KR20080062183A - 발광 표시장치의 제조장치 및 제조방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 합착되는 패널 내부압력을 감소시켜 패널의 불량을 방지할 수 있는 발광 표시장치의 제조장치 및 제조방법에 관한 것이다.
본 발명에 따른 발광 표시장치의 제조장치는 제 1 및 제 2 기판을 대향 합착하기 위한 진공챔버와, 상기 진공챔버에 설치되어 상기 제 1 기판이 로딩되는 하부 척과; 상기 하부 척에 대향되도록 상기 진공챔버에 설치되어 상기 제 2 기판이 로딩되는 상부 척과; 상기 진공챔버 내부를 진공 상태를 만드는 진공펌프와; 상기 제 1 및 제 2 기판의 가합착시 상기 진공챔버 내부에 가열된 가스를 공급하는 가스 공급부를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
이러한 구성에 의하여 본 발명은 고온으로 가열된 가스를 발광 표시패널 내부에 충진된 상태로 합착함으로써 합착된 발광 표시패널이 상온에 노출되더라도 내부의 압력 감소로 인한 패널 불량을 방지할 수 있다.
DOD, 발광 표시장치, 합착, 불활성 기체

Description

발광 표시장치의 제조장치 및 제조방법{APPARATUS AND METHOD FOR FABRICATING LIGHT EMITTING DISPLAY DEVICE}
도 1은 종래의 발광 표시장치를 나타내는 단면도.
도 2는 본 발명의 실시 예에 따른 발광 표시장치의 제조장치를 개략적으로 나타내는 도면.
도 3은 본 발명의 실시 예에 따른 발광 표시장치의 제조방법을 단계적으로 나타내는 순서도.
도 4a 내지 도 4e는 본 발명의 실시 예에 따른 발광 표시장치의 제조방법을 나타낸 공정도.
< 도면의 주요 부분에 대한 부호설명 >
30 : 상부 척 40 : 하부 척
50 : 진공챔버 60 : 가스 공급부
70 : 벤트부 80 : 고진공 펌프
100 : 제 1 기판 200 : 제 2 기판
300 : 실재
본 발명은 발광 표시장치에 관한 것으로, 특히 합착되는 패널 내부압력을 감소시켜 패널의 불량을 방지할 수 있는 발광 표시장치의 제조장치 및 제조 방법에 관한 것이다.
최근 다양한 정보를 화면으로 구현해 주는 다양한 표시장치들 중 종이와 같이 박막화가 가능한 발광 표시장치(Light Emitting Display Device)가 주목 받고 있다. 발광 표시장치는 전극 사이의 얇은 발광층을 이용한 자발광 소자로 액정 표시장치와 비교하여 저소비전력, 박형, 자발광 등의 장점을 갖고 있다.
이러한 발광 표시장치는 화소들이 매트릭스 형태로 배열되어 화상을 표시하게 되고, 각 서브 화소는 발광 셀과 그 발광 셀을 독립적으로 구동하는 구동부를 구비한다.
발광 셀은 구동부와 접속된 화소 전극 및 그라운드와 접속된 공통 음극과, 화소 전극과 공통 음극 사이에 형성된 발광소자로 구성된다.
구동부는 스캔 신호가 공급되는 게이트 라인과, 비디오 데이터 신호가 공급되는 데이터 라인 및 공통 구동전원이 공급되는 전원 라인 사이에 접속된 2개의 트랜지스터와 하나의 스토리지 커패시터로 구성되어 발광 셀의 화소 전극을 구동한다.
이렇게 형성된 구동부와 발광부는 진공 챔버 내부에서 두 기판이 대향하여 실재와 함께 합착된 인캡슐레이션(Encapsulation) 구조로 그 기판을 통해 빛을 방출한다.
이렇게, 발광부와 구동부가 각각 다른 기판에 형성된 발광 표시장치는 기판 합착시 상온 상태의 불활성 가스를 사용하여 기판을 합착하면 초기 내부의 압력은 약 30 ~ 40 Torr이다.
