KR20080054128A - Emergency drain apparatus for process bath - Google Patents

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KR20080054128A
KR20080054128A KR1020060126317A KR20060126317A KR20080054128A KR 20080054128 A KR20080054128 A KR 20080054128A KR 1020060126317 A KR1020060126317 A KR 1020060126317A KR 20060126317 A KR20060126317 A KR 20060126317A KR 20080054128 A KR20080054128 A KR 20080054128A
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김송기
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주식회사 케이씨텍
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Abstract

An emergency drain apparatus of a processing bath is provided to perform readily a maintenance and repair process by simplifying an arrangement of upper tubes in the processing bath. A processing bath is formed to store a processing solution. One or more large-diameter discharging tubes(310,320,330) are connected to a bottom surface of the processing bath. A plurality of discharging control valves(311,321,331) are formed to control opening/closing states of the large-diameter discharging tubes. A pressure control valve(340) is formed to control the pressure of the large-diameter discharging tubes. An aspirator is formed to discharge the processing solution to the outside by using the pressure generated along a flow of water. The processing bath includes an internal processing bath(100) for storing the processing solution and an external processing bath(200) for storing the overflown processing solution.

Description

처리조의 긴급 배출장치{Emergency drain apparatus for process bath}Emergency drain apparatus for process bath

도 1은 종래 처리조 긴급 배출장치의 구성도이다.1 is a block diagram of a conventional treatment tank emergency discharge device.

도 2는 본 발명 처리조의 긴급 배출장치 바람직한 실시예에 따른 구성도이다.Figure 2 is a block diagram according to an embodiment of the emergency discharge device of the present invention treatment tank.

*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명** Description of the symbols for the main parts of the drawings *

100:내부 처리조 110:제1긴급배출구100: internal treatment tank 110: first emergency outlet

120:제2긴급배출구 200:외부 처리조120: second emergency outlet 200: external treatment tank

210:제3긴급배출구 310,320,330:제1 내지 제3대구경 배출관210: third emergency discharge port 310, 320, 330: first to third large diameter discharge pipe

340:압력조절밸브 331,321,331:배출제어밸브340: pressure regulating valve 331, 321, 331: discharge control valve

510:수동밸브 520:자동밸브510: manual valve 520: automatic valve

530:플로우메터530: flow meter

본 발명은 처리조의 긴급 배출장치에 관한 것으로, 특히 처리조의 처리액을 보다 빠른 시간 내에 외부로 배출할 수 있는 처리조의 긴급 배출장치에 관한 것이다.The present invention relates to an emergency discharge device of the treatment tank, and more particularly to an emergency discharge device of the treatment tank that can discharge the treatment liquid of the treatment tank to the outside in a faster time.

일반적으로, 반도체 장치의 세정장치 등에 사용되는 처리조(process bath)는 처리액의 교환에 사용되는 배출 포트 이외에 긴급 상황의 발생시 처리액을 외부로 배출시키는 긴급 배출장치를 가지고 있다.In general, a process bath used for a cleaning device of a semiconductor device or the like has an emergency discharge device for discharging the processing liquid to the outside in case of an emergency in addition to the discharge port used for the exchange of the processing liquid.

상기 긴급 배출장치는 화재 등의 외부적 요인의 발생 또는 처리조 자체에 균열이 발생하는 등의 긴급 상황이 발생하였을 때, 처리조 내의 처리액을 외부로 배출하는 장치이다.The emergency discharge device is a device for discharging the treatment liquid in the treatment tank to the outside when an emergency situation such as the occurrence of an external factor such as a fire or a crack in the treatment tank itself occurs.

종래 처리조의 긴급 배출장치의 예는 대한민국 등록특허 10-0639709호 등에 기재되어 있으며, 이와 같은 종래 처리조의 긴급 배출장치를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.An example of the emergency discharge device of the conventional treatment tank is described in Republic of Korea Patent No. 10-0639709, etc. When described in detail with reference to the accompanying drawings of the emergency discharge device of the conventional treatment tank as follows.

도 1은 종래 처리조의 긴급 배출장치의 구성도이다.1 is a block diagram of an emergency discharge device of a conventional treatment tank.

