used. In this case, light irradiation can be performed instead of heating at the time of hardening processing of a film-form semiconductor element connection material. In addition, a radical polymerization initiator that generates radicals by ultrasonic waves, electromagnetic waves, or the like may be used as necessary. Moreover, an epoxy resin and a latent hardener can also be used as a curable component in adhesive composition (5).

또한, 상기 실시 형태에서는 필름상 반도체 소자 접속 재료를 이용하여 반도체 장치를 제조하고 있지만, 필름상 반도체 소자 접속 재료 대신에 필름상으로 형성되어 있지 않은 반도체 소자 접속 재료를 이용할 수도 있다. 이 경우에도, 반도체 소자 접속 재료를 용매에 용해시키고, 그 용액을 기판 (60) 또는 반도체 소자 (50) 중 어느 하나에 도포하고 건조시키면 기판 (60) 또는 반도체 소자 (50) 사이에 반도체 소자 접속 재료를 끼울 수 있다. Moreover, in the said embodiment, although the semiconductor device is manufactured using the film-form semiconductor element connection material, the semiconductor element connection material which is not formed in the film form can also be used instead of the film-form semiconductor element connection material. Also in this case, if the semiconductor element connection material is dissolved in a solvent, and the solution is applied to either the substrate 60 or the semiconductor element 50 and dried, the semiconductor element connection is between the substrate 60 or the semiconductor element 50. You can insert the material.

또한, 도전성 입자 (7) 대신에 다른 도전 재료를 이용할 수도 있다. 다른 도전 재료로는 입자상, 또는 단섬유상의 카본, Au 도금 Ni선 등의 금속선조 등을 들 수 있다. In addition, other conductive materials may be used instead of the conductive particles 7. As another electrically-conductive material, metal-like wire | gum etc., such as carbon or Au plating Ni wire of particulate form or short fiber, are mentioned.

이상, 본 발명의 바람직한 실시 형태에 대해서 설명했지만, 본 발명이 이것으로 제한되는 것은 아니다. As mentioned above, although preferred embodiment of this invention was described, this invention is not limited to this.

이하에 본 발명을 실시예에 기초하여 구체적으로 설명하지만, 본 발명이 이 것으로 제한되는 것은 아니다. Hereinafter, the present invention will be described in detail based on Examples, but the present invention is not limited thereto.

(페녹시 수지 용액의 조정)(Adjustment of phenoxy resin solution)

페녹시 수지(유니온 카바이드사 제조, 상품명: PKHC, 중량 평균 분자량45000) 40 질량부를 유리제의 용기에 수용한 메틸에틸케톤(와코 쥰야쿠 고교사 제조, 상품명: 2-부타논, 순도 99 ％) 60 질량부에 용해시켜, 고형분 40 질량％의 페녹시 수지 용액을 제조하였다. Methyl ethyl ketone (manufactured by Wako Pure Chemical Industries, Ltd., trade name: 2-butanone, 99% purity) 60 parts by mass of a phenoxy resin (manufactured by Union Carbide, trade name: PKHC, weight average molecular weight 45000) in a glass container 60 It melt | dissolved in the mass part and prepared the phenoxy resin solution of 40 mass% of solid content.

(우레탄 수지의 합성)(Synthesis of urethane resin)

