KR20080010454A

KR20080010454A - 저철손 방향성 전기강판 및 그 제조 방법

Info

Publication number: KR20080010454A
Application number: KR1020077028576A
Authority: KR
Inventors: 사또시 아라이; 히데유끼 하마무라; 다쯔히꼬 사까이; 가오루 사또오; 히데유끼 고바야시
Original assignee: 신닛뽄세이테쯔 카부시키카이샤
Priority date: 2005-05-09
Filing date: 2006-04-26
Publication date: 2008-01-30
Also published as: RU2358346C1; TWI305548B; ATE482456T1; BRPI0608607A2; DE602006017059D1; WO2006120985A1; BRPI0608607B1; KR100973391B1; CN101171651A; EP1880396B1; US8016951B2; TW200702447A; CN100557725C; US20090145526A1; EP1880396A1

Abstract

본 발명의 목적은 철손과 자왜를 저감한 방향성 전기강판과 그 제조 방법을 제공하는 것이다. 방향성 전기강판은 1.9T의 높은 자속밀도에서 철손 및 자왜의 저감이 우수하며, 응고층을 형성하도록 용융되어 재응고된 레이저 조사부를 포함하는 미세화된 자성 도메인을 포함하되, 응고층의 두께는 4 ㎛ 이하이다. 방향성 전기강판은 추가 개선을 위해 표면조도(Rz)가 작고 횡방향으로 관찰한 단면이 200 ㎛ 이하의 폭과 10 ㎛ 이하의 깊이를 갖는 오목부를 갖는 레이저 조사부를 추가로 포함할 수 있다.

방향성 전기강판, 철손, 자왜, 미세화 자성 도메인, 레이저

Description

저철손 방향성 전기강판 및 그 제조 방법{LOW CORE LOSS GRAIN-ORIENTED ELECTRICAL STEEL SHEET AND METHOD FOR PRODUCING THE SAME}

본 출원은 그 전체 내용이 본 명세서에 원용된 것으로서 각각 2005년 5월 9일 및 2005년 5월 25일 일본국에 출원된 미국 특허 출원 제2005-135763호 및 제2005-152218호에 대한 35 U.S.C §119(a)의 우선권을 주장한다.

본 발명은 변압기와 같은 정적 인덕토미터(static indutometer)용으로 사용되는 방향성 전기강판의 철손을 저감하기 위한 기술에 관한 것이다.

방향성 전기강판은 주로 전기 변압기와 같은 정적 인덕토미터에 사용된다. 방향성 전기강판에 요구되는 성질로는 (1) 교류장에서의 자화 동안 전력 손실, 즉 철손이 낮고 (2) 투자율이 기계류 및 장치에 사용되는 유도 범위에서 높고 강판이 용이하게 자화되고 (3) 소음을 일으키는 자왜가 작아야 한다. 특히, 변압기에 대한 시간 전력 손실은 설치에서 폐기까지 장기간 동안 계속되기 때문에, 조건 (1)은 변압기의 비용 성능에 대한 측정값인 T.O.C.(총보유 비용: total owning cost)를 평가하기 위한 변압기의 가장 중요 인자 중 하나이다.

방향성 전기강판의 철손을 줄이기 위해, (1) 고스(Goss) 방향으로 알려진 (110)[001] 방향의 강도 증가, (2) 전기저항을 증가시키는 Si와 같은 고용 원소 함 량 증가, (3) 강판 두께 감소, (4) 표면장력을 부여하기 위해 강판 상에 세라믹막 또는 절연막 피복, (5) 결정립도 감소와 같은 많은 개선책이 개발되고 있다. 그러나 이런 야금학적 접근에 의한 이런 개선책에는 한계가 있으며 철손을 줄이기 위한 다른 방안이 모색되었다.

필드러(Fieldler) 등의 미국 특허 제3,647,575호에 개시된 바와 같이 절단기를 이용하여 전기강판의 표면에 홈을 형성하여 자성 도메인을 미세화시킴으로써 철손을 저감하는 방법이 제안되었다. 방향성 전기강판은 직사각형의 슬랩 형상 자성 도메인을 가지며, 각각의 자성 도메인은 반대되는 자극을 갖는 다른 도메인과 인접한다(이하, 자성 도메인을 간단히 "도메인"이라 함). 방향성 전기강판은 자기장을 인가하여 각각의 도메인을 팽창 및 수축킴으로써 자화된다. 따라서, 방향성 전기강판이 자화될 때, 인접 도메인들 사이의 도메인 경계(도메인 벽)에 인접한 곳에는 자화 변화가 발생한다. 이런 변화로 인해, 강판에는 와상 전류가 생성되어 철손의 60% 내지 70%에 해당하는 와상 전류 손실을 일으킨다. 와상 전류 손실은 와상 전류의 제곱에 비례하고 도메인 벽의 이동 속도에도 비례한다. 각각의 도메인이 작은 크기로 미세화되면, 와상 전류가 발생하는 부분의 수는 증가한다. 그러나, 도메인 벽의 이동 속도는 도메인의 폭에 반비례해서 감소하기 때문에, 와상 전류 손실은 전체적으로 도메인의 폭에 거의 비례해서 감소한다.

이런 도메인 미세화 기술을 산업상 적용 가능하게 만들기 위해 다양한 발명이 제시되었다. JP S58-5968B는 전기강판의 표면을 직경이 0.2 내지 10 ㎜인 작은 볼로 가압하여 압연함으로써 전기강판의 표면에 균열을 만들지 않고도 변형부를 제 공하기 위한 방법을 개시한다. JP S57-2252B는 전기강판의 표면에 레이저 빔을 횡방향으로 조사함으로써 전기강판에 작은 소성 변형부를 제공하는 방법을 개시한다. JP S62-96617A는 전기강판의 표면에 플라즈마 화염을 횡방향으로 선형으로 조사함으로써 전기강판에 작은 소성 변형을 제공하는 방법을 개시한다. 이들 방법은 전기강판 상으로 도입되는 작은 소성 변형에 의해 자왜의 역효과(역기능)의 결과로서 압연 방향에 수직한 방향으로 자화 성분에 의해 안정화된 도메인을 이용하는 도메인 미세화 기술에 기초한다. 특히, 도메인이 레이저 조사에 의해 미세화된 방향성 전기강판(이하, "레이저-도메인 미세화 방향성 전기강판"이라 함)은 저철손이 요구되는 대형 적층식 전력 변압기용 산업에 널리 사용된다. 이런 전기강판에 대한 수요는 CO₂ 배출 저감을 목적으로 에너지 소비를 저감하는 세계적 경향 때문에 최근 엄청나게 증가하고 있다.

