KR20080005022A - 카세트 내의 웨이퍼 오정렬 검출장치 - Google Patents

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KR20080005022A
KR20080005022A KR1020060064099A KR20060064099A KR20080005022A KR 20080005022 A KR20080005022 A KR 20080005022A KR 1020060064099 A KR1020060064099 A KR 1020060064099A KR 20060064099 A KR20060064099 A KR 20060064099A KR 20080005022 A KR20080005022 A KR 20080005022A
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Abstract

웨이퍼 카세트에 탑재되는 웨이퍼의 오정렬을 검출하는 데 적합한 웨이퍼 오정렬 검출장치를 제공한다. 상기 웨이퍼 카세트는 직선형 상부 영역들과 곡선형 하부 영역들을 구비하고 그 표면에 일정한 간격을 갖고 형성되는 다수개의 제1 그루브들을 구비하여 서로 이격되게 배치되는 한 쌍의 측벽들 및 상기 측벽들의 양 단부들을 결합하도록 배치되는 단부 패널들을 구비한다. 상기 측벽들 사이에 웨이퍼들이 개재된다. 상기 검출장치는 몸체, 상기 몸체의 표면에 일정 간격을 갖고 서로 나란하게 위치하는 다수개의 제2 그루브들, 및 상기 제2 그루브들 안으로 삽입되는 웨이퍼들을 검출하는 웨이퍼 검출부들을 구비한다.
웨이퍼 카세트, 감지센서, 그루브, 웨이퍼 오정렬 검출장치

Description

카세트 내의 웨이퍼 오정렬 검출장치{Apparatus of detecting a misalignment of wafer in cassette}
도 1은 일반적인 웨이퍼 카세트를 설명하기 위한 사시도이다.
도 2는 본 발명에 따른 웨이퍼 오정렬 검출장치를 설명하기 위한 사시도이다.
도 3은 본 발명에 따른 웨이퍼 오정렬 검출장치의 단면도이다.
본 발명은 반도체 소자의 제조장치에 관한 것으로, 특히 웨이퍼 카세트 내에 탑재되는 웨이퍼들의 오정렬을 검출하는 장치에 관한 것이다.
반도체 웨이퍼 카세트는 웨이퍼를 저장, 반송, 또는 공정(processing)을 위해 이용되는 전형적인 장치이다. 이 경우에, 상기 웨이퍼 카세트는 웨이퍼를 지지하는 역할을 한다.
도 1은 일반적인 웨이퍼 카세트를 설명하기 위한 사시도이다.
도 1을 참조하면, 상기 일반적인 웨이퍼 카세트(10)는 서로 마주 보도록 위 치하는 복수개의 단부 패널들(end panels; 12)과 상기 단부 패널들(12) 사이에 서로 마주 보도록 배치되는 복수개의 측벽들(14)을 구비한다. 상기 측벽들(14) 각각에는 다수개의 슬롯들 또는 그루브들(16)이 형성된다. 이 경우에, 상기 측벽들(14) 각각의 그루부들은 25개일 수 있다.
상기 웨이퍼 카세트(10)는 상부 및 하부를 관통하는 관통부(18)를 구비한다. 즉, 상기 관통부(18)를 사이에 두고 상기 복수개의 단부 패널들(12) 및 상기 측벽들(14)이 수직하게 배치된다. 상기 관통부(18)는 그 상부 영역이 그 하부 영역의 폭에 비해 넓게 형성된다. 상기 관통부의 하부 영역의 폭은 웨이퍼의 직경에 비해 좁도록 형성된다.
상기와 같이 구성되는 웨이퍼 카세트의 서로 대응하는 그루브들(16)은 서로 마주보도록 위치한다. 상기 서로 대응하는 그루브들 사이에 하나의 웨이퍼가 수직하게 정렬된다. 이 경우에, 상기 정렬된 웨이퍼는 상기 관통부(18)를 따라 배치되고, 상기 서로 대응하는 그루부들 내에 웨이퍼의 가장자리 영역이 삽입된다. 이에 따라, 상기 웨이퍼 카세트 내에 정렬된 웨이퍼는 상기 측벽들(14)에 의해 지지된다. 상기 측벽들(14) 각각에 형성된 그루브들이 25개인 경우에, 서로 마주보며 대응하는 한 쌍의 그루브들 사이에 웨이퍼가 하나씩 정렬됨으로써, 웨이퍼 카세트에는 25장의 웨이퍼들이 정렬될 수 있다.
