KR20080061460A - Apparatus for fixing board with arrange function - Google Patents

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KR20080061460A
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최규원
곽창근
양선근
조동명
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(주)오엘케이
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Abstract

A substrate fixing apparatus having a substrate arranging function is provided to reduce production costs by simplifying its configuration and facilitate maintenance by installing substrate fixing units, for fixing and arranging a substrate, in four edges of a frame. A substrate fixing apparatus comprises a rectangular frame(2), plural connection frames(3) and plural substrate fixing units(4). The plural connection frames are fixed within the frame, and have plural support members(31) for supporting a substrate. The plural substrate fixing units are installed in four edges of the frame and arrange and fix the substrate. The substrate fixing unit comprises a body unit(41) and a moving cylinder(42). A mount groove(411) is formed In one side edge of the body unit. The moving cylinder is installed in the frame to move the body unit.

Description

기판 정렬기능을 갖는 기판고정장치{Apparatus for fixing Board with Arrange Function}Apparatus for fixing Board with Arrange Function

도 1은 종래의 기판고정장치를 나타낸 사시도이다.1 is a perspective view showing a conventional substrate fixing device.

도 2는 본 발명에 따른 기판 정렬기능을 갖는 기판고정장치를 나타낸 사시도이다.Figure 2 is a perspective view showing a substrate fixing apparatus having a substrate alignment function according to the present invention.

도 3은 본 발명에 따른 기판 정렬기능을 갖는 기판고정장치를 나타낸 작동상태도이다.3 is an operating state diagram showing a substrate fixing apparatus having a substrate alignment function according to the present invention.

<도면의 주요 부분에 대한 설명>Description of the main parts of the drawing

1 : 기판 정렬기능을 갖는 기판고정장치 2 : 프레임 틀1: substrate fixing device having substrate alignment function 2: frame frame

3 : 연결프레임 4 : 기판고정부3: connection frame 4: substrate fixing

31 : 지지부재 41 : 몸체부31 support member 41 body portion

42 : 이동실린더 411 : 안착홈42: moving cylinder 411: seating groove

411a : 흡착홈 412 : 수용홀411a: adsorption groove 412: receiving hole

본 발명은 기판 정렬기능을 갖는 기판고정장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 상기와 같이 구성되는 본 발명에 의한 기판 정렬기능을 갖는 기판고정장치는 프레임 틀의 사방모서리 부분에 기판을 고정,정렬시키는 기판고정부를 설치함으로써, 구성을 단순화하여 생산단가를 줄임과 아울러 유지보수가 용이한 기판 정렬기능을 갖는 기판고정장치에 관한 것이다.The present invention relates to a substrate fixing apparatus having a substrate aligning function, and more particularly, to a substrate fixing apparatus having a substrate aligning function according to the present invention configured as described above to fix and align a substrate at four corners of a frame frame. The present invention relates to a substrate fixing device having a substrate aligning function that is easy to maintain and to reduce production costs by providing a substrate fixing part.

일반적으로 FPD(flatpanel display)검사장치는 FPD계열의 기판 즉 랩톱 컴퓨터 등 휴대형 컴퓨터에 많이 사용되는 것으로, 평면 스크린 검사장치 또는 평면 표시 검사장치라고도 한다. CRT(Cathode Ray Tube) 표시 장치에 비해 얇은 것이 특징이며 많이 쓰이는 평면 표시 장치(FPD)로는 전계 발광 표시 장치(ELD), 액정 표시 장치(LCD), 플라스마 표시 패널(PDP) 등(이하 기판(GLASS))을 검사하는 장치이다.In general, FPD (flatpanel display) inspection apparatus is commonly used in portable computers, such as FPD-based substrates, such as a laptop computer, also referred to as a flat screen inspection device or a flat display inspection device. It is thinner than a CRT (Cathode Ray Tube) display device, and a commonly used flat display device (FPD) is an electroluminescent display (ELD), a liquid crystal display (LCD), a plasma display panel (PDP), or the like (hereinafter referred to as GLASS). It is a device to check)).

