KR20080061752A - 항온항습 보관용 챔버 조립체 - Google Patents

항온항습 보관용 챔버 조립체 Download PDF

Info

Publication number
KR20080061752A
KR20080061752A KR1020060136810A KR20060136810A KR20080061752A KR 20080061752 A KR20080061752 A KR 20080061752A KR 1020060136810 A KR1020060136810 A KR 1020060136810A KR 20060136810 A KR20060136810 A KR 20060136810A KR 20080061752 A KR20080061752 A KR 20080061752A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
chamber
chambers
door
storage object
humidity
Prior art date
Application number
KR1020060136810A
Other languages
English (en)
Inventor
배진수
김재찬
이진우
이승원
황영호
김순태
Original Assignee
엘지전자 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 엘지전자 주식회사 filed Critical 엘지전자 주식회사
Priority to KR1020060136810A priority Critical patent/KR20080061752A/ko
Publication of KR20080061752A publication Critical patent/KR20080061752A/ko

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
    • H01L21/67155—Apparatus for manufacturing or treating in a plurality of work-stations
    • H01L21/67207—Apparatus for manufacturing or treating in a plurality of work-stations comprising a chamber adapted to a particular process
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
    • H01L21/6735—Closed carriers
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67739—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations into and out of processing chamber
    • H01L21/67742—Mechanical parts of transfer devices

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Robotics (AREA)
  • Warehouses Or Storage Devices (AREA)

Abstract

본 발명은 보관용 챔버 조립체에 관한 것으로, 소정의 온도 또는 습도로 유지된 상태에서 보관대상물을 보관하여야 하는 챔버 조립체에 있어서, 보관된 보관대상물의 입출에 따른 온도 및 습도의 변화를 최소화할 수 있는 챔버 조립체에 관한 것이다.
본 발명에 따른 항온항습 보관용 챔버 조립체는, 각각 보관대상물을 수용하기 위한 내부 공간이 형성되고 상기 보관대상물을 수납하거나 인출하기 위한 챔버도어를 구비하며, 상기 챔버도어가 동일한 방향을 향하도록 일렬로 적층된 복수의 챔버와, 상기 복수의 챔버과 각각 연결되고 상기 복수의 챔버의 내부의 온도 및 습도를 제어하는 공기조화수단과, 상기 복수의 챔버의 상기 챔버도어 측 외벽을 따라 상하방향으로 설치된 가이드 레일과, 일단이 상기 가이드 레일에 구속되어 상기 가이드 레일을 따라 승강 작동되고 상기 보관대상물을 수용하며 정면도어와 측면도어가 형성된 이동컨테이너와, 상기 이동컨테이너를 승강 구동하는 구동수단과, 상기 이동컨테이너와 상기 챔버 사이에 상기 보관대상물을 상호 이송하는 이송수단을 포함하여 이루어진다.
항온항습, 보관, 챔버.