그러나, 상술한 JP S58-5968B에 개시된 기술은 단지 기계적 변형만을 이용함으로써, 큰 철손 저감을 얻는데 실패할 수 있으며 작은 볼들을 횡방향으로 가압하여 압연하는 과정을 필요로 하기 때문에 이 기술을 산업적으로 적용하기 어려울 수 있다. 상술한 JP S57-2252B에 개시된 기술은 철손을 양호하게 저감할 수 있지만, 자왜를 저감하기 위한 추가적인 개선책이 요구된다. 상술한 JP S62-96617A에 개시된 기술에서는 변형량을 제어하기가 어렵고 이에 따라 안정적으로 저감된 철손을 얻음에 있어 문제가 있다.

JP 2647322B는 전기강판을 라인 형태의 레이저 조사에 의해 용융하여 재응고 시키되 재응고된 부분은 폭이 50 내지 300 ㎛이고 깊이 방향으로 강판 두께의 5 내지 35%이고 압연 방향에 수직한 방향으로 ±15도 범위 내의 방향으로 위치되며 인접 라인 간의 거리는 5 내지 30 ㎜인 저철손 방향성 전기강판을 제조하기 위한 방법을 개시한다. 그 후, 강판은 장력을 부여하기 위한 절연막으로 최종 피복된다. 그러나, 이 기술은 응력 제거 소둔이 수행되는 소형의 권취형 변압기에 사용하기 위한 것으로서, 기술이 응력 제거 소둔이 수행되지 않는 대형 변형-편평 적층형 변압기에 사용될 경우 도입된 과다 변형이 저자왜 뿐 아니라 저철손 성질을 갖는 전기강판을 안정적으로 얻는 것을 어렵게 만들고 철손을 더욱 저감할 수 있다.

변압기 및 리액터(reactor)와 같은 정적 인덕토미터는 코어가 교류장에 의해 자화될 때 소음을 일으킨다. 도시 지역에 설치되는 변압기의 수가 전기에 대한 수요 증가로 인해 증가함에 따라 소음 저감이 강하게 요구된다. 또한, 환경적 충격을 최소화하고자 하는 경향이 있다. 일반적으로, 소음은 전자기력에 의해 유도되는 유도 코일들 사이의 진동, 자력에 의해 유도되는 적층체와 코어의 연결부에서 진동 및 전기강판의 자왜의 진동에 의해 야기된다.

이들 소음원 중에서 코어재로부터의 소음은 후술하는 방법에 의해 저감될 수 있는데, 예컨대 (1) 자왜는 전기강의 낮은 자속밀도에서 더 낮기 때문에 코어가 낮은 자속밀도에서 작동하도록 설계하는 방법과, (2) IEEE 회보, MAG-8(1972), 제677면 내지 제681면, 티. 야마모토(T. Yamamoto) 등의 "고투자율 방향성 코어 HI-B를 갖는 방향성 규소강의 자기적 성질"에 개시된 바와 같이, 자왜를 줄이기 위해 고방향성 전기강판을 사용하고 전기강판의 표면 피복막의 장력을 증가시키는 방법과, (3) JP S47-28419A에 설명된 바와 같이 코어를 균일하게 수축시키는 특정 배열을 만드는 방법과, (4) JP S48-83329A에 설명된 바와 같이 코어를 음향 차단 상자로 덮는 방법과, (5) JP S56-40123A에 설명된 바와 같이 변압기를 고무 쿠션 상에 배치하는 방법이 있다.

그러나 이들 방법은 변압기에 추가될 가외 설비를 필요로 하기 때문에 비용이 아주 많이 든다.

일본의 2001년판 저널 오브 더 마그네틱 소사이어티(Journal of the Magnetic Society) 25권 제4-2호에 보고된 바와 같이, "레이저-도메인 미세화 방향성 전기강판"에서 자왜의 성질은 레이저 조사에 이용되는 조건에 따라 다르다. 보다 구체적으로, 자왜의 성질은 레이저 Ua의 조사 에너지 밀도가 변함에 따라 변하며, 따라서 전기강판의 자왜는 상응하는 Ua값을 선택함으로써 저감될 수 있다. 그러나 상술한 방법을 이용할 경우, 자왜 저감과 관련한 최대 효과를 얻기가 어렵다.

상술한 바와 같이, 비록 방향성 전기강판은 철손이 크게 개선되었지만, 에너지 소모의 증가, 화석 에너지의 배출 우려 증가, 지구 온난화 대응책을 위한 요구 사항과 관련하여 추가적인 개선책이 여전히 요구된다. 변압기에 의해 생성되는 소음과 관련해서, 변압기가 도시 지역에 설치되기 때문에 소음 저감이 추가로 요구된다.

본 발명의 목적은 철손을 크게 저감하고 소음을 저감한 방향성 전기강판과 그 제조 방법을 제공하는 것이다. 본 발명의 발명자들에 의한 성실한 연구에 의하면, 이런 제품과 그 제조 방법은 방향성 전기강판에 대한 레이저 조사에 의해 형성된 응고층의 두께를 제어하고 레이저 조사부의 표면조도 및 단면 형상을 제어함으로써 달성될 수 있었다.

본 발명의 요지는 다음과 같다.

(1) 1.9T의 높은 자속밀도에서 우수한 철손 및 자왜 특성을 제공할 수 있는 방향성 전기강판에 있어서, 응고층을 갖는 레이저 조사부와 미세화된 자성 도메인을 포함하되, 레이저 조사부에서 응고층의 두께가 4 ㎛ 이하인 방향성 전기강판.

(2) 1.9T의 높은 자속밀도에서 우수한 철손 및 자왜 특성을 제공할 수 있는 방향성 전기강판에 있어서, 응고층을 갖는 레이저 조사부와 미세화된 자성 도메인을 포함하되, 레이저 조사부에서 응고층의 표면조도(Rz)가 전기강판의 압연 방향을 따라 4 ㎛ 이하인 방향성 전기강판.

(3) (1) 또는 (2) 항목에 있어서, 레이저 조사부는 연속선 또는 점선 형태이며 횡방향으로 관찰한 레이저 조사부의 단면은 200 ㎛ 이하의 폭과 10 ㎛ 이하의 깊이를 갖는 오목부를 갖는 방향성 전기강판.

(4) (1) 또는 (2) 항목에 있어서, 강판 상에서 인접한 연속선 또는 점선 사이의 거리가 30 ㎜보다 작은 방향성 전기강판.

