KR20080061272A - Coating liquid feed unit - Google Patents

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KR20080061272A
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쓰토무 니시오
가츠미 마츠시마
마사이치 가지타니
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쥬가이로 고교 가부시키가이샤
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Abstract

A coating solution feeder is provided to decrease the suction time of a coating solution by a syringe pump and to prevent air from being flown into the coating solution. A coating solution feeder(12) comprises a coating solution tank which accommodates a coating solution; a syringe pump(9) which sucks the coating solution from the coating solution tank to supply it to a die(13) of a coating solution feeder moving relatively to a certain direction to a table(14); and a booster pump(5) which is installed between the coating solution tank and the syringe pump and sucks the coating solution of the coating solution tank to send it to the syringe pump, wherein the syringe pump is mounted at the side surface in the direction perpendicular to the moving direction of the die.

Description

코팅액 공급 장치{COATING LIQUID FEED UNIT}Coating liquid supply unit {COATING LIQUID FEED UNIT}

본 발명은 테이블 코터(table coater) 등 코팅 장치의 다이(die)에 코팅액을 공급하는 코팅액 공급 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a coating liquid supplying device for supplying a coating liquid to a die of a coating apparatus such as a table coater.

종래, 다이 코터(die coater)의 다이에의 코팅액의 코팅 장치로는, 특허문헌 1에 나타낸 바와 같이, 코팅액을 수용하는 코팅액 탱크와, 코팅액 탱크로부터의 코팅액을 흡인(吸引)하여 그 코팅액을 테이블에 대해 소정 방향에 상대적으로 이동하는 코팅 장치의 다이에 공급하는 시린지 펌프(syringe pump)를 구비하고 있다.Conventionally, as a coating apparatus for coating a coating liquid on a die of a die coater, as shown in Patent Literature 1, a coating liquid tank containing a coating liquid and a coating liquid from the coating liquid tank are sucked and the coating liquid is tabled. It is provided with a syringe pump which supplies to the die | dye of the coating apparatus which moves relative to a predetermined direction with respect.

시린지 펌프의 설치 방법으로는, 코팅 장치로부터 떨어진 위치에 고정되는 고정식(固定式)과, 코팅 장치에 탑재되어 다이와 함께 이동하는 마운트 식(mount 式)이 있다.As the installation method of a syringe pump, there are a fixed type fixed to the position away from a coating apparatus, and the mount type mounted in a coating apparatus and moving with a die | dye.

고정식에서는, 코팅 장치의 이동 거리를 확보하기 위해, 시린지 펌프와 다이 사이의 코팅액의 토출 관로(吐出 管路)가 길어지고, 시린지 펌프로부터 다이에의 토출 관로의 압력 손실이 크며, 코팅 조정에 시간이 걸린다고 하는 문제가 있었다.In the fixed type, in order to secure the moving distance of the coating apparatus, the discharge conduit of the coating liquid between the syringe pump and the die becomes long, the pressure loss of the discharge conduit from the syringe pump to the die is large, and the time for coating adjustment is increased. There was problem that it took.

이에 대해, 마운트 식에서는, 시린지 펌프는 코팅 장치와 함께 이동하기 때문에, 시린지 펌프와 다이 사이의 코팅액의 토출 관로는 짧아지지만, 코팅액 탱크 와 시린지 펌프 사이의 흡인 관로가 길어지고, 시린지 펌프의 흡인 시간이 길어진다. 또한, 다이와 시린지 펌프를 동시에 이동시키므로, 중량이 무겁고, 큰 구동력이 필요하게 되어 장치가 커진다. On the other hand, in the mount type, since the syringe pump moves with the coating apparatus, the discharge pipe of the coating liquid between the syringe pump and the die is shortened, but the suction pipe between the coating liquid tank and the syringe pump is long, and the suction time of the syringe pump is increased. This lengthens. In addition, since the die and the syringe pump are moved at the same time, the weight is heavy and a large driving force is required, thereby increasing the apparatus.