Description

항온항습 보관용 챔버 조립체{CHAMBER ASSEMBLY FOR STORING SAMPLE IN SETTLED TEMPERATURE OR HUMIDITY}
도 1은 일반적인 항온항습 보관용 챔버의 일례를 도시한 사시도,
도 2는 본 발명에 따른 항온항습 보관용 챔버 조립체의 일 실시예를 도시한 사시도,
도 3a 내지 도 3c는 각각 도 2의 A-A 선에서 바라본 단면도,
도 4는 도 2의 실시예의 배면도,
도 5는 본 발명에 따른 항온항습 보관용 챔버 조립체의 다른 실시예를 도시한 사시도,
도 6은 도 5의 B-B 선에서 바라본 단면도,
도 7은 도 5의 C-C 선에서 바라본 단면도이다.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
110, 210: 챔버 111: 챔버도어
120: 공기조화수단 121: 덕트
130: 가이드 레일 131: 톱니
140: 이동컨테이너 141: 정면도어
142, 143: 측면도어 150: 구동수단
151: 모터 152: 피니언
161, 163: 제1 푸시바 162: 제2 푸시바
170: 트레이
본 발명은 보관용 챔버 조립체에 관한 것으로, 소정의 온도 또는 습도로 유지된 상태에서 보관대상물을 보관하여야 하는 챔버 조립체에 있어서, 보관된 보관대상물의 입출에 따른 온도 및 습도의 변화를 최소화할 수 있는 챔버 조립체에 관한 것이다.
직접회로 패키지(IC package), 인쇄회로기판(Printed Circuit Board: PCB), 웨이퍼(wafer), 전하결합 소자(Charge Coupled Device: CCD), 수정진동자(Quartz Vibrator)와 같은 정밀 전자부품들은 외부의 환경, 예컨대 온도, 습도, 직사광선, 정전기 등의 영향에 의해 작동불능이 될 가능성이 상존한다. 정밀 전자부품을 보관하기 위해 밀폐된 공간 내에 수용하였을 때, 가장 문제되는 요인은 특히 습도이다. 따라서 정밀 전자부품과 같은 보관대상물을 장기간 작동가능한 상태로 보관하기 위해서는 습도를 최소한으로 억제하여야 할 필요가 있다. 마이크로 필름이나 엑스레이 필름과 같은 보관대상물도 마찬가지이다.
한편, 생명공학, 물리학, 화학, 의학 실험실용 시약 또는 시료는 적절한 습도 및 온도 환경 하에서만 장기간 보존이 가능하다. 따라서 이런 경우에는 습도를 최소한으로 억제하는 것이 아니라, 적절한 수준으로 유지해 주어야 하며, 이에 더하여 온도를 저온으로 유지해 주어야 한다. 특히 생명공학용 시료 중 생명체를 포함한 시료의 경우, 장기간 보존 용도 뿐만이 아니라 배양, 증식을 위해 보관용 챔버가 필요할 때가 있다. 이 경우 보관용 챔버는 단순히 저온을 유지하는 것이 아니라, 배양 또는 증식에 적절한 온도로 유지해야할 필요가 있다. 이를 위하여 외부와 차단된 내부 공간을 가지며, 이 내부 공간을 소정의 온도 또는 습도로 유지하는 항온항습 보관용 챔버가 사용되고 있다.
도 1은 일반적인 전자부품 보관용 챔버 조립체의 일례를 도시한 사시도이다.
한정된 바닥면적에 대해 보다 많은 수의 챔버(10)를 배치하기 위해, 각 챔버(10)는 일렬로 적층되어 있으며, 내부에는 전자부품을 수용하기 위한 내부 공간이 형성되어 있다. 또한 전자부품의 수납 및 인출을 위해 정면에 여닫이식 도어(11)가 구비되어 있다. 이 도어(11)는 챔버(10) 내에 전자부품의 보관여부 및 보관된 전자부품의 식별을 위해 투명 유리창(12)이 형성되어 있는 것이 일반적이다. 또한 전자부품의 보관을 위해서는 습기 제거가 중요하므로, 각 챔버(10)는 제습기와 연결되어 있다.
그러나 이와 같은 챔버 조립체는 정면의 도어(11)가 여닫이식으로 되어 있어 전자부품을 수용하거나 인출하기 위해 도어(11)를 여닫으면, 챔버(10) 내부의 공기가 외부 공기와 교환되는 양이 많아진다. 따라서 도어(11)를 한번 여닫은 뒤에는 챔버(10) 내부의 공기가 목표하는 습도를 갖기까지 상당한 시간을 요하게 된다. 또한, 한정된 바닥면적 내에서 보다 많은 수의 챔버를 확보하기 위해 챔버(10)를 적층하고는 있으나, 최상층의 챔버(10)에 전자부품을 수용하거나 인출하기 위해서는 사용자가 직접 접근할 수 있어야 하므로, 적층되는 챔버의 수에 제약이 따르게 된다. 만일 사용자가 직접 접근할 수 없는 높이로 챔버들이 적층되어 있다면, 사다리 등 보조적인 접근 수단이 필요해진다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 보관대상물이 보관된 챔버 내부의 온도 또는 습도 변화를 최소화할 수 있는 항온항습 보관용 챔버 조립체를 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명의 다른 목적은, 한정된 바닥면적에 대해서도 많은 수의 챔버를 적층할 수 있으며, 보관대상물의 보관 및 인출이 용이한 항온항습 보관용 챔버 조립체를 제공하는 데에 있다.
