KR20080049254A - Cassette for transferring plate - Google Patents

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Abstract

A cassette for transferring a board is provided to prevent the loss that is caused by the deformation of a board support, even when external pressure or shock is given. A cassette for transferring a board includes an upper frame(44), a lower frame(42), a vertical frame(46) and a board support. The vertical frame connects the lower frame and the upper frame. The board support is formed on the vertical frame to make the board placed thereon, and is made of an elastic material. The board support is made by using a spring. The board support includes a bonding portion for adhesion to the vertical frame and a spring bar that is connected to the bonding portion. The bonding portion is made of an elastic material. One end of the board support includes a female screw portion.

Description

기판 이송용 카세트{Cassette for Transferring Plate}Cassette for transferring plate

도 1은 종래의 기판 이송용 카세트를 개략적으로 나타내는 정면도.1 is a front view schematically showing a conventional cassette for transferring substrates.

도 2는 종래의 기판 이송용 카세트의 기판 지지대를 나타내는 정면도.2 is a front view showing a substrate support of a conventional substrate transfer cassette.

도 3은 본 발명에 의한 기판 이송용 카세트를 나타내는 사시도.3 is a perspective view showing a substrate transfer cassette according to the present invention;

도 4는 제1 실시예에 의한 기판 이송용 카세트의 기판 지지대를 나타내는 도면.4 is a view showing a substrate support of the cassette for transferring a substrate according to the first embodiment.

도 5 및 도 6은 본 발명에 의한 기판 이송용 카세트의 기판 지지대가 외력에 대해 자가 복귀하는 것을 나타내는 도면.5 and 6 are diagrams showing that the substrate support of the substrate transfer cassette according to the present invention self-returns against external force.

도 7은 본 발명의 다른 실시예에 의한 기판 이송용 카세트의 기판 지지대를 나타내는 도면.7 is a view showing a substrate support of the substrate transfer cassette according to another embodiment of the present invention.

< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 ><Description of Symbols for Main Parts of Drawings>

12, 42 : 하부 프레임 14, 44 : 상부 프레임12, 42: lower frame 14, 44: upper frame

16, 46 : 수직 프레임 20, 60 : 기판 지지대16, 46: vertical frame 20, 60: substrate support

본 발명은 기판 운송용 카세트에 관한 것으로, 특히 충격 및 압력에 의해 사이드 슬롯이 변형되는 것을 방지할 수 있는 기판 운송용 카세트에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a substrate transport cassette, and more particularly, to a substrate transport cassette capable of preventing the side slots from being deformed by impact and pressure.

액정표시장치는 광투과성인 두 장의 기판 사이에 액정층을 형성하고, 전극에 전압을 인가하여 액정층을 재배열함으로써 액정층을 투과하는 광량을 조절하는 것으로 휘도를 표시하는 표시장치이다. A liquid crystal display device is a display device that displays luminance by forming a liquid crystal layer between two light-transmissive substrates, and adjusting the amount of light passing through the liquid crystal layer by rearranging the liquid crystal layer by applying a voltage to the electrodes.

이러한 액정표시장치는 기판 세정 공정, 기판 패터닝 공정, 배향막형성/러빙 공정, 기판합착/액정주입 공정, 검사 공정, 리페어(Repair) 공정, 실장 공정 등의 여러 공정을 진행하여 제조된다.Such liquid crystal display devices are manufactured by performing various processes such as a substrate cleaning process, a substrate patterning process, an alignment film forming / rubbing process, a substrate bonding / liquid crystal injection process, an inspection process, a repair process, and a mounting process.

각각의 공정은 특정 장비들에 의해 진행되고, 기판을 각각의 장비들간으로 운반하기 위해서는 자동 반송 장치가 사용된다. 이때, 자동 반송 장치의 반송 효율을 높이기 위해서 기판들을 다수개 수납할 수 있는 카세트에 수납한 다음 자동 반송 장치를 이용하여 반송한다.Each process is run by specific equipment, and an automatic conveying device is used to transport the substrate between the individual equipment. At this time, in order to increase the conveyance efficiency of the automatic conveying apparatus, the substrates are stored in a cassette capable of storing a plurality of substrates and then conveyed by using the automatic conveying apparatus.

