KR20080008023A - Substrate pressing apparatus and substrate pressing method using the same - Google Patents

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Abstract

A substrate pressing apparatus is provided to prevent equipment from being stopped due to damage of springs when pressing a substrate by having a pressing rod. A substrate pressing apparatus includes a chamber(200), a substrate support(250), a pressing member, and a mechanism unit(220). The substrate support is positioned on a lower part of the chamber. The pressing member includes a pressing rod(234) with the desired number of springs(236,237) arranged at a position corresponding to an upper part of the substrate support. The mechanism unit is placed on an upper part of the substrate pressing member and moves the pressing rod upward and downward by being coupled with the pressing rod.

Description

기판 가압장치 및 이를 이용한 기판 가압방법{Substrate Pressing Apparatus And Substrate Pressing Method Using The Same} Substrate Pressing Apparatus And Substrate Pressing Method Using The Same}

도 1은 종래기술에 따른 기판 가압장치의 구성을 나타낸 도면.1 is a view showing the configuration of a substrate pressing apparatus according to the prior art.

도 2a 내지 도 2c는 종래기술에 따른 기판 가압장치의 동작과정을 설명하기 위한 순서도. 2a to 2c is a flow chart for explaining the operation of the substrate pressing apparatus according to the prior art.

도 3은 본 발명에 따른 기판 가압장치의 구성을 나타낸 도면.3 is a view showing the configuration of a substrate pressurizing device according to the present invention.

도 4a 내지 도 4c는 본 발명에 따른 기판 가압장치의 동작과정을 설명하기 위한 순서도. Figures 4a to 4c is a flow chart for explaining the operation of the substrate pressing apparatus according to the present invention.

♣ 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 ♣♣ Explanation of symbols for the main parts of the drawing ♣

200 : 챔버 210 : 실린더   200: chamber 210: cylinder

220 : 기구부 230 : 기판 가압부재   220: mechanism portion 230: substrate pressing member

240 : 기판 250 : 기판 받침대   240: substrate 250: substrate support

본 발명은 기판 가압장치 및 이를 이용한 기판 가압방법에 관한 기술로서, 보다 상세하게는 기판을 가압하는 기판 가압부재에 적어도 두 개의 스프링을 갖는 가압로드를 구비하여 기판을 가압시킬 때 스프링 파손에 의한 설비 정지 현상을 미연에 방지할 수 있는 기판 가압장치 및 이를 이용한 기판 가압방법에 관한 것이다. The present invention relates to a substrate pressurizing device and a method of pressurizing a substrate using the same, and more particularly, a pressurizing rod having at least two springs in a substrate pressing member pressurizing the substrate, thereby providing a facility for spring breakage when pressurizing the substrate. The present invention relates to a substrate pressurizing apparatus capable of preventing a standstill phenomenon and a substrate pressurizing method using the same.

이하에서는 도면을 참조하여 종래의 기판 정렬방법을 구체적으로 설명한다. Hereinafter, a conventional substrate alignment method will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 종래기술에 따른 기판 가압장치의 구성을 나타낸 도면이다. 도 1을 참조하면, 종래기술에 따른 기판 가압장치(10)는 챔버(100)와, 상기 챔버(100)의 내부 하단에 기판 받침대(150)와, 상기 기판 받침대(150) 상부에 안착될 기판(미도시)을 가압시키기 위해 마련되는 가압로드(134)를 포함한 기판 가압부재(130)와, 상기 기판 가압부재(130) 상부에 상기 가압로드(134)를 하강시키기 위해 구비되는 기구부(120)로 이루어진다. 1 is a view showing the configuration of a substrate pressing apparatus according to the prior art. Referring to FIG. 1, the substrate pressing apparatus 10 according to the related art includes a chamber 100, a substrate pedestal 150 at an inner lower end of the chamber 100, and a substrate to be mounted on the substrate pedestal 150. Substrate pressing member 130 including a pressing rod 134 is provided to press the (not shown), and the mechanism portion 120 provided to lower the pressing rod 134 on the substrate pressing member 130. Is made of.

