KR20080002162A - 발광 소자 및 그 제조방법 - Google Patents
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- 기판상에 형성된 하부 반도체층;상기 하부 반도체층의 일 영역 상부에 위치하는 상부 반도체층; 및상기 하부 반도체층과 상기 상부 반도체층들 사이에 개재된 활성층;을 포함하여 형성된 복수의 발광셀들을 포함하고, 상기 발광셀들은 5개 이상의 측벽들을 갖는 다각 기둥 형태를 갖는 것을 특징으로 하는 발광 소자.
- 청구항 1에 있어서, 상기 기판은 그 측벽의 적어도 일부에 형성된 요철부를 갖는 것을 특징으로 하는 발광 소자.
- 기판상에 반도체층들을 형성하는 단계;상기 반도체층들이 식각되어 형성될 복수의 발광셀들 각각이 5개 이상의 측벽들을 갖도록 5면 이상의 다각형 형상을 갖는 포토레지스트 패턴을 형성하는 단계; 및상기 포토레지스트 패턴을 식각마스크로 사용하여 상기 반도체층들을 식각하여 5개 이상의 측벽들을 갖는 상기 복수의 발광셀들을 형성하는 단계;를 포함하는 발광 소자 제조방법.
- 청구항 3에 있어서,상기 기판의 적어도 일부에 물결 모양의 포토레지스트 패턴을 형성하고, 상기 포토레지스트 패턴을 식각마스크로 사용하여 상기 기판의 측벽에 요철부가 형성되도록 상기 기판을 식각하는 단계;를 더 포함하는 발광 소자 제조방법.
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KR20060060817A KR100801618B1 (ko) | 2006-06-30 | 2006-06-30 | 발광 소자 및 그 제조방법 |
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