KR20080025063A

KR20080025063A - 절감된 에너지에 의한 챔버의 고속 펌핑

Info

Publication number: KR20080025063A
Application number: KR1020077029232A
Authority: KR
Inventors: 장 뤽 리발
Original assignee: 알까뗄 루슨트
Priority date: 2005-07-20
Filing date: 2006-07-19
Publication date: 2008-03-19
Also published as: CN101213370A; CN101213370B; TW200720549A; FR2888894A1; WO2007010170A2; US20070020111A1; JP2009501869A; DE602006002789D1; EP1746287A1; EP1746287B1; US7789632B2; WO2007010170A3; ATE408756T1

Abstract

본 발명의 진공 펌핑 장치는 메모리(3b)에 저장되는 프로그램 및 처리 장치(3a)에 의해 제어되는 각각의 전력 공급 유닛(1c, 2c)에 의해 전력 공급되는 제1 전기 모터(1b) 및 제2 전기 모터(2b)로 각각 구동되는 직렬의 적어도 하나의 제1 펌프(1) 및 제2 펌프를 포함한다. 동시에, 펌핑 속도를 최대로 하면서 전력 소비를 감소시키기 위해, 메모리(3b)에 저장된 프로그램은 규칙적으로 감소하는 제1 펌프(1)에 대한 속도 변화 규칙(A) 및 규칙적으로 증가하는 제2 펌프(2)에 대한 속도 변화 규칙(B)을 발생시킨다.

진공 펌핑 장치, 전기 모터, 펌프, 메모리, 속도 변화 규칙

Description

절감된 에너지에 의한 챔버의 고속 펌핑 {FAST ENERGY-SAVING CHAMBER PUMPING}

본 발명은 인클로저(enclousure)에 적절한 진공을 형성 및 유지할 수 있는 진공 펌핑 장치에 관한 것이다.

인클로저 내의 진공 형성은 진공에서 실시되어야 하는 특정 제조 단계를 갖는 반도체 제조와 같은 산업 공정에서 표준 절차이다.

이러한 공정에서는, 반도체 기판이 적재 챔버 내의 압력을 충분한 값으로 감소시키는 진공 펌핑 장치에 연결된 적재 챔버[로드 락(load lock)] 내에 놓여지고, 그 다음에 적절한 제조 진공이 형성된 처리 챔버로 반도체 기판이 이동된다.

명백하게, 기판이 적재되거나 내려지는 각 시간에, 적재 챔버 내의 가스 압력은 진공 펌핑 장치의 주기적 간섭에 의해 교호적으로 감압 및 승압되어야 한다.

명백하게, 적재 챔버에 진공을 형성하는 것은 순간적인 것이 아니며, 제조 공정 전체 속도에 제한을 가한다.

이러한 제한의 중요성은 특히, 적재 챔버가 하나 이상의 평면 스크린을 수납하기에 적절한 체적을 가져야 하는 평면 텔레비전 또는 디스플레이 스크린의 제조시에, 기판의 크기와 정비례한다.

예를 들어, 현재 평면 스크린의 제조에 사용되는 적재 챔버는 500 내지 1000리터 정도의 큰 체적을 갖기 때문에, 가능한 빠르게 펌핑되어야 한다.

이러한 대형 적재 챔버를 빠르게 펌핑하기 위해 최근 사용되는 방법이 대형 모터를 장착한 대형 펌프를 사용하는 것이다. 결과적으로, 펌프 및 모터는 대형이고 고가이며 고 전력을 소비한다.

실제로, 일반적으로 종래 기술의 펌핑 장치는 진공 라인의 배출 단부에 적어도 하나의 제1 펌프를, 진공 라인의 흡입 단부 즉, 펌핑될 인클로저로부터의 출구에 적어도 하나의 제2 펌프를 포함한다. 제1 펌프와 제2 펌프는 펌핑되는 가스의 유동 통로에서 직렬로 연결되며, 공칭 속도로 회전하도록 전력을 공급받는 두 개의 전기 모터에 의해 구동된다.

또한, 전자 제어 수단에 의해 제어되는 두 개의 전기 모터에 의해 구동되고 직렬로 연결되는 적어도 하나의 제1 펌프와 제2 펌프를 포함하는 진공 펌핑 장치는 예를 들어, 미국 특허 제4,699,570호에 공지되어 있다. 제1 펌프는 일정한 속도로 구동되며 제1 펌프의 전력 공급은 펌핑의 종료시에 중단될 수 있다. 제2 펌프는 펌프의 전력 소비를 감소시키도록, 인클로저 내의 압력이 감소됨에 따라 규칙적으로 증가하는 속도로 구동된다.