본 발명의 그 밖의 목적, 특정한 장점들 및 신규한 특징들은 첨부된 도면들과 연관된 이하의 상세한 설명과 바람직한 실시예들로부터 더욱 분명해질 것이다.
본 발명에 따른 항온항습 보관용 챔버 조립체는, 각각 보관대상물을 수용하기 위한 내부 공간이 형성되고 상기 보관대상물을 수납하거나 인출하기 위한 챔버도어를 구비하며, 상기 챔버도어가 동일한 방향을 향하도록 일렬로 적층된 복수의 챔버와, 상기 복수의 챔버과 각각 연결되고 상기 복수의 챔버의 내부의 온도 및 습 도를 제어하는 공기조화수단과, 상기 복수의 챔버의 상기 챔버도어 측 외벽을 따라 상하방향으로 설치된 가이드 레일과, 일단이 상기 가이드 레일에 구속되어 상기 가이드 레일을 따라 승강 작동되고 상기 보관대상물을 수용하며 정면도어와 측면도어가 형성된 이동컨테이너와, 상기 이동컨테이너를 승강 구동하는 구동수단과, 상기 이동컨테이너와 상기 챔버 사이에 상기 보관대상물을 상호 이송하는 이송수단을 포함하여 이루어진다.
본 발명에 따른 항온항습 보관용 챔버 조립체에 있어서, 상기 이송수단은, 상기 보관대상물을 하방에서 지지하며 상기 이동컨테이너에 수용된 트레이와, 상기 이동컨테이너 내부에 설치되고 상기 트레이를 상기 복수의 챔버 중 어느 하나로 밀어내는 제1 푸시바와, 상기 복수의 챔버 각각의 내부에 설치되고 상기 트레이를 상기 이동컨테이너로 밀어내는 제2 푸시바를 포함하는 것이 바람직하다. 또는 상기 이송수단은, 상기 이동컨테이너 내부에 설치된 로봇 매니퓰레이터를 포함할 수도 있다.
또한 본 발명에 따른 항온항습 보관용 챔버 조립체에 있어서, 상기 챔버의 챔버도어와, 상기 이동컨테이너의 정면도어 및 측면도어는 미닫이문인 것이 바람직하다.
그리고 본 발명에 따른 항온항습 보관용 챔버 조립체에 있어서, 상기 공기조화수단은, 상기 이동컨테이너와 가요성 관으로 연결되어 상기 이동컨테이너 내부의 온도 및 습도를 제어하는 것을 특징으로 한다.
또한 본 발명에 따른 항온항습 보관용 챔버 조립체에 있어서, 상기 가이드 레일은 길이방향을 따라 톱니가 형성되고, 상기 컨테이너 구동수단은, 상기 이동컨테이너에 설치되고 상기 가이드 레일의 톱니에 맞물려 회전하는 피니언과, 상기 피니언을 회전구동하는 모터를 더 포함하는 것이 바람직하다.
본 발명에 따른 항온항습 보관용 챔버 조립체는, 각각 보관대상물을 수용하기 위한 내부 공간이 형성되고 상기 보관대상물을 수납하거나 인출하기 위한 도어를 구비하며, 상기 도어가 동일한 방향을 향하도록 일렬로 적층된 복수의 챔버를 포함하는 제1열 챔버유닛과, 상기 제1열 챔버유닛의 복수의 챔버의 상기 도어측 외벽을 따라 상하방향으로 설치된 제1 가이드 레일과, 각각 보관대상물을 수용하기 위한 내부 공간이 형성되고 상기 보관대상물을 수납하거나 인출하기 위한 도어를 구비하며, 상기 도어가 상기 제1열 챔버유닛의 각 도어와 마주보도록 일렬로 적층된 복수의 챔버를 포함하고, 상기 제1열 챔버유닛과 이격되어 배치된 제2열 챔버유닛과, 상기 제2열 챔버유닛의 복수의 챔버의 상기 도어측 외벽을 따라 상하방향으로 설치된 제2 가이드 레일과, 상기 제1열 및 제2열 챔버유닛의 복수의 챔버와 각각 연결되고 상기 복수의 챔버의 내부의 온도 및 습도를 제어하는 공기조화수단과, 양단이 각각 상기 제1 및 제2 가이드 레일에 구속되어 승강 작동되고 상기 보관대상물을 수용하는 이동컨테이너와, 상기 이동컨테이너와 상기 제1열 및 제2열 챔버유닛의 복수의 챔버 사이에 상기 보관대상물을 상호 이송하는 이송수단을 포함하여 이루어질 수 있다.
이하에서는 첨부의 도면을 참조로 본 발명에 따른 항온항습 보관용 챔버 조 립체의 바람직한 실시예를 상세히 설명한다.
도 2는 본 발명에 따른 항온항습 보관용 챔버 조립체의 일 실시예를 도시한 사시도이고, 도 3a 내지 도 3c는 각각 도 2의 A-A 선에서 바라본 단면도로서, 도 2의 실시예의 각 작동상태를 도시한 단면도이고, 도 4는 도 2의 실시예의 배면도 일부이다.
챔버(110)는 각각 내부 공간이 형성되어 있으며, 보관 대상인 보관대상물을 수납한다. 또한 보관대상물을 수납하거나 인출하기 위한 챔버도어(111)가 구비되어 있다. 이 챔버도어(111)는 챔버(110) 내의 공기가 외부와 교환되는 것을 최대한 방지할 수 있도록 미닫이식 도어인 것이 바람직하다. 챔버(110)는 복수 개가 마련되어, 일렬로 적층된다. 이때 각 챔버(110)의 챔버도어(111)가 동일한 방향을 향하도록 한다.