도 1을 참조하면, 종래 처리조의 긴급 배출장치는, 밑단이 내부 처리조(10) 와 외부 처리조(20)의 저면에 인접하게 설치되고, 상부가 상기 내부 처리조(10)와 외부 처리조(20)의 상측에 위치하는 다수의 배출튜브(30)와, 상기 다수의 배출튜브(30) 각각에 연결되는 긴급배출관(40)과, 상기 긴급배출관(40)의 압력을 조절하는 다수의 압력조절밸브(41)와, 상호 직렬연결되어 외부의 씨티워터(city water)를 공급함과 아울러 그 공급량을 측정가능한 수동밸브(51), 자동밸브(52) 및 플로우메터(53)와, 상기 플로우메터(53)를 통해 지속적으로 씨티워터를 공급받으며, 상기 압력조절밸브(41)가 열린 상태에서 상기 내부 처리조(10) 및 외부 처리조(20)의 처리액을 상기 배출튜브(30) 및 긴급배출관(40)을 통해 공급받아 상기 시티워터와 함께 외부로 배출하는 다수의 아스피레이터(aspirator, 60)를 포함하여 구성된다.Referring to Figure 1, the emergency discharge device of the conventional treatment tank, the bottom is installed adjacent to the bottom surface of the inner treatment tank 10 and the outer treatment tank 20, the upper portion is the inner treatment tank 10 and the outer treatment tank. A plurality of discharge tubes 30 located on the upper side of the 20, the emergency discharge pipe 40 connected to each of the plurality of discharge tubes 30, and a plurality of pressures for adjusting the pressure of the emergency discharge pipe (40) A control valve 41, a manual valve 51, an automatic valve 52, and a flow meter 53, which are connected in series with each other to supply external city water and measure the supply amount thereof, and the flow meter Citi water is continuously supplied through the 53 and the treatment liquid of the internal treatment tank 10 and the external treatment tank 20 is discharged from the discharge tube 30 and the emergency while the pressure control valve 41 is opened. A plurality of aspirators that are supplied through the discharge pipe 40 and discharged to the outside with the city water (asp irator, 60).

이하, 상기와 같이 구성된 종래 처리조의 긴급 배출장치의 구성 및 그 작용을 보다 상세히 설명한다.Hereinafter, the configuration and operation of the emergency discharge device of the conventional treatment tank configured as described above in more detail.

먼저, 처리조는 처리액이 공급되는 내부 처리조(10)와, 그 내부 처리조(10)에서 오버플로우된 처리액이 저장되는 외부 처리조(20)로 나뉜다. First, the treatment tank is divided into an inner treatment tank 10 to which a treatment liquid is supplied, and an outer treatment tank 20 in which a treatment liquid overflowed from the inner treatment tank 10 is stored.

반도체 웨이퍼 등의 처리대상물은 상기 내부 처리조(10)의 처리액에 담겨 세정 등의 처리가 이루어진다.The object to be treated, such as a semiconductor wafer, is immersed in the processing liquid of the internal processing tank 10 and subjected to processing such as cleaning.

상기 내부 처리조(10)와 외부 처리조(20)의 내측면에는 그 상면으로부터 삽입되어 그 저면과 인접한 위치까지 배출튜브(30)가 고정된다. 상기 배출튜브(30)는 내부 처리조(10)와 외부 처리조(20)에 하나 또는 둘 이상이 설치될 수 있다.The discharge tube 30 is fixed to an inner surface of the inner treatment tank 10 and the outer treatment tank 20 from a top surface thereof to a position adjacent to the bottom surface. One or two or more discharge tubes 30 may be installed in the inner treatment tank 10 and the outer treatment tank 20.

상기와 같은 구조의 처리조를 이용한 처리 공정이 수행되는 중에, 반도체 웨이퍼 등의 처리 대상물이 파손되거나, 내부 처리조(10) 또는 외부 처리조(20)에 균열이 발생하거나, 외부에서 화재가 발생하는 등의 긴급 상황이 발생되면, 압력조절밸브(41)가 열리게 된다.During the treatment process using the treatment tank of the above structure, the object to be treated such as a semiconductor wafer is broken, a crack occurs in the internal treatment tank 10 or the external treatment tank 20, or a fire occurs from the outside. When an emergency situation such as the above occurs, the pressure regulating valve 41 is opened.