이때, 기판을 수납하여 이송하기 위한 카세트를 도 1을 참조하여 살펴보면 다음과 같다. In this case, the cassette for storing and transporting the substrate will be described with reference to FIG. 1.

카세트는 하부 프레임(12)과, 상부 프레임(14)과, 하부 프레임(12)과 상부 프레임(14)을 연결하는 수직 프레임(16) 및 수직 프레임(16)에 형성된 기판 지지대(20)를 포함한다. The cassette includes a lower frame 12, an upper frame 14, a vertical frame 16 connecting the lower frame 12 and the upper frame 14, and a substrate support 20 formed on the vertical frame 16. do.

기판 지지대(20)는 기판(100)을 안착하기 위한 것으로, 스테인레스 재질을 이용하여 형성한다. The substrate support 20 is for mounting the substrate 100 and is formed using a stainless material.

이러한 기판 지지대(20) 기판(100)을 안착할 수 있기에 충분한 강성을 유지하도록 설계되어 수직 프레임(16)에 합착되지만, 실제 기판(100)에 의한 압력 이외에도 의도하지 않은 충격이나 외력이 기판 지지대(20)에 가해지기도 한다. 기판 지지대(20)에 일정 강도 이상의 외력이 가해지면 기판 지지대(20)는 도 2와 같이 변형이 일어난다. 이처럼 기판 지지대(20)에 변형이 일어나면 기판의 적재/반출 시에 충돌이 일어나서 작업이 불편하거나 기판에 충격을 가하게 되고, 심할 경우 기판 적재를 막을 정도가 된다. The substrate support 20 is designed to maintain sufficient rigidity to seat the substrate 100 and is bonded to the vertical frame 16, but in addition to the pressure by the actual substrate 100, an unintended impact or external force may be applied to the substrate support ( 20). When an external force of a predetermined strength or more is applied to the substrate support 20, the substrate support 20 is deformed as shown in FIG. 2. As such, when the deformation occurs in the substrate support 20, a collision occurs during the loading / exporting of the substrate, which may cause an inconvenience or impact on the substrate.

그렇기 때문에 기판 지지대(20)에 이상이 발생하면 수작업으로 정비를 하여야 하는데, 그에 소요되는 인력 및 비용 손실이 불가피하다.For this reason, when an abnormality occurs in the substrate support 20, maintenance must be performed by hand, and the manpower and cost required for it is inevitable.

따라서, 본 발명의 목적은 기판 지지대의 변형으로 발생하는 손실을 방지할 수 있는 카세트를 제공하는 것이다.It is therefore an object of the present invention to provide a cassette capable of preventing the loss caused by deformation of the substrate support.

상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 의한 기판 이송용 카세트는 하부 프레임 및 상부 프레임과, 하부 프레임 및 상부 프레임을 연결하는 수직 프레임과, 수직 프레임에 형성되어 기판을 안착하기 위한 탄성 재질의 기판 지지대를 구비한 다.In order to achieve the above object, the substrate transfer cassette according to the present invention is a lower frame and the upper frame, a vertical frame connecting the lower frame and the upper frame, and a substrate support of an elastic material formed on the vertical frame to seat the substrate Equipped with.

기판 지지대는 용수철을 이용하는 것이 바람직하다.It is preferable to use a spring as a board | substrate support stand.

이러한 기판 지지대는 일 실시예로 수직 프레임에 합착을 위한 합착부와, 합착부에 연결된 용수철 바를 포함하여 형성될 수 있다.Such a substrate support may be formed by including a cemented portion for bonding to a vertical frame and a spring bar connected to the cemented portion.

다른 실시예로 카세트는 기판 지지대의 일측 끝단은 암나사부를 포함하고, 수직 프레임은 기판 지지대의 암나사부에 대응되는 숫나사부를 포함하는 구성을 가질 수 있다.In another embodiment, the cassette may have a configuration in which one end of the substrate support includes a female screw portion, and the vertical frame includes a male screw portion corresponding to the female screw portion of the substrate support.