(5) (4) 항목에 있어서, 강판 상에서 인접한 연속선 또는 점선 사이의 거리는 3 내지 5 ㎜인 방향성 전기강판.

(6) (3) 항목에 있어서, 오목부의 폭은 30 내지 180 ㎛이고 오목부의 깊이는 1 내지 4 ㎛인 방향성 전기강판.

(7) 1.9T의 높은 자속밀도에서 우수한 철손 및 자왜 특성을 제공할 수 있는 방향성 전기강판을 제조하기 위한 방법에 있어서, 응고층의 두께가 4 ㎛ 이하가 되도록 응고층을 형성하기 위해 레이저 조사를 수행하는 단계를 포함하는 방향성 전기강판 제조 방법.

(8) 1.9T의 높은 자속밀도에서 우수한 철손 및 자왜 특성을 제공할 수 있는 방향성 전기강판을 제조하기 위한 방법에 있어서, 횡방향으로 관찰한 레이저 조사부의 응고층 단면이 200 ㎛ 이하의 폭과 10 ㎛ 이하의 깊이를 갖는 오목부를 갖도록 응고층을 형성하기 위해 방향성 전기강판 상에 연속선 또는 점선 형태의 레이저 조사를 수행하는 단계를 포함하며, 오목부의 바닥부에서 응고층의 두께는 4 ㎛ 이하인 방향성 전기강판 제조 방법.

(9) (7) 또는 (8) 항목에 있어서, 레이저 조사를 위한 레이저가 코어 직경이 500 ㎛ 이하인 섬유를 이용하는 섬유 레이저인 방향성 전기강판 제조 방법.

(10) (7) 또는 (8) 항목에 있어서, 레이저 조사를 위한 레이저가 코어 직경이 200 ㎛ 이하인 섬유를 이용하는 섬유 레이저인 방향성 전기강판 제조 방법.

(11) (7) 또는 (8) 항목에 있어서, 강판 상에서 인접한 연속선 또는 점선 사이의 거리가 30 ㎜보다 작은 방향성 전기강판 제조 방법.

(12) (11) 항목에 있어서, 강판 상에서 인접한 연속선 또는 점선 사이의 거리는 3 내지 5 ㎜인 방향성 전기강판 제조 방법.

(13) (7) 또는 (8) 항목에 있어서, 오목부의 폭은 30 내지 180 ㎛이고 오목부의 깊이는 1 내지 4 ㎛인 방향성 전기강판 제조 방법.

본 발명은 방향성 전기강판의 철손과 자왜 모두를 저감할 수 있다.

도1은 레이저 조사부를 도시한 개략도이다.

도2는 레이저 조사부의 응고층 조직을 촬영한 사진이다. 사진 (a)는 발명예를 보여주며 사진 (b)는 비교예를 보여준다. 단면의 관찰면은 경사지게 절단되어 연마(polish)되었다. 경사 절단으로 인해, 사진에서 수직 방향 길이는 수직 절단 단면의 경우의 실제 길이의 5배를 나타내도록 연장된다.

도3은 사진 (a)와 사진 (b)에서와 같이 단면 사진을 위해 제조된 강판 샘플의 조직을 보여준다.

도4는 레이저 조사부의 표면조도 측정 방법을 도시한 개략도이다.

도5는 표면조도(Rz)의 정의를 도시한다.

레이저 조사가 3.3 질량%의 Si를 함유하고 두께가 0.23 ㎜인 완전 처리된 방향성 전기강판의 표면 상에 섬유 직경이 10 ㎛인 섬유 레이저 장치를 이용하여 거의 횡방향(압연 방향에 수직한 면방향)으로 라인 형태로 수행된다. 인접한 레이저 조사 라인 간의 거리는 4 ㎜이다. 압연 방향으로 레이저 조사부의 길이는 50 ㎛에서 200 ㎛까지 변경된다. (예를 들어, 도1에 도시된 바와 같이)횡방향으로 본 응고층 두께와 단면의 오목 형상은 레이저 조사빔 스폿 직경, 레이저 전력, 전력밀도 및 주사 속도와 같은 레이저 조사 조건을 변경함으로써 변경된다. 비교 샘플을 제 조하기 위해, CO₂ 레이저와 YAG 레이저가 사용된다. 표1은 각 샘플의 자성 데이터를 보여준다. 철손, 자속밀도 및 자왜는 강판에 부하 응력을 인가하기 않고 정현파 자속 조건 하에서 측정된다. 표1은 1.9T의 자속밀도를 갖는 것과 같이 높은 자계에서 철손 W_19/50 및 자왜 λ19p-p 모두에 있어 샘플 (1), (2), (4) 및 (5)가 다른 샘플들보다 우수함을 보여준다.

샘플	오목부 폭 (㎛)	오목부 깊이(㎛)	응고층 두께 (㎛)	철손(W_19/50)(W/Kg)	자왜(λ19p-p)	비고
(1)	30	4	0.9	1.25	0.2x10^-6	발명예
(2)	50	4	0.8	1.26	0.3x10^-6	발명예
(3)	50	4	4.4	1.48	1.2x10^-6	비교예
(4)	90	3	0.8	1.28	0.4x10^-6	발명예
(5)	160	2	1.7	1.36	0.3x10^-6	발명예
(6)	280	2	4.7	1.45	0.8x10^-6	비교예(CO₂)
(7)	180	2	4.2	1.35	0.5x10^-6	비교예(YAG)

본 발명자들은 1.9T의 자속밀도를 갖는 것과 같이 높은 자계에서 저철손 및 저자왜 모두가 달성될 수 있는 이유를 다음과 같이 판단했다. 철손을 저감하기 위해 도메인을 미세화하기 위한 기구는 레이저 조사에 의해 도입되는 잔류변형(플라즈마 반응력에 의한 열변형 또는 충격 변형)에 의해 형성되는 고에너지 폐쇄 도메인의 총 부피가 예컨대 일본의 저널 오브 더 마그네틱 소사이어티 제25권 제12호 제1612면에 도시된 바와 같이 저감되는 경향을 보이는 현상에 의해 구동된다.