코팅액 탱크와 시린지 펌프를 짧게 하기 위해 코팅액 탱크를 장치 안에 설치하는 방법도 있지만, 장치 내부의 보수 공간(maintenance space)이 없어진다. There is also a method of installing the coating liquid tank in the apparatus to shorten the coating liquid tank and the syringe pump, but there is no maintenance space inside the apparatus.

또한, 시린지 펌프가 코팅 장치에 탑재되어 다이보다 높은 위치가 되기 때문에, 시린지 펌프에 공기가 쉽게 유입된다고 하는 문제가 있었다.In addition, since the syringe pump is mounted on the coating apparatus to be at a position higher than the die, there is a problem that air easily flows into the syringe pump.

특허문헌 1은, 일본 특개평 09-253563호의 공보Patent document 1 is a publication of Unexamined-Japanese-Patent No. 09-253563.

본 발명은 상기 종래의 문제점을 감안하여 이루어진 것으로서, 시린지 펌프에 의한 코팅액의 흡인 및 토출 시간이 짧고, 공기 유입의 우려가 없는 코팅액 공급 장치를 제공하는 것을 과제로 한다.The present invention has been made in view of the above-described conventional problems, and an object of the present invention is to provide a coating liquid supplying device having a short suction and discharge time of a coating liquid by a syringe pump and having no fear of air inflow.

상기 과제를 해결하기 위해, 본 발명은, 코팅액을 수용하는 코팅액 탱크와, 상기 코팅액 탱크로부터의 코팅액을 흡인하여 그 코팅액을 테이블에 대해 소정 방향에 상대적으로 이동하는 코팅 장치의 다이에 공급하는 시린지 펌프를 구비한 코팅액 공급 장치에 있어서,In order to solve the above problems, the present invention, a syringe pump for sucking the coating liquid from the coating liquid tank and the coating liquid from the coating liquid tank and supplying the coating liquid to the die of the coating apparatus moving relative to the table in a predetermined direction. In the coating liquid supply apparatus provided with,

상기 코팅액 탱크와 상기 시린지 펌프 사이에, 상기 코팅액 탱크의 코팅액을 흡인하여 그 코팅액을 상기 시린지 펌프로 송출하는 부스터 펌프(booster pump)를 또한 구비하고,A booster pump is also provided between the coating liquid tank and the syringe pump for sucking the coating liquid of the coating liquid tank and sending the coating liquid to the syringe pump;

상기 시린지 펌프를 상기 코팅 장치의 다이의 이동 방향에 직각인 방향의 측면에 장착한 것이다.The syringe pump is mounted on the side of the direction perpendicular to the moving direction of the die of the coating apparatus.

상기 부스터 펌프는, 에어 실린더(air cylinder)로 구동하는 시린지 펌프인 것이 바람직하다.It is preferable that the booster pump is a syringe pump driven by an air cylinder.

상기 시린지 펌프는, 상기 다이보다 아래쪽에 설치하는 것이 바람직하다.It is preferable to provide the said syringe pump below the said die.

본 발명에 의하면, 코팅액 탱크와 시린지 펌프 사이에 코팅액 탱크의 코팅액을 흡인하여 그 코팅액을 시린지 펌프로 송출하는 부스터 펌프를 또한 구비하였으므로, 코팅액 탱크와 시린지 펌프 사이의 거리가 길어도, 부스터 펌프에 의해 코팅액 탱크의 코팅액을 급속히 흡인하여, 시린지 펌프를 거쳐 다이로 공급할 수 있다.According to the present invention, a booster pump for sucking the coating liquid of the coating liquid tank and sending the coating liquid to the syringe pump between the coating liquid tank and the syringe pump is also provided. The coating liquid in the tank can be sucked rapidly and fed to the die via a syringe pump.