그 내부에 정렬된 웨이퍼들을 갖는 웨이퍼 카세트는 반도체 제조 공정을 위해 이송될 수 있다.
웨이퍼는 트위저(tweezer)를 사용하여 낱장 단위로 웨이퍼 카세트의 서로 대 응하는 그루브들 사이에 끼워질 수 있다. 또는, 다수개의 웨이퍼들을 하나의 단위로 웨이퍼 카세트에 정렬시킬 수도 있다. 이 경우에, 도 1에 도시되어 있는 바와 같이, 하나의 웨이퍼가 서로 대응하는 그루브들 사이에 정렬되지 않는 경우가 발생한다. 즉, 서로 마주 보며 위치하는 그루브들 사이에 웨이퍼가 정렬되지 아니하고, 서로 대응되지 아니하는 그루브들 사이에 웨이퍼가 끼워짐으로써 웨이퍼의 오정렬이 발생될 수 있다. 상기 오정렬된 웨이퍼는 웨이퍼 카세트로부터 돌출되게 배치될 수 있다. 또한, 상기 오정렬된 웨이퍼는 상기 측벽들에 의해 지지되지 아니하기 때문에, 웨이퍼 카세트의 이동 중에 웨이퍼 카세트를 이탈할 수 있다. 또한, 상기 오정렬된 웨이퍼는 후속의 웨이퍼 이송 공정이나 웨이퍼 카세트로부터 언로딩되는 동안에 손상을 입게 된다.
본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는, 웨이퍼 카세트에 탑재되는 웨이퍼의 오정렬을 검출하는 데 적합한 웨이퍼 오정렬 검출장치를 제공하는 데 있다.
상기 기술적 과제를 해결하기 위하여, 본 발명은 웨이퍼 카세트에 탑재되는 웨이퍼의 오정렬을 검출하는 데 적합한 웨이퍼 오정렬 검출장치를 제공한다. 상기 웨이퍼 카세트는 서로 이격되게 위치하는 한 쌍의 측벽들을 포함한다. 상기 측벽들 각각은 직선형 상부 영역들(straight upper portions)과 곡선형 하부 영역들(curved lower portions)을 구비하되, 상기 상부 영역들 사이의 간격은 상기 하부 영역들 사이의 간격에 비해 넓다. 상기 측벽들 각각에 일정 간격을 갖고 서로 나란하게 위치하는 다수개의 제1 그루브들(grooves)이 형성된다. 상기 측벽들의 양 단부들에 결합되는 단부 패널들(end panels)이 배치된다. 상기 측벽들은 상기 하부 영역들의 각각의 단부에 위치하는 지지대들을 구비한다. 이 경우에, 상기 검출장치는 몸체를 포함한다. 일정 간격을 갖고 서로 나란하게 위치하는 다수개의 제2 그루브들이 상기 몸체의 표면에 위치한다. 상기 제2 그루브들 안으로 삽입되는 웨이퍼들을 검출하는 웨이퍼 검출부들이 구비된다.
본 발명의 몇몇 실시예들에 있어, 상기 검출부들은 상기 제2 그루브들 내에 설치되는 웨이퍼 감지센서들, 상기 웨이퍼 감지센서들에 전기적으로 접속되는 웨이퍼 오정렬 디스플레이, 및 상기 디스플레이에 전기적으로 접속되는 경보기를 포함할 수 있다.
본 발명의 다른 실시예에 있어, 상기 감지센서들은 상기 제2 그루브들의 측벽들에 설치되는 광센서들일 수 있다.
본 발명의 또 다른 실시예에 있어, 상기 감지센서들은 상기 제2 그루브들의 표면에 설치되는 웨이퍼 하중 감지센서들일 수 있다.
본 발명의 또 다른 실시예에 있어, 상기 몸체는 그 표면에 형성되고 서로 나란하게 위치하는 삽입홈들을 구비하되, 상기 제2 그루브들은 상기 삽입홈들의 길이 방향에 대해 교차되도록 상기 삽입홈들 사이에 위치될 수 있다.
이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예들을 상세히 설명한다. 다음에 소개되는 실시예들은 당업자에게 본 발명의 사상이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위하여 제공되는 것이다. 따라서, 본 발명은 이하에서 설명되어지 는 실시예들에 한정하지 않고 다른 형태로 구체화될 수 있다. 그리고, 도면들에 있어서, 층 및 영역의 길이, 두께 등은 설명의 편의를 위해 과장되어 표현될 수도 있다. 명세서 전체에 걸쳐서 동일한 참조번호들은 동일한 구성요소를 나타낸다.