상술한 다양한 조건 하에서 수행된 레이저 조사의 결과로서, 본 발명자들은 본 발명에서 설명된 바와 같이 응고층의 두께와 더불어 단면의 오목부 형상을 제어함으로써 철손 저감 효과가 크게 얻어질 수 있음을 발견했다. 이는 응고층의 두께와 오목부의 폭과 깊이를 제어하여 폐쇄 도메인의 전체 부피를 줄임으로써 적절한 양의 잔류변형이 좁은 영역에 도입되기 때문인 것으로 판단된다. 그 효과는 특히 높은 자속밀도에서의 철손과 관련하여 현저하다. 자속밀도가 낮은 경우, 전기강판의 전체 부피는 부분적으로 자화되고 폐쇄 도메인의 자화 상태 변화는 도메인 벽 이동을 거쳐 단지 부분적으로 발생한다. 포화 자속밀도에 가까운 1.9T와 같이 높은 자속밀도의 경우, 대부분의 폐쇄 도메인은 압연 방향으로 자화된 도메인으로 변화되고, 이런 변화는 철손을 일으킨다. 따라서, 응고층의 두께에 대한 제어는 높은 자속밀도에서의 철손 저감에 가장 효과적이다.

본 발명의 응고층은 SEM 등을 이용하여 강판의 압연 방향 단면을 관찰할 때 볼 수 있는 방향성 전기강판의 단결정 조직과 상이한 아주 미세한 응고 조직이다. 관찰 작업은 다음에 제한되지 않지만 에칭을 수반한 SEM(주사전자 현미경), 반사 전자 영상을 이용한 SEM, FE-SEM(장방출 SEM) 또는 광학 현미경과 같은 것에 의해 수행될 수 있다. 응고층의 두께를 변경시키기 위해서는 레이저 조사빔 스폿 직경, 레이저 전력, 전력밀도 및 주사 속도와 같은 레이저 조사 조건을 변경하는 것이 효과적이다. JP2005-59014A의 도5에는 응고층 두께가 20 ㎛보다 큰 레이저 조사부가 개시된다. 본 특허 공보에 개시된 발명은 공보의 [0003] 문장에 설명된 바와 같이 응력 제거 소둔 후에도 철손 저감 효과가 남아 있는 방향성 전기강판의 철손을 저감하기 위한 것이다. 이는 대형 변압기용 철심과 같이 응력 제거 소둔을 받지 않게 되는 철심에 사용되는 저철손 방향성 전기강판을 제공하기 위한 본 발명의 목적과 구별된다. 따라서, 기술적 개념이 서로 상이하다. 응고층 두께가 JP2005-59014A의 도5에 도시된 바와 같이 20 ㎛보다 큰 조건이 본 발명에 사용된다면, 철손은 악화된다. WO 2004/083465A1은 도 6(b)에 섬유 레이저를 이용하여 형성된 재응고층을 개시한다. 그러나, 레이저 조사부에서 재응고층의 두께는 약 6 ㎛로서 이는 본 발명의 조건을 충족시키지 않는다.

압연 방향으로 좁은 영역에 도입된 잔류 변형은 철손뿐 아니라 예컨대 변압기용으로 사용되는 철심에 소음을 일으키는 자왜 변형을 저감할 수도 있다. (횡방향으로 볼 때 오목부에) 비록 레이저에 의해 도입된 잔류변형이 상술한 바와 같이 폐쇄 도메인을 형성함으로써 도메인 폭을 미세화하는데 효과적이지만, 잔류 변형이 도입된 면적이 크다면, 자왜 변형의 공급원이 될 수도 있다. 이런 점에 있어서, 폐쇄 도메인이 효과적으로 형성되면서도 계속 국부화된 상태로 유지될 수 있도록 잔류 변형을 형성하는 것이 중요하다. 본 발명에서, 응고층의 평균두께는 높은 자장에서 자왜 λ19p-p의 저감과 저철손 모두가 달성될 수 있도록 4 ㎛ 이하로 배열된다.

본 발명에서, 철손 및 자왜의 저감은 후술하는 바와 같이 레이저 조사에 의해 형성되는 오목부의 바닥면의 표면조도를 저감함으로써 달성될 수도 있다. 레이저 조사는 섬유 직경이 10 ㎛인 섬유-레이저 장치를 이용하여 3.3 질량%의 Si를 함유하고 두께가 0.27 ㎜인 방향성 전기강판의 표면 상에 횡방향으로 라인 형태로 수행된다. 인접한 레이저 조사 라인 사이의 거리는 4 ㎜이다. 압연 방향으로 레이저 조사부의 길이는 (1) 50 ㎛, (2) 100 ㎛ 또는 (3) 200 ㎛이다. 동일한 방향성 전기강판 상에 점선 형태의 조사를 수행하기 위해 YAG 레이저도 사용된다. 인접한 레이저 조사 라인 사이의 거리는 4 ㎜이고 (레이저 조사 직경에 대응하는) 압연 방향으로 레이저 조사부의 최대 길이는 (4) 100 ㎛와 (5) 200 ㎛이다.

표2는 레이저 조사부의 표면조도(Rz)와 그 자성을 측정한 결과를 보여준다. 표면조도(Rz)는 ISO4287(1997)에 의해 정의되고 도5에 도시된 외곽선의 최대 높이를 지시하는 지수를 나타낸다. 레이저 조사부의 표면조도(Rz)는 일반적인 표면조도계를 이용하여 측정된다. 측정을 위해, 감지 핀은 압연 방향으로 레이저 조사부의 중심선을 가로지르도록 레이저 조사부의 표면을 주사한다. 그 결과, 표면조도(Rz), 철손 및 자왜 사이에는 밀접한 상관 관계가 있는 것으로 밝혀졌다. 표면조도(Rz)의 측정은 표면을 세척한 후 수행되며 비정상 데이터를 제거한 후 10개보다 많은 측정값을 평균함으로써 평균값이 계산된다. 표면조도(Rz)의 측정에 있어서, 알칼리를 이용하여 강판 표면 상의 고장력 절연막과 세라믹막을 제거한 후 측정하는 것이 최선이다. 그러나, 강판에 대해 강한 부식성을 나타내지 않는 여러가지 산이 실제 견지에 있어 표면 프로파일을 변경시키지 않고 막을 제거하기 위해 사용될 수 있다. 철손, 자속 및 자왜는 각각 강판에 부하 응력을 인가하지 않으면서 정현파 자속에 노출된 상태로 측정된다.