그러나, 종래의 기술에 따른 발광 표시장치는 도 1에 도시된 바와 같이, 고온 고습 테스트 이후에 발광 표시장치의 내부 압력이 100Torr 이상으로 증가하게 된다. 이때, 실재(7)가 형성된 상하기판(1,2)의 테두리는 컨택 전극(6)에 의해 구동부(5)와 발광부(4)가 접속되지만, 기판(1,2)의 중앙부는 내부 압력에 의해 컨택 전극(6)이 구동부(5)에 접촉되지 않아 불량이 발생하는 문제점이 있다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로, 합착되는 패널 내부압력을 감소시켜 패널의 불량을 방지할 수 있는 발광 표시장치의 제조장치 및 제조방법을 제공하는데 그 목적이 있다.
상기와 같은 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명의 실시 예에 따른 발광 표시장치의 제조장치는 제 1 및 제 2 기판을 대향 합착하기 위한 진공챔버와, 상기 진공챔버에 설치되어 상기 제 1 기판이 로딩되는 하부 척과; 상기 하부 척에 대향되도록 상기 진공챔버에 설치되어 상기 제 2 기판이 로딩되는 상부 척과; 상기 진공챔버 내부를 진공 상태를 만드는 진공펌프와; 상기 제 1 및 제 2 기판의 가합착시 상기 진공챔버 내부에 가열된 가스를 공급하는 가스 공급부를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
상기 발광 표시장치의 제조장치는 상기 진공챔버를 관통하여 상기 상부 척에 접속되는 복수의 가스 공급관과, 상기 상부 척에 형성되어 상기 가스 공급관 각각이 연결되는 복수의 가스 공급홀을 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
상기 가합착시 상기 진공챔버의 내부 온도는 50℃ ~ 80℃로 유지되는 것을 특징으로 한다.
상기 가열된 가스는 질소(N2) 및 불활성 가스 중 어느 하나이고, 상기 가열된 가스의 온도는 50℃ ~ 200℃로 가열된 것을 특징으로 한다.
상기 발광 표시장치의 제조장치는 상기 진공챔버를 벤트시키기 위한 벤트부를 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
상기 가합착된 제 1 및 제 2 기판은 상기 진공챔버의 벤트에 의해 가압되어 합착되는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 실시 예에 따른 발광 표시장치의 제조방법은 진공챔버에 설치된 하부 척에 제 1 기판을 로딩시키는 단계와; 상기 하부 척에 대향되도록 상기 진공챔버에 설치된 상부 척에 제 2 기판을 로딩시키는 단계와; 상기 제 1 기판에 상기 제 2 기판을 낙하시킴과 동시에 상기 진공챔버 내부에 가열된 가스를 공급하는 단계와; 상기 제 1 및 제 2 기판을 합착하는 단계를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 한다.
상기 제 1 및 제 2 기판을 합착하는 단계는 상기 제 1 및 제 2 기판 사이의 공간에 상기 가열된 가스가 충진되도록 가합착하는 단계와, 상기 진공챔버를 벤트 시켜 상기 가열된 가스가 충진된 상기 제 1 및 제 2 기판을 합착하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 다른 실시 예에 따른 발광 표시장치의 제조방법은 진공챔버에 제 1 기판과 제 2 기판을 대향하도록 로딩시키는 제 1 단계는, 상기 제 1 및 제 2 기판 사이에 공간에 가열된 가스가 충진되도록 상기 제 1 및 제 2 기판을 가합착하는 제 2 단계와, 상기 가합착된 제 1 및 제 2 기판을 합착하는 제 3 단계를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
상기 제 2 단계는 상기 제 1 및 제 2 기판 중 어느 하나를 다른 하나로 자유 낙하시킴과 동시에 상기 진공챔버에 상기 가열된 가스를 공급하여 상기 제 1 및 제 2 기판 사이에 공간에 가열된 가스를 충진시키는 것을 특징으로 한다.
상기 제 3 단계는 상기 진공챔버를 벤트시켜 상기 가합착된 제 1 및 제 2 기판을 합착하는 것을 특징으로 한다.
상기 가합착시 상기 진공챔버의 내부 온도는 50℃ ~ 80℃로 유지되는 것을 특징으로 한다.