이러한 FPD검사 장치의 상부에 상기한 기판이 배치되어 그 기판에 대해 각종 검사가 수행되는데 이때 상기한 기판을 360˚회전시키며 검사가 이루어지게 됨으로 상기 FPD검사 장치에는 상기한 기판을 고정시키기 위한 별도의 고정장치가 설치되어야 하며, 기판을 정확한 위치에 배치시키기 위한 정렬장치가 상기한 고정장치나 FPD검사 장치에 설치되어야 한다.The substrate is placed on top of the FPD inspection apparatus and various inspections are performed on the substrate. At this time, the inspection is performed by rotating the substrate 360 °, so that the FPD inspection apparatus has a separate means for fixing the substrate. Fixtures should be installed, and alignment devices for positioning the substrate in the correct position should be installed in the fixtures or FPD inspection devices described above.

도 1은 종래의 기판 고정장치를 나타낸 사시도이다.1 is a perspective view showing a conventional substrate fixing apparatus.

도 1에 도시된 바와 같이 종래의 기판 고정장치(100)는 사각의 고정 틀(110)과 상기 고정 틀(110) 내부에 구비되며 다수개의 지지부재(130)가 마련된 다수개의 연결부(120)와 상기 고정 틀(110) 상부에 구비되어 기판을 고정시키는 것으로, 그 고정 틀(110)의 상면에 고정된 하부고정부재(150)와 그 하부고정부재(150)에 힌지결합구조로 회동되게 설치되는 상부고정부재(160)로 이루어진 기판 고정장치(140)와 상기 기판 고정장치(140)와 근접위치에 설치되고, 상기 기판을 가압하여 정렬시키는 가압부재(180)로 이루어진 정렬장치(170)를 포함하여 구성된다.As shown in FIG. 1, the conventional substrate fixing device 100 includes a plurality of connecting parts 120 provided in a rectangular fixing frame 110 and the fixing frame 110 and provided with a plurality of supporting members 130. It is provided on the fixing frame 110 to fix the substrate, the lower fixing member 150 and the lower fixing member 150 fixed to the upper surface of the fixing frame 110 is installed to be rotated in a hinged structure It includes a substrate holding device 140 made of an upper fixing member 160 and an alignment device 170 made of a pressing member 180 for pressing and aligning the substrate. It is configured by.

그러나, 상기 기판 고정장치는 상기 기판을 고정,정렬시키기 위해 고정 틀에 다수개의 고정장치와 정렬장치가 각각 분리되게 설치되어 있어 구성이 복잡해짐으로 생산단가가 상승되고 유지보수가 번거로운 문제점이 있다. 또한, 기판을 고정 틀에 배치시킨 다음 고정장치를 작동시켜 그 기판을 고정시킨 다음 정렬장치를 작동시켜 그 기판을 정렬함으로써 각각 분리된 동작을 수행하여 검사시간이 지연되는 문제점이 상존하게 된다.However, the substrate fixing device is provided with a plurality of fixing devices and alignment devices are separately installed in the fixing frame to fix and align the substrate, so that the production cost is increased and maintenance is cumbersome due to complicated configuration. In addition, there is a problem that the inspection time is delayed by placing the substrate in the fixing frame and then operating the fixing device to fix the substrate, and then aligning the substrate by aligning the substrate.

본 발명은 상기한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 프레임 틀의 사방모서리 부분에 기판을 고정,정렬시키는 기판고정부를 설치함으로써, 구성을 단순화하여 생산단가를 줄임과 아울러 유지보수가 용이하게 됨은 물론 기판의 검사시간을 단축시키는 기판 정렬기능을 갖는 기판고정장치를 제공하는데 그 목적이 있다.The present invention has been made to solve the above problems of the prior art, an object of the present invention is to install a substrate fixing part for fixing and aligning the substrate in the four corners of the frame frame, simplifying the configuration to reduce the production cost In addition, it is an object of the present invention to provide a substrate fixing apparatus having a substrate alignment function that facilitates maintenance and shortens inspection time of the substrate.