샘플	오목부 폭(㎛)	오목부 깊이(㎛)	Rz(㎛)	응고층 두께(㎛)	철손(W_19/50) (W/Kg)	자왜(λ19p-p)	비고
(1)	30	5	0.8	2.8	1.33	0.4x10^-6	발명예
(2)	50	4	0.5	0.9	1.35	0.4x10^-6	발명예
(3)	160	3	0.7	1.1	1.46	0.8x10^-6	발명예
(4)	90	1	5.8	4.2	1.49	1.0x10^-6	비교예
(5)	190	1	5.2	4.7	1.46	0.9x10^-6	비교예

표2는 높은 자기장에서의 자왜 및 철손 모두에 있어 샘플 (1), (2) 및 (3)이 다른 샘플들보다 우수함을 보여준다. YAG 레이저가 사용된 샘플 (4)와 (5)의 경우, 높은 자속밀도 동안 철손을 일으키는 것으로 판단되고 큰 표면조도를 제공하는 것처럼 보이는 뾰족한 돌기가 관찰되며 자왜가 악화된다.

이런 높은 자기장에서 저철손 및 저자왜 모두가 관찰되는 이유로는 레이저 조사부의 바닥에 형성된 뾰족한 돌기로부터 누출된 자속이 철손 저감에 영향을 미칠 수 있다고 판단된다. 특히, 전기강판이 거의 자기적 포화 상태에 있는 높은 자속밀도 하에서는 철손 W19/50이 크게 영향을 받는다. 즉, 큰 표면조도를 갖는 부분이 전혀 형성되지 않도록 레이저 조사를 제어하면 높은 자속밀도에서의 철손이 저감될 수 있다.

본 발명의 바람직한 실시예

보통의 방향성 전기강판 제품이 본 발명에 사용될 수 있다. 비록 강판은 일반적으로 표면에 포스테라이트(forsterite) 등으로 된 일차 막과 절연 코팅을 갖지만, 본 발명은 이런 막이나 코팅이 없는 강판에 적용될 수 있다.

(레이저 조건)

압연 방향으로 레이저 조사부의 길이(폭)는 자왜의 역효과에 의해 조사부 둘레에 형성되는 열변형에 기인하는 탄성 변형에 의해 형성된다. 폐쇄 도메인은 도메인 미세화의 원인이고 철손 저감을 가져오기도 하지만, 자왜 변형의 원인일 수도 있다. 따라서, 양 성질 모두를 만족시키도록 적절한 조건이 결정되어야 한다. 자왜를 줄이기 위해, 압연 방향으로 레이저 조사 폭은 바람직하게는 200 ㎛ 이하, 보다 바람직하게는 180 ㎛ 이하, 140 ㎛ 이하, 120 ㎛ 이하이고, 더 바람직하게는 100 ㎛ 이하이다. 철손을 저감하기 위해, 레이저 조사 폭은 바람직하게는 20 ㎛ 이상, 보다 바람직하게는 30 ㎛ 이상, 더 바람직하게는 50 ㎛ 이상이다.

단위면적당 레이저 조사 빔의 전력, 즉 전력밀도는 도메인의 미세화를 효과적으로 수행하기 위해 가능한 높은 것이 바람직하다. 그러나, 전력밀도가 너무 높으면, 응고층의 두께는 커진다. 따라서 전력밀도는 바람직하게는 150 ㎾/㎟ 이하, 보다 바람직하게는 100 ㎾/㎟ 이하이다. 전력밀도가 너무 낮으면, 응고층의 두께는 작아진다. 따라서 전력밀도는 바람직하게는 0.5 ㎾/㎟ 이상, 보다 바람직하게는 1 ㎾/㎟ 이상이다.

강판 상에서 레이저 빔의 조사 시간, 즉 조사 기간이 너무 길면, 응고층의 두께는 너무 커진다. 따라서 연속 조사 시간은 바람직하게는 1 msec 이하이고 보다 바람직하게는 0.3 msec 이하이다. 조사 기간이 너무 짧으면, 응고층의 두께는 너무 작아진다. 따라서 연속 조사 시간은 바람직하게는 1 μsec 이상이고 보다 바람직하게는 5 μsec 이상이다.

전력밀도와 조사 기간의 곱은 응고층 두께의 중요한 제어 인자이다. 곱한 값은 바람직하게는 5 mJ/㎟ 내지 500 mJ/㎟의 범위, 보다 바람직하게는 10 mJ/㎟ 내지 300 mJ/㎟의 범위이다.

(레이저)

본 발명의 전기강판 제조시 고전력 레이저 빔의 빔 스폿 직경이 200 ㎛ 이하인 것이 바람직하다. 다중 모드로 지칭되는 YAG 레이저 빔은 집속 성능이 열악하며 YAG 레이저는 200 ㎛ 이하의 직경을 갖는 집속 빔을 갖기가 아주 어렵다. 마찬가지로 다중 모드 발진을 이용하고 YAG 레이저보다 긴 파장을 갖는 CO₂ 레이저도 200 ㎛ 이하의 직경을 갖는 집속 빔을 갖기가 아주 어렵다. 이들 레이저로부터 고도로 집속된 단일 모드 출력을 얻기 위해서는 공간 필터와 같은 특수 장치가 레이저 공명기에 설치되어야 했다. 그러나 이런 경우, 레이저 출력은 크게 저감된다. 따라서 이런 레이저는 산업적 대량 생산에 적절치 않다.

한편, 섬유 레이저는 고도로 집속된 빔의 단일 모드 발진을 용이하게 달성할 수 있다. 또한, 섬유 레이저는 여기 광원인 반도체 레이저의 수와 섬유의 길이를 증가시킴으로써 고출력 빔을 용이하게 달성할 수 있다. 보다 간단한 렌즈 시스템을 이용하여 섬유 코어 직경의 최대 40 내지 50%까지의 집속 빔을 얻는 것이 가능하기 때문에, 섬유 레이저는 작은(200 ㎛ 이하) 빔 스폿 직경을 쉽게 얻게 된다. 이런 점에서, 500 ㎛ 이하의 섬유 코어를 갖는 섬유 레이저가 본 발명의 제조 방법에 사용되기에 바람직한 레이저이다. 섬유 코어 직경이 500 ㎛를 초과하면, 원하는 두께의 응고층과 원하는 형상의 단면을 얻기가 어렵다. 코어의 직경은 바람직하게는 200 ㎛ 이하이고 보다 바람직하게는 40 ㎛ 이하이다.

YAG 레이저 등에서 사용된 다중 모드 빔은 다양한 광 강도 분포의 중첩에 의해 형성되는 빔이다. 빔은 레이저 출력 방향에 수직한 단면 평면에서 레이저 매체의 온도 분포 및/또는 여기 강도의 변화에 따라 발진 모드를 변경할 수 있다. 이는 본 발명의 응고층 두께의 제어를 불안정하게 만든다. 그러나, 섬유 레이저의 모드는 섬유 코어 직경에 의해 조절되는 단일 모드이고 상술한 불안정 요소를 전혀 갖지 않는다. 따라서, 섬유 레이저는 지속적으로 안정한 응고층을 형성하기 위한 본 발명에 바람직하다.