상기 챔버(100) 내부의 하단에는 기판을 안착시킬 수 있는 기판 받침대(150)가 마련된다. 상기 기판 받침대(150) 상부에는 기판(미도시)을 가압시키기 위한 기판 가압부재(130)가 구비된다. 이러한 상기 기판 가압부재(130)는 상면 개구부(132) 및 하면에 개구부(133)를 갖는 가압 케이싱(131)과, 상기 가압 케이싱(131)의 개구부(132,133) 및 내부에 수직으로 관통된 가압로드(134)와, 상기 가압 케이싱(131) 내부의 상기 가압로드(134) 상부에 구비되는 원판 형태의 와셔(135)와, 상기 와셔(135)의 하부 가압로드(134)에 상기 가압로드(134)를 중심으로 선회된 스프링(136)이 구비된다. The lower end of the inside of the chamber 100 is provided with a substrate support 150 for mounting the substrate. A substrate pressing member 130 for pressing a substrate (not shown) is provided on the substrate pedestal 150. The substrate pressing member 130 includes a pressure casing 131 having an upper surface opening 132 and an opening 133 at a lower surface thereof, and a pressure rod penetrating vertically through the openings 132 and 133 of the pressure casing 131. 134, a disk-shaped washer 135 provided on the pressure rod 134 in the pressure casing 131, and the pressure rod 134 on the lower pressure rod 134 of the washer 135. A spring 136 is pivoted about the center.

또한, 상기 기판 가압부재(130) 상부에는 기구부(120) 및 실린더(110)가 위 치된다.  In addition, the upper portion of the substrate pressing member 130, the mechanism 120 and the cylinder 110 is located.

도 2a 내지 도 2c는 종래기술에 따른 기판 가압장치의 동작과정을 설명하기 위한 순서도이다.2a to 2c is a flow chart for explaining the operation of the substrate pressing apparatus according to the prior art.

도 2a를 참조하면, 기판 가압장치에 의해 기판을 가압시키기 위해서는 우선 챔버(100) 내부 하단에 기판 받침대(150)를 위치시킨다. 상기 기판 받침대(150) 상에 기판(140)을 안착시킨다. 이 후, 상기 기판(140)의 모서리 외곽영역에 돌출된 기판 받침 핀(151)에 의해 상기 기판(140)을 보다 안정적으로 정렬시킨다. Referring to FIG. 2A, in order to pressurize the substrate by the substrate pressurizing apparatus, the substrate pedestal 150 is positioned at the lower end of the chamber 100. The substrate 140 is seated on the substrate pedestal 150. Thereafter, the substrate 140 is more stably aligned by the substrate support pin 151 protruding from the edge outer region of the substrate 140.

도 2b를 참조하면, 상기 가압로드(134)는 상기 기구부(120)를 이용하여 하부 방향으로 하강시킨다. 이 때, 상기 기구부(120)는 상기 상기 실린더(110)에 의해 이송된다. 이에 따라, 상기 가압로드(134)가 상기 가압 케이싱(131)의 하면에 형성된 개구부(133)를 통해 하강된다. 또한 상기 가압로드(134) 하부에 선회된 스프링(136)은 상기 기구부(120)로부터 전해진 압력으로 인해 상기 가압 케이싱(131)과 상기 와셔(135) 사이에 압축되며, 압축된 정도에 따라 탄성 에너지를 갖게 된다. Referring to FIG. 2B, the pressure rod 134 is lowered downward by using the mechanism 120. At this time, the mechanism 120 is conveyed by the cylinder 110. Accordingly, the pressure rod 134 is lowered through the opening 133 formed on the lower surface of the pressure casing 131. In addition, the spring 136 pivoted below the pressure rod 134 is compressed between the pressure casing 131 and the washer 135 due to the pressure transmitted from the mechanism 120, and elastic energy according to the degree of compression Will have

도 2c를 참조하면, 상기 가압로드(134)에 의해 상기 기판(140)을 가압시킨 후, 상기 기구부(120)를 상부 방향으로 이송시킨다. 이 후, 상기 가압로드(134)는 압축된 상기 스프링(136)의 탄성 에너지에 의해 원위치로 정렬된다. Referring to FIG. 2C, after pressing the substrate 140 by the pressing rod 134, the mechanism 120 is transferred upward. Thereafter, the pressure rod 134 is aligned in the original position by the elastic energy of the compressed spring 136.

그러나, 전술한 기판 가압장치에 있어서 기판을 가압시키는 기판 가압부재의 스프링은 시간이 지남에 따라 팽창되고 압력 및 강성이 저하됨에 따라, 스프링이 파손 또는 탈리 되어 설비를 중단해야 하는 문제점을 갖게된다. However, in the above-described substrate pressurizing device, the spring of the substrate pressurizing member pressurizing the substrate expands over time, and as the pressure and rigidity decrease, the spring breaks or detaches, causing a problem of stopping the installation.