공기조화수단(120)은 온도 및 습도 제어를 위한 통상의 공기조화장치로서 에어컨 또는 제습기를 사용할 수 있다. 공기조화수단(120)은 덕트(120)를 통해 각 챔버(110)와 연결되며, 이 덕트(120)를 통해 온도 및 습도가 사전 설정된 값으로 조정된 공기를 각 챔버(110)에 순환시킨다. 그러나 공기조화수단(120)은 반드시 에어컨이나 제습기일 필요는 없으며, 보관대상물이 요구하는 조건에 따라 선택될 수 있다. 예컨대, 반도체와 같이 실온에 보관하면 충분하지만, 습기의 영향을 많이 받는 보관대상물의 경우, 온도 제어는 필요하지 않으며, 습도는 가능한 한 낮게 유지되는 것이 바람직하다. 이와 같은 경우에는 각 챔버(110)에 제습제를 마련하고, 주기적으로 제습제를 교체 또는 재생시켜주는 것으로써 습도 조절이 가능하다. 따라서 이 경우 공기조화수단(120)은 각 챔버에 배치된 제습제로 구성되며, 간단한 제습제의 배치로 복잡한 제습기나 연결용 덕트의 구성을 대체하는 것이 가능하다.
가이드 레일(130)은 일렬로 적층된 복수의 챔버(110)의 외벽을 따라 상하방향으로 설치되어 있다. 가이드 레일(130)에는 길이방향을 따라 톱니(131)가 형성된 것이 바람직하다.
이동컨테이너(140)는 보관대상물(50)을 수용하기 위한 내부 공간이 형성되어 있으며, 보관대상물(50)을 수납하거나 인출하기 위한 정면도어(141)와, 각 챔버(110)로 보관대상물(50)을 이송하거나, 각 챔버(110)로부터 보관대상물(50)을 이송받기 위한 측면도어(142)가 형성되어 있다. 이동컨테이너(140)는 일단이 가이드 레일(130)에 구속되어, 가이드 레일(130)의 길이방향을 따라 가동된다. 즉, 이동컨테이너(140)는 가이드 레일(130)을 따라 승강 작동되며, 적층된 복수의 챔버(110) 모두에 대해 개별적으로 접근할 수 있다.
이동컨테이너(140)를 승강 구동하기 위한 구동수단(150)은 도 4에 도시된 바와 같이, 이동컨테이너(140)에 설치된 모터(151)와, 모터(151)의 회전축에 설치된 피니언(152)을 포함한다. 피니언(152)은 가이드 레일(130)에 형성된 톱니(131)와 맞물려서 랙 앤 피니언(rack and pinion) 시스템을 구현하며, 피니언(152)의 회전에 따라 이동컨테이너(140)가 승강된다. 그러나 구동수단(150)은 이동컨테이너(140)이 가이드 레일(130)을 따라 승강하도록 하는 것이면 어떤 형태이든 무방하므로, 반드시 랙 앤 피니언일 필요는 없으며, 볼 스크류(ball screw)나 리니어 모터 또는 공압실린더로 구성될 수도 있다.
이송수단은 이동컨테이너(140)와 각 챔버(110) 사이에서 보관대상물(50)을 운반한다. 즉, 이동컨테이너(140)에 수용된 보관대상물을 복수의 챔버 중 임의의 어느 한 챔버로 옮겨 수용시키거나, 반대로 각 챔버에 수용되어 있던 보관대상물을 이동컨테이너(140)로 옮겨서 수용시킨다. 전자의 이송은 보관대상물(50)을 챔버에 보관할 때 수행되고, 후자의 이송은 챔버에 보관되어 있던 보관대상물을 챔버로부터 인출할 때 수행된다. 이송수단은 이동컨테이너(140)에 수용되며, 보관대상물(50)을 하방에서 지지하는 트레이(170)와, 이동컨테이너(140)에 설치되어 트레이(170)를 밀어내도록 신축작동하는 제1 푸시바(161)와, 각 챔버(110)에 설치된 제2 푸시바(162)를 포함하여 구성된다. 제1 푸시바(161)는 이동컨테이너(140)에 수용된 트레이(170)를 각 챔버(110)로 밀어서 진입시키고, 제2 푸시바(162)는 각 챔버(110)에 수용된 트레이(170)를 이동컨테이너(140)로 밀어서 진입시키기 위한 것으로, 각각 공압실린더로 구성하는 것이 바람직하다. 한편, 이송수단은 로봇 매니퓰레이터로 구성하는 것도 가능하다. 또한 이송수단은, 이동컨테이너(140)의 바닥면 및 각 챔버(110)의 바닥면에 설치되고 트레이(170) 또는 보관대상물(50)을 지지하는 회전 롤러와, 이 회전 롤러를 각각 회전구동하는 모터들로 구성될 수도 있다. 나아가 이동컨테이너(140)에는 공압실린더로 된 푸시바를 설치하고, 각 챔버에는 회전 롤러를 설치하는 구성도 가능하다.
보관대상물(50)을 챔버(110)에 보관하거나, 챔버로부터 인출하는 과정을 상세히 설명하면 다음과 같다.