상술한 조건 하에서 레이저를 이용하여 방향성 전기강판의 표면에 대한 레이저 조사가 수행된다. 레이저 조사는 강판 폭방향으로 라인 또는 점선 형태로 수행될 수 있다. 본 발명에서 강판 폭방향은 횡방향의 ±30도 내에 있는 방향을 포함한다. 압연 방향으로 인접한 두 레이저 조사 라인 사이의 거리는 바람직하게는 1 ㎜ 내지 100 ㎜이다. 보다 바람직하게는, 거리는 30 ㎜보다 작고, 더욱 바람직하게는 3 ㎜ 내지 5 ㎜이다.

레이저 조사부에 형성된 응고층의 두께는 4 ㎛ 이하(도1에서 "tm"으로 도시)가 되어야 한다. 응고층의 두께는 응고층에서 가장 두터운 부분의 (강판 두께 방향) 응고층 길이를 측정함으로서 결정된다. 가장 두터운 부분은 일반적으로 레이저 조사부의 중심에 대응하기 때문에 레이저 조사부의 중심 위치에서 응고층의 길이가 응고층 두께의 대표값으로서 사용될 수 있다. 응고층 두께에 대한 보다 정확한 측정값을 얻기 위해서는 측정 대상(예컨대, 중심선에서 ±10 ㎛ 범위)인 영역에서 측정된 복수의 두께 데이터를 평균하는 것이 바람직하다. 응고층에 대한 관찰은 에칭을 수반한 SEM(주사전자 현미경), 반사 전자 영상을 이용한 SEM, FE-SEM(장방출 SEM) 또는 광학 현미경에 의해 수행될 수 있다. 응고층의 두께는 도3에 도시된 바와 같이 경사 연마를 이용하여 제조된 샘플의 SEM 사진을 이용함으로써 보다 정밀하게 측정될 수 있다. 응고층 두께로서 4 ㎛의 상한값을 유지하는 것이 자왜를 악화시키지 않고 높은 자속에서의 철손 저감을 향상시키도록 돕는다. 응고층의 하한값으로는 도메인을 미세화하기 위해 탄성 변형을 유지하기 위해 필요한 열변형 부피를 확보한다는 점에 있어서 0.1 ㎛가 바람직하다. 보다 바람직하게는, 0.5 ㎛ 내지 2 ㎛의 응고층 두께가 보다 바람직하다.

도2는 레이저 조사부의 응고층 조직을 보여준다[사진 (a)는 발명예의 샘플이고 사진 (b)는 비교예의 샘플]. 사진 (a)의 샘플은 압연 방향으로 레이저 조사부의 길이(도1에서 폭 "W ")가 70 ㎛이고 전력밀도가 3 ㎾/㎟인 레이저 조사 조건 하에서 제조되며, 사진 (b)의 샘플은 압연 방향으로 레이저 조사부의 길이가 250 ㎛이고 전력밀도가 30 ㎾/㎟인 레이저 조사 조건 하에서 제조된다. 횡방향으로 조사 빔 주사 속도는 양 샘플에서 동일하다. 레이저 조사는 횡방향으로 연속선 형태로 수행되며 인접 조사 라인 사이의 거리는 5 ㎜이다.

전력밀도는 (강판 상에서의 레이저 조사 전력)/(강판 상에서 레이저 조사부의 면적), 즉 레이저 조사부의 단위면적당 레이저 조사 전력으로 정의된다. 도2에 도시된 사진들은 도3에 도시된 시험편 샘플에 대해 얻어진 것이다. 강판의 관찰(사진 촬영) 단면은 샘플 강판을 확보하기 위해 그 둘레에 성형된 수지와 함께 경사지게 절단된다. 경사 절단의 결과로서, 도2의 사진의 수직 비율은 샘플 강판의 절단이 수직 방향으로 이루어진 (즉, 경사지 않게 절단된) 경우 관찰되는 단면에 비해 5배만큼 확대된다. 사진 (a)의 샘플의 경우, 응고층 두께는 3.3 ㎛이고 철손 W19/50(W/㎏) = 1.34 W/㎏이고 자왜값 λ19p-p = 0.45 x 10^-6이며, 사진 (b)의 샘플의 경우, 응고층 두께는 4.7 ㎛이고 철손 W19/50(W/㎏) = 1.67 W/㎏이고 자왜값 λ19p-p = 0.7 x 10^-6이다. 본 발명의 사진 (a)의 샘플은 높은 자속에서 뛰어난 철손 데이터와 낮은 자왜를 보여준다. 양 샘플의 강판 두께는 0.27 ㎜이다.

횡방향으로 본 강판의 단면의 경우, 단면은 바람직하게는 폭이 200 ㎛ 이하이고 깊이가 10 ㎛ 이하인 오목부(리세스)를 갖는다. 폭의 상한은, 적층계수 저하를 방지하고 높은 자속에서 저감된 철손과 낮은 자왜를 모두 유지하기 위해 바람직하게는 200 ㎛이다. 폭은 바람직하게는 30 내지 180 ㎛이다. 깊이의 상한은, 마찬가지로 적층계수 저하를 방지하고 높은 자속에서 양호한 철손을 유지하고 자속밀도의 저하를 방지하기 위해 바람직하게는 10 ㎛이다. 깊이는 바람직하게는 1 내지 4 ㎛이다. 도1은 횡방향으로 관찰한 레이저 조사부에서 오목부의 개략도이다. 기호 "tm"은 응고층의 최대 두께를 나타내고 "d"는 오목부의 깊이를 나타내고 "W"는 오목부의 (압연 방향) 폭을 나타낸다.

이하, 레이저 조사부의 표면조도가 작은 본 발명의 실시예를 설명한다. 본 발명에서, 방향성 전기강판 상에 라인 또는 점선 형태로 강판 폭방향으로 레이저 조사를 수행함으로써 미세화된 자성 도메인이 만들어진다. 강판 폭방향은 본 발명에서 횡방향의 ±30도 내의 방향을 포함한다. 라인 형태라 함은 레이저 조사 흔적이 연속선을 형성하도록 레이저 조사가 수행됨을 의미한다. 점선 형태라 함은 레이저 조사가 일렬 배열된 개개의 타원형 또는 원형 형상을 형성하도록 레이저 조사가 수행됨을 의미한다. 레이저 조사 흔적은 반드시 직선을 형성할 필요는 없지만 물결선을 형성할 수 있다. 물결선의 경우, 상술한 강판 폭방향은 물결선의 중심선에 기초해서 정의된다.