따라서, 본 발명은 전술한 종래의 문제점들을 해소하기 위해 도출된 발명으로, 기판을 가압하는 기판 가압부재에 적어도 두 개의 스프링을 갖는 가압로드를 구비하여 스프링 파손에 의한 설비 정지 현상을 미연에 방지할 수 있는 기판 가압장치 및 이를 이용한 기판 가압방법을 제공하는 것을 목적으로 한다. Therefore, the present invention is derived to solve the above-mentioned conventional problems, and is provided with a pressure rod having at least two springs in the substrate pressing member for pressing the substrate to prevent the equipment stop phenomenon due to spring breakage. An object of the present invention is to provide a substrate pressurization apparatus and a substrate pressurization method using the same.

전술한 목적을 달성하기 위한, 본 발명의 일 측면에 따르면, 본 발명의 기판 가압장치는 챔버와, 상기 챔버 내부의 하단에 위치되는 기판 받침대와, 상기 기판 받침대 상부와 대응되는 위치에 마련되는 소정수의 스프링을 갖는 가압로드를 포함한 가압부재와, 상기 기판 가압부재 상부에 위치되며, 상기 기판 가압부재와 결합되어 상기 가압로드를 상·하 연동시키는 수단인 기구부를 구비한다. According to an aspect of the present invention, to achieve the above object, the substrate pressurizing apparatus of the present invention comprises a chamber, a substrate pedestal positioned at the lower end of the chamber, and a predetermined number provided at a position corresponding to the upper portion of the substrate pedestal. And a pressurizing member including a pressurizing rod having a spring, and a mechanism part positioned above the substrate pressurizing member and coupled to the substrate pressurizing member to interlock the pressurizing rod up and down.

바람직하게, 상기 기판 가압부재는 상면 및 하면에 개구부를 갖는 가압 케이싱과, 상기 가압 케이싱 내부의 상면 및 하면의 개구부에 수직으로 관통된 가압로드와, 상기 가압 케이싱 내부에 위치한 상기 가압로드에 관통되는 원판 형태의 와셔와, 상기 와셔의 하측 면에 적어도 두 개의 스프링이 마련된다. 상기 기판 가압부재는 상기 기구부에 의해 상·하 연동되어 상기 기판을 가압시키며, 상기 기구부는 실런더에 의해 상부 및 하부로 이송된다. Preferably, the substrate pressing member has a pressure casing having openings in upper and lower surfaces, a pressure rod penetrating perpendicularly to openings in upper and lower surfaces of the pressure casing, and a pressure rod positioned in the pressure casing. A disk-shaped washer and at least two springs are provided on the lower side of the washer. The substrate pressing member is interlocked up and down by the mechanism to pressurize the substrate, and the mechanism is transferred upward and downward by a cylinder.

본 발명의 다른 측면에 따르면, 본 발명의 기판 가압장치를 이용한 기판 가 압방법은 기판 받침대 상에 기판을 위치시키는 단계와, 상기 기판 상부에 상기 기판을 상기 기판 받침대 상에 가압시키기 위한 소정수의 스프링을 갖는 가압로드를 포함한 기판 가압부재를 위치시키는 단계와, 상기 기판 가압부재 상부에 상기 가압로드를 상·하 연동시키기 위한 기구부가 마련되는 단계와, 상기 기구부를 하강시켜 상기 가압로드가 연동되어 상기 기판을 가압시키는 단계를 포함한다. According to another aspect of the present invention, a substrate pressing method using the substrate pressing apparatus of the present invention comprises the steps of placing a substrate on a substrate pedestal, and a predetermined number of pressing the substrate on the substrate pedestal on the substrate Positioning a substrate pressing member including a pressure rod having a spring; and providing a mechanism portion for interlocking the pressing rod up and down on an upper portion of the substrate pressing member; Pressing the substrate.

이하에서는, 본 발명의 실시 예를 도시한 도면을 참조하여, 본 발명을 보다 구체적으로 설명한다. Hereinafter, with reference to the drawings showing an embodiment of the present invention, the present invention will be described in more detail.