상기 가열된 가스는 질소(N2) 및 불활성 가스 중 어느 하나이고, 상기 가열된 가스의 온도는 50℃ ~ 200℃로 가열된 것을 특징으로 한다.
이하, 첨부된 도면 및 실시 예를 통해 본 발명의 실시 예를 구체적으로 살펴보면 다음과 같다.
도 2는 본 발명의 실시 예에 따른 발광 표시장치의 제조장치를 개략적으로 나타내는 도면이다.
도 2를 참조하면, 본 발명의 실시 예에 따른 발광 표시장치의 제조장치는 진공챔버(50)와, 진공챔버(50)에 설치되어 제 1 기판(100)이 로딩되는 하부 척(40)과; 하부 척(40)에 대향되도록 진공챔버(50)에 설치되어 제 2 기판(200)이 로딩되는 상부 척(20)과; 진공챔버(50) 내부를 진공 상태를 만드는 진공펌프(80)와; 제 1 및 제 2 기판(100, 200)의 가합착시 진공챔버(50) 내부에 가열된 가스를 공급하는 가스 공급부(60)와; 진공챔버(50) 내부를 벤트(Vent)시키기 위한 벤트부(70)를 포함하여 구성된다.
제 1 기판(100)은 절연 기판에 형성된 다수의 신호 라인과 박막 트랜지스터를 포함하는 구동부(110)와 실재(300)를 포함한다.
제 2 기판(200)은 제 1 기판(100)의 구동부(110)와 접속되도록 형성된 컨택 전극(220)과, 제 1 및 제 2 전극 사이에 형성된 발광층을 포함하는 발광부(210)를 포함한다.
진공챔버(50)는 진공 분위기에서 제 1 및 제 2 기판(100, 200)을 합착하기 위하여 제 1 기판(100)이 로딩되는 하부 척(30)과, 제 2 기판(200)이 로딩되는 상부 척(40)을 포함하여 구성된다. 가합착 공정시 진공챔버(50) 내부의 압력은 1×10-3이상의 고진공 상태가 된다.
상부 척(30)은 진공챔버(50)의 내부 상부에 설치되어 로딩되는 제 2 기판(200)을 흡착한다. 이때, 상부 척(30)은 진공 흡착방식 또는 정전 흡착방식에 의해 제 2 기판(200)을 흡착하기 위한 흡착장치(미도시)를 포함하여 구성된다. 여기서, 상부 척(30)은 흡착된 제 2 기판(200)을 자유 낙하시키기 위한 흡착 해제수단(미도시)을 포함하여 구성될 수 있다.
하부 척(40)은 상부 척(30)과 대향되도록 진공챔버(50)의 내부 하부에 설치되어 로딩되는 제 1 기판(200)을 흡착한다. 이때, 하부 척(40)은 진공 흡착방식 또는 정전 흡착방식에 의해 제 1 기판(100)을 흡착하기 위한 흡착장치(미도시)를 포함하여 구성된다. 여기서, 하부 척(30)은 제 1 및 제 2 기판(100, 200)의 위치를 정렬하기 위한 위치 정렬수단을 포함하여 구성될 수 있다.
고진공 펌프(80)는 고진공 펌프관(82a)를 통해 진공챔버(50)의 내부를 공기 또는 가스를 흡입하여 외부로 배출시킴으로써 진공챔버(50)의 내부를 고진공 상태를 만든다. 이때, 고진공 펌프관(82a)에는 제어부(미도시)에 의해 개폐되는 제 1 밸브(82b)가 설치된다.
가스 공급부(60)는 복수의 가스 공급관(62a, 64a)을 통해 가열된 가스를 진공챔버(50)의 내부로 공급한다. 이때, 복수의 가스 공급관(62a, 64b)은 진공챔버(50)의 상부를 관통하여 상부 척(40)에 연결된다. 그리고, 상부 척(40)에는 복수의 가스 공급관(62a, 64a)에 연결되는 복수의 가스 공급홀이 형성된다. 이에 따라, 가스 공급부(60)로부터의 가열된 가스는 상부 척(40)에 형성된 복수의 가스 공급홀을 통해 진공챔버(50)로 공급된다. 이때, 가열된 가스는 질소(N2) 및 불활성 가스 등이 될 수 있으며, 50℃ ~ 200℃ 온도로 가열된다.