그러나, 상기 유형의 장치에 의해 달성되는 전력 소비의 개선은 특히 대형 인클로저의 빈번한 펌핑에 대해서는 불충분하기 때문에, 본 발명은 펌핑 장치가 대형 챔버의 펌핑에 적절하게 되도록 전력 소비를 더 감소시키는 수단을 제안하려 한다.

본 발명은 인클로저의 압력을 감소시키기 위한 진공 펌핑 장치로서, 펌핑된 가스의 유동 통로에서 직렬로 연결되고 제1 전기 모터와 제2 전기 모터에 의해 각각 구동되는 출구 측에의 적어도 하나의 제1 펌프와 입구 측에의 제2 펌프를 포함하며, 상기 두 개의 전기 모터는 속도의 조절을 위해 전자 제어 모듈에 의해 제어되는, 진공 펌핑 장치에 있어서, 전자 제어 모듈은, 인클로저의 압력을 감소시키는 절차 동안에, 제2 펌프의 속도 변화 규칙에 따라 제2 펌프의 속도를 점진적으로 증가시키고 제1 펌프의 속도 변화 규칙에 따라 제1 펌프의 속도를 점진적으로 감소시키는 속도 제어 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 펌핑 장치를 제안한다.

이러한 구성에 의해, 인클로저가 대기압에서 펌핑을 시작할 때, 펌프가 달성해야하는 압축량은 적고, 펌핑 속도는 고속으로 제1 펌프를 구동시킴으로써 우선시될 수 있으며 이때의 전력 소비는 낮아지고, 전력 소비는 제2 펌프를 저속으로 작동시킴으로 더 감소될 수 있다.

압력이 감소됨에 따라, 제2 펌프는 압축으로 전력이 소비되지 않는 압력 구역에서 가스를 점진적으로 압축시킬 수 있고, 그 후 제2 펌프는 과도한 전력 소비 없이 높은 처리량을 발생시킬 수 있다. 이러한 가능성은 제2 펌프의 속도를 점진적으로 증가시킴으로 나타난다.

이와 동시에, 생성되어야 하는 압축량이 많기 때문에, 제1 펌프는 많은 양의 전력을 소비하기 시작한 후, 제1 펌프의 전력 소비를 감소시키도록 제1 펌프의 속도를 감소시키는 것이 바람직하며, 시스템의 처리량은 제2 펌프의 참여가 증가됨으로써 유지된다.

각각의 펌프 처리량 및 각각의 펌핑 주기에 대하여, 각 체적에 대해 전력 소비를 감소시키는 각 펌프에 대한 최적의 속도 규칙을 찾을 수 있다.

예를 들어,

제2 펌프의 속도 변화 규칙은 느리게 증가하는 제1 단계와, 그 후의 빠르게 증가하는 제2 단계와, 그 후의 완만하게 증가하는 제3 단계를 포함하며,

제1 펌프의 속도 변화 규칙은 고속의 제1 단계와, 그 후의 빠르게 감소하는 제2 단계와, 그 후의 느리게 감소하는 제3 단계를 포함한다.

이러한 구성은 전력 절약을 더 증가시킨다.

양호한 실시예에서, 제2 펌프의 빠르게 증가하는 속도의 제2 단계는 제1 펌프의 빠르게 하강하는 속도의 제2 단계와 동시에 일어난다.

동시에 펌핑 속도를 최적화시키기 위하여, 제2 펌프의 속도가 최소 속도로부터 공칭 속도까지 증가하고 제1 펌프의 속도가 초기에는 공칭 속도이며 압력 감소 절차의 종료시에는 감소된 속도에 도달하는 것이 바람직하다.

펌핑 속도는 제1 펌프의 공칭 처리량보다 많은 공칭 처리량을 갖는 제2 펌프를 선택함으로 최적화되고, 이들의 초기 속도의 비율은 제2 펌프 및 제1 펌프 각각의 공칭 처리량의 비율에 근접하도록 선택된다. 이 비율은 약 10 내지 15인 것이 바람직하다.