또한, 상기 아스피레이터(60)에는 지속적으로 수동밸브(51), 자동밸브(52) 및 플로우메터(53)를 통해 씨티워터가 공급된다.In addition, the aspirator 60 is continuously supplied to the citi water through the manual valve 51, the automatic valve 52 and the flow meter (53).

상기 압력조절밸브(41)가 열리면 그 씨티워터가 아스피레이터(60)를 지나는 압력에 의해 상기 내부 처리조(10)와 외부 처리조(20)의 처리액이 상기 배출튜브(30) 및 긴급배출관(40)을 통해 아스피레이터(60)로 배출되며, 그 아스피레이터(60)에서 시티워터와 혼합되어 외부로 배출된다.When the pressure regulating valve 41 is opened, the treatment liquid of the internal treatment tank 10 and the external treatment tank 20 is discharged from the discharge tube 30 and urgently by the pressure of the citi water passing through the aspirator 60. The aspirator 60 is discharged through the discharge pipe 40 and mixed with the city water in the aspirator 60 and discharged to the outside.

그러나, 이와 같은 종래 처리조의 긴급 배출장치는 배출튜브(30)를 사용하여 내부 처리조(10)와 외부 처리조(20)의 처리액을 상부측으로 배출함으로써, 내부 처리조(10)와 외부 처리조(20)의 상부측이 복잡한 구조가 된다.However, such an emergency discharge device of the conventional treatment tank discharges the treatment liquid of the internal treatment tank 10 and the external treatment tank 20 to the upper side by using the discharge tube 30, the internal treatment tank 10 and the external treatment. The upper side of the tank 20 becomes a complicated structure.

상기 내부 처리조(10)와 외부 처리조(20)에는 상기 배출튜브(30) 이외에 처리조 내에 처리액을 공급하는 공급관, 공급된 처리액의 양을 측정하는 측정도구 등 다수의 배관이 연결되어 있어 유지 보수에 필요한 공간의 확보가 용이하지 않은 문 제점이 있다.In addition to the discharge tube 30, a plurality of pipes are connected to the internal processing tank 10 and the external processing tank 20 such as a supply pipe for supplying a processing liquid into the processing tank and a measuring tool for measuring the amount of the processing liquid. Therefore, there is a problem that it is not easy to secure space for maintenance.

또한, 위의 공간확보의 어려움 때문에 상기 배출튜브(30)의 최대직경은 약 3/8inch로 제한적이며, 직경이 더 큰 배출튜브를 사용할 수 없어 긴급상황이 발생되었음에도 상기 내부 처리조(10)와 외부 처리조(20)의 처리액을 배출하는데는 3 내지 5분이 소요되어, 보다 높은 배출 속도가 요구되고 있다.In addition, the maximum diameter of the discharge tube 30 is limited to about 3/8 inch due to the difficulty of securing the above space, and even if an emergency situation occurs because the larger discharge tube cannot be used, the internal treatment tank 10 and It takes 3 to 5 minutes to discharge the treatment liquid of the external treatment tank 20, and a higher discharge rate is required.

아울러 처리액의 배출 속도가 씨티워터의 흐름에 의해 발생되는 압력차에만 의존하게 됨으로써, 배출 속도가 상대적으로 낮으며, 이를 개선할 필요가 있다.In addition, since the discharge rate of the treatment liquid depends only on the pressure difference generated by the flow of the citi water, the discharge rate is relatively low, and there is a need for improvement.

또한, 상기 배출튜브(30)가 내부 처리조(10) 및 외부 처리조(20)의 저면으로부터 소정 높이로 이격되어 있기 때문에 내부 처리조(10) 및 외부 처리조(20)의 처리액을 완전히 외부로 배출할 수 없는 문제점이 있었다.In addition, since the discharge tube 30 is spaced apart from the bottom of the internal processing tank 10 and the external processing tank 20 by a predetermined height, the processing liquid of the internal processing tank 10 and the external processing tank 20 is completely removed. There was a problem that can not be discharged to the outside.

상기와 같은 문제점을 감안한 본 발명은 긴급상황의 발생시 처리조 내의 처리액을 보다 빠른 시간 내에 배출할 수 있는 처리조의 긴급 배출장치를 제공함에 그 목적이 있다.It is an object of the present invention to provide an emergency discharge device for a treatment tank capable of discharging the treatment liquid in the treatment tank at a faster time when an emergency occurs.