한편, 복수의 가스 공급관(62a, 64a) 각각에는 제어부에 의해 개폐되는 가스밸브(62b, 64b)가 설치된다.
벤트부(70)는 벤트관(72a)을 통해 진공챔버(50)의 내부로 벤트 가스를 공급하여 진공챔버(50)의 내부를 벤트시킴으로써 가합착된 제 1 및 제 2 기판(100, 200) 사이의 압력과 진공챔버(50) 내부의 압력 차이에 의해 제 1 및 제 2 기판(100, 200)이 합착되도록 한다. 즉, 벤트부(70)는 진공챔버(50)의 내부압력을 고진공 상태보다 낮은 저진공 상태로 만듦으로써 압력차에 의해 합착된 제 1 및 제 2 기판(100, 200)을 가압한다.
한편, 벤트관(72a)에는 제어부에 의해 개폐되는 제 2 밸브(72b)가 설치된다.
도 3은 본 발명의 실시 예에 따른 발광 표시장치의 제조방법을 단계적으로 나타내는 순서도이고, 도 4a 내지 도 4e는 본 발명의 실시 예에 따른 발광 표시장치의 제조방법을 나타낸 공정도이다.
도 3을 도 4a 내지 도 4e와 결부하여 본 발명의 실시 예에 따른 발광 표시장치의 제조방법을 단계적으로 설명하면 다음과 같다.
도 4a에 도시된 바와 같이, 적어도 하나의 트랜지스터와 커패시터를 포함하는 복수의 구동부가 형성된 제 1 기판(100)을 하부 척(40)에 흡착시킨 후, 각 구동부에 의해 발광되는 복수의 발광부가 형성된 제 2 기판(200)을 상부 척(30)에 흡착시킨다. 제 1 단계 (S1)
이어, 도 4b에 도시된 바와 같이, 진공챔버(50)와 고진공 펌프(30)를 연결되는 고진공 펌프관(82a)에 설치된 고진공 밸브(82b)를 개방시켜는 진공챔버(50) 내 부의 가스들을 외부로 배출시켜 진공압을 발생시킨다. 이에 따라, 진공챔버(50) 내부의 압력은 1×10-3 이상의 고진공 상태가 됨과 아울러 진공챔버(50) 내부의 온도는 50℃ ~ 90℃가 되도록 한다. 제 2 단계 (S2)
이어, 하부 척(40) 및 상부 척(30) 각각에 흡착된 제 1 및 제 2 기판(100, 200)을 정렬되도록 위치보정한다. 제 3 단계(S3)
이어, 도 4c에 도시된 바와 같이, 상부 척(30)을 하강시켜 하부 척(40)에 정렬된 제 1 기판(100)과 일정한 갭을 가지도록 제 1 기판(100) 상에 제 2 기판(200)을 위치시킨 후, 상부 척(30)의 흡착력을 제거하여 상부 척(30)에서 제 2 기판(200)을 제 1 기판(100)으로 자유 낙하시켜 제 1 및 제 2 기판(100, 200)을 가합착한다. 제 2 기판(200)을 자유 낙하시킴과 동시에 가스 공급부(60)는 가스 공급관(62a, 64a)을 통해 진공챔버(50)의 내부로 가열된 가스를 공급함으로써 제 1 및 제 2 기판(100, 200) 사이의 갭으로 가열된 가스가 공급되도록 한다. 이때, 가열된 가스는 상부 척(30)에 형성된 가스 공급홀을 통해 진공챔버(50)의 내부로 공급된다. 그리고, 가열된 가스는 50℃ ~ 200℃ 정도의 온도를 갖는다. 제 4 단계(S4)
이어, 도 4d에 도시된 바와 같이, 가합착된 제 1 및 제 2 기판(100, 200)을 합착하기 위하여, 벤트부(70)는 벤트관(72a)을 통해 진공챔버(50)에 벤트가스를 공급하여 진공챔버(50)를 벤트시킨다. 따라서, 제 1 및 제 2 기판(100, 200)의 내부 압력과 진공챔버(50)의 내부 압력차에 의해 제 1 및 제 2 기판(100, 200)은 가압되 어 보다 견고하게 합착된다. 제 5 단계(S5)
이어, 도 4e에 도시된 바와 같이, 가열된 가스가 주입되어 합착된 제 1 및 제 2 기판(100, 200)(이하, "발광 표시패널"이라 함)은 진공챔버(50)의 외부로 언로딩되어 상온 상태로 노출될 경우 가열된 가스의 이동도가 떨어지면서 초기 내부압이 감소하므로 합착상태를 안정적으로 유지한다. 이에 따라, 가열된 가스가 주입된 발광 표시패널의 초기 내부압력은 패널 내부의 부피(V)가 일정하므로 이상 기체의 상태 방정식인 PV = nRT에서 온도(T)의 변화에 따라 기체 압력(P)이 변하게 된다.