도 3은 본 발명에 따른 기판 가압장치의 구성을 나타낸 도면이다. 도 3을 참조하면, 본 발명에 따른 기판 가압장치(20)는 챔버(200)와, 상기 챔버(200)의 내부 하단에 위치되는 기판 받침대(250)와, 상기 기판 받침대(250) 상부와 대응되는 위치에 마련되며, 적어도 두 개의 스프링(236,237)을 갖는 가압로드(234)를 포함한 가압부재(230)와, 상기 기판 가압부재(230) 상부에 위치되며, 상기 기판 가압부재(230)와 결합되어 상기 가압로드(234)를 상·하 연동시키는 수단인 기구부(220)를 구비한다. 3 is a view showing the configuration of a substrate pressurizing device according to the present invention. Referring to FIG. 3, the substrate pressurizing apparatus 20 according to the present invention corresponds to a chamber 200, a substrate pedestal 250 positioned at an inner lower end of the chamber 200, and an upper portion of the substrate pedestal 250. And a pressing member 230 including a pressing rod 234 having at least two springs 236 and 237, and positioned above the substrate pressing member 230, and coupled to the substrate pressing member 230. And a mechanism 220 which is a means for interlocking the pressure rod 234 up and down.

상기 챔버(200) 내부의 하단에는 기판을 안착시킬 수 있는 기판 받침대(250)가 마련된다. The lower end of the inside of the chamber 200 is provided with a substrate support 250 for mounting the substrate.

상기 기판 받침대(250) 상부에는 기판(미도시)을 가압시키기 위한 기판 가압부재(230)가 위치된다. 여기서, 상기 기판 가압부재(230)를 상기 챔버(200) 내부에 고정되도록 위치하는 것은 다양한 방법이 적용될 수 있으므로 도 3에서는 도시 하지 않기로 한다. 일례로, 상기 기판 가압부재(230)는 상기 챔버(200)의 상측부에서 돌출된 도시되지 않은 지지대에 의하여 고정되도록 설치될 수 있다. The substrate pressing member 230 for pressing the substrate (not shown) is positioned on the substrate pedestal 250. Here, since the substrate pressing member 230 is fixed to the inside of the chamber 200, various methods may be applied, and thus not shown in FIG. 3. In one example, the substrate pressing member 230 may be installed to be fixed by a support (not shown) protruding from the upper portion of the chamber 200.

이러한 상기 기판 가압부재(230)는 상면 개구부(232) 및 하면에 개구부(233)를 갖는 가압 케이싱(232)과, 상기 가압 케이싱(231)의 상면 개구부(232) 및 하면 개구부(233)에 수직으로 관통된 가압로드(234)와, 상기 가압 케이싱(231) 내부에 위치한 상기 가압로드(234)에 관통되는 원판 형태의 와셔(235)가 구비된다. 이 때, 상기 가압로드(234)의 상부 및 하부면은 평면으로 이루어진다. 이는 상기 기구부(220)가 상기 가압로드(234)를 상·하 연동시켜 상기 기판을 가압시킬 때 용이하게 하기 위해서이다. 또한, 상기 가압로드(234)는 상기 기판 케이싱(231)의 축 방향 길이 보다 길게 즉, 상기 가압로드(234)가 상기 기판 케이싱(231)의 상면 개구부(232) 방향으로 돌출되게 형성된다. The substrate pressing member 230 is perpendicular to the pressurizing casing 232 having the upper opening 232 and the opening 233 at the lower surface, and to the upper opening 232 and the lower opening 233 of the pressing casing 231. The pressure rod 234 penetrates through and the washer 235 in the form of a disk penetrates the pressure rod 234 located inside the pressure casing 231. At this time, the upper and lower surfaces of the pressing rod 234 is made of a plane. This is to facilitate the mechanism 220 to press the substrate by interlocking the pressing rod 234 up and down. In addition, the pressing rod 234 is formed to be longer than the axial length of the substrate casing 231, that is, the pressing rod 234 protrudes toward the upper surface opening 232 of the substrate casing 231.

한편, 상기 와셔(235)의 양측 하측 면에 각각 하나의 스프링(236,237)이 형성된다. 이와 같이, 상기 스프링(236,237)이 상기 와셔(235)의 양측 하면에 각각 형성됨으로써, 상기 스프링(236,237) 중 하나가 끊어지거나 떨어진 경우, 다른 하나의 스프링이 작동됨으로써 상기 기판 가압장치(20)의 설비정지 현상을 방지할 수 있다. 또한, 상기 스프링(236,237)을 상기 와셔(235) 하측 면에 각각 형성함으로써 기존의 기판 가압부재에 구비된 하나의 스프링보다 더 큰 탄성 에너지를 갖게 된다. On the other hand, one spring (236, 237) is formed on both side lower surfaces of the washer (235). As such, when the springs 236 and 237 are formed on both bottom surfaces of the washers 235, respectively, when one of the springs 236 and 237 is broken or dropped, the other spring is operated to provide the substrate pressurizing device 20. It can prevent equipment stoppage. In addition, the springs 236 and 237 are formed on the lower surface of the washer 235, respectively, to have a greater elastic energy than one spring provided in the existing substrate pressing member.