또한, 그것에 의해 코팅액 탱크를 장치의 외부에 설치할 수 있으므로, 장치 안에 충분한 보수(補修) 공간을 확보할 수 있다.Moreover, since a coating liquid tank can be installed in the exterior of an apparatus by this, sufficient maintenance space can be ensured in an apparatus.

나아가, 부스터 펌프에 의해 가압(加壓)하여 송출하기 때문에, 시린지 펌프를 소형화하는 동시에, 장치를 소형화 할 수 있다.Furthermore, since it pressurizes and sends by a booster pump, a syringe pump can be downsized and an apparatus can be downsized.

또한, 시린지 펌프를 코팅 장치의 이동 방향에 직각인 방향의 측면에 장착하였으므로, 시린지 펌프를 다이보다도 낮게 할 수 있어, 시린지 펌프에 공기가 진입할 우려가 없어진다.In addition, since the syringe pump is mounted on the side surface in the direction perpendicular to the moving direction of the coating apparatus, the syringe pump can be lower than the die, and there is no fear of air entering the syringe pump.

이하, 본 발명의 실시 형태를 첨부 도면에 따라 설명한다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, embodiment of this invention is described according to an accompanying drawing.

도 1은, 본 발명에 관한 코팅액 공급 장치의 흐름(flow)도를 나타낸다. 1 shows a flow diagram of a coating liquid supply device according to the present invention.

코팅액 탱크(1)는, 코팅에 필요한 양의 코팅액을 수용하는 것으로, 고압 공기가 공급되고, 이 고압 공기의 압력에 의해 코팅액을 아래쪽에서 밀어낼 수 있는데, 고압 공기를 사용하지 않고 중력에 의해서도 밀어낼 수 있다. The coating liquid tank 1 accommodates the coating liquid in an amount required for coating, and is supplied with high pressure air, and the coating liquid can be pushed out by the pressure of the high pressure air, and is also pushed by gravity without using high pressure air. I can make it.

코팅액 탱크(1)는 2방향 밸브(two-way valve)(2)를 개재하여 제1 흡인 관로(3)에 접속되며, 그 제1 흡인 관로(3)는 3방향 밸브(three-way valve)(4)를 개재하여 부스터 펌프(5)에 접속되고 있다. 부스터 펌프(5)는, 시린지 펌프로 이루어지고, 에어 실린더(6)에 의해 구동된다. The coating liquid tank 1 is connected to the first suction conduit 3 via a two-way valve 2, and the first suction conduit 3 is a three-way valve. It is connected to the booster pump 5 via (4). The booster pump 5 consists of a syringe pump, and is driven by the air cylinder 6.

부스터 펌프(5)는, 3방향 밸브(4)를 개재하여 제2 흡인 관로(7)에 접속되며, 그 제2 흡인 관로(7)는 3방향 밸브(8)를 개재하여 시린지 펌프(9)에 접속되고 있다. 시린지 펌프(9)는, 스텝핑 모터(stepping motor)(10)에 의해 구동된다. The booster pump 5 is connected to the second suction line 7 via the three-way valve 4, and the second suction line 7 is the syringe pump 9 via the three-way valve 8. Is connected to. The syringe pump 9 is driven by a stepping motor 10.

시린지 펌프(9)는 3방향 밸브(8)를 개재하여 토출 관로(11)에 접속되며, 그 토출 관로(11)는 코팅 장치(12)의 슬릿 다이(slit die)(13)의 공급구에 접속되고 있다.The syringe pump 9 is connected to the discharge conduit 11 via the three-way valve 8, and the discharge conduit 11 is connected to the supply port of the slit die 13 of the coating apparatus 12. You are connected.