펌프의 공칭 처리량과 그에 따른 펌프의 크기 및 체적을 증가시키지 않고 펌핑 속도를 증가시키기 위하여, 제1 펌프의 속도 변화 규칙이 제1 펌프의 속도가 공칭 속도 위로 일시적으로 증가되는 고속의 제1 단계를 포함하는 것이 바람직하다.

예를 들어, 제1 펌프의 상기 고속의 제1 단계는 공칭 속도에 근접한 속도에서의 초기 주기와, 그 후의 공칭 속도보다 높은 속도에서의 과속 주기를 포함한다.

일반적으로, 제1 및 제2 펌프의 속도 변화 규칙은 전체적인 전력 소비를 감소시키도록 선택된다.

인클로저 내의 압력을 낮추는 절차의 종료시에, 속도 제어 수단은 제2 펌프의 속도를 공칭 속도 또는 더 높은 속도로부터 최소 속도까지 감소시키고, 제2 전기 모터는 제2 펌프의 운동 에너지를 전기 에너지의 형태로 재생시키고, 전기 에너지는 제1 펌프를 구동하기 위해 전자 제어 모듈을 통해 제1 전기 모터로 재주입됨으로써, 본 발명에 따라 더 큰 동력 절감을 얻을 수 있다.

본 발명의 다른 목적, 특징 및 이점이 첨부된 도면을 참고한 특정 실시예의 하기 설명으로부터 분명해질 것이다.

도1은 본 발명의 진공 펌핑 장치의 일 실시예의 대략적인 구조를 도시한다.

도2는 본 발명의 일 실시예에서의 제1 및 제2 펌프의 속도 변화를 도시한 타이밍 다이어그램이다.

도3은 본 발명의 제2 실시예에서의 제1 및 제2 펌프의 속도 변화를 도시한 다이어그램이다.

먼저 도1에 도시된 장치를 참조한다.

가능한 빨리 인클로저(100) 내부의 가스 압력을 감소시켜 가능한 적은 전력을 소비하는 것이 요구된다.

이를 위해, 제1 펌프(1) 및 제2 펌프(2)를 포함하는 본 발명의 진공 펌핑 장치가 사용된다. 제2 펌프(2)는 펌핑될 인클로저(100)에 연결된 입구(2a)를 가지며, 제1 펌프(1)의 입구(1a)로 대기압에서 배출한다. 그러므로, 펌프(1, 2)는 펌핑된 가스의 유동 통로에서 직렬로 연결된다.

제1 펌프(1)는 제1 전기 모터(1b)에 의해 구동되고 제2 펌프(2)는 제2 전기 모터(2b)에 의해 구동된다.

전기 모터(1b, 2b)는 모터 각각의 속도를 제어하는 전자 제어 모듈(3)에 의해 제어된다.

전자 제어 모듈(3)은 제1 모터(1b)에 전력을 공급하도록 구성된 제1 제어식 전력 공급 유닛(1c)과, 제2 모터(2b)에 전력을 공급하도록 구성된 제2 제어식 전력 공급 유닛(2c)과, 전기 모터(1b, 2b)의 속도를 조절하기 위해 제1 및 제2 전력 공급 유닛(1c, 2c)을 제어하는 프로그램을 내장한 관련 메모리(3b)를 갖춘 처리 장치(3a)를 구비한 속도 제어 수단을 포함한다.

메모리(3b)에 저장된 프로그램은 펌프의 속도 변화 규칙, 예를 들어 다이어그램(3c)에서 곡선(A, B)으로 도시된 바와 같은 압력의 함수로서의 속도 변화 규칙(V/P) 또는 다이어그램(3d)에서 곡선(A, B)으로 도시된 바와 같은 시간의 함수로서의 속도 변화 규칙(V/t)을 포함한다.

변화 규칙(V/t)을 갖는 장치에서, 다이어그램(3d)의 곡선(A, B)으로 도시된 바와 같은 속도 변화 규칙을 재현하기 위해, 프로그램은 처리 장치(3a)의 내부 시계를 사용한 시간의 함수 및 프로그램의 데이터의 함수로서 실행된다.