상기 기판 가압부재(230) 상부 즉, 상기 가압로드(234)의 내측 상면과 접촉 되는 위치에 기구부(220) 및 실린더(210)가 위치된다. 이러한 상기 기구부(220)는 상기 가압로드(234)를 하부 방향으로 이송시키기 위해 구비된다. 이때, 상기 기구부(220)는 상기 실린더(210)에 의해 하부 방향으로 이송된다. The mechanism part 220 and the cylinder 210 are positioned at the upper portion of the substrate pressing member 230, that is, in contact with the inner upper surface of the pressing rod 234. The mechanism unit 220 is provided to transfer the pressure rod 234 in the downward direction. At this time, the mechanism 220 is transported in the lower direction by the cylinder (210).

도 4a 내지 도 4c는 본 발명에 따른 기판 가압장치의 동작과정을 설명하기 위한 순서도이다. 4A to 4C are flowcharts for describing an operation process of the substrate pressing device according to the present invention.

도 4a를 참조하면, 본 발명에 따른 기판 가압장치를 이용한 기판을 가압시키는 방법은 우선 챔버(200) 내부의 하단에 기판 받침대(250)를 위치시킨다. 상기 기판 받침대(250) 상에 기판(240)을 안착시킨다. 이 후, 상기 기판(240)의 모서리 외곽영역에 돌출된 기판 받침 핀(251)을 이용하여 상기 기판(240)을 보다 안정적으로 정렬시킨다. Referring to FIG. 4A, in the method of pressurizing a substrate using the substrate pressurizing apparatus according to the present invention, first, the substrate pedestal 250 is positioned at the lower end of the chamber 200. The substrate 240 is seated on the substrate pedestal 250. Thereafter, the substrate 240 is more stably aligned using the substrate support pin 251 protruding from the edge outer region of the substrate 240.

도 4b를 참조하면, 상기 기판 가압부재(230) 상부에 위치한 상기 기구부(220)는 상기 실린더(210)를 이용하여 하부 방향으로 이송시킨다. 이에 따라 상기 가압로드(234)가 연동되어 상기 가압 케이싱(230) 하면에 형성된 상기 하측 개구부(233)를 통해 하강된다. 또한 이때, 상기 와셔(235) 하단에 위치한 상기 스프링(236,237)들은 상기 가압 케이싱(231)과 상기 와셔(235) 사이에 압축되며, 압축된 정도에 따라 탄성 에너지를 갖게 된다. Referring to FIG. 4B, the mechanism part 220 positioned on the substrate pressing member 230 is transferred downward by using the cylinder 210. Accordingly, the pressure rod 234 is linked to descend through the lower opening 233 formed on the lower surface of the pressure casing 230. In this case, the springs 236 and 237 disposed at the bottom of the washer 235 are compressed between the pressure casing 231 and the washer 235 and have elastic energy according to the degree of compression.

도 4c를 참조하면, 상기 가압로드(234)에 의해 상기 기판(240)이 가압된 후, 상기 기구부(220)는 상기 실린더(210)에 의해 상부 방향으로 이송되고 상기 가압로드(234)는 상기 스프링(236,237)의 탄성 에너지에 의해 원위치로 정렬된다. 이러 한 원리는 상기 가압로드(234)가 하강되어 기판을 가압시킬 때 상기 스프링(236,237)이 변형됨에 따라 생성되는 탄성 에너지를 이용하여 상기 가압로드(234)가 원위치에 정렬되는 것이다. Referring to FIG. 4C, after the substrate 240 is pressed by the pressure rod 234, the mechanism 220 is transferred upward by the cylinder 210 and the pressure rod 234 is The springs 236 and 237 are aligned in the original position by the elastic energy. This principle is that the pressure rod 234 is aligned in the original position by using the elastic energy generated as the spring 236, 237 is deformed when the pressure rod 234 is lowered to press the substrate.

이상 본 발명을 상세히 설명하였으나 본 발명은 이에 한정되지 않으며, 본 발명이 속하는 기술적 사상 내에서 당 분야의 통상의 지식을 가진 자에 의해 많은 변형할 수 있은 물론이다. Although the present invention has been described in detail above, the present invention is not limited thereto, and many modifications can be made by those skilled in the art within the technical idea to which the present invention pertains.