그리고, 기판 지지대는 상기 용수철 바의 외관을 덥는 튜브를 더 포함하는 것이 바람직하다. 이러한 튜브는 수지 계열을 이용하여 형성할 수 있다.The substrate support further includes a tube covering the outer appearance of the spring bar. Such a tube can be formed using a resin series.

상기 목적 외에 본 발명의 다른 목적 및 특징들은 첨부도면을 참조한 실시 예에 대한 설명을 통하여 명백하게 드러나게 될 것이다.Other objects and features of the present invention in addition to the above object will be apparent from the description of the embodiments with reference to the accompanying drawings.

이하, 도 3 내지 도 7을 통하여 본 발명의 바람직한 실시예에 대해 설명하기로 한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described with reference to FIGS. 3 to 7.

도 3은 본 발명에 따른 기판 이송용 카세트의 사시도이다.3 is a perspective view of a cassette for transferring a substrate according to the present invention.

도 3을 참조하면, 본 발명에 따른 기판 이송용 카세트(200)는 하부 프레임(42)과, 상부 프레임(44)과, 하부 프레임(42) 및 상부 프레임을 연결하는 수직 프레임(46) 및 수직 프레임(46)에 합착된 탄성 재질의 기판 지지대(60)를 구비한다.Referring to FIG. 3, the substrate transport cassette 200 according to the present invention includes a vertical frame 46 and a vertical frame connecting the lower frame 42, the upper frame 44, the lower frame 42, and the upper frame. It is provided with a substrate support 60 of elastic material bonded to the frame 46.

하부 프레임(42) 및 상부 프레임(44)은 각각 최외각에 직사각형 모양으로 형성된 프레임 내부에 수 개의 프레임이 더 형성되어 매트릭스 모양을 형성한다. Each of the lower frame 42 and the upper frame 44 is further formed inside a frame formed in a rectangular shape at the outermost side to form a matrix shape.

수직 프레임(46)은 하부 프레임(42)과 상부 프레임(44)을 연결하는 것으로, 하부 프레임(42) 및 상부 프레임(44)의 네 모서리 근처와 그 사이 사이에 수 개가 더 형성된다. The vertical frame 46 connects the lower frame 42 and the upper frame 44, and several more are formed near and between four corners of the lower frame 42 and the upper frame 44.

하부 프레임(42)과 상부 프레임(44) 및 수직 프레임(46)은 플라스틱 등을 이용하여 제작할 수도 있고, 강도가 높은 알루미늄이나 스테인레스 강(Steel Use Stainless : SUS)을 이용하여 제작할 수 있다. The lower frame 42, the upper frame 44, and the vertical frame 46 may be manufactured using plastic, or may be manufactured using high strength aluminum or stainless steel (SUS).

기판이 반/입출되는 카세트의 정면에 대응되는 카세트의 후면에 형성되는 수직프레임(44)에는 서포트 바(50)가 형성되어 기판이 안착될 경우 기판 지지대(60)에 인가되는 하중을 분산한다.A support bar 50 is formed in the vertical frame 44 formed on the rear side of the cassette corresponding to the front side of the cassette in which the substrate is halfwayed in and out, thereby distributing the load applied to the substrate support 60 when the substrate is seated.

기판 지지대(60)는 카세트의 측면에 위치한 양측에 수직 프레임(44)에서 형성되어 기판을 안착하기 위한 것으로, 양쪽에서 수평으로 일치하는 높이에서 대응되도록 배치된다. Substrate support 60 is formed in the vertical frame 44 on both sides positioned on the side of the cassette for seating the substrate, it is arranged to correspond at the same height horizontally on both sides.