다이어그램(3c)에 도시된 바와 같은 압력의 함수로서의 속도 변화 규칙(V/P)을 사용하는 실시예에서, 장치는 인클로저(100)의 압력을 감지하고 처리 장치(3a)로 보내지는 압력 신호를 생성하도록 구성된 적어도 하나의 압력 센서(100a)를 더 포함한다. 그 후 프로그램은 다이어그램(3c)에서 곡선(A, B)으로 도시된 바와 같이 압력 신호의 함수로서 펌프(1, 2)를 위한 속도 변화 규칙을 발생시킬 수 있다.

메모리(3b)에 저장된 프로그램에 의해 재현된 펌프(1, 2)의 속도 변화 규칙(A, B)은 사용자에 의해 사전에 선택되어, 펌프(1, 2)를 구동시켜 인클로저(100)에서 진공을 형성하기 위해 장치에 의해 소비되는 전체적인 전력을 감소시킨다.

이렇게 전력의 절감을 달성하는 속도 변화 규칙(A, B)이 도2 및 도3의 예시를 통해 도시된다.

도2에 도시된 제1 실시예에서, 인클로저(100)가 대기압에 있을 때의 초기 시간(t0)과 인클로저(100)에 소정의 진공이 형성된 최종 시간(tf) 사이에서 곡선(A)은 제1 펌프에 대한 속도 변화 규칙이며 곡선(B)은 제2 펌프에 대한 속도 변화 규칙이다.

먼저, 시간(t0)에서, 제1 펌프(1)의 속도는 공칭 속도(V1n)이고 제2 펌프(2)의 속도는 최소 속도(V2min)이다.

제2 펌프(2)를 위한 속도 변화 규칙(B)은 느리게 증가하는 제1 단계(B1)와, 그 후의 빠르게 증가하는 제2 단계(B2)와, 그 후의 완만하게 증가하는 제3 단 계(B3)를 포함한다.

제1 펌프(1)의 속도 변화 규칙(A)은 고속의 제1 단계(A1)와, 그 후의 빠르게 감소하는 제2 단계(A2)와, 그 후의 느리게 감소하는 제3 단계(A3)를 포함한다.

최종 시간(tf)에서, 제2 펌프(2)의 속도는 공칭 속도(V2n)와 동일하고 제1 펌프(1)의 속도는 감소된 값(V1min)을 갖는다.

제1 펌프(1)와 제2 펌프(2)의 구조 및 이들의 초기 속도(V1n, V2min)는 처리량 및 전력 소비를 최적화하기에 적절한 방법으로 바람직하게 선택될 수 있다. 이를 위해, 제2 펌프(2)는 제1 펌프(1)의 공칭 처리량(Q1)보다 높은 공칭 처리량(Q2)을 가질 수 있다. 동시에, 초기 속도의 비율(V1n/V2min)은 제2 펌프(2) 및 제1 펌프(1)의 각각의 공칭 처리량의 비율(K=Q2/Q1)에 근접하게 선택된다.

효과적인 전력 절감은 약 10 내지 약 15의 비율(K)로 달성될 수 있다.

도2에 도시된 실시예에서, 제1 펌프(1)의 속도 변화 규칙(A)의 고속의 제1 단계(A1)는 제1 펌프(1)의 공칭 속도(V1n)와 사실상 동일한 비교적 일정한 속도에서의 단계이다.

도3에 도시된 실시예에서, 제1 펌프(1)의 속도 변화 규칙(A) 및 제2 펌프(2)의 속도 변화 규칙(B)은 초기 시간(t0)으로부터 최종 시간(tf)까지에서 사실상 동일한 전체 형상을 갖는다.

도3의 실시예에서의 차이점은, 제1 펌프(1)의 속도가 공칭 속도(V1v) 위로 일시적으로 증가하는 고속의 제1 단계(A1)를 제1 펌프(1)의 속도 변화 규칙(A)이 포함한다는 것이다.

예를 들어, 도3의 다이어그램에 도시된 바와 같이, 제1 펌프(1)의 고속의 제1 단계(A1)는 공칭 속도(Vn1)에 근접한 속도에서의 초기 주기(A11)와, 그 후의 공칭 속도(Vn1)보다 높은 속도에서의 과속 주기(A12)를 포함하며, 초기 주기(A11)와 과속 주기(A12) 사이의 변이는 비교적 짧은 기간의 과도 주기(A13)에 걸쳐 발생한다.

과속 주기(A12) 동안, 제1 펌프(1)의 속도는 예를 들어, 공칭 속도의 1.5배에서 2배의 속도로 증가될 수 있다. 펌핑 속도와 관련하여 달성된 개선은 중요하며, 이는 단계(A3) 동안 제1 펌프의 속도를 추가로 빠르게 감소시킬 수 있어서 전력 소비를 더 감소시킨다.