코팅 장치(12)는, 도 1에 나타낸 바와 같이, 테이블(14)에 대해 상대적으로 이동하고, 슬릿 다이(13)의 토출구로부터 코팅액을 토출하여, 테이블(14) 위의 기판(15)에 도막(塗膜)을 형성하는 종래 공지의 구조를 가지고 있다.As shown in FIG. 1, the coating apparatus 12 moves relative to the table 14, discharges the coating liquid from the discharge port of the slit die 13, and coats the coating film on the substrate 15 on the table 14. It has a conventionally well-known structure which forms (vi).

도 2(a)는, 코팅액 공급 장치와 코팅 장치(12)의 위치 관계를 나타내는 측면도, (b)는 그 정면도이다. 여기에서는, 도 1에 나타내는 2방향 밸브(2), 3방향 밸브(4, 8)는 생략되어 있다. 2 (a) is a side view showing the positional relationship between the coating liquid supply device and the coating device 12, and (b) is a front view thereof. Here, the two-way valve 2 and the three-way valves 4 and 8 shown in FIG. 1 are omitted.

슬릿 다이(13)의 양단을 지지하는 이동 블록(16)은, 슬릿 다이(13)의 슬릿에 직각인 방향으로, 테이블(14)에 대해 상대적으로 화살표 방향으로 이동 가능하게 되어 있다. The moving block 16 supporting both ends of the slit die 13 is movable in an arrow direction relative to the table 14 in a direction perpendicular to the slit of the slit die 13.

이동 블록(16)의 이동 방향에 직각인 방향의 측면에는, 시린지 펌프(9)가 탑재되어, 슬릿 다이(13)보다도 아래쪽에 설치되어 있다. The syringe pump 9 is mounted on the side surface in the direction perpendicular to the moving direction of the moving block 16, and is provided below the slit die 13.

한편, 부스터 펌프(5)는, 코팅 장치(12)로부터 떨어진 위치에 설치된 탱크 장치(17) 안에 코팅액 탱크(1)와 함께 설치되어 있다.On the other hand, the booster pump 5 is provided with the coating liquid tank 1 in the tank apparatus 17 provided in the position away from the coating apparatus 12. As shown in FIG.

코팅액 탱크(1)와 부스터 펌프(5)를 접속하는 제1 흡인 관로(3)는, 탱크 장치(17) 안에 배설되어 있다. The 1st suction pipe line 3 which connects the coating liquid tank 1 and the booster pump 5 is arrange | positioned in the tank apparatus 17. As shown in FIG.

부스터 펌프(5)와 시린지 펌프(9)를 접속하는 제2 흡인 관로(7)는, 이동 블록(16)이 테이블(14) 위를 그 행정(行程)만큼 이동 가능한 길이를 가지며, 이동 블록(16)의 이동을 추종(追從)하도록 적당한 수단으로 지지되어 있다. 시린지 펌프(9)와 슬릿 다이(13)를 접속하는 토출 관로(11)는, 이동 블록(16)에 배설되어 있다.The second suction conduit 7 connecting the booster pump 5 and the syringe pump 9 has a length such that the moving block 16 can move on the table 14 by its stroke. It is supported by a suitable means to follow the movement of 16). The discharge conduit 11 connecting the syringe pump 9 and the slit die 13 is disposed in the moving block 16.

도 3은, 코팅액 공급 장치와 코팅 장치(12)의 위치 관계의 변형 예를 나타내는 측면도이다. 3 is a side view showing a modification of the positional relationship between the coating liquid supplying device and the coating device 12.

여기에서는, 부스터 펌프(5)가 시린지 펌프(9)와 함께, 이동 블록(16)의 이동 방향에 직각인 방향의 측면에 탑재되어 있다. 이 때문에, 코팅액 탱크(1)와 부스터 펌프(5)를 접속하는 제1 흡인 관로(3)가, 이동 블록(16)이 테이블(14) 위를 그 이동 행정만큼 이동 가능한 길이를 가지며, 이동 블록(16)의 이동을 추종하도록 적당한 수단으로 지지되어 있다. 이 경우, 설비를 소형화 할 수는 없지만, 시린지 펌프(9)의 흡인 시간은 짧아진다.Here, the booster pump 5 is mounted on the side surface of the direction perpendicular to the moving direction of the moving block 16 together with the syringe pump 9. For this reason, the 1st suction pipe line 3 which connects the coating liquid tank 1 and the booster pump 5 has the length which the moving block 16 can move by the movement stroke on the table 14, and the moving block It is supported by a suitable means to follow the movement of the (16). In this case, although the equipment cannot be miniaturized, the suction time of the syringe pump 9 becomes short.