본 발명의 다른 목적은 처리조 내의 처리액을 완전히 외부로 배출할 수 있는 처리조의 긴급 배출장치를 제공함에 있다.Another object of the present invention is to provide an emergency discharge device for a treatment tank capable of completely discharging the treatment liquid in the treatment tank to the outside.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명은 처리액을 수용하는 처리조와, 상기 처리조의 저면에 연결된 하나 또는 둘 이상의 대구경 배출관과, 상기 대구경 배출관의 개폐를 제어하는 배출제어밸브와, 상기 대구경 배출관의 압력을 조절하는 압력조절밸브와, 씨티워터의 흐름에 따라 발생되는 압력에 의해 상기 대구경 배출관을 통해 유입되는 처리액을 외부로 배출하는 아스피레이터를 포함하여 구성된다.The present invention for achieving the above object is a treatment tank for receiving a treatment liquid, one or more large diameter discharge pipe connected to the bottom of the treatment tank, a discharge control valve for controlling the opening and closing of the large diameter discharge pipe, the large diameter discharge pipe And an aspirator for discharging the processing liquid introduced through the large-diameter discharge pipe to the outside by a pressure control valve for adjusting the pressure and a pressure generated by the flow of the citi water.

상기와 같이 구성되는 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.When described in detail with reference to the accompanying drawings a preferred embodiment of the present invention configured as described above are as follows.

도 2는 본 발명 처리조의 긴급 배출장치의 바람직한 실시예에 따른 구성도이다.Figure 2 is a block diagram according to a preferred embodiment of the emergency discharge device of the treatment tank of the present invention.

도 2를 참조하면, 본 발명 처리조의 긴급 배출장치의 바람직한 실시예는 처리액을 수용하며, 처리 대상물의 처리가 이루어지는 내부 처리조(100)와, 상기 내부 처리조(100)에서 오버플로우된 처리액이 수용되는 외부 처리조(200)와, 상기 내부 처리조(100)의 저면에 마련된 제1 및 제2긴급배출구(110,120)와, 상기 외부 처리조(200)의 저면에 마련된 제3긴급배출구(210)와, 상기 제1 내지 제3긴급배출구(110,120,210)에 연결되는 제1 내지 제3대구경 배출관(310,320,330)과, 상호 직렬연결되어 씨티워터를 공급하고 그 공급량을 조절하는 수동밸브(510), 자동밸브(520) 및 플로우메터(530)와, 상기 압력조절밸브(340)와 배출제어밸 브(311,321,331)가 열린상태에서 플로우메터(530)를 통해 공급되는 씨티워터의 압력과 상기 내부 처리조(100) 및 외부 처리조(200) 내의 처리액의 압력에 의해 처리액을 배출하는 아스퍼레이터(400)를 포함하여 구성된다.Referring to Figure 2, a preferred embodiment of the emergency discharge device of the treatment tank of the present invention accommodates the treatment liquid, the internal processing tank 100, the processing of the object to be processed, and the processing overflowed in the internal processing tank 100 The external treatment tank 200 in which the liquid is accommodated, the first and second emergency discharge ports 110 and 120 provided on the bottom surface of the internal treatment tank 100, and the third emergency discharge port provided on the bottom surface of the external treatment tank 200. (210), and the first to third large-diameter discharge pipe (310,320,330) connected to the first to third emergency discharge port (110,120,210), the manual valve 510 is connected in series to supply the citi water and to adjust the supply amount The pressure and the internal processing of the citi water supplied through the flow meter 530 with the automatic valve 520 and the flow meter 530 and the pressure control valve 340 and the discharge control valves 311, 321 and 331 open. By the pressure of the processing liquid in the tank 100 and the external processing tank 200 It is configured to include the asbestos buffer emulator 400 for discharging the Reactor.