도 2는 본 발명에 따른 웨이퍼 오정렬 검출장치를 설명하기 위한 사시도이다. 도 3은 본 발명에 따른 웨이퍼 오정렬 검출장치의 단면도이다.
도 2 및 3을 참조하면, 본 발명에 따른 웨이퍼 오정렬 검출장치는 웨이퍼 카세트 내에 탑재되는 웨이퍼의 오정렬을 검출하는 데 채택될 수 있다. 상기 웨이퍼 카세트(20)는 서로 이격되게 위치하는 한 쌍의 측벽들(22)을 구비한다. 상기 측벽들(22)은 서로 마주 보도록 배치되는 측부 패널들(side panels)일 수 있다. 상기 측벽들(22) 각각은 직선형 상부 영역들(22a)과 상기 상부 영역들(22a)의 하부에 위치하는 곡선형 하부 영역들(22b)을 구비한다. 즉, 상기 측벽들(22)의 상부 영역들(22a) 사이의 간격은 일정할 수 있다. 이에 더하여, 상기 측벽들(22)의 하부 영역들(22b) 사이의 간격은 상기 상부 영역들(22a)로부터 멀어질수록 좁아진다. 이 경우에, 상기 상부 영역들(22a) 사이의 간격은 웨이퍼 카세트에 탑재되는 웨이퍼의 직경 보다 같거나 클 수 있다. 이에 더하여, 상기 하부 영역들(22b) 사이의 간격은 상기 웨이퍼 카세트 내에 탑재되는 웨이퍼의 직경 보다 작을 수 있다. 이에 따라, 상기 측벽들(22)을 가로지르는 방향으로 웨이퍼를 상기 관통부(24) 내에 배치하는 경우에, 상기 배치된 웨이퍼의 가장 자리 영역이 상기 측벽들에 의해 지지될 수 있다.
상기 측벽들(22) 각각의 측단부들에 결합되는 단부 패널들(end panels; 26) 이 서로 나란하게 배치된다. 이 경우에, 상기 단부 패널들(26)은 서로 마주 보도록 수직하게 배치될 수 있다. 이에 따라, 상기 웨이퍼 카세트(20)는 상기 관통부(24)는 상기 측벽들(22) 및 상기 단부 패널들(26)에 의해 한정된다(defined). 그 결과, 상기 웨이퍼 카세트(20)는 개방형 콘테이너(open container) 형태가 될 수 있다.
상기 측벽들(22)은 그 하단부에 위치하는 지지대들(28)을 구비한다. 이 경우에, 상기 지지대들(28)은 상기 측벽들(22)의 하부 영역들(22b)의 단부들로부터 연장되게 형성될 수 있다. 상기 지지대들(28)은 상기 웨이퍼 카세트(20)의 다리(leg) 역할을 할 수 있다. 상기 지지대들(28)은 서로 마주보며 나란하게 위치할 수 있다.
이에 더하여, 서로 마주보는 상기 측벽들(22)의 표면에 일정한 길이를 갖는 다수개의 제1 그루브들(30)이 형성된다. 상기 제1 그루브들(30)은 V형 단면적(V shaped cross-section)을 갖는 그루브들일 수 있다. 상기 제1 그루브들(30)은 상기 측벽들의 상기 직선형 상부 영역들(22a)의 표면 및 상기 곡선형 하부 영역들(22b)의 표면을 따라 형성될 수 있다. 즉, 상기 제1 그루브들(30)은 상기 상부 영역들(22a)로부터 상기 하부 영역들(22b)을 향해 형성될 수 있다. 이 경우에, 상기 측벽들(22) 각각의 표면에 25개의 제1 그루브들이 형성될 수 있다. 상기 제1 그루브들(30)은 일정한 간격을 갖고 서로 나란하게 위치할 수 있다. 이 경우에, 상기 측벽들(22) 중 제1 측벽에 형성된 제1 그루브들과 상기 측벽들(22) 중 제2 측벽에 형성된 제1 그루브들은 서로 대응되도록 위치한다. 따라서, 상기 웨이퍼 카세트(20) 내에 웨이퍼가 탑재되는 경우에, 웨이퍼의 제1 가장 자리 영역이 상기 제1 측벽의 제1 그루브에 삽입되고, 상기 제1 가장 자리 영역에 대향되게 위치하는 상기 웨이 퍼의 제2 가장 자리 영역이 상기 제2 측벽의 제1 그루브에 삽입될 수 있다.