예를 들어, 100℃로 가열된 질소(N2)가스로 합착한 기체의 압력과 부피를 P1, V1라 하면, P1V1 = nR(273+100)이고, 상온(25℃)에서의 발광 표시패널 내부의 질소(N2) 가스의 온도가 100℃에서 25℃로 변화한 경우에 압력과 부피를 P2, V2라 하면, P2V2 = nR(273+25)가 된다.
따라서, 발광 표시패널의 내부 부피는 일정하므로 V1 = V2이 되고, P2 ≒ 0.8P1이 되어 패널 내부의 압력이 약 20%정도 감소하게 된다. 이와 같은 방법으로 제조된 발광 표시패널은 고온 고습의 환경에서도 신뢰성을 향상시키고 패널 불량을 방지할 수 있다.
이러한 본 발명의 실시 예에 따른 발광 표시장치의 제조장치는 고온으로 가열된 불활성 가스를 발광 표시패널 내부로 주입하더라도 발광 표시패널에 데미지를 가하는 등의 영향을 미치지 않는다. 구체적으로, 패널의 열용량은 기판의 비열, 질량 및 온도를 모두 곱한 값이므로, 기판의 비열이 0.1㎉/㎏℃이고, 밀도가 2.54g/㎝3, 부피가 109.6㎝3인 경우 약 1.53㎉가 된다. 이때, 패널의 제 1 및 제 2 기판(100,200)으로 이루지므로 패널의 총 열용량은 3.06㎉이다. 이와 같이, 3.06㎉의 열용량을 발생시키기 위해서는 82ℓ의 가스가 필요하다. 즉, 질소(N2) 가스의 비열이 0.297㎉/g℃이므로 100℃의 온도로 3.06㎉의 열용량을 발생시키기 위해서는 82ℓ의 가스가 필요하게 된다. 하지만, 일반적인 진공챔버(50)의 부피가 70ℓ이기 때문에 열 전달효율을 감안하지 않더라도 가열된 가스가 진공챔버(50)의 내부에 차면 대기압 상태가 되어 패널을 일정온도 이상 상승시킬 수 없게 된다.
결과적으로, 본 발명의 실시 예에 따른 발광 표시장치의 제조장치 및 제조방법은 고온으로 가열된 불활성 가스를 발광 표시패널 내부로 주입하더라도 발광 표시패널에 데미지를 가하는 등의 영향을 미치지 않는다.
한편, 이상에서 설명한 본 발명은 상술한 실시 예 및 첨부된 도면에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능하다는 것이 본 발명이 속하는 기술분야에서 종래의 지식을 가진 자에게 있어 명백할 것이다.
상술한 바와 같이 본 발명의 실시 예에 따른 발광 표시장치의 제조장치 및 제조방법은 고온으로 가열된 가스를 발광 표시패널 내부에 충진된 상태로 합착함으로써 합착된 발광 표시패널이 상온에 노출되더라도 내부의 압력 감소로 인한 패널 불량을 방지할 수 있다.