처리액의 긴급 배출시 상기 제1 내지 제3대구경 배출관(310,320,330)의 압력을 조절하는 다수의 압력조절밸브(340)와, 상기 제1 내지 제3대구경 배출관(310,320,330)에 위치하여 상기 내부 처리조(100)와 외부 처리조(200)의 처리액의 배출을 제어하는 배출제어밸브(311,321,331)를 더 포함한다.The internal treatment tank is located in a plurality of pressure control valves 340 for adjusting the pressure of the first to third large diameter discharge pipes 310, 320 and 330 during emergency discharge of the treatment liquid and the first to third large diameter discharge pipes 310, 320 and 330. It further comprises a discharge control valve (311, 321, 331) for controlling the discharge of the processing liquid of the 100 and the external treatment tank (200).

이하, 상기와 같이 구성되는 본 발명 처리조의 긴급 배출장치의 구성 및 그 작용을 보다 상세히 설명한다.Hereinafter, the configuration and operation of the emergency discharge device of the treatment tank of the present invention configured as described above in more detail.

먼저, 내부 세정조(100)와 외부 세정조(200)의 저면에는 처리액의 긴급배출을 위한 긴급배출구가 마련된다.First, an emergency discharge port for emergency discharge of the processing liquid is provided at the bottom of the internal cleaning tank 100 and the external cleaning tank 200.

용량이 상대적으로 더 큰 내부 세정조(100)의 저면에는 제1 및 제2긴급배출구(110,120)가 마련되고, 상대적으로 용량이 작은 외부 세정조(200)의 저면에는 제3긴급배출구(210)가 마련되어 있다.First and second emergency discharge ports 110 and 120 are provided on the bottom of the internal cleaning tank 100 having a larger capacity, and the third emergency discharge port 210 is provided on the bottom of the external cleaning tank 200 having a smaller capacity. Is provided.

이는 긴급배출시 내부 세정조(100)의 세정액과 외부 세정조(200)의 세정액의 긴급 배출에 소요되는 시간을 동일 또는 유사하게 맞출 수 있도록 한 것이다.This is to make the same or similar time required for the emergency discharge of the cleaning liquid of the internal cleaning tank 100 and the cleaning liquid of the external cleaning tank 200 during emergency discharge.

특히 종래와는 달리 제1 내지 제3긴급배출구(110,120,210)를 내부 세정조 및 외부 세정조의 저면에 마련하여, 처리액 자체의 압력으로도 배출이 가능하게 된다.In particular, unlike the prior art by providing the first to third emergency discharge port (110, 120, 210) on the bottom of the inner cleaning tank and the external cleaning tank, it is possible to discharge even under the pressure of the treatment liquid itself.

상기 제1 내지 제3긴급배출구(110,120,210)에는 각각 제1 내지 제3대구경 배출관(310,320,330)이 연결되며, 그 제1 내지 제3대구경 배출관(310,320,330)의 직경은 1/2inch의 것이 바람직하며, 내부 세정조(100)와 외부 세정조(200)의 용량 및 크기를 고려하여, 제1 및 제2대구경 배출관(310, 320)의 직경을 더 크게하고, 제3대구경 배출관(330)의 직경을 상대적으로 더 작게 설정할 수 있다.First to third large-diameter discharge pipes (310, 320, 330) are connected to the first to third emergency discharge outlets (110, 120, 210), respectively, the diameter of the first to third large-diameter discharge pipes (310, 320, 330) is preferably 1/2 inch, the inside In consideration of the capacity and size of the cleaning tank 100 and the external cleaning tank 200, the diameters of the first and second large-diameter discharge pipes 310 and 320 are made larger, and the diameters of the third large-diameter discharge pipe 330 are relative to each other. It can be set smaller with.

상기 제1 내지 제3대구경 배출관(310,320,330)에는 각각 자동으로 개폐제어되는 배출제어밸브(311,321,331)가 마련되어 있으며, 긴급 배출시 제1 내지 제3대구경 배출관(310,320,330)의 압력을 조절하는 다수의 압력조절밸브(340)가 연결되어 있다.Discharge control valves 311, 321 and 331 are automatically provided in the first to third large-diameter discharge pipes 310, 320 and 330, respectively. The valve 340 is connected.

상기 제1 내지 제3대구경 배출관(310,320,330)은 아스피레이터(400)에 연결된다.The first to third large diameter discharge pipes 310, 320, and 330 are connected to the aspirator 400.