도2 및 도3은 펌프의 속도 변화 규칙이 시간의 규칙으로 나타나는, 즉, 시간의 함수로서의 속도를 나타낸 실시예를 도시한다. 이러한 속도 변화 규칙은 펌핑될 인클로저(100)의 체적이 미리 공지되어 있는 경우에 적합할 수 있다. 이 경우, 프로그램은 경과된 시간의 함수로서 펌프(1, 2)의 속도 변화 규칙(A, B)을 발생시킨다.

도1의 다이어그램(3c)에서와 같이 속도 변화 규칙이 압력의 함수인 경우에, 펌프는 횡방향의 시간 축이 횡방향의 압력 축으로 대체된 도2 또는 도3의 규칙(A, B)과 동일한 형상을 갖는 속도 변화 규칙으로 구동될 수 있다. 이 실시예는 상이한 체적의 연속 인클로저(100)가 동일한 펌핑 장치에 의해 펌핑되어야 하는 경우에 바람직하다.

인클로저(100)에 진공이 형성된 후, 후속의 펌핑 사이클을 개시하기 위해서 는, 가장 먼저 공칭 속도(V2n) 이상인 최대 속도로 구동되고 있는 제2 펌프(2)를 최소 속도(V2min)로 감속하는 것이 필요하다. 이러한 단계 동안, 제2 펌프(2)는 진공 하에 있기 때문에, 펌핑된 가스에 의해서는 크게 제동되지 않는다. 제2 펌프(2)는 고속으로 회전하고 고 운동 에너지를 가지므로, 자연적으로 감속되기에는 매우 긴 시간을 필요로 한다. 본 발명에 따르면, 이 운동 에너지는 전기 에너지의 형태로 재생될 수 있고, 감속 주기는 제2 펌프(2)를 제동하는 적절한 방법으로 제2 전기 모터(2b)를 제어함으로써 또한, 제1 펌프(1)를 구동하기 위해 전자 제어 모듈(3)을 통해 상기 전기 에너지를 제1 전기 모터(1b)로 재주입함으로써 짧아질 수 있다.

본 발명은 두 개의 펌프, 예를 들어, 건조 제1 펌프(1) 및 루트형(Roots type) 제2 펌프(2)를 갖춘 펌핑 장치에 적용한다.

모터(1b, 2b)는 예를 들어, 직류 또는 교류 모터일 수 있다.

본 발명은 제1 펌프(1) 및 제2 펌프(2)와 직렬 및/또는 병렬로 보충 펌프를 포함하는 펌핑선이 있는 펌핑 장치에 적용될 수 있다.

본 발명은 예시적으로 기재된 실시예로 제한되지 않고, 당업자에게 명백할 수 있는 변형 및 개념을 포함한다.

Claims

인클로저(100)의 압력을 감소시키기 위한 진공 펌핑 장치로서,

펌핑된 가스의 유동 통로에서 직렬로 연결되고 제1 전기 모터(1a)와 제2 전기 모터(2b)에 의해 각각 구동되는 출구 측에의 적어도 하나의 제1 펌프(1)와 입구 측에의 제2 펌프(2)를 포함하며, 상기 두 개의 전기 모터(1a, 2b)는 속도의 조절을 위해 전자 제어 모듈(3)에 의해 제어되는, 진공 펌핑 장치에 있어서,

전자 제어 모듈(3)은, 인클로저(100)의 압력을 감소시키는 절차 동안에, 제2 펌프(2)의 속도 변화 규칙(B)에 따라 제2 펌프(2)의 속도(V2)를 점진적으로 증가시키고 제1 펌프(1)의 속도 변화 규칙(A)에 따라 제1 펌프(1)의 속도(V1)를 점진적으로 감소시키는 속도 제어 수단(1c, 2c, 3a, 3b)을 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 펌핑 장치.
제1항에 있어서, 제2 펌프(2)의 속도 변화 규칙(B)은 느리게 증가하는 제1 단계(B1)와, 그 후의 빠르게 증가하는 제2 단계(B2)와, 그 후의 완만하게 증가하는 제3 단계(B3)를 포함하고,