이상의 구성으로 이루어진 코팅액 공급 장치의 동작에 대해 설명한다.The operation of the coating liquid supply device having the above configuration will be described.

도 4의 플로 차트에 나타낸 바와 같이, 우선, 코팅액 탱크(1)에 고압 공기를 공급하여 가압하고, 2방향 밸브(2)를 연다(스텝 S1). 그리고, 부스터 펌프(5)의 3방향 밸브(4)를 흡인 쪽으로 한다(스텝 S2). As shown in the flowchart of FIG. 4, first, high pressure air is supplied to the coating liquid tank 1 to be pressurized, and the two-way valve 2 is opened (step S1). Then, the three-way valve 4 of the booster pump 5 is directed to the suction side (step S2).

다음에, 에어 실린더(6)를 당기는 쪽으로 하고(스텝 S3), 부스터 펌프(5)를 후퇴시키면, 코팅액 탱크(1)의 코팅액이 2방향 밸브(2)로부터 제1 흡인 관로(3)를 통해, 3방향 밸브(4)를 개재하여 부스터 펌프(5)에 충전(charge)된다. Next, when the air cylinder 6 is pulled out (step S3) and the booster pump 5 is retracted, the coating liquid of the coating liquid tank 1 passes from the two-way valve 2 through the first suction pipe line 3. The booster pump 5 is charged via the three-way valve 4.

부스터 펌프(5)에의 충전이 완료되면, 3방향 밸브(4)를 토출 쪽으로 절환한다(스텝 S4). 시린지 펌프(9)의 3방향 밸브(8)를 흡인 쪽으로 하고, 부스터 펌프(5)의 에어 실린더(6)를 누르는 쪽으로 한다(스텝 S5). When the filling of the booster pump 5 is completed, the three-way valve 4 is switched to the discharge side (step S4). The three-way valve 8 of the syringe pump 9 is directed to the suction side, and the air cylinder 6 of the booster pump 5 is pushed to the side (step S5).

그리고, 스텝핑 모터(10)를 흡인 쪽으로 회전시키면(스텝 S6), 부스터 펌프(5)의 코팅액이 3방향 밸브(4)로부터 제2 흡인 관로(7)를 통해, 3방향 밸브(8)를 개재하여 시린지 펌프(9)에 충전된다. Then, when the stepping motor 10 is rotated to the suction side (step S6), the coating liquid of the booster pump 5 passes through the three-way valve 8 from the three-way valve 4 through the second suction pipe line 7. The syringe pump 9 is then filled.

시린지 펌프(9)에의 충전이 완료되면, 3방향 밸브(8)를 토출 쪽으로 절환한다(스텝 S7). 계속해서, 스텝핑 모터(10)를 토출 쪽으로 회전시킨다(스텝 S8). When the filling of the syringe pump 9 is completed, the three-way valve 8 is switched to the discharge side (step S7). Subsequently, the stepping motor 10 is rotated to the discharge side (step S8).