폴리부틸렌아디페이트디올(알드리치사 제조, 중량 평균 분자량 2000) 450 질량부, 폴리옥시테트라메틸렌글리콜(알드리치사 제조, 중량 평균 분자량 2000) 450 질량부 및 1,4-부틸렌글리콜(알드리치사 제조) 100 질량부를 메틸에틸케톤(와코 쥰야쿠 고교(주)제조, 상품명: 2-부타논, 순도 99 ％) 4000 질량부 중에 용해시켰다. 거기에 디페닐메탄디이소시아네이트(알드리치사 제조) 390 질량부를 첨가하여 반응액을 얻었다. 이어서, 그 반응액을 70 ℃에서 60 분간 반응시켜서, 우레탄 수지를 얻었다. 또한, 이 때의 온도 제어는 오일조(아즈원(주)제조, 상품명: HOB-50D)를 이용하여 행하였다. 얻어진 우레탄 수지의 중량 평균 분자량을 GPC에 의해서 측정한 바, 35만이었다. 450 parts by mass of polybutylene adipate diol (manufactured by Aldrich Corporation, weight average molecular weight 2000), 450 parts by mass of polyoxytetramethylene glycol (manufactured by Aldrich Corporation, weight average molecular weight 2000) and 1,4-butylene glycol (manufactured by Aldrich Corporation) ) 100 parts by mass was dissolved in 4000 parts by mass of methyl ethyl ketone (manufactured by Wako Pure Chemical Industries, Ltd., brand name: 2-butanone, purity 99%). 390 mass parts of diphenylmethane diisocyanate (made by Aldrich) was added there, and the reaction liquid was obtained. Subsequently, this reaction liquid was made to react at 70 degreeC for 60 minutes, and urethane resin was obtained. In addition, temperature control at this time was performed using the oil tank (Azone Corporation make, brand name: HOB-50D). It was 350,000 when the weight average molecular weight of the obtained urethane resin was measured by GPC.

(라디칼 중합성 화합물의 준비)(Preparation of a radically polymerizable compound)

이소시아누르산 EO 변성 디아크릴레이트(도아 고세이(주)제조, 상품명: M-215), 우레탄아크릴레이트(교에샤 가가꾸(주)제조, 상품명: AT-600) 및 2-(메트)아크릴로일옥시에틸포스페이트(교에샤 가가꾸(주)제조, 상품명: P-2M)를 준비하였다. Isocyanuric acid EO modified diacrylate (made by Toagosei Co., Ltd., brand name: M-215), urethane acrylate (made by Kyoesha Chemical Co., Ltd., brand name: AT-600), and 2- (meth) Acryloyloxyethyl phosphate (manufactured by Kyoeisha Chemical Co., Ltd., brand name: P-2M) was prepared.

(라디칼 중합 개시제의 준비) (Preparation of radical polymerization initiator)

t-헥실퍼옥시-2-에틸헥사노에이트(닛본 유시(주)제조, 상품명: 퍼헥실 O)를 준비하였다. t-hexyl peroxy-2-ethylhexanoate (made by Nippon Yushi Co., Ltd., brand name: perhexyl O) was prepared.

(안정 라디칼 화합물의 준비)(Preparation of Stable Radical Compound)

4-히드록시-2,2,6,6-테트라메틸피페리딘-1-옥실(TEMPOL, 아사히 덴까 고교(주)제조, 상품명: LA7-RD), 4-아세트아미드-2,2,6,6-테트라메틸피페리딘-1-옥실(TEMPOL-NHAc, 도쿄 가세이 고교(주)제조), 2,2,6,6-테트라메틸피페리딘-1-옥실(TEMPO, 와코 쥰야쿠 고교(주)제조)을 준비하였다. 4-hydroxy-2,2,6,6-tetramethylpiperidine-1-oxyl (TEMPOL, manufactured by Asahi Denka Kogyo Co., Ltd., trade name: LA7-RD), 4-acetamide-2,2,6 , 6-tetramethylpiperidine-1-oxyl (TEMPOL-NHAc, Tokyo Kasei Kogyo Co., Ltd.), 2,2,6,6-tetramethylpiperidine-1-oxyl (TEMPO, Wako Pure Chemical Industries, Ltd.) (Manufacture) was prepared.