상기 아스피레이터(400)에는 수동밸브(510), 자동밸브(520) 및 플로우메터(530)를 통해 씨티워터가 공급되고 있으며, 이는 긴급배출여부와 관계없이 항상 일정한 양이 아스피레이터(400)로 공급된다.The aspirator 400 is supplied with a citi water through a manual valve 510, an automatic valve 520 and a flow meter 530, which is always a constant amount regardless of whether or not emergency discharge. Is supplied.

이와 같은 상태에서 상기 내부 처리조(100) 및 외부 처리조(200)에 수용된 처리액을 긴급배출해야 하는 상황이 발생하면, 상기 배출제어밸브(311,321,331)가 열림과 아울러 압력조절밸브(340) 또한 열리게 된다.In such a state, when a situation in which the treatment liquid accommodated in the internal processing tank 100 and the external processing tank 200 needs to be urgently discharged occurs, the discharge control valves 311, 321, 331 are opened and the pressure control valve 340 is also opened. Will be opened.

이에 따라 상기 내부 처리조(100) 및 외부 처리조(200)에 저장된 처리액은 그 저면의 제1 내지 제3긴급배출구(110,120,210)에 연결된 제1 내지 제3대구경 배출관(310,320,330)으로 배출된다. Accordingly, the processing liquid stored in the internal processing tank 100 and the external processing tank 200 is discharged to the first to third large-diameter discharge pipes 310, 320, 330 connected to the first to third emergency discharge ports 110, 120, and 210 at the bottom thereof.

이때 제1 내지 제3대구경 배출관(310,320,330)을 통해 배출되는 처리액에 작용하는 배출압력은 상기 아스피레이터(400)에 공급되는 씨티워터에 의해 발생되는 압력과 상기 내부 처리조(100) 및 외부 처리조(200) 내에 있는 처리액의 압력이 동시에 작용한다.At this time, the discharge pressure acting on the treatment liquid discharged through the first to third large-diameter discharge pipes (310, 320, 330) is the pressure generated by the citi water supplied to the aspirator 400 and the internal treatment tank 100 and the outside The pressure of the treatment liquid in the treatment tank 200 acts simultaneously.

상기 제1 내지 제3대구경 배출관(310,320,330)의 직경은 종래의 배출관의 직경에 비하여 최대 4배 더 큰 것으로, 단위 시간 내에 배출할 수 있는 처리액의 양을 증가시킴과 아울러 배출압력을 높여 보다 빠른 시간 내에 처리액을 완전히 배출 할 수 있게 된다.The diameter of the first to third large-diameter discharge pipe (310, 320, 330) is up to four times larger than the diameter of the conventional discharge pipe, increases the amount of treatment liquid that can be discharged within a unit time, and also increase the discharge pressure faster The processing liquid can be discharged completely in time.

또한, 상기 내부 처리조(100)와 외부 처리조(200)에서 처리액을 배출하는 방향을 저면측으로 함으로써, 내부 처리조(100)와 외부 처리조(200)의 상부 구성을 보다 단순화하여 다른 배관들의 유지 보수가 용이하게 됨과 아울러 긴급 배출 후에 내부 처리조(100)와 외부 처리조(200)에 처리액이 잔류하는 것을 방지할 수 있게 된다.In addition, by setting the direction in which the processing liquid is discharged from the internal processing tank 100 and the external processing tank 200 to the bottom surface side, the upper configuration of the internal processing tank 100 and the external processing tank 200 is further simplified and the other piping The maintenance of these can be facilitated and the treatment solution can be prevented from remaining in the inner treatment tank 100 and the outer treatment tank 200 after emergency discharge.

이와 같은 처리액 잔류의 방지는 긴급상황이 해제된 이후에 처리공정의 진행을 위해 처리액을 다시 내부 처리조(100)에 공급할 때 정확한 양을 재공급할 수 있으며, 그 처리액의 성분비를 정확하게 제어할 수 있는 요건을 충족시킬 수 있게 된다.Such prevention of the treatment liquid residual can supply the correct amount when supplying the treatment liquid back to the internal treatment tank 100 for the progress of the treatment process after the emergency is released, and accurately control the component ratio of the treatment liquid To meet the requirements.

이상에서는 본 발명을 특정의 바람직한 실시 예들을 들어 도시하고 설명하였으나, 본 발명은 상기한 실시 예들에 한정되지 않으며 본 발명의 개념을 벗어나지 않는 범위 내에서 당해 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 다양한 변경과 수정이 가능하다.The present invention has been shown and described with reference to certain preferred embodiments, but the present invention is not limited to the above-described embodiments and has ordinary skill in the art to which the present invention pertains without departing from the concept of the present invention. Various changes and modifications are possible by the user.