먼저 이동컨테이너(140)의 정면도어(141)를 개방하고, 이동컨테이너(140) 내 부에 수용된 트레이(170) 위에 보관대상물(50)을 올려 놓는다. 그런 다음 정면도어(141)를 닫고, 이 보관대상물(50)을 보관하기 위해 미리 정해진 챔버(110)의 챔버도어(111)와 이동컨테이너(140)의 측면도어(142)가 일치하도록 이동컨테이너(140)를 승강시킨다. 챔버도어(111)와 이동컨테이너(140)의 측면도어(142)가 일치하도록 이동컨테이너(140)의 위치가 조정되면, 도 3a에 도시된 바와 같이, 이동컨테이너(140)의 측면도어(142)와 챔버(110)의 챔버도어(111)를 개방한다. 이 상태에서 도 3b에 도시된 바와 같이, 이동컨테이너(140) 내부에 설치된 제1 푸시바(161)가 신장하여 트레이(170)를 밀어낸다. 트레이(170)가 챔버(110) 내부로 완전히 수용되면, 제1 푸시바(161)는 단축되고, 이동컨테이너(140)의 측면도어(142)와 챔버(110)의 챔버도어(111)를 모두 닫는다. 이와 같은 과정을 거쳐 도 3c에 도시된 바와 같이, 보관대상물(50)을 트레이(170)에 수용한 채로 임의의 챔버(110)에 보관할 수 있게 된다. 보관대상물(50)의 수용이 완료되면 이동컨테이너(140)는 미리 지정된 위치 즉, 다음 보관대상물(50)을 수용할 수 있는 준비위치로 복귀시킨다.
챔버(110)에 보관된 보관대상물(50)을 인출하기 위해서는, 먼저 이동컨테이너(140)를 보관대상물(50)이 보관된 챔버(110)까지 이동시킨다. 이때 이동컨테이너(140)의 내부에는 트레이가 없는 상태이다. 이동컨테이너(140)가 보관대상물(50)이 보관된 챔버(110)로 이동하며, 이동컨테이너(140)의 측면도어(142)와 챔버(110)의 챔버도어(111)가 열리고, 챔버(110)에 설치된 제2 푸시바(162)가 신장되어 챔버(110)의 트레이(170)를 밀어낸다. 이 트레이(170)가 이동컨테이너(140)로 이동을 완료하며, 제2 푸시바(162)는 단축되고, 챔버도어(111) 및 측면도어(142)가 닫힌다. 그러면 이동컨테이너(140)에는 트레이(170)에 지지된 보관대상물(50)이 수용된 상태가 된다. 이동컨테이너(140)를 최초의 위치로 복귀시키고, 정면도어(141)를 개방한 뒤 보관대상물(50)을 꺼낸다. 보관대상물(50)의 수납 또는 인출과정에서, 보관대상물(50)을 보관할 챔버 또는 인출할 챔버의 위치를 신속히 파악하고, 그에 따른 이동컨테이너(140)의 목표 위치를 설정하기 용이하도록, 각 챔버(110)의 위치, 보관대상물이 수용되어 있는지 여부, 보관된 보관대상물의 목록 등을 색인화(indexing) 해두는 것이 바람직하다.
이상에서 알 수 있는 바와 같이, 트레이(170)는 최소한 챔버(110)의 수만큼 구비되어야 하며, 보관대상물(50)을 보관할 때에는 복수의 챔버 중 적어도 하나는 트레이가 수용되어 있지 않아야 하며, 보관대상물(50)을 인출할 때에는 이동컨테이너(140)에 트레이(170)가 수용되어 있지 않아야 한다.
한편, 이송수단으로써 로봇 매니퓰레이터가 구비된 경우에는 로봇 매니퓰레이터가 보관대상물(50)을 직접 파지 또는 지지하여 챔버(110)와 이동컨테이너(140) 사이에서 이동시키는 것이 가능하므로 트레이(170) 없이 보관대상물을 이송할 수 있다. 그러나, 보관대상물의 종류가 다양한 만큼 크기나 형상도 다양하므로, 로봇 매니퓰레이터가 구비된 경우에도 트레이(170)를 추가로 구비하는 것이 바람직하다.
도 5는 본 발명에 따른 항온항습 보관용 챔버 조립체의 다른 실시예를 도시한 사시도이고, 도 6는 도 5의 B-B 선에서 바라본 단면도이며, 도 7은 도 5의 C-C 선에서 바라본 단면도이다. 설명의 중복을 피하기 위해 앞선 실시예와 동일한 구성에 대해 동일한 도면부호를 부여하며, 상세한 설명은 생략한다.
앞선 실시예와의 차이점은 복수의 챔버(110)가 2열로 배치되어 각각 제1 챔버열(100) 및 제2 챔버열(200)을 이루고 있다는 점이다. 즉, 복수의 챔버(110, 210)는 소정의 간격을 두고 2열로 적층되어 제1 챔버열(100) 및 제2 챔버열(200)을 이룬다. 2열로 적층된 각 챔버열(100, 200)의 서로 마주보는 측면에 각각 제1 가이드 레일(130)과 제2 가이드 레일이 설치되어 있으며, 제2 가이드 레일은 제1 가이드 레일(130)과 대칭적인 형상이다. 제2 챔버열(200)의 각 챔버(210)의 챔버도어(211)는 제1 챔버열(100)의 각 챔버(110)의 챔버도어(111)와 마주보도록 배치된다.
이동컨테이너(140)는 제1 가이드 레일(130) 및 제2 가이드 레일에 양단이 각각 구속되어 승강 구동된다. 복수의 챔버(110, 210)가 2열로 적층되어 있으므로, 좁은 장소에서 보다 많은 보관장소를 확보할 수 있다. 또한 이동컨테이너(140)는 양단이 각각 제1 가이드 레일(130) 및 제2 가이드 레일에 지지되므로, 앞선 실시예에 비해 구조적인 강도 및 내구성이 향상된다. 다만, 이동컨테이너(140)는 제1 챔버열(100) 및 제2 챔버열(210)의 각 챔버(110, 210)와 각각 보관대상물(50)을 주고받을 수 있도록, 양측면에 하나씩, 도합 2개의 측면도어(142, 143)를 구비하고 있어야 한다. 또한, 이송수단은 이동컨테이너(140)에 수용된 보관대상물(50)을 양측으로 선택적으로 이송할 수 있어야 한다. 