한편, 본 발명에 따른 웨이퍼 오정렬 검출장치(40)는 몸체(42)를 포함한다. 상기 몸체(42)의 표면에 일정한 간격을 갖고 서로 나란하게 위치하는 다수개의 제2 그루브들(44)이 형성된다. 상기 제1 및 제2 그루브들(30,44)은 일정한 길이를 갖고 서로 대응되도록 형성된다. 즉, 상기 제1 및 제2 그루브들(30,44)은 서로 동일한 간격과 동일한 폭을 갖고 형성된다. 또한, 상기 제1 및 제2 그루브들(30,44)은 동일한 개수로 형성될 수 있다. 상기 웨이퍼 카세트(20) 내에 탑재되는 웨이퍼들의 가장자리 영역들이 상기 제2 그루브들(44) 안으로 삽입될 수 있다.
이에 더하여, 상기 몸체(42)는 그 표면으로부터 연장된 돌출부(46)를 구비할 수 있다. 상기 몸체(42)가 상기 돌출부(46)를 구비하는 경우에, 상기 제2 그루브들(44)은 상기 돌출부(46)의 표면에 형성될 수 있다. 상기 돌출부(46)의 표면은 상기 제2 그루브들(44)의 길이 방향을 따라 곡선형으로 형성될 수 있다. 즉, 상기 돌출부(46)의 양측 가장 자리 영역들은 상기 돌출부(46)의 중앙 영역의 높이보다 클 수 있다. 이 경우에, 상기 제2 그루브들(44)은 상기 돌출부(46)의 가장자리 영역들을 가로지르는 방향으로 형성될 수 있다.
상기 제2 그루브들(44)의 표면 또는 측벽들에 웨이퍼 감지센서들(48)이 설치될 수 있다. 상기 웨이퍼 감지센서들(48)은 광감지센서들 또는 웨이퍼 하중을 감지하는 센서들일 수 있다. 상기 감지센서들(48)이 상기 광감지센서들인 경우에, 상기 감지센서들(48)은 상기 제2 그루브들(44) 각각의 측벽에 설치될 수 있다. 예를 들면, 상기 제2 그루브(44)의 일측벽에 발광센서가 설치되고, 이와 마찬가지로, 상기 제2 그루브(44)의 타측벽에 수광센서가 설치될 수 있다. 이에 따라, 상기 제2 그루브(44) 내에 웨이퍼가 삽입되는 경우에, 상기 발광센서로부터 발광된 광을 상기 삽입된 웨이퍼가 차단하기 때문에 상기 수광센서는 상기 발광센서의 광을 수광할 수 없다. 이와 대조적으로, 상기 제2 그루브(44) 내에 웨이퍼가 삽입되지 않은 경우에, 상기 수광센서는 발광센서의 광을 수광할 수 있다.
상기 감지센서들(48)이 웨이퍼의 하중을 감지하는 감지센서들인 경우에, 상기 감지센서들은 상기 제2 그루브들(44) 각각의 표면, 예를 들면 상기 제2 그루브들(44)의 바닥면에 설치될 수 있다. 이에 따라, 상기 제2 그루브(44) 내에 웨이퍼가 삽입되는 경우에, 상기 감지센서(48)는 상기 삽입된 웨이퍼의 하중을 감지할 수 있다.
또한, 상기 감지센서들(48)은 상기 제2 그루브들(44) 내에 웨이퍼가 삽입되는 지 여부를 표시하는 웨이퍼 오정렬 디스플레이(50)에 전기적으로 접속될 수 있다. 예를 들면, 상기 제2 그루브들(44) 내에 웨이퍼가 삽입되지 않은 경우에, 상기 감지센서들(48)은 상기 웨이퍼 오정렬 디스플레이(50)에 전기적인 신호를 송신할 수 있다. 이에 따라, 상기 웨이퍼 오정렬 디스플레이(50)에 설치된 램프(52)가 웨이퍼의 오정렬 여부를 표시할 수 있다. 상기 램프(52)는 상기 제2 그루브들(44)의 개수와 동일한 개수로 설치되고, 상기 제2 그루브들(44)에 대응하는 순서로 정렬될 수 있다. 이에 따라, 상기 램프(52)의 표시에 의해 오정렬된 웨이퍼의 위치를 확인할 수 있다. 25개의 램프들이 상기 디스플레이(50)에 설치될 수 있다.