(도전성 입자의 제조)(Production of conductive particles)

폴리스티렌 입자의 표면 상에 두께 0.2 ㎛가 되도록 니켈을 포함하는 층을 설치하고, 추가로 이 니켈을 포함하는 층의 표면 상에 두께 0.02 ㎛가 되도록 금을 포함하는 층을 설치하였다. 이와 같이 해서 평균 입경 4 ㎛ 및 비중 2.5의 도전성 입자를 제조하였다. The layer containing nickel was provided on the surface of the polystyrene particle so that it might be set to 0.2 micrometer, and the layer containing gold so that it might become 0.02 micrometer in thickness on the surface of the layer containing this nickel was provided. Thus, electroconductive particle of average particle diameter 4micrometer and specific gravity 2.5 was manufactured.

(실시예 1)(Example 1)

상기 페녹시 수지 용액 62.5 질량부(페녹시 수지를 25 질량부 함유)에 상기우레탄 수지를 고형분으로 25 질량부, 라디칼 중합성 화합물로서 M-215를 25 질량부, AT-600을 25 질량부 및 P-2M을 5 질량부, 라디칼 중합 개시제로서 퍼헥실 O를 3 질량부, 안정 라디칼 화합물로서 TEMPOL을 0.2 질량부 배합하였다. 얻어진 용액에 상술한 도전성 입자를 배합 분산시켜서 접착제 조성물을 얻었다. 도전성 입자의 배합 비율은 접착제 조성물의 전량에 대하여 1.5 부피％였다. In 62.5 parts by mass of the phenoxy resin solution (containing 25 parts by mass of phenoxy resin), 25 parts by mass of the urethane resin as a solid content, 25 parts by mass of M-215 as a radical polymerizable compound, 25 parts by mass of AT-600 and 5 mass parts of P-2M, 3 mass parts of perhexyl O as a radical polymerization initiator, and 0.2 mass part of TEMPOL as a stable radical compound. The electroconductive particle mentioned above was compound-dispersed in the obtained solution, and the adhesive composition was obtained. The compounding ratio of electroconductive particle was 1.5 volume% with respect to whole quantity of an adhesive composition.

이어서, 얻어진 접착제 조성물을 두께 80 ㎛의 불소 수지 필름에 도공 장치(야스이 세이끼(주)제조, 상품명: SNC-S3.0)를 이용하여 도포하여 도막을 얻었다. 이어서 그 도막을 70 ℃에서 10 분간 열풍 건조를 행함으로써, 두께가 15 ㎛인 필름상 회로 접속재를 얻었다. Next, the obtained adhesive composition was apply | coated to the fluororesin film of thickness 80micrometer using a coating apparatus (Yasui Seiki Co., Ltd. make, brand name: SNC-S3.0), and obtained the coating film. Subsequently, hot air drying was performed for 10 minutes at 70 degreeC on the coating film, and the film-form circuit connection material of 15 micrometers in thickness was obtained.

(실시예 2)(Example 2)

안정 라디칼 화합물로서, TEMPOL 0.2 질량부 대신에 TEMPOL-NHAc 0.2 질량부를 배합한 것 이외에는, 실시예 1과 동일하게 하여 필름상 회로 접속재를 얻었다. As a stable radical compound, the film-form circuit connection material was obtained like Example 1 except having mix | blended 0.2 mass part of TEMPOL-NHAc instead of 0.2 mass part of TEMPOL.

(실시예 3) (Example 3)

안정 라디칼 화합물로서, TEMPOL 0.2 질량부 대신에 TEMPO 0.2 질량부를 배합한 것 이외에는, 실시예 1과 동일하게 하여 필름상 회로 접속재를 얻었다. As a stable radical compound, the film-form circuit connection material was obtained like Example 1 except having mix | blended TEMPO0.2 mass part instead of 0.2 mass part of TEMPOL.

(실시예 4) (Example 4)

안정 라디칼 화합물인 TEMPOL을 0.2 질량부 대신에 0.05 질량부 배합한 것 이외에는, 실시예 1과 동일하게 하여 필름상 회로 접속재를 얻었다. Except having mix | blended 0.05 mass parts of TEMPOL which is a stable radical compound, it carried out similarly to Example 1, and obtained the film-form circuit connection material.