본 발명은 사각의 프레임 틀과 상기 프레임 틀의 내측에 고정되는 것으로, 기판을 지지하는 다수개의 지지부재가 구비된 다수개의 연결프레임과 상기 프레임 틀의 사방 모서리에 구비되어 상기 기판을 정렬시킴과 아울러 그 기판을 고정시키는 다수개의 기판고정부를 포함하여 구성된 것을 특징으로 한다.The present invention is fixed to the inside of the frame frame and the rectangular frame frame, a plurality of connection frames provided with a plurality of supporting members for supporting the substrate and provided at all four corners of the frame frame to align the substrate It characterized in that it comprises a plurality of substrate fixing portion for fixing the substrate.

또한, 상기 기판고정부는 일측 모서리에 안착홈이 형성된 몸체부와 상기 프레임틀에 설치되어 상기 몸체부를 이동시키는 이동실린더로 구성된 것을 특징으로 한다.In addition, the substrate fixing portion is characterized in that the body portion is formed with a seating groove formed on one side corner and the moving cylinder is installed in the frame frame to move the body portion.

또한, 상기 안착홈의 저면에는 상기 기판을 흡착,고정시키기 위하여 외부의 흡입모터와 연결된 다수개의 흡착공이 더 형성된 것을 특징으로 한다.In addition, the bottom surface of the seating groove is characterized in that a plurality of adsorption holes further connected to the suction motor of the outside in order to adsorb, fix the substrate.

또한, 상기 몸체부에는 상기 기판의 모서리가 마찰에 의해 파손되는 것을 방지하도록 상기 안착홈과 연결된 수용 홀이 더 형성된 것을 특징으로 한다.In addition, the body portion is characterized in that the receiving hole connected to the mounting groove is further formed to prevent the edge of the substrate is damaged by friction.

또한, 상기 프레임의의 사방 모서리 중 어느 한 모서리에는 한쌍의 이동실린더가 설치된 것을 특징으로 한다.In addition, one of the four corners of the frame is characterized in that a pair of moving cylinder is installed.

이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명에 따른 기판 정렬기능을 갖는 기판고정장치의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 설명한다. 이 과정에서 도면에 도시된 선들의 두께나 구성요소의 크기 등은 설명의 명료성과 편의상 과장되게 도시되어 있을 수 있다. 또한, 후술되는 용어들은 본 발명에서의 기능을 고려하여 정의된 용어들로서 이는 사용자, 운용자의 의도 또는 관례에 따라 달라질 수 있다. 그러므로, 이러한 용어들에 대한 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 내려져야 할 것이다.Hereinafter, exemplary embodiments of a substrate fixing apparatus having a substrate alignment function according to the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. In this process, the thickness of the lines or the size of the components shown in the drawings may be exaggerated for clarity and convenience of description. In addition, terms to be described below are terms defined in consideration of functions in the present invention, which may vary according to the intention or convention of a user or an operator. Therefore, definitions of these terms should be made based on the contents throughout the specification.

또한, 하기 실시예는 본 발명의 권리범위를 한정하는 것이 아니라 단지 예시 로 제시하는 것이며, 본 기술 사상을 통해 구현되는 다양한 실시예가 있을 수 있다.In addition, the following examples are not intended to limit the scope of the present invention but merely presented by way of example, and there may be various embodiments implemented through the present invention.

도 2는 본 발명에 따른 기판 정렬기능을 갖는 기판고정장치를 나타낸 사시도이며, 도 3은 본 발명에 따른 기판 정렬기능을 갖는 기판고정장치를 나타낸 작동상태도이다.Figure 2 is a perspective view showing a substrate fixing apparatus having a substrate alignment function according to the present invention, Figure 3 is an operating state diagram showing a substrate fixing apparatus having a substrate alignment function according to the present invention.