이를 위해 제1 푸시바(163)는 도 6 및 도 7에 도시된 바와 같이, 이동컨테이너(140)의 후방측에 구비된 회동축(163a)을 중심으로 회동하는 막대 형상으로 구비된다. 제1 푸시바(163)가 회동축(163a)을 중심으로 회동함에 따라 보관대상물(50)이 각 챔버(110, 210) 중 선택된 어느 한 챔버로 밀려 들어가는데, 제1 푸시바(163)의 회동각도에 따라 보관 대상물(50)이 제1 챔버열(100)의 어느 한 챔버(110)로 수용될 지, 제2 챔버열(200)의 어느 한 챔버(210)로 수용될 지가 결정된다. 도 6은 제1 챔버열(100)의 어느 한 챔버(110)로 보관 대상물(50)이 수용되는 일 작동상태를 도시한 것이다. 각 챔버(110, 210)에는 각각 공압실린더로 구성된 제2 푸시바(162, 262)가 구비되어, 보관대상물을 챔버로부터 이동컨테이너(140)로 옮길 때 신장되도록 한다. 보관대상물(50)이 정형적인 형상과 크기를 가진 경우, 그리고 마찰에 의한 손상의 우려가 없는 경우에는 앞선 실시예와 같은 트레이(170)의 필요성이 감소하므로, 본 실시예에서는 생략하고 있다. 또한 앞선 실시예와 마찬가지로, 이송수단은 로봇 매니퓰레이터 구성될 수 있으며, 로봇 매니퓰레이터가 보관 대상물(50)을 직접 파지하여 이동컨테이너(140)와 각 챔버(110, 210) 사이에 옮겨서 수용할 수 있는 경우, 앞선 실시예의 트레이(170)는 물론, 제2 푸시바(162, 262)도 생략될 수 있다.
본 발명에 따른 항온항습 보관용 챔버 조립체는, 보관대상물(50)의 보관 및 인출에 있어서, 이동컨테이너(140)를 먼저 거치도록 함으로써, 챔버(110, 210) 내부의 공기가 외부와 교환되는 것을 최소한으로 억제할 수 있다. 즉, 보관대상물(50)을 보관할 때 이동컨테이너(140)의 정면도어(141)를 통해 수용한 다음, 이동컨테이너(140)의 정면도어(141)를 닫은 채로 보관할 챔버(110, 210)로 접근시키며, 챔버(110, 210)의 챔버도어(111, 211)와 이동컨테이너(140)의 측면도어를 개방한 채로 보관대상물(50)을 챔버(110, 210) 내로 수용한다. 이때 이동컨테이너(140)와 챔버(110, 210)는 최대한 밀착된 상태를 유지하도록 하여 외부 공기가 개입되지 않도록 한다. 보관대상물(50)의 수용이 완료된 뒤 챔버도어(111, 211)를 폐쇄하면, 보관대상물(50)을 수용하는 과정에서 챔버(110, 210) 내의 공기가 외부와 교환되는 양은 최대 이동컨테이너(140)의 내부 용적으로 억제된다. 각 도어들이 미닫이문으로 되어 있는 경우, 공기를 강제순환시킬 수 있는 요인은 보관대상물(50)의 이동 및 제1 푸시바(161) 또는 로봇 매니퓰레이터(163)의 동작 밖에 없으므로, 실질적으로 공기 교환량은 이동컨테이너(140)의 내부 용적의 일부분에 지나지 않게 된다. 이는 보관대상물(50)을 챔버(110, 210)로부터 인출하는 과정에서도 동일하므로, 보관대상물(50)의 보관 또는 인출 과정에서 챔버(110, 210) 내부의 공기가 외부 공기와 교환되는 양을 최소한도로 유지할 수 있다. 나아가 별도의 가요성 관을 통해 이동컨테이너(140)에 공기조화수단(120)을 연결하고, 이동컨테이너(140)의 정면도어(141)가 폐쇄된 상태에서만 이동컨테이너(140) 내부 공기의 온도 및 습도를 제어하도록 하면, 챔버(110) 내부 공기의 온도 및 습도 변화를 더욱 더 억제할 수 있다.
앞에서 설명되고, 도면에 도시된 본 발명의 일 실시예는, 본 발명의 기술적 사상을 한정하는 것으로 해석되어서는 안 된다. 본 발명의 보호범위는 청구범위에 기재된 사항에 의하여만 제한되고, 본 발명의 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자 는 본 발명의 기술적 사상을 다양한 형태로 개량 변경하는 것이 가능하다. 따라서 이러한 개량 및 변경은 통상의 지식을 가진 자에게 자명한 것인 한 본 발명의 보호범위에 속하게 될 것이다.
이상에서 설명한 바와 같이 본 발명에 따른 항온항습 보관용 챔버 조립체는, 이동컨테이너를 구비하고, 보관대상물의 보관 또는 인출 과정에서 이동컨테이너를 거치도록 함으로써, 보관대상물의 보관 또는 인출 과정에서 챔버 내부의 공기가 외부 공기와 교환되는 양을 최소한으로 억제할 수 있다. 따라서 보관대상물을 일정한 온도 또는 습도 조건에서 보관할 수 있다.
또한 본 발명에 따른 항온항습 보관용 챔버 조립체는, 하나의 이동컨테이너가 복수의 챔버에 개별적으로 접근할 수 있도록 함으로써, 동일한 바닥면적에 대해서도 보다 많은 수의 챔버를 적층할 수 있고, 사용자가 직접 접근할 수 없는 높이로 챔버가 적층되더라도 이동컨테이너를 통해 보관대상물을 용이하게 보관 또는 인출할 수 있다.