상기한 바와 같이 본 발명 처리조의 긴급 배출장치는 긴급상황의 발생시 처리조의 저면을 통해 처리액을 배출하여 처리액의 완전한 배출이 가능하며, 처리조 상부 배관을 단순화하여 다른 배관의 유지 및 보수가 용이한 효과가 있다.As described above, the emergency discharge device of the treatment tank of the present invention can completely discharge the treatment liquid by discharging the treatment liquid through the bottom of the treatment tank when an emergency occurs, and simplifying the piping of the treatment tank to facilitate maintenance and repair of other pipes. There is one effect.

또한, 상대적으로 대구경의 배출관을 사용할 수 있게 되고, 그 대구경의 배출관을 통해 처리액을 배출하는 배출압력이 씨티워터의 흐름에서 발생하는 압력 뿐만 아니라 처리조 내의 처리액의 압력도 함께 작용하도록 함에 따라 처리액의 배출에 소요되는 시간을 대폭 단축할 수 있는 효과가 있다.In addition, a relatively large diameter discharge pipe can be used, and the discharge pressure for discharging the processing liquid through the large diameter discharge pipe allows the pressure of the processing liquid in the treatment tank as well as the pressure generated in the flow of the Citi Water. There is an effect that can significantly reduce the time required for the discharge of the treatment liquid.

Claims (4)

처리액을 수용하는 처리조;A treatment tank accommodating a treatment liquid; 상기 처리조의 저면에 연결된 하나 또는 둘 이상의 대구경 배출관;One or more large diameter discharge pipes connected to the bottom of the treatment tank; 상기 대구경 배출관의 개폐를 제어하는 배출제어밸브;A discharge control valve for controlling opening and closing of the large-diameter discharge pipe; 상기 대구경 배출관의 압력을 조절하는 압력조절밸브; 및A pressure regulating valve for adjusting the pressure of the large-diameter discharge pipe; And 씨티워터의 흐름에 따라 발생되는 압력에 의해 상기 대구경 배출관을 통해 유입되는 처리액을 외부로 배출하는 아스피레이터(aspirator)를 포함하는 처리조의 긴급 배출장치.Emergency discharge device of the treatment tank including an aspirator for discharging the processing liquid flowing through the large-diameter discharge pipe to the outside by the pressure generated by the flow of the citi water. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 처리조는, The treatment tank, 처리액을 직접 공급받아 수용하는 내부 처리조; 및An internal treatment tank which receives and receives the treatment liquid directly; And 상기 내부 처리조에서 오버플로우(overflow)된 처리액을 수용하며 상기 내부 처리조에 비해 상대적으로 용량이 적은 외부 처리조로 구성되는 것을 특징으로 하는 처리조의 긴급 배출장치.Emergency treatment apparatus of the treatment tank for receiving the processing liquid overflowed from the internal treatment tank and consisting of an external treatment tank having a relatively smaller capacity than the internal treatment tank. 제2항에 있어서,The method of claim 2, 상기 대구경 배출관은,The large diameter discharge pipe, 상기 내부 처리조와 외부 처리조의 처리액 배출시간이 동일하도록 배관수 및 직경을 결정하는 것을 특징으로 하는 처리조의 긴급 배출장치.Emergency treatment apparatus for the treatment tank, characterized in that the number of pipes and the diameter is determined so that the treatment liquid discharge time of the inner treatment tank and the outer treatment tank is the same. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 아스피레이터에 공급되는 씨티워터는,Citi water supplied to the aspirator, 상호 직렬연결되는 수동밸브, 자동밸브 및 플로우메터를 통해 상기 아스피레이터에 지속적으로 공급되는 것을 특징으로 하는 처리조의 긴급 배출장치. Emergency discharge device of the treatment tank, characterized in that continuously supplied to the aspirator through a manual valve, an automatic valve and a flow meter connected in series.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR20200044690A (en) * 2018-10-19 2020-04-29 웨이하이 디엠에스 주식회사 Chemical agent drain apparatus for processing substrate

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