도면에 도시된 바와같이 본 발명에 따른 기판 정렬기능을 갖는 기판고정장치(1)(이하 기판고정장치)는 사각의 프레임 틀(2)과 상기 프레임 틀(2)의 내측에 고정되는 것으로, 기판(P)을 지지하는 다수개의 지지부재(31)가 구비된 다수개의 연결프레임(3)과 상기 프레임 틀(2)의 사방 모서리에 구비되어 상기 기판(P)을 정렬시킴과 아울러 그 기판(P)을 고정시키는 다수개의 기판고정부(4)를 포함하여 구성된다.As shown in the drawings, the substrate fixing apparatus 1 (hereinafter, the substrate fixing apparatus) having the substrate alignment function according to the present invention is fixed to the inside of the frame frame 2 and the frame frame 2, and the substrate A plurality of connecting frames 3 provided with a plurality of supporting members 31 for supporting (P) and four sides of the frame frame 2 are arranged to align the substrate P and the substrate P It is configured to include a plurality of substrate fixing portion (4) for fixing).

상기 프레임 틀(2)은 통상의 프레임들이 상호 연결,구성된 사각의 틀로서, 이에 이와같은 프레임 틀(2)의 재질은 철이나 합성수지 및 알루미늄 등으로 이루어진다. 상기한 프레임 틀(2)의 내부에는 도 1에 도시된 바와 같이 다수개의 연결프레임(3)이 구비된다.The frame frame (2) is a rectangular frame formed by interconnecting the usual frames, the material of such a frame frame (2) is made of iron, synthetic resin, aluminum and the like. Inside the frame frame 2 is provided with a plurality of connecting frames 3 as shown in FIG.

상기 연결프레임(3)은 전술된 상기 프레임 틀(2)의 내측에 양단부가 고정되게 설치되며 그 연결프레임(3)의 상면에는 상기 기판(P)을 지지하기 위해 다수개의 지지부재(31)가 구비되며, 그 지지부재(31)의 상부에는 고무재로 이루어진 마찰방지부재(도시생략)를 구비시켜 상기 기판(P)을 지지하도록 하는 것이 바람직하다.The connecting frame 3 is installed at both ends of the above-mentioned frame frame 2 so as to be fixed, and a plurality of supporting members 31 are provided on the upper surface of the connecting frame 3 to support the substrate P. It is preferable that the upper portion of the support member 31 is provided with a friction preventing member (not shown) made of a rubber material to support the substrate P.

상기 기판고정부(4)는 본 발명인 정렬기능을 갖는 기판고정장치(1)의 핵심적 인 요지,구성으로 이러한 기판고정부(4)는 상기한 기판(P)을 흡착,고정시킴과 아울러 그 기판(P)을 검사하기 적당한 위치로 정렬시키는 위한 것으로서, 상기한 기판고정부(4)의 구성은 정사각형 형상으로 이루어지며, 상기 기판(P)의 모서리 부분이 안착,고정되도록 일측 모서리에 안착홈(411)이 형성된 몸체부(41)와 상기 프레임틀(2)에 설치되어 상기 몸체부(41)를 이동시키는 이동실린더(42)로 구성된다.The substrate fixing portion 4 is a key element and structure of the substrate fixing apparatus 1 having the alignment function of the present invention. The substrate fixing portion 4 absorbs and fixes the substrate P as well as the substrate. (P) is for aligning to a suitable position for inspection, the configuration of the substrate fixing portion 4 is made of a square shape, the mounting groove (one side edge at one corner so that the corner portion of the substrate P is seated, fixed) 411 is formed in the body portion 41 and the moving frame 42 is installed in the frame frame 2 to move the body portion 41.

상기 몸체부(41)의 안착홈(411) 저면에는 상기 기판(P)을 흡착,고정되도록 다수개의 흡착(411a)공이 형성된다. 상기 흡착공(411a)에는 외부의 흡입모터(도시생략)와 연결호스(도시생략)로 연결되며 그 흡입모터의 구동에 의해 상기 흡착공(411a)의 상측에 상기 기판(P)의 모서리부분이 흡착,고정된다.A plurality of adsorption 411a holes are formed at the bottom of the mounting recess 411 of the body part 41 to adsorb and fix the substrate P. The suction hole 411a is connected to an external suction motor (not shown) and a connection hose (not shown), and an edge portion of the substrate P is provided on the upper side of the suction hole 411a by driving the suction motor. Adsorption and fixation.