제1 펌프(1)의 속도 변화 규칙(A)은 고속의 제1 단계(A1)와, 그 후의 빠르게 감소하는 제2 단계(A2)와, 그 후의 느리게 감소하는 제3 단계(A3)를 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 펌핑 장치.
제2항에 있어서, 제2 펌프(2)의 빠르게 증가하는 속도의 제2 단계(B2)는 제1 펌프(1)의 빠르게 감소하는 속도의 제2 단계(A2)와 동시에 일어나는 것을 특징으로 하는 진공 펌핑 장치.
제2항 또는 제3항에 있어서, 제2 펌프(2)의 속도는 최소 속도(V2min)로부터 공칭 속도(V2n)까지 증가하고, 제1 펌프(1)의 속도는 초기에는 공칭 속도(V1n)이며 압력 감소 절차의 종료시에는 감소된 속도(V1min)에 도달하는 것을 특징으로 하는 진공 펌핑 장치.
제4항에 있어서, 제2 펌프(2)는 제1 펌프(1)의 공칭 처리량(Q1)보다 많은 공칭 처리량(Q2)으로 선택되고, 이들의 초기 속도의 비율(V1n/V2min)은 제2 펌프(2) 및 제1 펌프(1) 각각의 공칭 처리량의 비율(K=Q2/Q1)에 근접하도록 선택되는 것을 특징으로 하는 진공 펌핑 장치.
제5항에 있어서, 펌프(1, 2)의 처리량의 비율(K)은 약 10 내지 약 15인 것을 특징으로 하는 진공 펌핑 장치.
제2항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서, 제1 펌프(1)의 속도 변화 규칙(A)은 제1 펌프(1)의 속도가 공칭 속도(V1n) 위로 일시적으로 증가되는 고속의 제1 단계(A1)를 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 펌핑 장치.
제7항에 있어서, 제1 펌프(1)의 상기 고속의 제1 단계(A1)는 공칭 속도(V1n)에 근접한 속도에서의 초기 주기(A11)와, 그 후의 공칭 속도(V1n)보다 높은 속도에서의 과속 주기(A12)를 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 펌핑 장치.
제2항 내지 제8항 중 어느 한 항에 있어서, 제1 펌프(1) 및 제2 펌프(2)의 속도 변화 규칙(A, B)은 전체적인 전력 소비를 감소시키도록 선택되는 것을 특징으로 하는 진공 펌핑 장치.
제1항 내지 제9항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 속도 제어 수단은

제1 모터(1b)에 전력을 공급하도록 구성된 제1 제어식 전력 공급 유닛(1c)과,

제2 모터(2b)에 전력을 공급하도록 구성된 제2 제어식 전력 공급 유닛(2c)과,

전기 모터(1b, 2b)의 속도를 조절하도록 제1 전력 공급 유닛(1c) 및 제2 전력 공급 유닛(2c)을 제어하는 프로그램을 내장한 관련 메모리(3b)를 갖춘 처리 장치(3a)와,

펌프(1, 2)의 속도 변화 규칙(A, B)을 내장한 프로그램을 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 펌핑 장치.
제10항에 있어서,

진공 펌핑 장치는 인클로저(100)의 압력을 감지하고 처리 장치(3a)로 보내지는 압력 신호를 생성하기 위한 적어도 하나의 압력 센서(100a)를 포함하고,

상기 프로그램은 압력 신호의 함수로서 펌프(1, 2)의 속도 변화 규칙(A, B)을 발생시키는 것을 특징으로 하는 진공 펌핑 장치.
제10항에 있어서, 상기 프로그램은 경과된 시간의 함수로서 펌프(1, 2)의 속도 변화 규칙(A, B)을 발생시키는 것을 특징으로 하는 진공 펌핑 장치.
제1항 내지 제12항 중 어느 한 항에 있어서, 인클로저 내의 압력을 낮추는 절차의 종료시에, 속도 제어 수단은 제2 펌프(2)의 속도를 공칭 속도(V2n) 또는 더 높은 속도로부터 최소 속도(V2min)까지 감소시키고, 제2 전기 모터(2b)는 제2 펌프(2)의 운동 에너지를 전기 에너지의 형태로 재생시킴으로써, 전기 에너지는 제1 펌프(1)를 구동하기 위해 전자 제어 모듈(3)을 통해 제1 전기 모터(1b)로 재주입되는 것을 특징으로 하는 진공 펌핑 장치.