(비교예 1)(Comparative Example 1)

안정 라디칼 화합물인 TEMPOL을 배합하지 않는 것 이외에는 실시예 1과 동일하게 하여 필름상 회로 접속재를 얻었다. A film-form circuit connection material was obtained like Example 1 except not mix | blending TEMPOL which is a stable radical compound.

상기 실시예 및 비교예에서 얻어진 접착제 조성물의 각 성분의 배합비를 하기 표 1에 나타낸다. The compounding ratio of each component of the adhesive composition obtained by the said Example and comparative example is shown in following Table 1.

Figure 112008034955873-PCT00005
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〔ESR 측정〕[ESR measurement]

얻어진 필름상 회로 접속재를 전자 천칭(METLLER사 제조, 상품명: UMX2)으로 70 mg 취하고, 클로로포름(와코 쥰야쿠 고교(주)제조, 특급 시약, 순도 98 ％) 1 ㎖가 수용되어 있는 유리제의 용기 내에 첨가하여 교반하였다. 이와 같이 해서 필름상 회로 접속재를 클로로포름에 용해시킨 용액을 얻었다. 이어서, 이 용액을 여과지(정량 여과지 N0.5C, 아드벤틱 도요(주)제조)를 이용하여 여과하고, 접착제 성분을 함유하는 여과액을 얻었다. 70 mg of the obtained film-form circuit connection material was taken with the electronic balance (MELLER make, brand name: UMX2), and the glass container which 1 ml of chloroform (made by Wako Pure Chemical Industries, Ltd., express reagent, purity 98%) is accommodated. It was added and stirred. Thus, the solution which melt | dissolved the film-form circuit connection material in chloroform was obtained. Next, this solution was filtered using filter paper (quantitative filter paper N0.5C, manufactured by Adventic Toyo Co., Ltd.) to obtain a filtrate containing an adhesive component.

이 여과액을 질소 버블링으로 탈기한 후, ESR 편평셀에 넣고, ESR 장치 ESP350(BRUKER사 제조), 마이크로파 주파수 카운터 HP5351B(HEWLETT PACKARD사 제조), 가우스미터 ER035M(BRUKER사 제조) 및 원통형 TM100 캐비티를 이용하여 접착제 성분의 ESR을 측정하고, g값을 얻었다. 이 때의 ESR 측정 조건은 중심 자장 3490 G 부근, 자장 소인 범위 200 G, 변조 100 kHz, 1 G, 마이크로파 9.8 GHz, 1 mW, 소인 시간 83.886 s×4 times, 시상수 327.68 ms, 25 ℃로 하였다. After degassing this filtrate by nitrogen bubbling, it puts into ESR flat cell, ESR apparatus ESP350 (made by BRUKER), microwave frequency counter HP5351B (made by HEWLETT PACKARD), Gaussian ER035M (made by BRUKER), and cylindrical TM 100 The ESR of the adhesive component was measured using the cavity and g value was obtained. ESR measurement conditions at this time were set to be around 3490 G of the central magnetic field, 200 G of the magnetic field sweep range, modulation 100 kHz, 1 G, microwave 9.8 GHz, 1 mW, sweep time 83.886 s × 4 times, time constant 327.68 ms, and 25 ° C.

또한, 표준 물질로서 농도를 알고 있는 4-히드록시-2,2,6,6-테트라메틸피페리딘-1-옥실을 표준 시료로 했을 때의 신호 강도와의 비교에 의해서 스핀 밀도의 정량을 행하였다. 이상과 같이 하여 얻어진 결과를 하기 표 2에 나타낸다. In addition, the quantification of the spin density by comparison with the signal intensity when 4-hydroxy-2,2,6,6-tetramethylpiperidine-1-oxyl having a concentration as a standard substance is used as a standard sample It was done. The results obtained as described above are shown in Table 2 below.