또한, 상기 몸체부(41)에는 상기 기판(P)의 모서리가 마찰에 의해 파손되는 것을 방지하도록 수용 홀(412)이 형성된다. 즉 상기 수용 홀(412)은 상기 안착홈(411)과 연결되게 형성되는데 이는 상기 기판(P)의 모서리가 상기 안착홈(411)에 안착되는 과정에서 그 모서리가 상기 수용 홀(412)에 안내됨으로써, 그 모서리의 파손없이 상기 안착홈(411)에 안착된다.In addition, the body part 41 is provided with a receiving hole 412 to prevent the edge of the substrate (P) from being damaged by friction. That is, the receiving hole 412 is formed to be connected to the seating groove 411, which is the edge is guided to the receiving hole 412 in the process of the edge of the substrate (P) is seated in the seating groove (411) As a result, it is seated in the seating groove 411 without damaging its edge.

도 3을 참조하여 상기 정렬기능을 갖는 기판고정장치(1)의 작동상태를 설명하면 먼저, 검사가 실시될 기판(P)을 상기 프레임 틀(2)에 위치시키고 그 기판(P)의 사방모서리를 상기 프레임 틀(2)에 설치된 몸체부(41)의 안착홈(411)에 배치,고정시킨다. 다음 외부의 흡입모터(도시생략)를 구동시켜 그 안착홈(411)에 구비된 흡착홈(411a)에 상기 기판(P)의 사방모서리가 흡착,고정되게 함과 아울러 상기 프레임 틀(2)에 설치된 이동 실린더(42)를 구동시켜 그 기판(P)을 상기 프레임 틀(2) 정 중앙에 정렬시키게 된다.Referring to FIG. 3, the operation state of the substrate fixing apparatus 1 having the alignment function will be described. First, the substrate P to be inspected is placed in the frame frame 2 and the four corners of the substrate P are positioned. Is placed and fixed in the seating groove 411 of the body portion 41 installed in the frame frame (2). Next, an external suction motor (not shown) is driven to allow the four corner edges of the substrate P to be sucked and fixed to the suction groove 411 a provided in the seating groove 411, and to the frame frame 2. The installed moving cylinder 42 is driven to align the substrate P with the center of the frame frame 2.

여기서, 프레임 틀(2) 사방모서리에 설치된 몸체부(41) 중 어느 하나의 몸체부(41)를 임의로 기준으로 설정한 상태에서 마주보게 배치된 몸체부(41)들과 대각선상에 배치된 몸체부(41)를 이동실린더(42)로 이동시킴으로써, 상기 임의의 몸체부(42)를 기준으로 상기 기판(P)이 정렬되도록 하는 것도 가능하다. 이때, 상기 프레임의(2)의 사방 모서리 중 어느 한 모서리에는 한쌍의 이동실린더(42)를 설치하여 기준이 되는 상기 몸체부(41)를 기준으로 기판(P)이 정렬되게 하는 것이 바람직하다.Here, the body disposed on the diagonal with the body portion 41 disposed to face each other in a state of arbitrarily setting any one of the body portion 41 of the body portion 41 installed on the corner frame of the frame frame (2) By moving the portion 41 to the moving cylinder 42, it is also possible to align the substrate P with respect to the arbitrary body portion 42. In this case, it is preferable to install a pair of moving cylinders 42 at any one of the four corners of the frame 2 so that the substrate P is aligned with respect to the body portion 41 as a reference.

본 발명에서는 상기 기판고정부(4)가 상기 프레임 틀(2)의 사방모서리에 설치되어 상기 기판(P)을 고정,정렬시키는 것으로 설명 및 도면에 나타내고 있지만 이에 한정되는 것은 아니며, 상기 프레임 틀(2)의 사방모서리 중 대각선상의 모서리에만 서로 대칭되게 한쌍의 기판고정부(4)를 구비시켜 상기 기판(P)을 고정,정렬시키는 것도 가능하다.In the present invention, the substrate fixing part 4 is installed on the four corners of the frame frame 2 to fix and align the substrate P, but the description and drawings are not limited thereto. It is also possible to fix and align the substrate P by providing a pair of substrate fixing parts 4 symmetrically with each other only at the corners on the diagonal of the four corners.