Claims (7)

  1. 각각 보관대상물을 수용하기 위한 내부 공간이 형성되고 상기 보관대상물을 수납하거나 인출하기 위한 챔버도어를 구비하며, 상기 챔버도어가 동일한 방향을 향하도록 일렬로 적층된 복수의 챔버와,
    상기 복수의 챔버과 각각 연결되고 상기 복수의 챔버의 내부의 온도 및 습도를 제어하는 공기조화수단과,
    상기 복수의 챔버의 상기 챔버도어 측 외벽을 따라 상하방향으로 설치된 가이드 레일과,
    일단이 상기 가이드 레일에 구속되어 상기 가이드 레일을 따라 승강 작동되고 상기 보관대상물을 수용하며 정면도어와 측면도어가 형성된 이동컨테이너와,
    상기 이동컨테이너를 승강 구동하는 구동수단과,
    상기 이동컨테이너와 상기 챔버 사이에 상기 보관대상물을 상호 이송하는 이송수단을 포함하여 이루어진 항온항습 보관용 챔버 조립체.
  2. 제1항에 있어서, 상기 이송수단은,
    상기 보관대상물을 하방에서 지지하며 상기 이동컨테이너에 수용된 트레이와,
    상기 이동컨테이너 내부에 설치되고 상기 트레이를 상기 복수의 챔버 중 어느 하나로 밀어내는 제1 푸시바와,
    상기 복수의 챔버 각각의 내부에 설치되고 상기 트레이를 상기 이동컨테이너로 밀어내는 제2 푸시바를 포함하는 것을 특징으로 하는 항온항습 보관용 챔버 조립체.
  3. 제1항에 있어서, 상기 이송수단은,
    상기 이동컨테이너 내부에 설치된 로봇 매니퓰레이터를 포함하는 것을 특징으로 하는 항온항습 보관용 챔버 조립체.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 챔버의 챔버도어와, 상기 이동컨테이너의 정면도어 및 측면도어는 미닫이문인 것을 특징으로 하는 항온항습 보관용 챔버 조립체.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 공기조화수단은, 상기 이동컨테이너와 가요성 관으로 연결되어 상기 이동컨테이너 내부의 온도 및 습도를 제어하는 것을 특징으로 하는 항온항습 보관용 챔버 조립체.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 가이드 레일은 길이방향을 따라 톱니가 형성되고,
    상기 컨테이너 구동수단은,
    상기 이동컨테이너에 설치되고 상기 가이드 레일의 톱니에 맞물려 회전하는 피니언과,
    상기 피니언을 회전구동하는 모터를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 항온항습 보관용 챔버 조립체.
  7. 각각 보관대상물을 수용하기 위한 내부 공간이 형성되고 상기 보관대상물을 수납하거나 인출하기 위한 도어를 구비하며, 상기 도어가 동일한 방향을 향하도록 일렬로 적층된 복수의 챔버를 포함하는 제1열 챔버유닛과,
    상기 제1열 챔버유닛의 복수의 챔버의 상기 도어측 외벽을 따라 상하방향으로 설치된 제1 가이드 레일과,
    각각 보관대상물을 수용하기 위한 내부 공간이 형성되고 상기 보관대상물을 수납하거나 인출하기 위한 도어를 구비하며, 상기 도어가 상기 제1열 챔버유닛의 각 도어와 마주보도록 일렬로 적층된 복수의 챔버를 포함하고, 상기 제1열 챔버유닛과 이격되어 배치된 제2열 챔버유닛과,
    상기 제2열 챔버유닛의 복수의 챔버의 상기 도어측 외벽을 따라 상하방향으로 설치된 제2 가이드 레일과,
    상기 제1열 및 제2열 챔버유닛의 복수의 챔버와 각각 연결되고 상기 복수의 챔버의 내부의 온도 및 습도를 제어하는 공기조화수단과,
    양단이 각각 상기 제1 및 제2 가이드 레일에 구속되어 승강 작동되고 상기 보관대상물을 수용하는 이동컨테이너와,
    상기 이동컨테이너와 상기 제1열 및 제2열 챔버유닛의 복수의 챔버 사이에 상기 보관대상물을 상호 이송하는 이송수단을 포함하여 이루어진 항온항습 보관용 챔버 조립체.
KR1020060136810A 2006-12-28 2006-12-28 항온항습 보관용 챔버 조립체 KR20080061752A (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020060136810A KR20080061752A (ko) 2006-12-28 2006-12-28 항온항습 보관용 챔버 조립체