기판 지지대(60) 및 서포트 바(50)는 수직 프레임(44)에서 같은 같은 높이에 정열되어 기판이 평행하게 안착될 수 있도록 한다. 그리고, 기판 지지대(60) 및 서포트 바(50) 간의 수직 간격은 기판의 적재 및 반출이 용이할 수 있을 정도로 설정된다. 기판 지지대(60) 간의 수직 간격이 좁으면 기판을 많이 적재할 수 있는 장점이 있지만 기판을 적재 및 반출하는 과정에서 로봇 암등의 운송수단을 이용하는 과정에서 난점이 발생할 수 있으므로, 이송이 용이한 범위에서 수직 간격이 좁게 형성하는 것이 바람직하다. The substrate support 60 and the support bar 50 are aligned at the same height in the vertical frame 44 so that the substrates can be seated in parallel. In addition, the vertical gap between the substrate support 60 and the support bar 50 is set such that the loading and unloading of the substrate can be easily performed. If the vertical distance between the substrate support 60 is narrow, there is an advantage that can be loaded a lot of boards, but in the process of loading and unloading the board, a difficulty may occur in the process of using a vehicle such as a robot arm, in a range that is easy to transport It is preferable to form a narrow vertical gap.

또한 하나의 기판을 안착하기 위하여 평행한 위치에 형성되는 기판 지지대() 의 개수는 기판의 크기를 고려하여 설정한다. 즉, 기판의 크기가 크면 기판의 하중을 분산하기 위하여 더 많은 수의 기판 지지대(60)를 형성할 수 있다. In addition, the number of substrate supports () formed at parallel positions in order to seat one substrate is set in consideration of the size of the substrate. That is, when the size of the substrate is large, a larger number of substrate supports 60 may be formed to distribute the load of the substrate.

또한, 기판 지지대(60)는 탄성 재질을 이용하여 형성하고, 이러한 기판 지지대(60)의 일 실시예를 도 4를 참조하여 살펴보면 다음과 같다.In addition, the substrate support 60 is formed using an elastic material, and an embodiment of such a substrate support 60 will be described with reference to FIG. 4.

도 4는 카세트의 정면에서 바라본 수직 프레임(44)에 기판 지지대(60)가 합착된 것을 나타내는 도면이다. 4 is a view showing that the substrate support 60 is bonded to the vertical frame 44 viewed from the front of the cassette.

기판 지지대(60)는 합착부(62)와, 용수철 바(spring bar,64) 및 용수철 바(64)를 덮고 있는 튜브(66)를 포함한다. The substrate support 60 includes a splice 62, a spring bar 64, and a tube 66 covering the spring bar 64.

합착부(62)는 기판 지지대(60)를 수직 프레임(46)에 합착할 경우 수직 프레임(46)과 접촉면적을 넓게 하기 위한 것으로, 용접을 통해 합착부(62)를 수직 프레임(46)에 접합할 수 있다. The joint part 62 is to widen the contact area with the vertical frame 46 when the substrate support 60 is attached to the vertical frame 46. The welding part 62 is attached to the vertical frame 46 by welding. Can be bonded.

용수철 바(64)는 강철 및 스테인레스 강을 이용하여 제작할 수 있고, 이때 용수철부(64)의 탄성은 기판이 기판 지지대(60)에 안착될 경우 기판을 지지할 수 있을 정도의 강성을 유지하도록 한다.The spring bar 64 may be manufactured using steel and stainless steel, and the elasticity of the spring portion 64 maintains the rigidity sufficient to support the substrate when the substrate is seated on the substrate support 60. .

튜브(66)는 기판이 기판 지지대(60)에 안착될 경우 기판과 용수철 바(64)와의 기계적 마찰을 줄이기 위한 것으로 수지 계열을 이용하여 형성할 수 있다.The tube 66 may be formed by using a resin series to reduce mechanical friction between the substrate and the spring bar 64 when the substrate is seated on the substrate support 60.