Figure 112008034955873-PCT00006
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실시예 1 내지 3의 접착제 성분은 ESR 측정에서 2.0000 내지 2.0100의 g값을 갖는 시그널이 얻어졌다. 한편, 비교예 1의 접착제 성분에서는 ESR 측정에서 시그널이 관측되지 않았다. The adhesive components of Examples 1 to 3 obtained signals having a g value of 2.0000 to 2.0100 in the ESR measurement. On the other hand, in the adhesive component of Comparative Example 1, no signal was observed in the ESR measurement.

〔회로 부재의 접속 구조의 제조〕[Production of connection structure of circuit member]

우선, 라인폭 25 ㎛, 피치 50 ㎛ 및 두께 18 ㎛의 구리 회로 배선을 500개 갖는 연성 회로판(FPC 기판)과, 0.2 ㎛의 산화인듐(ITO)의 박층을 전체면에 형성한 유리 기판(ITO 기판, 두께 1.1 mm, 표면 저항 20 Ω/□)을 준비하였다. 이어서, 이들 FPC 기판과 ITO 기판 사이에, 상술한 바와 같이 하여 얻어진 필름상 회로 접속재를 배치하였다. 그리고, 열압착 장치(가열 방식: 콘스탄트히트형, 도레이 엔지니어링 가부시끼가이샤제)를 이용하여 소정의 온도, 3 MPa의 조건하, 이들의 적층 방향으로 10 초간의 가열 가압을 행하였다. 이와 같이 해서 폭 2 mm에 걸쳐 FPC 기판과 ITO 기판을 회로 접속 재료의 경화물에 의해 전기적으로 접속한 회로 부재의 접속 구조를 제조하였다. 또한, 상기 소정 온도는 160 ℃, 180 ℃ 및 200 ℃의 3가지 패턴을 채용하였다. First, a flexible circuit board (FPC substrate) having 500 copper circuit wirings having a line width of 25 μm, a pitch of 50 μm, and a thickness of 18 μm, and a glass substrate (ITO) in which a thin layer of 0.2 μm of indium oxide (ITO) was formed on the entire surface A substrate, a thickness of 1.1 mm and a surface resistance of 20 Ω / □) were prepared. Next, the film-form circuit connection material obtained as mentioned above was arrange | positioned between these FPC boards and an ITO board | substrate. Then, using a thermocompression bonding apparatus (heating method: constant heat type, manufactured by Toray Engineering Co., Ltd.), heating and pressing were performed for 10 seconds in the lamination direction under a predetermined temperature and 3 MPa. Thus, the connection structure of the circuit member which electrically connected the FPC board | substrate and the ITO board | substrate with the hardened | cured material of a circuit connection material over 2 mm width was manufactured. In addition, the said predetermined temperature employ | adopted three patterns of 160 degreeC, 180 degreeC, and 200 degreeC.

〔접속 저항의 측정〕[Measurement of connection resistance]

얻어진 회로 부재의 접속 구조에서의 회로간의 접속 저항을 (1) 접착 직후 및 (2) 접착 후 80 ℃, 95 ％ RH의 고온 고습조 중에서 120 시간 동안 내습 시험을 행한 후, 멀티 미터(어드밴티스트사 제조, 상품명: TR6848)로 측정하였다. 또한,저항값은 인접하는 회로간의 저항 150점의 평균(x+3σ)으로 나타내었다. 결과를 하기 표 3에 나타낸다. The connection resistance between circuits in the connection structure of the obtained circuit member was measured immediately after (1) adhesion and after (2) adhesion in a high temperature and high humidity bath at 80 ° C. and 95% RH for 120 hours. Make, trade name: TR6848). In addition, the resistance value was represented by the average (x + 3σ) of 150 points of resistance between adjacent circuits. The results are shown in Table 3 below.