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020060136810A KR20080061752A (ko) 2006-12-28 2006-12-28 항온항습 보관용 챔버 조립체

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR20080061752A true KR20080061752A (ko) 2008-07-03

Family

ID=39813963

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020060136810A KR20080061752A (ko) 2006-12-28 2006-12-28 항온항습 보관용 챔버 조립체

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR20080061752A (ko)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20200085013A (ko) 2019-01-04 2020-07-14 (주)플렉시고 항온항습 챔버의 결로 방지 장치
KR102496441B1 (ko) 2022-07-18 2023-02-06 우용희 항온 항습 챔버

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20200085013A (ko) 2019-01-04 2020-07-14 (주)플렉시고 항온항습 챔버의 결로 방지 장치
KR102496441B1 (ko) 2022-07-18 2023-02-06 우용희 항온 항습 챔버

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP1975627B1 (en) Stacker for microplates
KR102550904B1 (ko) 동결 보존 장치
US8176747B2 (en) Tube picking mechanism for an automated, ultra-low temperature storage and retrieval system
JP5322819B2 (ja) サンプル管ラックの取扱方法およびその実験室システム
US7861540B2 (en) Automated storage and retrieval system for storing biological or chemical samples at ultra-low temperatures
US7214022B2 (en) Object storage device and climate-controlled cabinet
US20090026905A1 (en) Automatic storage device and climate controlled cabinet for laboratory objects
JP6147199B2 (ja) 低温保管システムおよび低温保管システム用の移送機構
JP6050026B2 (ja) ラックを移送するためのリニア移送機構を備えた試料スライドの処理装置
JP2000124301A (ja) 容器載置ユニット、容器収納装置、及び処理装置
US20020182041A1 (en) Semiconductor wafer storage kiosk
KR20110025601A (ko) 카세트 반송장치
KR20080061752A (ko) 항온항습 보관용 챔버 조립체
JP2009284810A (ja) インキュベータ
US20200108397A1 (en) Tube picking mechanism with universal picking head and cache
JP2006296296A (ja) 物品収納保管庫
JP4597244B2 (ja) インキュベータ
JP2016117570A (ja) 保管システム
JPH06255707A (ja) 処理システム
JP2000169169A (ja) 熱処理装置
JP4023589B2 (ja) 自動倉庫設備
CN109708947B (zh) 一种生物样本冻存仪
CN212954252U (zh) 一种样本盒转运桶开盖机构
CN214113393U (zh) 存储装置
CN116457289A (zh) 低温保管系统

Legal Events

Date Code Title Description
WITN Withdrawal due to no request for examination