본 발명에서, 섬유 레이저가 높은 자속 하에서 조사 흔적의 바닥부 크기를 저감하고 철손을 낮출 수 있기 때문에 섬유 레이저를 이용하는 것이 바람직하다. YAG 레이저도 조사 흔적의 크기를 저감할 수 있지만, 레이저 조사부의 바닥면의 표면조도 저감에 있어 다중 모드 발진이 어려움이 있다는 점외에 충분한 전력을 생성하기 위해 대규모의 장치를 필요로 한다. CO₂ 레이저도, 파장 길이가 길고 YAG 레이저와 마찬가지로 다중 모드 발진이기 때문에 표면조도 저감에 어려움이 있기 때문에 조사 흔적의 크기를 저감하기 어렵다.

섬유 레이저의 경우, 바닥부의 크기를 저감할 수 있는 간단하고 콤팩트한 광학 시스템을 형성하는 개선된 레이저 빔 품질 때문에 500 ㎛ 이하의 직경을 갖는 섬유를 이용하는 것이 바람직하다. 500 ㎛보다 큰 직경을 갖는 섬유를 이용할 경우 원하는 바닥부 형상을 얻기가 어려워진다. 바람직하게는 200 ㎛ 이하의 직경, 보다 바람직하게는 40 ㎛ 이하의 직경을 갖는 섬유를 이용한다.

"레이저 조사부"는 레이저가 조사될 때 강판의 표면이 부분적으로 용융된 부분을 의미한다. 표면에 세라믹막이 형성된 방향성 전기강판의 경우, 강판의 표면이 부분적으로 용융되는 세라믹막 아래의 부분이 레이저 조사부로 정의된다. 도2는 단면의 사진을 보여준다. 강판의 표면이 부분적으로 용융되는 부분은 하부의 균질 기지 금속부와 다르게 보이는 표면층 영역을 의미한다. 횡방향으로 본 단면에서 오목부의 폭의 경우, 너무 좁은 폭은 표면조도를 크게 만들 수 있기 때문에 폭은 바람직하게는 30 ㎛ 이상, 보다 바람직하게는 50 ㎛ 이상이다. 본 발명에서 표면조도(Rz)를 결정하기 위해, 레이저 조사된 바닥부가 포함된 압연 방향 폭을 갖는 영역(즉, 레이저 조사 폭 내의 영역)에서 서로 다른 위치에서 측정된 복수의 조도 데이터를 평균하는 것이 바람직하다. Rz는 바람직하게는 4.0 ㎛ 이하이고, 보다 바람직하게는 3.5 내지 3.0 ㎛ 이하이고, 더욱 바람직하게는 2.5 ㎛ 이하이다.

[실험예 1]

3.2 질량%의 Si를 함유하고 0.23 ㎜의 두께를 갖는 완전 처리된 방향성 전기강판의 표면 상에 10 ㎛의 섬유 직경을 갖는 섬유 레이저 장치를 이용하여 레이저 조사를 라인 형태로 대략 횡방향으로 수행한다. 인접한 두 레이저 조사 라인 사이의 거리는 3 ㎜이다. 압연 방향으로 레이저 조사부의 길이는 30 ㎛이다. 레이저 전력을 변경하고 횡방향으로 레이저 조사 속도를 변경하여 응고층의 두께를 변경한다. 표3은 각 샘플의 자성 데이터를 보여준다. 강판에 부하 응력을 인가하기 않고 정현파 자속에 노출시킨 상태로 철손, 자속밀도 및 자왜를 측정한다. 표3은 높은 자계에서의 저감된 철손 및 자왜 모두에 있어 샘플 (1) 및 (2)가 비교 샘플보다 우수함을 보여준다.

샘플	응고층 두께(㎛)	철손(W_19/50)(W/Kg)	자왜(λ19p-p)	비고
(1)	1.5	1.25	0.3x10^-6	발명예
(2)	0.8	1.26	0.35x10^-6	발명예
(3)	4.5	1.60	1.2x10^-6	비교예

[실험예 2]

3.3 질량%의 Si를 함유하고 0.23 ㎜의 두께를 갖는 완전 처리된 방향성 전기강판의 표면 상에 10 ㎛의 섬유 직경을 갖는 섬유 레이저 장치를 이용하여 레이저 조사를 라인 형태로 대략 횡방향으로 수행한다. 인접한 두 레이저 조사 라인 사이의 거리는 4 ㎜이다. 압연 방향으로 레이저 조사부의 길이로서 (1) 30 ㎛, (2) 80 ㎛ 및 (3) 250 ㎛가 수행된다. 또한, 동일한 방향성 전기강판 상에 CO₂ 레이저 조사를 라인 형태로 수행한다. 인접한 두 레이저 조사 라인 사이의 거리는 4 ㎜이고 압연 방향으로 레이저 조사부의 길이를 (4) 300 ㎛와 (5) 500 ㎛로 변경한다. 레이저 전력과 조사 시간을 변경하여 응고층의 두께를 제어한다. 표4는 각 샘플의 자성 데이터를 보여준다. 강판에 부하 응력을 인가하기 않고 정현파 자속 조건 하에서 철손, 자속밀도 및 자왜를 측정한다. 표 4는 높은 자계에서의 철손 및 자왜 모두에 있어 샘플 (1), (2) 및 (3)이 다른 샘플들보다 우수함을 보여준다.

샘플	오목부 폭(㎛)	오목부 깊이(㎛)	응고층 두께(㎛)	철손(W_19/50) (W/Kg)	자왜(λ19p-p)	비고
(1)	30	5	0.9	1.23	0.3x10^-6	발명
(2)	50	4	1.3	1.25	0.25x10^-6	발명
(3)	160	3	2.2	1.33	0.4x10^-6	발명
(4)	130	1	5.1	1.49	0.8x10^-6	비교
(5)	300	1	4.2	1.46	0.6x10^-6	비교

[실험예 3]

3.2 질량%의 Si를 함유하고 0.27 ㎜의 두께를 갖는 완전 처리된 방향성 전기강판의 표면 상에 20 ㎛의 섬유 직경을 갖는 섬유 레이저 장치를 이용하여 레이저 조사를 라인 형태로 대략 횡방향으로 수행한다. 인접한 두 레이저 조사 라인 사이의 거리는 5 ㎜이다. 압연 방향으로 레이저 조사부의 길이는 50 ㎛이다. 레이저 조사부에서 뾰족한 돌기의 발생은 횡방향으로 레이저 조사 속도를 변경시킴으로서 변경된다. 표5는 각 샘플의 레이저 조사부의 자성 데이터와 형상을 보여준다. 첨필(감지 핀)형 표면조도계를 이용하여 압연 방향으로 주사함으로써 레이저 조사부의 표면조도를 측정한다. 강판에 부하 응력을 인가하기 않고 정현파 자속으로 자화시키면서 철손, 자속밀도 및 자왜를 측정한다. 표5는 높은 자계에서의 저감된 철손 및 자왜 모두에 있어 샘플 (1) 및 (2)가 다른 샘플들보다 우수함을 보여준다.