〔접착 강도의 측정〕[Measurement of Adhesive Strength]

얻어진 회로 부재의 접속 구조에서의 회로 사이의 접착 강도를 (1) 접착 직후, 및 (2) 접착 후 80 ℃, 95 ％ RH의 고온 고습조 중에서 120 시간 동안 내습 시험을 행한 후, JIS-Z0237에 준하여 90도 박리법으로 측정하여 평가하였다. 여기서 접착 강도의 측정 장치는 텐시론 UTM-4(박리 속도 50 mm/분, 25 ℃, 도요 볼드윈사 제조)를 사용하였다. 결과를 표 3에 나타낸다. The adhesion strength between the circuits in the connection structure of the obtained circuit member was measured immediately after (1) adhesion and (2) after the moisture resistance test was carried out for 120 hours in a high temperature and high humidity bath at 80 ° C. and 95% RH after adhesion. Was evaluated by 90 degree peeling method. As the measuring device for the adhesive strength, Tenshiron UTM-4 (peel rate 50 mm / min, 25 ° C, manufactured by Toyo Baldwin) was used. The results are shown in Table 3.

Figure 112008034955873-PCT00007
Figure 112008034955873-PCT00007

실시예 1 내지 4의 필름상 회로 접속재를 이용한 경우, 각 가열 온도에서 접착 직후 및 내습 시험 후의 접속 저항이 변동이 적은 값을 나타내고, 광역의 가열 온도에 대하여 양호한 전기 특성을 나타내었다. When the film-form circuit connection material of Examples 1-4 was used, the connection resistance immediately after adhesion | attachment and after a moisture proof test at each heating temperature showed the value with little fluctuation | variation, and showed favorable electrical characteristic with respect to the heating temperature of a wide area.

이에 대하여, 비교예 1의 필름상 회로 접속재를 이용한 경우, 가열 온도가 높아짐에 따라서 대폭 접속 저항이 상승하였다. 내습 시험 후, 추가로 더욱 접속 저항이 상승하였다. On the other hand, when the film-form circuit connection material of the comparative example 1 was used, the connection resistance drastically increased as heating temperature became high. After the moisture resistance test, the connection resistance further increased.

본 발명에 따르면 저온에서 충분히 신속히 경화 처리를 행할 수 있고, 또한 경화 처리를 행할 때의 공정 마진이 넓으며, 충분히 안정적인 특성(접착 강도나 접속 저항)을 갖는 접착제 조성물, 및 그것을 이용한 회로 접속 재료, 회로 부재의 접속 구조 및 반도체 장치를 제공할 수 있다. ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the adhesive composition which can harden | cure quickly at low temperature, and has a wide process margin at the time of hardening process, and has a sufficiently stable characteristic (adhesive strength or connection resistance), and a circuit connection material using the same, The connection structure of a circuit member and a semiconductor device can be provided.

Claims (12)