이상과 같이, 본 발명에 의하면, 기판을 가압시키는 기판 가압부재에 적어도 두 개의 스프링을 구비한 가압로드를 구비함으로써 기판 가압시 스프링 파손에 의한 설비 정지 현상을 미연에 방지할 수 있다.As described above, according to the present invention, by providing a pressing rod including at least two springs in the substrate pressing member for pressing the substrate, it is possible to prevent the equipment stopping phenomenon due to the spring breakage during the pressing of the substrate.

Claims (7)

챔버와,Chamber, 상기 챔버 내부의 하단에 위치되는 기판 받침대와,A substrate pedestal located at a lower end of the chamber; 상기 기판 받침대 상부와 대응되는 위치에 마련되는 소정수의 스프링을 갖는 가압로드를 포함한 가압부재와, A pressing member including a pressing rod having a predetermined number of springs provided at a position corresponding to an upper portion of the substrate pedestal; 상기 기판 가압부재 상부에 위치되며, 상기 가압로드와 결합되어 상기 가압로드를 상·하 연동시키는 수단인 기구부를 구비하는 것을 특징으로 하는 기판 가압장치.Located on the substrate pressing member, the substrate pressing device characterized in that it has a mechanism that is coupled to the pressure rod and the means for interlocking the pressure rod up and down. 제2 항에 있어서, 상기 기판 가압부재는 The method of claim 2, wherein the substrate pressing member 상면 및 하면에 개구부를 갖는 가압 케이싱과,A pressurized casing having openings at upper and lower surfaces thereof, 상기 가압 케이싱 내부의 상면 및 하면의 개구부에 수직으로 관통된 가압로드와,A pressure rod penetrated perpendicularly to an opening of upper and lower surfaces of the pressure casing; 상기 가압 케이싱 내부에 위치한 상기 가압로드에 관통되는 원판 형태의 와셔와,A washer in the form of a disk penetrating the pressure rod located inside the pressure casing; 상기 와셔의 하측 면에 적어도 두 개의 스프링이 마련되는 것을 특징으로 하는 기판 가압장치.At least two springs are provided on the lower side of the washer substrate pressing device. 제1 항에 있어서, 상기 가압로드는 상기 기구부에 의해 상·하 연동되어 상 기 기판을 가압시키는 것을 특징으로 하는 기판 가압장치. The substrate pressing device of claim 1, wherein the pressing rod is connected to the upper and lower sides by the mechanism to press the substrate. 제1 항에 있어서, 상기 기구부는 실런더에 의해 상부 및 하부로 이송되는 것을 특징으로 하는 기판 가압장치. The apparatus of claim 1, wherein the mechanism is conveyed upward and downward by a cylinder. 기판 받침대 상에 기판을 위치시키는 단계;Positioning the substrate on the substrate pedestal; 상기 기판 상부에 상기 기판을 상기 기판 받침대 상에 가압시키기 위한 소정수의 스프링을 갖는 가압로드를 포함한 기판 가압부재를 위치시키는 단계;Positioning a substrate pressing member including a pressing rod having a predetermined number of springs for pressing the substrate on the substrate pedestal on the substrate; 상기 기판 가압부재 상부에 상기 가압로드를 상·하 연동시키기 위한 기구부가 마련되는 단계;Providing a mechanism part for interlocking the pressing rod up and down on the substrate pressing member; 상기 기구부를 하강시켜 상기 가압로드가 연동되어 상기 기판을 가압시키는 단계를 포함하는 기판 가압장치를 이용한 기판 가압방법. And pressing the substrate by lowering the mechanism to link the pressure rod to press the substrate. 제5 항에 있어서, 상기 가압부재 내부에 구비된 상기 가압로드를 이용하여 상기 기판을 가압시킨 후, 상기 기구부를 상승시키는 단계 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 가압장치를 이용한 기판 가압방법. The substrate pressing method of claim 5, further comprising pressing the substrate using the pressing rod provided in the pressing member and then raising the mechanism. 제6 항에 있어서, 상기 기구부를 상승시킨 후, 상기 가압로드는 상기 기판 가압부재 내부에 구비된 스프링의 탄성력에 의해 상승되는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 가압장치를 이용한 기판 가압방법. The substrate pressing method of claim 6, wherein the pressing rod is further lifted by an elastic force of a spring provided inside the substrate pressing member.
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