이로써, 시린지 펌프(9) 안의 코팅액이 3방향 밸브(8)로부터 토출 관로(11)를 통해 슬릿 다이(13)에 공급되며, 슬릿 다이(13)의 토출구로부터 테이블(14) 위의 기판(15)으로 토출되어 도막(塗膜)이 된다. 상기 스텝 S7에서 3방향 밸브(8)를 토출 쪽으로 절환함과 동시에, 스텝 S2로 돌아가, 같은 순서로 코팅액의 흡인 동작을 반복한다.Thus, the coating liquid in the syringe pump 9 is supplied from the three-way valve 8 to the slit die 13 through the discharge conduit 11, and the substrate 15 on the table 14 from the discharge port of the slit die 13. Is discharged to form a coating film. In step S7, the three-way valve 8 is switched to the discharge side, and the flow returns to step S2, and the suction operation of the coating liquid is repeated in the same order.

상기 부스터 펌프(5)는, 에어 실린더(6)로 구동되므로, 에어 실린더(6)의 압력을 조정함으로써, 부스터 펌프(5)를 누르는 힘을 제어할 수 있다. Since the booster pump 5 is driven by the air cylinder 6, the force which presses the booster pump 5 can be controlled by adjusting the pressure of the air cylinder 6.

이 때문에, 부스터 펌프(5)와 시린지 펌프(9) 사이의 제2 흡인 관로(7)를 길게 할 수 있다. 단, 제2 흡인 관로(7)의 길이를 너무 길게 하면, 압력 손실이 증가하고, 에어 실린더(6)의 누르는 힘(억지력)이 부족하므로, 제2 흡인 관로(7)의 지름을 크게 하거나, 에어 실린더(6)의 보어(bore) 지름을 크게 할 필요가 있다.For this reason, the 2nd suction pipe line 7 between the booster pump 5 and the syringe pump 9 can be lengthened. However, if the length of the second suction line 7 is too long, the pressure loss increases and the pressing force (suppression force) of the air cylinder 6 is insufficient, so that the diameter of the second suction line 7 is increased, It is necessary to increase the bore diameter of the air cylinder 6.

흡인 관로(3, 7)에 부스터 펌프(5)를 설치하였으므로, 코팅액 탱크(1)와 시린지 펌프(9)의 설치 거리를 크게 하더라도, 부스터 펌프(5)에 의해 코팅액 탱크(1)로부터 시린지 펌프(9)에 코팅액을 급속 충전할 수 있다. 동시에, 코팅액 탱크(1)와 시린지 펌프(9)의 설치 위치의 자유도가 넓어지고, 접근이 쉬운 위치에 설치함으로써, 보수성(補修性)도 향상된다.Since the booster pump 5 is provided in the suction pipe lines 3 and 7, even if the installation distance of the coating liquid tank 1 and the syringe pump 9 is enlarged, the syringe pump 5 is used to discharge the syringe pump from the coating liquid tank 1. The coating liquid can be rapidly filled in (9). At the same time, the freedom of installation position of the coating liquid tank 1 and the syringe pump 9 becomes wider, and water retention improves by installing in the position which is easy to access.

또한, 부스터 펌프(5)의 흡인력(吸引力)에 의해 코팅액 탱크(1)로부터 코팅액을 흡인하고, 부스터 펌프(5)의 토출력(吐出力)에 의해 코팅액을 시린지 펌프(9)까지 토출할 수 있으므로, 코팅액 탱크(1)의 가압(加壓)을 작게 할 수 있다. In addition, the coating liquid is sucked from the coating liquid tank 1 by the suction force of the booster pump 5, and the coating liquid is discharged to the syringe pump 9 by the earth output of the booster pump 5. Therefore, the pressurization of the coating liquid tank 1 can be made small.

종래에는 코팅액 탱크(1)의 가압력은, 예를 들면 0.5ＭPa 필요했지만, 부스터 펌프(5)의 추가로 0.2ＭPa로 할 수 있었다.Conventionally, although the pressing force of the coating liquid tank 1 needed 0.5 MPa, for example, it could be set to 0.2 MPa by addition of the booster pump 5.