열가소성 수지, 라디칼 중합성 화합물 및 라디칼 중합 개시제를 포함하는 접착제 성분을 함유하는 접착제 조성물이며, 상기 접착제 성분이 25 ℃에서의 ESR 측정에서 시그널을 갖는 접착제 조성물. An adhesive composition containing an adhesive component comprising a thermoplastic resin, a radically polymerizable compound and a radical polymerization initiator, wherein the adhesive component has a signal at ESR measurement at 25 ° C. 제1항에 있어서, 상기 접착제 성분의 상기 ESR 측정에서의 g값이 2.0000 내지 2.0100인 접착제 조성물. The adhesive composition of Claim 1 whose g value in the said ESR measurement of the said adhesive component is 2.0000-2.0100. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 접착제 성분은 안정 라디칼 화합물을 추가로 포함하는 접착제 조성물. The adhesive composition of claim 1 or 2, wherein the adhesive component further comprises a stable radical compound. 제3항에 있어서, 상기 안정 라디칼 화합물이 니트록시드 화합물인 접착제 조성물. The adhesive composition according to claim 3, wherein the stable radical compound is a nitroxide compound. 제3항 또는 제4항에 있어서, 상기 열가소성 수지 100 질량부에 대하여 상기 라디칼 중합성 화합물 50 내지 250 질량부, 상기 라디칼 중합 개시제 0.05 내지 30 질량부 및 상기 안정 라디칼 화합물 0.01 내지 10 질량부를 함유하는 접착제 조성물. 5 to 250 parts by mass of the radically polymerizable compound, 0.05 to 30 parts by mass of the radical polymerization initiator and 0.01 to 10 parts by mass of the stable radical compound according to claim 3 or 4 with respect to 100 parts by mass of the thermoplastic resin. Adhesive composition. 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서, 도전성 입자를 추가로 함유하는 접착제 조성물.The adhesive composition of any one of Claims 1-5 which further contains electroconductive particle. 제6항에 있어서, 상기 열가소성 수지 100 질량부에 대하여, 상기 도전성 입자를 0.5 내지 30 질량부 함유하는 접착제 조성물. The adhesive composition of Claim 6 containing 0.5-30 mass parts of said electroconductive particles with respect to 100 mass parts of said thermoplastic resins. 대향하는 회로 전극끼리 전기적으로 접속하기 위한 회로 접속 재료이며, 제1항 내지 제7항 중 어느 한 항에 기재된 접착제 조성물을 함유하는 회로 접속 재료.It is a circuit connection material for electrically connecting the circuit electrodes which oppose, The circuit connection material containing the adhesive composition of any one of Claims 1-7. 제1항 내지 제7항 중 어느 한 항에 기재된 접착제 조성물을 필름상으로 형성하여 이루어지는 필름상 접착제. The film adhesive formed by forming the adhesive composition of any one of Claims 1-7 into a film form. 제8항에 기재된 회로 접속 재료를 필름상으로 형성하여 이루어지는 필름상 회로 접속재. The film-form circuit connection material formed by forming the circuit connection material of Claim 8 into a film form. 제1 회로 기판의 주요면 상에 제1 회로 전극이 형성된 제1 회로 부재, A first circuit member having a first circuit electrode formed on a main surface of the first circuit board, 제2 회로 기판의 주요면 상에 제2 회로 전극이 형성된 제2 회로 부재, 및 A second circuit member having a second circuit electrode formed on a main surface of the second circuit board, and 상기 제1 회로 기판의 주요면과 상기 제2 회로 기판의 주요면 사이에 설치되고, 상기 제1 회로 전극과 상기 제2 회로 전극을 대향 배치시킨 상태에서 전기적으로 접속하는 회로 접속 부재를 구비하며, It is provided between the main surface of the said 1st circuit board and the main surface of a said 2nd circuit board, and is provided with the circuit connection member electrically connected in the state which the said 1st circuit electrode and the said 2nd circuit electrode arrange | positioned opposingly, 상기 회로 접속 부재는 제8항에 기재된 회로 접속 재료의 경화물인 회로 부재의 접속 구조. The said circuit connection member is a connection structure of the circuit member of the hardened | cured material of the circuit connection material of Claim 8. 반도체 소자, Semiconductor device, 상기 반도체 소자를 탑재하는 기판, 및A substrate on which the semiconductor element is mounted; and 상기 반도체 소자 및 상기 기판 사이에 설치되고, 상기 반도체 소자 및 상기 기판을 전기적으로 접속하는 반도체 소자 접속 부재를 구비하며, It is provided between the said semiconductor element and the said board | substrate, Comprising: The semiconductor element connection member which electrically connects the said semiconductor element and the said board | substrate is provided, 상기 반도체 소자 접속 부재는 제1항 내지 제7항 중 어느 한 항에 기재된 접착제 조성물의 경화물인 반도체 장치.The said semiconductor element connection member is a semiconductor device which is the hardened | cured material of the adhesive composition of any one of Claims 1-7.
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