Claims (15)

  1. 제 1 및 제 2 기판을 대향 합착하기 위한 진공챔버와,
    상기 진공챔버에 설치되어 상기 제 1 기판이 로딩되는 하부 척과;
    상기 하부 척에 대향되도록 상기 진공챔버에 설치되어 상기 제 2 기판이 로딩되는 상부 척과;
    상기 진공챔버 내부를 진공 상태를 만드는 진공펌프와;
    상기 제 1 및 제 2 기판의 가합착시 상기 진공챔버 내부에 가열된 가스를 공급하는 가스 공급부를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 발광 표시장치의 제조장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 진공챔버를 관통하여 상기 상부 척에 접속되는 복수의 가스 공급관과,
    상기 상부 척에 형성되어 상기 가스 공급관 각각이 연결되는 복수의 가스 공급홀을 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 발광 표시장치의 제조장치.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 가합착시 상기 진공챔버의 내부 온도는 50℃ ~ 80℃로 유지되는 것을 특징으로 하는 발광 표시장치의 제조장치
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 가열된 가스는 질소(N2) 및 불활성 가스 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 발광 표시장치의 제조장치.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 가열된 가스의 온도는 50℃ ~ 200℃로 가열된 것을 특징으로 하는 발광 표시장치의 제조장치.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 진공챔버를 벤트시키기 위한 벤트부를 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 발광 표시장치의 제조장치.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 가합착된 제 1 및 제 2 기판은 상기 진공챔버의 벤트에 의해 가압되어 합착되는 것을 특징으로 하는 발광 표시장치의 제조장치.
  8. 진공챔버에 설치된 하부 척에 제 1 기판을 로딩시키는 단계와;
    상기 하부 척에 대향되도록 상기 진공챔버에 설치된 상부 척에 제 2 기판을 로딩시키는 단계와;
    상기 제 1 기판에 상기 제 2 기판을 낙하시킴과 동시에 상기 진공챔버 내부에 가열된 가스를 공급하는 단계와;
    상기 제 1 및 제 2 기판을 합착하는 단계를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 발광 표시장치의 제조방법.
  9. 제 8 항에 있어서,
    상기 제 1 및 제 2 기판을 합착하는 단계는,
    상기 제 1 및 제 2 기판 사이의 공간에 상기 가열된 가스가 충진되도록 가합착하는 단계와,
    상기 진공챔버를 벤트시켜 상기 가열된 가스가 충진된 상기 제 1 및 제 2 기판을 합착하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 발광 표시장치의 제조방법.
  10. 진공챔버에 제 1 기판과 제 2 기판을 대향하도록 로딩시키는 제 1 단계는,
    상기 제 1 및 제 2 기판 사이에 공간에 가열된 가스가 충진되도록 상기 제 1 및 제 2 기판을 가합착하는 제 2 단계와,
    상기 가합착된 제 1 및 제 2 기판을 합착하는 제 3 단계를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 발광 표시장치의 제조방법.
  11. 제 10 항에 있어서,
    상기 제 2 단계는 상기 제 1 및 제 2 기판 중 어느 하나를 다른 하나로 자유 낙하시킴과 동시에 상기 진공챔버에 상기 가열된 가스를 공급하여 상기 제 1 및 제 2 기판 사이에 공간에 가열된 가스를 충진시키는 것을 특징으로 하는 발광 표시장치의 제조방법.
  12. 제 10 항에 있어서,
    상기 제 3 단계는 상기 진공챔버를 벤트시켜 상기 가합착된 제 1 및 제 2 기판을 합착하는 것을 특징으로 하는 발광 표시장치의 제조방법.
  13. 제 9 항 또는 제 10 항에 있어서,
    상기 가합착시 상기 진공챔버의 내부 온도는 50℃ ~ 80℃로 유지되는 것을 특징으로 하는 발광 표시장치의 제조방법.
  14. 제 8 항 또는 제 10 항에 있어서,
    상기 가열된 가스는 질소(N2) 및 불활성 가스 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 발광 표시장치의 제조방법.
  15. 제 14 항에 있어서,
    상기 가열된 가스의 온도는 50℃ ~ 200℃로 가열된 것을 특징으로 하는 발광 표시장치의 제조방법.
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