이러한 기판 지지대(60)는 용수철 바(64)를 포함하여 탄성을 가지고 있기 때문에 외부 압력에 의해서 변형이 일어나는 것을 방지할 수 있다. 즉, 도 5에서와 같이 외부에서 압력이 가해지거나 일정 강도 이상의 충격이 전해질 경우 기판 지지대(60)는 한 순간 휘어진다. 하지만, 외력이 제거되면 기판 지지대(60)는 도 6과 같이 탄성에 의해서 원래의 위치로 복귀한다. Since the substrate support 60 includes the spring bar 64 and has elasticity, deformation of the substrate support 60 can be prevented due to external pressure. That is, as shown in FIG. 5, when a pressure is applied from the outside or an impact of a predetermined strength or more is delivered, the substrate support 60 is bent at a moment. However, when the external force is removed, the substrate support 60 returns to its original position by elasticity as shown in FIG. 6.

도 7은 본 발명의 다른 실시예에 의한 기판 지지대 및 수직 프레임을 나타내는 도면이다. 7 is a view showing a substrate support and a vertical frame according to another embodiment of the present invention.

도 7을 참조하면, 본 발명의 다른 실시예에 의한 기판 지지대(80)는 수직 프레임(46)에 결합되는 끝단에 암나사부(82)를 포함한다. 그리고, 수직 프레임(46)에는 기판 지지대(80)가 위치할 곳에 기판 지지대(60)의 암나사부(82)에 대응하는 숫나사부(85)를 포함한다. Referring to FIG. 7, the substrate support 80 according to another embodiment of the present invention includes a female screw 82 at an end thereof coupled to the vertical frame 46. In addition, the vertical frame 46 includes a male screw portion 85 corresponding to the female screw portion 82 of the substrate support 60 where the substrate support 80 is located.

즉, 기판 지지대(80)는 수직 프레임(46)과 나사결합을 통하여 수직 프레임(46)에 결합되기 때문에 용접 결합보다 더 강한 결합력을 가지고 수직 프레임(46)에 형성된다. 이에 따라 기판 지지대(80)의 결합 부분에서 변형이 일어날 수 있는 것을 방지할 수 있다. That is, since the substrate support 80 is coupled to the vertical frame 46 through screwing with the vertical frame 46, the substrate support 80 is formed on the vertical frame 46 with a stronger coupling force than the welding coupling. Accordingly, it is possible to prevent deformation from occurring in the coupling portion of the substrate support 80.

또한, 기판 지지대(80)의 용수철 바(85)는 전술한 실시예와 같은 수지 계열의 튜브(86)를 이용하여 감싸지는 것이 바람직하다.In addition, the spring bar 85 of the substrate support 80 is preferably wrapped using the resin-based tube 86 as in the above-described embodiment.

그리고 본 발명의 또 다른 실시예로서, 기판 지지대는 합착부에 탄성 부재를 형성할 수도 있다. 이처럼 합착부에 탄성 부재를 형성함으로써 기판 지지대가 수직 프레임에 결합되는 부분에서 변형이 발생하는 것을 방지할 수 있다. 이러한 기판 지지대의 합착부는 탄성력을 지니는 수지계열을 이용할 수 있고, 합착부에 판 스프링을 결합하여 탄성력을 부여할 수도 있다.And as another embodiment of the present invention, the substrate support may form an elastic member on the bonding portion. Thus, by forming the elastic member in the bonding portion, it is possible to prevent the deformation occurs in the portion where the substrate support is coupled to the vertical frame. The bonding portion of the substrate support may use a resin series having an elastic force, and may provide an elastic force by coupling the leaf spring to the bonding portion.

이러한 기판 지지대는 전술한 실시예들 이외에도 다른 실시예로서 구현될 수 있다. 즉, 기판 지지대는 용수철 바가 아니라 기판을 지지할 수 있을 정도의 강도 와 외력이 제거되었을 경우 원위치로 복귀할 수 있을 정도의 탄성을 가진 재질을 이용하면 얼마든지 가능하다. 도면을 생략한 일례로 기판 지지대는 적당한 강도를 유지할 수 있는 탄성력을 수지계열의 단일 물질을 이용할 수도 있을 것이다. Such a substrate support may be implemented as another embodiment in addition to the above-described embodiments. That is, the substrate support can be made using a material that is elastic enough to return to its original position when the strength and the external force that can support the substrate are removed, rather than the spring bar. As an example in which the drawings are omitted, the substrate support may use a single resin-based material having an elastic force capable of maintaining appropriate strength.