이와 반대로, 웨이퍼가 상기 제2 그루브들(44) 내에 삽입된 경우에, 상기 감 지센서들(48)은 전기적인 신호를 상기 웨이퍼 오정렬 디스플레이(50)에 송신할 수도 있다.
이에 더하여, 상기 웨이퍼 오정렬 디스플레이(50)에 경보부(54)가 전기적으로 접속될 수 있다. 이에 따라, 상기 웨이퍼 오정렬 디스플레이(50)가 웨이퍼의 오정렬을 표시하는 경우에, 상기 경보부(54)는 경보(alarm)를 제공할 수 있다.
한편, 상기 제2 그루브들(44)의 양측의 몸체 표면에 삽입홈들(56)이 형성될 수 있다. 상기 삽입홈들(50)은 상기웨이퍼 카세트(20)의 상기 지지대(28)들 사이의 간격에 대응하는 간격을 갖고 서로 나란하게 위치할 수 있다. 이 경우에, 상기 제2 그루브들(44)은 상기 삽입홈들(50)을 가로지르는 방향으로 형성될 수 있다. 상기 삽입홈들(50)은 상기 웨이퍼 카세트(20)의 상기 지지대들(28)에 대응하도록 위치할 수 있다. 이에 따라, 상기 웨이퍼 카세트(20)가 상기 검출장치(40)에 장착되는 경우에, 상기 지지대들(28)은 상기 삽입홈들(56) 내에 삽입될 수 있다. 상기 삽입홈들(56) 내에 상기 지지대들(28)이 삽입됨으로써, 상기 웨이퍼 오정렬 검출장치(40)가 상기 웨이퍼 카세트(20)를 지지할 수 있다.
한편, 상기 몸체(42)의 표면에 상기 돌출부(46)가 형성되는 경우에, 상기 삽입홈들(56)은 상기 돌출부(46)의 양측의 몸체 표면에 형성될 수 있다.
이하, 본 발명에 따른 웨이퍼 오정렬 검출장치의 작용효과를 설명하기로 한다.
도 2 및 3을 참조하면, 웨이퍼 카세트(20) 내에 웨이퍼들이 로딩된다. 이에 따라, 다수개의 웨이퍼들이 상기 웨이퍼 카세트(20)의 관통부(24) 내에 일정한 간 격을 가지고 수직하게 정렬될 수 있다. 이 경우에, 서로 대응되도록 측벽들(22) 표면에 형성된 제1 그루브들(30) 내에 하나의 웨이퍼의 가장자리 영역들이 삽입될 수 있다. 즉, 웨이퍼들은 서로 마주보며 대응되는 제1 그루브들 사이에 수직하게 개재될 수 있다. 또한, 상기 웨이퍼 카세트(20) 내에 웨이퍼들이 정렬된 경우에, 상기 정렬된 웨이퍼들(W)의 가장자리 영역들은 상기 제1 그루브들(30)의 하부, 즉 상기 웨이퍼 카세트(20)의 지지대들(28) 사이에 노출될 수 있다.
상기 웨이퍼가 정렬된 웨이퍼 카세트를 웨이퍼 오정렬 검출장치(40) 상에 장착한다. 이 경우에, 상기 웨이퍼 카세트(20)의 상기 지지대들(28)은 상기 검출장치(40)의 삽입홈들(56)에 끼워질 수 있다. 이에 더하여, 상기 지지대들(28) 사이에 노출된 웨이퍼 하부의 가장자리 영역들(lower edge portion)은 상기 검출장치(40)의 제2 그루브들(44) 안으로 삽입될 수 있다. 상기 제2 그루브들(44) 내에 웨이퍼들이 삽입된 경우에, 감지센서들(48)은 웨이퍼들의 삽입을 검출할 수 있다. 예를 들어, 상기 제2 그루브들(44) 내에 웨이퍼들이 삽입되고 상기 감지센서들(48)이 광감지 센서들인 경우에, 수광 센서는 발광 센서의 광을 수신할 수 없다. 이에 따라, 웨이퍼 오정렬 디스플레이(50)를 통해 웨이퍼의 정렬 여부, 즉 상기 제2 그루브들(44) 내에 웨이퍼들이 삽입되어 있는 지의 여부를 판단할 수 있다.