시린지 펌프(9)를 코팅 장치(12)의 이동 블록(16)의 측면에 설치하였으므로, 시린지 펌프(9)로부터 슬릿 다이(13)까지의 토출 관로(11)의 길이를 짧게 할 수 있 다. 이로써, 압력 손실이 감소하고, 코팅막(coating 膜) 압력의 조정이 용이하다.Since the syringe pump 9 is provided on the side of the moving block 16 of the coating apparatus 12, the length of the discharge conduit 11 from the syringe pump 9 to the slit die 13 can be shortened. This reduces the pressure loss and facilitates adjustment of the coating film pressure.

또한, 시린지 펌프(9)를 코팅 장치(12)의 이동 블록(16)의 측면에 설치하였으므로, 시린지 펌프(9)를 슬릿 다이(13)의 토출구보다 아래쪽에 설치할 수 있고, 코팅 장치(12)를 장기간 정지한 경우에도, 시린지 펌프(9)로의 공기 유입을 방지할 수 있다.In addition, since the syringe pump 9 is provided on the side surface of the moving block 16 of the coating apparatus 12, the syringe pump 9 can be installed below the discharge port of the slit die 13, and the coating apparatus 12 Even when the engine is stopped for a long time, the inflow of air into the syringe pump 9 can be prevented.

도 1은, 본 발명에 관한 코팅액 공급 장치의 흐름도.1 is a flowchart of a coating liquid supplying device according to the present invention.

도 2(a),(b)는, 코팅액 공급 장치와 코팅 장치의 위치 관계를 나타내는 측면도와 정면도.(A), (b) is a side view and a front view which show the positional relationship of a coating liquid supply apparatus and a coating apparatus.

도 3은, 코팅액 공급 장치와 코팅 장치의 다른 위치 관계를 나타내는 측면도.3 is a side view showing another positional relationship between the coating liquid supply device and the coating device.

도 4는, 코팅액 공급 장치의 동작을 나타내는 플로 차트.4 is a flowchart showing the operation of the coating liquid supplying device.

(부호의 설명)(Explanation of the sign)

1: 코팅액 탱크1: coating liquid tank

5: 부스터 펌프5: booster pump

9: 시린지 펌프9: syringe pump

12: 코팅 장치12: coating device

13: 슬릿 다이13: slit die

14: 테이블14: table

Claims (3)

코팅액을 수용하는 코팅액 탱크와, 이 코팅액 탱크로부터의 코팅액을 흡인하여 그 코팅액을 테이블에 대해 소정 방향에 상대적으로 이동하는 코팅 장치의 다이에 공급하는 시린지 펌프를 구비한 코팅액 공급 장치에 있어서,A coating liquid supplying apparatus comprising a coating liquid tank containing a coating liquid and a syringe pump for sucking the coating liquid from the coating liquid tank and supplying the coating liquid to a die of the coating apparatus moving relative to a table in a predetermined direction. 상기 코팅액 탱크와 상기 시린지 펌프 사이에, 상기 코팅액 탱크의 코팅액을 흡인하여 그 코팅액을 상기 시린지 펌프로 송출하는 부스터 펌프를 또한 구비하고,A booster pump is also provided between the coating liquid tank and the syringe pump for sucking the coating liquid of the coating liquid tank and sending the coating liquid to the syringe pump, 상기 시린지 펌프를 상기 코팅 장치의 다이의 이동 방향에 직각인 방향의 측면에 장착한 것을 특징으로 하는 코팅액 공급 장치.And the syringe pump is mounted on a side surface in a direction perpendicular to the moving direction of the die of the coating apparatus. 제1항에 있어서, 상기 부스터 펌프는, 에어 실린더로 구동하는 시린지 펌프인 것을 특징으로 하는 코팅액 공급 장치.The coating liquid supply device according to claim 1, wherein the booster pump is a syringe pump driven by an air cylinder. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 시린지 펌프는, 상기 다이보다 아래쪽에 설치한 것을 특징으로 하는 코팅액 공급 장치.The coating liquid supply device according to claim 1 or 2, wherein the syringe pump is provided below the die.
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