상술한 바와 같이, 본 발명의 실시 예에 따른 기판 이송용 카세트에 의하면 외부의 압력이나 충격이 가해졌을 경우에도 기판 지지대가 변형되지 않고 정위치를 유지할 수 있다.As described above, according to the substrate transfer cassette according to the embodiment of the present invention, even when an external pressure or an impact is applied, the substrate support may be maintained without deforming.

즉, 기판 지지대를 탄성력을 가진 재질을 이용함으로써 외력에 의해 일시적으로 변형이 일어난 후에도 다시 원위치로 복귀하기 때문에, 기판 지지대의 정위치를 유지한다.That is, by using a material having elastic force as the substrate support, the substrate support returns to its original position even after the deformation temporarily occurs due to external force, thereby maintaining the correct position of the substrate support.

이에 따라, 종래의 기판 지지대가 변형이 일어날 경우 번번이 수작업으로 정비를 해야 함에 드는 비용 및 번거로움을 줄일 수 있다. 특히, 수리를 위하여 공정을 중단할 필요가 없기 때문에 작업 능률을 향상 할 수 있다. Accordingly, when the substrate support of the conventional substrate is deformed, it is possible to reduce the cost and hassle of having to perform manual maintenance once again. In particular, it is possible to improve the work efficiency because there is no need to interrupt the process for repair.

이상 설명한 내용을 통해 당업자라면 본 발명의 기술사상을 일탈하지 아니하는 범위에서 다양한 변경 및 수정이 가능함을 알 수 있을 것이다. 따라서, 본 발명의 기술적 범위는 명세서의 상세한 설명에 기재된 내용으로 한정되는 것이 아니라 특허 청구의 범위에 의해 정하여 져야만 할 것이다.Those skilled in the art will appreciate that various changes and modifications can be made without departing from the technical spirit of the present invention. Therefore, the technical scope of the present invention should not be limited to the contents described in the detailed description of the specification but should be defined by the claims.

Claims (7)

하부 프레임 및 상부 프레임;Lower frame and upper frame; 상기 하부 프레임 및 상부 프레임을 연결하는 수직 프레임;A vertical frame connecting the lower frame and the upper frame; 상기 수직 프레임에 형성되어 기판을 안착하기 위한 탄성 재질의 기판 지지대를 구비하는 것을 특징으로 하는 기판 이송용 카세트And a substrate support cassette formed on the vertical frame and having a substrate support made of an elastic material for seating the substrate. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 기판 지지대는 용수철을 이용하는 것을 특징으로 하는 기판 이송용 카세트.The substrate support is a substrate transfer cassette, characterized in that using a spring. 제 2 항에 있어서,The method of claim 2, 상기 기판 지지대는 The substrate support is 상기 수직 프레임에 합착을 위한 합착부와; An attachment portion for attachment to the vertical frame; 상기 합착부에 연결된 용수철 바를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송용 카세트.And a spring bar connected to the cemented portion. 제 3 항에 있어서,The method of claim 3, wherein 상기 합착부는 탄성 재질인 것을 특징으로 하는 기판 이송용 카세트.The bonding portion is a substrate transfer cassette, characterized in that the elastic material. 제 2 항에 있어서,The method of claim 2, 상기 기판 지지대의 일측 끝단은 암나사부를 포함하고,One end of the substrate support includes a female screw portion, 상기 수직 프레임은 상기 기판 지지대의 숫나사부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송용 카세트.The vertical frame includes a male screw portion of the substrate support. 제 2 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,The method according to any one of claims 2 to 5, 상기 기판 지지대는 상기 용수철 바의 외관을 덥는 튜브를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송용 카세트.The substrate support further comprises a tube for covering the outer surface of the spring bar. 제 6 항에 있어서,The method of claim 6, 상기 기판 지지대 튜브는 수지 계열인 것을 특징으로 하는 기판 이송용 카세트.The substrate support tube is a substrate transfer cassette, characterized in that the resin-based.
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