상기와 같이 구성되는 본 발명에 의한 기판 정렬기능을 갖는 기판고정장치는 프레임 틀의 사방모서리 부분에 기판을 고정,정렬시키는 기판고정부를 설치함으로써, 구성을 단순화하여 생산단가를 줄임과 아울러 유지보수가 용이한 효과가 있다.Substrate fixing device having a substrate alignment function according to the present invention configured as described above by installing a substrate fixing portion for fixing and aligning the substrate in the four corners of the frame frame, simplifying the configuration to reduce the production cost and maintenance There is an easy effect.

또한, 기판고정부가 기판을 고정 및 정렬시킴으로써 기판의 검사시간을 단축시키는 효과가 있다.In addition, there is an effect of shortening the inspection time of the substrate by fixing and aligning the substrate.

Claims (5)

사각의 프레임 틀(2);Rectangular frame frame 2; 상기 프레임 틀(2)의 내측에 고정되는 것으로, 기판(P)을 지지하는 다수개의 지지부재(31)가 구비된 다수개의 연결프레임(3); 및A plurality of connection frames (3) fixed to the inside of the frame frame (2) and provided with a plurality of support members (31) for supporting the substrate (P); And 상기 프레임 틀(2)의 사방 모서리에 구비되어 상기 기판(P)을 정렬시킴과 아울러 그 기판(P)을 고정시키는 다수개의 기판고정부(4)를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 기판 정렬기능을 갖는 기판고정장치.The substrate alignment function is characterized in that it comprises a plurality of substrate fixing portion (4) which is provided on all four corners of the frame frame (2) to align the substrate (P) and to fix the substrate (P). Having a substrate fixing device. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 기판고정부(4)는 일측 모서리에 안착홈(411)이 형성된 몸체부(41); 및The substrate fixing portion 4 has a body portion 41 is formed with a seating groove 411 on one side edge; And 상기 프레임틀(2)에 설치되어 상기 몸체부(41)를 이동시키는 이동실린더(42)로 구성된 것을 특징으로 하는 정렬기능을 갖는 기판고정장치.Substrate fixing device having an alignment function, characterized in that composed of a moving cylinder 42 is installed on the frame (2) to move the body portion (41). 제 2 항에 있어서,The method of claim 2, 상기 안착홈(411)의 저면에는 상기 기판(P)을 흡착,고정시키기 위하여 외부의 흡입모터와 연결된 다수개의 흡착공(411a)이 더 형성된 것을 특징으로 하는 정렬기능을 갖는 기판고정장치.And a plurality of adsorption holes (411a) connected to an external suction motor in order to adsorb and fix the substrate (P) on the bottom of the seating groove (411). 제 2 항에 있어서,The method of claim 2, 상기 몸체부(41)에는 상기 기판(P)의 모서리가 마찰에 의해 파손되는 것을 방지하도록 상기 안착홈(411)과 연결된 수용 홀(412)이 더 형성된 것을 특징으로 하는 기판 정렬기능을 갖는 기판고정장치.The body portion 41 is fixed to the substrate having a substrate alignment function, characterized in that the receiving hole 412 connected to the seating groove 411 is further formed to prevent the edge of the substrate (P) is damaged by friction Device. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 프레임의(2)의 사방 모서리 중 어느 한 모서리에는 한쌍의 이동실린더(42)가 설치된 것을 특징으로 하는 기판 정렬기능을 갖는 기판고정장치.Substrate fixing device having a substrate alignment function, characterized in that a pair of moving cylinders (42) is installed at any one of the four corners of the frame (2).
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JP2018085523A (en) * 2017-12-21 2018-05-31 アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドＡｐｐｌｉｅｄ Ｍａｔｅｒｉａｌｓ，Ｉｎｃｏｒｐｏｒａｔｅｄ Carrier for substrates
CN109352510A (en) * 2018-11-08 2019-02-19 东旭集团有限公司 Base plate glass grinds positioning system

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