한편, 웨이퍼들이 로딩된 웨이퍼 카세트가 상기 검출장치(40) 상에 장착되어도, 상기 제2 그루브들(44) 내에 웨이퍼들이 삽입되지 않을 수 있다. 예를 들면, 서로 마주보며 대응되는 상기 제1 그루브들(30) 사이에 개재되지 아니하고, 서로 대응되지 않는 제1 그루브들 사이에 웨이퍼(W')가 개재되어 웨이퍼의 오정렬이 발 생할 수 있다. 즉, 웨이퍼 카세트에 로딩된 웨이퍼들 중 일부의 웨이퍼들은 불규칙한 간격을 가지고 웨이퍼 카세트 내에 정렬될 수 있다. 이 경우에, 상기 오정렬된 웨이퍼의 가장자리 영역, 예를 들면 오정렬된 웨이퍼의 하부 가장자리 영역은 상기 지지대들(28) 사이에 노출되지 아니한다. 이에 따라, 웨이퍼들이 로딩된 웨이퍼 카세트가 상기 검출장치(40)에 장착되어도, 상기 제2 그루브들(44) 내에 웨이퍼들이 삽입되지 않을 수 있다. 그 결과, 상기 제2 그루브들(44) 내의 감지센서들, 예를 들면 수광센서는 발광센서의 광을 감지할 수 있다. 따라서, 상기 웨이퍼 오정렬 디스플레이(50)의 램프(52)를 통해 웨이퍼들의 오정렬을 확인할 수 있다.
상술한 바와 같이 구성되는 본 발명은, 웨이퍼들이 로딩된 웨이퍼 카세트를 웨이퍼 오정렬 감지장치에 장착함으로써 웨이퍼의 정렬 여부를 용이하게 확인할 수 있다. 즉, 웨이퍼 카세트 내에 로딩된 웨이퍼들이 일정한 간격을 가지고 정렬되어 있는 지의 여부를 확인할 수 있다. 이에 따라, 웨이퍼 카세트 내에 로딩된 웨이퍼의 후속 공정을 진행하기 이전에, 오정렬된 웨이퍼를 재정렬시킴으로써 오정렬에 따른 웨이퍼의 손상을 방지할 수 있다.

Claims (6)

  1. 직선형 상부 영역들과 곡선형 하부 영역들을 구비하고 그 표면에 일정한 간격을 갖고 형성되는 다수개의 제1 그루브들을 구비하여 서로 이격되게 배치되는 한 쌍의 측벽들 및 상기 측벽들의 양 단부들을 결합하도록 배치되는 단부 패널들을 포함하되 상기 측벽들 사이에 웨이퍼들이 개재되는 웨이퍼 카세트의 웨이퍼 오정렬 검출장치에 있어서,
    몸체;
    상기 몸체의 표면에 일정 간격을 갖고 서로 나란하게 위치하는 다수개의 제2 그루브들; 및
    상기 제2 그루브들 안으로 삽입되는 웨이퍼들을 검출하는 웨이퍼 검출부들을 포함하는 웨이퍼 검출장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 검출부들은
    상기 제2 그루브들 내에 설치되는 웨이퍼 감지센서들;
    상기 웨이퍼 감지센서들에 전기적으로 접속되는 웨이퍼 오정렬 디스플레이; 및
    상기 디스플레이에 전기적으로 접속되는 경보기를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 검출장치.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 감지센서들은 상기 제2 그루브들의 측벽들에 설치되는 광센서들인 것을 특징으로 하는 웨이퍼 검출장치.
  4. 제 2 항에 있어서,
    상기 감지센서들은 상기 제2 그루브들의 표면에 설치되는 웨이퍼 하중 감지센서들인 것을 특징으로 하는 웨이퍼 검출장치.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 몸체의 표면으로부터 연장된 돌출부를 포함하되, 상기 돌출부의 표면에 상기 제2 그루브들이 위치하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 검출장치.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 몸체는 그 표면에 형성되고 서로 나란하게 위치하는 삽입홈들을 포함하되, 상기 제2 그루브들은 상기 삽입홈들의 길이 방향에 대해 교차되도록 상기 삽입홈들 사이에 위치하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 검출장치.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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CN101834154B (zh) * 2009-03-12 2012-02-15 台湾积体电路制造股份有限公司 校正系统、校正方法与晶片盒

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