샘플	Rz(㎛)	철손(W_19/50)(W/Kg)	자왜(λ19p-p)	비고
(1)	1.2	1.36	0.35x10^-6	발명예
(2)	1.7	1.33	0.4x10^-6	발명예
(3)	5.2	1.65	1.3x10^-6	비교예

[실험예 4]

3.3 질량%의 Si를 함유하고 0.23 ㎜의 두께를 갖는 완전 처리된 방향성 전기강판의 표면 상에 10 ㎛의 섬유 직경을 갖는 섬유 레이저 장치를 이용하여 레이저 조사를 라인 형태로 대략 횡방향으로 수행한다. 인접한 두 레이저 조사 라인 사이의 거리는 5 ㎜이다. 압연 방향으로 레이저 조사부의 길이를 (1) 50 ㎛, (2) 100 ㎛ 및 (3) 200 ㎛로 변경한다. 또한, 동일한 방향성 전기강판 상에 CO₂ 레이저 조사를 라인 형태로 수행된다. 인접한 두 레이저 조사 라인 사이의 거리는 5 ㎜이고 압연 방향으로 레이저 조사부의 길이를 (4) 200 ㎛와 (5) 400 ㎛로 변경한다. 표6은 각 샘플의 자성 데이터와 레이저 조사부의 형상을 보여준다. 레이저 조사부의 형상은 횡방향으로 관찰한 단면의 오목부이다. 강판에 부하 응력을 인가하기 않고 정현파 자속으로 자화시키면서 철손과 자왜를 측정한다. 표6은 높은 자계에서의 저감된 철손 및 자왜 모두에 있어 샘플 (1), (2) 및 (3)이 다른 샘플들보다 우수함을 보여준다.

샘플	오목부 폭(㎛)	오목부 깊이(㎛)	Rz(㎛)	응고층 두께(㎛)	철손(W_19/50) (W/Kg)	자왜(λ19p-p)	비고
(1)	30	5	2.3	3.7	1.23	0.3x10^-6	발명예
(2)	50	4	1.4	1.2	1.25	0.25x10^-6	발명예
(3)	160	3	1.1	0.8	1.33	0.4x10^-6	발명예
(4)	130	1	6.1	4.3	1.49	0.8x10^-6	비교예
(5)	300	1	5.2	4.1	1.46	0.6x10^-6	비교예
(6)	170	2	6.5	3.8	1.35	0.5x10^-6	본 발명

상기에서 인용한 모든 문헌은 전체 내용이 본 명세서에서 참조로서 원용된다.

Claims

1.9T의 높은 자속밀도에서 우수한 철손 및 자왜 특성을 제공할 수 있는 방향성 전기강판에 있어서,

응고층을 갖는 레이저 조사부와 미세화된 자성 도메인을 포함하되, 레이저 조사부에서 응고층의 두께가 4 ㎛ 이하인 방향성 전기강판.

응고층을 갖는 레이저 조사부와 미세화된 자성 도메인을 포함하되, 레이저 조사부에서 응고층의 표면조도(Rz)가 전기강판의 압연 방향을 따라 4 ㎛ 이하인 방향성 전기강판.

제1항 또는 제2항에 있어서, 레이저 조사부는 연속선 또는 점선 형태이며 횡방향으로 관찰한 레이저 조사부의 단면은 200 ㎛ 이하의 폭과 10 ㎛ 이하의 깊이를 갖는 오목부를 갖는 방향성 전기강판.

제1항 또는 제2항에 있어서, 강판 상에서 인접한 연속선 또는 점선 사이의 거리가 30 ㎜보다 작은 방향성 전기강판.

제4항에 있어서, 강판 상에서 인접한 연속선 또는 점선 사이의 거리는 3 내지 5 ㎜인 방향성 전기강판.

제3항에 있어서, 오목부의 폭은 30 내지 180 ㎛이고 오목부의 깊이는 1 내지 4 ㎛인 방향성 전기강판.

1.9T의 높은 자속밀도에서 우수한 철손 및 자왜 특성을 제공할 수 있는 방향성 전기강판 제조 방법에 있어서,

응고층의 두께가 4 ㎛ 이하가 되도록 응고층을 형성하기 위해 레이저 조사를 수행하는 단계를 포함하는 방향성 전기강판 제조 방법.

횡방향으로 관찰한 레이저 조사부의 응고층 단면이 200 ㎛ 이하의 폭과 10 ㎛ 이하의 깊이를 갖는 오목부를 갖도록 응고층을 형성하기 위해 방향성 전기강판 상에 연속선 또는 점선 형태의 레이저 조사를 수행하는 단계를 포함하며, 오목부의 바닥부에서 응고층의 두께는 4 ㎛ 이하인 방향성 전기강판 제조 방법.

제7 또는 제8항에 있어서, 레이저 조사를 위한 레이저가 코어 직경이 500 ㎛ 이하인 섬유를 이용하는 섬유 레이저인 방향성 전기강판 제조 방법.

제7항 또는 제8항에 있어서, 레이저 조사를 위한 레이저가 코어 직경이 200 ㎛ 이하인 섬유를 이용하는 섬유 레이저인 방향성 전기강판 제조 방법.

제7항 또는 제8항에 있어서, 강판 상에서 인접한 연속선 또는 점선 사이의 거리가 30 ㎜보다 작은 방향성 전기강판 제조 방법.

제11항에 있어서, 강판 상에서 인접한 연속선 또는 점선 사이의 거리는 3 내지 5 ㎜인 방향성 전기강판 제조 방법.

제7항 또는 제8항에 있어서, 오목부의 폭은 30 내지 180 ㎛이고 오목부의 깊이는 2 내지 4 ㎛인 방향성 전기강판 제조 방법.